JPH11347953A - ウェーハ面取り砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】経済的なウェーハ面取り砥石の提供。 【解決手段】メタルボンド砥石１２とレジンボンド砥石
１４とが同時軸上に配置されたウェーハ面取り砥石１０
であって、レジンボンド砥石１４がメタルボンド砥石１
２にネジ２０によって固定されている。レジンボンド砥
石１４が磨耗した場合は、ネジ２０を外してメタルボン
ド砥石１２からレジンボンド砥石１４を取り外す。そし
て、新たなものと交換し、再び加工に供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェーハ面取り砥石
に係り、特にシリコン、セラミックス等の高脆性材料の
ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り砥石に
関する。

【０００２】

【従来の技術】高脆性材料であるシリコン等のウェーハ
を面取り加工する砥石には、結合材にメタルボンドを用
いたメタルボンド砥石と、結合材にレジンボンドを用い
たレジンボンド砥石が主に使用されている。メタルボン
ド砥石は、剛性が高く、砥粒保持力が高いため、砥石の
寿命が長いという利点がある反面、研削面が粗くなると
いう欠点がある。一方、レジンボンド砥石は、弾性を持
つため加工面に衝撃を与えることが少なく、研削面の精
度が高いという利点がある反面、砥粒保持力が高くない
ため寿命が短いという欠点がある。このように、両砥石
は共に相反する性質を有している。

【０００３】このため従来は、メタルボンド砥石で粗面
取り加工を行い、レジンボンド砥石で仕上げ面取加工を
するようにしていた。そして、この粗面取り加工と仕上
げ面取り加工は、別々の面取り装置で実施していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ように粗面取り加工と仕上げ加工とを別々の面取り装置
で実施すると、装置間の搬送等の手間がかかり加工効率
が悪いという欠点がある。また、装置の設置スペースが
必要になるとともに、コスト高になるという欠点もあ
る。

【０００５】このような欠点を解消するために、メタル
ボンド砥石とレジンボンド砥石とを同軸上に配置して一
体化した面取り加工砥石も提案されているが、レジンボ
ンド砥石の寿命に合わせてメタルボンド砥石も交換しな
ければならないため、無駄が多く、結果的にランニング
コストが高くなるという欠点があった。本発明は、この
ような事情に鑑みてなされたもので、経済的なウェーハ
面取り砥石を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ウェーハの周縁を面取り加工するウェー
ハ面取り砥石において、メタルボンド砥石部とレジンボ
ンド砥石部とが同軸上に配置されたウェーハ面取り砥石
であって、前記レジンボンド砥石部が前記メタルボンド
砥石部に対して着脱自在であることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、レジンボンド砥石部が磨
耗した場合は、メタルボンド砥石部からレジンボンド砥
石部のみを取り外して新たなものと交換する。これによ
り、レジンボンド砥石部の寿命に合わせてメタルボンド
砥石部を廃棄する必要がなくなり、経済的な面取り加工
を実施することができるようになる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るウェーハ面取り砥石の好ましい実施の形態について詳
説する。図１は、本発明に係るウェーハ面取り砥石の実
施の形態の構成を示す正面部分断面図である。

【０００９】同図に示すように、本実施の形態のウェー
ハ面取り砥石１０は、メタルボンド砥石１２とレジンボ
ンド砥石１４とが同軸上に配置されて構成されている。
メタルボンド砥石１２は、結合材にメタルボンドを使用
した砥石であり、ホイール１６の外周部に固着されてい
る。このメタルボンド砥石１２の外周部には予め溝１２
Ａが形成されており、溝１２Ａはウェーハに要求される
面取り形状に合致した形状に形成されている。

【００１０】一方、レジンボンド砥石１４は、結合材に
レジンを使用した砥石であり、取付用ホイール１８の外
周に固着されている。この取付用ホイール１８はドーナ
ツ状に形成されており、その内径は前記ホイール１６の
上面部に突出した取付部１６Ａの外径と同径に形成され
ている。レジンボンド砥石１４は、この取付用ホイール
１８を前記取付部１６Ａに嵌め込むことによりメタルボ
ンド砥石１２に装着される。

