JPH11340806A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPH11340806A JPH11340806A JP10142003A JP14200398A JPH11340806A JP H11340806 A JPH11340806 A JP H11340806A JP 10142003 A JP10142003 A JP 10142003A JP 14200398 A JP14200398 A JP 14200398A JP H11340806 A JPH11340806 A JP H11340806A
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- power supply
- potential
- mosfet
- supply voltage
- voltage
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】 スタンバイ時においてMOSFETのゲート
酸化膜に印加される電圧を小さくし、スタンバイ電流判
定のためのIddQ試験等を容易に実施できるようにす
る。 【解決手段】 論理回路部LCのCMOS論理ゲートを
構成するPチャンネルMOSFETP1のソースと電源
電圧VCCとの間に、そのゲート電位VPが、通常動作
時は電源電圧VCCより絶対値の大きな第1の電位とさ
れ、待機時には電源電圧VCCと同電位又は電源電圧V
CCより絶対値の小さな第2の電位とされるNチャンネ
ルMOSFETN51を設けるとともに、CMOS論理
ゲートを構成するNチャンネルMOSFETN1のソー
スと接地電位VSSとの間に、そのゲート電位VMが、
通常動作時は接地電位VSSより低い負電位の第3の電
位とされ、待機時には接地電位VSSと同電位又は接地
電位VSSよりやや高い第4の電位とされるPチャンネ
ルMOSFETP51を設ける。
酸化膜に印加される電圧を小さくし、スタンバイ電流判
定のためのIddQ試験等を容易に実施できるようにす
る。 【解決手段】 論理回路部LCのCMOS論理ゲートを
構成するPチャンネルMOSFETP1のソースと電源
電圧VCCとの間に、そのゲート電位VPが、通常動作
時は電源電圧VCCより絶対値の大きな第1の電位とさ
れ、待機時には電源電圧VCCと同電位又は電源電圧V
CCより絶対値の小さな第2の電位とされるNチャンネ
ルMOSFETN51を設けるとともに、CMOS論理
ゲートを構成するNチャンネルMOSFETN1のソー
スと接地電位VSSとの間に、そのゲート電位VMが、
通常動作時は接地電位VSSより低い負電位の第3の電
位とされ、待機時には接地電位VSSと同電位又は接地
電位VSSよりやや高い第4の電位とされるPチャンネ
ルMOSFETP51を設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体集積回路装
置に関し、例えば、CMOS論理ゲートを基本素子とす
る論理回路を含むシングルチップマイクロコンピュータ
等ならびにその高速化及び低消費電力化に利用して特に
有効な技術に関する。
置に関し、例えば、CMOS論理ゲートを基本素子とす
る論理回路を含むシングルチップマイクロコンピュータ
等ならびにその高速化及び低消費電力化に利用して特に
有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】Pチャンネル及びNチャンネルMOSF
ET(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この
明細書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果
トランジスタの総称とする)が組み合わされてなるいわ
ゆるCMOS(相補型MOS)論理ゲートをその基本素
子とする論理回路があり、このような論理回路を含むシ
ングルチップマイクロコンピュータ(以下、単にマイク
ロコンピュータと略称する)等の半導体集積回路装置が
ある。
ET(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この
明細書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果
トランジスタの総称とする)が組み合わされてなるいわ
ゆるCMOS(相補型MOS)論理ゲートをその基本素
子とする論理回路があり、このような論理回路を含むシ
ングルチップマイクロコンピュータ(以下、単にマイク
ロコンピュータと略称する)等の半導体集積回路装置が
ある。
【0003】一方、近年における半導体集積回路の微細
化・高集積化技術の進歩は目覚ましく、マイクロコンピ
ュータ等もその恩恵を受けて大規模化の一途にある。ま
た、半導体集積回路の微細化にともなう素子の耐圧破壊
を防止し、大規模化されたマイクロコンピュータ等の低
消費電力化を図るために動作電源の低電圧化が進みつつ
あり、例えば+3.3V(ボルト)又は+2.5Vとい
った絶対値の小さな電源電圧VCCを動作電源とするマ
イクロコンピュータ等も開発されつつある。しかしなが
ら、半導体集積回路の微細化は、必ずしもMOSFET
のしきい値電圧の低減に寄与せず、動作電源の低電圧化
は、その一方でMOSFETの動作電流を小さくしてマ
イクロコンピュータ等の高速動作の妨げとなる。
化・高集積化技術の進歩は目覚ましく、マイクロコンピ
ュータ等もその恩恵を受けて大規模化の一途にある。ま
た、半導体集積回路の微細化にともなう素子の耐圧破壊
を防止し、大規模化されたマイクロコンピュータ等の低
消費電力化を図るために動作電源の低電圧化が進みつつ
あり、例えば+3.3V(ボルト)又は+2.5Vとい
った絶対値の小さな電源電圧VCCを動作電源とするマ
イクロコンピュータ等も開発されつつある。しかしなが
ら、半導体集積回路の微細化は、必ずしもMOSFET
のしきい値電圧の低減に寄与せず、動作電源の低電圧化
は、その一方でMOSFETの動作電流を小さくしてマ
イクロコンピュータ等の高速動作の妨げとなる。
【0004】これに対処するため、MOSFETのしき
い値電圧を小さくして、CMOS論理ゲートの高速動作
を確保する方法もあるが、MOSFETのしきい値電圧
が小さくなると例えば待機時(32KHz程度の低速動
作時あるいはスタンバイモード時)におけるCMOS論
理ゲートのリーク電流が大きくなり、マイクロコンピュ
ータ等の待機時の消費電力が大きくなる。したがって、
近年のマイクロコンピュータ等では、通常動作時はMO
SFETの基板電圧を浅くし、そのしきい値電圧を小さ
くして高速動作を優先し、待機時つまりスタンバイモー
ド時には、MOSFETの基板電圧を深くし、そのしき
い値電圧を大きくして低消費電力化を優先するいわゆる
VT(Variable Threshold−vol
tage)方式や、CMOS論理ゲートの電源供給経路
にしきい値電圧の大きなMOSFETを設け、待機時に
はこのMOSFETを介してCMOS論理ゲートに動作
電源を供給するいわゆるMT(Multi−Thres
hold)方式をとるケースが多くなりつつある。
い値電圧を小さくして、CMOS論理ゲートの高速動作
を確保する方法もあるが、MOSFETのしきい値電圧
が小さくなると例えば待機時(32KHz程度の低速動
作時あるいはスタンバイモード時)におけるCMOS論
理ゲートのリーク電流が大きくなり、マイクロコンピュ
ータ等の待機時の消費電力が大きくなる。したがって、
近年のマイクロコンピュータ等では、通常動作時はMO
SFETの基板電圧を浅くし、そのしきい値電圧を小さ
くして高速動作を優先し、待機時つまりスタンバイモー
ド時には、MOSFETの基板電圧を深くし、そのしき
い値電圧を大きくして低消費電力化を優先するいわゆる
VT(Variable Threshold−vol
tage)方式や、CMOS論理ゲートの電源供給経路
にしきい値電圧の大きなMOSFETを設け、待機時に
はこのMOSFETを介してCMOS論理ゲートに動作
電源を供給するいわゆるMT(Multi−Thres
hold)方式をとるケースが多くなりつつある。
【0005】VT方式及びMT方式については、例え
ば、『日経マイクロデバイス』1996年8月号の第5
0頁〜第66頁に記載されている。
ば、『日経マイクロデバイス』1996年8月号の第5
0頁〜第66頁に記載されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記VT方
式をとった場合、比較的大規模の基板電圧発生回路が必
要となり、マイクロコンピュータ等の所要素子数が増大
するとともに、基板電圧が待機時に深くされることで、
基板電圧発生回路の待機時における消費電力が無視でき
なくなり、マイクロコンピュータ等の待機時における消
費電力を思うように低減できない。また、例えばNチャ
ンネルMOSFETのしきい値電圧を充分な低消費電力
化が見込まれる0.1V〜0.5V程度に小さくするに
は、基板電圧を−3.3V程度にすることが必要となる
が、この場合、MOSFETのゲート酸化膜にはVCC
+3.3Vの電圧が印加され、これによってMOSFE
Tの耐圧破壊を招き、マイクロコンピュータ等の信頼性
が低下する。
式をとった場合、比較的大規模の基板電圧発生回路が必
要となり、マイクロコンピュータ等の所要素子数が増大
するとともに、基板電圧が待機時に深くされることで、
基板電圧発生回路の待機時における消費電力が無視でき
なくなり、マイクロコンピュータ等の待機時における消
費電力を思うように低減できない。また、例えばNチャ
ンネルMOSFETのしきい値電圧を充分な低消費電力
化が見込まれる0.1V〜0.5V程度に小さくするに
は、基板電圧を−3.3V程度にすることが必要となる
が、この場合、MOSFETのゲート酸化膜にはVCC
+3.3Vの電圧が印加され、これによってMOSFE
Tの耐圧破壊を招き、マイクロコンピュータ等の信頼性
が低下する。
【0007】一方、上記MT方式を採った場合、待機時
にしきい値電圧の高いMOSFETがオフ状態とされる
ことで各内部ノードのデータ保持が必要となり、そのた
めのフリップフロップ等の追加によってマイクロコンピ
ュータ等の所要素子数が増大する。また、各MOSFE
Tの素子破壊を考慮すると、比較的絶対値の大きな電源
電圧を印加して行われるスタンバイ電流判定のためのい
わゆるIddQ試験が困難となり、マイクロコンピュー
タ等の信頼性が低下する。
にしきい値電圧の高いMOSFETがオフ状態とされる
ことで各内部ノードのデータ保持が必要となり、そのた
めのフリップフロップ等の追加によってマイクロコンピ
ュータ等の所要素子数が増大する。また、各MOSFE
Tの素子破壊を考慮すると、比較的絶対値の大きな電源
電圧を印加して行われるスタンバイ電流判定のためのい
わゆるIddQ試験が困難となり、マイクロコンピュー
タ等の信頼性が低下する。
【0008】この発明の目的は、その所要素子数の増大
を抑えつつ、低速動作時あるいはスタンバイ時における
消費電力の低減を図ったマイクロコンピュータ等を提供
することにある。この発明の他の目的は、スタンバイ時
にMOSFETのゲート酸化膜に印加される電圧を小さ
くし、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験等を容
易に実施できるようにして、マイクロコンピュータ等の
信頼性を高めることにある。
を抑えつつ、低速動作時あるいはスタンバイ時における
消費電力の低減を図ったマイクロコンピュータ等を提供
することにある。この発明の他の目的は、スタンバイ時
にMOSFETのゲート酸化膜に印加される電圧を小さ
くし、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験等を容
易に実施できるようにして、マイクロコンピュータ等の
信頼性を高めることにある。
【0009】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、CMOS論理ゲートを基本素
子とするマイクロコンピュータ等の半導体集積回路装置
において、CMOS論理ゲートを構成するPチャンネル
型の第1のMOSFETのソースと電源電圧VCCとの
間に、そのゲート電位が、通常動作時は電源電圧VCC
より絶対値の大きな第1の電位とされ、待機時には電源
電圧VCCと同電位又は電源電圧VCCより絶対値の小
さな第2の電位とされるNチャンネル型の第2のMOS
FETを設けるとともに、CMOS論理ゲートを構成す
るNチャンネル型の第3のMOSFETのソースと接地
電位VSSとの間に、そのゲート電位が、通常動作時は
接地電位VSSより低い負の第3の電位とされ、待機時
には接地電位VSSと同電位又は接地電位VSSよりや
や高い第4の電位とされるPチャンネル型の第4のMO
SFETを設ける。また、第1及び第3のMOSFET
の基板部に、通常動作時は各MOSFETのソース電位
あるいは電源電圧VCC又は接地電位VSSをそれぞれ
供給し、待機時には電源電圧VCC又は接地電位VSS
をそれぞれ供給する。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、CMOS論理ゲートを基本素
子とするマイクロコンピュータ等の半導体集積回路装置
において、CMOS論理ゲートを構成するPチャンネル
型の第1のMOSFETのソースと電源電圧VCCとの
間に、そのゲート電位が、通常動作時は電源電圧VCC
より絶対値の大きな第1の電位とされ、待機時には電源
電圧VCCと同電位又は電源電圧VCCより絶対値の小
さな第2の電位とされるNチャンネル型の第2のMOS
FETを設けるとともに、CMOS論理ゲートを構成す
るNチャンネル型の第3のMOSFETのソースと接地
電位VSSとの間に、そのゲート電位が、通常動作時は
接地電位VSSより低い負の第3の電位とされ、待機時
には接地電位VSSと同電位又は接地電位VSSよりや
や高い第4の電位とされるPチャンネル型の第4のMO
SFETを設ける。また、第1及び第3のMOSFET
の基板部に、通常動作時は各MOSFETのソース電位
あるいは電源電圧VCC又は接地電位VSSをそれぞれ
供給し、待機時には電源電圧VCC又は接地電位VSS
をそれぞれ供給する。
【0011】上記した手段によれば、通常動作時は、上
記第2又は第4のMOSFETのしきい値電圧の影響を
受けることなく、電源電圧VCC及び接地電位VSSを
そのままCMOS論理ゲートの動作電源として供給し、
あるいは外部供給される電源電圧VCC又は接地電位V
SSの電位変動の影響を受けない比較的安定した動作電
源をCMOS論理ゲートの動作電源として供給し、待機
時には、その絶対値が上記Pチャンネル又はNチャンネ
ルMOSFETのしきい値電圧分だけ圧縮された電源電
圧VCC及び接地電位VSSをCMOS論理ゲートの動
作電源として供給できるとともに、待機時には、さほど
深い基板電圧を印加することなく、第1及び第3のMO
SFETのソース・基板間を逆バイアス状態とし、その
リーク電流を小さくすることができる。この結果、マイ
クロコンピュータ等のスタンバイ時における低消費電力
化を図り、その信頼性を高めることができる。
記第2又は第4のMOSFETのしきい値電圧の影響を
受けることなく、電源電圧VCC及び接地電位VSSを
そのままCMOS論理ゲートの動作電源として供給し、
あるいは外部供給される電源電圧VCC又は接地電位V
SSの電位変動の影響を受けない比較的安定した動作電
源をCMOS論理ゲートの動作電源として供給し、待機
時には、その絶対値が上記Pチャンネル又はNチャンネ
ルMOSFETのしきい値電圧分だけ圧縮された電源電
圧VCC及び接地電位VSSをCMOS論理ゲートの動
作電源として供給できるとともに、待機時には、さほど
深い基板電圧を印加することなく、第1及び第3のMO
SFETのソース・基板間を逆バイアス状態とし、その
リーク電流を小さくすることができる。この結果、マイ
クロコンピュータ等のスタンバイ時における低消費電力
化を図り、その信頼性を高めることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】図1には、この発明が適用された
マイクロコンピュータ(半導体集積回路装置)の一実施
例のブロック図が示されている。同図をもとに、まずこ
の実施例のマイクロコンピュータの構成及び動作の概要
について説明する。なお、この実施例のマイクロコンピ
ュータは、CMOS論理ゲートを基本素子とし、図1の
各ブロックを構成する回路素子は、公知のCMOS集積
回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1個の
半導体基板面上に形成される。
マイクロコンピュータ(半導体集積回路装置)の一実施
例のブロック図が示されている。同図をもとに、まずこ
の実施例のマイクロコンピュータの構成及び動作の概要
について説明する。なお、この実施例のマイクロコンピ
ュータは、CMOS論理ゲートを基本素子とし、図1の
各ブロックを構成する回路素子は、公知のCMOS集積
回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1個の
半導体基板面上に形成される。
【0013】図1において、この実施例のマイクロコン
ピュータは、特に制限されないが、ストアドプログラム
方式の中央処理装置CPUと、クロック発生回路CPG
と、内部バスIBUSを介して中央処理装置CPUに結
合されるダイレクトメモリアクセスコントローラDMA
C,リードオンリメモリROM,ランダムアクセスメモ
リRAMならびにバスコントローラBSCとを備える。
このうち、バスコントローラBSCは、さらに内部バス
PBUSに結合され、内部バスPBUSには、さらにタ
イマー回路TIM,シリアルコミュニケーションインタ
ーフェイスSCIならびに9個の入出力ポートIOP1
〜IOP9が結合される。入出力ポートIOP1〜IO
P5は、さらに内部バスIBUSにも結合される。
ピュータは、特に制限されないが、ストアドプログラム
方式の中央処理装置CPUと、クロック発生回路CPG
と、内部バスIBUSを介して中央処理装置CPUに結
合されるダイレクトメモリアクセスコントローラDMA
C,リードオンリメモリROM,ランダムアクセスメモ
リRAMならびにバスコントローラBSCとを備える。
このうち、バスコントローラBSCは、さらに内部バス
PBUSに結合され、内部バスPBUSには、さらにタ
イマー回路TIM,シリアルコミュニケーションインタ
ーフェイスSCIならびに9個の入出力ポートIOP1
〜IOP9が結合される。入出力ポートIOP1〜IO
P5は、さらに内部バスIBUSにも結合される。
【0014】マイクロコンピュータには、外部端子VC
C及びVSSを介して、その動作電源となる電源電圧V
CC及び接地電位VSSがそれぞれ供給される。また、
マイクロコンピュータの中央処理装置CPUには、外部
端子MODE,STBYならびにRESを介してモード
制御信号MODE,スタンバイ信号STBYならびにリ
セット信号RESがそれぞれ供給され、クロック発生回
路CPGには、外部端子XTAL及びEXTALを介し
て所定のクロック信号が供給される。マイクロコンピュ
ータは、さらに、電源電圧VCCを受けて図示されない
各種の内部電圧を生成する電源制御部VCを備えるが、
この電源制御部VC及び関連回路の具体的構成及びその
動作等については、後で詳細に説明する。
C及びVSSを介して、その動作電源となる電源電圧V
CC及び接地電位VSSがそれぞれ供給される。また、
マイクロコンピュータの中央処理装置CPUには、外部
端子MODE,STBYならびにRESを介してモード
制御信号MODE,スタンバイ信号STBYならびにリ
セット信号RESがそれぞれ供給され、クロック発生回
路CPGには、外部端子XTAL及びEXTALを介し
て所定のクロック信号が供給される。マイクロコンピュ
ータは、さらに、電源電圧VCCを受けて図示されない
各種の内部電圧を生成する電源制御部VCを備えるが、
この電源制御部VC及び関連回路の具体的構成及びその
