JPH11337504A - ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 - Google Patents

ガラス板の欠陥識別検査方法および装置

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JPH11337504A
JPH11337504A JP14392398A JP14392398A JPH11337504A JP H11337504 A JPH11337504 A JP H11337504A JP 14392398 A JP14392398 A JP 14392398A JP 14392398 A JP14392398 A JP 14392398A JP H11337504 A JPH11337504 A JP H11337504A
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light
glass plate
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light source
glass
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JP14392398A
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Shinichi Okamura
真一 岡村
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Central Glass Co Ltd
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    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ガラス板中の各種内部欠陥の内、異物欠陥の検
出を目的とし、特に強化ガラスの自爆の原因となる硫化
ニッケル等の異物を検出する。 【解決手段】搬送移動するガラス板に、その下方に設け
た光源より光を照射し、ガラス板の上方に設けたライン
カメラにてガラス板の搬送方向と直交する方向を走査撮
像し、得られた明部と暗部の濃淡信号によりガラス板の
欠陥を検出する方法において、ガラス板中の非遮光性欠
陥を光らせて明部とし、ガラス板中の遮光性異物に遮断
されて暗部となるように光を照射することにより遮光性
異物欠陥を識別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板中の各種
内部欠陥の内、異物欠陥の検出を目的とし、特に強化ガ
ラスの自爆の原因となる硫化ニッケル等の異物を検出す
る方法、装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板の欠陥検出方法、装置に於ける
従来技術としては、レーザーフライングスポットによる
レーザー光の透過光、反射光を利用したものや、ＣＣＤ
ラインカメラやエリアカメラで欠陥を撮像し、画像処理
装置で処理するもの等、それぞれ数多くのものが知られ
ている。
【０００３】例えば、特開昭５４−３９６８１号公報に
開示されているものは、レーザー光を用いた方法であ
り、移動するガラス板に対し、前記移動方向に対して横
断する方向にスポットビームを投射走査する装置と、該
ビームの入射光軸における透過光量を測定する装置、な
らびに前記入射光軸から離れた遠軸における散乱光量を
測定する装置とを有し、かつ、前記透過光量が平常レベ
ルよりも減少している間における前記散乱光量の時間的
変化を媒介として、前記ガラス板に存在する各欠点の種
類を識別する所用機構を具備したガラス板の欠点種類識
別装置が開示されている。
【０００４】また、カメラを用いたものとして、特開平
１−１８９５４９号公報に示される様に、ガラスを搬送
制御する機構と、線状に配置した光源からの光をスリッ
トを通して、ガラスに投光することにより、ガラスの内
部欠点、表面欠点を光の陰影として１次元カメラにて捉
え、２次元データに変換後ガラスの良否を判定するガラ
ス欠点検出装置が開示されている。
【０００５】さらに、実開平３−２７３４３号公報に示
されるように、移動する板ガラスの一表面より隔離して
設けられ板ガラスに光線を照射する点状の光源と、板ガ
ラスの他の表面から隔離して設けられ、該光源から照射
され板ガラスを透過した透過光線により形成される映像
を映写するスクリーンと、該スクリーン上を走査し板ガ
ラスの欠点の映像をラインセンサーにより検出する板ガ
ラス欠点検出装置が開示されている。
【０００６】さらにまた、特開昭６１ー１７６８３８号
公報、特開昭６１ー１７６８３９号公報に見られる様
に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間隔
に複数の線を配設した線列を検査すべき板状体を介して
ＣＣＤカメラで撮像し、光の屈折の違いを利用して背景