【００１１】前記ホイール１６には同心円上に９０°間
隔でネジ孔１６Ｂ、１６Ｂ、…が形成されており、ま
た、取付用ホイール１８にも同様に同心円上に９０°間
隔で貫通孔１８Ｂ、１８Ｂ、…が形成されている（図１
では１箇所のみ図示）。メタルボンド砥石１２に装着し
たレジンボンド砥石１４は、このネジ孔１６Ｂ、１６
Ｂ、…と貫通孔１８Ａ、１８Ａ、…の位置を合わせたの
ち、各ネジ孔１６Ｂ、１６Ｂ、…にネジ２０、２０、…
を螺合させて締結する。

【００１２】以上のように構成された本実施の形態のウ
ェーハ面取り砥石１０は、ウェーハ面取装置の砥石用の
スピンドルに装着したのち、ツルーイングを実施してレ
ジンボンド砥石１４の外周に溝を形成する。このよう
に、スピンドルに装着した後にツルーイングを実施して
溝を形成することにより、レジンボンド砥石１４がメタ
ルボンド砥石１２と同軸上に装着されていない場合であ
っても、溝はメタルボンド砥石１２の中心と一致するた
め、加工時に溝部の外周の振れが発生することがなく、
研削面の精度の向上を図ることができる。

【００１３】レジンボンド砥石１４に溝が形成されたウ
ェーハ面取り砥石１０は、この後、加工に供されるが、
一般にレジンボンド砥石１４はメタルボンド砥石よりも
寿命が短い。そこで、レジンボンド砥石１４が磨耗した
場合は、次のようにしてレジンボンド砥石１４のみを交
換する。まず、ウェーハ面取り砥石１０をスピンドルか
ら取り外す。次いで、レジンボンド砥石１４を固定して
いるネジ２０を外し、メタルボンド砥石１２から磨耗し
たレジンボンド砥石１４を取り外す。そして、新たなレ
ジンボンド砥石１４を装着してネジ２０で固定する。

【００１４】レジンボンド砥石１４を交換したウェーハ
面取り砥石１０は、再びウェーハ面取り装置の砥石用の
スピンドルに装着し、ツルーイングを実施してレジンボ
ンド砥石１４の外周に溝を形成する。このように、本実
施の形態のウェーハ面取り砥石１０では、レジンボンド
砥石１４が磨耗した場合は、レジンボンド砥石１４のみ
を交換することができるため、従来のようにレジンボン
ド砥石１４の磨耗と同時にメタルボンド砥石１２をも廃
棄する必要がなくなり、無駄がなく経済的なウェーハの
面取り加工を実施することができるようになる。

【００１５】なお、本実施の形態のウェーハ面取り砥石
１０では、メタルボンド砥石１２に形成されている溝１
２Ａは一段のみであるが、図２に示すように、二段ある
いは複数段形成するようにしてもよい。また、本実施の
形態のウェーハ面取り砥石１０では、レジンボンド砥石
１４に予め溝が形成されていないものを用いているが、
図２に示すように、予め溝１４Ａ、１４Ａが形成されて
いるものを用いてもよい。なお、同図に示す例では、溝
１４Ａ、１４Ａが二段形成されているが、この数に限定
されるものではない。

【００１６】また、本実施の形態のウェーハ面取り砥石
１０のメタルボンド砥石１２とレジンボンド砥石１４
は、共に単一の粒度のものが用いられているが、粒度が
異なるものを複数段積み重ねて形成したものを用いても
よい。たとえば、図３に示すウェーハ面取り砥石１０で
は、下段のメタルボンド砥石１２ａが粒度８００番の砥
石で形成されており、上段のメタルボンド砥石１２ｂが
粒度１５００番の砥石で形成されている。

【００１７】さらに、本実施の形態のウェーハ面取り砥
石１０では、溝形状がウェーハに要求される面取り形状
に合致した形状に形成されているが、これに限らず、図
４に示すように、台形状の溝１２Ａ、１４Ａを形成して
もよい。また、本実施の形態のウェーハ面取り砥石１０
では、上段にレジンボンド砥石１４を配置し、下段にメ
タルボンド砥石１２を配置するようにしているが、配置
は逆にしてもよい。なお、本実施の形態のように、レジ
ンボンド砥石１４を上段に配置すれば、シリコンの研削
粉（スラッジ）によってレジンボンド砥石１４に目詰ま
りが生じるのを抑止することができる。