動作等については、後で詳細に説明する。
【0015】この実施例において、マイクロコンピュー
タは、その動作電源の低電圧化が進み、電源電圧VCC
は、+3.3Vのような比較的絶対値の小さな正電位と
される。言うまでもなく、接地電位VSSは0Vとされ
る。
タは、その動作電源の低電圧化が進み、電源電圧VCC
は、+3.3Vのような比較的絶対値の小さな正電位と
される。言うまでもなく、接地電位VSSは0Vとされ
る。
【0016】クロック発生回路CPGは、外部端子XT
AL及びEXTALを介して供給されるクロック信号を
もとに、所定数の位相を有する内部クロック信号を生成
し、マイクロコンピュータの各部に供給する。また、中
央処理装置CPUは、予めリードオンリメモリROMに
格納されたプログラムに従ってステップ制御され、所定
の演算処理を行うとともに、マイクロコンピュータの各
部を統括・制御する。中央処理装置CPUは、さらに、
モード制御信号MODE,スタンバイ信号STBYある
いはリセット信号RESに従って、マイクロコンピュー
タの動作モードを選択的に設定し、又はマイクロコンピ
ュータを選択的にスタンバイ状態つまり待機状態とし、
あるいは選択的にリセットして初期状態とする。
AL及びEXTALを介して供給されるクロック信号を
もとに、所定数の位相を有する内部クロック信号を生成
し、マイクロコンピュータの各部に供給する。また、中
央処理装置CPUは、予めリードオンリメモリROMに
格納されたプログラムに従ってステップ制御され、所定
の演算処理を行うとともに、マイクロコンピュータの各
部を統括・制御する。中央処理装置CPUは、さらに、
モード制御信号MODE,スタンバイ信号STBYある
いはリセット信号RESに従って、マイクロコンピュー
タの動作モードを選択的に設定し、又はマイクロコンピ
ュータを選択的にスタンバイ状態つまり待機状態とし、
あるいは選択的にリセットして初期状態とする。
【0017】一方、ダイレクトメモリアクセスコントロ
ーラDMACは、例えば中央処理装置CPUとリードオ
ンリメモリROM,ランダムアクセスメモリRAMある
いは入出力ポートIOP1〜IOP5との間で直接かつ
連続的に行われるデータ転送を介助する。また、リード
オンリメモリROMは、マスクROMやフラッシュメモ
リ等の不揮発性半導体メモリからなり、中央処理装置C
PUのステップ動作に必要なプログラムや固定データ等
を格納する。さらに、ランダムアクセスメモリRAM
は、例えばスタティック型RAM等の揮発性半導体メモ
リからなり、中央処理装置CPUによる演算結果や制御
データ等を格納する。
ーラDMACは、例えば中央処理装置CPUとリードオ
ンリメモリROM,ランダムアクセスメモリRAMある
いは入出力ポートIOP1〜IOP5との間で直接かつ
連続的に行われるデータ転送を介助する。また、リード
オンリメモリROMは、マスクROMやフラッシュメモ
リ等の不揮発性半導体メモリからなり、中央処理装置C
PUのステップ動作に必要なプログラムや固定データ等
を格納する。さらに、ランダムアクセスメモリRAM
は、例えばスタティック型RAM等の揮発性半導体メモ
リからなり、中央処理装置CPUによる演算結果や制御
データ等を格納する。
【0018】次に、タイマー回路TIMは、クロック発
生回路CPGから供給されるクロック信号に従って時間
管理を行い、中央処理装置CPUの割込み処理等に供す
る。また、シリアルコミュニケーションインターフェイ
スSCIは、外部の入出力装置とマイクロコンピュータ
の中央処理装置CPU又はランダムアクセスメモリRA
M等との間のシリアルデータ転送を高速サポートし、バ
スコントローラBSCは、内部バスIBUS及びPBU
Sに対するバスアクセスを統括・制御する。さらに、入
出力ポートIOP1〜IOP9は、外部に設けられた各
種入出力装置との間の信号授受を介助するインターフェ
イス装置として機能する。
生回路CPGから供給されるクロック信号に従って時間
管理を行い、中央処理装置CPUの割込み処理等に供す
る。また、シリアルコミュニケーションインターフェイ
スSCIは、外部の入出力装置とマイクロコンピュータ
の中央処理装置CPU又はランダムアクセスメモリRA
M等との間のシリアルデータ転送を高速サポートし、バ
スコントローラBSCは、内部バスIBUS及びPBU
Sに対するバスアクセスを統括・制御する。さらに、入
出力ポートIOP1〜IOP9は、外部に設けられた各
種入出力装置との間の信号授受を介助するインターフェ
イス装置として機能する。
【0019】この実施例において、マイクロコンピュー
タの各部は、リードオンリメモリROM,ランダムアク
セスメモリRAM等のモジュールとして形成されるブロ
ックを除き、CMOS論理ゲートを基本素子として構成
され、これらのCMOS論理ゲートを構成するPチャン
ネル及びNチャンネルMOSFETは、動作の高速性を
確保するため、比較的小さなしきい値電圧となるべく設
計される。
タの各部は、リードオンリメモリROM,ランダムアク
セスメモリRAM等のモジュールとして形成されるブロ
ックを除き、CMOS論理ゲートを基本素子として構成
され、これらのCMOS論理ゲートを構成するPチャン
ネル及びNチャンネルMOSFETは、動作の高速性を
確保するため、比較的小さなしきい値電圧となるべく設
計される。
【0020】前述のように、この実施例のマイクロコン
ピュータは、スタンバイ信号STBYが有効レベルとさ
れることで選択的にスタンバイ状態とされ、そのスタン
バイ時における消費電力は極めて小さな値とされる。し
かし、その基本素子となるCMOS論理ゲートが低しき
い値電圧のMOSFETにより構成されることから、M
OSFETのサブスレッショルド電流つまりリーク電流
が大きくなり、これによってマイクロコンピュータのス
タンバイ時における消費電力が増大する。これに対処す
るため、この実施例のマイクロコンピュータでは、CM
OS論理ゲートを構成するPチャンネル又はNチャンネ
ルMOSFETのソース及び基板部の電位を選択的に切
り換え、スタンバイ時におけるリーク電流の低減を図る
電源制御部VCが設けられるが、このことについては後
で詳細に説明する。
ピュータは、スタンバイ信号STBYが有効レベルとさ
れることで選択的にスタンバイ状態とされ、そのスタン
バイ時における消費電力は極めて小さな値とされる。し
かし、その基本素子となるCMOS論理ゲートが低しき
い値電圧のMOSFETにより構成されることから、M
OSFETのサブスレッショルド電流つまりリーク電流
が大きくなり、これによってマイクロコンピュータのス
タンバイ時における消費電力が増大する。これに対処す
るため、この実施例のマイクロコンピュータでは、CM
OS論理ゲートを構成するPチャンネル又はNチャンネ
ルMOSFETのソース及び基板部の電位を選択的に切
り換え、スタンバイ時におけるリーク電流の低減を図る
電源制御部VCが設けられるが、このことについては後
で詳細に説明する。
【0021】図2には、図1のマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部VC1(ここで図1ではVCとして
示した電源制御部を実施例ごとに分別するため、追番を
付して表す。以下同様)及び論理回路部LCの第1の実
施例の回路図が示され、図3には、その一実施例の信号
波形図が示されている。これらの図をもとに、この実施
例のマイクロコンピュータに含まれる電源制御部VC1
及び論理回路部LCの具体的構成及び動作ならびにその
特徴について説明する。なお、論理回路部LCとは、モ
ジュールではなくCMOS論理ゲートを基本素子として
構成される前記中央処理装置CPU,クロック発生回路
CPGならびにダイレクトメモリアクセスコントローラ
DMAC等を包括的に指すものであり、図2には、論理
回路部LCを構成するCMOS論理ゲートのほんの一部
であるインバータV1のみが代表して示される。以下の
回路図において、そのゲートに丸印が付されるMOSF
ETはPチャンネル型(第1導電型)であって、丸印の
付されないNチャンネル型(第2導電型)MOSFET
と区別して示される。
含まれる電源制御部VC1(ここで図1ではVCとして
示した電源制御部を実施例ごとに分別するため、追番を
付して表す。以下同様)及び論理回路部LCの第1の実
施例の回路図が示され、図3には、その一実施例の信号
波形図が示されている。これらの図をもとに、この実施
例のマイクロコンピュータに含まれる電源制御部VC1
及び論理回路部LCの具体的構成及び動作ならびにその
特徴について説明する。なお、論理回路部LCとは、モ
ジュールではなくCMOS論理ゲートを基本素子として
構成される前記中央処理装置CPU,クロック発生回路
CPGならびにダイレクトメモリアクセスコントローラ
DMAC等を包括的に指すものであり、図2には、論理
回路部LCを構成するCMOS論理ゲートのほんの一部
であるインバータV1のみが代表して示される。以下の
回路図において、そのゲートに丸印が付されるMOSF
ETはPチャンネル型(第1導電型)であって、丸印の
付されないNチャンネル型(第2導電型)MOSFET
と区別して示される。
【0022】図2において、この実施例のマイクロコン
ピュータの論理回路部LCは、前述のように、CMOS
論理ゲートを基本素子して構成され、これらのCMOS
論理ゲートは、図のインバータV1に代表されるよう
に、そのドレイン及びゲートがそれぞれ共通結合される
PチャンネルMOSFETP1(第1のMOSFET)
及びNチャンネルMOSFETN1(第3のMOSFE
T)を含む。このうち、インバータV1の高電位側電源
ノードとなるMOSFETP1のソースは、内部電圧供
給線VCLPに結合され、インバータV1の低電位側電
源ノードとなるMOSFETN1のソースは、直接接地
電位VSSに結合される。内部電圧供給線VCLPに
は、図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側電
源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが共
通結合される。
ピュータの論理回路部LCは、前述のように、CMOS
論理ゲートを基本素子して構成され、これらのCMOS
論理ゲートは、図のインバータV1に代表されるよう
に、そのドレイン及びゲートがそれぞれ共通結合される
PチャンネルMOSFETP1(第1のMOSFET)
及びNチャンネルMOSFETN1(第3のMOSFE
T)を含む。このうち、インバータV1の高電位側電源
ノードとなるMOSFETP1のソースは、内部電圧供
給線VCLPに結合され、インバータV1の低電位側電
源ノードとなるMOSFETN1のソースは、直接接地
電位VSSに結合される。内部電圧供給線VCLPに
は、図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側電
源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが共
通結合される。
【0023】この実施例において、インバータV1のM
OSFETP1及びN1に代表されるCMOS論理ゲー
トのPチャンネル及びNチャンネルMOSFETは、例
えばそのチャネル領域における不純物濃度が比較的大き
くされるとともに、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的小
さくなるように設計される。このため、MOSFETP
1及びN1等は、その耐圧性は比較的小さいものの、充
分に小さなしきい値電圧を持つものとされ、これによっ
てその基板電圧がソース電位と同電位とされる通常の動
作状態では、比較的高速に動作しうるものとされる。
OSFETP1及びN1に代表されるCMOS論理ゲー
トのPチャンネル及びNチャンネルMOSFETは、例
えばそのチャネル領域における不純物濃度が比較的大き
くされるとともに、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的小
さくなるように設計される。このため、MOSFETP
1及びN1等は、その耐圧性は比較的小さいものの、充
分に小さなしきい値電圧を持つものとされ、これによっ
てその基板電圧がソース電位と同電位とされる通常の動
作状態では、比較的高速に動作しうるものとされる。
【0024】論理回路部LCを構成するインバータV1
の入力端子つまりMOSFETP1及びN1の共通結合
されたゲートには、論理回路部LCの図示されない前段
回路から内部信号s1が供給され、その出力端子つまり
MOSFETP1及びN1の共通結合されたドレインに
おける電位は、内部信号s2として論理回路部LCの図
示されない後段回路に供給される。MOSFETP1の
バックゲートつまりその基板部には、電源電圧VCCが
供給される。なお、電源電圧VCCは、前述のように、
例えば+3.3Vとされ、接地電位VSSは0Vとされ
る。
の入力端子つまりMOSFETP1及びN1の共通結合
されたゲートには、論理回路部LCの図示されない前段
回路から内部信号s1が供給され、その出力端子つまり
MOSFETP1及びN1の共通結合されたドレインに
おける電位は、内部信号s2として論理回路部LCの図
示されない後段回路に供給される。MOSFETP1の
バックゲートつまりその基板部には、電源電圧VCCが
供給される。なお、電源電圧VCCは、前述のように、
例えば+3.3Vとされ、接地電位VSSは0Vとされ
る。
【0025】次に、電源制御部VC1は、電源電圧供給
点つまり電源電圧VCCと内部電圧供給線VCLPつま
りMOSFETP1のソースとの間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN11(第2のMOSFET)を含
む。このMOSFETN11のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP1からその出力たる内部電圧VPが供給さ
れ、その基板部は、接地電位VSSに結合される。チャ
ージポンプ回路CP1には、図示されない制御部から電
源制御信号CVが供給される。なお、MOSFETN1
1は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的大きくなるよう
に設計され、充分な耐圧性を持つものとされる。また、
電源制御信号CVは、図3に示されるように、マイクロ
コンピュータが通常の動作状態とされるとき接地電位V
SSのようなロウレベルとされ、マイクロコンピュータ
がスタンバイ状態つまり待機状態とされるときは電源電
圧VCCのようなハイレベルとされる。
点つまり電源電圧VCCと内部電圧供給線VCLPつま
りMOSFETP1のソースとの間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN11(第2のMOSFET)を含
む。このMOSFETN11のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP1からその出力たる内部電圧VPが供給さ
れ、その基板部は、接地電位VSSに結合される。チャ
ージポンプ回路CP1には、図示されない制御部から電
源制御信号CVが供給される。なお、MOSFETN1
1は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的大きくなるよう
に設計され、充分な耐圧性を持つものとされる。また、
電源制御信号CVは、図3に示されるように、マイクロ
コンピュータが通常の動作状態とされるとき接地電位V
SSのようなロウレベルとされ、マイクロコンピュータ
がスタンバイ状態つまり待機状態とされるときは電源電
圧VCCのようなハイレベルとされる。
【0026】電源制御部VC1のチャージポンプ回路C
P1はポンプ容量を含み、マイクロコンピュータが通常
の動作状態とされ電源制御信号CVがロウレベルとされ
ることで選択的に動作状態とされる。この動作状態にお
いて、チャージポンプ回路CP1は、電源電圧VCCを
もとに所定の内部電圧VPを生成し、MOSFETN1
1のゲートに供給する。このとき、内部電圧VPの電位
は、図3に示されるように、電源電圧VCCの絶対値を
VCCとし、MOSFETN11のしきい値電圧をVt
hnとするとき、その絶対値VPがVCC+Vthnよ
り大きな例えば+5Vのような高電位V11(第1の電
位)とされる。
P1はポンプ容量を含み、マイクロコンピュータが通常
の動作状態とされ電源制御信号CVがロウレベルとされ
ることで選択的に動作状態とされる。この動作状態にお
いて、チャージポンプ回路CP1は、電源電圧VCCを
もとに所定の内部電圧VPを生成し、MOSFETN1
1のゲートに供給する。このとき、内部電圧VPの電位
は、図3に示されるように、電源電圧VCCの絶対値を
VCCとし、MOSFETN11のしきい値電圧をVt
hnとするとき、その絶対値VPがVCC+Vthnよ
り大きな例えば+5Vのような高電位V11(第1の電
位)とされる。
【0027】なお、マイクロコンピュータが低速動作状
態あるいはスタンバイ状態とされ電源制御信号CVがハ
イレベルとされるとき、チャージポンプ回路CP1はそ
のチャージポンプ動作を停止し、内部電圧VPは、電源
電圧VCCと同電位つまり+3.3Vとされる。このス
タンバイ時における内部電圧VPの電位は、電源電圧V
CCよりやや絶対値の小さな所定の正電位(第2の電
位)としてもよい。
態あるいはスタンバイ状態とされ電源制御信号CVがハ
イレベルとされるとき、チャージポンプ回路CP1はそ
のチャージポンプ動作を停止し、内部電圧VPは、電源
電圧VCCと同電位つまり+3.3Vとされる。このス
タンバイ時における内部電圧VPの電位は、電源電圧V
CCよりやや絶対値の小さな所定の正電位(第2の電
位)としてもよい。
【0028】マイクロコンピュータが通常の動作状態と
され、内部電圧VPが+5Vのような高電位V11とさ
れるとき、電源制御部VC1では、MOSFETN11
が完全なオン状態となり、内部電圧供給線VCLPに
は、電源電圧VCCがMOSFETN11のしきい値電
圧の影響を受けることなくそのまま伝達される。このた
め、論理回路部LCのインバータV1のMOSFETP
1は、その基板電位とソース電位が同電位となり、比較
的高速に動作しうるものとなる。このことは、その高電
位側電源ノードが内部電圧供給線VCLPに共通結合さ
れる他のCMOS論理ゲートでも同様であり、これによ
って論理回路部LCひいてはこれを含むマイクロコンピ
ュータの通常動作時の高速性が確保される。
され、内部電圧VPが+5Vのような高電位V11とさ
れるとき、電源制御部VC1では、MOSFETN11
が完全なオン状態となり、内部電圧供給線VCLPに
は、電源電圧VCCがMOSFETN11のしきい値電
圧の影響を受けることなくそのまま伝達される。このた
め、論理回路部LCのインバータV1のMOSFETP
1は、その基板電位とソース電位が同電位となり、比較
的高速に動作しうるものとなる。このことは、その高電
位側電源ノードが内部電圧供給線VCLPに共通結合さ
れる他のCMOS論理ゲートでも同様であり、これによ
って論理回路部LCひいてはこれを含むマイクロコンピ
ュータの通常動作時の高速性が確保される。
【0029】一方、マイクロコンピュータが低速動作状
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような低電位とされると
き、電源制御部VC1ではMOSFETN11がオン状
態とはなるものの、内部電圧供給線VCLPには、電源
電圧VCCがMOSFETN11のしきい値電圧Vth
n分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例えば+
2.3Vの電位V12となって伝達される。このため、
論理回路部LCのインバータV1に代表されるCMOS
論理ゲートは、その動作電源の絶対値が圧縮されること
自体によってその動作速度が遅くされ、その動作電流が
低減されるとともに、MOSFETP1に代表されるP
