JPH11347910A - ワイヤソー用高強力ワイヤ - Google Patents
ワイヤソー用高強力ワイヤInfo
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- JPH11347910A JPH11347910A JP15343598A JP15343598A JPH11347910A JP H11347910 A JPH11347910 A JP H11347910A JP 15343598 A JP15343598 A JP 15343598A JP 15343598 A JP15343598 A JP 15343598A JP H11347910 A JPH11347910 A JP H11347910A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】切断精度の向上、切断速度の向上、切り代ロス
の削減、耐久性の向上等の改善を、高レベルで実現する
ワイヤソー用高強度ワイヤの提供。 【解決手段】引張り強さが３８００ＭＰａ以上であるこ
とを特徴とするワイヤソー用高強度ワイヤ。
の削減、耐久性の向上等の改善を、高レベルで実現する
ワイヤソー用高強度ワイヤの提供。 【解決手段】引張り強さが３８００ＭＰａ以上であるこ
とを特徴とするワイヤソー用高強度ワイヤ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶シリコンイ
ンゴット等の硬質材料の切断に用いられる、ワイヤソー
用ワイヤに関するものである。
ンゴット等の硬質材料の切断に用いられる、ワイヤソー
用ワイヤに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、ダイヤモンド粒、炭化ケ
イ素粒等の砥粒を含む切削液を供給しながら、ワイヤを
被切断物に圧接しつつ走行させ切断を行うものである。
ワイヤソーに用いられるワイヤは、切断時にかけられる
張力に耐え得る強度が要求されるため、高炭素鋼線材に
伸線加工を施して得られる硬鋼線材、ピアノ線等が広く
用いられている。
イ素粒等の砥粒を含む切削液を供給しながら、ワイヤを
被切断物に圧接しつつ走行させ切断を行うものである。
ワイヤソーに用いられるワイヤは、切断時にかけられる
張力に耐え得る強度が要求されるため、高炭素鋼線材に
伸線加工を施して得られる硬鋼線材、ピアノ線等が広く
用いられている。
【０００３】従来、高炭素鋼線材を用いたワイヤソー用
ワイヤは、例えば、ＳＷＲＳ８０Ａ等の高炭素鋼線材を
所定の中間線径まで伸線した後にパテンティング処理を
施し、さらに９５〜９８％程度の伸線加工を施して製造
されている。そして、引張り強さは約３０００〜３５０
０ＭＰａ程度である。
ワイヤは、例えば、ＳＷＲＳ８０Ａ等の高炭素鋼線材を
所定の中間線径まで伸線した後にパテンティング処理を
施し、さらに９５〜９８％程度の伸線加工を施して製造
されている。そして、引張り強さは約３０００〜３５０
０ＭＰａ程度である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤーソーに求めら
れている改善として、切断精度の向上、切断速度の向
上、切り代ロスの削減等が挙げられる。しかしながら、
従来のワイヤソー用ワイヤを用いた場合、これらを同時
に改善することは困難であった。例えば、切り代ロスを
削減するためにはより細いワイヤを用いることが望まし
いが、ワイヤの破断強力が低下するため、切断時にワイ
ヤにかかる張力を低くする設定する必要がある。このた
め、ワイヤの振動による切断精度の低下、被切断物への
圧接力の低下による切断速度の低下等の問題を生ずる。
れている改善として、切断精度の向上、切断速度の向
上、切り代ロスの削減等が挙げられる。しかしながら、
従来のワイヤソー用ワイヤを用いた場合、これらを同時
に改善することは困難であった。例えば、切り代ロスを
削減するためにはより細いワイヤを用いることが望まし
いが、ワイヤの破断強力が低下するため、切断時にワイ
ヤにかかる張力を低くする設定する必要がある。このた
め、ワイヤの振動による切断精度の低下、被切断物への
圧接力の低下による切断速度の低下等の問題を生ずる。
【０００５】また、ワイヤを被切断物に圧接しつつ走行
