JPH11351422A - ボ―ル・ポペット空気圧制御弁 - Google Patents

ボ―ル・ポペット空気圧制御弁

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JPH11351422A
JPH11351422A JP11106511A JP10651199A JPH11351422A JP H11351422 A JPH11351422 A JP H11351422A JP 11106511 A JP11106511 A JP 11106511A JP 10651199 A JP10651199 A JP 10651199A JP H11351422 A JPH11351422 A JP H11351422A
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movable
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 より高速でかつ正確な作動ができ、かつ内部
作動流体の漏洩が極めて小さくほぼゼロである空気圧流
体制御弁装置を提供することにある。 【解決手段】 外部の加圧された空気圧作動流体源に連
結される流体入口と、1つ以上の負荷出口と、1つ以上
の対応する排出ポートと、可動弁機構とを備えた弁本体
を有する空気圧流体制御弁。可動弁機構は、少なくとも
1対の可動弁要素と、隣接する可動弁要素間で常時当接
関係をなしておりかつ可動弁要素間で変形可能に調和運
動を伝達する、好ましくは弾性変形可能なコネクタとを
有している。内部漏洩を最小にするため、変形可能コネ
クタは、一方の可動弁要素に調和運動を伝達する前に、
他方の可動弁要素の移動およびコネクタの圧縮を可能に
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、広くは、機械また
は他の装置の駆動に使用される空気圧作動形駆動シリン
ダ装置への(または該装置からの)空気圧作動流体とし
ての加圧空気の流れを制御するのに使用される形式の空
気圧流体制御弁に関する。より詳しくは、本発明は、効
率的に高速作動できかつ空気圧作動流体の内部漏洩が実
質的に存在しない空気圧制御弁に関する。
【0002】
【従来の技術】空気圧制御弁を使用して、プレス、プロ
セスライン装置またはアセンブリライン装置、または良
く知られた他の広範囲の任意の工具または機器等の種々
の形式の機械または装置の駆動に使用される空気圧シリ
ンダ/ピストン装置のような空気圧流体作動形駆動機構
の作動を制御することは良く知られている。一般に、こ
のような空気圧流体制御弁は、弁装置自体および該弁装
置により制御される機器の運転中に、数百万回の作動サ
イクルに亘って迅速に、摺動可能にかつ正確に作動する
ことが要求される。また、エネルギ効率の要求、正確な
作動パラメータ、関連プラント条件に関する要求、また
は他の設計的考察により、このような弁は、しばしば、
空気圧作動流体の内部漏洩が少なくまたは最少になるよ
うにして作動することが要求される。これらの要求は、
現在使用されている広範囲の構成または形式の空気圧流
体制御弁によりほぼ満たされているが、絶えず高まる技
術的要求は、このような弁のより高レベルの性能を必要
としている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明によれ
ば、より高速でかつ正確な作動ができ、かつ内部作動流
体の漏洩が極めて小さくほぼゼロである空気圧流体制御
弁装置が提供される。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明による空気圧流体
制御弁装置は、典型的な構成として、外部の加圧された
空気圧作動流体源に連結される作動流体入口と、1つ以
上の作動流体負荷出口と、1つ以上の対応排出ポートと
を備えた弁本体部分と、該弁本体部分内に配置された可
動弁機構とを有している。制御弁装置は、1つの負荷出
口を、最初に作動流体入口に連通させ、次に対応する排
出ポートに連通させて、空気圧作動流体を駆動アクチュ
エータ装置に(および駆動アクチュエータ装置から)交
互に伝達させるべく、空気圧制御流体圧力を可動弁機構
に選択的に加えることができるパイロットオペレータに
連結できる。
【0005】本発明の可動弁機構は、好ましくは、弁本
体内の第1チャンバ内に移動可能に配置された第1可動
弁要素を有し、第1チャンバは、第1作動流体負荷出口
および対応する第1排出ポートと連通している。弁本体
部分内の第2チャンバ内には第2可動弁要素が移動可能
に配置され、第2チャンバは、第1チャンバ、作動流体
入口および第1作動流体負荷出口と連通している。可動
弁機構には、弁本体部分内の第3チャンバ内に移動可能
に配置される第3可動弁要素を設けることもでき、第3
チャンバは、第2チャンバと、第2作動流体負荷出口
と、対応する第2排出ポートと連通するように構成され
る。弁本体内には、第1可動弁要素と第2可動弁要素と
の間で常時当接関係をなすように変形可能コネクタが配
置され、第2可動弁要素と第3可動弁要素との間には第
2変形可能コネクタが配置され、(このように構成した
場合には)コネクタの変形により、第2可動弁要素と第
3可動弁要素との間に調和運動すなわち応答運動が伝達
される。弁本体部分の両端部に配置された1対のピスト
ンが、第1および第2(または第1および第3)可動弁
要素と当接係合しており、これにより、調和運動が可動
弁機構に伝達されて作動流体入口と一方または他方の作
動流体負荷出口とが選択的に連通されかつ逆の作動流体
負荷出口と排出ポートとが連通される。
【0006】本発明の好ましい形態では、変形可能コネ
クタは、可動弁要素の移動経路に沿って、実質的に直線
状のリニア・インライン配向をなして配置されており、
可動弁要素は、少なくとも弁本体内のそれぞれの弁座に
隣接する部分が球形(または少なくとも一部が球形)の
弧状形状をなしている。また、本発明の好ましい形態で
は、変形可能コネクタは弾性変形可能なコイルスプリン
グであるが、他の弾性変形可能なコネクタ形状を使用す
ることもできる。好ましい弾性変形可能な各コネクタ
は、弾性的に圧縮されて、その隣接する一方の可動弁要
素に調和運動が伝達される前に、その隣接する他方の可
動弁要素がかなりの距離を移動できるようにして、前記
一方の可動弁要素をその反対側移動端に移動させる。
【0007】また、可動弁要素の摩耗を最小にするた
め、好ましいコイルスプリングコネクタの両端部は、上
記隣接する好ましい可動弁要素の弧状球形面を補完する
ほぼ球形の凹弧状形状に研摩される。
【0008】本発明による空気圧流体制御弁装置のこの
ような好ましい構造は、作動の速度および精度に関し
て、並びに、弁要素の移動中の空気圧流体の好ましくな
い交差(クロスオーバ)漏洩をなくすか、少なくともほ
ぼ最小限にすることに関して顕著な効果を発揮する。ま
た、本発明は、並列にまたは4方弁として、並びに当業
者に容易に理解できる他の形態で作動できる3方弁、4