チャンネルMOSFETの基板部及びソース間が逆バイ
アス状態となり、基板効果によりそのしきい値電圧が大
きくなって、動作電流がさらに低減される。
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような低電位とされると
き、電源制御部VC1ではMOSFETN11がオン状
態とはなるものの、内部電圧供給線VCLPには、電源
電圧VCCがMOSFETN11のしきい値電圧Vth
n分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例えば+
2.3Vの電位V12となって伝達される。このため、
論理回路部LCのインバータV1に代表されるCMOS
論理ゲートは、その動作電源の絶対値が圧縮されること
自体によってその動作速度が遅くされ、その動作電流が
低減されるとともに、MOSFETP1に代表されるP
チャンネルMOSFETの基板部及びソース間が逆バイ
アス状態となり、基板効果によりそのしきい値電圧が大
きくなって、動作電流がさらに低減される。
【0030】以上の説明から明らかなように、電源制御
部VC1のチャージポンプ回路CP1は、電源電圧VC
Cより若干高い電位の内部電圧VPを生成すればよく、
その回路構成は比較的簡素化される。また、チャージポ
ンプ回路CP1は、マイクロコンピュータがスタンバイ
状態とされるときそのチャージポンプ動作を停止し、動
作電流を必要としない。さらに、インバータV1に代表
されるCMOS論理ゲートのPチャンネルMOSFET
P1等には、その基板電圧として通常動作時の動作電源
たる電源電圧VCCをそのまま供給すればよく、そのゲ
ート基板間に不必要な高電圧が印加されることもない。
これらの結果、この実施例のマイクロコンピュータで
は、MOSFETの耐圧破壊を防止しつつ、スタンバイ
時の動作電流を低減でき、これによってマイクロコンピ
ュータのスタンバイ時における低消費電力化を図り、そ
の信頼性を高めることができるものとなる。
部VC1のチャージポンプ回路CP1は、電源電圧VC
Cより若干高い電位の内部電圧VPを生成すればよく、
その回路構成は比較的簡素化される。また、チャージポ
ンプ回路CP1は、マイクロコンピュータがスタンバイ
状態とされるときそのチャージポンプ動作を停止し、動
作電流を必要としない。さらに、インバータV1に代表
されるCMOS論理ゲートのPチャンネルMOSFET
P1等には、その基板電圧として通常動作時の動作電源
たる電源電圧VCCをそのまま供給すればよく、そのゲ
ート基板間に不必要な高電圧が印加されることもない。
これらの結果、この実施例のマイクロコンピュータで
は、MOSFETの耐圧破壊を防止しつつ、スタンバイ
時の動作電流を低減でき、これによってマイクロコンピ
ュータのスタンバイ時における低消費電力化を図り、そ
の信頼性を高めることができるものとなる。
【0031】なお、この実施例の電源制御部VC1を構
成するMOSFETN11は、前述のように、そのゲー
ト酸化膜の膜厚が比較的大きくなるように設計され、充
分な耐圧性を持つものとされる。したがって、この実施
例のマイクロコンピュータでは、論理回路部LCを構成
するPチャンネルMOSFETの耐圧性を気にすること
なく、電源電圧VCCの電位を比較的大きく変化させな
がらスタンバイ電流判定のためのいわゆるIddQ試験
を容易に実施することができ、これによってマイクロコ
ンピュータの信頼性を高めることができるものとなる。
成するMOSFETN11は、前述のように、そのゲー
ト酸化膜の膜厚が比較的大きくなるように設計され、充
分な耐圧性を持つものとされる。したがって、この実施
例のマイクロコンピュータでは、論理回路部LCを構成
するPチャンネルMOSFETの耐圧性を気にすること
なく、電源電圧VCCの電位を比較的大きく変化させな
がらスタンバイ電流判定のためのいわゆるIddQ試験
を容易に実施することができ、これによってマイクロコ
ンピュータの信頼性を高めることができるものとなる。
【0032】図4には、図1のマイクロコンピュータの
電源制御部VC2及び論理回路部LCの第2の実施例の
回路図が示され、図5には、その一実施例の信号波形図
が示されている。なお、この実施例は、前記図2及び図
3の実施例を基本的に踏襲するものであるため、これと
異なる部分についてのみ説明を追加する。
電源制御部VC2及び論理回路部LCの第2の実施例の
回路図が示され、図5には、その一実施例の信号波形図
が示されている。なお、この実施例は、前記図2及び図
3の実施例を基本的に踏襲するものであるため、これと
異なる部分についてのみ説明を追加する。
【0033】図4において、この実施例の論理回路部L
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるMOSFETP1のソースは、前記
図2の実施例の場合と同様、内部電圧供給線VCLPに
結合され、その基板部となるバックゲートは、内部電圧
供給線VCBPに結合される。内部電圧供給線VCLP
には、図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側
電源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが
共通結合され、内部電圧供給線VCBPには、これらの
PチャンネルMOSFETのバックゲートつまり基板部
が共通結合される。
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるMOSFETP1のソースは、前記
図2の実施例の場合と同様、内部電圧供給線VCLPに
結合され、その基板部となるバックゲートは、内部電圧
供給線VCBPに結合される。内部電圧供給線VCLP
には、図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側
電源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが
共通結合され、内部電圧供給線VCBPには、これらの
PチャンネルMOSFETのバックゲートつまり基板部
が共通結合される。
【0034】次に、電源制御部VC2は、電源電圧VC
Cと内部電圧供給線VCLPとの間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN21(第2のMOSFET)と、
電源電圧VCCと内部電圧供給線VCBPとの間に設け
られるPチャンネルMOSFETP21と、内部電圧供
給線VCLP及びVCBP間に設けられるPチャンネル
MOSFETP22とを含む。このうち、MOSFET
N21のゲートには、電源制御信号CVを受けるチャー
ジポンプ回路CP2からその出力たる内部電圧VPが供
給され、そのバックゲートつまり基板部は、接地電位V
SSに結合される。また、MOSFETP22のゲート
には、電源制御信号CVが供給され、MOSFETP2
1のゲートには、そのインバータV21による反転信号
が供給される。これらのMOSFETP21及びP22
の基板部には、電源電圧VCCが供給される。なお、M
OSFETN21は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的
大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つものと
される。
Cと内部電圧供給線VCLPとの間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN21(第2のMOSFET)と、
電源電圧VCCと内部電圧供給線VCBPとの間に設け
られるPチャンネルMOSFETP21と、内部電圧供
給線VCLP及びVCBP間に設けられるPチャンネル
MOSFETP22とを含む。このうち、MOSFET
N21のゲートには、電源制御信号CVを受けるチャー
ジポンプ回路CP2からその出力たる内部電圧VPが供
給され、そのバックゲートつまり基板部は、接地電位V
SSに結合される。また、MOSFETP22のゲート
には、電源制御信号CVが供給され、MOSFETP2
1のゲートには、そのインバータV21による反転信号
が供給される。これらのMOSFETP21及びP22
の基板部には、電源電圧VCCが供給される。なお、M
OSFETN21は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的
大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つものと
される。
【0035】電源制御部VC2のチャージポンプ回路C
P2は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP2は、電源電圧VCCをもとに内部電
圧VPを生成し、MOSFETN21のゲートに供給す
る。このとき、内部電圧VPの電位は、図5に示される
ように、電源電圧VCCより高く、電源電圧VCCにM
OSFETN21のしきい値電圧Vthnを加えた電位
より低い例えば+4.0Vのような電位V21とされ
る。
P2は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP2は、電源電圧VCCをもとに内部電
圧VPを生成し、MOSFETN21のゲートに供給す
る。このとき、内部電圧VPの電位は、図5に示される
ように、電源電圧VCCより高く、電源電圧VCCにM
OSFETN21のしきい値電圧Vthnを加えた電位
より低い例えば+4.0Vのような電位V21とされ
る。
【0036】マイクロコンピュータが通常の動作状態と
され、内部電圧VPが+4.0Vのような電位V21と
されるとき、電源制御部VC2では、MOSFETN2
1がオン状態となる。しかし、上記のように、内部電圧
VPの電位V21が電源電圧VCCの電位にMOSFE
TN21のしきい値電圧Vthnを加えた電位より低い
電位とされることで、内部電圧供給線VCLPには、内
部電圧VPよりMOSFETN21のしきい値電圧Vt
hn分だけ低いV21−Vthn、つまり例えば+3.
0Vのような電位V23が伝達される。
され、内部電圧VPが+4.0Vのような電位V21と
されるとき、電源制御部VC2では、MOSFETN2
1がオン状態となる。しかし、上記のように、内部電圧
VPの電位V21が電源電圧VCCの電位にMOSFE
TN21のしきい値電圧Vthnを加えた電位より低い
電位とされることで、内部電圧供給線VCLPには、内
部電圧VPよりMOSFETN21のしきい値電圧Vt
hn分だけ低いV21−Vthn、つまり例えば+3.
0Vのような電位V23が伝達される。
【0037】このとき、電源制御部VC2では、さらに
MOSFETP22が電源制御信号CVのロウレベルを
受けてオン状態となり、MOSFETP21はオフ状態
となって、内部電圧供給線VCBPには内部電圧供給線
VCLPと同じ+3.0Vのような電位V23が伝達さ
れる。このため、論理回路部LCのインバータV1のM
OSFETP1は、その基板電位とソース電位が同電位
となり、比較的高速に動作しうるものとなる。このこと
は、その高電位側電源ノードが内部電圧供給線VCLP
に共通結合され、PチャンネルMOSFETの基板部が
内部電圧供給線VCBPに共通結合される他のCMOS
論理ゲートでも同様であり、これによってマイクロコン
ピュータの通常動作時の高速性が確保される。
MOSFETP22が電源制御信号CVのロウレベルを
受けてオン状態となり、MOSFETP21はオフ状態
となって、内部電圧供給線VCBPには内部電圧供給線
VCLPと同じ+3.0Vのような電位V23が伝達さ
れる。このため、論理回路部LCのインバータV1のM
OSFETP1は、その基板電位とソース電位が同電位
となり、比較的高速に動作しうるものとなる。このこと
は、その高電位側電源ノードが内部電圧供給線VCLP
に共通結合され、PチャンネルMOSFETの基板部が
内部電圧供給線VCBPに共通結合される他のCMOS
論理ゲートでも同様であり、これによってマイクロコン
ピュータの通常動作時の高速性が確保される。
【0038】一方、マイクロコンピュータが低速動作状
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような比較的低電位とさ
れると、電源制御部VC2では、MOSFETN21が
オン状態とはなるものの、内部電圧供給線VCLPに
は、電源電圧VCCがMOSFETN21のしきい値電
圧Vthn分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例
えば+2.3Vのような電位V22となって伝達され
る。このとき、電源制御部VC2では、MOSFETP
22が電源制御信号CVのハイレベルを受けてオフ状態
となり、MOSFETP21がオン状態となって、内部
電圧供給線VCBPには、電源電圧VCCがそのまま伝
達される。これにより、論理回路部LCのインバータV
1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の
絶対値が圧縮されること自体によってその動作速度が遅
くされ、その動作電流が低減されるとともに、MOSF
ETP1に代表されるPチャンネルMOSFETの基板
部及びソース間が逆バイアス状態となり、基板効果によ
りそのしきい値電圧が大きくなって、動作電流がさらに
低減される。
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような比較的低電位とさ
れると、電源制御部VC2では、MOSFETN21が
オン状態とはなるものの、内部電圧供給線VCLPに
は、電源電圧VCCがMOSFETN21のしきい値電
圧Vthn分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例
えば+2.3Vのような電位V22となって伝達され
る。このとき、電源制御部VC2では、MOSFETP
22が電源制御信号CVのハイレベルを受けてオフ状態
となり、MOSFETP21がオン状態となって、内部
電圧供給線VCBPには、電源電圧VCCがそのまま伝
達される。これにより、論理回路部LCのインバータV
1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の
絶対値が圧縮されること自体によってその動作速度が遅
くされ、その動作電流が低減されるとともに、MOSF
ETP1に代表されるPチャンネルMOSFETの基板
部及びソース間が逆バイアス状態となり、基板効果によ
りそのしきい値電圧が大きくなって、動作電流がさらに
低減される。
【0039】以上の説明から明らかなように、この実施
例の場合も、前記図2及び図3の実施例と同様な作用効
果を得ることができ、マイクロコンピュータの待機時に
おける低消費電力化を図り、その信頼性を高めることが
できるとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ
試験を容易に実施することができ、これによってマイク
ロコンピュータの信頼性を高めることができる。
例の場合も、前記図2及び図3の実施例と同様な作用効
果を得ることができ、マイクロコンピュータの待機時に
おける低消費電力化を図り、その信頼性を高めることが
できるとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ
試験を容易に実施することができ、これによってマイク
ロコンピュータの信頼性を高めることができる。
【0040】さらに、この実施例では、上記のように、
マイクロコンピュータが通常の動作状態とされるとき、
電源制御部VC2のMOSFETN21のゲートに供給
される内部電圧VPの電位21が、電源電圧VCCより
高く、電源電圧VCCにMOSFETN21のしきい値
電圧Vthnを加えた電位より低い例えば+4.0Vと
され、内部電圧供給線VCLPを介して論理回路部LC
のCMOS論理ゲートの高電位側電源ノードに供給され
る高電位側動作電源の電位は、これよりMOSFETN
21のしきい値電圧Vthnだけ低い例えば+3.0V
とされる。このため、電源電圧VCCの電位が例えば+
3.6V程度に変動した場合でも、論理回路部LCのC
MOS論理ゲートの高電位側電源ノードに供給される高
電位側動作電源の電位を+3.0Vに固定することがで
き、これによってマイクロコンピュータの動作を安定化
することができる。また、内部電圧供給線VCLPつま
り論理回路部LCのCMOS論理ゲートの高電位側電源
ノードと電源電圧VCCとの間にMOSFETN21が
設けられることで、逆に高電位側電源ノードの電位変動
が電源電圧VCCに伝達されるのを防止することがで
き、これによって電源電圧VCCの電位変動を抑制し、
マイクロコンピュータひいてはこれを含むシステムの動
作をさらに安定化することができるものとなる。
マイクロコンピュータが通常の動作状態とされるとき、
電源制御部VC2のMOSFETN21のゲートに供給
される内部電圧VPの電位21が、電源電圧VCCより
高く、電源電圧VCCにMOSFETN21のしきい値
電圧Vthnを加えた電位より低い例えば+4.0Vと
され、内部電圧供給線VCLPを介して論理回路部LC
のCMOS論理ゲートの高電位側電源ノードに供給され
る高電位側動作電源の電位は、これよりMOSFETN
21のしきい値電圧Vthnだけ低い例えば+3.0V
とされる。このため、電源電圧VCCの電位が例えば+
3.6V程度に変動した場合でも、論理回路部LCのC
MOS論理ゲートの高電位側電源ノードに供給される高
電位側動作電源の電位を+3.0Vに固定することがで
き、これによってマイクロコンピュータの動作を安定化
することができる。また、内部電圧供給線VCLPつま
り論理回路部LCのCMOS論理ゲートの高電位側電源
ノードと電源電圧VCCとの間にMOSFETN21が
設けられることで、逆に高電位側電源ノードの電位変動
が電源電圧VCCに伝達されるのを防止することがで
き、これによって電源電圧VCCの電位変動を抑制し、
マイクロコンピュータひいてはこれを含むシステムの動
作をさらに安定化することができるものとなる。
【0041】図6には、図1のマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部VC3及び論理回路部LCの第3の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部VC3及び論理回路部LCは、前記図2の実施
例を基本的に踏襲するものであるため、これと異なる部
分についてのみ説明を追加する。
含まれる電源制御部VC3及び論理回路部LCの第3の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部VC3及び論理回路部LCは、前記図2の実施
例を基本的に踏襲するものであるため、これと異なる部
分についてのみ説明を追加する。
【0042】図6において、この実施例の論理回路部L
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるMOSFETP1のソースは、直接
電源電圧VCCに結合され、インバータV1の低電位側
電源ノードとなるNチャンネルMOSFETN1(第3
のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線VCLS
に結合される。MOSFETN1のバックゲートつまり
基板部には、接地電位VSSが供給される。内部電圧供
給線VCLSには、図示されない他のCMOS論理ゲー
トの低電位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFE
Tのソースが共通結合される。
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるMOSFETP1のソースは、直接
電源電圧VCCに結合され、インバータV1の低電位側
電源ノードとなるNチャンネルMOSFETN1(第3
のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線VCLS
に結合される。MOSFETN1のバックゲートつまり
基板部には、接地電位VSSが供給される。内部電圧供
給線VCLSには、図示されない他のCMOS論理ゲー
トの低電位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFE
Tのソースが共通結合される。
【0043】次に、電源制御部VC3は、内部電圧供給
線VCLSつまりMOSFETN1のソースと接地電位
供給点つまり接地電位VSSとの間に設けられるPチャ
ンネルMOSFETP31(第4のMOSFET)を含
む。このMOSFETP31のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP3からその出力たる内部電圧VMが供給さ
れ、その基板部は、電源電圧VCCに結合される。チャ
ージポンプ回路CP3には、電源制御信号CVが供給さ
れる。なお、MOSFETP31は、そのゲート酸化膜
の膜厚が比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧
性を持つものとされる。また、電源制御信号CVは、前
述のように、マイクロコンピュータが通常の動作状態と
されるとき接地電位VSSのようなロウレベルとされ、
スタンバイ状態とされるとき電源電圧VCCのようなハ
イレベルとされる。
線VCLSつまりMOSFETN1のソースと接地電位
供給点つまり接地電位VSSとの間に設けられるPチャ
ンネルMOSFETP31(第4のMOSFET)を含
む。このMOSFETP31のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP3からその出力たる内部電圧VMが供給さ
れ、その基板部は、電源電圧VCCに結合される。チャ
ージポンプ回路CP3には、電源制御信号CVが供給さ
れる。なお、MOSFETP31は、そのゲート酸化膜
の膜厚が比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧
性を持つものとされる。また、電源制御信号CVは、前
述のように、マイクロコンピュータが通常の動作状態と
されるとき接地電位VSSのようなロウレベルとされ、
スタンバイ状態とされるとき電源電圧VCCのようなハ
イレベルとされる。
【0044】電源制御部VC3のチャージポンプ回路C
P3は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP3は、電源電圧VCCをもとに所定の
内部電圧VMを生成し、MOSFETP31のゲートに
供給する。このとき、内部電圧VMの電位は、図6に併
記されるように、MOSFETP31のしきい値電圧を
Vthpとするとき、VSS−Vthp(Vthpは絶
対値とする)より低い例えば−2Vのような負電位(第
3の電位)とされる。
P3は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP3は、電源電圧VCCをもとに所定の
内部電圧VMを生成し、MOSFETP31のゲートに
供給する。このとき、内部電圧VMの電位は、図6に併
記されるように、MOSFETP31のしきい値電圧を
Vthpとするとき、VSS−Vthp(Vthpは絶
対値とする)より低い例えば−2Vのような負電位(第
3の電位)とされる。
【0045】なお、マイクロコンピュータがスタンバイ
状態とされ電源制御信号CVがハイレベルとされると
き、チャージポンプ回路CP3はそのチャージポンプ動
作を停止し、内部電圧VPは、接地電位VSSと同電位
つまり0Vとされる。このスタンバイ時における内部電
圧VMの電位は、例えば電源電圧VCCと同極性とされ
その絶対値が小さな正電位(第4の電位)としてよい。
状態とされ電源制御信号CVがハイレベルとされると
き、チャージポンプ回路CP3はそのチャージポンプ動
作を停止し、内部電圧VPは、接地電位VSSと同電位
つまり0Vとされる。このスタンバイ時における内部電
圧VMの電位は、例えば電源電圧VCCと同極性とされ
その絶対値が小さな正電位(第4の電位)としてよい。
【0046】マイクロコンピュータが通常の動作状態と
され、内部電圧VPが−2Vのような負電位とされると
き、電源制御部VC3では、MOSFETP31が完全
なオン状態となり、内部電圧供給線VCLSには、接地
電位VSSがMOSFETP31のしきい値電圧の影響
を受けることなくそのまま伝達される。このため、論理
回路部LCのインバータV1のMOSFETN1は、そ
の基板電位とソース電位が同電位となり、比較的高速に
動作しうるものとなる。このことは、その低電位側電源
ノードが内部電圧供給線VCLSに共通結合される他の
CMOS論理ゲートの場合も同様であり、これによって
論理回路部LCひいてはこれを含むマイクロコンピュー
タの通常動作時の高速性が確保される。
され、内部電圧VPが−2Vのような負電位とされると
き、電源制御部VC3では、MOSFETP31が完全
なオン状態となり、内部電圧供給線VCLSには、接地
電位VSSがMOSFETP31のしきい値電圧の影響
を受けることなくそのまま伝達される。このため、論理
回路部LCのインバータV1のMOSFETN1は、そ
の基板電位とソース電位が同電位となり、比較的高速に
動作しうるものとなる。このことは、その低電位側電源
ノードが内部電圧供給線VCLSに共通結合される他の
CMOS論理ゲートの場合も同様であり、これによって
論理回路部LCひいてはこれを含むマイクロコンピュー
タの通常動作時の高速性が確保される。
【0047】一方、マイクロコンピュータが低速動作状
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが接地
電位VSSつまり0Vとされるとき、電源制御部VC3
ではMOSFETP31がオン状態とはなるものの、内
部電圧供給線VCLSには、接地電位VSSがMOSF
ETP31のしきい値電圧Vthp分だけ高くされ、V
SS+Vthpつまり例えば+1.0Vとなって伝達さ
れる。このため、論理回路部LCのインバータV1に代
表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の絶対値
が圧縮されること自体によりその動作速度が遅くされ、
その動作電流が低減されるとともに、MOSFETN1
に代表されるNチャンネルMOSFETの基板部及びソ
ース間が逆バイアス状態となり、基板効果によりそのし
きい値電圧が大きくなって、各CMOS論理ゲートの動
作電流がさらに低減される。
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが接地
電位VSSつまり0Vとされるとき、電源制御部VC3
ではMOSFETP31がオン状態とはなるものの、内
部電圧供給線VCLSには、接地電位VSSがMOSF
ETP31のしきい値電圧Vthp分だけ高くされ、V
SS+Vthpつまり例えば+1.0Vとなって伝達さ
れる。このため、論理回路部LCのインバータV1に代
表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の絶対値
が圧縮されること自体によりその動作速度が遅くされ、
その動作電流が低減されるとともに、MOSFETN1
に代表されるNチャンネルMOSFETの基板部及びソ
ース間が逆バイアス状態となり、基板効果によりそのし
きい値電圧が大きくなって、各CMOS論理ゲートの動
作電流がさらに低減される。
【0048】以上の結果、この実施例の場合も、前記図
2及び図3の実施例と同様な作用効果を得ることがで
き、これによってマイクロコンピュータの待機時におけ
る低消費電力化を図り、その信頼性を高めることができ
るとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験
を容易に実施することができ、これによってマイクロコ
ンピュータの信頼性を高めることができる。
2及び図3の実施例と同様な作用効果を得ることがで
き、これによってマイクロコンピュータの待機時におけ
る低消費電力化を図り、その信頼性を高めることができ
るとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験
を容易に実施することができ、これによってマイクロコ
ンピュータの信頼性を高めることができる。
【0049】図7には、図1のマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部VC4及び論理回路部LCの第4の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部VC4及び論理回路部LCは、前記図6の実施
例を基本的に踏襲するものであるため、これと異なる部
分についてのみ説明を追加する。
含まれる電源制御部VC4及び論理回路部LCの第4の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部VC4及び論理回路部LCは、前記図6の実施
例を基本的に踏襲するものであるため、これと異なる部
分についてのみ説明を追加する。
【0050】図7において、この実施例の論理回路部L
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるPチャンネルMOSFETP1のソ
ースは、直接電源電圧VCCに結合される。また、イン
バータV1の低電位側電源ノードとなるNチャンネルM
OSFETN1(第3のMOSFET)のソースは、内
部電圧供給線VCLSに結合され、そのバックゲートつ
まり基板部は、内部電圧供給線VCBNに結合される。
内部電圧供給線VCLSには、図示されない他のCMO
S論理ゲートの低電位側電源ノードとなるNチャンネル
MOSFETのソースが共通結合され、内部電圧供給線
VCBNには、その基板部が共通結合される。
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるPチャンネルMOSFETP1のソ
ースは、直接電源電圧VCCに結合される。また、イン
バータV1の低電位側電源ノードとなるNチャンネルM
OSFETN1(第3のMOSFET)のソースは、内
部電圧供給線VCLSに結合され、そのバックゲートつ
まり基板部は、内部電圧供給線VCBNに結合される。
内部電圧供給線VCLSには、図示されない他のCMO
S論理ゲートの低電位側電源ノードとなるNチャンネル
MOSFETのソースが共通結合され、内部電圧供給線
VCBNには、その基板部が共通結合される。
【0051】次に、電源制御部VC4は、内部電圧供給
線VCLSと接地電位VSSとの間に設けられるPチャ
ンネルMOSFETP41(第4のMOSFET)と、
内部電圧供給線VCBNと接地電位VSSとの間に設け
られるNチャンネルMOSFETN41と、内部電圧供
給線VCLS及びVCBN間に設けられるNチャンネル
MOSFETN42とを含む。このうち、MOSFET
P41のゲートには、電源制御信号CVを受けるチャー
ジポンプ回路CP4からその出力たる内部電圧VMが供
給され、そのバックゲートつまり基板部は、電源電圧V
CCに結合される。また、MOSFETN41のゲート
には、電源制御信号CVが供給され、MOSFETN4
2のゲートには、そのインバータV41による反転信号
が供給される。これらのMOSFETN41及びN42
の基板部には、接地電位VSSが供給される。なお、M
OSFETP41は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的
大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つものと
される。
線VCLSと接地電位VSSとの間に設けられるPチャ
ンネルMOSFETP41(第4のMOSFET)と、
内部電圧供給線VCBNと接地電位VSSとの間に設け
られるNチャンネルMOSFETN41と、内部電圧供
給線VCLS及びVCBN間に設けられるNチャンネル
MOSFETN42とを含む。このうち、MOSFET
P41のゲートには、電源制御信号CVを受けるチャー
ジポンプ回路CP4からその出力たる内部電圧VMが供
給され、そのバックゲートつまり基板部は、電源電圧V
CCに結合される。また、MOSFETN41のゲート
には、電源制御信号CVが供給され、MOSFETN4
2のゲートには、そのインバータV41による反転信号
が供給される。これらのMOSFETN41及びN42
の基板部には、接地電位VSSが供給される。なお、M
OSFETP41は、そのゲート酸化膜の膜厚が比較的
大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つものと
される。
【0052】電源制御部VC4のチャージポンプ回路C
P4は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP4は、電源電圧VCCをもとに内部電
圧VMを生成し、MOSFETP41のゲートに供給す
る。このとき、内部電圧VMの電位は、図7に併記され
るように、接地電位VSSより低く、接地電位VSSか
らMOSFETP41のしきい値電圧Vthpを差し引
いた電位よりは高い例えば−0.7Vのような負電位と
される。
P4は、マイクロコンピュータが通常の動作状態とさ
れ、電源制御信号CVがロウレベルとされることで選択
的に動作状態とされる。この動作状態において、チャー
ジポンプ回路CP4は、電源電圧VCCをもとに内部電
圧VMを生成し、MOSFETP41のゲートに供給す
る。このとき、内部電圧VMの電位は、図7に併記され
るように、接地電位VSSより低く、接地電位VSSか
らMOSFETP41のしきい値電圧Vthpを差し引
いた電位よりは高い例えば−0.7Vのような負電位と
される。
【0053】マイクロコンピュータが通常の動作状態と
され、内部電圧VMが−0.7Vのような負電位とされ
るとき、電源制御部VC4では、MOSFETP41が
オン状態となる。しかし、上記のように、内部電圧VM
の電位が接地電位VSSからMOSFETP41のしき
い値電圧Vthpを差し引いた電位より高い電位とされ
ることで、内部電圧供給線VCLSには、内部電圧VM
よりMOSFETP31のしきい値電圧Vthp分だけ
高い例えば+0.3Vのような電位が伝達される。この
とき、電源制御部VC4では、さらにMOSFETN4
2が電源制御信号CVのロウレベルを受けてオン状態と
なり、MOSFETN41はオフ状態となって、内部電
圧供給線VCBNには、内部電圧供給線VCLSと同じ
例えば+0.3Vが伝達される。このため、論理回路部
LCのインバータV1のMOSFETN1は、その基板
電位とソース電位が同電位となり、比較的高速に動作し
うるものとなる。このことは、その低電位側電源ノード
が内部電圧供給線VCLSに共通結合され、Nチャンネ
ルMOSFETの基板部が内部電圧供給線VCBNに共
通結合される他のCMOS論理ゲートでも同様であり、
これによってマイクロコンピュータの通常動作時の高速
性が確保される。
され、内部電圧VMが−0.7Vのような負電位とされ
るとき、電源制御部VC4では、MOSFETP41が
オン状態となる。しかし、上記のように、内部電圧VM
の電位が接地電位VSSからMOSFETP41のしき
い値電圧Vthpを差し引いた電位より高い電位とされ
ることで、内部電圧供給線VCLSには、内部電圧VM
よりMOSFETP31のしきい値電圧Vthp分だけ
高い例えば+0.3Vのような電位が伝達される。この
とき、電源制御部VC4では、さらにMOSFETN4
2が電源制御信号CVのロウレベルを受けてオン状態と
なり、MOSFETN41はオフ状態となって、内部電
圧供給線VCBNには、内部電圧供給線VCLSと同じ
例えば+0.3Vが伝達される。このため、論理回路部
LCのインバータV1のMOSFETN1は、その基板
電位とソース電位が同電位となり、比較的高速に動作し
うるものとなる。このことは、その低電位側電源ノード
が内部電圧供給線VCLSに共通結合され、Nチャンネ
ルMOSFETの基板部が内部電圧供給線VCBNに共
通結合される他のCMOS論理ゲートでも同様であり、
これによってマイクロコンピュータの通常動作時の高速
性が確保される。
【0054】一方、マイクロコンピュータがスタンバイ
状態とされ、内部電圧VMが接地電位VSSつまり0V
とされると、電源制御部VC4では、MOSFETP4
1がオン状態とはなるものの、内部電圧供給線VCLS
には、接地電位VSSがMOSFETP41のしきい値
電圧Vthp分だけ高くされ、VSS+Vthpつまり
例えば+1.0Vのような電位V22となって伝達され
る。このとき、電源制御部VC4では、MOSFETN
42が電源制御信号CVのハイレベルを受けてオフ状態
となり、MOSFETN41がオン状態となって、内部
電圧供給線VCBNには、接地電位VSSがそのまま伝
達される。これにより、論理回路部LCのインバータV
1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の
絶対値が圧縮されること自体によってその動作速度が遅
くされ、その動作電流が低減されるとともに、MOSF
ETN1に代表されるNチャンネルMOSFETの基板
部及びソース間が逆バイアス状態となり、基板効果によ
りそのしきい値電圧が大きくなって、CMOS論理ゲー
トの動作電流がさらに低減される。
状態とされ、内部電圧VMが接地電位VSSつまり0V
とされると、電源制御部VC4では、MOSFETP4
1がオン状態とはなるものの、内部電圧供給線VCLS
には、接地電位VSSがMOSFETP41のしきい値
電圧Vthp分だけ高くされ、VSS+Vthpつまり
例えば+1.0Vのような電位V22となって伝達され
る。このとき、電源制御部VC4では、MOSFETN
42が電源制御信号CVのハイレベルを受けてオフ状態
となり、MOSFETN41がオン状態となって、内部
電圧供給線VCBNには、接地電位VSSがそのまま伝
達される。これにより、論理回路部LCのインバータV
1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作電源の
絶対値が圧縮されること自体によってその動作速度が遅
くされ、その動作電流が低減されるとともに、MOSF
ETN1に代表されるNチャンネルMOSFETの基板
部及びソース間が逆バイアス状態となり、基板効果によ
りそのしきい値電圧が大きくなって、CMOS論理ゲー
トの動作電流がさらに低減される。
【0055】以上の結果、この実施例の場合も、前記図
6の実施例と同様な作用効果を得ることができ、これに
よってマイクロコンピュータの待機時における低消費電
力化を図り、その信頼性を高めることができるととも
に、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験を容易に
実施することができ、これによってマイクロコンピュー
タの信頼性を高めることができる。
6の実施例と同様な作用効果を得ることができ、これに
よってマイクロコンピュータの待機時における低消費電
力化を図り、その信頼性を高めることができるととも
に、スタンバイ電流判定のためのIddQ試験を容易に
実施することができ、これによってマイクロコンピュー
タの信頼性を高めることができる。
【0056】さらに、この実施例では、上記のように、
マイクロコンピュータが通常の動作状態とされるとき、
電源制御部VC4のMOSFETP41のゲートに供給
される内部電圧VMの電位が、接地電位VSSより低
く、接地電位VSSからMOSFETP41のしきい値
電圧Vthpを差し引いた電位より高い例えば−0.7
Vとされ、内部電圧供給線VCLSを介して論理回路部
LCのCMOS論理ゲートの低電位側電源ノードに供給
される低電位側動作電源の電位は、これよりMOSFE
TP41のしきい値電圧Vthpだけ低い例えば+0.