させて切断を行うため、ワイヤは摩耗し、ついには切断
に必要な張力に耐え得なくなる。このため、従来のワイ
ヤソー用ワイヤは、２〜３回の繰り返し使用が限度であ
った。
させて切断を行うため、ワイヤは摩耗し、ついには切断
に必要な張力に耐え得なくなる。このため、従来のワイ
ヤソー用ワイヤは、２〜３回の繰り返し使用が限度であ
った。
【０００６】そこで、本発明の目的は、切断精度の向
上、切断速度の向上、切り代ロスの削減、耐久性の向上
等の改善を、従来よりも高いレベルで実現することがで
きるワイヤソー用高強度ワイヤを提供することにある。
上、切断速度の向上、切り代ロスの削減、耐久性の向上
等の改善を、従来よりも高いレベルで実現することがで
きるワイヤソー用高強度ワイヤを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のワイヤソー用高強度ワイヤは、引張り強
さが３８００ＭＰａ以上であることを特徴とするもので
あり、好ましくは、材質が０．８０〜１．１０重量％の
炭素を含有する高炭素鋼であり、伸線加工されたパーラ
イト組織を有するものである。
めに、本発明のワイヤソー用高強度ワイヤは、引張り強
さが３８００ＭＰａ以上であることを特徴とするもので
あり、好ましくは、材質が０．８０〜１．１０重量％の
炭素を含有する高炭素鋼であり、伸線加工されたパーラ
イト組織を有するものである。
【０００８】本発明のワイヤソー用高強度ワイヤの断面
形状は、直径０．０５〜０．２５ｍｍかつ偏径差２μｍ
未満の円形であることが好ましい。ここで、偏径差と
は、同一断面における最大径と最小径との差である。さ
らに、長さを３００，０００ｍ以上とし、かつ長手方向
の直径差を２μｍ未満とすることが好ましい。
形状は、直径０．０５〜０．２５ｍｍかつ偏径差２μｍ
未満の円形であることが好ましい。ここで、偏径差と
は、同一断面における最大径と最小径との差である。さ
らに、長さを３００，０００ｍ以上とし、かつ長手方向
の直径差を２μｍ未満とすることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明のワイヤソー用高強度ワイ
ヤの特徴である３８００ＭＰａ以上の引張り強さを得る
ためには、次のような方法で製造することが好ましい。 （１）素材として、０．８０〜１．１０重量％の炭素を
含有する高炭素鋼線材を用いる。 （２）所定の中間線径のワイヤにパテンティング処理を
施すに当たっては、表層部の脱炭、ベイナイトの発生等
を極力防止し、均一なパーライト組織を形成する。 （３）伸線加工に当たっては、孔の真円度が良好なダイ
スを用い、かつダイスとワイヤの芯ずれを極力小さくし
て伸線する。
ヤの特徴である３８００ＭＰａ以上の引張り強さを得る
ためには、次のような方法で製造することが好ましい。 （１）素材として、０．８０〜１．１０重量％の炭素を
含有する高炭素鋼線材を用いる。 （２）所定の中間線径のワイヤにパテンティング処理を
施すに当たっては、表層部の脱炭、ベイナイトの発生等
を極力防止し、均一なパーライト組織を形成する。 （３）伸線加工に当たっては、孔の真円度が良好なダイ
スを用い、かつダイスとワイヤの芯ずれを極力小さくし
て伸線する。
【００１０】伸線方法としては乾式伸線法も適用できる
が、ワイヤの寸法精度及び靭性の確保のためには、液体
潤滑剤中で伸線する湿式伸線法を適用することが好まし
い。この際、潤滑性を良好とすべく、パテンティング処
理を施したワイヤの表面に、ワイヤ１ｋｇ当たり１０ｇ
未満の黄銅めっき層を設けることも好ましい。なお、３
８００ＭＰａ以上の引張り強さを得るために要する伸線
加工総減面率は、素材の高炭素鋼線材の成分等により異
なるが、炭素含有量が約０．８０重量％の場合で概略９
８％以上、炭素含有量が約０．９０重量％の場合で概略
９７％以上である。また、最終的なワイヤ直径は、０．
０５ｍｍ〜０．２５ｍｍとすることが好ましい。
が、ワイヤの寸法精度及び靭性の確保のためには、液体
潤滑剤中で伸線する湿式伸線法を適用することが好まし
い。この際、潤滑性を良好とすべく、パテンティング処
理を施したワイヤの表面に、ワイヤ１ｋｇ当たり１０ｇ
未満の黄銅めっき層を設けることも好ましい。なお、３
８００ＭＰａ以上の引張り強さを得るために要する伸線