【００１８】次に、本発明に係るウェーハ面取り砥石を
用いたウェーハの面取り方法について説明する。まず、
本発明に係るウェーハ面取り砥石が適用されるウェーハ
面取り装置の構成について説明する。図５、図６は、そ
れぞれウェーハ面取り装置の構成を示す側面図と平面図
である。また、図７、図８は、それぞれ図５のＡ−Ａ断
面図とＢ−Ｂ断面図である。図５及び図６に示すよう
に、ウェーハ面取り装置４０は、主としてウェーハ送り
ユニット４２、外周加工ユニット４４及びノッチ加工ユ
ニット４６から構成されている。

【００１９】まず、ウェーハ送りユニット４２の構成に
ついて説明する。図５、図６及び図７に示すように、水
平に配設されたベースプレート５０上には、一対のＹ軸
ガイドレール５２、５２が所定の間隔をもって敷設され
ている。この一対のＹ軸ガイドレール５２、５２上には
Ｙ軸リニアガイド５４、５４、…を介してＹ軸テーブル
５６がスライド自在に支持されている。

【００２０】Ｙ軸テーブル５６の下面にはナット部材５
８が固着されており、該ナット部材５８は前記一対のＹ
軸ガイドレール５２、５２の間に配設されたＹ軸ボール
ネジ６０に螺合されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、そ
の両端部が前記ベースプレート５０上に配設された軸受
部材６２、６２に回動自在に支持されており、その一方
端には一方の軸受部材６２に設けられたＹ軸モータ６４
の出力軸が連結されている。Ｙ軸ボールネジ６０は、こ
のＹ軸モータ６４を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｙ軸テーブル５６がＹ軸ガイドレール５２、５
２に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｙ軸テーブル５６がスライドする方向をＹ軸方向とす
る。

【００２１】前記Ｙ軸テーブル５６上には、図５、図６
及び図８に示すように、前記一対のＹ軸ガイドレール５
２、５２と直交するように一対のＸ軸ガイドレール６
６、６６が敷設されている。この一対のＸ軸ガイドレー
ル６６、６６上にはＸ軸リニアガイド６８、６８、…を
介してＸ軸テーブル７０がスライド自在に支持されてい
る。

【００２２】Ｘ軸テーブル７０の下面にはナット部材７
２が固着されており、該ナット部材７２は前記一対のＸ
軸ガイドレール６６、６６の間に配設されたＸ軸ボール
ネジ７４に螺合されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、そ
の両端部が前記Ｘ軸テーブル７０上に配設された軸受部
材７６、７６に回動自在に支持されており、その一方端
には一方の軸受部材７６に設けられたＸ軸モータ７８の
出力軸が連結されている。Ｘ軸ボールネジ７４は、この
Ｘ軸モータ７８を駆動することにより回動し、この結
果、前記Ｘ軸テーブル７０がＸ軸ガイドレール６６、６
６に沿って水平にスライド移動する。なお、以下、この
Ｘ軸テーブル７０がスライドする方向をＸ軸方向とす
る。

【００２３】前記Ｘ軸テーブル７０上には、図５及び図
６に示すように、垂直にＺ軸ベース８０が立設されてお
り、該Ｚ軸ベース８０には一対のＺ軸ガイドレール８
２、８２が所定の間隔をもって敷設されている。この一
対のＺ軸ガイドレール８２、８２にはＺ軸リニアガイド
８４、８４を介してＺ軸テーブル８６がスライド自在に
支持されている。

【００２４】Ｚ軸テーブル８６の側面にはナット部材８
８が固着されており、該ナット部材８８は前記一対のＺ
軸ガイドレール８２、８２の間に配設されたＺ軸ボール
ネジ９０に螺合されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、そ
の両端部が前記Ｚ軸ベース８０に配設された軸受部材９
２、９２に回動自在に支持されており、その下端部には
下側の軸受部材９２に設けられたＺ軸モータ９４の出力
軸が連結されている。Ｚ軸ボールネジ９０は、このＺ軸
モータ９４を駆動することにより回動し、この結果、前
記Ｚ軸テーブル８６がＺ軸ガイドレール８２、８２に沿
って垂直にスライド移動する。なお、以下、このＺ軸テ
ーブル８６がスライドする方向をＺ軸方向とする。

【００２５】前記Ｚ軸テーブル８６上にはθ軸モータ９
６が垂直に設置されている。このθ軸モータ９６の出力
軸にはθ軸シャフト９８が連結されており、このθ軸シ
ャフト９８にウェーハテーブル１００とツルアー３０と
が装着されている。ウェーハテーブル１００は、面取り
加工するウェーハＷを真空吸着によって保持し、前記θ
軸モータ９６を駆動することにより回転する。

【００２６】ツルアー３０は、レジンボンド砥石１４の
ツルーイングを実施するための工具であり、図９に示す
ように、円盤状に形成された台金３２の外周部にツルー
イング砥石３４が一体的に固着されて構成されている。
ツルーイング砥石３４は、その断面形状がレジンボンド
砥石１４に要求される溝１４Ａの形状と同じ形状に形成
されており、このツルーイング砥石３４を回転させなが
ら、レジンボンド砥石１４の外周部に押し当てることに
より、そのレジンボンド砥石１４の外周部に溝１４Ａが
形成される。

【００２７】以上のように構成されたウェーハ送りユニ
ット４２において、ウェーハテーブル１００及びツルア
ー３０は、Ｙ軸モータ６４を駆動することによりＹ軸方
向に沿って水平にスライド移動し、Ｘ軸モータ７８を駆
動することによりＸ軸方向に沿って水平にスライド移動
する。そして、Ｚ軸モータ９４を駆動することによりＺ
軸方向に沿って垂直にスライド移動し、θ軸モータ９６
を駆動することによりθ軸回りに回転する。

【００２８】次に、外周加工ユニット４４の構成につい
て説明する。図５、図６及び図１０に示すように、前記
ベースプレート５０上には垂直に架台１０２が設置され
ている。架台１０２上には外周モータ１０４が垂直に設
置されており、この外周モータ１０４の出力軸には外周
スピンドル１０６が連結されている。本発明に係るウェ
ーハ面取り砥石１０は、この外周スピンドル１０６に装
着される。

【００２９】外周加工ユニット４４は以上のように構成
される。なお、以下、前記ウェーハ面取り砥石１０の回
転中心Ｏを通りＹ軸ガイドレール５２、５２と平行な直
線を『Ｙ軸』とし、ウェーハ面取り砥石１０の回転中心
Ｏを通りＸ軸ガイドレール６６、６６と平行な直線を
『Ｘ軸』とする。そして、ウェーハ面取り砥石１０の回
転軸を『Ｚ軸』とする。

【００３０】次に、ノッチ加工ユニット４６の構成につ
いて説明する。図５、図６及び図１０に示すように、前
記架台１０２の側部には前記ウェーハ面取り砥石１０の
回転軸（Ｚ軸）に沿って支柱１１０が垂直に配設されて
いる。この支柱１１０の下端部は前記架台１０２の側面
に支持されており、その上端部には水平な梁部１１０Ａ
が一体成形されている。梁部１０２Ａの先端には、一対
の軸受部材１１２、１１２が配設されており、該軸受部
材１１２、１１２にピン１１４を介してアーム１１６が
揺動自在に支持されている。

【００３１】アーム１１６の先端にはノッチモータ１１
８が支持されており、該ノッチモータ１１８の出力軸に
はノッチスピンドル１２０が連結されている。そして、
このこのノッチスピンドル１２０にノッチ加工砥石１２
２が装着される。ここで、このノッチ加工砥石１２２
は、粗研用の砥石１２２Ａと精研用の砥石１２２Ｂとを
同軸状に積み重ねて構成したものであり、各々の砥石１
２２Ａ、１２２ＢにはウェーハＷに要求される面取り形
状に対応した溝が形成されている（図示せず）。

【００３２】なお、前記アーム１１６は図示しないロッ
ク手段によって固定することができ、このロック手段に
よって固定することにより、アーム１１６は水平に保持
される。そして、このアーム１１６が水平に保持される
ことにより、ノッチ加工砥石１２２はＹ軸上に位置す
る。次に、前記のごとく構成されたウェーハ面取り装置
４０の作用について説明する。