3Vとされる。このため、接地電位VSSの電位が変動
した場合でも、論理回路部LCのCMOS論理ゲートの
低電位側電源ノードに供給される低電位側動作電源の電
位を+0.3Vに固定することができ、これによってマ
イクロコンピュータの動作を安定化することができる。
また、内部電圧供給線VCLSつまり論理回路部LCの
CMOS論理ゲートの低電位側電源ノードと接地電位V
SSとの間にMOSFETP41が設けられることで、
逆に低電位側電源ノードの電位変動が接地電位VSSに
伝達されるのを防止することができ、これによって外部
供給される接地電位VSSの電位変動をさらに抑制し、
マイクロコンピュータひいてはこれを含むシステムの動
作をさらに安定化することができるものとなる。
マイクロコンピュータが通常の動作状態とされるとき、
電源制御部VC4のMOSFETP41のゲートに供給
される内部電圧VMの電位が、接地電位VSSより低
く、接地電位VSSからMOSFETP41のしきい値
電圧Vthpを差し引いた電位より高い例えば−0.7
Vとされ、内部電圧供給線VCLSを介して論理回路部
LCのCMOS論理ゲートの低電位側電源ノードに供給
される低電位側動作電源の電位は、これよりMOSFE
TP41のしきい値電圧Vthpだけ低い例えば+0.
3Vとされる。このため、接地電位VSSの電位が変動
した場合でも、論理回路部LCのCMOS論理ゲートの
低電位側電源ノードに供給される低電位側動作電源の電
位を+0.3Vに固定することができ、これによってマ
イクロコンピュータの動作を安定化することができる。
また、内部電圧供給線VCLSつまり論理回路部LCの
CMOS論理ゲートの低電位側電源ノードと接地電位V
SSとの間にMOSFETP41が設けられることで、
逆に低電位側電源ノードの電位変動が接地電位VSSに
伝達されるのを防止することができ、これによって外部
供給される接地電位VSSの電位変動をさらに抑制し、
マイクロコンピュータひいてはこれを含むシステムの動
作をさらに安定化することができるものとなる。
【0057】図8には、図1のマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部VC51及びVC52ならびに論理
回路部LCの第5の実施例の回路図が示されている。な
お、この実施例は、前記図2及び図6の実施例を併合し
たものに相当するため、これらの実施例と異なる部分に
ついてのみ説明を追加する。
含まれる電源制御部VC51及びVC52ならびに論理
回路部LCの第5の実施例の回路図が示されている。な
お、この実施例は、前記図2及び図6の実施例を併合し
たものに相当するため、これらの実施例と異なる部分に
ついてのみ説明を追加する。
【0058】図8において、この実施例の論理回路部L
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるPチャンネルMOSFETP1(第
1のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線VCL
Pに結合され、そのバックゲートつまり基板部には、電
源電圧VCCが供給される。また、インバータV1の低
電位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFETN1
(第3のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線V
CLSに結合され、その基板部には、接地電位VSSが
供給される。内部電圧供給線VCLPには、論理回路部
LCの図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側
電源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが
共通結合され、内部電圧供給線VCLSには、その低電
位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFETのソー
スが共通結合される。
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子として構成される。インバータV1の高電位
側電源ノードとなるPチャンネルMOSFETP1(第
1のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線VCL
Pに結合され、そのバックゲートつまり基板部には、電
源電圧VCCが供給される。また、インバータV1の低
電位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFETN1
(第3のMOSFET)のソースは、内部電圧供給線V
CLSに結合され、その基板部には、接地電位VSSが
供給される。内部電圧供給線VCLPには、論理回路部
LCの図示されない他のCMOS論理ゲートの高電位側
電源ノードとなるPチャンネルMOSFETのソースが
共通結合され、内部電圧供給線VCLSには、その低電
位側電源ノードとなるNチャンネルMOSFETのソー
スが共通結合される。
【0059】次に、電源制御部VC51は、電源電圧V
CC及び内部電圧供給線VCLP間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN51(第2のMOSFET)を含
む。このMOSFETN51のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP51からその出力たる内部電圧VPが供給
され、その基板部は、接地電位VSSに結合される。な
お、MOSFETN51は、そのゲート酸化膜の膜厚が
比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つ
ものとされる。
CC及び内部電圧供給線VCLP間に設けられるNチャ
ンネルMOSFETN51(第2のMOSFET)を含
む。このMOSFETN51のゲートには、チャージポ
ンプ回路CP51からその出力たる内部電圧VPが供給
され、その基板部は、接地電位VSSに結合される。な
お、MOSFETN51は、そのゲート酸化膜の膜厚が
比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧性を持つ
ものとされる。
【0060】同様に、電源制御部VC52は、内部電圧
供給線VCLSと接地電位VSSとの間に設けられるP
チャンネルMOSFETP51(第4のMOSFET)
を含む。このMOSFETP51のゲートには、チャー
ジポンプ回路CP52からその出力たる内部電圧VMが
供給され、その基板部は、電源電圧VCCに結合され
る。なお、MOSFETP51は、そのゲート酸化膜の
膜厚が比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧性
を持つものとされる。
供給線VCLSと接地電位VSSとの間に設けられるP
チャンネルMOSFETP51(第4のMOSFET)
を含む。このMOSFETP51のゲートには、チャー
ジポンプ回路CP52からその出力たる内部電圧VMが
供給され、その基板部は、電源電圧VCCに結合され
る。なお、MOSFETP51は、そのゲート酸化膜の
膜厚が比較的大きくなるように設計され、充分な耐圧性
を持つものとされる。
【0061】電源制御部VC51及びVC52のチャー
ジポンプ回路CP51及びCP52はポンプ容量を含
み、マイクロコンピュータが通常の動作状態とされ電源
制御信号CVがロウレベルとされることで選択的に動作
状態とされる。この動作状態において、チャージポンプ
回路CP51及びCP52は、電源電圧VCCをもとに
所定の内部電圧VP及びVMをそれぞれ生成し、MOS
FETN51又はP51のゲートにそれぞれ供給する。
このとき、内部電圧VPの電位は、図8に併記されるよ
うに、その絶対値VPがVCC+Vthnより大きな例
えば+5Vのような高電位とされ、内部電圧VMの電位
は、接地電位VSSからMOSFETP51のしきい値
電圧Vthpを差し引いた電位VSS−Vthpより低
い例えば−2.0Vのような負電位とされる。なお、マ
イクロコンピュータがスタンバイ状態とされ電源制御信
号CVがハイレベルとされるとき、チャージポンプ回路
CP51及びCP52はチャージポンプ動作を停止し、
内部電圧VP及びVMはそれぞれ電源電圧VCC又は接
地電位VSSと同電位とされる。
ジポンプ回路CP51及びCP52はポンプ容量を含
み、マイクロコンピュータが通常の動作状態とされ電源
制御信号CVがロウレベルとされることで選択的に動作
状態とされる。この動作状態において、チャージポンプ
回路CP51及びCP52は、電源電圧VCCをもとに
所定の内部電圧VP及びVMをそれぞれ生成し、MOS
FETN51又はP51のゲートにそれぞれ供給する。
このとき、内部電圧VPの電位は、図8に併記されるよ
うに、その絶対値VPがVCC+Vthnより大きな例
えば+5Vのような高電位とされ、内部電圧VMの電位
は、接地電位VSSからMOSFETP51のしきい値
電圧Vthpを差し引いた電位VSS−Vthpより低
い例えば−2.0Vのような負電位とされる。なお、マ
イクロコンピュータがスタンバイ状態とされ電源制御信
号CVがハイレベルとされるとき、チャージポンプ回路
CP51及びCP52はチャージポンプ動作を停止し、
内部電圧VP及びVMはそれぞれ電源電圧VCC又は接
地電位VSSと同電位とされる。
【0062】マイクロコンピュータが通常の動作状態と
され、内部電圧VPが+5Vのような高電位とされ内部
電圧VMが−2.0Vのような負電位とされるとき、電
源制御部VC51では、MOSFETN51が完全なオ
ン状態となり、内部電圧供給線VCLPには、電源電圧
VCCがMOSFETN51のしきい値電圧の影響を受
けることなくそのまま伝達される。また、電源制御部V
C52では、MOSFETP51が完全なオン状態とな
り、内部電圧供給線VCLSには、接地電位VSSがM
OSFETP51のしきい値電圧の影響を受けることな
くそのまま伝達される。このため、論理回路部LCのイ
ンバータV1を構成するMOSFETP1及びN1は、
ともにその基板電位とソース電位が同電位となり、比較
的高速に動作しうるものとなる。このことは、その高電
位側電源ノードが内部電圧供給線VCLPに共通結合さ
れその低電位側電源ノードが内部電圧供給線VCLSに
共通結合される他のCMOS論理ゲートでも同様であ
り、これによってマイクロコンピュータの通常動作時の
高速性が確保される。
され、内部電圧VPが+5Vのような高電位とされ内部
電圧VMが−2.0Vのような負電位とされるとき、電
源制御部VC51では、MOSFETN51が完全なオ
ン状態となり、内部電圧供給線VCLPには、電源電圧
VCCがMOSFETN51のしきい値電圧の影響を受
けることなくそのまま伝達される。また、電源制御部V
C52では、MOSFETP51が完全なオン状態とな
り、内部電圧供給線VCLSには、接地電位VSSがM
OSFETP51のしきい値電圧の影響を受けることな
くそのまま伝達される。このため、論理回路部LCのイ
ンバータV1を構成するMOSFETP1及びN1は、
ともにその基板電位とソース電位が同電位となり、比較
的高速に動作しうるものとなる。このことは、その高電
位側電源ノードが内部電圧供給線VCLPに共通結合さ
れその低電位側電源ノードが内部電圧供給線VCLSに
共通結合される他のCMOS論理ゲートでも同様であ
り、これによってマイクロコンピュータの通常動作時の
高速性が確保される。
【0063】一方、マイクロコンピュータが低速動作状
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような低電位とされ内部
電圧VMが接地電位VSSつまり0Vとされるとき、電
源制御部VC51では、MOSFETN51がオン状態
とはなるものの、内部電圧供給線VCLPには、電源電
圧VCCがMOSFETN51のしきい値電圧Vthn
分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例えば+2.
3Vのような電位となって伝達される。また、電源制御
部VC52では、MOSFETP51がオン状態とはな
るものの、内部電圧供給線VCLSには、接地電位VS
SがMOSFETP51のしきい値電圧Vthp分だけ
高くされ、VSS+Vthpつまり例えば+1.0Vと
なって伝達される。このため、論理回路部LCのインバ
ータV1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作
電源の絶対値が圧縮されること自体によってその動作速
度が遅くされ、その動作電流が低減されるとともに、M
OSFETP1に代表されるPチャンネルMOSFET
ならびにMOSFETN1に代表されるNチャンネルM
OSFETの基板部及びソース間が逆バイアス状態とな
り、基板効果によりそのしきい値電圧が大きくなって、
各CMOS論理ゲートの動作電流がさらに低減される。
態あるいはスタンバイ状態とされ、内部電圧VPが電源
電圧VCCつまり+3.3Vのような低電位とされ内部
電圧VMが接地電位VSSつまり0Vとされるとき、電
源制御部VC51では、MOSFETN51がオン状態
とはなるものの、内部電圧供給線VCLPには、電源電
圧VCCがMOSFETN51のしきい値電圧Vthn
分だけ低くされ、VCC−Vthnつまり例えば+2.
3Vのような電位となって伝達される。また、電源制御
部VC52では、MOSFETP51がオン状態とはな
るものの、内部電圧供給線VCLSには、接地電位VS
SがMOSFETP51のしきい値電圧Vthp分だけ
高くされ、VSS+Vthpつまり例えば+1.0Vと
なって伝達される。このため、論理回路部LCのインバ
ータV1に代表されるCMOS論理ゲートは、その動作
電源の絶対値が圧縮されること自体によってその動作速
度が遅くされ、その動作電流が低減されるとともに、M
OSFETP1に代表されるPチャンネルMOSFET
ならびにMOSFETN1に代表されるNチャンネルM
OSFETの基板部及びソース間が逆バイアス状態とな
り、基板効果によりそのしきい値電圧が大きくなって、
各CMOS論理ゲートの動作電流がさらに低減される。
【0064】以上の結果、この実施例では、前記図2及
び図6の実施例の作用効果を併せて得ることができ、こ
れによってマイクロコンピュータの待機時におけるさら
なる低消費電力化を図り、その信頼性を高めることがで
きるとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ試
験を容易に実施することができ、これによってマイクロ
コンピュータの信頼性をさらに高めることができる。
び図6の実施例の作用効果を併せて得ることができ、こ
れによってマイクロコンピュータの待機時におけるさら
なる低消費電力化を図り、その信頼性を高めることがで
きるとともに、スタンバイ電流判定のためのIddQ試
験を容易に実施することができ、これによってマイクロ
コンピュータの信頼性をさらに高めることができる。
【0065】図9には、図1のマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部VC6及び論理回路部LCの第6の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部及び論理回路部は、前記図4の実施例を基本的
に踏襲するものであるため、これと異なる部分について
のみ説明を追加する。
含まれる電源制御部VC6及び論理回路部LCの第6の
実施例の回路図が示されている。なお、この実施例の電
源制御部及び論理回路部は、前記図4の実施例を基本的
に踏襲するものであるため、これと異なる部分について
のみ説明を追加する。
【0066】図9において、この実施例の論理回路部L
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子して構成される。論理回路部LCを構成する
インバータV1の高電位側電源ノードとなるMOSFE
TP1のソースは、内部電圧供給線VCLPに結合さ
れ、その基板部は、内部電圧供給線VCBPに結合され
る。内部電圧供給線VCLPには、図示されない他のC
MOS論理ゲートの高電位側電源ノードとなるPチャン
ネルMOSFETのソースが共通結合され、内部電圧供
給線VCBPには、その基板部が共通結合される。
Cは、インバータV1に代表されるCMOS論理ゲート
を基本素子して構成される。論理回路部LCを構成する
インバータV1の高電位側電源ノードとなるMOSFE
TP1のソースは、内部電圧供給線VCLPに結合さ
れ、その基板部は、内部電圧供給線VCBPに結合され
る。内部電圧供給線VCLPには、図示されない他のC
MOS論理ゲートの高電位側電源ノードとなるPチャン
ネルMOSFETのソースが共通結合され、内部電圧供
給線VCBPには、その基板部が共通結合される。
【0067】次に、電源制御部VC6は、電源電圧VC
Cと内部電圧供給線VCLPつまりMOSFETP1の
ソースとの間に設けられるNチャンネルMOSFETN
61(第2のMOSFET)を含む。このMOSFET
N61のゲートには、チャージポンプ回路CP6からそ
の出力たる内部電圧VPが供給され、その基板部は、接
地電位VSSに結合される。MOSFETN61は、そ
のゲート酸化膜の膜厚が比較的大きくなるように設計さ
れ、充分な耐圧性を持つ。
Cと内部電圧供給線VCLPつまりMOSFETP1の
ソースとの間に設けられるNチャンネルMOSFETN
61(第2のMOSFET)を含む。このMOSFET
N61のゲートには、チャージポンプ回路CP6からそ
の出力たる内部電圧VPが供給され、その基板部は、接
地電位VSSに結合される。MOSFETN61は、そ
のゲート酸化膜の膜厚が比較的大きくなるように設計さ
れ、充分な耐圧性を持つ。
【0068】この実施例において、マイクロコンピュー
タは、内部電圧供給線VCLPつまり論理回路部LCの
インバータV1のMOSFETP1のソースに結合され
る外部端子つまり試験パッドTPADを備える。この試
験パッドTPADには、マイクロコンピュータが通常の
動作状態とされるとき、例えば比較的大きな静電容量値
を有する電源平滑用のキャパシタを結合することがで
き、これによって内部電圧供給線VCLPにおける高電
位側動作電源の電位を安定化することができる。また、
マイクロコンピュータが所定のテストモードとされると
きには、この試験パッドTPADを介して内部電圧供給
線VCLPにおける高電位側動作電源の電位をモニタ
し、その正常性を確認できるとともに、テストモード時
には、例えばチャージポンプ回路CP6の出力たる内部
電圧VPを強制的に接地電位VSSとし、電源制御部V
C6のMOSFETN61をオフ状態として、試験パッ
ドTPADから任意の高電位側動作電源を入力すること
もでき、これによってマイクロコンピュータの試験動作
を効率良く実施することができる。
タは、内部電圧供給線VCLPつまり論理回路部LCの
インバータV1のMOSFETP1のソースに結合され
る外部端子つまり試験パッドTPADを備える。この試
験パッドTPADには、マイクロコンピュータが通常の
動作状態とされるとき、例えば比較的大きな静電容量値
を有する電源平滑用のキャパシタを結合することがで
き、これによって内部電圧供給線VCLPにおける高電
位側動作電源の電位を安定化することができる。また、
マイクロコンピュータが所定のテストモードとされると
きには、この試験パッドTPADを介して内部電圧供給
線VCLPにおける高電位側動作電源の電位をモニタ
し、その正常性を確認できるとともに、テストモード時
には、例えばチャージポンプ回路CP6の出力たる内部
電圧VPを強制的に接地電位VSSとし、電源制御部V
C6のMOSFETN61をオフ状態として、試験パッ
ドTPADから任意の高電位側動作電源を入力すること
もでき、これによってマイクロコンピュータの試験動作
を効率良く実施することができる。
【0069】図10には、図1のマイクロコンピュータ
に含まれる入出力バッファIOB1及びIOB2の第1
の実施例の回路図が示され、図11には、その一実施例
の信号波形図が示されている。また、図12には、図1
のマイクロコンピュータに含まれる入出力バッファIO
B1及びIOB2の第2の実施例の回路図が示されてい
る。これらの図をもとに、この実施例のマイクロコンピ
ュータに含まれる入出力バッファの具体的構成及び動作
ならびにその特徴について説明する。なお、図10及び
図12の入出力バッファIOB1は、言わばこの発明の
主旨を用いた応用例となる。また、入出力バッファIO
B1は、例えばマイクロコンピュータの中央処理装置C
PU又はダイレクトメモリアクセスコントローラDMA
C等に内部バスIBUSの各ビットに対応して設けられ
るものの一つであり、入出力バッファIOB2は、例え
ば入出力ポートIOP1〜IOP5に内部バスIBUS
の各ビットに対応して設けられるものの一つである。さ
らに、図12の入出力バッファIOB1は、図10の入
出力バッファIOB1にバスデータ保持回路BDHを追
加したものであり、その他の部分はこれと同一構成とさ
れる。
に含まれる入出力バッファIOB1及びIOB2の第1
の実施例の回路図が示され、図11には、その一実施例
の信号波形図が示されている。また、図12には、図1
のマイクロコンピュータに含まれる入出力バッファIO
B1及びIOB2の第2の実施例の回路図が示されてい
る。これらの図をもとに、この実施例のマイクロコンピ
ュータに含まれる入出力バッファの具体的構成及び動作
ならびにその特徴について説明する。なお、図10及び
図12の入出力バッファIOB1は、言わばこの発明の
主旨を用いた応用例となる。また、入出力バッファIO
B1は、例えばマイクロコンピュータの中央処理装置C
PU又はダイレクトメモリアクセスコントローラDMA
C等に内部バスIBUSの各ビットに対応して設けられ
るものの一つであり、入出力バッファIOB2は、例え
ば入出力ポートIOP1〜IOP5に内部バスIBUS
の各ビットに対応して設けられるものの一つである。さ
らに、図12の入出力バッファIOB1は、図10の入
出力バッファIOB1にバスデータ保持回路BDHを追
加したものであり、その他の部分はこれと同一構成とさ
れる。
【0070】図10において、入出力バッファIOB1
は、電源電圧VCC1と内部ノードn1つまり内部バス
IBUSの対応するビット(信号経路)との間に直列形
態に設けられるNチャンネルMOSFETN71(第2
のMOSFET)及びPチャンネルMOSFETP71
(第1のMOSFET)を含む。このうち、MOSFE
TN71のゲートには、チャージポンプ回路CP7の出
力たる内部電圧VPが供給され、その基板部には接地電
位VSSが供給される。また、MOSFETP71のゲ
ートには、ナンド(NAND)ゲートNA71の出力信
号が供給され、その基板部は、そのソースつまり内部ノ
ードn2に結合される。内部ノードn1は、さらにNチ
ャンネルMOSFETN72を介して接地電位VSSに
結合される。このMOSFETN72のゲートには、ノ
ア(NOR)ゲートNO71の出力信号が供給され、そ
の基板部には接地電位VSSが供給される。
は、電源電圧VCC1と内部ノードn1つまり内部バス
IBUSの対応するビット(信号経路)との間に直列形
態に設けられるNチャンネルMOSFETN71(第2
のMOSFET)及びPチャンネルMOSFETP71
(第1のMOSFET)を含む。このうち、MOSFE
TN71のゲートには、チャージポンプ回路CP7の出
力たる内部電圧VPが供給され、その基板部には接地電
位VSSが供給される。また、MOSFETP71のゲ
ートには、ナンド(NAND)ゲートNA71の出力信
号が供給され、その基板部は、そのソースつまり内部ノ
ードn2に結合される。内部ノードn1は、さらにNチ
ャンネルMOSFETN72を介して接地電位VSSに
結合される。このMOSFETN72のゲートには、ノ
ア(NOR)ゲートNO71の出力信号が供給され、そ
の基板部には接地電位VSSが供給される。
【0071】この実施例において、入出力バッファIO
B1の高電位側動作電源となる電源電圧VCC1は、特
に制限されないが、例えば+2.0Vとされ、その低電
位側動作電源となる接地電位VSSは0Vとされる。
B1の高電位側動作電源となる電源電圧VCC1は、特
に制限されないが、例えば+2.0Vとされ、その低電
位側動作電源となる接地電位VSSは0Vとされる。
【0072】入出力バッファIOB1のチャージポンプ
回路CP7には、図示されない制御部から入出力制御信
号IOCが供給される。また、ナンドゲートNA71の
一方の入力端子には、出力イネーブル信号OE1が供給
され、ノアゲートNO1の一方の入力端子には、そのイ
ンバータV71による反転信号が供給される。ナンドゲ
ートNA71及びノアゲートNO71の他方の入力端子
には、図示されない前段のレジスタから内部出力データ
OD1が共通に供給される。
回路CP7には、図示されない制御部から入出力制御信
号IOCが供給される。また、ナンドゲートNA71の
一方の入力端子には、出力イネーブル信号OE1が供給
され、ノアゲートNO1の一方の入力端子には、そのイ
ンバータV71による反転信号が供給される。ナンドゲ
ートNA71及びノアゲートNO71の他方の入力端子
には、図示されない前段のレジスタから内部出力データ
OD1が共通に供給される。
【0073】入出力バッファIOB1は、さらに、その
一方の入力端子に入出力制御信号IOCを受けるナンド
ゲートNA72を含む。このナンドゲートNA72の他
方の入力端子は、内部ノードn1つまり内部バスIBU
Sに結合され、その出力信号は、内部入力データID1
として図示されない後段回路に供給される。
一方の入力端子に入出力制御信号IOCを受けるナンド
ゲートNA72を含む。このナンドゲートNA72の他
方の入力端子は、内部ノードn1つまり内部バスIBU
Sに結合され、その出力信号は、内部入力データID1
として図示されない後段回路に供給される。
【0074】次に、入出力バッファIOB2は、特に制
限されないが、電源電圧VCC2と接地電位VSSとの
間に設けられるPチャンネルMOSFETP81及びN
チャンネルMOSFETN81を含む。これらのMOS
FETP81及びN81の共通結合されたドレインは、
内部バスIBUSの対応するビットに結合される。ま
た、MOSFETP81のゲートには、ナンドゲートN
A81の出力信号が供給され、MOSFETN81のゲ
ートには、ノアゲートNO81の出力信号が供給され
る。ナンドゲートNA81の一方の入力端子には、出力
イネーブル信号OE2が供給され、ノアゲートNO81
の一方の入力端子には、そのインバータV81による反
転信号が供給される。ナンドゲートNA81及びノアゲ
ートNO81の他方の入力端子には、内部出力データO
D2が共通に供給される。
限されないが、電源電圧VCC2と接地電位VSSとの
間に設けられるPチャンネルMOSFETP81及びN
チャンネルMOSFETN81を含む。これらのMOS
FETP81及びN81の共通結合されたドレインは、
内部バスIBUSの対応するビットに結合される。ま
た、MOSFETP81のゲートには、ナンドゲートN
A81の出力信号が供給され、MOSFETN81のゲ
ートには、ノアゲートNO81の出力信号が供給され
る。ナンドゲートNA81の一方の入力端子には、出力
イネーブル信号OE2が供給され、ノアゲートNO81
の一方の入力端子には、そのインバータV81による反
転信号が供給される。ナンドゲートNA81及びノアゲ
ートNO81の他方の入力端子には、内部出力データO
D2が共通に供給される。
【0075】入出力バッファIOB2は、さらに、その
入力端子が内部バスIBUSの対応するビットに結合さ
れるレベル変換回路LCを含む。このレベル変換回路L
Cの出力信号は、内部入力データID2として、入出力
バッファIOB2の図示されない後段回路に供給され
る。なお、入出力バッファIOB2の高電位側動作電源
となる電源電圧VCC2は、例えば+3.3Vとされ
る。
入力端子が内部バスIBUSの対応するビットに結合さ
れるレベル変換回路LCを含む。このレベル変換回路L
Cの出力信号は、内部入力データID2として、入出力
バッファIOB2の図示されない後段回路に供給され
る。なお、入出力バッファIOB2の高電位側動作電源
となる電源電圧VCC2は、例えば+3.3Vとされ
る。
【0076】ここで、入出力制御信号IOCは、特に制
限されないが、図11に示されるように、入出力バッフ
ァIOB1が出力モードとされるとき選択的に接地電位
VSSのようなロウレベルとされ、入出力バッファIO
B1が入力モードとされるとき選択的に電源電圧VCC
1のようなハイレベルとされる。また、出力イネーブル
信号OE1は、入出力バッファIOB1が出力モードと
されかつその出力動作を可能とするとき選択的に電源電
圧VCC1のようなハイレベルとされ、内部出力データ
OD1は、出力イネーブル信号OE1がハイレベルとさ
れる間に選択的に論理“0”のロウレベル又は論理
“1”のハイレベルとされる。
限されないが、図11に示されるように、入出力バッフ
ァIOB1が出力モードとされるとき選択的に接地電位
VSSのようなロウレベルとされ、入出力バッファIO
B1が入力モードとされるとき選択的に電源電圧VCC
1のようなハイレベルとされる。また、出力イネーブル
信号OE1は、入出力バッファIOB1が出力モードと
されかつその出力動作を可能とするとき選択的に電源電
圧VCC1のようなハイレベルとされ、内部出力データ
OD1は、出力イネーブル信号OE1がハイレベルとさ
れる間に選択的に論理“0”のロウレベル又は論理
“1”のハイレベルとされる。
【0077】一方、入出力バッファIOB1のチャージ
ポンプ回路CP7は、入出力バッファIOB1が出力モ
ードとされ入出力制御信号IOCがロウレベルとされる
ことで選択的に動作状態とされる。この動作状態におい
て、チャージポンプ回路CP7は電源電圧VCC1をも
とに内部電圧VPを生成し、MOSFETN71のゲー
トに供給する。このとき、内部電圧VPの電位は、図1
1に示されるように、入出力バッファIOB2の高電位
側動作電源たる電源電圧VCC2つまり例えば+3.3
Vとされる。入出力バッファIOB1が入力モードとさ
れ入出力制御信号IOCがハイレベルとされるとき、チ
ャージポンプ回路CP7はその動作を停止し、内部電圧
VPは電源電圧VCC1つまり+2.0Vとされる。
ポンプ回路CP7は、入出力バッファIOB1が出力モ
ードとされ入出力制御信号IOCがロウレベルとされる
ことで選択的に動作状態とされる。この動作状態におい
て、チャージポンプ回路CP7は電源電圧VCC1をも
とに内部電圧VPを生成し、MOSFETN71のゲー
トに供給する。このとき、内部電圧VPの電位は、図1
1に示されるように、入出力バッファIOB2の高電位
側動作電源たる電源電圧VCC2つまり例えば+3.3
Vとされる。入出力バッファIOB1が入力モードとさ
れ入出力制御信号IOCがハイレベルとされるとき、チ
ャージポンプ回路CP7はその動作を停止し、内部電圧
VPは電源電圧VCC1つまり+2.0Vとされる。
【0078】入出力バッファIOB1が出力モードとさ
れて入出力制御信号IOCがロウレベルとされ、かつ出
力イネーブル信号OE1がハイレベルとされるとき、入
出力バッファIOB1では、チャージポンプ回路CP7
が動作状態とされ、内部電圧VPは電源電圧VCC2の
ような高電位とされる。このとき、MOSFETN71
は、内部電圧VPの高電位を受けて完全なオン状態とな
り、電源電圧VCC1はMOSFETN71のしきい値
電圧の影響を受けることなくそのままMOSFETP7
1のソースつまり内部ノードn2に伝達される。また、
ナンドゲートNA71及びノアゲートNO71の出力信
号は、内部出力データOD1の論理値に応じて選択的に
かつ相補的にハイレベル又はロウレベルとされる。
れて入出力制御信号IOCがロウレベルとされ、かつ出
力イネーブル信号OE1がハイレベルとされるとき、入
出力バッファIOB1では、チャージポンプ回路CP7
が動作状態とされ、内部電圧VPは電源電圧VCC2の
ような高電位とされる。このとき、MOSFETN71
は、内部電圧VPの高電位を受けて完全なオン状態とな
り、電源電圧VCC1はMOSFETN71のしきい値
電圧の影響を受けることなくそのままMOSFETP7
1のソースつまり内部ノードn2に伝達される。また、
ナンドゲートNA71及びノアゲートNO71の出力信
号は、内部出力データOD1の論理値に応じて選択的に
かつ相補的にハイレベル又はロウレベルとされる。
【0079】すなわち、内部出力データOD1が論理
“0”つまり接地電位VSSのようなロウレベルとされ
るとき、ノアゲートNO71の出力信号は電源電圧VC
C1のようなハイレベルとなり、ナンドゲートNA71
の出力信号も電源電圧VCC1のようなハイレベルとな
る。このため、MOSFETP71がオフ状態となり、
MOSFETN71がオン状態となって、内部バスIB
USの対応するビットには接地電位VSSのようなロウ
レベルが出力される。
“0”つまり接地電位VSSのようなロウレベルとされ
るとき、ノアゲートNO71の出力信号は電源電圧VC
C1のようなハイレベルとなり、ナンドゲートNA71
の出力信号も電源電圧VCC1のようなハイレベルとな
る。このため、MOSFETP71がオフ状態となり、
MOSFETN71がオン状態となって、内部バスIB
USの対応するビットには接地電位VSSのようなロウ
レベルが出力される。
【0080】一方、内部出力データOD1が論理“1”
つまり電源電圧VCC1のようなハイレベルとされる
と、ノアゲートNO71の出力信号は接地電位VSSの
ようなロウレベルとなり、ナンドゲートNA71の出力
信号も接地電位VSSのようなハイレベルとなる。この
ため、MOSFETN71はオフ状態となり、代わって
MOSFETP71がオン状態となって、内部バスIB
USの対応するビットには電源電圧VCC1のようなハ
イレベルが出力される。
つまり電源電圧VCC1のようなハイレベルとされる
と、ノアゲートNO71の出力信号は接地電位VSSの
ようなロウレベルとなり、ナンドゲートNA71の出力
信号も接地電位VSSのようなハイレベルとなる。この
ため、MOSFETN71はオフ状態となり、代わって
MOSFETP71がオン状態となって、内部バスIB
USの対応するビットには電源電圧VCC1のようなハ
イレベルが出力される。
【0081】言うまでもなく、入出力バッファIOB1
が出力モードとされるとき、入出力バッファIOB2は
入力モードとされ、出力イネーブル信号OE2は接地電
位VSSのようなロウレベルとされる。入出力バッファ
IOB2では、出力イネーブル信号OE2のロウレベル
を受けてナンドゲートNA81の出力信号が電源電圧V
