JPH11337435A - 出力誤差の少ない容量性圧力トランスジュ―サ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造するのに経済的で、しかも信頼性が高
く、比較的コストが安く、導電性流体と一緒に使用した
場合、改善され、その出力が誤差を含まない容量性圧力
トランスジューサを提供すること。 【構成】 その圧力がダイヤフラムの外面上に掛かり、
感知される、流体用のポート４６ａを持つハウジング４
６内に装着されているガラス環状体１８により、硬質の
セラミック基板１６に対して狭い間隔で装着されてい
る、薄く、比較的柔軟なセラミック・ダイヤフラム１４
を持つ、容量性圧力トランスジューサ１２を持つ流体圧
力センサ１０。電子回路５０が、コネクタ３６と上記基
板の外面１２ｂの間に形成された室３８内に装着され
る。ソース・コンデンサ・プレート２０およびソース・
トレース２０ｂが、上記ダイヤフラム上に印刷され、検
出プレート２２および検出トレース２２ｂが、上記ソー
スおよび検出プレートおよびトレースを完全に囲んでい
る、上記ダイヤフラムと基板の両方上に印刷されたガー
ド・プレート２８、２８’、２８”；３０、３０”によ
り、基板上に印刷される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、概ね流体圧力セン
サに関し、特に出力誤差の少ない容量性圧力トランスジ
ューサに関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】米国特
許第４，７１６，４９２号に示されているように、公知
の圧力センサは、硬質のセラミック基板の上に狭い間隔
で設置され、密封され、薄くて、比較的柔軟なセラミッ
ク・ダイヤフラムを持ち、また、ソースとしての働きを
し、コンデンサを形成するために相互間に所定の狭い間
隔を置いて配置されているコンデンサ・プレートを検出
するために、ダイヤフラムと基板の各対向面上に蒸着さ
れた金属コーティングを持つ容量性圧力トランスジュー
サを含んでいる。導電性のトレースが、コンデンサ・プ
レートと、上記トランスジューサに取り付けられている
電子調整モジュールに接続されているダイヤフラムと基
板の外周部との間に位置する基板を通して形成された孔
部内に収容されているピンまで延びている。ダイヤフラ
ムは、圧力に応じて曲がり、ソースおよび検出プレート
を移動させて相互に接近させ、それにより、プレート間
のキャパシタンスを増大させる。上記キャパシタンスは
上記電子調整モジュールにより測定される。導電性材料
で作られた環状ガード・リングが、検出プレートの周囲
の基板上に印刷され、検出プレートの電圧と同じ電圧に
電気的に保持されている。通常、ガード・リングは、円
形ソース・プレートの直径より少し小さな内径を持って
いる。このリングは、検出プレートの縁部のところのソ
ースと検出プレートとの間の電界強度を弱くするための
ガードとしての働きをする。これら外辺の電界は望まし
いものではない。何故なら、このような電界は、圧力ト
ランスジューサの出力を非直線的なものにするからであ
る。電子調整モジュールは、ソースと検出プレートとの
間のキャパシタンスだけを測定するように設計され、ソ
ース・プレートとガードとの間、検出プレートとガード
との間、または、ソース・プレートまたは検出プレート
とセンサのハウジングとの間のキャパシタンスは感知し
ない。

【０００３】有極性流体または導電性流体と一緒に使用
する場合には、トランスジューサの出力が、全目盛りの
１％まで、またはそれ以上シフトすることが分かった。
キャパシタンスは、コンデンサ・プレートの間の電界、
および電界内の任意の誘電性材料の両方に依存するの
で、出力誤差は、作動流体の誘電係数が変化すると、ト
ランスジューサのキャパシタンスも変化するようにダイ
ヤフラムを通り、作動流体まで移動するソースと検出プ
レートとの間の電界によるものであると考えられてい
る。圧力トランスジューサは、水のような有極性または
導電性のこれら流体を含む多くの流体の圧力を監視する
ために使用されるという事実から考えて、この誤差は望
ましいものではない。

