JPH11346486A5 - - Google Patents

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JPH11346486A5
JPH11346486A5 JP1998151745A JP15174598A JPH11346486A5 JP H11346486 A5 JPH11346486 A5 JP H11346486A5 JP 1998151745 A JP1998151745 A JP 1998151745A JP 15174598 A JP15174598 A JP 15174598A JP H11346486 A5 JPH11346486 A5 JP H11346486A5
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【特許請求の範囲】
【請求項1】 圧電素子を有する矩形形状の圧電振動子と、
前記圧電振動子の振動により前記圧電振動子と相対運動する移動体と、
前記圧電振動子を前記移動体の方向に移動可能に案内すると共に前記移動体とは逆の方向への動きを規制する案内部材と、
前記案内部材を前記圧電振動子と前記移動体の接触圧方向に移動可能に案内する案内板と、
前記案内部材に加圧力を与える加圧部材と、
を有することを特徴とする超音波モータ。
【請求項2】 前記案内部材は前記圧電振動子が励振する振動の節部に当接する突出部を有することを特徴とする請求項1に記載の超音波モータ。
【請求項3】 前記突出部は前記圧電振動子が励振する屈曲振動の節部に当接する位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の超音波モータ。
【請求項4】 前記突出部は前記圧電振動子が励振する縦振動の節部に当接する位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の超音波モータ。
【請求項5】 前記圧電振動子は前記移動体と接する突起を有し、前記突起は前記圧電振動子との接合面の面積が前記移動体との接触面積よりも大きくなる形状を有することを特徴とする請求項1から請求項4のうち何れか1項に記載の超音波モータ。
【請求項6】 前記突起は、前記圧電振動子と前記移動体の相対運動方向に設けられた曲面部を有することを特徴とする請求項5に記載の超音波モータ。
【請求項7】 前記突起が設けられている前記圧電振動子の側面と反対側の側面にはバランス用突起が設けられていることを特徴とする請求項5又は6に記載の超音波モータ。
【請求項 前記案内部材と前記圧電振動子との間に、前記圧電振動子より弾性率の低い低弾性率部材を設けたことを特徴とする請求項1から請求項7のうち何れか1項に記載の超音波モータ。
【請求項】 前記圧電振動子は、伸縮振動を生じる第1の圧電振動子と屈曲振動を生じる第2の圧電振動子とを積層させたことを特徴とする請求項1から請求項8のいうち何れか1項に記載の超音波モータ。
【請求項10】 請求項1から請求項のうち何れか1項に記載の超音波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付電子機器。
【0006】
【課題を解決するための手段】
即ち、以上の課題を解決する手段は、圧電素子を有する矩形形状の圧電振動子と、圧電振動子の振動により圧電振動子と相対運動する移動体と、圧電振動子を移動体の方向に移動可能に案内すると共に移動体とは逆の方向への動きを規制する案内部材と、案内部材を圧電振動子と移動体の接触圧方向に移動可能に案内する案内板と、案内部材に加圧力を与える加圧部材と、を有することを特徴とする。
そして、ここで案内部材は圧電振動子が励振する振動の節部に当接する突出部を有することを特徴とする。
これによれば、圧電振動子を安定にかつ圧電振動子の振動を抑制せずに支持することが出来るから超音波モータは大きなトルクを発生させると共に、トルクは安定する。
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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4631124B2 (ja) * 2000-03-30 2011-02-16 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータ、時計および機器
JP4770043B2 (ja) * 2001-03-27 2011-09-07 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータの駆動装置、圧電アクチュエータの駆動方法、時計および携帯機器
JP4838865B2 (ja) * 2002-07-12 2011-12-14 セイコーインスツル株式会社 圧電モータ及び圧電モータ付き電子機器
JP4685334B2 (ja) * 2003-02-06 2011-05-18 セイコーエプソン株式会社 駆動装置およびチューブポンプ
JP4641709B2 (ja) * 2003-08-12 2011-03-02 セイコーインスツル株式会社 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器
JP4745615B2 (ja) * 2004-01-30 2011-08-10 セイコーインスツル株式会社 圧電デバイス及びそれを用いた電子機器
JP4485238B2 (ja) * 2004-03-31 2010-06-16 セイコーインスツル株式会社 超音波モータおよび超音波モータ付き電子機器
JP2007097317A (ja) * 2005-09-29 2007-04-12 Olympus Corp 超音波駆動装置
KR100703201B1 (ko) * 2005-10-24 2007-04-06 삼성전기주식회사 렌즈 이송장치
CN101160711B (zh) * 2005-12-05 2013-03-20 松下电器产业株式会社 超声波致动器
KR100799867B1 (ko) * 2006-02-20 2008-01-31 삼성전기주식회사 렌즈 이송장치
JP2008032445A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Sii Nanotechnology Inc 圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡
JP2008278727A (ja) * 2007-05-07 2008-11-13 Sharp Corp 駆動装置
JP4802313B2 (ja) * 2008-08-01 2011-10-26 ニッコー株式会社 圧電振動子の保持装置
JP5316075B2 (ja) * 2009-02-24 2013-10-16 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータの締結構造
JP5244727B2 (ja) 2009-07-27 2013-07-24 パナソニック株式会社 振動型アクチュエータ
JP5216822B2 (ja) * 2010-08-26 2013-06-19 セイコーインスツル株式会社 積層圧電振動体を用いた超音波モータおよびそれを用いた電子機器
JP6008078B2 (ja) * 2011-12-06 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット
JP5942403B2 (ja) * 2011-12-06 2016-06-29 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット
US8796906B2 (en) 2011-12-06 2014-08-05 Seiko Epson Corporation Piezoelectric motor, driving device, electronic component conveying device, electronic component inspection device, printing device, robot hand, and robot
JP5966384B2 (ja) * 2012-01-26 2016-08-10 Tdk株式会社 レンズ駆動装置及び圧電アクチュエータユニット
JP5773900B2 (ja) 2012-01-30 2015-09-02 キヤノン株式会社 モータ
JP5903964B2 (ja) * 2012-03-19 2016-04-13 Tdk株式会社 レンズ駆動装置
JP6127379B2 (ja) * 2012-04-26 2017-05-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置
JP2013240173A (ja) * 2012-05-14 2013-11-28 Seiko Epson Corp 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP2013240172A (ja) * 2012-05-14 2013-11-28 Seiko Epson Corp 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
FR2992120B1 (fr) * 2012-06-15 2014-07-18 Commissariat Energie Atomique Actionneur pour moteur ultrasonique et moteur ultrasonique comportant au moins un tel actionneur
JP5985012B2 (ja) * 2015-07-02 2016-09-06 キヤノン株式会社 モータ及びレンズ鏡筒
JP5985013B2 (ja) * 2015-07-02 2016-09-06 キヤノン株式会社 モータ及びレンズ鏡筒
JP6808345B2 (ja) * 2016-04-28 2021-01-06 キヤノン株式会社 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器、レンズ鏡筒、撮像装置
CN109004858A (zh) * 2017-06-06 2018-12-14 广州简成光电有限公司 一种压电马达

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