JPH1134332A - 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH1134332A JPH1134332A JP18994397A JP18994397A JPH1134332A JP H1134332 A JPH1134332 A JP H1134332A JP 18994397 A JP18994397 A JP 18994397A JP 18994397 A JP18994397 A JP 18994397A JP H1134332 A JPH1134332 A JP H1134332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid chamber
- nozzle
- solid layer
- nozzle pattern
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット記録方式に用いる液体噴射記
録ヘッドの従来の製造方法において、特にフルラインタ
イプのインクジェットヘッドの場合、レジストパターン
４ａと液室型材５ａとの間に液室型材による硬化や乾燥
等により、層間に生じた剥離物の残渣が、高速印字時の
不吐出し等による印字の原因となる問題点を解消する製
造方法を提供する。 【解決手段】 このため、前記従来製造方法に、ノズル
パターン４ａの固体レジストを塗布し、活性エネルギー
線により、液室８ａ部のレジストを除くように、前記ノ
ズルパターン４ａを露光現像する工程を含有させた。
録ヘッドの従来の製造方法において、特にフルラインタ
イプのインクジェットヘッドの場合、レジストパターン
４ａと液室型材５ａとの間に液室型材による硬化や乾燥
等により、層間に生じた剥離物の残渣が、高速印字時の
不吐出し等による印字の原因となる問題点を解消する製
造方法を提供する。 【解決手段】 このため、前記従来製造方法に、ノズル
パターン４ａの固体レジストを塗布し、活性エネルギー
線により、液室８ａ部のレジストを除くように、前記ノ
ズルパターン４ａを露光現像する工程を含有させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録方式に用いる記録液体小滴を発生するための液体噴射
記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
録方式に用いる記録液体小滴を発生するための液体噴射
記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に、微
細な記録液吐出口（以下、“オリフィス”と呼ぶ）と、
液流路及びこの液流路の一部に設けられる液体吐出エネ
ルギー発生部とを備えている。従来、このような液体噴
射記録ヘッドを作成する方法として、図２（ａ）〜
（ｆ）に示すような各工程を含む製造方法が知られてい
る。
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に、微
細な記録液吐出口（以下、“オリフィス”と呼ぶ）と、
液流路及びこの液流路の一部に設けられる液体吐出エネ
ルギー発生部とを備えている。従来、このような液体噴
射記録ヘッドを作成する方法として、図２（ａ）〜
（ｆ）に示すような各工程を含む製造方法が知られてい
る。
【０００３】図２において、まず、被処理基板１上に感
光性樹脂層（ポジ型フォトレジスト）２を形成して感光
性樹脂層４をパターニングし、被処理基板１上にレジス
トパターン固体層を形成する（図２（ｃ））。
光性樹脂層（ポジ型フォトレジスト）２を形成して感光
性樹脂層４をパターニングし、被処理基板１上にレジス
トパターン固体層を形成する（図２（ｃ））。
【０００４】そして、レジストパターン４上の液室部
に、印刷等により液室の型材５である固体層を形成する
（図２（ｄ））。次に、固体層５の上に硬化型の液流路
形成用材料６を被覆し、エポキシ樹脂等の硬化型の液流
路形成用材料６を硬化させる（図２（ｅ））。
に、印刷等により液室の型材５である固体層を形成する
（図２（ｄ））。次に、固体層５の上に硬化型の液流路
形成用材料６を被覆し、エポキシ樹脂等の硬化型の液流
路形成用材料６を硬化させる（図２（ｅ））。
【０００５】さらに、パターニングされた固体層５を、
含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、アルコール等
の有機溶媒あるいは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム
等のアルカリ水溶液を用いて溶解除去し、液流路７及び
液室８を形成する（図２（ｆ））。
含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、アルコール等
の有機溶媒あるいは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム
等のアルカリ水溶液を用いて溶解除去し、液流路７及び
液室８を形成する（図２（ｆ））。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記液
室型材５として用いられる印刷材等は、レジストパター
ン４と相溶しないように、互いに相溶しない構成で行な
う必要がある。そのために、レジストパターン４と液室
型材５との密着力は小さい。特に、フルラインタイプの
インクジェットヘッドの場合、液室型材５の面積が大き
いため、レジストパターン４と液室型材５との間に液室
型材による硬化や乾燥による収縮による応力等が大きい
ため、層間に剥離を生ずる。
室型材５として用いられる印刷材等は、レジストパター
ン４と相溶しないように、互いに相溶しない構成で行な
う必要がある。そのために、レジストパターン４と液室
型材５との密着力は小さい。特に、フルラインタイプの
インクジェットヘッドの場合、液室型材５の面積が大き
いため、レジストパターン４と液室型材５との間に液室
型材による硬化や乾燥による収縮による応力等が大きい
ため、層間に剥離を生ずる。
【０００７】そして、この剥離を生じた物について、硬
化性樹脂を被覆硬化し、レジストパターン４及び液室型
材５を除去する。すると、液室部に剥れ部位に入り込ん
だ硬化性樹脂による残渣を生ずる。また、硬化性樹脂の
泡の巻き込み等を防ぐために、減圧下で硬化性樹脂を被
覆する場合にも、顕著に残渣が発生し、高速印字時にイ