【０００４】提案された一つの解決策は、柔軟で、黄銅
ウールのような導電性の材料を通して、トランスジュー
サ・ハウジングに接続されているダイヤフラム上に薄い
別々の金属シールドを設置するという方法である。ダイ
ヤフラムを覆っていて、ハウジングに接続されているこ
の導電性シールドは、全トランスジューサに対してガー
ドとしての働きをする。すなわち、電界は、導電性シー
ルドを通過しないため、シールドの対向側上の材料によ
り影響を受けることはない。しかし、このアプローチ
は、上記ウールの断片が流体を劣化し、汚染する恐れが
あること、トランスジューサの出力に対する柔軟なウー
ルからの圧力の影響、金属シールドの耐久性、および種
々の作動流体との互換性の問題、金属シールドによるヒ
ステリシスの可能性、およびシールドとハウジングとの
間の電気的接点の長期耐久性を含むいくつかの理由によ
りで十分なものとはいえない。

【０００５】提案されたもう一つの解決策は、例えば、
導電性コンデンサ・プレートおよびトレース用に使用さ
れる金のような同じ材料を使用してダイヤフラムの表面
に印刷した金属シールドを使用するという方法である。
上記印刷したシールドは、ワッシャおよび波形スプリン
グのような柔軟な機構を使用して、ハウジングに接続さ
れる。しかし、このアプローチの場合には、センサのコ
ストを高くする構成部材を追加しなければならない。セ
ンサのコストをあまり高くしないで、出力誤差が最も少
ないか、出力誤差を全く含まないセンサを提供すること
が望ましい。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の一つの目的は、
上記の制限のない、有極性または導電性流体と一緒に使
用した場合に、改善され、その出力が誤差を含まない容
量性流体圧力トランスジューサを提供することである。
本発明の他の目的は、製造するのに経済的で、しかも信
頼性が高く、比較的コストが安く、導電性流体と一緒に
使用した場合、改善され、その出力が誤差を含まない容
量性圧力トランスジューサを提供することである。

【０００７】簡単に説明すると、本発明の改良形圧力セ
ンサは、面を持つ硬質セラミック基板を持つ容量性圧力
トランスジューサと、整合され、相互に対向している面
から間隔を置いて設置されている面を持つ、薄く、比較
的柔軟なセラミック・ダイヤフラムとを備える。導電性
検出プレートは、基板の面上に配置され、この場合、導
電性検出トレースは、プレートから、プレートと基板の
外周部との間に配置された検出ピン収容開口部まで延び
る。導電性ガード・プレートは、検出プレートを囲んで
いて、検出トレースに間隔を置いて隣接し、この検出ト
レースから離れている対向端部を持つ、連続していない
環状の第一の部分と、環状部分の対向端部に隣接する位
置からガード・ピン開口部に隣接し、検出トレースのど
ちらかの側面上で、検出トレースから間隔を置き、検出
ピン開口部を囲み、この開口部から離れている位置ま
で、半径方向に外側に向かって延びる第二の部分を備え
る基板の面上に位置する。導電性ソース・プレートは、
ダイヤフラムの面上に位置していて、この場合、導電性
ソース・トレースは、ソース・プレートから、ソース・
プレートとダイヤフラムの外周部の間に配置されたソー
ス・ピンまで延びる。導電性ダイヤフラム・ガード・プ
レートは、ソース・プレートの周囲のソース・トレース
に隣接しているが、離隔して配置されていて、またそこ
から離隔して配置されている対向端部を持つ、連続して
いない環状体の形をしている第一の部分を持つ。またダ
イヤフラム・ガード・プレートは、ガード・プレートの
環状部分の対向端部に隣接する位置からガード・ピン位
置に隣接し、ソース・ピン位置のどちらかの側面上であ
って、このソース・ピン位置から離隔した位置まで延び
る。絶縁ガラス環状リングは、ダイヤフラムと基板とを
密封状態で、離隔した状態に維持するために使用され
る。ガラス環状リングは、ダイヤフラムおよび基板の外
周部に隣接して配置され、ソース、ガードおよび検出ピ
ン収容開口部位置と整合している開放部分を持つ。本発
明の特徴によれば、ガラス環状リングは、導電性材料を
確実に相互の方向に徐々に移動しないようにするため
に、連続していない検出環状部分およびソース環状部分
の端部に重なっている。