加工総減面率は、素材の高炭素鋼線材の成分等により異
なるが、炭素含有量が約０．８０重量％の場合で概略９
８％以上、炭素含有量が約０．９０重量％の場合で概略
９７％以上である。また、最終的なワイヤ直径は、０．
０５ｍｍ〜０．２５ｍｍとすることが好ましい。
【００１１】上記の製造方法が好ましいのは、以下の理
由による。まず、０．８０〜１．１０重量％の炭素を含
有する高炭素鋼線材を用いるのは、加工性と強度との両
立性が高いためである。とりわけ炭素含有量が０．８５
〜０．９５重量％のものが好ましく、さらに０．１〜
０．５重量％程度のＣｒを合金元素として含有すること
も好ましい。そして、パテンティング処理において均一
なパーライト組織を形成することにより、良好な伸線加
工性と加工硬化特性を得ることができる。
由による。まず、０．８０〜１．１０重量％の炭素を含
有する高炭素鋼線材を用いるのは、加工性と強度との両
立性が高いためである。とりわけ炭素含有量が０．８５
〜０．９５重量％のものが好ましく、さらに０．１〜
０．５重量％程度のＣｒを合金元素として含有すること
も好ましい。そして、パテンティング処理において均一
なパーライト組織を形成することにより、良好な伸線加
工性と加工硬化特性を得ることができる。
【００１２】さらに、孔の真円度が良好なダイスを用
い、かつダイスとワイヤの芯ずれを極力小さくして伸線
することにより、ワイヤソー用ワイヤとして好適な次の
ような特性を有するワイヤを得ることができる。 （１）ワイヤの周面に局部的に歪が集中した部分が伸線
時に発生して靭性を損なうことを防止できるため、ワイ
ヤソーのガイドプーリー等による繰り返し曲げにも耐え
得る十分な靭性を有するワイヤが得られる。この伸線時
の歪集中による靭性低下は、捻り試験等により検出する
ことができ、ワイヤに割れが生じるまでに与えることの
できる捻り量が、ワイヤ直径の１００倍当たり２０回以
上であることが好ましい。 （２）真円度が良好であり切断精度が高いワイヤが得ら
れる。ワイヤの真円度は切断精度に直接的に影響するた
め、製品としてのワイヤの断面形状が、偏径差が２μｍ
未満の円形であることが好ましい。 （３）ダイスの早期片減り等が生じ難いため、長尺にわ
たって連続して製造する際にも長手方向に均一な形状の
ワイヤが得られる。製品としてのワイヤの好ましい長さ
は、３００，０００ｍ以上、さらに好ましくは５００，
０００ｍ以上である。そして、中間に溶接部等が無く均
一であり、長手方向の直径差が２μｍ未満であることが
好ましい。なお、本発明のワイヤーソー用ワイヤは引張
り強さが高いので、従来のワイヤと同じ条件で使用した
場合の摩耗許容量が従来のワイヤより大きい。このた
め、ワイヤ交換工数減少に対し、単なるワイヤ長さ延長
以上の効果が得られる。 （４）さらに、真直性も良好となるため、同時に多数の
ウェハを切り出すマルチワイヤソーに対しても、通線作
業が容易にできる。
い、かつダイスとワイヤの芯ずれを極力小さくして伸線
することにより、ワイヤソー用ワイヤとして好適な次の
ような特性を有するワイヤを得ることができる。 （１）ワイヤの周面に局部的に歪が集中した部分が伸線
時に発生して靭性を損なうことを防止できるため、ワイ
ヤソーのガイドプーリー等による繰り返し曲げにも耐え
得る十分な靭性を有するワイヤが得られる。この伸線時
の歪集中による靭性低下は、捻り試験等により検出する
ことができ、ワイヤに割れが生じるまでに与えることの
できる捻り量が、ワイヤ直径の１００倍当たり２０回以
上であることが好ましい。 （２）真円度が良好であり切断精度が高いワイヤが得ら
れる。ワイヤの真円度は切断精度に直接的に影響するた
め、製品としてのワイヤの断面形状が、偏径差が２μｍ
未満の円形であることが好ましい。 （３）ダイスの早期片減り等が生じ難いため、長尺にわ
たって連続して製造する際にも長手方向に均一な形状の
ワイヤが得られる。製品としてのワイヤの好ましい長さ
は、３００，０００ｍ以上、さらに好ましくは５００，
０００ｍ以上である。そして、中間に溶接部等が無く均
一であり、長手方向の直径差が２μｍ未満であることが
好ましい。なお、本発明のワイヤーソー用ワイヤは引張
り強さが高いので、従来のワイヤと同じ条件で使用した
場合の摩耗許容量が従来のワイヤより大きい。このた
め、ワイヤ交換工数減少に対し、単なるワイヤ長さ延長