CC2のようなハイレベルとされ、ノアゲートNO81
の出力信号は接地電位VSSのようなロウレベルとされ
る。したがって、MOSFETP81及びN81はとも
にオフ状態となり、内部バスIBUSの入出力バッファ
IOB2側からみた電位はハイインピーダンス状態Hz
とされる。このとき、出力モードにある入出力バッファ
IOB1から内部バスIBUSに出力される接地電位V
SSのようなロウレベルあるいは電源電圧VCC1のよ
うなハイレベルは、入出力バッファIOB2のレベル変
換回路LCにより、接地電位VSSをロウレベルとし電
源電圧VCC2をハイレベルとする内部入力データID
2に変換され、入出力バッファIOB2の図示されない
後段回路に伝達される。
が出力モードとされるとき、入出力バッファIOB2は
入力モードとされ、出力イネーブル信号OE2は接地電
位VSSのようなロウレベルとされる。入出力バッファ
IOB2では、出力イネーブル信号OE2のロウレベル
を受けてナンドゲートNA81の出力信号が電源電圧V
CC2のようなハイレベルとされ、ノアゲートNO81
の出力信号は接地電位VSSのようなロウレベルとされ
る。したがって、MOSFETP81及びN81はとも
にオフ状態となり、内部バスIBUSの入出力バッファ
IOB2側からみた電位はハイインピーダンス状態Hz
とされる。このとき、出力モードにある入出力バッファ
IOB1から内部バスIBUSに出力される接地電位V
SSのようなロウレベルあるいは電源電圧VCC1のよ
うなハイレベルは、入出力バッファIOB2のレベル変
換回路LCにより、接地電位VSSをロウレベルとし電
源電圧VCC2をハイレベルとする内部入力データID
2に変換され、入出力バッファIOB2の図示されない
後段回路に伝達される。
【0082】次に、入出力バッファIOB1が入力モー
ドとされ、入出力制御信号IOCが電源電圧VCC1の
ようなハイレベルとされるとき、入出力バッファIOB
1では、チャージポンプ回路CP7のチャージポンプ動
作が停止され、内部電圧VPは電源電圧VCC1つまり
+2.0Vのような比較的低い電位とされる。このと
き、MOSFETN71は一応オン状態となるが、電源
電圧VCC1は、MOSFETN71のしきい値電圧V
thn分だけ低い電位つまり例えば+1.0Vとなって
MOSFETN71のソースつまり内部ノードn2に伝
達される。また、出力イネーブル信号OE1のロウレベ
ルを受けてナンドゲートNA71の出力信号が電源電圧
VCC1のようなハイレベルとされ、ノアゲートNO7
1の出力信号は接地電位VSSのようなロウレベルとさ
れる。したがって、MOSFETP71及びN72がと
もにオフ状態となり、内部バスIBUSの入出力バッフ
ァIOB1側からみた電位はハイインピーダンス状態H
zとされる。
ドとされ、入出力制御信号IOCが電源電圧VCC1の
ようなハイレベルとされるとき、入出力バッファIOB
1では、チャージポンプ回路CP7のチャージポンプ動
作が停止され、内部電圧VPは電源電圧VCC1つまり
+2.0Vのような比較的低い電位とされる。このと
き、MOSFETN71は一応オン状態となるが、電源
電圧VCC1は、MOSFETN71のしきい値電圧V
thn分だけ低い電位つまり例えば+1.0Vとなって
MOSFETN71のソースつまり内部ノードn2に伝
達される。また、出力イネーブル信号OE1のロウレベ
ルを受けてナンドゲートNA71の出力信号が電源電圧
VCC1のようなハイレベルとされ、ノアゲートNO7
1の出力信号は接地電位VSSのようなロウレベルとさ
れる。したがって、MOSFETP71及びN72がと
もにオフ状態となり、内部バスIBUSの入出力バッフ
ァIOB1側からみた電位はハイインピーダンス状態H
zとされる。
【0083】入出力バッファIOB1が入力モードとさ
れるとき、入出力バッファIOB2は出力モードとさ
れ、出力イネーブル信号OE2は電源電圧VCC2のよ
うなハイレベルとされる。このため、入出力バッファI
OB2では、出力イネーブル信号OE2のハイレベルを
受けてナンドゲートNA81及びノアゲートNO81の
出力信号は選択的にかつ相補的にロウレベル又はハイレ
ベルとされ、これを受けてMOSFETP81及びN8
1が選択的にかつ相補的にオン状態となって、内部バス
IBUSには接地電位VSSのような論理“0”あるい
は電源電圧VCC2のような論理“1”の出力信号が選
択的に伝達される。これらの出力信号は、入出力バッフ
ァIOB1のナンドゲートNA72を経て内部入力デー
タID1となり、入出力バッファIOB1の図示されな
い後段回路に伝達される。
れるとき、入出力バッファIOB2は出力モードとさ
れ、出力イネーブル信号OE2は電源電圧VCC2のよ
うなハイレベルとされる。このため、入出力バッファI
OB2では、出力イネーブル信号OE2のハイレベルを
受けてナンドゲートNA81及びノアゲートNO81の
出力信号は選択的にかつ相補的にロウレベル又はハイレ
ベルとされ、これを受けてMOSFETP81及びN8
1が選択的にかつ相補的にオン状態となって、内部バス
IBUSには接地電位VSSのような論理“0”あるい
は電源電圧VCC2のような論理“1”の出力信号が選
択的に伝達される。これらの出力信号は、入出力バッフ
ァIOB1のナンドゲートNA72を経て内部入力デー
タID1となり、入出力バッファIOB1の図示されな
い後段回路に伝達される。
【0084】ところで、入出力バッファIOB1が入力
モードとされ、内部バスIBUSを介して電源電圧VC
C2つまり+3.3Vのような高電位のハイレベルが伝
達されるとき、入出力バッファIOB1では、MOSF
ETP71のドレイン及びチャネル間のPN接合部が順
バイアス状態となり、MOSFETN71のソースつま
り内部ノードn2には、電源電圧VCC2よりMOSF
ETP71の順方向電圧α分だけ低い高電位つまりVC
C2−αが伝達される。しかし、この実施例では、前述
のように、入出力バッファIOB1が入力モードとされ
るときチャージポンプ回路CP7の出力たる内部電圧V
Pの電位が電源電圧VCC1つまり+2.0Vとされる
ため、MOSFETN71は逆バイアス状態となってオ
フ状態となる。したがって、電源電圧VCC1は、内部
ノードn1の高電位による影響を受けなくなり、その電
位変動を防止することができる。
モードとされ、内部バスIBUSを介して電源電圧VC
C2つまり+3.3Vのような高電位のハイレベルが伝
達されるとき、入出力バッファIOB1では、MOSF
ETP71のドレイン及びチャネル間のPN接合部が順
バイアス状態となり、MOSFETN71のソースつま
り内部ノードn2には、電源電圧VCC2よりMOSF
ETP71の順方向電圧α分だけ低い高電位つまりVC
C2−αが伝達される。しかし、この実施例では、前述
のように、入出力バッファIOB1が入力モードとされ
るときチャージポンプ回路CP7の出力たる内部電圧V
Pの電位が電源電圧VCC1つまり+2.0Vとされる
ため、MOSFETN71は逆バイアス状態となってオ
フ状態となる。したがって、電源電圧VCC1は、内部
ノードn1の高電位による影響を受けなくなり、その電
位変動を防止することができる。
【0085】以上のように、この実施例では、比較的簡
素な構成をもって、異なる電位の電源電圧VCC2を高
電位側動作電源とする入出力バッファIOB2との間で
信号を授受し、かつその高電位側動作電源たる電源電圧
VCC1の電位変動を抑制しうる入出力バッファIOB
1を構成することができるものである。
素な構成をもって、異なる電位の電源電圧VCC2を高
電位側動作電源とする入出力バッファIOB2との間で
信号を授受し、かつその高電位側動作電源たる電源電圧
VCC1の電位変動を抑制しうる入出力バッファIOB
1を構成することができるものである。
【0086】なお、マイクロコンピュータが待機状態と
されるとき、内部バスIBUSに電源電圧VCC2のよ
うな高電位が出力されたままの状態とされ、かつ内部バ
スIBUS上の信号をそのままの論理レベルで保持した
い場合、入出力バッファIOB1に図12のようなバス
データ保持回路BDHを追加すればよい。このバスデー
タ保持回路BDHは、PチャンネルMOSFET91及
びNチャンネルMOSFETN91からなるインバータ
V91と、PチャンネルMOSFETP92及びNチャ
ンネルMOSFETN92からなるインバータV92
と、PチャンネルMOSFETP93及びP94ならび
にNチャンネルMOSFETN93及びN94からなる
インバータV93とを含む。このうち、インバータV9
1及びV93は、マイクロコンピュータがスタンバイ状
態とされ内部制御信号STBYNがロウレベルとされる
とき、インバータV92の出力信号がハイレベルとされ
ることで選択的に交差結合され、一つのラッチ回路を構
成する。このラッチ回路は、その入出力端子が内部バス
IBUSの対応するビットに結合され、スタンバイ時に
おける内部バスIBUSの論理レベルを保持する。
されるとき、内部バスIBUSに電源電圧VCC2のよ
うな高電位が出力されたままの状態とされ、かつ内部バ
スIBUS上の信号をそのままの論理レベルで保持した
い場合、入出力バッファIOB1に図12のようなバス
データ保持回路BDHを追加すればよい。このバスデー
タ保持回路BDHは、PチャンネルMOSFET91及
びNチャンネルMOSFETN91からなるインバータ
V91と、PチャンネルMOSFETP92及びNチャ
ンネルMOSFETN92からなるインバータV92
と、PチャンネルMOSFETP93及びP94ならび
にNチャンネルMOSFETN93及びN94からなる
インバータV93とを含む。このうち、インバータV9
1及びV93は、マイクロコンピュータがスタンバイ状
態とされ内部制御信号STBYNがロウレベルとされる
とき、インバータV92の出力信号がハイレベルとされ
ることで選択的に交差結合され、一つのラッチ回路を構
成する。このラッチ回路は、その入出力端子が内部バス
IBUSの対応するビットに結合され、スタンバイ時に
おける内部バスIBUSの論理レベルを保持する。
【0087】この実施例において、ラッチ回路のPチャ
ンネルMOSFETP91,P92ならびにP93のソ
ースは、そのゲートにチャージポンプ回路CP9の出力
たる内部電圧VPを受けるNチャンネルMOSFETN
90(第5のMOSFET)を介して電源電圧VCC1
に結合される。この内部電圧VPの電位は、マイクロコ
ンピュータが通常の動作状態とされるとき、電源電圧V
CC1より高い例えば電源電圧VCC2つまり+3.3
Vのような高電位(第5の電位)とされ、スタンバイ時
には、電源電圧VCC1と同電位つまり+2.0Vとさ
れる。これにより、マイクロコンピュータが通常の動作
状態とされMOSFETP91〜P94がオフ状態とさ
れる場合でも、入出力バッファIOB2から内部バスI
BUSに出力される電源電圧VCC2のような高電位に
よって内部電圧VCC1が影響を受け、その電位が変動
するのを防止することができる。
ンネルMOSFETP91,P92ならびにP93のソ
ースは、そのゲートにチャージポンプ回路CP9の出力
たる内部電圧VPを受けるNチャンネルMOSFETN
90(第5のMOSFET)を介して電源電圧VCC1
に結合される。この内部電圧VPの電位は、マイクロコ
ンピュータが通常の動作状態とされるとき、電源電圧V
CC1より高い例えば電源電圧VCC2つまり+3.3
Vのような高電位(第5の電位)とされ、スタンバイ時
には、電源電圧VCC1と同電位つまり+2.0Vとさ
れる。これにより、マイクロコンピュータが通常の動作
状態とされMOSFETP91〜P94がオフ状態とさ
れる場合でも、入出力バッファIOB2から内部バスI
BUSに出力される電源電圧VCC2のような高電位に
よって内部電圧VCC1が影響を受け、その電位が変動
するのを防止することができる。
【0088】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)CMOS論理ゲートを基本素子とするマイクロコ
ンピュータ等の半導体集積回路装置において、CMOS
論理ゲートを構成するPチャンネル型の第1のMOSF
ETのソースと電源電圧VCCとの間に、そのゲート電
位が、通常動作時は電源電圧VCCより絶対値の大きな
第1の電位とされ、待機時には電源電圧VCCと同電位
とされるNチャンネル型の第2のMOSFETを設け、
あるいはCMOS論理ゲートを構成するNチャンネル型
の第3のMOSFETのソースと接地電位VSSとの間
に、そのゲート電位が、通常動作時は接地電位VSSよ
り低い負の第3の電位とされ、待機時には接地電位VS
Sと同電位とされるPチャンネル型の第4のMOSFE
Tを設けることで、通常動作時は、上記第2又は第4の
MOSFETのしきい値電圧の影響を受けることなく、
電源電圧VCC及び接地電位VSSをそのままCMOS
論理ゲートの動作電源として供給し、CMOS論理ゲー
トの高速性を確保できるという効果が得られる。
記の通りである。すなわち、 (1)CMOS論理ゲートを基本素子とするマイクロコ
ンピュータ等の半導体集積回路装置において、CMOS
論理ゲートを構成するPチャンネル型の第1のMOSF
ETのソースと電源電圧VCCとの間に、そのゲート電
位が、通常動作時は電源電圧VCCより絶対値の大きな
第1の電位とされ、待機時には電源電圧VCCと同電位
とされるNチャンネル型の第2のMOSFETを設け、
あるいはCMOS論理ゲートを構成するNチャンネル型
の第3のMOSFETのソースと接地電位VSSとの間
に、そのゲート電位が、通常動作時は接地電位VSSよ
り低い負の第3の電位とされ、待機時には接地電位VS
Sと同電位とされるPチャンネル型の第4のMOSFE
Tを設けることで、通常動作時は、上記第2又は第4の
MOSFETのしきい値電圧の影響を受けることなく、
電源電圧VCC及び接地電位VSSをそのままCMOS
論理ゲートの動作電源として供給し、CMOS論理ゲー
トの高速性を確保できるという効果が得られる。
【0089】(2)上記(1)項により、待機時には、
その絶対値が上記Pチャンネル又はNチャンネルMOS
FETのしきい値電圧分だけ圧縮された電源電圧VCC
及び接地電位VSSをCMOS論理ゲートの動作電源と
して供給し、CMOS論理ゲートの動作電流を低減でき
るという効果が得られる。 (3)上記(1)項により、待機時には、それほど深い
基板電圧を印加することなく、第1及び第3のMOSF
ETのソース・基板間を逆バイアス状態とし、そのリー
ク電流を小さくすることができるという効果が得られ
る。
その絶対値が上記Pチャンネル又はNチャンネルMOS
FETのしきい値電圧分だけ圧縮された電源電圧VCC
及び接地電位VSSをCMOS論理ゲートの動作電源と
して供給し、CMOS論理ゲートの動作電流を低減でき
るという効果が得られる。 (3)上記(1)項により、待機時には、それほど深い
基板電圧を印加することなく、第1及び第3のMOSF
ETのソース・基板間を逆バイアス状態とし、そのリー
ク電流を小さくすることができるという効果が得られ
る。
【0090】(4)上記(1)項ないし(3)項におい
て、第2のMOSFETの通常動作時におけるゲート電
位を、電源電圧VCCに第2のMOSFETのしきい値
電圧を加えた電位よりやや低い電位とし、第4のMOS
FETの通常動作時におけるゲート電位を、接地電位V
SSから第4のMOSFETのしきい値電圧を差し引い
た電位よりやや低い負電位とすることで、電源電圧の電
位変動の影響を受けることなく、第1及び第3のソース
電位たるCMOS論理ゲートの高電位側動作電源の電位
を安定化することができるという効果が得られる。 (5)上記(1)項ないし(4)項により、CMOS論
理ゲートを基本素子とするマイクロコンピュータ等の動
作を安定化しつつ、スタンバイ時における低消費電力化
を図り、その信頼性を高めることができるという効果が
得られる。
て、第2のMOSFETの通常動作時におけるゲート電
位を、電源電圧VCCに第2のMOSFETのしきい値
電圧を加えた電位よりやや低い電位とし、第4のMOS
FETの通常動作時におけるゲート電位を、接地電位V
SSから第4のMOSFETのしきい値電圧を差し引い
た電位よりやや低い負電位とすることで、電源電圧の電
位変動の影響を受けることなく、第1及び第3のソース
電位たるCMOS論理ゲートの高電位側動作電源の電位
を安定化することができるという効果が得られる。 (5)上記(1)項ないし(4)項により、CMOS論
理ゲートを基本素子とするマイクロコンピュータ等の動
作を安定化しつつ、スタンバイ時における低消費電力化
を図り、その信頼性を高めることができるという効果が
得られる。
【0091】(6)上記(1)項において、第1及び第
2のMOSFETをもとにマイクロコンピュータ等の入
出力バッファを構成することで、比較的簡素な構成をも
って、絶対値の大きな電源電圧を動作電源とする他の入
出力バッファとの間で信号を授受し、かつ絶対値の大き
な信号が伝達される場合でもその電源電圧の電位変動を
抑制しうる入出力バッファを実現できるという効果が得
られる。 (7)上記(6)項において、入出力バッファに、上記
第1及び第2のMOSFETと同様なMOSFETを含
むバスデータ保持回路を設けることで、マイクロコンピ
ュータ等がスタンバイ状態とされ、信号経路に高電位が
出力されたままの状態とされる場合でも、電源電圧の電
位変動を抑制しつつ、信号レベルを保持しうる入出力バ
ッファを実現できるという効果が得られる。
2のMOSFETをもとにマイクロコンピュータ等の入
出力バッファを構成することで、比較的簡素な構成をも
って、絶対値の大きな電源電圧を動作電源とする他の入
出力バッファとの間で信号を授受し、かつ絶対値の大き
な信号が伝達される場合でもその電源電圧の電位変動を
抑制しうる入出力バッファを実現できるという効果が得
られる。 (7)上記(6)項において、入出力バッファに、上記
第1及び第2のMOSFETと同様なMOSFETを含
むバスデータ保持回路を設けることで、マイクロコンピ
ュータ等がスタンバイ状態とされ、信号経路に高電位が
出力されたままの状態とされる場合でも、電源電圧の電
位変動を抑制しつつ、信号レベルを保持しうる入出力バ
ッファを実現できるという効果が得られる。
【0092】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、マイクロコンピュータのブロック構
成は、この実施例による制約を受けない。図2,図4な
らびに図6〜9において、論理回路部LCはインバータ
以外の各種論理ゲートを含むことができるし、その論理
構成や電源電圧の極性ならびにMOSFETの導電型等
も、各実施例による制約を受けない。図3及び図5にお
いて、電源制御信号CVの有効レベルは任意に設定でき
るし、電源電圧及び各内部電圧の具体的な絶対値ならび
にそのレベル関係は本発明の主旨に影響を与えない。
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、マイクロコンピュータのブロック構
成は、この実施例による制約を受けない。図2,図4な
らびに図6〜9において、論理回路部LCはインバータ
以外の各種論理ゲートを含むことができるし、その論理
構成や電源電圧の極性ならびにMOSFETの導電型等
も、各実施例による制約を受けない。図3及び図5にお
いて、電源制御信号CVの有効レベルは任意に設定でき
るし、電源電圧及び各内部電圧の具体的な絶対値ならび
にそのレベル関係は本発明の主旨に影響を与えない。
【0093】図8において、電源制御部VC51及びV
C52は、インバータV1を構成するMOSFETP1
及びN1の基板部を内部電圧供給線VCBP又はVCB
Nに結合することで、それぞれ図4の電源制御部VC2
又は図7の電源制御部VC4に置き換えてもよい。図9
において、試験パッドTPADは、外部端子としてもよ
い。また、試験パッドTPADは、テストモード時に選
択的にオン状態とされるトランスファゲートを介して内
部電圧供給線VCLPに結合されるようにしてもよい。
マイクロコンピュータは、例えば図6の内部電圧供給線
VCLSに結合される試験パッドを備えることができる
し、例えば内部電圧VP又はVMの電位をモニタし設定
するための試験パッドを備えることもできる。
C52は、インバータV1を構成するMOSFETP1
及びN1の基板部を内部電圧供給線VCBP又はVCB
Nに結合することで、それぞれ図4の電源制御部VC2
又は図7の電源制御部VC4に置き換えてもよい。図9
において、試験パッドTPADは、外部端子としてもよ
い。また、試験パッドTPADは、テストモード時に選
択的にオン状態とされるトランスファゲートを介して内
部電圧供給線VCLPに結合されるようにしてもよい。
マイクロコンピュータは、例えば図6の内部電圧供給線
VCLSに結合される試験パッドを備えることができる
し、例えば内部電圧VP又はVMの電位をモニタし設定
するための試験パッドを備えることもできる。
【0094】図10及び図12において、入出力バッフ
ァIOB1及びIOB2の具体的構成は種々の実施形態
をとりうるし、電源電圧VCC1及びVCC2の極性及
び絶対値も任意に設定できる。図11において、各制御
信号等の具体的なレベル及び時間関係は、本発明の主旨
に影響を与えない。
ァIOB1及びIOB2の具体的構成は種々の実施形態
をとりうるし、電源電圧VCC1及びVCC2の極性及
び絶対値も任意に設定できる。図11において、各制御
信号等の具体的なレベル及び時間関係は、本発明の主旨
に影響を与えない。