【０００８】

【発明の実施の形態】図面について説明すると、図１の
参照番号１０は、好適には、図に示すように、適用され
た流体圧力が掛かる一方の面１２ａと、その内部に配置
されたトランスジューサ・ピン・ターミナル２４、２
６、３４を持つ対向面１２ｂを持つ平らなディスクの形
をしていることが好ましい流体圧力応答容量性トランス
ジューサ１２を含む本発明の新規な圧力センサを示す。
好適には、上記トランスジューサは、掛けられた圧力の
変化に応じて、基板に対して移動することができるガラ
ス・シーラント１８等（図４参照）により、類似の材料
でできているセラミック基板１６の上に位置する、狭い
間隔で配置され、密封されているアルミ等のようなセラ
ミック材料の、薄く、比較的柔軟なダイヤフラム１４を
備えることが好ましい。金属コーティング２０および２
２（図２および図３）は、掛けられる圧力により変化す
るキャパシタンスを持つコンデンサを形成するために、
狭い間隔で配置されている容量性プレートの働きをする
ように、ダイヤフラムおよび基板の第一の面１４ａ、１
６ａにそれぞれ設けられている。ピン・ターミナル２
４、２６は、トランスジューサの表面１２ａ上に配置さ
れたセラミック基板を通して、密封状態でコンデンサ・
プレートから延びる。金属ソース・ガード・リング２８
は、ダイヤフラム１４上のコンデンサ・プレート２０を
囲み、金属検出ガード・リング３０は、以下に説明する
ピン・ターミナル２４、２６と同じ方法で、基板を通し
てガード・リング２８、３０から延びるピン・ターミナ
ル３４により基板１６上のコンデンサ・プレート２２を
囲む。

【０００９】センサ１０は、さらに、その間に室３８を
形成するために、トランスジューサの表面１２ｂの上に
位置するように配置されているガラス強化ポリマのよう
な絶縁材料からできているコネクタ本体３６を含む。好
適には、上記コネクタ本体は、底部３６ａ、側壁部３６
ｂ、および上記側壁部の周囲を延びるフランジ３６ｃを
持つカップ状をしていて、好適には、コネクタ本体の底
部３６ａを通して、センサの外部の位置まで延びている
ことが好ましく、室から延びる複数のコネクタ・ターミ
ナル４０、４２、４４（図示せず）を持つことが好まし
い。コネクタ本体は、側壁部３６ｂの自由端部が、室３
８を形成するためのトランスジューサの表面１２ｂの方
を向いている状態に配置される。ハウジング４６は、掛
けられた圧力に、トランスジューサの面１２ａを露出さ
せるためのポート４６ａ、トランスジューサ面１２ａと
ポートとの間、およびトランスジューサを収容するため
の金属スリーブ４６ｂと、その内部のコネクタの少なく
とも一部との間に配置された密封リング４８を持つ。上
記スリーブは、室３８を形成するために、コネクタ本体
およびトランスジューサを一緒に固定するためのフラン
ジ３６ｃのようなコネクタ本体の少なくとも一部上に、
スエージ加工等により変形している自由端部４６ｃを持
つ。環境に対して密封するために、自由端部４６ｃとコ
ネクタ本体３６との間の環状空間内にシーラント９０を
射出することができる。