の線列の乱れを歪みとして捉えるものがあげられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】強化ガラス板中に硫化
ニッケル（ＮｉＳ）の微粒子が含まれていると自爆の原
因となる為、過去に種々の欠陥検査装置が開発され、未
然に除去する努力が払われてきた。しかし１００％完全
に除去することは難しく、通常、ガラス板の強化後、引
き続いて一定時間加熱試験を行い、硫化ニッケルの微粒
子が含まれているガラス板を強制的に自爆させ、自爆し
なかった良品のみを市場に出荷するようにしているが、
ガラス板のハンドリング等の作業が発生するため、作業
効率が良くない。
【０００８】また、ガラス板の欠陥はその種類によって
許容されるサイズが異なり、例えば内部欠陥の代表的な
ものであるアワの許容サイズは一般建築用強化ガラスで
は、ミリオーダー程度であるのに対し、硫化ニッケルに
ついては１００ミクロン台であって、同一サイズの欠陥
であっても欠陥の種類によって合否が分かれる。このた
め、欠陥検査装置においては単なる欠陥の大きさではな
く、欠陥種類を識別する必要がある。
【０００９】まず、特開昭５４−３９６８１号公報記載
の発明のように、レーザーフライングスポットによるレ
ーザー光の透過光、反射光を利用したものについては、
装置構成自体が大型化かつ複雑であり、非常に高価格で
あり、非常に微細な欠点の検出が可能であるが、埃等に
よる誤検出も多いという問題点がある。
【００１０】また、特開平１−１８９５４９号記載の発
明のように、線状に配置した光源からの光を１つのスリ
ットを通して移動する板ガラスに投光することにより、
板ガラスの欠点を光の陰影として１次元カメラにて検出
し画像処理する例に於いては、透明板状体に付着した
埃、汚れと欠陥の判別が不可能で、微小欠陥を検出しよ
うとすると、埃、汚れなどを誤検出してしまうという問
題点がある。
【００１１】さらに、実開平３−２７３４３号記載の発
明のように、移動する板ガラスに点状の光源による光線
を照射し、板硝子を透過後のスクリーンへの投影像を１
次元カメラにて走査し、欠点による明暗部を検出する例
においては、歪み欠陥の検出は可能であるが、外乱（外
部光、埃、汚れ等）の影響を受け易く、また微細な欠陥
の検出もできないという問題点がある。
【００１２】さらにまた、特開昭６１−１７６８３８〜
９号記載の発明の様に、検出すべき欠点部の大きさより
も狭い間隔で等間隔な複数の線列を透明な板状体を介し
て観察し、欠点部を線列の乱れとして、カメラで検出処
理する例に於いては、透明板状体の種々の欠点中、微小
な欠点の検出に於て、同方法を当てはめようとすると線
列の間隔もミクロン単位の極細のものが必要となり、現
実的でない。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと
欠点の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまうと
いう問題点がある。
【００１３】本発明は、従来困難であった非常に微細な
１００ミクロン程度の硫化ニッケルの微粒子と泡等とを
選別し、主として硫化ニッケルの微粒子を確実に検出
し、塵埃や汚れの影響も受けず、非常にコンパクトで安
価に、しかも確実、かつ速いタクトで自動的に全数検査
できることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガラス板Ｇを
強化したときに自爆の原因となる硫化ニッケルの球状微
粒子等の遮光性の高い異物の検出を目的としたもので、
それ以上のサイズであっても規格で定められたある大き
さまでは欠陥とならないアワ等の欠陥については意識的
に検出しないようにした方法、および装置である。
【００１５】すなわち、本発明は、搬送移動するガラス
板に、その下方に設けた光源より光を照射し、ガラス板
の上方に設けたラインカメラにてガラス板の搬送方向と
直交する方向を走査撮像し、得られた明部と暗部の濃淡
信号によりガラス板の欠陥を検出する方法において、ガ
ラス板中の非遮光性欠陥を光らせて明部とし、ガラス板
中の遮光性異物に遮断されて暗部となるように光を照射
することにより遮光性異物欠陥を識別し、あるいは、光
源として面状光源を用い、該光源とガラス板間に拡散板
を設け、該拡散板によりラインカメラの走査線近傍のガ
ラス板に弱い透過光と強い拡散光が照射されるようにし
たガラス板の欠陥識別検査方法と、ガラス板を搬送させ
る搬送コンベアと、ガラス板面の上方よりガラス板面を
幅方向に走査するラインカメラと、撮像による濃淡信号
を処理し欠陥を判定する判定処理手段と、ガラス板の下
方より光を照射する面状光源と、面状光源とガラス板間
に設けた面状光源からの光の拡散板と、該拡散板上に該
ラインカメラの走査線と長手方向の中心線とが略一致す
るように貼付し、ラインカメラの走査領域への面状光源
からの可視光透過率を下げる細長いシートと、からなる