以上の効果が得られる。 （４）さらに、真直性も良好となるため、同時に多数の
ウェハを切り出すマルチワイヤソーに対しても、通線作
業が容易にできる。
【００１３】最終的なワイヤ直径を０．０５ｍｍ〜０．
２５ｍｍとすることが好ましいのは、高い強度と十分な
靭性を比較的容易に両立することができるからである。
すなわち、直径が０．２５ｍｍを超えかつ引張り強さが
３８００ＭＰａ以上のワイヤの場合は、ワイヤ直径の１
００倍当たり２０回以上の捻り試験値を得ることが困難
である。一方、ワイヤ直径が０．０５ｍｍ未満である
と、非金属介在物等の影響による強度及び靭性の低下が
生じやすい。なお、直径が０．０５ｍｍ〜０．２５ｍｍ
のワイヤは、例えば、半導体製造用のシリコンウェハの
切り出し等に好適に用いることができる。
２５ｍｍとすることが好ましいのは、高い強度と十分な
靭性を比較的容易に両立することができるからである。
すなわち、直径が０．２５ｍｍを超えかつ引張り強さが
３８００ＭＰａ以上のワイヤの場合は、ワイヤ直径の１
００倍当たり２０回以上の捻り試験値を得ることが困難
である。一方、ワイヤ直径が０．０５ｍｍ未満である
と、非金属介在物等の影響による強度及び靭性の低下が
生じやすい。なお、直径が０．０５ｍｍ〜０．２５ｍｍ
のワイヤは、例えば、半導体製造用のシリコンウェハの
切り出し等に好適に用いることができる。
【００１４】本発明のワイヤソー用ワイヤは、引張り強
さが３８００ＭＰａ以上であることを特徴とするが、ワ
イヤの引張り強さの特に好ましい範囲は４０００ＭＰａ
以上かつ４５００ＭＰａ以下である。その理由は、引張
り強さ４０００ＭＰａ以上とすることで切断精度の向
上、切断速度の向上、切り代ロスの削減、耐久性向上等
に対してより顕著な効果が得られるが、４５００ＭＰａ
を越えると靭性が低下し易くなるためである。
さが３８００ＭＰａ以上であることを特徴とするが、ワ
イヤの引張り強さの特に好ましい範囲は４０００ＭＰａ
以上かつ４５００ＭＰａ以下である。その理由は、引張
り強さ４０００ＭＰａ以上とすることで切断精度の向
上、切断速度の向上、切り代ロスの削減、耐久性向上等
に対してより顕著な効果が得られるが、４５００ＭＰａ
を越えると靭性が低下し易くなるためである。
【００１５】
【実施例】本発明に従うワイヤソー用ワイヤの例を、比
較例とともに表１に示す。引張り強さ及び破断強力は、
ＪＩＳ Ｚ２２４１に準拠して測定した。平均直径及び
偏径差は、公称精度０．１μｍのレーザー線径測定装置
を用いて測定した。また、伸線開始部近傍の平均直径と
伸線終了部近傍の平均直径との差をもって長手方向直径
差とした。
較例とともに表１に示す。引張り強さ及び破断強力は、
ＪＩＳ Ｚ２２４１に準拠して測定した。平均直径及び
偏径差は、公称精度０．１μｍのレーザー線径測定装置
を用いて測定した。また、伸線開始部近傍の平均直径と
伸線終了部近傍の平均直径との差をもって長手方向直径
差とした。
【００１６】実施例１のワイヤは、比較例のワイヤと同
じ線径でありながら比較例対比１５％増しの引張り強さ
を有するワイヤであり、より高い張力に耐え、切断速度
の向上を可能にする。また、比較例のワイヤと同じ張力
で用いた場合は、より大きい摩耗を許容し、比較例のワ
イヤ対比２倍以上の回数の繰り返し使用に耐える。この
ため、ワイヤに関わる切断コスト及びワイヤ交換工数を
大幅に低減することができる。
じ線径でありながら比較例対比１５％増しの引張り強さ
を有するワイヤであり、より高い張力に耐え、切断速度
の向上を可能にする。また、比較例のワイヤと同じ張力
で用いた場合は、より大きい摩耗を許容し、比較例のワ
イヤ対比２倍以上の回数の繰り返し使用に耐える。この
ため、ワイヤに関わる切断コスト及びワイヤ交換工数を
大幅に低減することができる。
【００１７】実施例２のワイヤは、比較例のワイヤと同
等の破断強力を、より細い直径で実現するワイヤであ
る。切断速度及び切断精度の低下を伴わずに切り代ロス
を削減することができるため、例えば、同じ寸法のシリ
コンインッゴットから、より多くの枚数のシリコンウェ
ハを切り出すことができる
等の破断強力を、より細い直径で実現するワイヤであ
る。切断速度及び切断精度の低下を伴わずに切り代ロス
を削減することができるため、例えば、同じ寸法のシリ