【００１０】センサ１０は、さらに、米国特許第４，８
７５，１３５号が開示しているタイプの容量性トランス
ジューサに掛けられた圧力に対応する電気信号を供給す
るために、トランスジューサおよびコネクタ・ターミナ
ルに電気的に接続されている室３８に配置された電子回
路５０を含む。上記電子回路は、上記特許の開示と同じ
ように図示されているので、この回路が、基板５２等の
上に配置された集積回路５３、抵抗６４、６６、コンデ
ンサ５４、６２等の回路構成部材を含むことを理解する
ことができるだろう。

【００１１】図３に示すように、トランスジューサ１２
の基板１６は、導電性で、スクリーン印刷のような適当
な手段で、第一または内表面１６ａの中心に配置されて
いるほぼ円形の検出プレート２２ａ、および検出プレー
トと、ほぼ円形の基板の外周部１６ｃとの中間に位置す
る検出ピン収容開口部１６ｂの方向に、半径方向に外側
に延びる導電性トレース２２ｂを持つ。導電性検出ガー
ド・プレート３０は、検出トレース２２ｂに隣接し、そ
こから間隔を置いて対向端部３０ｂを持つ第一の連続し
ていないほぼ環状の部分３０ａを備える面１６ａ上に位
置している。第二の検出ガード部分３０ｃは、対向して
いる各端部３０ｂに隣接する位置３０ｄからガード・ピ
ン開口部１６ｄに隣接し、それを囲み、検出ピン開口部
１６ｂから離れているピン開口部１６ｂを半径方向に越
えた位置のところ３０ｅで結合している位置まで延び
る。そのため、検出トレースおよびピン開口部の周囲を
延びる、閉じた開口部３０ｆが形成される。

【００１２】例を挙げて説明すると、本発明の装置は、
内半径０．１６０インチ（０．４０６４ｃｍ）、外半径
０．２３５インチ（０．５９６９ｃｍ）、半径０．１５
０インチ（０．３８１ｃｍ）の環状ガード部分を含む検
出プレート２２ａを持つ。外半径０．２６５インチ
（０．６７３１ｃｍ）の対向端部３０ｂが形成される。
ピン開口部１６ｂ、１６ｄおよびソース・ピン開口部１
６ｅは、０．３００インチ（０．７６２ｃｍ）の半径の
ところで２５度の間隔を持つ。また、基板１６が、整合
ノッチ１６ｆと一緒に形成されていることに留意された
い。

【００１３】図２について説明すると、トランスジュー
サ１２のダイヤフラム１４は、スクリーン印刷のような
適当な手段で、第一の面または内表面１４ａの中心に配
置されている、導電性で、ほぼ円形のソース・プレート
２０ａ、およびソース・プレートと、基板１６の外周部
と整合している、ほぼ円形の基板の外周部１４ｃとの中
間に位置するソース・ピン位置１４ｂの方向に、半径方
向に外側に延びる導電性トレース２０ｂを持つ。導電性
ソース・ガード・プレート２８は、ソース・トレース２
０ｂに隣接し、そこから離隔した対向端部２８ｂを持つ
第一の連続していないほぼ環状の部分を備える面１４ａ
上に位置している。第二のソース・ガード部分２８ｃ
は、各対向端部２８ｂに隣接する位置２８ｄからアース
・ピン位置１４ｄに隣接し、それを囲み、ソース・ピン
位置１４ｂから離隔し、ピン位置１４ｂを半径方向に越
えた位置のところ２８ｅで結合している位置まで延び
る。そのため、ソース・トレースおよびピン位置の周囲
を延びる、閉じた開口部２８ｆが形成される。