方弁および二重3方弁を含む種々の制御弁形式に有効に
適用できる。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の他の目的、長所および特
徴は、添付図面を参照して述べる以下の説明および特許
請求の範囲の記載から明らかになるであろう。
【0010】図1〜図13は、本発明による空気圧流体
制御弁装置の好ましい実施形態を示す。当業者ならば、
以下の説明および添付図面から、本発明の図示の実施形
態は単なる例示でありかつ本発明の原理を適用できる種
々の制御弁装置機構を示すものであることが容易に理解
できるであろう。
【0011】最初に第1図〜第6図を参照して説明する
と、例示の5ポート/4方・流体制御弁装置10は本体
12を有し、該本体12は長手方向に貫通して延びてい
る主ボアすなわち中央ボア14を備え、該中央ボア14
の両端部はそれぞれの端キャップ16、18により閉鎖
されている。また、本体12は、主ボア14より直径が
小さくかつ長手方向に貫通して延びている2次ボア20
と、端キャップ16、18の間で2次ボア20内を貫通
して延びている中空フローチューブ22とを有してい
る。
【0012】弁本体12は、典型的には、作動流体入口
ポート24と、1対の作動流体負荷ポート26、28
と、これらのそれぞれに対応する1対の排出ポート3
0、32とを有している。制御弁装置10の一般的な例
示用途では、負荷ポート26、28は、空気圧作動形シ
リンダ(該シリンダ内には駆動ピストン35が配置され
ている)のそれぞれの側部すなわちそれぞれの端部に連
結される。
【0013】空気圧制御弁10の好ましい形態は、関連
弁座37、39を備えた全体として円筒状の第1スリー
ブ36と、関連弁座41、43を備えた全体として円筒
状のスリーブ42とを有し、これらの全ての弁座は、弁
本体12の中央ボアすなわち主ボア14内で、全体とし
て直線状のリニア・インライン構成に配置されている。
スリーブ36の中空内部は第1チャンバ36aを形成
し、スリーブ36、42の内部は協働して第2チャンバ
38aを形成し、スリーブ42の内部は第3チャンバ4
2aを形成している。
【0014】球形ボール46の形態をなす好ましい可動
弁要素がスリーブ36内で(従って、チャンバ36a内
で)長手方向直線移動できるように配置されており、か
つ弁座37とシール係合することができる。同様に、第
2可動弁要素すなわち球形ボール48がチャンバ38a
内で長手方向移動できるように配置されており、かつそ
れぞれの弁座39、41のいずれかと交互にシール係合
することができる。同様に、第3可動弁要素すなわち球
形ボール50がスリーブ42内で(従って、チャンバ4
2a内で)長手方向直線移動できるように配置されてお
り、かつ弁座43とシール係合することができる。変形
可能な弁要素コネクタ(好ましくは弾性変形可能なスプ
リングコネクタ47、49の形態をなす)が、隣接する
球形ボール46と48との間、および球形ボール48と
50との間にそれぞれ配置されており、スプリングコネ
クタ47、49は、これらに隣接する球形ボール形弁要
素のそれぞれの対に常時当接していて、これらの弁要素
間に調和運動を弾性的に伝達する。
【0015】スリーブ36内には、好ましくは球形のボ
ール弁要素46と常時当接関係をなして長手方向に直線
移動できるように、ピストン52も配置されている。ピ
ストン52の左側(図1〜図6で見たとき)にはピスト
ンチャンバ36bがある。同様に、中央ボア14の反対
側の端部には第2ピストン54が配置されている。該第
2ピストン54からは一体成形された長手方向突出ロッ
ド56が延びており、該ロッド56は球形ボール弁要素
50と常時当接関係をなしている。一体ロッド56を備
えたピストン54は、好ましくは、長手方向に移動でき
るようにピストンスリーブ58内に配置されており、該
スリーブ58内には1対のピストンチャンバ58a、5
8bが形成されている。
【0016】図1〜図6に示された本発明の実施形態で
は、慣用的な単一のパイロットオペレータ60が制御弁
装置10と相互連結されており、該パイロットオペレー
タ60は第1パイロットポート61(パイロット供給
源)を有している。該第1パイロットポート61は、弁
本体12を通る通路64を介して2次ボア20(該ボア
は中空フローチューブ22の外側にあって、該チューブ
からシール隔絶されている)と流体連通している。2次
ボア20は、弁本体12を通る通路67を介して、ピス
トンチャンバ58aと流体連通している。この流体連通
は常に存在するので、外部空気圧作動流体源が「オン」
である限り、ピストン58の右側すなわち外側のチャン
バ58aの部分は常に加圧された状態にある。パイロッ
トオペレータ60の第2パイロットポート63(パイロ
ット排出口)は、弁本体12を通る通路65(概略的に
示す)およびスリーブ36の通路66を介してチャンバ
36a(弁排出口)と流体連通している。ピストンチャ
ンバ36bは、弁本体12を通る通路68を介して中空
フローチューブ22の隔絶された内部と流体連通してい
る。隔絶されたフローチューブ22の内部は、弁本体1
2を通る通路69(概略的に示す)およびピストンスリ
ーブ58を通る通路70を介して、ピストンチャンバ5
8bと流体連通している。第3パイロットポート62は
内部パイロット制御ポートであり、該ポートは、後述の
ように(当業者に良く知られた慣用的な態様で)、パイ
ロット60の作動中にパイロットポート61または63
のいずれかと選択的に連結され、空気圧制御弁装置10
の付勢を行なうことができる。パイロットポート62
は、通路72(概略的に示す)およびスリーブ36を通
る通路73を介してピストンチャンバ36bと流体連通
している。パイロットオペレータ60は、電気的に、手
動操作により、または他の任意の既知の慣用的手段によ
り付勢することができる。
【0017】図1〜図6に示す連続作動を参照して、空
気圧流体制御弁装置10の作動を以下に説明する。図1
において、外部空気圧流体源が「オン」にされると、加
圧された空気圧作動流体が、入口ポート24を通って、
両スリーブ36、42により形成された入口チャンバ3
8a内に搬送され、更に、通路71を通って、シールさ
れたフローチューブ22の外部の2次ボア20内に搬送
される。加圧された作動入口流体はまた、チャンバ38
aから、作動流体負荷ポート28を通って作動シリンダ
34の一方の側に流入し、これにより、作動ピストン3
5がシリンダ34の反対側に押圧される。パイロットオ
ペレータ60は電気的に除勢されておりかつパイロット
出力ポート62はゼロ圧力にあるので、弁は図1に示さ
れた状態にある。加圧された空気圧作動流体は、2次ボ
ア20の長さに沿って流れ、更に右側(図1で見て)端
キャップ18の通路67を通ってチャンバ58a内に流
入して、ピストン54およびそのロッド56に押圧力を
作用する。これにより、球形ボール弁要素50、48、
46には、これらのスプリングコネクタ49、47およ
びピストン52と一緒に、左向きの力が伝達される。図
1に示す状態では、チャンバ36aは排出ポート30に
開通しておりかつパイロットポート62は内部パイロッ
ト排出ポート63に連結されているので、ピストン52
の左側(図1で見て)のチャンバ36b内には加圧され
た空気圧流体は全く存在しないことに留意されたい。
【0018】図2には、当業者に良く知られた態様でパ
イロットオペレータ60を付勢して、パイロットポート
61とパイロットポート62とを連結させ、弁機構が右
方移動の開始時にある状態の空気圧制御弁装置10が示
されている。これにより、フローチューブ22を包囲す
る2次ボア20の部分からの加圧された空気圧流体が、
通路64を通って流れ得るようになる。この圧力流体
は、次に、パイロットポート61内に流入し、パイロッ
トポート62から流出して通路72を通り、スリーブ3
6の通路73を介してチャンバ36a内に流入する。チ
ャンバ36b内のこの加圧された空気圧作動流体は、ピ
ストン52に右向き(図2で見て)の押圧力を作用す
る。このような加圧された空気圧流体は、チャンバ36
bから通路68を通って、フローチューブ22のシール
隔絶された内部に流入する。フローチューブ22の隔絶
された内部からの加圧された空気圧流体は、弁本体12
の概略的に示す通路69を通りかつスリーブ58の通路
70を通ってチャンバ58bに連通し、該チャンバ58
b内で、ピストン54の環状領域およびロッド56に右
向き(図2で見て)の押圧力を作用する。
【0019】ピストン54を右方(図2で見て)に押圧
する加圧されたパイロット流体は、ピストン54の反対
側に作用するチャンバ58a内の空気圧流体の左向きの
力を大幅に低減させる。かくして、ピストン54からの
大幅に低減された左向きの力は、ピストン52が、弁要
素46、48をそれぞれの弁座37、41に向けて右方
に押圧することを可能にし、かつ弁要素50が右方に移
動して負荷ポート28を排出ポート32に開通させるこ
とを可能にする。図2に示すように、球形ボール弁要素
46が右方に移動し始めかつスプリングコネクタ47が
圧縮されていて、このため、球形ボール弁要素48が右
方に押圧されてその弁座から離れ始めている。しかしな
がら、スプリングコネクタ47の弾性圧縮可能性によ
り、球形ボール弁要素46は、球形ボール弁要素48が
移動し始める前に或る程度移動できることに留意された
い。
【0020】図3では、図2に示した弁要素の上記右方
への移動が、球形ボール弁要素46がスリーブ36の弁
座37上に完全に座合するまで進行しており、かつこれ
までに圧縮されたコイルスプリング47の「瞬発(snap
-reaction)」伸長により、球形ボール弁要素48が、ス
リーブ42の弁座41上にシール態様で座合し、従って
スプリングコネクタ49を圧縮する位置まで右方に移動
している。この場合にも、球形ボール弁要素48は、弁
要素50が移動し始めるよりかなり前に移動することを
留意されたい。
【0021】図4では、ピストン54の環状領域(ロッ
ド56を包囲する領域)に作用する上記右向きの力と組
み合わされる、以前に圧縮されたスプリングコネクタ4
9の「瞬発」力が、球形ボール弁要素50を非常に迅速
に押圧して、弁要素50を、排出チャンバ42a内のそ
の弁座43から完全に引き離している。同様に、ロッド
56およびピストン54も、非常に迅速にこれらの右方
への完全移動限度まで押圧された状態にある。この状態
では、負荷ポート26は、流体入口24と完全な自由流
体連通状態にありかつその対応する排出ポート30との
連通が阻止されている。同様に、負荷ポート28は、流
体入口ポート24との流体連通は阻止されているが、そ
の排出ポート32とは完全な自由流体連通状態にある。
この組み合わせは、図4に示すように、シリンダ34の
右側部分の排出および左側部分の加圧をもたらし、これ
により駆動ピストン35を右方に押圧する。
【0022】図5では、オペレータによりパイロットが
その除勢状態に戻されていて、パイロットポート61と
62との連通が再び阻止され、従ってパイロットポート
62が再びパイロット排出ポート63と連通している状
態にある。これにより、チャンバ36bが減圧され、か
つピストン52に右方に作用しかつロッド56を包囲す
るピストン54の環状部分にも作用する圧力が低減され
る。入口ポート24を通る加圧された空気圧作動流体の
供給が「オン」であるときには、いつでも、ピストン5
4に対し左方に作用するチャンバ58a内の圧力が存在
するため、ピストン54が左方に移動し始めている。こ
れにより、球形ボール弁要素50が左方に押圧されかつ
スプリングコネクタ49が圧縮され、最終的には、左向
きの力が、弁要素48、スプリングコネクタ47、弁要
素46およびピストン52に伝達される。
【0023】図5に示すこの左方への移動は連続し、図
6に示すように、球形ボール弁要素50を弁座43上に
完全に座合させ、かつ球形ボール弁要素48、46が図
1に示すこれらの元の座合位置に戻されるまで、これら
のボール弁要素48、46を移動させる。図1に関連し
て前述したように、加圧された空気圧作動流体は、負荷
ポート26から、チャンバ36aおよび排出ポート30
を通って再び排出され、加圧された作動流体は、入口ポ
ート24から、負荷ポート28を通って作動シリンダ3
4内に流入して、駆動ピストン35を図面で見て左方に
押圧する。
【0024】図1〜図6に関連して連続的に上述したよ
うに、弾性変形可能なスプリングコネクタ47、49の
「瞬発」力は非常に迅速に生じ、球形ボール弁要素4
6、48、50も、これらの反対側移動端部のそれぞれ
の位置に、非常に迅速にすなわち「瞬時に」移動する。
また、図1〜図6に示した連続作動を比較することによ
り理解されようが、このような組み込まれた弾性体によ
り、各ボール弁要素は(左方または右方に)かなり移動
して、その隣接するスプリングコネクタを、次に隣接す
るボール弁要素が調和反作用(coordinated reaction)
により移動し始める前に、圧縮する。かくして、空気圧
作動流体が、入口ポート24から負荷ポート26および
その排出ポート30の両者(または同様に、負荷ポート
28およびその排出ポート32の両者)に連通されるま
での時間の長さは、実質的に最短時間に短縮される。弁
機構が直接入口−出口流を可能にする時間のこの短縮
は、交差(クロスオーバ)損失を低下させることができ
る。
【0025】好ましい球形ボール弁要素46、48、5
0は、ステンレス鋼、または高ジュロメータ硬度のゴ
ム、エラストマまたはプラスチックのような、硬くて適
度の耐久性をもつ材料で作られる。しかしながら、球形
ボール弁要素に与える過度の摩耗、かじりまたは他のこ
のような損傷を防止または少なくとも実質的に最小にす
る(従って、不適正座合による漏洩を防止する)ため、
コイルスプリングコネクタ47、49の両端部にほぼ球
形の弧状凹部を形成するのが有効であることが判明して
いる。このような成形作業は図7および図8に示すよう
にして行なわれる。すなわち、例えばコイルスプリング
コネクタ47の一端を、球形ボール弁要素46、48、
50の半径を補完する適当な半径をもつボールグライン
ダ80により研摩する。この研摩作業(研摩作業の最初
の状態が図7に、完了した状態が図8に示されている)
は、コイルスプリング47の端部に上記補完的な球形弧
状凹部を形成するだけでなく、スプリングコイルの端湾
曲部の自由終端部(例えば、図7および図8に参照番号
47aで示す部分)が、これに当接する球形弁要素に擦
りむきまたはえぐれ等の損傷を与える虞のあるコイルス
プリングの急変尖端部を形成する傾向を低減させる。
【0026】図1〜図6に示すコイルスプリング形コネ
クタ47、49は、本発明の原理を遂行する上で非常に
好ましいけれども、当業者ならば、本発明に従って構成
される制御弁に他の弾性変形可能コネクタを使用できる
ことは容易に理解されよう。図9には、このような別の
コネクタ構造の一例が示されており、この例では、弾性
コネクタ147、149が中空管状体からなり、該管状
体は、空気圧流体が通り得るようにするための、壁を半
径方向に貫通する複数の開口を有している。このような
管状弾性コネクタは、コネクタの合成弾性係数が、制御
弁の作動に包含される力の所与の大きさに適合する限
り、高ジュロメータ硬度を有するゴム、適当なエラスト
マまたはプラスチック、または他の天然または合成の弾
性変形可能な弾性材料で構成できる。
【0027】図10〜図13は、4方弁、または2パイ
ロットオペレータの「オン/オフ」状態に基づいて並列
に作用する二重3方制御弁として機能する二重パイロッ
ト形空気圧制御弁装置210に適用される本発明のもう
1つの実施形態を示す。図10〜図13に示す例示の制
御弁装置の多くの構成部品は、図1〜図6に示した制御
弁装置10の或る対応構成部品または要素と同じまたは
少なくとも機能的に同等である。従って、図10〜図1
3におけるこのような対応部品または要素は、図1〜図
6の対応部品または要素の参照番号に200を加えた2
00番台の参照番号で示されている。また、図10〜図
13に示す別の弁装置210は、図1〜図6のように垂
直平面で切断したのではなく、水平平面で切断したもの
であることに留意されたい。
【0028】図10〜図13(これらの図面では、パイ
ロットオペレータ260a、260bが単に概略的形態
で示されている)では、制御弁装置210は、本体21
2と、単一の主ボアすなわち中央ボア214(該ボア内
には多数の段がある)と、両端部の端キャップ216、
218とを有している。図1〜図6の制御弁装置10の
ように、制御弁装置210は、入口ポート224(図1
0、図12および図13には示されていない)と、1対
の作動流体負荷ポート226、228と、1対の対応す
るそれぞれの排出ポート230、232とを有し、これ
らの入口ポート、負荷ポートおよび排出ポートは、弁本
体212の底を通って、垂直かつ下方(図10〜図13
で見て)に延びている。以下の説明から容易に理解され
ようが、制御弁装置210は広範囲の制御装置に使用で
き、これらの用途として、単一のシリンダ/ピストン駆
動装置を付勢する制御装置、または単一の一体型弁装置
から2つ以上のシリンダ/ピストン駆動装置をも付勢す
る制御装置がある。
【0029】制御弁装置210はまた、弁本体212内
に2次ボアおよび中空フローチューブが全く設けられて
いない点でも、(図1〜図6の)制御弁装置とは異なっ
ている。また、おそらく最も顕著な相違点であろうが、
制御弁装置10の中央チャンバ38aの球形弁要素48
は、中央チャンバ238a内に配置されたほぼ半球形の
2つの弁要素すなわち半部要素248a、248bから
なる分割球形弁要素により置換されている。半球形弁要
素248a、248bのそれぞれの平坦面部には、中央
スプリングコネクタ255を受け入れるための凹状開口
245a、245bを形成するのが好ましい。中央スプ
リングコネクタ255は、両半球形弁要素248a、2
48bを互いに離れる方向に弾性的に押圧(例えば、図
11参照)すると同時に、両半球形弁要素248a、2
48bが、図10に示すように相互当接関係をなして一
緒に移動するか、図11に示すように互いに離れた関係
をなして別々に移動させることを可能にする。
【0030】図10に示すように、パイロットオペレー
タ260aが付勢状態すなわち「オン」状態にありかつ
パイロットオペレータ260bが除勢状態すなわち「オ
フ」状態にあるとき、入口ポート224(図10、図1
2および図13には示されていない)からの空気圧作動
流体は、(図1〜図6の制御弁装置10に関連して上述
したのと同じ態様で)チャンバ238aおよび弁本体2
12の通路を通ってチャンバ258a内に流入し、ピス
トン254を左方(図10で見て)に押圧する作用をす
る。同時に、図10ではパイロットオペレータ260b
が除勢された状態にあるので、右方に作用する反対方向
の加圧された空気圧作動流体がピストン252に作用す
ることはない。かくして、弁要素246、248a、2
48b、250およびスプリングコネクタ247、25
5、249は全てが左方に押圧され、加圧された空気圧
作動流体が、入口ポート224から、負荷ポート228
を通って、空気圧作動形装置(図示せず)に流れ得るよ
うにする。負荷ポート228は、図10に示す状態にお
いては、その関連対応排出ポート232との流体連通が
阻止される。しかしながら、これに対し、負荷ポート2
26はその関連対応排出ポート230と自由流体連通し
た状態にあるが、入口ポート224との連通からは阻止
されている。パイロットオペレータ260aが付勢され
かつパイロットオペレータ260bが除勢されている、
この図示の状態では、空気圧制御弁装置210は4方制
御弁として機能する。
【0031】図11では、パイロットオペレータ260
a、260bの両者が除勢状態すなわち「オフ」状態に
あり、従って、負荷ポート228、226と、これらの
それぞれの対応排出ポート232、230との流体連通
が可能である。ピストン252、254の外側に作用す
る、加圧された対向空気圧作動流体は存在しないので、
中央の押圧スプリングコネクタ255の力によって両半
球形弁要素248a、248bが押し開かれ、これによ
り、入口ポート224からいずれかの負荷ポート226
または228への流れが阻止される。両パイロットオペ
レータが除勢状態すなわち「オフ」状態にあるこの状態
では、弁装置210は、並列二重3方弁として機能す
る。
【0032】同様に、両パイロットオペレータ260
a、260bが付勢状態すなわち「オン」状態にある図
12に示すように、両ピストン252、254は、弁本
体212の中心に向かって内方に押圧され、中央スプリ
ングコネクタ255の外方に押圧するばね力に打ち勝
つ。これにより、球形弁要素248a、248bを再び
互いに当接係合させ、加圧された空気圧作動流体が、入
口ポート224から両作動流体負荷ポート226、22
8を通って1つ以上の空気圧シリンダまたは他の流体作
動形装置に流れ得るようにする。両パイロットオペレー
タ260a、260bが付勢されているこの状態では、
制御弁装置210はまた、並列二重3方弁として作動す
る。
【0033】最後に、図13に示すように、パイロット
オペレータ260aは除勢状態すなわち「オフ」にあ
り、一方パイロットオペレータ260bは付勢状態すな
わち「オン」状態にあり、従って、弁要素およびスプリ
ングコネクタは、図11に示した状態とは反対側の位置
に押圧されている。制御弁装置210が4方弁として機
能するこの状態では、加圧された空気圧作動流体は、入
口ポート224から負荷ポート226を通って、1つ以
上の空気圧流体作動形装置に流れることができる。
【0034】図10〜図13に示した種々の作動状態を
比較することにより当業者には容易に理解されようが、
広範囲の用途に制御弁装置210を使用することができ
る。このような用途として、2つ以上の作動装置の並列
作動、2つ以上の作動装置の別々の独立作動、または簡
単なプシュ・プル作動よりも広範囲の作動条件が要求さ
れる単一の作動装置のより特殊かつ正確な制御がある。
【0035】また、本発明の原理は、図1〜図13に例
示の目的で、2つの負荷ポートおよび2つの対応排出ポ
ートを備えた弁構造について説明したが、本発明の原理
は、単一の入口ポート、単一の負荷ポートおよび対応す
る単一の排出ポートのみを備えている制御弁構造にも等
しく適用されることに留意すべきである。このような用
途の一例として、シリンダ内部に加圧流体が導入された
場合にのみ、戻しスプリングによりその戻り位置に弾性
的に押圧されかつ戻しスプリングの押圧力に抗して強制
移動されるピストンを備えたシリンダ/ピストン作動装
置の簡単作動を可能にする例がある。このような弾性戻
しスプリングは、このような加圧された空気圧作動流体
がシリンダの内部から排出されると、ピストンをシリン
ダ内の元の位置に戻すべく機能する。
【0036】しかしながら、図1〜図13に示す全ての
用途において、弾性スプリングコネクタは、隣接弁要素
のうちの一方の要素の迅速な「瞬発」移動を引き起こす
前に、他方の隣接弁要素をかなりの大きさで移動できる
ようにする。
【0037】以上の記載は、本発明の実施形態を例示の
目的でのみ開示しかつ説明したものである。当業者なら
ば、上記記載、添付図面および特許請求の範囲の記載か
ら、特許請求の範囲に記載された本発明の精神および範
囲から逸脱することなく、種々の変更および修正をなし
得ることは容易に理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による5ポート/4方・空気圧流体制御
弁装置の縦断面図(明瞭化のため、或る流路は概略的に
示されている)であり、入口からの空気圧作動流体が、
1つの作動流体負荷出口と連通し、かつ他の作動流体負
荷出口およびその関連排出ポートと連通している他の作
動流体負荷出口との流体連通が阻止されている状態にあ
る弁装置を示すものである。
【図2】図1と同様な縦断面図であるが、作動流体入口
と、対をなす作動流体負荷出口のうちの他方の作動流体
負荷出口との流体連通が開始される初期遷移移動状態に
ある空気圧流体制御弁装置の可動弁機構を示すものであ
る。
【図3】図2と同様な縦断面図であるが、作動流体入口
と、他方の作動流体負荷出口との完全流体連通を与え、
かつ作動流体入口と最初に述べた作動流体負荷出口との
流体連通を阻止し、かつ最初に述べた負荷出口を開いて
排出を開始させるべく更に移動された可動弁機構を示す
ものである。
【図4】図3と同様な縦断面図であるが、最初に述べた
作動流体負荷出口と、その関連排出ポートとの完全流体
連通を更に行なうべく、可動弁機構の移動が完了した状
態を示すものである。
【図5】図4と同様な縦断面図であるが、可動弁機構
が、図1に示した状態へのその逆戻り移動を開始した、
可動弁機構の移動サイクルの第2半部(すなわち戻り部
分)の開始を示すものである。
【図6】図5と同様な縦断面図であるが、可動弁機構が
図1に示した状態に戻るべく更に移動しているところを
示すものである。
【図7】所望の球形弧状凹部に研摩すべき一端を備えた
好ましい弾性コイルスプリングコネクタを示す拡大詳細
図である。
【図8】図7と同様な拡大詳細図であるが、弾性コイル
スプリングコネクタの端部の研摩状態を示すものであ
る。
【図9】それぞれの隣接可動弁要素の間に当接して配置
される弾性変形可能コネクタの他の実施形態を示すもの
である。
【図10】本発明の制御弁装置の他の実施形態であっ
て、二重パイロットオペレータのうちの一方のパイロッ
トオペレータが「パイロット・オフ」状態にありかつ他
方のパイロットオペレータが「パイロット・オン」状態
にあって、弁装置が4方作動モードになっている状態を
示すものである。
【図11】図10と同様な図面であるが、両パイロット
オペレータが「パイロット・オフ」状態にあり、従って
排出モードにある両弁部分と並列な二重3方弁として機
能している弁装置を示すものである。
【図12】図10および図11と同様な図面であるが、
両パイロットオペレータが「パイロット・オン」状態に
あり、従って「除圧(pressure-out)」モードにある両
弁部分と並列な二重3方弁としても機能している制御弁
装置を示すものである。
【図13】図10〜図12と同様な図面であるが、両パ
イロットオペレータが図10の状態とは逆の状態にあ
り、従って再び4方弁として作動している制御弁装置を
示すものである。
【符号の説明】
10 5ポート/4方・流体制御弁装置 20 2次ボア 22 中空フローチューブ 24 作動流体入口ポート 26、28 作動流体負荷ポート 34 空気圧作動シリンダ 46、48、50 球形ボール 47、49 スプリングコネクタ 52、54 ピストン 60 パイロットオペレータ

Claims (50)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弁本体部分と、加圧された空気圧作動流
    体源に連結可能な、前記弁本体部分に設けられた作動流
    体入口と、弁本体部分に設けられた少なくとも1つの作
    動流体負荷出口と、弁本体部分に設けられた少なくとも
    1つの作動流体排出ポートと、可動弁機構とを有する空
    気圧流体制御弁装置であって、負荷出口と、作動流体入
    口または作動流体排出ポートのいずれかとを選択的に連
    通させるべく、空気圧制御流体圧力を前記可動弁機構に
    選択的に加えるためのパイロットオペレータに連結可能
    な空気圧流体制御弁装置において、前記可動弁機構は弁
    本体部分内の第1チャンバ内に移動可能に配置された第
    1可動弁要素を有し、前記第1チャンバは作動流体負荷
    出口と連通しており、前記可動弁機構は弁本体部分内の
    第2チャンバ内に移動可能に配置された第2可動弁要素
    を有し、前記第2チャンバは第1チャンバ、作動流体入
    口および作動流体負荷出口と連通しており、前記可動弁
    機構は更に、第1可動弁要素と第2可動弁要素との間に
    調和運動をコネクタの変形により伝達するための、第1
    可動弁要素と第2可動弁要素との間でこれらに常時当接
    するように配置された変形可能コネクタを有し、該変形
    可能コネクタは、第1可動弁要素および第2可動弁要素
    のうちの一方の可動弁要素に前記調和運動を伝達する前
    に、他方の可動弁要素の移動に応答して変形することを
    特徴とする空気圧流体制御弁装置。
  2. 【請求項2】 前記第1チャンバ内には第1チャンバ弁
    座が設けられ、該第1チャンバ弁座は第1可動弁要素と
    シール係合して、第1チャンバと第2チャンバとの間の
    連通および第1チャンバと作動流体負荷出口との間の連
    通を選択的に阻止し、第2チャンバは第2チャンバ弁座
    を有し、該第2チャンバ弁座は第2可動弁要素とシール
    係合して、第1チャンバと第2チャンバとの間の連通お
    よび第2チャンバと作動流体負荷出口との間の連通を選
    択的に阻止することを特徴とする請求項1に記載の空気
    圧流体制御弁装置。
  3. 【請求項3】 前記可動弁要素の移動を選択的に制御す
    べく作動するパイロット装置を更に有することを特徴と
    する請求項1に記載の空気圧流体制御弁装置。
  4. 【請求項4】 前記可動弁機構は、第1可動弁要素と常
    時当接関係をなして第1チャンバに隣接して移動可能に
    配置されかつ第1可動弁要素に運動を選択的に伝達する
    ピストンを更に有することを特徴とする請求項2に記載
    の空気圧流体制御弁装置。
  5. 【請求項5】 前記ピストンの移動を選択的に制御すべ
    く作動するパイロット装置を更に有することを特徴とす
    る請求項4に記載の空気圧流体制御弁装置。
  6. 【請求項6】 前記可動弁要素および変形可能コネクタ
    は、可動弁要素の移動経路に沿って、実質的に直線状の
    リニア・インライン配向をなして配置されていることを
    特徴とする請求項1に記載の空気圧流体制御弁装置。
  7. 【請求項7】 前記各可動弁要素は、そのそれぞれの弁
    座に少なくとも隣接するほぼ球形の弧状形状を有するこ
    とを特徴とする請求項2に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  8. 【請求項8】 前記各可動弁要素はほぼ球形であること
    を特徴とする請求項1に記載の空気圧流体制御弁装置。
  9. 【請求項9】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能で
    あることを特徴とする請求項1に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  10. 【請求項10】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであることを特徴とする請求項1に
    記載の空気圧流体制御弁装置。
  11. 【請求項11】 前記各可動弁要素はほぼ球形であり、
    変形可能コネクタは、前記ほぼ球形の可動弁要素の1つ
    に隣接して常時当接関係をなす、少なくとも1つの凹状
    でほぼ球形の弧状端部を有することを特徴とする請求項
    1に記載の空気圧流体制御弁装置。
  12. 【請求項12】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであり、凹状でほぼ球形の弧状端部
    はコイルスプリングのそれぞれの端湾曲部に形成されて
    いることを特徴とする請求項11に記載の空気圧流体制
    御弁装置。
  13. 【請求項13】 前記可動弁要素は金属材料からなるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  14. 【請求項14】 前記可動弁要素はエラストマ材料から
    なることを特徴とする請求項1に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  15. 【請求項15】 弁本体部分と、加圧された空気圧作動
    流体源に連結可能な、前記弁本体部分に設けられた作動
    流体入口と、弁本体部分に設けられた1対の作動流体負
    荷出口と、可動弁機構とを有する空気圧流体制御弁装置
    であって、選択された1つの負荷出口を作動流体入口に
    連通させるべく、空気圧制御流体圧力を前記可動弁機構
    に選択的に加えるためのパイロットオペレータに連結可
    能な空気圧流体制御弁装置において、前記可動弁機構は
    弁本体部分内の第1チャンバ内に移動可能に配置された
    第1可動弁要素を有し、前記第1チャンバは第1作動流
    体負荷出口と連通しており、前記可動弁機構は弁本体部
    分内の第2チャンバ内に移動可能に配置された第2可動
    弁要素を有し、前記第2チャンバは第1チャンバ、作動
    流体入口および第1作動流体負荷出口と連通しており、
    前記可動弁機構は弁本体部分内の第3チャンバ内に移動
    可能に配置された第3可動弁要素を有し、前記第3チャ
    ンバは第2チャンバおよび第2作動流体負荷出口と連通
    しており、前記可動弁機構は更に、第1可動弁要素と第
    2可動弁要素との間に調和運動をコネクタの変形により
    伝達するための、第1可動弁要素と第2可動弁要素との
    間でこれらに常時当接するように配置された第1変形可
    能コネクタと、第2可動弁要素と第3可動弁要素との間
    に調和運動をコネクタの変形により伝達するための、第
    2可動弁要素と第3可動弁要素との間でこれらに常時当
    接するように配置された第2変形可能コネクタとを有
    し、各変形可能コネクタは、前記可動弁要素のうちの一
    方の可動弁要素にそれぞれの調和運動を伝達する前に、
    他方の可動弁要素の移動に応答して変形することを特徴
    とする空気圧流体制御弁装置。
  16. 【請求項16】 前記第1チャンバ内には第1チャンバ
    弁座が設けられ、該第1チャンバ弁座は第1可動弁要素
    とシール係合して、第1チャンバと第2チャンバとの間
    の連通および第1チャンバと第1作動流体負荷出口との
    間の連通を選択的に阻止し、第2チャンバは1対の第2
    チャンバ弁座を有し、該第2チャンバ弁座は第2チャン
    バの両端部に配置され、一方の第2チャンバ弁座は第2
    可動弁要素とシール係合して、第1チャンバと第2チャ
    ンバとの間の連通および第2チャンバと第1作動流体負
    荷出口との間の連通を選択的に阻止し、他方の第2チャ
    ンバ弁座は第2可動弁要素とシール係合して、第2チャ
    ンバと第3チャンバとの間の連通および第2チャンバと
    第2作動流体負荷出口との間の連通を選択的に阻止し、
    第3チャンバ内には第3チャンバ弁座が設けられ、該第
    3チャンバ弁座は第3可動弁要素とシール係合して、第
    2チャンバと第3チャンバとの間の連通および第3チャ
    ンバと第2作動流体負荷出口との間の連通を選択的に阻
    止することを特徴とする請求項15に記載の空気圧流体
    制御弁装置。
  17. 【請求項17】 前記流体制御弁装置は、大気と連通す
    る、弁本体部分に設けられた第1および第2作動流体排
    出ポートを有し、第1作動流体排出ポートは第1チャン
    バと連通しており、第2作動流体排出ポートは第3チャ
    ンバと連通しており、第1チャンバ弁座と第1可動弁要
    素とのシール係合はまた、第1作動流体入口と第1作動
    流体排出ポートとの連通を選択的に阻止し、第3チャン
    バ弁座と第3可動弁要素とのシール係合はまた、第2作
    動流体出口と第2作動流体排出ポートとの連通を選択的
    に阻止することを特徴とする請求項16に記載の空気圧
    流体制御弁装置。
  18. 【請求項18】 前記可動弁要素の移動を選択的に制御
    すべく作動するパイロット装置を更に有することを特徴
    とする請求項15に記載の空気圧流体制御弁装置。
  19. 【請求項19】 前記可動弁機構は、第1可動弁要素に
    運動を選択的に伝達すべく第1可動弁要素と常時当接関
    係をなして第1チャンバに隣接して移動可能に配置され
    た第1ピストンと、第3可動弁要素に運動を選択的に伝
    達すべく第3可動弁要素と常時当接関係をなして第3チ
    ャンバに隣接して移動可能に配置された第2ピストンと
    を更に有することを特徴とする請求項16に記載の空気
    圧流体制御弁装置。
  20. 【請求項20】 前記第1および第2ピストンの移動を
    選択的に制御すべく作動するパイロット装置を更に有す
    ることを特徴とする請求項19に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  21. 【請求項21】 前記可動弁要素の移動を選択的に制御
    すべく作動するパイロット装置を更に有することを特徴
    とする請求項17に記載の空気圧流体制御弁装置。
  22. 【請求項22】 前記可動弁機構は、第1可動弁要素に
    運動を選択的に伝達すべく第1可動弁要素と常時当接関
    係をなして第1チャンバに隣接して移動可能に配置され
    た第1ピストンと、第3可動弁要素に運動を選択的に伝
    達すべく第3可動弁要素と常時当接関係をなして第3チ
    ャンバに隣接して移動可能に配置された第2ピストンと
    を更に有することを特徴とする請求項17に記載の空気
    圧流体制御弁装置。
  23. 【請求項23】 前記第1および第2ピストンの移動を
    選択的に制御すべく作動するパイロット装置を更に有す
    ることを特徴とする請求項22に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  24. 【請求項24】 前記可動弁要素および変形可能コネク
    タは、可動弁要素の移動経路に沿って、実質的に直線状
    のリニア・インライン配向をなして配置されていること
    を特徴とする請求項15に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  25. 【請求項25】 前記各可動弁要素は、そのそれぞれの
    弁座に少なくとも隣接するほぼ球形の弧状形状を有する
    ことを特徴とする請求項16に記載の空気圧流体制御弁
    装置。
  26. 【請求項26】 前記各可動弁要素はほぼ球形であるこ
    とを特徴とする請求項15に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  27. 【請求項27】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    であることを特徴とする請求項15に記載の空気圧流体
    制御弁装置。
  28. 【請求項28】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであることを特徴とする請求項15
    に記載の空気圧流体制御弁装置。
  29. 【請求項29】 前記各可動弁要素はほぼ球形であり、
    各変形可能コネクタは、前記ほぼ球形の可動弁要素の1
    つに隣接して常時当接関係をなす、少なくとも1つの凹
    状でほぼ球形の弧状端部を有することを特徴とする請求
    項15に記載の空気圧流体制御弁装置。
  30. 【請求項30】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであり、凹状でほぼ球形の弧状端部
    はコイルスプリングのそれぞれの端湾曲部に形成されて
    いることを特徴とする請求項29に記載の空気圧流体制
    御弁装置。
  31. 【請求項31】 前記可動弁要素は金属材料からなるこ
    とを特徴とする請求項15に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  32. 【請求項32】 前記可動弁要素はエラストマ材料から
    なることを特徴とする請求項15に記載の空気圧流体制
    御弁装置。
  33. 【請求項33】 弁本体部分と、加圧された空気圧作動
    流体源に連結可能な、前記弁本体部分に設けられた作動
    流体入口と、弁本体部分に設けられた1対の作動流体負
    荷出口と、可動弁機構とを有する空気圧流体制御弁装置
    であって、選択された1つの負荷出口を作動流体入口に
    連通させるべく、空気圧制御流体圧力を前記可動弁機構
    に選択的に加えるためのパイロットオペレータに連結可
    能な空気圧流体制御弁装置において、前記可動弁機構は
    弁本体部分内の第1チャンバ内に移動可能に配置された
    第1可動弁要素を有し、前記第1チャンバは第1作動流
    体負荷出口と連通しており、前記可動弁機構は弁本体部
    分内の第2チャンバ内に移動可能に配置された第2可動
    弁要素を有し、前記第2チャンバは第1チャンバ、作動
    流体入口および第1作動流体負荷出口と連通しており、
    前記可動弁機構は弁本体部分内の第3チャンバ内に移動
    可能に配置された第3可動弁要素を有し、前記第3チャ
    ンバは第2チャンバおよび第2作動流体負荷出口と連通
    しており、前記可動弁機構は更に、第1可動弁要素と第
    2可動弁要素との間に調和運動をコネクタの変形により
    伝達するための、第1可動弁要素と第2可動弁要素との
    間でこれらに常時当接するように配置された第1変形可
    能コネクタと、第2可動弁要素と第3可動弁要素との間
    に調和運動をコネクタの変形により伝達するための、第
    2可動弁要素と第3可動弁要素との間でこれらに常時当
    接するように配置された第2変形可能コネクタとを有
    し、各変形可能コネクタは、前記可動弁要素のうちの一
    方の可動弁要素にそれぞれの調和運動を伝達する前に、
    他方の可動弁要素の移動に応答して変形し、可動弁要素
    は、第2チャンバ内で互いに係合して相互に当接する関
    係をなすことができる2つの第2可動弁半部要素からな
    り、該半部要素は第2チャンバ内で互いに離脱して間隔
    を隔てた関係をなすこともでき、前記可動弁機構は、両
    半部要素間に配置されかつ該半部要素を押圧して互いに
    間隔を隔てた関係にする第3変形可能コネクタを更に有
    することを特徴とする空気圧流体制御弁装置。
  34. 【請求項34】 前記第1チャンバ内には第1チャンバ
    弁座が設けられ、該第1チャンバ弁座は第1可動弁要素
    とシール係合して、第1チャンバと第2チャンバとの間
    の連通および第1チャンバと第1作動流体負荷出口との
    間の連通を選択的に阻止し、第2チャンバは1対の第2
    チャンバ弁座を有し、該第2チャンバ弁座は第2チャン
    バの両端部に配置され、一方の第2チャンバ弁座は一方
    の第2可動弁半部要素とシール係合して、第1チャンバ
    と第2チャンバとの間の連通および第2チャンバと第1
    作動流体負荷出口との間の連通を選択的に阻止し、他方
    の第2チャンバ弁座は他方の第2可動弁半部要素とシー
    ル係合して、第2チャンバと第3チャンバとの間の連通
    および第2チャンバと第2作動流体負荷出口との間の連
    通を選択的に阻止し、第3チャンバ内には第3チャンバ
    弁座が設けられ、該第3チャンバ弁座は第3可動弁要素
    とシール係合して、第2チャンバと第3チャンバとの間
    の連通および第3チャンバと第2作動流体負荷出口との
    間の連通を選択的に阻止することを特徴とする請求項3
    3に記載の空気圧流体制御弁装置。
  35. 【請求項35】 前記流体制御弁装置は、大気と連通す
    る、弁本体部分に設けられた第1および第2作動流体排
    出ポートを有し、第1作動流体排出ポートは第1チャン
    バと連通しており、第2作動流体排出ポートは第3チャ
    ンバと連通しており、第1チャンバ弁座と第1可動弁要
    素とのシール係合はまた、第1作動流体入口と第1作動
    流体排出ポートとの連通を選択的に阻止し、第3チャン
    バ弁座と第3可動弁要素とのシール係合はまた、第2作
    動流体出口と第2作動流体排出ポートとの連通を選択的
    に阻止することを特徴とする請求項34に記載の空気圧
    流体制御弁装置。
  36. 【請求項36】 前記可動弁要素の移動を選択的に制御
    すべく作動するパイロット装置を更に有することを特徴
    とする請求項33に記載の空気圧流体制御弁装置。
  37. 【請求項37】 前記可動弁機構は、第1可動弁要素に
    運動を選択的に伝達すべく第1可動弁要素と常時当接関
    係をなして第1チャンバに隣接して移動可能に配置され
    た第1ピストンと、第3可動弁要素に運動を選択的に伝
    達すべく第3可動弁要素と常時当接関係をなして第3チ
    ャンバに隣接して移動可能に配置された第2ピストンと
    を更に有することを特徴とする請求項34に記載の空気
    圧流体制御弁装置。
  38. 【請求項38】 前記第1および第2ピストンの移動を
    選択的に制御すべく作動するパイロット装置を更に有す
    ることを特徴とする請求項37に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  39. 【請求項39】 前記可動弁要素の移動を選択的に制御
    すべく作動するパイロット装置を更に有することを特徴
    とする請求項35に記載の空気圧流体制御弁装置。
  40. 【請求項40】 前記可動弁機構は、第1可動弁要素に
    運動を選択的に伝達すべく第1可動弁要素と常時当接関
    係をなして第1チャンバに隣接して移動可能に配置され
    た第1ピストンと、第3可動弁要素に運動を選択的に伝
    達すべく第3可動弁要素と常時当接関係をなして第3チ
    ャンバ内に移動可能に配置された第2ピストンとを更に
    有することを特徴とする請求項35に記載の空気圧流体
    制御弁装置。
  41. 【請求項41】 前記第1および第2ピストンの移動を
    選択的に制御すべく作動するパイロット装置を更に有す
    ることを特徴とする請求項40に記載の空気圧流体制御
    弁装置。
  42. 【請求項42】 前記可動弁要素および変形可能コネク
    タは、可動弁要素の移動経路に沿って、実質的に直線状
    のリニア・インライン配向をなして配置されていること
    を特徴とする請求項33に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  43. 【請求項43】 前記各可動弁要素は、そのそれぞれの
    弁座に少なくとも隣接するほぼ球形の弧状形状を有する
    ことを特徴とする請求項34に記載の空気圧流体制御弁
    装置。
  44. 【請求項44】 前記第1および第3可動弁要素の各々
    がほぼ球形であり、第2可動弁半部要素の各々がほぼ半
    球形でありかつ両半部要素が相互当接関係をなしている
    ときにはほぼ球形を形成することを特徴とする請求項3
    3に記載の空気圧流体制御弁装置。
  45. 【請求項45】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    であることを特徴とする請求項33に記載の空気圧流体
    制御弁装置。
  46. 【請求項46】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであることを特徴とする請求項33
    に記載の空気圧流体制御弁装置。
  47. 【請求項47】 前記第1および第3可動弁要素の各々
    がほぼ球形であり、第2可動弁半部要素の各々がほぼ半
    球形でありかつ両半部要素が相互当接関係をなしている
    ときにはほぼ球形を形成し、第1および第2変形可能コ
    ネクタの各々が、前記ほぼ球形の可動弁要素の1つに隣
    接して常時当接関係をなす、少なくとも1つの凹状でほ
    ぼ球形の弧状端部を有することを特徴とする請求項33
    に記載の空気圧流体制御弁装置。
  48. 【請求項48】 前記変形可能コネクタは弾性変形可能
    なコイルスプリングであり、凹状でほぼ球形の弧状端部
    はコイルスプリングのそれぞれの端湾曲部に形成されて
    いることを特徴とする請求項47に記載の空気圧流体制
    御弁装置。
  49. 【請求項49】 前記可動弁要素は金属材料からなるこ
    とを特徴とする請求項33に記載の空気圧流体制御弁装
    置。
  50. 【請求項50】 前記可動弁要素はエラストマ材料から
    なることを特徴とする請求項33に記載の空気圧流体制
    御弁装置。
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