ガラス板の欠陥識別検査装置を提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の装置を図１、図２に示
す。ガラス板Ｇを水平姿勢で搬送する搬送コンベア２０
と、該ガラス板Ｇの下方に上部面を開口した光源ボック
ス６を載置する。該光源ボックス６内に複数本の高周波
蛍光灯５を水平方向に縦横に並設して面状とし、上方に
向けて光を照射する面状光源７と、前記光源ボックス６
の上部開口部に面状光源からの光の拡散板８を設け、該
拡散板８が面状光源７とガラス板Ｇ間となるように配置
し、該拡散板８上にはラインカメラ１０の走査領域への
面状光源７からの可視光透過率を下げる細長いテープ状
のシート９を貼付した。シート９の可視光透過率は１０
〜１５％程度が好ましい。
【００１７】一方、ガラス板Ｇ面の上方には、搬送され
るガラス板Ｇの搬送方向と直交する幅方向に走査する少
なくとも１台以上のラインカメラ１０を架台１２上に一
列に取り付けるが、該ラインカメラ１０の台数は、ガラ
ス板Ｇの幅に応じて決定すれば良い。
【００１８】また、該ラインカメラ１０は、ガラス板Ｇ
が広幅の場合は複数台のラインカメラ１０、１０・・に
より走査幅を分担し、各ラインカメラ１０、１０・・の
走査線の両端部と隣接するラインカメラ１０の走査線と
が若干重なるようにして走査漏れの無いようにした。
【００１９】さらに、該ラインカメラ１０の位置は、そ
の走査線と前記細長いテープ状のシート９の長手方向の
中心線とが略一致するような位置とし、走査線の方向は
ラインカメラの真下にある前記シート９の方向とした。
【００２０】また、該ラインカメラ１０はＣＣＤカメラ
が望ましいがこれに限るものではなく、またその焦点位
置をガラス板Ｇに合わせるようにした。ラインカメラ１
０で走査撮像した原画像データはカメラコントローラー
１１により電気信号に変換され、各画素毎に多段階、例
えば２５６階調の濃信号（暗信号）と淡信号（明信号）
に変換される。
【００２１】さらに画像処理装置１２により所望のレベ
ルを境界として二値化処理され、「１」（濃信号）と
「０」（淡信号）の二種類の信号に変換され、各画素が
「１」（濃信号）となる場合を欠陥、「０」（淡信号）
となる場合を良品とし、「１」となる濃信号位置のＸＹ
座標をパーソナル・コンピューターに送信し、コンピュ
ーターにて最終的に合否を判定する判定処理手段とから
なる。
【００２２】次ぎに、本発明の作用、および異物欠陥の
検出方法について述べる。図１に示すように、光源ボッ
クス６上の上部側開口部に設けた拡散板８上に部分的に
細長いシート９を貼着するようにしたので、ガラス板Ｇ
中の欠陥２が走査線上を通過すると、該欠陥２は拡散板
８とシート９の両方を通過する真下方向から照射する光
と、シート９の両サイドの拡散板８から斜め方向に照射
する光の両方の光によって照射される。
【００２３】前記拡散板８上に貼着した細長いシート９
は、シート９を細長くしたことにより、アワにシートの
両側から拡散光を照射でき、アワを明側に光らせて、硫
化ニッケルとアワの輝度レベルを区別し、前記拡散板８
に対して、可視光透過率を制限するが、硫化ニッケルは
遮光性が高いので照射された光は遮断され暗部となるの
で、「暗信号」となる。
【００２４】つまり、ガラス板Ｇ中の遮光性の高い硫化
ニッケルのような異物欠陥２がラインカメラ１０の走査
線上を通過するときは、拡散板８から照射される斜めか
らの拡散光があっても、拡散板８とシート９を通過する
真下からの透過光を該異物欠陥２によって遮光し、図３
（ロ）に示すように該異物欠陥２の部分が周辺部に比べ
て「暗信号」となる。
【００２５】一方、ガラス板Ｇ中のアワ等が走査線上を
通過するときは、拡散板８から照射される斜めからの光
によってアワが白く光り、ラインカメラ１０で該アワを
撮像すると図３（イ）に示すように、周辺部に比べて高
輝度となって明部となるので、「明信号」となる。
【００２６】このように、拡散板８が無いとアワが暗部
として検出されるところを、拡散板８による拡散光によ
って、逆にアワを明部とし、暗部となる硫化ニッケルと
区別できる。また、ゴミ、ホコリ、汚れについても拡散
板８からの拡散光によって明部側となり、同様に区別で
きる。
【００２７】このため、撮像した明暗の輝度信号の波形
の暗部側のあるスライスレベルを境界として、暗部側を
欠陥とすれば、アワを欠陥と判定することなく、遮光性
の高い硫化ニッケルのような異物欠陥のみを欠陥２と判
定することができる。
【００２８】また、図１に示すように、搬送コンベア２
０により搬送ロール２１上を搬送するガラス板Ｇの上方
にガラス板Ｇの幅方向に一列に設けた複数台のラインカ
メラ１０、１０・・により、ガラス板Ｇの全幅を分割し
て走査するが、各ラインカメラ１０、１０・・によって
撮像された画像データはラインカメラ１０、１０、・・
のコントローラー１１によって取り込まれ、輝度レベル
を表す電気信号に変換後、画像処理装置１３に取り込ま
れ、ガラス板Ｇの検査幅方向の各ラインカメラの走査位
置に合わせて重ね合わせ合成される。