【００１４】ガードが設置されていない従来のソース・
プレートは、通常、検出ガード環状体の外半径とほぼ同
じ長さの半径を持つ。この実施形態に示すように、ソー
ス・プレート２０の半径は、検出ガード環状体の内半径
と外半径の中間であり、上記検出プレートの半径より少
し大きい０．１７０インチ（０．４３１８ｃｍ）であ
る。連続していない環状部分２８ａの内半径および外半
径は、それぞれ０．１８０インチ（０．４５７２ｃｍ）
および０．２３５インチ（０．５９６９ｃｍ）である。
対向端部２８ｂの外半径は、０．２６５インチ（０．６
７３１ｃｍ）で、検出ガードの対向端部３０ｂのそれと
同じである。整合ノッチ１４ｆが、基板１６のノッチ１
６ｆと同じ方法で外周部に設けられている。

【００１５】図４のほぼ円形の部材である、間隔を設け
密封を行うガラス環状体１８が、整合ノッチ１８ｆによ
り、ピン開口部１６ｂ、１６ｄ、１６ｅと整合するよう
に、２５度の角度だけ開いている閉じた開口部１８ａ、
１８ｂ、１８ｃと一緒に設置されている。

【００１６】ダイヤフラムの第一の面上にソース・プレ
ート、ソース・トレースおよびソース・ピン開口部を囲
むソース・ガード・プレートを設置し、基板の第一の面
上で、検出プレート、検出トレースおよび検出ピン開口
部を囲む検出ガード・プレートを設置すると、有極性お
よび導電性流体による圧力トランスジューサ出力誤差
が、ほぼ完全に除去される。

【００１７】図５は、その内部における、対向端部２８
ｂ’の外半径が、連続していないほぼ環状の部分の残り
部分と同じ、すなわち、０．２３５インチ（０．５９６
９ｃｍ）である、修正したソース・ガード２８’を持つ
ダイヤフラム１４’である。半径方向に延びる第二の部
分２８ｃ’は、本質的に、トレース２０ｂの幅と同じ幅
を持つトレースの形をしている。対向端部２８ｂ’のも
っと短い外半径とガラス環状体１８とを組合せると、ダ
イヤフラムおよび基板上の各金属層が、ガラスの複数の
縁部まで徐々に移動して、相互に接触するのを確実に防
止するために、ガラス材料が対向端部を越えて、半径方
向に外側に向かって延びている。

【００１８】図６および図７は、ダイヤフラム１４”お
よび基板１６”の両方の、もう一つの修正した金属化パ
ターンを示す。検出トレース２２ｂ”およびソース・ト
レース２０ｂ”は、例えば、０．０２０インチ（０．０
５０８ｃｍ）に対する０．００８インチ（０．０２０３
ｃｍ）というように、図２および図３の実施形態のもの
よりも少し狭くなっていて、第二のガード部分３０
ｃ”、一方、２８ｃ”は、連続していない環状部の対向
端部３０ｂ”、２８ｂ”の外半径３０ｇ、２８ｇと融合
する、ほぼ円形の開口部３０ｆ”および２８ｆ”により
形成される。半径３０ｇ、２８ｇは、好適には、相互に
同じ長さで、ガラス環１８の内半径１８ｄが、少し短く
なるように選択され、その結果、ガラス層１８ｅが、ガ
ード層の上に重なり、導電性材料がガラス層の縁部まで
徐々に移動し、検出層およびトレース層とショートする
のを防止する。連続していない第一の環２８ａ”、３０
ａ”は、それぞれ各ガード・ピン位置１４ｅ、およびガ
ード・ピン開口部１６ｅと半径方向で整合している丸み
を帯びた凹部２８ｈ、３０ｈを含む。この特徴により、
ガラス環１８の内部上を金属が徐々に移動してトレース
層と接触するのを防止する適当な隙間が形成される。例
を挙げて説明すると、図６および図７の一点鎖線は、組
立てたトランスジューサのガラス環１８および検出トレ
ース２２ｂ”（図６）およびソース・トレース２０ｂ”
（図７）の内部境界の相対的位置を示す。連続していな
い第一のガード環２８ａ”の凹部２８ｈにより、金属
が、検出トレース２２ｂ”からガラス環１８の縁部を横
切って徐々に移動した場合でも、ガード・プレート２８
との接触を防止するための十分な隙間が確保される。ソ
ース・トレース２０ｂ”に関連するガード・プレート３
０”の凹部３０ｈの場合にも、同じことがいえる。ピン
開口部１６ｂ、１６ｄおよび１６ｅとそれぞれ整合し、
また図に示すように、検出およびソース・トレースと、
ガラス環の縁部との間の重畳部分の周囲の、例えば、
０．００３インチ（０．００７６２ｃｍ）の選択された
隙間と整合するために、ガラス環１８内に、窓１８ａ、
１８ｂおよび１８ｃが形成される。

