JPH1133501A - 不良混入防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 再選別の必要をなくして生産性を高めるべ
く、測定結果で指定された収納容器と異なる収納容器に
測定後のデバイスが混入収納されるのを防止した、不良
混入防止装置の提供が望まれている。 【解決手段】 電気的特性等の測定を行う測定機２と、
その測定結果に基づいてデバイスを良品用収納容器５ａ
あるいは不良品用収納容器５ｂに搬送するハンドリング
装置とを備えた測定搬送システム３に用いられる不良混
入防止装置１である。良品用収納容器５ａ及び不良品用
収納容器５ｂのそれぞれの収納エリア１７毎に設けられ
て収納エリア１７内にデバイス４が存在するか否かを判
別する判別センサ７と、測定機２による測定結果とこの
測定結果を基に搬送され収納されたデバイス４の判別セ
ンサ７による判別結果とが、予め設定された形態となら
ない場合に測定機２による測定を停止させる停止手段１
５とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気的特性等の各
種の測定を行う測定機と、該測定機で測定されたデバイ
スをその測定結果に基づいて良品用収納容器あるいは不
良品用収納容器に搬送するハンドリング装置とを備えて
構成された測定搬送システムに用いられる不良混入防止
装置に係り、詳しくはハンドリング装置によって測定後
のデバイスを各収納容器に搬送した際、良品用収納容器
に不良品のデバイスが、あるいは不良品用収納容器に良
品のデバイスが混入してしまうのを防止した不良混入防
止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に半導体集積回路（ＬＳＩ）等のデ
バイスは、その組立が完了した後測定機で電気特性等が
測定され、得られた測定値が規格を満たしているか否か
が判別された後、この判別結果に基づいて良品か不良品
かに選別され、良品用収納容器、不良品用収納容器に収
納される。このとき、通常は測定機による判別後、この
判別結果に基づいてハンドリング装置により自動あるい
は半自動で指定の収納容器、すなわち判別結果が良品の
場合には良品用収納容器、不良品の場合には不良品用収
納容器に判別後のデバイスを搬送収納する。

【０００３】ところで、一般にハンドリング装置では、
搬送経路から収納容器までの間においてその近辺に光セ
ンサ等を設置し、デバイスの有無または通過の検出を行
っている。そして、通常は収納容器の直前に配置された
センサ部がここを通過するデバイスを検知すると、ハン
ドリング装置は測定機に対して測定待機中のデバイスの
測定を実行するように信号を送り、これによりその測定
がなされるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな測定機、ハンドリング装置を備えた測定搬送システ
ムにおいては、測定機による測定結果と収納容器に収納
されたデバイスとを１対１で突き合わせ、測定結果通り
に測定後のデバイスが収納されているか、すなわち、測
定結果が良品と判定されたデバイスが良品用収納容器に
収納されたか、また測定結果が不良品と判定されたデバ
イスが不良品用収納容器に収納されたかといった確認を
行っていない。

【０００５】そのため、例えばノイズによる誤動作やセ
ンサ誤動作、ジャムなどによって測定結果で指定された
収納容器と異なる収納容器に測定後のデバイスが混入収
納されてしまうことがある。すると、これがその後の員
数チェック等により数量差異として発見されると、一旦
選別して収納したデバイスを再度選別し直さなくてはな
らなくなる。しかして、このように再選別を行うので
は、本来不要である工程が発生し工程数が増えてしまう
ことから、生産性を著しく低下させる結果となってい
る。

【０００６】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、再選別の必要をなくして
生産性を高めるべく、測定結果で指定された収納容器と
異なる収納容器に測定後のデバイスが混入収納されるの
を防止した、不良混入防止装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の不良混入防止装
置では、電気的特性等の各種の測定を行う測定機と、該
測定機で測定されたデバイスをその測定結果に基づいて
良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に搬送するハ
ンドリング装置とを備えて構成された測定搬送システム
に用いられるものであり、前記良品用収納容器および不
良品用収納容器のそれぞれの収納エリア毎に設けられて
該収納エリア内にデバイスが存在するか否かを判別する
判別センサと、前記測定機による測定結果とこの測定結
果を基に搬送され収納されたデバイスの前記判別センサ
による判別結果とが、予め設定された形態とならない場
合に前記測定機による測定を停止させる停止手段と、を
備えたことを前記課題の解決手段とした。