コンインッゴットから、より多くの枚数のシリコンウェ
ハを切り出すことができる
【００１８】また、実施例３のワイヤは、比較例のワイ
ヤ対比、破断強力が高くかつ直径が細いワイヤであり、
切断速度向上、切断精度向上、耐久性向上及び切り代ロ
スの削減を同時に実現することができる。
ヤ対比、破断強力が高くかつ直径が細いワイヤであり、
切断速度向上、切断精度向上、耐久性向上及び切り代ロ
スの削減を同時に実現することができる。
【００１９】
【表１】
【００２０】実施例１から３及び比較例のワイヤの製造
時のパテンティング処理に当たっては、脱炭、ベイナイ
トの発生等を極力防止し、均一なパーライト組織とし
た。パテンティング処理に引き続き、ワイヤ１ｋｇ当た
り約４ｇの黄銅めっき層をワイヤ表面に形成した。伸線
加工は湿式伸線法を適用し、所定の引張り強さとすべ
く、伸線加工総減面率を各々の成分に応じて表１に示す
値に設定して伸線した。また、孔の偏径差が平均孔径の
１％未満である円孔ダイスを用い、ダイス孔とワイヤと
の芯ずれ角度が１度未満となるようにして伸線した。特
に、最終ダイスは、偏径差が１μｍ未満のものを用い
た。
時のパテンティング処理に当たっては、脱炭、ベイナイ
トの発生等を極力防止し、均一なパーライト組織とし
た。パテンティング処理に引き続き、ワイヤ１ｋｇ当た
り約４ｇの黄銅めっき層をワイヤ表面に形成した。伸線
加工は湿式伸線法を適用し、所定の引張り強さとすべ
く、伸線加工総減面率を各々の成分に応じて表１に示す
値に設定して伸線した。また、孔の偏径差が平均孔径の
１％未満である円孔ダイスを用い、ダイス孔とワイヤと
の芯ずれ角度が１度未満となるようにして伸線した。特
に、最終ダイスは、偏径差が１μｍ未満のものを用い
た。
【００２１】このようにして製造した実施例１から３の
ワイヤの捻回値は、比較例のワイヤよりも低いが、ワイ
ヤ直径の１００倍当たり２０回以上の値であり、ワイヤ
ソー用ワイヤとしての使用に十分な靭性を示すものであ
った。また、ワイヤの周面における局部的な歪集中は認
められなかった。
ワイヤの捻回値は、比較例のワイヤよりも低いが、ワイ
ヤ直径の１００倍当たり２０回以上の値であり、ワイヤ
ソー用ワイヤとしての使用に十分な靭性を示すものであ
った。また、ワイヤの周面における局部的な歪集中は認
められなかった。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のワイヤ
ソー用高強度ワイヤは、従来のワイヤソー用ワイヤより
も高い引張り強さを有するため、切断精度の向上、切断
速度の向上、耐久性向上、切り代ロスの削減等の改善
を、従来よりも高いレベルで実現することができるもの
である。
ソー用高強度ワイヤは、従来のワイヤソー用ワイヤより
も高い引張り強さを有するため、切断精度の向上、切断
速度の向上、耐久性向上、切り代ロスの削減等の改善
を、従来よりも高いレベルで実現することができるもの
である。
【００２３】なお、本発明のワイヤソー用高強度ワイヤ
は、以上に例示したような単線ワイヤとしてのみなら
ず、複数の素線を撚合わせた構造のワイヤソー用ワイヤ
の素線としても適用し得るものであり、このような場合
においても同様に優れた効果をもたらすものである。
は、以上に例示したような単線ワイヤとしてのみなら
ず、複数の素線を撚合わせた構造のワイヤソー用ワイヤ
の素線としても適用し得るものであり、このような場合
においても同様に優れた効果をもたらすものである。
Claims (4)
- 【請求項１】 引張り強さが３８００ＭＰａ以上である
ことを特徴とするワイヤソー用高強度ワイヤ。 - 【請求項２】 材質が０．８０〜１．１０重量％の炭素
を含有する高炭素鋼であり、金属組織が伸線加工された
パーライト組織である請求項１記載のワイヤソー用高強
度ワイヤ。 - 【請求項３】 断面形状が直径０．０５〜０．２５ｍｍ
かつ偏径差２μｍ未満の円形である請求項１又は２記載
のワイヤソー用高強度ワイヤ。 - 【請求項４】 長さが３００，０００ｍ以上であり、か
つ長手方向の直径差が２μｍ未満である請求項３記載の