ンクのリフィルが追付かずに不吐出し等の印字不良を生
ずるという不具合があった。
化性樹脂を被覆硬化し、レジストパターン４及び液室型
材５を除去する。すると、液室部に剥れ部位に入り込ん
だ硬化性樹脂による残渣を生ずる。また、硬化性樹脂の
泡の巻き込み等を防ぐために、減圧下で硬化性樹脂を被
覆する場合にも、顕著に残渣が発生し、高速印字時にイ
ンクのリフィルが追付かずに不吐出し等の印字不良を生
ずるという不具合があった。
【０００８】本発明は、以上のような局面にかんがみて
なされたもので、従来のこの種の問題点を解消する製造
方法の提供を目的としている。
なされたもので、従来のこの種の問題点を解消する製造
方法の提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、下記各項（１）〜（４）のいずれかに示す液体噴
射記録ヘッド及びその製造方法を提供することにより前
記目的を達成しようとするものである。
ては、下記各項（１）〜（４）のいずれかに示す液体噴
射記録ヘッド及びその製造方法を提供することにより前
記目的を達成しようとするものである。
【００１０】（１）ポジ型フォトレジストを活性エネル
ギー線により露光し、現像によって得られるノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層
を設け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬
化させた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固
体層を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成
する工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含す
る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記レジス
トを塗布し、活性エネルギー線により、前記液室部のレ
ジストを除くように前記ノズルパターンを露光現像する
工程を包含することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
ギー線により露光し、現像によって得られるノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層
を設け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬
化させた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固
体層を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成
する工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含す
る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記レジス
トを塗布し、活性エネルギー線により、前記液室部のレ
ジストを除くように前記ノズルパターンを露光現像する
工程を包含することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【００１１】（２）前記液体吐出エネルギー発生部が、
熱エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴
とする前項（１）記載の液体噴射記録ヘッド。
熱エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴
とする前項（１）記載の液体噴射記録ヘッド。
【００１２】（３）記録媒体の記録領域に亘って吐出口
が複数設けられているフルラインタイプのものであるこ
とを特徴とする前項（１）記載の液体噴射記録ヘッド。
が複数設けられているフルラインタイプのものであるこ
とを特徴とする前項（１）記載の液体噴射記録ヘッド。
【００１３】（４）ポジ型フォトレジストを活性エネル
ギー線により露光し、現像によって得られるノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層
を設け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬
化させた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固
体層を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成
する工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含す
る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記ノズル
パターンの固体レジストを塗布し、活性エネルギー線に
より、前記液室部のレジストを除くように前記ノズルパ
ターンを露光現像する工程を包含することを特徴とする
液体噴射記録ヘッドの製造方法。
ギー線により露光し、現像によって得られるノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層
を設け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬
化させた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固
体層を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成
する工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含す
る液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記ノズル
パターンの固体レジストを塗布し、活性エネルギー線に
より、前記液室部のレジストを除くように前記ノズルパ
ターンを露光現像する工程を包含することを特徴とする
液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
前記従来の製造方法と対比して具体的に説明する。