【０００８】この不良混入防止装置によれば、測定機に
よる測定結果と、この測定結果を基に搬送され良品用収
納容器あるいは不良品用収納容器に収納されたデバイス
の判別センサによる判別結果とが、予め設定された形態
とならない場合に停止手段によって測定機による測定が
停止させられるので、その時点で最後に収納されたデバ
イスを予め設定された形態となるべく別の収納容器に移
すなどにより、測定後のデバイスが測定結果で指定され
た収納容器と異なる収納容器に混入収納されるのを防止
することが可能になる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の不良混入防止装置
を詳しく説明する。図１は本発明の不良混入防止装置の
第１実施形態例を説明するための図であり、図１中符号
１は不良混入防止装置である。この不良混入防止装置１
は、デバイスに対し電気的特性等の各種の測定を行う測
定機２と、該測定機２で測定されたデバイスをその測定
結果に基づいて搬送するハンドリング装置（図示略）と
を備えて構成された測定搬送システム３に設けられ、用
いられるものである。すなわち、この測定搬送システム
３は、前記測定機２と、ハンドリング装置と、測定機２
によって測定されたデバイス４のうち良品を収納する良
品用収納容器５ａ、および不良品を収納する不良品用収
納容器５ｂと、前記不良混入防止装置１とを備えて構成
されたものである。

【００１０】不良混入防止装置１は、装置本体６と、前
記良品用収納容器５ａおよび不良品用収納容器５ｂに設
置された光センサ（判別センサ）７…とから構成された
ものである。ここで、光センサ７は、発光素子７ａと受
光素子７ｂとからなる一対の素子によって構成されたも
のである。

【００１１】装置本体６は、その全体の制御およびデー
タ記憶を行う制御部８と、前記発光素子７ａにパルス状
の電流からなる駆動信号を送る駆動信号発生部９と、前
記受光素子７ｂからの信号を検出しさらに検出した信号
の波形整形を行う信号検出部／波形整形部１０と、前記
測定機２のインターフェース回路２ａとの間で信号の授
受を行うとともに受け取った信号を前記制御部８に送る
インターフェース回路１１と、信号検出部／波形整形部
１０で検出され整形された信号を計数する計数部１２
と、計数部１２からの出力データと前記制御部８に記憶
・蓄積された数量データとを比較する比較部１３と、計
数部１２で得られた計数データ、例えば良品数、不良品
数、合計数、毎回の測定結果を表示する表示部１４と、
比較部１３で得られた比較データが予め設定された形態
とならない場合に前記測定機２によるデバイスの測定を
停止させる停止部（停止手段）１５と、この停止部１５
と同時に作動して警報信号を発生する警報発生部１６と
から構成されたものである。

【００１２】光センサ７が設置される良品用収納容器５
ａおよび不良品用収納容器５ｂは、この例においては図
２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように長方形のトレー
状に形成されたもので、測定済のデバイス４を収納する
収納エリア１７を縦横に多数形成したものである。これ
ら良品用収納容器５ａおよび不良品用収納容器５ｂに
は、各収納エリア１７の底部にそれぞれ貫通孔１８が形
成されている。貫通孔１８は、デバイス４に比べ小さく
したがってデバイス４の載置収納に支障のない大きさに
形成された開口形状を有するものである。なお、光セン
サ７は、収納容器５ａ、５ｂの各収納エリア１７毎に全
て一つずつ設置されている。

【００１３】一方、前記光センサ７は、図１中Ａ、Ｂに
示すように良品用収納容器５ａ、不良品用収納容器５ｂ
の貫通孔１８に対し、その一方の側（本例では下側）に
発光素子７ａを、他方の側（本例では上側）に受光素子
７ｂを配設したものである。したがって、収納エリア１
７にデバイス４が収納されている場合には、発光素子７
ａからの光が該デバイス４に遮られるため受光素子７ｂ
で受光されず、また、収納エリア１７にデバイス４が収
納されていない場合には、発光素子７ａからの光が遮ら
れることなく直接受光素子７ｂで受光されるようになっ
ている。