【００３３】まず、本発明に係るウェーハ面取り砥石１
０をウェーハ面取り装置４０に装着し、ツルーイングを
実施する方法について説明する。初期状態において、ウ
ェーハテーブル１００は、その回転軸θがＹ軸上に位置
するととともに、ウェーハ面取り砥石１０の軸芯（Ｚ
軸）から所定距離離れた位置に位置している。また、ウ
ェーハ面取り砥石１０に対して所定高さの位置に位置し
ている（原点位置）。

【００３４】まず、オペレータが外周スピンドル１０６
にウェーハ面取り砥石１０を装着する。装着後、オペレ
ータはウェーハ面取り装置４０にツルーイングの実施命
令を出す。この実施命令を受けたウェーハ面取り装置４
０の制御部（図示せず）は、次のように、レジンボンド
砥石１４ツルーイングを実施する。まず、Ｚ軸モータ９
４が駆動され、ツルアー３０がＺ軸方向に沿って所定量
上昇する。この結果、図１１（ａ）に示すように、ツル
アー３０が所定の溝加工位置に位置する。この溝加工位
置は、ウェーハ面取り砥石１０のレジンボンド砥石１４
に形成する溝１４Ａと同じ高さの位置である。

【００３５】次に、外周モータ１０４とθ軸モータ９６
が駆動され、ウェーハ面取り砥石１０とツルアー３０が
共に同方向に高速回転を開始する。次に、Ｙ軸モータ６
４が駆動され、ツルアー３０がＹ軸上をウェーハ面取り
砥石１０に向かって移動する。ウェーハ面取り砥石１０
に向かって移動したツルアー３０は、レジンボンド砥石
１４に接触する直前で減速し、そのままゆっくりとした
スピードで移動してレジンボンド砥石１４の外周面に当
接する。この当接後もツルアー３０は、Ｙ軸上をゆっく
りと移動し、この結果、図１１（ｂ）に示すように、レ
ジンボンド砥石１４の外周面がツルーイング砥石３４に
微小量ずつ研削されて溝１４Ａが形成される。

【００３６】ツルアー３０は、図１１（ｂ）に示すよう
に、ウェーハ面取り砥石１０との軸間距離が所定距離Ｌ
に達すると停止する。そして、その停止後、図１１
（ｃ）に示すように、Ｙ軸上をウェーハ面取り砥石１０
から離れる方向に移動して溝加工位置に復帰する。以上
により、レジンボンド砥石１４に溝１４Ａが形成され
る。なお、このように形成した溝１４Ａは真円となるた
め、高速回転させても振れが発生せず、研削面を精度よ
く仕上げることができるようになる。

【００３７】次に、前記のごとくウェーハ面取り砥石１
０が装着されたウェーハ面取り装置４０でウェーハＷを
面取り加工する方法について説明する。なお、本実施の
形態のウェーハ面取り装置４０では、オリフラ付きウェ
ーハとノッチ付きウェーハの両方の面取り加工を行うこ
とができるが、ここではノッチ付きウェーハを面取り加
工する場合について説明する。

【００３８】まず、ウェーハテーブル１００上にウェー
ハＷを載置する。載置されたウェーハＷは、ウェーハテ
ーブル１００に真空吸着によって保持される。ここで、
ウェーハテーブル１００に保持されたウェーハＷは、そ
の中心Ｏ_W がウェーハテーブル１００の回転軸θ上に位
置するとともに、そのノッチＮＯがＹ軸上に位置する。
また、メタルボンド砥石１２の溝１２Ａと同じ高さに位
置する。このウェーハＷの位置を『外周粗面取り基準位
置』とする。

【００３９】ウェーハＷがウェーハテーブル１００に吸
着保持されると、ウェーハＷの面取り加工が開始され
る。図１２（ａ）〜（ｆ）には、そのウェーハＷの面取
り加工の加工手順が示されている。ウェーハＷの面取り
加工は、まず、ウェーハＷの円形部Ｃの粗面取り加工か
ら行われる。

【００４０】まず、外周モータ１０４が駆動され、ウェ
ーハ面取り砥石１０が回転する。これと同時にＹ軸モー
タ６４が駆動され、ウェーハＷがメタルボンド砥石１２
に向かってＹ軸上を移動する。ウェーハＷが所定距離移
動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止され、この結果、
ウェーハＷの円形部Ｃがメタルボンド砥石１２の溝１２
Ａに当接する。

【００４１】ウェーハＷの円形部Ｃがメタルボンド砥石
１２に当接すると、これと同時にθ軸モータ９６が駆動
され、ウェーハＷに対してθ軸回りの回転が与えられ
る。この結果、前記ウェーハＷは、図１２（ａ）及び
（ｂ）に示すように、その円形部Ｃが回転するメタルボ
ンド砥石１２に研削されて粗面取り加工される。θ軸回
りの回転は所定回数与えられ、この後、θ軸モータ９６
の駆動が停止される。これにより、ウェーハＷの円形部
Ｃの粗面取り加工が終了する。ウェーハＷは面取り加工
を開始した位置（最初にメタルボンド砥石１２と当接し
た位置）で停止し、その後、Ｙ軸上をメタルボンド砥石
１２から離れる方向に所定量移動する。そして、前記外
周粗面取り基準位置に復帰する。

【００４２】以上の工程でウェーハＷの円周部Ｃの粗面
取り加工が終了する。次に、ウェーハＷの円形部Ｃの仕
上げ面取り加工が行われる。ウェーハＷが前記外周粗面
取り基準位置に復帰すると、Ｚ軸モータ９４が駆動さ
れ、ウェーハテーブル１００が所定量上昇する。この結
果、ウェーハテーブル１００に保持されたウェーハＷが
レジンボンド砥石１４の溝１４Ａと同じ高さの位置に位
置する。このウェーハＷの位置を『外周仕上げ面取り基
準位置』とする。

【００４３】次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェー
ハＷがレジンボンド砥石１４に向かってＹ軸上を移動す
る。ウェーハＷが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の
駆動は停止され、この結果、ウェーハＷの円形部Ｃがレ
ジンボンド砥石１４の溝１４Ａに当接する。ウェーハＷ
の円形部Ｃがレジンボンド砥石１４の溝１４Ａに当接す
ると、これと同時にθ軸モータ９６が駆動され、ウェー
ハＷに対してθ軸回りの回転が与えられる。この結果、
前記ウェーハＷは、図１２（ａ）及び（ｂ）に示すよう
に、その円形部Ｃが回転するレジンボンド砥石１４に研
削されて仕上げ面取り加工される。

【００４４】θ軸回りの回転は所定回数与えられ、この
後、θ軸モータ９６の駆動が停止される。これにより、
ウェーハＷの円形部Ｃの仕上げ面取り加工が終了する。
ウェーハＷは仕上げ面取りを開始した位置（最初にレジ
ンボンド砥石１４と当接した位置）で回転を停止し、そ
の後、Ｙ軸上をレジンボンド砥石１４から離れる方向に
所定量移動して、外周仕上げ面取り基準位置に復帰す
る。これと同時に外周モータ１０４の駆動も停止され、
ウェーハ面取り砥石１０の回転が停止する。

【００４５】以上の工程でウェーハＷの円形部Ｃの仕上
げ面取り加工が終了する。次に、ウェーハＷのノッチＮ
Ｏの粗面取り加工が行われる。まず、Ｚ軸モータ９４が
駆動され、ウェーハテーブル１００が所定量上昇する。
この結果、ウェーハテーブル１００に保持されたウェー
ハＷが粗研用ノッチ加工砥石１２２Ａの溝と同じ高さに
位置する。次に、θ軸モータ９６が駆動され、ウェーハ
Ｗが１８０°回転する。この結果、ノッチＮＯとノッチ
加工砥石１２２とが対向するように位置する。次に、Ｘ
軸モータ７８が駆動され、ウェーハＷがＸ軸方向に所定
量移動する。これにより、ノッチＮＯの位置が粗研用ノ
ッチ加工砥石１２２Ａに対してＸ軸方向に所定量シフト
する。以下、このウェーハＷの位置を『ノッチ粗面取り
基準位置』とする。

【００４６】次に、ノッチモータ１１８が駆動され、ノ
ッチ加工砥石１２２が回転を開始する。これと同時にＹ
軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが粗研用ノッチ加
工砥石１２２Ａに向かってＹ軸上を移動する。ウェーハ
Ｗが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止さ
れ、この結果、図１２（ｃ）に示すように、ウェーハＷ
のノッチコーナーＮＲが粗研用ノッチ加工砥石１２２Ａ
の溝（図示せず）に当接する。