前記従来の製造方法と対比して具体的に説明する。
【００１５】図１に、本発明に係るインクジェット記録
ヘッドの代表的な製造方法の一実施例の工程説明図（前
記従来例図２の対応図）を示す。図１において、図２に
おけると同一もしくは相当構成要素は同一数字にａを付
して示す。
ヘッドの代表的な製造方法の一実施例の工程説明図（前
記従来例図２の対応図）を示す。図１において、図２に
おけると同一もしくは相当構成要素は同一数字にａを付
して示す。
【００１６】まず、被処理基板１ａ上に感光性樹脂ポジ
型フォトレジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名，
東京応化製）２ａを、厚さが３０μｍになるようにスピ
ンコートし、オーブン中９０℃、４０分のプリベークを
行ないレジスト層を形成した（図１（ａ））。次に、ノ
ズルパターンのマスク３ａを介して液室部を除きパター
ン露光後（図１（ｂ））、現像、リンスを行なって４０
μｍピッチのノズルパターン４ａを得た（図１
（ｃ））。
型フォトレジスト ＰＭＥＲ ＡＲ−９００（商品名，
東京応化製）２ａを、厚さが３０μｍになるようにスピ
ンコートし、オーブン中９０℃、４０分のプリベークを
行ないレジスト層を形成した（図１（ａ））。次に、ノ
ズルパターンのマスク３ａを介して液室部を除きパター
ン露光後（図１（ｂ））、現像、リンスを行なって４０
μｍピッチのノズルパターン４ａを得た（図１
（ｃ））。
【００１７】次に、印刷材 ＳＮ−ＯＸ５７２４（商品
名、サンノプコ（株）製）をスクリーン印刷により液室
部に厚さ８０μｍになるように印刷した（図２
（ｄ））。
名、サンノプコ（株）製）をスクリーン印刷により液室
部に厚さ８０μｍになるように印刷した（図２
（ｄ））。
【００１８】この印刷材５ａを乾燥後、ノズルパターン
４ａ及び液室の固体層５ａが設けられた基板１ａ上に、
下記の組成の硬化型のノズル形成部材（液流路形成材
料）６ａを被覆した硬化を行ない（図１（ｅ））、エチ
ルセロソルブ溶液に浸漬し、ノズルパターン４ａ及び液
室の固体層５ａを除去する（図１（ｆ））ことにより、
Ａ４用紙幅のフルラインタイプの液体噴射記録ヘッドを
作成した。
４ａ及び液室の固体層５ａが設けられた基板１ａ上に、
下記の組成の硬化型のノズル形成部材（液流路形成材
料）６ａを被覆した硬化を行ない（図１（ｅ））、エチ
ルセロソルブ溶液に浸漬し、ノズルパターン４ａ及び液
室の固体層５ａを除去する（図１（ｆ））ことにより、
Ａ４用紙幅のフルラインタイプの液体噴射記録ヘッドを
作成した。
【００１９】以上の方法は、前記図２に示した従来方法
と、その構成材料や工程等の基本的名変更等を大きく行
なうことなく作成するものである。
と、その構成材料や工程等の基本的名変更等を大きく行
なうことなく作成するものである。
【００２０】なお、液流路形成材料６ａの硬化性材料
を、次のような配合のエポキシ樹脂組成物を用いた。
を、次のような配合のエポキシ樹脂組成物を用いた。
【００２１】 （種材） （重量比率） エヒ゜コート 828（商品名，油化シェルエホ゜キシ （株）製） ７５ エホ゜ライト 3002（商品名，共栄社油脂（株）製） ２５ NCUシカンカッフ゜リンク゛材 Ａ−１８７（商品名，日本ユニカー（株）製） ５ （硬化材） 変性脂肪族アミン フシ゛キュア-FXK830（商品名，富士化成
工業（株）製） 配合比は主剤／硬化剤＝１００／５０、硬化条件は、２
５℃２４時間＋１００℃２時間、型材料除去１５０℃１
時間の養生を行なった。
工業（株）製） 配合比は主剤／硬化剤＝１００／５０、硬化条件は、２
５℃２４時間＋１００℃２時間、型材料除去１５０℃１
時間の養生を行なった。
【００２２】（作用）なお、前記のように、従来方法で
は、液室部薄皮状の硬化性樹脂による残渣が生じ、高速
で印字すると、インクのリフィールが追い付かず不吐出
などの印字不良を生ずる等の問題点があった。以上のよ
うな本発明方法においては、液室部に残渣が生ずること
がなくなった。
は、液室部薄皮状の硬化性樹脂による残渣が生じ、高速
で印字すると、インクのリフィールが追い付かず不吐出
などの印字不良を生ずる等の問題点があった。以上のよ
うな本発明方法においては、液室部に残渣が生ずること
がなくなった。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、構成
材料などや工程の基本的な変更を行なうことなく、従来
の問題点を解決することができ、液体噴射記録ヘッドの
信頼性を著しく向上させることができた。
材料などや工程の基本的な変更を行なうことなく、従来
の問題点を解決することができ、液体噴射記録ヘッドの
信頼性を著しく向上させることができた。
【図１】 実施例の記録ヘッドの製造工程説明図
【図２】 従来の記録ヘッドの製造工程説明図
１，１ａ 被処理基板 ２，２ａ ポジ型フォトレジスト ３，３ａ マスク ４，４ａ レジストパターン ５，５ａ 液室型材 ６，６ａ 液流路形成材料 ７，７ａ 液流路 ８，８ａ 液室
Claims (4)
- 【請求項１】 ポジ型フォトレジストを活性エネルギー
線により露光し、現像によって得られるノズルパターン
の固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層を設
け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬化さ
せた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固体層
を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成する
工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含する液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記レジストを
塗布し、活性エネルギー線により、前記液室部のレジス
トを除くように前記ノズルパターンを露光現像する工程
を包含することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記液体吐出エネルギー発生部が、熱エ
ネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とす