【００１４】このような不良混入防止装置１を備えた測
定搬送システム３によって組立完了後のデバイス４を電
気的特性上等の良品と不良品とに選別するには、不良混
入装置１の装置本体６の制御部８から測定機２に実行信
号を出力してデバイス４の特性を測定機２で測定させ、
得られた測定値が規格を満たしているか否かを測定機２
で判別させる。そして、このようにしてデバイス４の良
品、不良品の判別を行ったら、その結果をインターフェ
ース回路２ａ、インターフェース回路１１を介して装置
本体６に送り、制御部８に内蔵された計数回路（図示
略）で記憶する。一方、測定機２による測定が終了し、
良品、不良品の判別がなされたデバイス４については、
その測定結果に基づき、すなわち判別結果に基づき、ハ
ンドリング装置によって良品用収納容器５ａあるいは不
良品用収納容器５ｂに搬送しここに収納する。

【００１５】このようにしてデバイス４が良品用収納容
器５ａあるいは不良品用収納容器５ｂに収納されると、
駆動信号発生部９からの駆動信号により、収納されたデ
バイス４に対して各収納容器５ａ、５ｂに設置された光
センサ７…が作動し、指定された収納エリア１６内にデ
バイス４が存在するか否かを判別する。そして、存在し
ている場合、つまりこの例では発光素子７ａからの光が
デバイス４に遮られて受光素子７ｂで受光しない場合、
「デバイス有」の信号が光センサ７から信号検出部／波
形整形部１０のうちの信号検出部に送られる。一方、存
在していない場合、つまり発光素子７ａからの光がデバ
イス４に遮られることなく受光素子７ｂに直接受光され
た場合、「デバイス無」の信号が光センサ７から信号検
出部／波形整形部１０のうちの信号検出部に送られる。

【００１６】このようにして「デバイス有」あるいは
「デバイス無」の信号が信号検出部／波形整形部１０に
送られると、この信号検出部／波形整形部１０では、そ
の波形整形部において入力した信号を整形し、例えば
「デバイス有」のときには１パルス、「デバイス無」の
ときにはパルス無しといったようにパルス信号化し、計
数部１２へ送る。計数部１２では、良品用収納容器５ａ
側、不良品用収納容器５ｂ側から送られてきたパルス信
号をそれぞれに計数し、良品数、不良品数として各々の
計数値を記憶しておく。

【００１７】そして、計数部１２で記憶された良品数お
よび不良品数の値と、先に制御部８の計数回路（図示
略）で記憶され計数された良品数および不良品数の値と
を比較部１３で大小比較し、予め設定された形態となっ
た場合、すなわちこの例では各々の計数値が一致してい
る場合に、測定機２に対し次に待機しているデバイス４
の測定を実行させるための信号を送る。また、予め設定
された形態とならない場合、すなわち各々の計数値の一
方でも不一致の場合には、警報発生部１６でアラーム信
号を発生し、作業者に警報を発すると同時に、停止部１
５によって測定機２に対し次に待機しているデバイス４
の測定実行を停止させるための信号を送る。

【００１８】このように、本実施形態例の不良防止装置
１にあっては、測定機２による測定結果と、良品用収納
容器５ａ、不良品用収納容器５ｂに収納されたデバイス
４とを１対１で突き合わせた状態で逐次照合し、不一致
となった時点で測定機２による測定を停止するようにし
たので、その時点で最後に収納されたデバイス４を測定
結果通りに別の収納容器に移すなど最適な対応が採るこ
とができる。また、不一致時のデバイス４が容易に発見
できるため、発見以前のデバイス４について再度選別作
業を行う必要がなくなり、不要な工数が発生するのを防
止することができる。さらに、良品中に不良品が混入し
てこれが市場に流れるのを確実に防ぐことができ、より
高い信頼性を確保することができる。

【００１９】図３は本発明の不良混入装置の第２実施形
態例を示す図であり、図３中符号２０は不良混入防止装
置、２１は不良混入防止装置２０を備えてなる測定搬送
システムである。図３に示した不良混入防止装置２０が
図１に示した不良混入防止装置１と異なるところは、光
センサ２２における発光素子２２ａと受光素子２２ｂと
の設置場所が、良品用収納容器２３ａあるいは不良品用
収納容器２３ｂを挟んでその上下に配置されているので
なく、両方共その上方に配置されている点である。