【００２９】得られた輝度波形について設定したスライ
スレベルで二値化し、明信号「０」と暗信号「１」に分
け、パソコン等にそのＸ座標（搬送方向）、Ｙ座標（ガ
ラス板の幅方向）等を記憶させ、暗信号の画素数が規定
数より大の場合、欠陥と判別する。
【００３０】このようにしてガラス板Ｇを複数台のライ
ンカメラ１０、１０、・・で走査すると共に、搬送コン
ベア２０の搬送ロール２１、２１、・・を回転させてガ
ラス板Ｇを搬送させることにより、ガラス板Ｇの全面に
ついて遮光性の異物欠陥２の検出を行うことができる。
【００３１】さらに、得られた結果をパソコン１４等に
出力して記憶処理させれば、前記ラインカメラ１０、１
０、・・の搬送コンベア２０による搬送位置と合わせ
て、ガラス板ＧのＸ軸、Ｙ軸方向の欠陥位置、大きさ等
の欠陥情報を記憶し、また管理情報を得ることが出来
る。さらに、前記欠陥情報を利用し、後工程においてパ
ソコン等の指示制御に基づいて欠陥と判定された部分を
含むガラス板を切断除去し、あるいは各種管理情報に加
工することもできる。
【００３２】以上のようにして、ガラス板Ｇの内部欠陥
の内、強化処理した後で自爆の原因となる硫化ニッケル
（ＮｉＳ）等を暗信号化させて欠陥とし、一方では、同
等以上のサイズであっても欠陥とみなさないアワについ
ては明信号化させ、欠陥とならないようにした。
【００３３】次ぎに、図６に示すように、光源ボックス
６については、高周波蛍光灯５を一列に並べ、その両側
に鏡を設け、光源ボックス６の上部開口部に拡散板８を
設けるようにして、拡散板８が面状となるようにしたも
のでも良い。
【００３４】拡散板８は一般的に使用されている市販の
乳白色のアクリル板を用いたが、摺りガラス板等を用い
ても良く、また光を拡散するものであればこれらに限る
ものではなく、他の樹脂板等を用いても良い。
【００３５】可視光線を制限するシート９は例えば合成
樹脂等からなる透光性の薄い半透明、または不透明の材
料からなり、透過率が制限されるものであれば着色の有
無も問わない。
【００３６】また、シート９を拡散板８上に貼付するよ
うにしたが、拡散板８の下面に貼付しても良く、また拡
散板８にはめ込むようにしても良い。本発明の実施例で
は、１つの光源で拡散板８とシート９によって可視光透
過率に差を設けるようにしたが、強い拡散光を有する光
源と、弱い透過光の２種類の光源を用いて、欠陥２を照
射するようにしても良い。
【００３７】
【実施例】以下に説明する実施例は一例に過ぎず、本発
明はこの数字に限定されるものではない。 ［実施例］まず、ガラス板Ｇの上部に設けるラインカメ
ラ１０の分解能、つまり一画素の大きさは、ガラス板Ｇ
中に存在する検出すべき最小の欠陥のサイズによって決
定される。
【００３８】また、ラインカメラ１０の台数について
も、検査するガラス板Ｇの幅とラインカメラ１０の分解
能等の性能によって決定される。また、面状光源７につ
いては、例えば１５０ｍｍ幅の光源ボックス６内に、高
周波蛍光灯５を縦横に並列させ、光源ボックス６の上部
開口部に厚さ５ｍｍ程度の拡散板８を設け、さらに拡散
板８の長手方向に平行な方向で拡散板８の上部中央部に
可視光線透過率が１０〜１５％の例えば５〜１０ｍｍ幅
程度のシート９を貼着した。
【００３９】本発明の装置の光学系でガラス板Ｇ中のア
ワや硫化ニッケルを撮像したところ、アワについては、
図４（イ）、硫化ニッケルについては、図４（ロ）に示
すような信号波形が得られ、アワは周辺部に比べて「明
信号」となり、逆に硫化ニッケルについては周辺部に比
べて「暗信号」となり、アワと硫化ニッケルとを識別し
て検出することができる。 ［比較例１］図４（ハ）に示すような、光源５からの光
を欠陥部２に向けて照射し、ガラス板中を透過させて同
一方向にあるラインカメラで撮像する正透過の光学系に
おいて、搬送するガラス板Ｇの下方に、上部側開口部に
拡散板８を設けた光源ボックス６を設け、該光源ボック
ス６からの光をガラス板Ｇに照射し、ガラス板Ｇの上方
に設けたラインカメラ１０でガラス板Ｇ中のアワや硫化
ニッケルを撮像したところ、アワについては図４
（イ）、硫化ニッケルについては図４（ロ）に示すよう
な信号波形が得られ、アワおよび硫化ニッケルのいずれ
も周辺部に比べて「暗信号」となり、アワと硫化ニッケ
ルとを区別することができない。 ［比較例２］図５（ハ）に示すような、光源５からの光
を欠陥部２で拡散透過させる拡散透過の光学系におい
て、搬送するガラス板Ｇの斜め下方に、２つの光源５を
設け、該光源５からの光をガラス板Ｇとラインカメラ１
０の走査線との交点近傍に照射し、ガラス板Ｇの上方に
設けたラインカメラ１０でガラス板Ｇ中のアワや硫化ニ
ッケルを撮像したところ、アワについては図５（イ）、
硫化ニッケルについては図５（ロ）に示すような信号波
形が得られ、アワは周辺部に比べて「明信号」となり、
硫化ニッケルについては周辺部と同一のレベルとなり検
出することができない。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、非常にシンプルかつ、