る請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項３】 記録媒体の記録領域に亘って吐出口が複
数設けられているフルラインタイプのものであることを
特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項４】 ポジ型フォトレジストを活性エネルギー
線により露光し、現像によって得られるノズルパターン
の固体層が設けられた基板上に、液室となる固体層を設
け、硬化型のノズル形成部材を被覆し、該部材を硬化さ
せた後に、前記ノズルパターン及び前記液室部の固体層
を除去することにより、前記ノズル及び液室を形成する
工程及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含する液
体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルパタ
ーンの固体レジストを塗布し、活性エネルギー線によ
り、前記液室部のレジストを除くように前記ノズルパタ
ーンを露光現像する工程を包含することを特徴とする液
体噴射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18994397A JPH1134332A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18994397A JPH1134332A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1134332A true JPH1134332A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16249812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18994397A Withdrawn JPH1134332A (ja) | 1997-07-15 | 1997-07-15 | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1134332A (ja) |
-
1997
- 1997-07-15 JP JP18994397A patent/JPH1134332A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0911479A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0645242B2 (ja) | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 | |
| JP3679668B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| US7282243B2 (en) | Pattern forming method and method of manufacturing ink jet recording head | |
| US6409931B1 (en) | Method of producing ink jet recording head and ink jet recording head | |
| US5983486A (en) | Process for producing ink jet head | |
| JP3524258B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3283979B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH0649373B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH1134332A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| US5290667A (en) | Method for producing ink jet recording head | |
| JP3397566B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4646610B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| US20050140716A1 (en) | Manufacturing method of ink jet recording head and ink jet recording head manufactured by manufacturing method | |
| JPH091804A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法および同方法により製造されたインクジェット記録ヘッド | |
| JP3501587B2 (ja) | インクジェットヘッドとその製造方法 | |
| JPH07137263A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3441848B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3592120B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド | |
| JPH03184869A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3749320B2 (ja) | 液室部品の製造方法 | |
| JPH1134339A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH10186350A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH08127132A (ja) | 液体噴射ヘッド、該ヘッドを具備する液体噴射装置及び該ヘッドの製造方法 | |
| JPH08156268A (ja) | 液体噴射ヘッド、該ヘッドを具備する液体噴射装置及び該ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |