JPH11356029A - 電磁アクチュエ―タ - Google Patents

電磁アクチュエ―タ

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JPH11356029A
JPH11356029A JP11043229A JP4322999A JPH11356029A JP H11356029 A JPH11356029 A JP H11356029A JP 11043229 A JP11043229 A JP 11043229A JP 4322999 A JP4322999 A JP 4322999A JP H11356029 A JPH11356029 A JP H11356029A
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magnetic
magnetic flux
flux density
current
electromagnetic actuator
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JP11043229A
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Tetsuro Muraji
哲朗 連
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Mikuni Corp
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02PCONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P6/00Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
    • H02P6/14Electronic commutators
    • H02P6/16Circuit arrangements for detecting position
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    • H02K11/21Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
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    • H02K11/215Magnetic effect devices, e.g. Hall-effect or magneto-resistive elements
    • HELECTRICITY
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁束密度の大きい部分で磁束密度を検出する
ことにより、的確に可動部材の位置を検出することがで
きる電磁アクチュエータを提供する。 【解決手段】 電磁コイルが巻装されて磁束を生成する
磁束生成部に形成された間隔に設けられて、間隔内の磁
束密度を検出する磁束密度検出手段と、電磁コイルに流
れる電流の大きさを検出する電流検出手段と、磁束密度
検出手段によって検出された磁束密度と電流検出手段に
よって検出された電流の大きさとから可動部材の位置を
演算する演算手段と、からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁アクチュエー
タに関し、特に被駆動部材の位置を検出しながら駆動す
ることができる電磁アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、被駆動部材を駆動する電磁アクチ
ュエータは、電磁アクチュエータとは、別体に被駆動部
材の位置を検出する為の位置センサを必要としていた。
本出願人は、この問題を解決し、更に低コスト化及び省
スペース化をも図るべく、被駆動部材としての可動部材
の実際の位置を検出できる電磁アクチュエータとして、
特開平8−275460公報に開示されている如き装置
を提案した。図1にこの装置の概要を示す。ヨーク5に
は、電磁コイル3が巻装され、ヨーク5の磁極101及
び102はエアギャップを介して対向し磁束を分布せし
めて磁場を形成するように設けられている。この磁極1
01及び102の間の磁場には、磁性部材103に磁石
10及び11が設けられたロータ6が配置されている。
また、磁極101及び102の間の近接領域内には、磁
束密度を検出するホールセンサ8が設けられている。こ
の装置は、電磁コイル3に電源電流を供給することによ
り、ヨーク5の内部に磁束を生成させて、この磁束の分
布した磁場の強さの変化によって所望角度位置にまでロ
ータ6を回動させる電磁アクチュエータである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら、この電磁
アクチュエータは、ロータ6の回動角度を検出するホー
ルセンサ8が、電磁コイル3によって生成される磁束の
分布した磁場に設けられているが故、ホールセンサを通
過する磁束の密度が低く、ホールセンサ8で検出できる
検出感度が低くなるという不都合が生じた。また、電磁
アクチュエータの実用的な形状においてホールセンサを
取り付ける際には、ホールセンサを取り付け得る空間を
確保すべく駆動機構の設計変更をせざるを得ないという
不都合が生じた。更に、駆動機構の構造によっては、ホ
ールセンサを取り付けることができないという不都合も
生じた。
【0004】また、ホールセンサから出力される電圧信
号をサンプリング回路によりサンプリングしてサンプル
値を得てから処理をするような構成とした場合、例えば
アナログディジタル変換回路により電圧信号を取り込
み、得られたサンプル値に基づいて演算処理をするよう
な場合においては、ホールセンサからの電圧信号をサン
プリング回路に入力せしめるべくサンプリング回路の入
力レンジに応じた好ましい電圧値を有する電圧信号に変
換する電圧変換回路を必要とする。このような構成とし
た場合には、ホールセンサの感度や回路部品の抵抗値の
ばらつきに応じて電圧変換回路の増幅率を調整する工程
を必要とするが故、コストを上げざるを得ないという不
都合や、調整の精度を向上せしめる必要が生じた。
【0005】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、磁束密度の大きい部
分で磁束密度を検出することにより、的確に被駆動部材
の現在位置を検出することができ、駆動機構の設計変更
を不要とし異なる構造の駆動機構に対しても使用できる
位置センサを有し、かつ、容易な調整でホールセンサか
ら発せられる電圧信号の電圧値を適切な分解能で得るこ
とができ的確に被駆動部材の現在位置を検出することが
できる電磁アクチュエータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による電磁アクチ
ュエータは、電磁コイルが巻装されて磁束を生成する磁
束生成部と前記磁束を分布させて磁場を形成する磁場形
成部とからなる磁路部材と、前記磁場内に配置されかつ
異なる磁極に着磁された着磁面を有して、前記磁場の変
化に応じて移動し得る可動部材と、からなり、前記磁場
形成部は前記可動部材の着磁面に対向する複数の磁極片
を有し、前記可動部材を駆動する電磁アクチュエータで
あって、前記磁路部材は、前記磁束生成部と前記磁極片
とを連結する磁路又は前記磁束生成部において磁気ギャ
ップを有し、前記磁気ギャップに設けられて前記磁気ギ
ャップ内の磁束密度を検出する磁束密度検出手段と、前
記電磁コイルに流れる電流の大きさを検出する電流検出
手段と、前記磁束密度検出手段によって検出された磁束
密度と前記電流検出手段によって検出された電流の大き
さとから前記可動部材の位置を演算する演算手段と、を
有することを特徴としている。
【0007】すなわち、本発明の特徴によれば、磁束生
成部に設けられた磁気ギャップにおいて磁束密度を検出
しているので、検出する磁束密度を高く的確に被駆動部
材の位置を検出することができ、また、磁束密度検出手
段を磁気ギャップに設けているので、駆動機構の設計変
更を不要とすることができ、異なる構造を有する駆動機
構に対してもこの磁束密度検出手段を使用することがで
きる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例について
図面に基づいて説明する。図2は、本発明の第1の実施
例である電磁アクチュエータを示す。電磁アクチュエー
タ1の磁束生成部であるコア部2は、電磁コイル3が巻
装されている。電磁コイル3は、電源(図示せず)が接
続されており、電源から電磁コイル3に電源電流が供給
される。コア部2の一端においては、磁路部材であるヨ
ーク5が連結され、コア部2の他端においては、磁気ギ
ャップ7を有してヨーク5が設けられている。ヨーク5
には開口9が設けられており、開口9の内部には、開口
内壁と非接触状態にして開口9に挿通されている可動部
材であるロータ6が磁極片18−1及び18−2と対向
するように設けられている。ロータ6は磁性部材からな
り、ロータ6の表面には、異なる磁極に着磁された着磁
面、例えば永久磁石10及び11が設けられている。永
久磁石10と11は互いに反対方向に着磁されており、
例えば永久磁石10はS極に、永久磁石11はN極に着
磁されている。開口9の両側には、ヨーク5の幅を狭め
た領域12及び13が設けられており、この領域12及
び13は、この領域を通過する磁束の磁気エネルギーを
蓄える磁気抵抗としてなすのである。以下においては、
この領域12及び13を磁気抵抗部と称する。また、磁
気ギャップ7近傍のヨーク5においては、例えば図3に
示す如くホールセンサ挿入溝14が設けられており、こ
のホールセンサ挿入溝14にホールセンサ8が配置さ
れ、ホールセンサ8は磁気ギャップ7を通過する磁束密
度を検出するのである。このホールセンサ8は、検出し
た磁束密度に応じた電圧信号を出力するようになされて
いる。上述した如き構成とすることにより、電磁コイル
3に電源電流が供給されると、コア部2の内部に磁束が
生成され、生成された磁束は、ヨーク5の開口9の空間
にも磁場を生ぜしめるのである。
【0009】磁気ギャップ7は、永久磁石10及び11
の磁力に対して磁気抵抗が大きい故に、電磁コイル3に
電流が供給されていない場合においては、永久磁石10
及び11により形成される磁束は磁気抵抗の小さい磁極
片18−1及び18−2の近傍でのみループを形成する
ことができ、安定した状態となる。従って、電磁コイル
3に電流が供給されていない場合においては、ロータ6
は、このような磁束のループを形成すべく所定の基準位
置に常に復帰するのである。一方、電磁コイル3に電流
が供給されている場合においては、電磁コイル3により
形成される磁束は、磁気ギャップ7を通過し、ヨーク5
を経るループを形成する。しかし乍ら、磁気抵抗部12
及び13においては、磁気抵抗部12及び13の断面積
は小さいが故に、磁気抵抗部12及び13にわずかな磁
束が形成されただけで磁気飽和が生じ、電磁コイル3に
供給する電流を増大せしめても磁気抵抗部12及び13
には所定の磁束以上の磁束を形成することができないの
である。従って、電磁コイル3に電流が供給された場合
においては、電磁コイル3により形成される磁束の大部
分は、磁気抵抗の小さい開口9を通過するようにループ
を形成することとなり、このような磁束のループを形成
すべくロータ6は所定の回動位置にまで回動するのであ
る。電磁アクチュエータ1は、上述した如きロータ6の
回動動作により、ロータ6に連結されている被駆動部
材、例えば内燃エンジンの吸気系に設けられている絞り
弁(図示せず)を駆動するのである。
【0010】図4は、電磁アクチュエータ及びロータの
回動角度を検出する回路を示す。尚、図2に示した構成
要素と対応する構成要素には同一の符号を付した。ホー
ルセンサ8の出力線の一端は、差動増幅器20の抵抗2
1を介して演算増幅器25の負極端子に接続され、ホー
ルセンサ8の出力線の他端は、抵抗23及び24を介し
て演算増幅器25の正極端子に接続されている。演算増
幅器25の出力端子は、抵抗22を介して演算増幅器2
5の負極端子に接続されるとともに、抵抗32を介して
加算増幅器30の演算増幅器34の負極端子にも接続さ
れている。
【0011】一方、電磁コイル3の一端は、電源(図示
せず)と接続されており、他端は、抵抗40と接続され
ており、電磁コイル3と抵抗40との接続点は抵抗31
を介して、演算増幅器34の負極端子に接続されてい
る。また、演算増幅器34の正極端子は、抵抗33を介
して接地されている。演算増幅器34の出力信号は、出
力端子50から出力される。
【0012】図5は、本発明の第1の実施例である電磁
アクチュエータのロータの開度とホールセンサの出力電
圧の関係を示す。図5に示す如く、ロータの開度θとホ
ールセンサの出力電圧Vとの関係は、例えば1次関数で
近似することができる。また、電磁コイルに供給される
電流Iが変化した場合には、傾きが同じであり切片の値
が異なる1次関数として表すことができる。これらの関
係は、実機試験等の予備実験により得られたものであ
り、例えば、θ=AV+BI+Cの如き関係式で表すこ
とができる。ここで、A,B及びCは定数であり、例え
ばA=2.98、B=−0.59、C=4.93の如き
値である。
【0013】上述した図4に示した差動増幅器20及び
加算増幅器30は、上述した如き関係式を演算し、ロー
タ6の開度θに応じた電圧値を出力するのである。従っ
て、差動増幅器20における抵抗21〜24、加算増幅
器30における抵抗31〜33及び抵抗40の抵抗値
は、上述した定数A,B及びCの値を実現すべく定めら
れているのである。
【0014】図6は、本発明の第2の実施例である電磁
アクチュエータを示す断面図である。尚、図2に示した
構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付した。
ヨーク5−1の両端においては、磁気ギャップ7−1及
び7−2を有してヨーク5−2が設けられている。ま
た、ヨーク5−1の両端の一部には、ホールセンサ8−
1及び8−2が設けられており、ホールセンサ8−1及
び8−2は、磁気ギャップ7−1及び7−2を通過する
磁束密度を検出する。2つのホールセンサを8−1及び
8−2に設けたことにより、どちらか一方のセンサが故
障した場合においても、磁束密度を的確に検出すること
ができるのである。ヨーク5には開口9が設けられてお
り、開口9の内部には、開口内壁と非接触状態にして開
口9に挿通されている可動部材であるロータ6が、磁極
片18−1、18−2及び18−3と対向するように設
けられており、ロータ6は磁性部材からなり、ロータ6
の表面には、異なる磁極に着磁された着磁面、例えば永
久磁石10及び11が設けられている。この電磁アクチ
ュエータ16においても、上述した電磁アクチュエータ
1と同様に、電磁コイル3に電源電流を供給していない
ときには、ロータ6の位置は、常に基準位置まで復帰
し、電磁コイル3に電源電流を供給することにより、ロ
ータ6を所定の角度まで回動することができるのであ
る。また、ロータ6の回動角度は、図4に示した如き回
路で演算することができるのである。
【0015】また、上述の図2に示した電磁アクチュエ
ータ1においても、電磁コイル3の両端の各々にホール
センサを設けることにより、どちらか一方のホールセン
サが故障した場合でも、磁束密度を的確に検出すること
ができ、ロータ6の回動角度を演算することができるの
である。図7は、本発明の第3の実施例である電磁アク
チュエータを示す断面図である。尚、図2に示した構成
要素と対応する構成要素には同一の符号を付した。
【0016】コア部2とヨーク5との間に磁気ギャップ
7が設けられており、この磁気ギャップ7にホールセン
サ8が設けられており、ホールセンサ8は、ギャップ7
を通過する磁束密度を検出するのである。また、磁性材
料からなる図示しない支持部材に対して摺動可能なスラ
イダ15が、磁極片18−1、18−2及び18−3と
対向するようにヨーク5と非接触に設けられており、ス
ライダ15には、永久磁石10及び11が設けられてい
る。
【0017】電磁コイル3に電源電流が供給されていな
い場合においては、永久磁石10及び11により形成さ
れる磁束が図7の紙面上において左右対称に分布するよ
うにスライダ15の位置は、位置づけられ、スライダ1
5は、常にこの基準位置に復帰する。また、電磁コイル
3に電源電流が供給されている場合においては、スライ
ダ15を所定の位置まで移動することができるのであ
る。このスライダ15の位置は、図4に示した如き回路
で演算することができるのである。
【0018】図8は、本発明の第4の実施例であるロー
タの回動角度を検出する回路を示す。尚、図4に示した
構成要素と対応する構成要素には同一の符号を付した。
駆動回路100から出力される駆動電流Iは、電磁アク
チュエータ1のコイル3に供給され、演算回路60の抵
抗61により電圧信号(以下、駆動電流電圧信号と称す
る。)に変換される。駆動電流電圧信号は、抵抗62及
び63を介して、演算増幅器65の正極端子と負極端子
とに供給される。更に、演算増幅器65の正極端子は、
抵抗64を介して、所定の基準電位、例えば2.5
(V)の電圧を供給する電源67と接続されている。ま
た、演算増幅器65の負極端子は、抵抗66を介して演
算増幅器65の出力端子に接続されている。演算増幅器
65の出力端子は、アナログディジタル変換器80の1
つのポートAD1に接続されている。演算回路60は、
コイル3に供給された駆動電流Iを抵抗61により駆動
電流電圧信号に変換した後、抵抗62、63、64及び
66により定まる増幅率に応じて駆動電流電圧信号を増
幅せしめて、アナログディジタル変換器80に供給する
のである。
【0019】また、電磁アクチュエータ1に設けられて
いるホールセンサ8からは、コイル3により生成される
磁束の磁束密度に応じた電圧値を有する電圧信号(以
下、磁束密度電圧信号と称する。)が発せられ、この磁
束密度電圧信号は、減算回路70の抵抗71と72とを
介して、演算増幅器73の正極端子と負極端子とに供給
される。演算増幅器73の正極端子は、抵抗74を介し
て演算増幅器65の出力端子に接続されている。また、
演算増幅器73の負極端子は、抵抗75を介して演算増
幅器73の出力端子に接続されている。演算増幅器73
の出力端子は、アナログディジタル変換器80のポート
AD2に接続されている。演算回路70は、ホールセン
サ8で検出した磁束密度電圧信号と演算増幅器65から
出力される駆動電流電圧信号との差の電圧信号を抵抗7
1、72、74及び75により定まる増幅率に応じて増
幅せしめて、アナログディジタル変換器80に供給す
る。
【0020】アナログディジタル変換器80は、中央処
理ユニット(以下、CPUと称する)90に接続されて
おり、CPU90から発せられる命令に応じて駆動電流
電圧信号の電圧値Viのサンプル値と、磁束密度電圧信
号の電圧値Vと駆動電流電圧信号の電圧値Viとの差の
電圧値V−Viのサンプル値とをCPU90に供給す
る。CPU90は、これらのサンプル値を加算処理する
ことにより磁束密度電圧信号の電圧値Vを算出し、ま
た、駆動電流に応じた電圧Viから駆動電流Iを算出
し、上述した如き関係式θ=AV+BI+Cに基づいて
算出した電圧値Vと駆動電流Iとからロータ6の開度θ
を算出するのである。
【0021】上述した如く、駆動電流電圧信号と、磁束
密度電圧信号の電圧値Vと駆動電流電圧信号の電圧値V
iとの差の電圧値V−Viを有する減算電圧信号と、をア
ナログディジタル変換器80へ供給するという構成とし
たことにより、駆動電流電圧信号の電圧値Viが大きく
変化した場合においても、減算電圧信号の電圧値は駆動
電流電圧信号の電圧値Viの変化を減算しているが故
に、減算電圧信号の電圧値の変化を小さくすることがで
き、アナログディジタル変換器80の分解能を有効活用
すべく減算電圧信号の増幅率を高めた場合にはアナログ
ディジタル変換器80の入力レンジ、例えば0〜5
(V)の範囲内に応じた好ましい減算電圧信号を供給す
ることができ、磁束密度電圧信号をアナログディジタル
変換器80に直接供給する構成とした場合に比し、磁束
密度電圧信号の電圧値を適切な分解能で得ることが可能
となり、的確に被駆動部材であるロータ6の現在位置を
検出することができるのである。
【0022】また、電磁アクチュエータの調整時におい
ては、被駆動部材であるロータ6の所定の位置、例えば
ロータ6に連結されている内燃エンジンの絞り弁の全開
位置と全閉位置とに対応する所定の駆動電流Iを供給
し、この各々の位置における駆動電流Iと、駆動電流電
圧信号の電圧値Viと、磁束密度電圧信号の電圧値Vと
駆動電流電圧信号の電圧値Viとの差の電圧値V−V
iと、の各々を検出し、これらの電流値及び電圧値を初
期値(以下、I0、V0及びVi0と称する)として記憶装
置、例えばROM(図示せず)に記憶させるという調整
処理を予め行っておく。そして、電磁アクチュエータを
駆動させる際においては、駆動時に検出した電流値I及
び電圧値VとViとを上述した初期値I0、V0及びVi0
で較正することにより、ホールセンサの感度や回路部品
の抵抗のばらつきの影響を除去することができ、的確に
被駆動部材の現在位置を検出することができるととも
に、電磁アクチュエータの調整を容易にすることができ
るのである。
【0023】尚、上述した第4の実施例においては、電
磁アクチュエータとして第1の実施例の電磁アクチュエ
ータ1を使用した場合を示したが、第2の実施例の電磁
アクチュエータ16及び第3の実施例の電磁アクチュエ
ータ17を使用することとしても良い。
【0024】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明による電磁ア
クチュエータによれば、磁束生成部に設けられた磁気ギ
ャップにおいて磁束密度を検出しているので、検出する
磁束密度を高く的確に被駆動部材の位置を検出すること
ができ、また、磁束密度検出手段を磁気ギャップに設け
ているので、駆動機構の設計変更を不要とすることがで
き、異なる構造を有する駆動機構に対してもこの磁束密
度検出手段を使用することができ、更に、容易な調整に
より、磁束密度検出手段から発せられる電圧信号の電圧
値を適切な分解能で得ることができ的確に被駆動部材の
現在位置を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の電磁アクチュエータを示す正面図で
ある。
【図2】本発明の第1の実施例である電磁アクチュエー
タを示す断面図である。
【図3】図2に示した電磁アクチュエータの拡大した電
磁ギャップ部を示す拡大斜視図である。
【図4】電磁アクチュエータ及びロータの回動角度を検
出する検出回路を含む回路を示す回路図である。
【図5】図2に示した電磁アクチュエータのロータの開
度とホールセンサの出力電圧の関係を示すグラフであ
る。
【図6】本発明の第2の実施例である電磁アクチュエー
タを示す断面図である。
【図7】本発明の第3の実施例である電磁アクチュエー
タを示す断面図である。
【図8】本発明の第4の実施例である電磁アクチュエー
タの駆動電流電圧信号の電圧値と、磁束密度電圧信号の
電圧値と駆動電流電圧信号の電圧値との差の電圧値と、
をサンプリングして取り込む回路図である。
【符号の説明】
1、16、17 電磁アクチュエータ 2 コア部(磁束生成部) 3 電磁コイル 5 ヨーク(磁場形成部) 6 ロータ(可動部材) 7、7−1、7−2 電磁ギャップ 8、8−1、8−2 ホールセンサ(磁束密度検出手
段) 15 スライダ(可動部材) 18−1、18−2、18−3、18−4 磁極片 20 差動増幅器(演算手段) 30 加算回路(演算手段) 60 演算回路(電流電圧変換手段) 70 減算回路(減算手段) 80 アナログディジタル変換器(サンプリング手段) 90 CPU(加算手段)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電磁コイルが巻装されて磁束を生成する
    磁束生成部と前記磁束を分布させて磁場を形成する磁場
    形成部とからなる磁路部材と、前記磁場内に配置されか
    つ異なる磁極に着磁された着磁面を有して、前記磁場の
    変化に応じて移動し得る可動部材と、からなり、前記磁
    場形成部は前記可動部材の着磁面に対向する複数の磁極
    片を有し、前記可動部材を駆動する電磁アクチュエータ
    であって、 前記磁路部材は、前記磁束生成部と前記磁極片とを連結
    する磁路又は前記磁束生成部において磁気ギャップを有
    し、 前記磁気ギャップに設けられて前記磁気ギャップ内の磁
    束密度を検出する磁束密度検出手段と、 前記電磁コイルに流れる電流の大きさを検出する電流検
    出手段と、 前記磁束密度検出手段によって検出された磁束密度と前
    記電流検出手段によって検出された電流の大きさとから
    前記可動部材の位置を演算する演算手段と、を有するこ
    とを特徴とする電磁アクチュエータ。
  2. 【請求項2】 前記磁路部材の磁場形成部は、前記磁路
    部材に設けられて周囲が閉じた開口を有し、前記可動部
    材が前記開口内に前記開口内壁に非接触状態にして挿通
    されていることを特徴とする請求項1記載の電磁アクチ
    ュエータ。
  3. 【請求項3】 前記演算手段は、前記電流の大きさに応
    じた電圧値を有する電流電圧信号を発する電流電圧変換
    手段と、 前記磁束密度検出手段から発せられ前記磁束密度に応じ
    た電圧値を有する磁束密度電圧信号の電圧値と、前記電
    流電圧信号の電圧値と、の差に応じた電圧値を有する減
    算信号を発する減算手段と、を含むことを特徴とする請
    求項1記載の電磁アクチュエータ。
  4. 【請求項4】 前記演算手段は、前記電流電圧信号と前
    記減算信号との各々をサンプリングするサンプリング手
    段と、 前記サンプリング手段により得られた前記電流電圧信号
    のサンプル値と前記減算信号のサンプル値とを加算する
    加算手段と、を更に含むことを特徴とする請求項1記載
    の電磁アクチュエータ。
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