【００４７】ウェーハＷのノッチコーナーＮＲが粗研用
ノッチ加工砥石１２２Ａの溝に当接すると、これと同時
にウェーハＷにＸ軸方向及びＹ軸方向の送りが与えら
れ、ノッチコーナーＮＲの面取りが行われる。すなわ
ち、ノッチコーナーＮＲが常にノッチ加工砥石１２２に
当接するように、ノッチコーナーＮＲの形状に沿ってウ
ェーハＷに送りが与えられる。この結果、前記ウェーハ
ＷのノッチコーナーＮＲは、粗研用ノッチ加工砥石１２
２Ａに研削されて粗面取り加工される。

【００４８】ノッチコーナーＮＲの粗面取りが終了する
と、ウェーハＷに対して連続してＸ軸方向及びＹ軸方向
の送りが与えられ、ノッチＮＯの面取りが行われる。す
なわち、図１２（ｄ）に示すように、ノッチＮＯが常に
粗研用ノッチ加工砥石１２２Ａに当接するように、ノッ
チＮＯの形状に沿ってウェーハＷに送りが与えられる。
同図の場合、ノッチＮＯはＶ字状に形成されているの
で、このＶ字状のノッチＮＯの形状に沿ってＶ字を描く
ようにウェーハＷは移動する。

【００４９】ノッチＮＯの面取りが終了すると、図１２
（ｅ）に示すように、粗研用ノッチ加工砥石１２２Ａと
ウェーハＷとの接触点が他方側のノッチコーナーＮＲに
達する。そして、この接触点が他方側のノッチコーナー
ＮＲに達すると、連続的にノッチコーナーＮＲの面取り
が行われる。すなわち、ウェーハＷにＸ軸方向の送りと
Ｙ軸方向の送りが与えられ、ノッチコーナーＮＲが常に
粗研用ノッチ加工砥石１２２Ａに当接するように、ノッ
チコーナーＮＲの形状に沿ってウェーハＷが移動する。
この結果、ウェーハＷのノッチコーナーＮＲが粗面取り
加工される。

【００５０】他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが終
了すると、ウェーハＷの送りは、一時停止される。そし
て、この状態から逆方向に向けてノッチコーナーＮＲ、
ノッチＮＯ及び他方側のノッチコーナーＮＲの面取りが
行われる。以上の操作を所望に応じて複数回繰り返すこ
とにより、ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取
り加工が終了する。

【００５１】ノッチＮＯの粗面取りが終了すると、ウェ
ーハＷは、ノッチＮＯの面取りを開始した位置、すなわ
ち、図１２（ｃ）に示す位置で停止し、その後、Ｙ軸上
をノッチ加工砥石１２２から離れる方向に移動し、ノッ
チ粗面取り基準位置に復帰する。以上の工程でウェーハ
ＷのノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの粗面取り加工
が終了する。次に、ウェーハＷのノッチＮＯ及びノッチ
コーナーＮＲの仕上げ面取り加工が行われる。

【００５２】まず、Ｚ軸モータ９４が駆動され、ウェー
ハテーブル１００が所定量上昇する。この結果、ウェー
ハテーブル１００に保持されたウェーハＷが精研用ノッ
チ加工砥石１２２Ｂの溝と同じ高さになる。このウェー
ハＷの位置を『ノッチ仕上げ面取り基準位置』とする。
次に、Ｙ軸モータ６４が駆動され、ウェーハＷが精研用
ノッチ１２２Ｂに向かってＹ軸上を移動する。ウェーハ
Ｗが所定距離移動するとＹ軸モータ６４の駆動は停止さ
れ、この結果、図１２（ｃ）に示すように、ウェーハＷ
のノッチコーナーＮＲが精研用ノッチ加工砥石１２２Ｂ
の溝（図示せず）に当接する。

【００５３】以下、上述した粗面取り加工時と同様に、
ウェーハＷのＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を制御して、
ノッチＮＯ及びノッチコーナーＮＲの仕上げ面取り加工
をする。ウェーハＷの仕上げ面取り加工が終了すると、
ウェーハＷは面取りを開始した位置（図１２（ｃ）に示
す位置）で回転を停止する。その後、ウェーハＷはＹ軸
上を精研用ノッチ加工砥石１２２Ｂから離れる方向に所
定量移動し、ノッチ仕上げ面取り基準位置に復帰する。
これと同時にノッチモータ１１８の駆動も停止され、ノ
ッチ加工砥石１２２の回転が停止する。