非常に安価な構造にして、ガラス板の表面に付着した汚
れや塵埃の影響を全く受けることなく、遮光性の異物欠
陥のみを検出し、大きくても許容範囲内であるアワ等は
検出しないようにすることができる。
【００４１】このため、微小なサイズの欠陥の検出時
に、許容範囲内のサイズのアワを含んだガラス板を不良
品として処理してしまうことがない。また、ガラス板を
強化した後で、太陽光等の熱により加熱され、自爆する
原因となる微小な硫化ニッケルの検出はもちろん、その
他の遮光性の異物欠陥の検出が可能となり、従来行って
きたガラス板の強化後の加熱試験による強制的な自爆処
理が不要となり、生産性、作業性が大幅にアップでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例である欠陥識別検査装置の概略
側面図。
【図２】本発明の欠陥識別検査装置の斜視図。
【図３】（イ）本発明の光学系によりアワをラインカメ
ラで撮像した時の輝度信号波形。 （ロ）本発明の光学系により硫化ニッケル（ＮｉＳ）を
ラインカメラで撮像した時の輝度信号波形。
【図４】（イ）従来の正透過の光学系によりアワをライ
ンカメラで撮像した時の輝度信号波形。 （ロ）従来の正透過の光学系により硫化ニッケル（Ｎｉ
Ｓ）をラインカメラで撮像した時の輝度信号波形。 （ハ）従来の正透過の光学系を示す概略図。
【図５】（イ）従来の拡散透過の光学系によりアワをラ
インカメラで撮像した時の輝度信号波形。 （ロ）従来の拡散透過の光学系により硫化ニッケル（Ｎ
ｉＳ）をラインカメラで撮像した時の輝度信号波形。 （ハ）従来の拡散透過の光学系を示す概略図。
【図６】本発明の変形実施例を説明する欠陥識別検査装
置の概略側面図。
【符号の説明】
Ｇ ガラス板 １ 欠陥識別検査装置 ２ 欠陥 ６ 光源ボックス ７ 面状光源 ８ 拡散板 ９ シート １０ ラインカメラ １１ コントローラー １２ 架台 １３ 画像処理装置 １４ パソコン ２０ 搬送コンベア ２１ 搬送ロール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】搬送移動するガラス板に、その下方に設け
    た光源より光を照射し、ガラス板の上方に設けたライン
    カメラにてガラス板の搬送方向と直交する方向を走査撮
    像し、得られた明部と暗部の濃淡信号によりガラス板の
    欠陥を検出する方法において、ガラス板中の非遮光性欠
    陥を光らせて明部とし、ガラス板中の遮光性異物に遮断
    されて暗部となるように光を照射することにより遮光性
    異物欠陥を識別することを特徴とするガラス板の欠陥識
    別検査方法。
  2. 【請求項２】光源として面状光源を用い、該光源とガラ
    ス板間に拡散板を設け、該拡散板によりラインカメラの
    走査線近傍のガラス板に弱い透過光と強い拡散光が照射
    されるようにしたことを特徴とする請求項１記載のガラ
    ス板の欠陥識別検査方法。
  3. 【請求項３】ガラス板を搬送させる搬送コンベアと、ガ
    ラス板面の上方よりガラス板面を幅方向に走査するライ
    ンカメラと、撮像による濃淡信号を処理し欠陥を判定す
    る判定処理手段と、ガラス板の下方より光を照射する面
    状光源と、面状光源とガラス板間に設けた面状光源から
    の光の拡散板と、該拡散板上に該ラインカメラの走査線
    と長手方向の中心線とが略一致するように貼付し、ライ
    ンカメラの走査領域への面状光源からの可視光透過率を
    下げる細長いシートと、からなることを特徴とするガラ
    ス板の欠陥識別検査装置。
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004108790A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Dainippon Printing Co Ltd 光散乱透過物の検査方法及び装置
JP2006266933A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透明板状体の欠点検査方法及び欠点検査装置
JP2008519257A (ja) * 2004-10-28 2008-06-05 コーニング インコーポレイテッド 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法
JP2009537022A (ja) * 2006-05-12 2009-10-22 コーニング インコーポレイテッド 透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法
JP2009276165A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Panasonic Corp 基板検査装置