【0095】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるシン
グルチップマイクロコンピュータに適用した場合につい
て説明したが、それに限定されるものではなく、例え
ば、CMOS論理ゲートを基本素子とする各種の論理集
積回路装置やメモリ集積回路装置等にも適用できる。こ
の発明は、少なくともMOSFET論理ゲートを基本素
子とする半導体集積回路装置ならびにこれを含む装置又
はシステムに広く適用できる。
てなされた発明をその背景となった利用分野であるシン
グルチップマイクロコンピュータに適用した場合につい
て説明したが、それに限定されるものではなく、例え
ば、CMOS論理ゲートを基本素子とする各種の論理集
積回路装置やメモリ集積回路装置等にも適用できる。こ
の発明は、少なくともMOSFET論理ゲートを基本素
子とする半導体集積回路装置ならびにこれを含む装置又
はシステムに広く適用できる。
【0096】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、CMOS論理ゲートを基本
素子とするシングルチップマイクロコンピュータ等の半
導体集積回路装置において、CMOS論理ゲートを構成
するPチャンネル型の第1のMOSFETのソースと電
源電圧VCCとの間に、そのゲート電位が、通常動作時
は電源電圧VCCより絶対値の大きな第1の電位とさ
れ、待機時には電源電圧VCCと同電位又は電源電圧V
CCより絶対値の小さな第2の電位とされるNチャンネ
ル型の第2のMOSFETを設けるとともに、CMOS
論理ゲートを構成するNチャンネル型の第3のMOSF
ETのソースと接地電位VSSとの間に、そのゲート電
位が、通常動作時は接地電位VSSより低い負の第3の
電位とされ、待機時には接地電位VSSと同電位又は接
地電位VSSよりやや高い第4の電位とされるPチャン
ネル型の第4のMOSFETを設ける。また、CMOS
論理ゲートを構成する第1及び第3のMOSFETの基
板部に、通常動作時は各MOSFETのソース電位ある
いは電源電圧VCC又は接地電位VSSをそれぞれ供給
し、待機時には電源電圧VCC又は接地電位VSSをそ
れぞれそのまま供給する。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、CMOS論理ゲートを基本
素子とするシングルチップマイクロコンピュータ等の半
導体集積回路装置において、CMOS論理ゲートを構成
するPチャンネル型の第1のMOSFETのソースと電
源電圧VCCとの間に、そのゲート電位が、通常動作時
は電源電圧VCCより絶対値の大きな第1の電位とさ
れ、待機時には電源電圧VCCと同電位又は電源電圧V
CCより絶対値の小さな第2の電位とされるNチャンネ
ル型の第2のMOSFETを設けるとともに、CMOS
論理ゲートを構成するNチャンネル型の第3のMOSF
ETのソースと接地電位VSSとの間に、そのゲート電
位が、通常動作時は接地電位VSSより低い負の第3の
電位とされ、待機時には接地電位VSSと同電位又は接
地電位VSSよりやや高い第4の電位とされるPチャン
ネル型の第4のMOSFETを設ける。また、CMOS
論理ゲートを構成する第1及び第3のMOSFETの基
板部に、通常動作時は各MOSFETのソース電位ある
いは電源電圧VCC又は接地電位VSSをそれぞれ供給
し、待機時には電源電圧VCC又は接地電位VSSをそ
れぞれそのまま供給する。
【0097】これにより、通常動作時は、上記第2又は
第4のMOSFETのしきい値電圧の影響を受けること
なく、電源電圧VCC及び接地電位VSSをそのままC
MOS論理ゲートの動作電源として供給し、あるいは外
部供給される電源電圧VCC又は接地電位VSSの電位
変動の影響を受けない比較的安定した動作電源をCMO
S論理ゲートに供給し、待機時には、その絶対値が上記
Pチャンネル又はNチャンネルMOSFETのしきい値
電圧分だけ圧縮された電源電圧VCC及び接地電位VS
SをCMOS論理ゲートの動作電源として供給すること
ができるとともに、待機時には、それほど深い基板電圧
を印加することなく、上記第1及び第3のMOSFET
のソース・基板間を逆バイアス状態とし、そのリーク電
流を小さくすることができる。この結果、マイクロコン
ピュータ等のスタンバイ時における低消費電力化を図
り、その信頼性を高めることができる。
第4のMOSFETのしきい値電圧の影響を受けること
なく、電源電圧VCC及び接地電位VSSをそのままC
MOS論理ゲートの動作電源として供給し、あるいは外
部供給される電源電圧VCC又は接地電位VSSの電位
変動の影響を受けない比較的安定した動作電源をCMO
S論理ゲートに供給し、待機時には、その絶対値が上記
Pチャンネル又はNチャンネルMOSFETのしきい値
電圧分だけ圧縮された電源電圧VCC及び接地電位VS
SをCMOS論理ゲートの動作電源として供給すること
ができるとともに、待機時には、それほど深い基板電圧
を印加することなく、上記第1及び第3のMOSFET
のソース・基板間を逆バイアス状態とし、そのリーク電
流を小さくすることができる。この結果、マイクロコン
ピュータ等のスタンバイ時における低消費電力化を図
り、その信頼性を高めることができる。
【図1】この発明が適用されたシングルチップマイクロ
コンピュータの一実施例を示すブロック図である。
コンピュータの一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第1の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第1の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図3】図2の電源制御部及び論理回路部の一実施例を
示す信号波形図である。
示す信号波形図である。
【図4】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第2の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第2の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図5】図4の電源制御部及び論理回路部の一実施例を
示す信号波形図である。
示す信号波形図である。
【図6】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第3の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第3の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図7】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第4の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第4の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図8】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第5の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第5の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図9】図1のシングルチップマイクロコンピュータに
含まれる電源制御部及び論理回路部の第6の実施例を示
す部分的な回路図である。
含まれる電源制御部及び論理回路部の第6の実施例を示
す部分的な回路図である。
【図10】図1のシングルチップマイクロコンピュータ
に含まれる入出力バッファの第1の実施例を示す回路図
である。
に含まれる入出力バッファの第1の実施例を示す回路図
である。
【図11】図10の入出力バッファの一実施例を示す回
路図である。
路図である。
【図12】図1のシングルチップマイクロコンピュータ
に含まれる入出力バッファの第2の実施例を示す回路図
である。
に含まれる入出力バッファの第2の実施例を示す回路図
である。
CPU……中央処理装置、CPG……クロック発生回
路、IBUS,PBUS……内部バス、DMAC……ダ
イレクトメモリアクセスコントローラ、ROM……リー
ドオンリーメモリ、RAM……ランダムアクセスメモ
リ、TIM……タイマー回路、SCI……シリアルコミ
ュニケーションインターフェイス、BSC……バスコン
トローラ、IOP1〜IOP9……入出力ポート、VC
……電源制御部、XTAL,EXTAL,MODE,S
TBY,RES,VCC,VSS……外部端子。LC…
…論理回路部、VC1〜VC6,VC51〜VC52…
…電源制御部、CP1〜CP9,CP51〜CP52…
…チャージポンプ回路。CV……電源制御信号、VP,
VCLP,VCBP……内部電圧。TPAD……試験パ
ッド。IOB1〜IOB2……入出力バッファ、LC…
…レベル変換回路。BDH……バスデータ保持回路。I
OC……入出力制御信号、OE1〜OE2……出力イネ
ーブル信号、OD1〜OD2……内部出力データ、ID
1〜ID2……内部入力データ、VP……内部電圧、n
1〜n2……内部ノード。P1,P21〜P22,P3
1,P41,P51,P71,P81,P91〜P94
……PチャンネルMOSFET、N1,N11,N2
1,N41〜N42,N51,N61,N71〜N7
2,N81,N90〜N94……NチャンネルMOSF
ET、V1,V21,V41,V71,V81,V91
〜V93……インバータ、NA71〜NA72,NA8
1……ナンド(NAND)ゲート、NO71,NO81
……ノア(NOR)ゲート、s1〜s2……内部信号、
VCC,VCC1,VCC2……電源電圧、VSS……
接地電位。
路、IBUS,PBUS……内部バス、DMAC……ダ
イレクトメモリアクセスコントローラ、ROM……リー
ドオンリーメモリ、RAM……ランダムアクセスメモ
リ、TIM……タイマー回路、SCI……シリアルコミ
ュニケーションインターフェイス、BSC……バスコン
トローラ、IOP1〜IOP9……入出力ポート、VC
……電源制御部、XTAL,EXTAL,MODE,S
TBY,RES,VCC,VSS……外部端子。LC…
…論理回路部、VC1〜VC6,VC51〜VC52…
…電源制御部、CP1〜CP9,CP51〜CP52…
…チャージポンプ回路。CV……電源制御信号、VP,
VCLP,VCBP……内部電圧。TPAD……試験パ
ッド。IOB1〜IOB2……入出力バッファ、LC…
…レベル変換回路。BDH……バスデータ保持回路。I
OC……入出力制御信号、OE1〜OE2……出力イネ
ーブル信号、OD1〜OD2……内部出力データ、ID
1〜ID2……内部入力データ、VP……内部電圧、n
1〜n2……内部ノード。P1,P21〜P22,P3
1,P41,P51,P71,P81,P91〜P94
……PチャンネルMOSFET、N1,N11,N2
1,N41〜N42,N51,N61,N71〜N7
2,N81,N90〜N94……NチャンネルMOSF
ET、V1,V21,V41,V71,V81,V91
〜V93……インバータ、NA71〜NA72,NA8
1……ナンド(NAND)ゲート、NO71,NO81
……ノア(NOR)ゲート、s1〜s2……内部信号、
VCC,VCC1,VCC2……電源電圧、VSS……
接地電位。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H03K 19/094 (72)発明者 藤戸 正道 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株 式会社日立超エル・エス・アイ・システム ズ内 (72)発明者 河合 洋造 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株 式会社日立超エル・エス・アイ・システム ズ内 (72)発明者 品川 裕 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株 式会社日立超エル・エス・アイ・システム ズ内
Claims (8)
- 【請求項1】 第1導電型の第1のMOSFETと、 上記第1のMOSFETのソースと電源電圧供給点との
間に設けられ、そのゲート電位が、通常動作時、上記電
源電圧より絶対値の大きな第1の電位とされ、待機時に
は、上記電源電圧と同電位又は上記電源電圧より絶対値
の小さな第2の電位とされる第2導電型の第2のMOS
FETとを含んでなることを特徴とする半導体集積回路
装置。 - 【請求項2】 請求項1において、 上記半導体集積回路装置は、さらに、 第2導電型の第3のMOSFETと、 上記第3のMOSFETのソースと接地電位供給点との
間に設けられ、そのゲート電位が、通常動作時、上記電
源電圧とは逆極性の第3の電位とされ、待機時には、上
記接地電位と同電位又は上記電源電圧と同極性の比較的
絶対値の小さな第4の電位とされる第1導電型の第4の
MOSFETとを含むものであることを特徴とする半導
体集積回路装置。 - 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、 上記第1の電位は、その絶対値が上記電源電圧に上記第
2のMOSFETのしきい値電圧を加えた値より大きく
され、 上記第3の電位は、その絶対値が上記第4のMOSFE
Tのしきい値電圧より大きくされるものであって、 上記第1のMOSFETの基板部には、上記電源電圧が
供給され、上記第3のMOSFETの基板部に、上記接
地電位が供給されるものであることを特徴とする半導体
集積回路装置。 - 【請求項4】 請求項1又は請求項2において、 上記第1の電位は、その絶対値が上記電源電圧に上記第
2のMOSFETのしきい値電圧を加えた値より小さく
され、 上記第3の電位は、その絶対値が上記第4のMOSFE
Tのしきい値電圧より小さくされるものであって、 上記第1及び第3のMOSFETの基板部には、通常動
作時、そのソース電位がそれぞれ供給され、待機時に
は、上記電源電圧又は接地電位がそれぞれ供給されるも
のであることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項5】 請求項1,請求項2,請求項3又は請求
項4において、 上記半導体集積回路装置は、上記第1又は第3のMOS
FETの実質的なソース電位をモニタし又は設定するた
めのパッド又は外部端子を備えるものであることを特徴
とする半導体集積回路装置。 - 【請求項6】 請求項1,請求項2,請求項3,請求項
4又は請求項5において、 上記第2及び第4のMOSFETは、そのゲート酸化膜
の膜厚が上記第1及び第3のMOSFETに比較して大
きくされるものであることを特徴とする半導体集積回路
装置。 - 【請求項7】 請求項1において、 上記第1及び第2のMOSFETは、その絶対値が上記
電源電圧より大きな他の電源電圧を動作電源とする他の
入出力バッファとの間で、対応する信号経路を介して所
定の信号を授受する入出力バッファであって、 上記第1のMOSFETのドレインは、上記対応する信
号経路に結合されるものであり、その基板部は、そのソ
ースに共通結合されるものであることを特徴とする半導
体集積回路装置。 - 【請求項8】 請求項7において、 上記半導体集積回路装置は、さらに、 その入出力端子が上記対応する信号経路に結合されるラ
ッチ回路を含むバスデータ保持回路を備えるものであっ
て、 上記ラッチ回路には、そのゲート電位が、通常動作時、
上記電源電圧より絶対値の大きな第5の電位とされ、待
機時には、上記電源電圧と同電位とされる第2導電型の
第5のMOSFETを介して、上記電源電圧がその高電
位側動作電源として供給されるものであることを特徴と
する半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10142003A JPH11340806A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10142003A JPH11340806A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11340806A true JPH11340806A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15305130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10142003A Pending JPH11340806A (ja) | 1998-05-25 | 1998-05-25 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11340806A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001053599A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-02-23 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
| JP2002064150A (ja) * | 2000-06-05 | 2002-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| US6529042B1 (en) | 1999-10-27 | 2003-03-04 | University Of Tokyo | Semiconductor integrated circuit |
| US6617916B1 (en) | 2000-03-27 | 2003-09-09 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor integrated circuit |
| JP2007173385A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置 |
| JP2009159509A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 |
| US7751998B2 (en) | 2006-09-20 | 2010-07-06 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device, method for measuring characteristics of element to be measured, and characteristic management system of semiconductor device |
| US7750729B2 (en) | 2007-02-27 | 2010-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Internal voltage generator |
-
1998
- 1998-05-25 JP JP10142003A patent/JPH11340806A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001053599A (ja) * | 1999-08-12 | 2001-02-23 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
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| US6617916B1 (en) | 2000-03-27 | 2003-09-09 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor integrated circuit |
| JP2002064150A (ja) * | 2000-06-05 | 2002-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
| JP2007173385A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置 |
| US7751998B2 (en) | 2006-09-20 | 2010-07-06 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device, method for measuring characteristics of element to be measured, and characteristic management system of semiconductor device |
| US7750729B2 (en) | 2007-02-27 | 2010-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Internal voltage generator |
| JP2009159509A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置の試験方法 |
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