【００１９】本発明を説明するために、その特定の実施
形態を説明してきたが、本発明は、添付の特許請求の範
囲内に含まれるすべての修正およびその等価物を含むこ
とを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧力センサの立面断面図である。

【図２】本発明の一実施形態のソース・プレート、およ
びソース・ガード・プレート構成を示す図１の容量性ト
ランスジューサのダイヤフラムの第一の面、すなわち、
内面の平面図である。

【図３】第一の実施形態の検出プレート、および検出ガ
ード・プレート構成を示す図１の基板の第一の面、すな
わち、内面の図２類似の平面図である。

【図４】同様に、ダイヤフラムおよび／または基板の外
周部を示す、各容量性トランスジューサの基板とダイヤ
フラムとの間で上記実施形態で使用されるガラス・スペ
ーサの平面図である。

【図５】その上に修正したソース・ガード・プレート構
成が描かれているダイヤフラムの図２類似の平面図であ
る。

【図６】本発明の他の実施形態のソース・プレート、お
よびソース・ガード・プレート構成を示す図１の容量性
トランスジューサのダイヤフラムの図２類似の平面図で
ある。

【図７】図６のダイヤフラムと一緒に使用する検出プレ
ートと検出ガード・プレート構成を示す図１の容量性ト
ランスジューサの基板の図３類似の平面図である。

【符号の説明】

１０ 圧力センサー １２ トランスジューサ １２ａ、１２ｂ 面 １４ ダイヤフラム １４ａ 面 １６ セラミック基板 １６ａ 面 １６ｂ 検出ピン収容開口部 １６ｃ 外周部 １６ｄ ピン開口部 １８ ガラス・シーラント ２０、２２ コンデンサ・プレート ２２ａ 検出プレート ２２ｂ 検出トレース ２４、２６、３４ ピン・ターミナル ２８、３０ ガードリング ２８ａ、３０ａ 環状部分 ２８ｂ、３０ｂ 対向端部 ２８ｃ、３０ｃ ガード部分 ３６ コネクタ本体 ３６ａ 底部 ３６ｂ 側壁部 ３６ｃ フランジ ３８ 室 ４０，４２，４４ コネクタ・ターミナル ４６ ハウジング ４６ａ ポート ４６ｂ スリーブ ４６ｃ 自由端部 ４８ 密封リング ５０ 電子回路 ５２ 基板 ５３ 集積回路 ５４，６２ コンデンサ ６４、６６ 抵抗 ９０ シーラント