JP2010014463A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Olympus Corp 光学素子の測定方法及び光学素子の製造方法
JP2010519515A (ja) * 2007-02-16 2010-06-03 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 自動検査用に材料を照明するための方法及び装置
JP2010286350A (ja) * 2009-06-11 2010-12-24 Mec:Kk 欠陥検査装置
JP2011043415A (ja) * 2009-08-21 2011-03-03 Central Glass Co Ltd ガラス板面の付着物の検出方法および装置
JP2011095260A (ja) * 2009-10-28 2011-05-12 Corning Inc 透過方式測定のための軸外シート取扱装置および技術
CN103154710A (zh) * 2010-09-24 2013-06-12 格林策巴赫机械制造有限公司 在连续生产浮制玻璃中检测瑕疵的装置及方法
WO2013097215A1 (en) * 2011-12-31 2013-07-04 Saint-Gobain Glass France An illumination system for detecting the defect in a transparent substrate and a detection system including the same
KR20140007988A (ko) * 2012-07-09 2014-01-21 엘지디스플레이 주식회사 글라스 기판의 검사장치, 이를 이용한 검사방법 및 증착장치
JP2014059292A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Hoya Corp マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び検査装置
JP2015075483A (ja) * 2013-10-10 2015-04-20 英治 神谷 光透過性フィルムの欠陥検出方法
JP2015172774A (ja) * 2009-11-25 2015-10-01 株式会社Ｖｎシステムズ プリアライメント装置及びプリアライメント方法
JP2016540996A (ja) * 2013-11-04 2016-12-28 トムラ・ソーティング・エヌ・ヴィ 検査装置
CN106526917A (zh) * 2016-12-07 2017-03-22 北京工业大学 一种采用线阵相机扫描的液晶屏点阵检测装置
CN106990119A (zh) * 2017-04-27 2017-07-28 中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司 一种自动检测白玻表面缺陷的视觉检测系统及检测方法
CN108603847A (zh) * 2016-02-05 2018-09-28 东丽株式会社 片状物的检查装置及片状物的检查方法
FR3101947A1 (fr) * 2019-10-15 2021-04-16 Compagnie Plastic Omnium Se Dispositif et procédé pour l’évaluation de la qualité d’un revêtement
CN115704777A (zh) * 2021-08-05 2023-02-17 Ykk株式会社 检查用图像获取装置、检查用图像获取方法以及检查装置

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004108790A (ja) * 2002-09-13 2004-04-08 Dainippon Printing Co Ltd 光散乱透過物の検査方法及び装置
JP2008519257A (ja) * 2004-10-28 2008-06-05 コーニング インコーポレイテッド 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法
JP2006266933A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透明板状体の欠点検査方法及び欠点検査装置
JP2009537022A (ja) * 2006-05-12 2009-10-22 コーニング インコーポレイテッド 透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法
EP2126552A4 (en) * 2007-02-16 2016-04-20 3M Innovative Properties Co METHOD AND APPARATUS FOR LIGHTING MATERIAL FOR AUTOMATED INSPECTION