ワイヤソー用高強度ワイヤ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15343598A JPH11347910A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | ワイヤソー用高強力ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15343598A JPH11347910A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | ワイヤソー用高強力ワイヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11347910A true JPH11347910A (ja) | 1999-12-21 |
Family
ID=15562468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15343598A Pending JPH11347910A (ja) | 1998-06-02 | 1998-06-02 | ワイヤソー用高強力ワイヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11347910A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100370392B1 (ko) * | 2000-06-05 | 2003-01-29 | 홍덕스틸코드주식회사 | 초기 연삭조건이 우수한 소우 와이어 |
| KR100385164B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2003-05-22 | 홍덕스틸코드주식회사 | 와이어 소어용 와이어 및 그 제조방법 |
| KR100426059B1 (ko) * | 2001-12-26 | 2004-04-06 | 홍덕스틸코드주식회사 | 가공면이 우수한 소우 와이어 |
| JP2009091625A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Bridgestone Corp | 炭素鋼線の製造方法 |
| JP2023512226A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-03-24 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト | スライス動作のシーケンス中にワイヤソーによって被加工物から複数のウェハをスライスする方法 |
-
1998
- 1998-06-02 JP JP15343598A patent/JPH11347910A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100370392B1 (ko) * | 2000-06-05 | 2003-01-29 | 홍덕스틸코드주식회사 | 초기 연삭조건이 우수한 소우 와이어 |
| KR100385164B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2003-05-22 | 홍덕스틸코드주식회사 | 와이어 소어용 와이어 및 그 제조방법 |
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| JP2023512226A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-03-24 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフト | スライス動作のシーケンス中にワイヤソーによって被加工物から複数のウェハをスライスする方法 |
| US12558731B2 (en) | 2020-01-28 | 2026-02-24 | Siltronic Ag | Method for separating multiple slices of workpieces by means of a wire saw during a sequence of separation processes |
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