【００２０】すなわち、この実施形態例における光セン
サ（判別センサ）２２は、発光素子２２ａから発してデ
バイス４で反射した光を受光素子２２ｂが受けることに
より、デバイス４の存在を確認する反射光方式のもので
ある。なお、このように本例では光センサ２２として反
射光方式のものを用いているので、良品用収納容器２３
ａ、不良品用収納容器２３ｂとしては図４に示すように
その底部に貫通孔１８を形成しない、一般的な長方形ト
レー状のものが用いられている。

【００２１】このような構成の不良混入防止装置２０に
あっても、図１に示した光センサ７と同様に光センサ２
２により、測定結果から指定された良品用収納容器２３
ａあるいは不良品用収納容器２３ｂの収納エリア２４に
デバイス４が有るか否かを判別することができ、したが
って測定機２による測定結果と、良品用収納容器２３
ａ、不良品用収納容器２３ｂに収納されたデバイス４と
を１対１で突き合わせた状態で逐次照合し、不一致とな
った時点で測定機２による測定を停止することができ
る。よって、この不良混入防止装置２０にあっても、図
１に示した不良混入防止装置１と同様に、デバイス４が
測定結果通りに収納されなかった場合にその時点で最適
な対応が採ることができ、また、不一致時のデバイス４
が容易に発見できるため、不要な工数が発生するのを防
止することができ、さらに、良品中に不良品が混入して
これが市場に流れるのを確実に防ぐことができる。

【００２２】なお、この第２実施形態例では、図４
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示したようにその底部に貫通
孔１８を形成しない良品用収納容器２３ａ、不良品用収
納容器２３ｂを用いたが、図２に示した良品収納容器５
ａ、不良品収納容器５ｂを本例においても使用すること
ができる。そして、その場合には、図５に示すように発
光素子２２ａ、受光素子２２ｂを共に収納容器５ａ（５
ｂ）の下方に設置し、かつ、発光素子２２ａの発光側と
受光素子２２ｂの受光側とを共に収納容器５ａ（５ｂ）
の貫通孔１８に向け、発光素子２２ａから発した光がデ
バイス４の底面で反射し、そのまま受光素子２２ｂに入
射するようにすればよい。

【００２３】図６は本発明の不良混入装置の第３実施形
態例を示す図であり、図６中符号３０は不良混入防止装
置、３１は不良混入防止装置３０を備えてなる測定搬送
システムである。図６に示した不良混入防止装置３０が
図１に示した不良混入防止装置１と異なるところは、測
定搬送システム３１において用いられる良品用収納容器
３２ａおよび不良品用収納容器３２ｂが、長方形トレー
状のものでなく、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すよ
うに透明樹脂からなる筒状の収納容器からなっている点
と、光センサ７における発光素子７ａと受光素子７ｂと
の設置場所が、図６中Ａ、Ｂに示すように良品用収納容
器３２ａあるいは不良品用収納容器３２ｂを挟んでその
左右に配置されている点である。

【００２４】ここで、良品用収納容器３２ａおよび不良
品用収納容器３２ｂは、一方の開口側にストッパ３３を
設けてデバイス４が収納容器外に脱落するのを防止し、
他方の開口側をデバイス４の投入口としたものであり、
デバイス４を収納する収納エリア（図示略）を収納容器
の長さ方向に沿って一列に形成したものである。そし
て、このような構成のもとに本例の光センサ７は、収納
エリアにデバイス４が収納されている場合に、発光素子
７ａから発して収納容器３２の一方の側面を透過した光
が該デバイス４に遮られ、これにより受光素子７ｂで受
光されないことから、「デバイス有」と判別し、また、
収納エリアにデバイス４が収納されていない場合に、発
光素子７ａから発した光が遮られることなく収納容器３
２の両方の側面を透過して直接受光素子７ｂで受光され
るため、「デバイス無」と判別するようになっている。