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力センサであって、縦軸を持ち、外周
   部と第一および第二の対向面を持つ絶縁セラミックから
   形成された比較的硬質な基板を持つ容量性圧力トランス
   ジューサと；外周部と第一および第二の対向面を持つ絶
   縁セラミックから作られた比較的柔軟なダイヤフラムで
   あって、相互に向き合っていて、それぞれが同じ選択さ
   れた角度整合を持ち、第一の各面に対して間隔を持つ基
   板上に収容されたダイヤフラムと；基板の第一の面上の
   中央に配置されている、導電性材料の検出プレートと；
   ソースと；ガードと；互いに離隔した検出ピン収容開口
   部であって、それぞれが、検出プレートと外周部との中
   間位置のところの、基板の第一と第二の面との間を延び
   る開口部と；前記検出プレートから前記検出ピン収容開
   口部へ延びる基板の第一の面上の導電性検出トレース
   と；前記検出プレートの周囲をこの検出プレートから離
   隔して、前記検出トレースに隣接し、この検出トレース
   から離れている対向端部を持つ、全体として連続してい
   ない第一の環状部分を持つ基板上の導電性検出ガード・
   プレートであって、前記基板ガード・プレートの環状部
   分の対向端部に隣接する位置から前記ガード・ピン開口
   部に隣接し、前記検出トレースのどちらかの側面上を、
   この検出トレースから離隔して、また前記検出ピン開口
   部の周囲を、この開口部から離隔している位置まで半径
   方向外側に向かって延びる第二の部分を持つ基板ガード
   ・プレートと、 前記ダイヤフラムが、選択された整合で、前記基板上に
   収容されたとき、各ソース、ガードおよび検出ピン開口
   部と整合している位置で、前記ダイヤフラムの第一の面
   上に形成された検出プレート、ソース、ガード、検出ピ
   ン位置と整合状態にあるダイヤフラムの第一の面の中央
   に配置されていて、前記ソースから前記ソース・ピン位
   置まで延びる前記ダイヤフラム上の導電性ソース・トレ
   ースと；前記ソース・プレートの周囲をこのプレートか
   ら間隔を置いて、前記ソース・プレートに隣接してい
   て、このソース・プレートから離れている対向端部を持
   つ、全体として連続していない第一の環状部を持つダイ
   ヤフラムの第一の面上の導電性ソース・ガード・プレー
   トであって、前記ソース・ガード・プレートの環状部の
   対向端部に隣接する位置から、前記ガード・ピン位置に
   隣接していて、前記ソース・ピン位置のどちらかの側面
   上を、そこから離隔した位置まで、半径方向に外側に向
   かって延びる第二の部分持つソース・ガード・プレート
   と、 前記基板からダイヤフラムを離隔して維持するための絶
   縁スペーサとを備える圧力センサ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の圧力センサにおいて、
   前記スペーサが、全体的に連続していない第一の環状部
   分と、前記外周部に半径方向に隣接する位置との間に配
   置されていて、前記ソース、ガードおよび検出ピン収容
   開口部と整合している開放部を持つガラス環状リングで
   ある圧力センサ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の圧力センサにおいて、
   前記基板およびダイヤフラムが、前記の全体的に連続し
   ていない第一の検出プレート環状部分の整合する外周部
   および端部を持つほぼシリンダ状をしていて、ソース・
   プレート環状部分が、ほぼシリンダ状の基板およびダイ
   ヤフラムの縦軸から選択された距離だけ離れていて、前
   記ガラス環状リングが、このガラス環状リングが、前記
   全体的に連続していない検出プレートの環状部分と、ソ
   ース・プレートの環状部分の両端部に重なるように前記
   の選択した距離より短い内径を持つ円形状の圧力セン
   サ。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の圧力センサにおいて、
   流体受け入れポートを持つハウジングと、前記流体受け
   入れポートに対して露出している前記ダイヤフラムを持
   ち、前記ハウジング内に収容されている、前記圧力トラ
   ンスジューサと；前記ハウジングに取り付けられている
   電気コネクタ装着ターミナルと、前記圧力トランスジュ
   ーサと前記コネクタとの間に形成された室と；前記室内
   に配置され、前記圧力トランスジューサおよび前記ター
   ミナルに電気的に接続している電気回路とをさらに備え
   ている圧力センサ。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の圧力センサにおいて、
   前記ガード・プレートの前記の連続していない第一の環
   状部分、および前記ソース・ガード・プレートが、前記
   ガード・ピン開口部およびガード・ピン位置と半径方向
   に整合している、トレース隙間の凹状の外側の部分によ
   り形成されている圧力センサ。