JP2010519515A (ja) * 2007-02-16 2010-06-03 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 自動検査用に材料を照明するための方法及び装置
JP2009276165A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Panasonic Corp 基板検査装置
JP2010014463A (ja) * 2008-07-02 2010-01-21 Olympus Corp 光学素子の測定方法及び光学素子の製造方法
JP2010286350A (ja) * 2009-06-11 2010-12-24 Mec:Kk 欠陥検査装置
JP2011043415A (ja) * 2009-08-21 2011-03-03 Central Glass Co Ltd ガラス板面の付着物の検出方法および装置
JP2011095260A (ja) * 2009-10-28 2011-05-12 Corning Inc 透過方式測定のための軸外シート取扱装置および技術
JP2015172774A (ja) * 2009-11-25 2015-10-01 株式会社Ｖｎシステムズ プリアライメント装置及びプリアライメント方法
CN103154710A (zh) * 2010-09-24 2013-06-12 格林策巴赫机械制造有限公司 在连续生产浮制玻璃中检测瑕疵的装置及方法
JP2013539026A (ja) * 2010-09-24 2013-10-17 グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー 切れ目なく製造されたフロートガラスの欠陥を検出するための装置およびその方法
US8958063B2 (en) 2011-12-31 2015-02-17 Saint-Gobain Glass France Illumination system for detecting the defect in a transparent substrate and a detection system including the same
WO2013097215A1 (en) * 2011-12-31 2013-07-04 Saint-Gobain Glass France An illumination system for detecting the defect in a transparent substrate and a detection system including the same
KR20140007988A (ko) * 2012-07-09 2014-01-21 엘지디스플레이 주식회사 글라스 기판의 검사장치, 이를 이용한 검사방법 및 증착장치
JP2014059292A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Hoya Corp マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び検査装置
JP2015075483A (ja) * 2013-10-10 2015-04-20 英治 神谷 光透過性フィルムの欠陥検出方法
JP2016540996A (ja) * 2013-11-04 2016-12-28 トムラ・ソーティング・エヌ・ヴィ 検査装置
CN108603847A (zh) * 2016-02-05 2018-09-28 东丽株式会社 片状物的检查装置及片状物的检查方法
EP3413037A4 (en) * 2016-02-05 2019-08-07 Toray Industries, Inc. TEST EQUIPMENT FOR SHEET-LIKE OBJECTS AND TEST PROCEDURES FOR SHEET-LIKE OBJECTS
CN106526917A (zh) * 2016-12-07 2017-03-22 北京工业大学 一种采用线阵相机扫描的液晶屏点阵检测装置
CN106990119A (zh) * 2017-04-27 2017-07-28 中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司 一种自动检测白玻表面缺陷的视觉检测系统及检测方法
FR3101947A1 (fr) * 2019-10-15 2021-04-16 Compagnie Plastic Omnium Se Dispositif et procédé pour l’évaluation de la qualité d’un revêtement
CN115704777A (zh) * 2021-08-05 2023-02-17 Ykk株式会社 检查用图像获取装置、检查用图像获取方法以及检查装置

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