【００５４】ウェーハＷがノッチ仕上げ面取り基準位置
に復帰すると、ウェーハテーブル１００はＸ軸方向に所
定量移動し、その後、Ｚ軸方向に所定量下降して外周粗
面取り基準位置に復帰する。ウェーハテーブル１００が
外周粗面取り基準位置に復帰すると、ウェーハテーブル
１００によるウェーハＷの吸着が解除され、その後、図
示しない搬送手段によってウェーハテーブル１００上か
らウェーハＷが次工程へと搬送されてゆく。以上の一連
工程で１枚のウェーハＷの面取り加工が終了する。

【００５５】ところで、レジンボンド砥石１４は使用に
より磨耗するが、磨耗して使用限界に達した場合は新た
なものと交換する。すなわち、まず、ウェーハ面取り砥
石１０を外周スピンドル１０６から取り外す。次いで、
レジンボンド砥石１４を固定しているネジ２０を外し、
メタルボンド砥石１２から磨耗したレジンボンド砥石１
４を取り外す。そして、新たなレジンボンド砥石１４を
装着してネジ２０で固定する。

【００５６】レジンボンド砥石１４を交換したウェーハ
面取り砥石１０は、再び外周スピンドル１０６に装着
し、ツルーイングを実施してレジンボンド砥石１４の外
周に溝１４Ａを形成する。このように、レジンボンド砥
石１４が磨耗した場合は、レジンボンド砥石１４のみを
交換するようにすれば、無駄がなく経済的なウェーハＷ
の面取り加工を実施することができるようになる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るウェ
ーハ面取り砥石によれば、メタルボンド砥石部からレジ
ンボンド砥石部を取り外すことができる。このため、レ
ジンボンド砥石部が磨耗した場合は、メタルボンド砥石
部からレジンボンド砥石部を取り外してレジンボンド砥
石部のみを廃棄することができる。したがって、無駄が
なく、経済的な面取り加工を実施することができるよう
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェーハ面取り砥石の実施の形態
の正面部分断面図

【図２】本発明に係るウェーハ面取り砥石の他の実施の
形態の正面部分断面図

【図３】本発明に係るウェーハ面取り砥石の他の実施の
形態の正面部分断面図

【図４】本発明に係るウェーハ面取り砥石の他の実施の
形態の正面部分断面図

【図５】ウェーハ面取り装置の構成を示す側面図

【図６】ウェーハ面取り装置の構成を示す平面図

【図７】図５のＡ−Ａ断面図

【図８】図５のＢ−Ｂ断面図

【図９】ツルアーの構成を示す正面部分断面図

【図１０】外周加工ユニットとノッチ加工ユニットの構
成を示す正面図

【図１１】ウェーハ面取り砥石のツルーイング方法の説
明図

【図１２】ノッチ付きウェーハの面取り方法の説明図

【符号の説明】

１０…ウェーハ面取り砥石 １２…メタルボンド砥石 １２Ａ…溝 １４…レジンボンド砥石 １４Ａ…溝 １６…ホイール １８…取付用ホイール ２０…ネジ ４０…ウェーハ面取り装置 ４２…ウェーハ送りユニット ４４…外周加工ユニット ４６…ノッチ加工ユニット １００…ウェーハテーブル １２２…ノッチ加工砥石 Ｗ…ウェーハ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハの周縁を面取り加工するウェー
   ハ面取り砥石において、 メタルボンド砥石部とレジンボンド砥石部とが同軸上に
   配置されたウェーハ面取り砥石であって、前記レジンボ
   ンド砥石部が前記メタルボンド砥石部に対して着脱自在
   であることを特徴とするウェーハ面取り砥石。
2. 【請求項２】 前記レジンボンド砥石部は、前記メタル
   ボンド砥石部に取り付けられたのちツルーイングによっ
   てウェーハの面取り用の溝が形成されることを特徴とす
   る請求項１記載のウェーハ面取り砥石。