【００２５】このような構成の不良混入防止装置３０に
あっても、図１に示した例と同様に、測定結果から指定
された良品用収納容器３２ａあるいは不良品用収納容器
３２ｂの収納エリアにデバイス４が有るか否かを光セン
サ７によって判別することができ、したがって測定機２
による測定結果と、良品用収納容器２３ａ、不良品用収
納容器２３ｂに収納されたデバイス４とを１対１で突き
合わせた状態で逐次照合し、不一致となった時点で測定
機２による測定を停止することができる。よって、この
不良混入防止装置３０にあっても、図１に示した不良混
入防止装置１と同様に、デバイス４が測定結果通りに収
納されなかった場合にその時点で最適な対応が採ること
ができ、また、不一致時のデバイス４が容易に発見でき
るため、不要な工数が発生するのを防止することがで
き、さらに、良品中に不良品が混入してこれが市場に流
れるのを確実に防ぐことができる。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の不良混入防
止装置は、測定機による測定結果と、この測定結果を基
に搬送され良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に
収納されたデバイスの判別センサによる判別結果とが、
予め設定された形態とならない場合に停止手段によって
測定機による測定を停止させるようにしたものであるか
ら、その時点で最後に収納されたデバイスを予め設定さ
れた形態となるべく別の収納容器に移すなどにより、測
定後のデバイスが測定結果で指定された収納容器と異な
る収納容器に混入収納されるのを防止することができ
る。また、不一致時のデバイスが容易に発見できるた
め、発見以前のデバイスについて再度選別作業を行う必
要がなくなり、不要な工数が発生するのを防止して生産
性の低下を防ぐことができる。さらに、良品中に不良品
が混入してこれが市場に流れるのを確実に防ぐことがで
きことからより高い信頼性を確保することができ、ま
た、不良品中に良品が混入してこの良品が不良品として
扱われるのも未然に防ぎ、コストダウンを図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における不良混入防止装置の第１実施形
態例の概略構成図である。

【図２】図１に示した不良混入防止装置に用いられる収
納容器の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。

【図３】本発明における不良混入防止装置の第２実施形
態例の概略構成図である。

【図４】図３に示した不良混入防止装置に用いられる収
納容器の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。

【図５】図４に示した不良混入防止装置の変形例の概略
構成図である。

【図６】本発明における不良混入防止装置の第３実施形
態例の概略構成図である。

【図７】図３に示した不良混入防止装置に用いられる収
納容器の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。

【符号の説明】

１、２０、３０ 不良混入防止装置 ２ 測定機 ３、２１、３１ 測定搬送システム ４ デバイス ５ａ、２３ａ、３２ａ 良品収納容器 ５ｂ、２３ｂ、３２ｂ 不良品収納容器 ６ 装置本体 ７、２２ 光センサ（判別センサ） ７ａ、２２ａ 発光素子 ７ｂ、２２ｂ 受光素子 １５ 停止部（停止手段） １７、２４ 収納エリア １８ 貫通孔

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気的特性等の各種の測定を行う測定機
   と、該測定機で測定されたデバイスをその測定結果に基
   づいて良品用収納容器あるいは不良品用収納容器に搬送
   するハンドリング装置とを備えて構成された測定搬送シ
   ステムに用いられる、不良混入防止装置であって、 前記良品用収納容器および不良品用収納容器のそれぞれ
   の収納エリア毎に設けられて該収納エリア内にデバイス
   が存在するか否かを判別する判別センサと、 前記測定機による測定結果とこの測定結果を基に搬送さ
   れ収納されたデバイスの前記判別センサによる判別結果
   とが、予め設定された形態とならない場合に前記測定機
   による測定を停止させる停止手段と、を備えたことを特
   徴とする不良混入防止装置。
2. 【請求項２】 前記判別センサが発光素子と受光素子と
   からなる一対の素子によって構成されたことを特徴とす
   る請求項１記載の不良混入防止装置。
3. 【請求項３】 前記判別センサは、発光素子からの光を
   受光素子が直接受けることによってデバイスが存在する
   と判別するものであることを特徴とする請求項２記載の
   不良混入防止装置。
4. 【請求項４】 前記良品用収納容器、不良品用収納容器
   はその各収納エリアの底部に貫通孔を形成してなり、 前記判別センサはその発光素子、受光素子のうちの一方
   が前記貫通孔の一方の側、発光素子、受光素子のうちの
   他方が前記貫通孔の他方の側にそれぞれ配置されてなる
   ことを特徴とする請求項３記載の不良混入防止装置。
5. 【請求項５】 前記良品用収納容器、不良品用収納容器
   は透明樹脂からなるチューブ状成形品からなることを特
   徴とする請求項３記載の不良混入防止装置。
6. 【請求項６】 前記判別センサは、発光素子から発して
   デバイスで反射した光を受光素子が受けることにより、
   デバイスが存在すると判別するものであることを特徴と
   する請求項２記載の不良混入防止装置。