JPH1137734A - プラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置 - Google Patents
プラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置Info
- Publication number
- JPH1137734A JPH1137734A JP9196602A JP19660297A JPH1137734A JP H1137734 A JPH1137734 A JP H1137734A JP 9196602 A JP9196602 A JP 9196602A JP 19660297 A JP19660297 A JP 19660297A JP H1137734 A JPH1137734 A JP H1137734A
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- JP
- Japan
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- light
- plasma display
- display substrate
- view
- cylindrical lens
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 必要な測定分解能を維持したままコンパクト
な装置とする。 【解決手段】 レーザスリット光２２の散乱光２３を隔
壁４に直角な水平方向に圧縮すると共にCCD カメラ１３
による高さ方向の分解能を維持して水平方向の視野を拡
大するシリンドリカルレンズ２４を設け、４個のCCD カ
メラ１３を隔壁４に直角な水平方向にシフトして取付
け、シリンドリカルレンズ２４で視野が拡大された走査
光の散乱像を４個のCCD カメラ１３で視野分担させるハ
ーフミラー２５を設け、コンパクトな光学ヘッドにより
一つのレーザスリット光２２の走査光によって４つの撮
像を得て、必要な測定分解能を維持したままコンパクト
な装置とする。
な装置とする。 【解決手段】 レーザスリット光２２の散乱光２３を隔
壁４に直角な水平方向に圧縮すると共にCCD カメラ１３
による高さ方向の分解能を維持して水平方向の視野を拡
大するシリンドリカルレンズ２４を設け、４個のCCD カ
メラ１３を隔壁４に直角な水平方向にシフトして取付
け、シリンドリカルレンズ２４で視野が拡大された走査
光の散乱像を４個のCCD カメラ１３で視野分担させるハ
ーフミラー２５を設け、コンパクトな光学ヘッドにより
一つのレーザスリット光２２の走査光によって４つの撮
像を得て、必要な測定分解能を維持したままコンパクト
な装置とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ基板の隔壁の高さ、幅、ピッチ、真直度及びアドレ
ス電極の形状、ピッチ及び蛍光体の膜厚分布等の形状精
度を測定する形状精度検査装置に関する。
レイ基板の隔壁の高さ、幅、ピッチ、真直度及びアドレ
ス電極の形状、ピッチ及び蛍光体の膜厚分布等の形状精
度を測定する形状精度検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に基づいてプラズマディスプレイ基
板の構成と従来の形状精度検査装置の概略を説明する。
図３にはプラズマディスプレイ基板の形状精度検査状況
を表す斜視状態を示してある。
板の構成と従来の形状精度検査装置の概略を説明する。
図３にはプラズマディスプレイ基板の形状精度検査状況
を表す斜視状態を示してある。
【０００３】図に示すように、プラズマディスプレイ基
板１はガラス板２に長尺状のアドレス電極３が設けら
れ、アドレス電極３の長手方向に延びる隔壁４によって
アドレス電極３の間が仕切られている。隔壁４に仕切ら
れたアドレス電極３には蛍光体５が塗布されている。蛍
光体５が塗布される前のアドレス電極３と隔壁４のピッ
チ精度、真直度、高さ、幅等の形状精度を測定するた
め、光切断法と称される形状精度検査装置が用いられて
いる。また、形状精度検査装置は、蛍光体５の塗布後の
膜厚分布の均一性を評価するためにも用いられている。
板１はガラス板２に長尺状のアドレス電極３が設けら
れ、アドレス電極３の長手方向に延びる隔壁４によって
アドレス電極３の間が仕切られている。隔壁４に仕切ら
れたアドレス電極３には蛍光体５が塗布されている。蛍
光体５が塗布される前のアドレス電極３と隔壁４のピッ
チ精度、真直度、高さ、幅等の形状精度を測定するた
め、光切断法と称される形状精度検査装置が用いられて
いる。また、形状精度検査装置は、蛍光体５の塗布後の
膜厚分布の均一性を評価するためにも用いられている。
【０００４】形状精度検査装置は、スリット光１１を上
方から投光し、プラズマディスプレイ基板１の表面の散
乱光１２を角度θの方向からCCD カメラ１３で撮像す
る。散乱光１２をCCD カメラ１３で撮像することによ
り、プラズマディスプレイ基板１の表面の形状を３次元
的にとらえ、プラズマディスプレイ基板１の隔壁４の高
さ、幅、ピッチ、真直度及びアドレス電極３の形状、ピ
ッチ及び蛍光体５の膜厚分布等の形状精度を測定する。
方から投光し、プラズマディスプレイ基板１の表面の散
乱光１２を角度θの方向からCCD カメラ１３で撮像す
る。散乱光１２をCCD カメラ１３で撮像することによ
り、プラズマディスプレイ基板１の表面の形状を３次元
的にとらえ、プラズマディスプレイ基板１の隔壁４の高
さ、幅、ピッチ、真直度及びアドレス電極３の形状、ピ
ッチ及び蛍光体５の膜厚分布等の形状精度を測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の形状精度検査装
置では、大面積のプラズマディスプレイ基板１をインラ
イン検査として測定分解能を維持したままで高速検査し
ようとする場合、CCD カメラ１３の必要台数が異常に多
くなってしまう。このため、装置が大型化し経済的な形
状精度検査装置を提供することが困難となっていた。
置では、大面積のプラズマディスプレイ基板１をインラ
イン検査として測定分解能を維持したままで高速検査し
ようとする場合、CCD カメラ１３の必要台数が異常に多
くなってしまう。このため、装置が大型化し経済的な形
状精度検査装置を提供することが困難となっていた。
【０００６】本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、必要な測定分解能を維持したままコンパクトな装置
とすることができるプラズマディスプレイ基板の形状精
度検査装置を提供することを目的とする。
で、必要な測定分解能を維持したままコンパクトな装置
とすることができるプラズマディスプレイ基板の形状精
度検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の構成はスリット光またはスポット光を走査して
スリット光またはスポット光をプラズマディスプレイ基
板に垂直に投光し、該投光によって生じる散乱光を受光
するCCD カメラを設け、該CCD カメラの撮像を光切断法
による処理を行うことにより隔壁とアドレス電極と蛍光
体の状況を測定評価するプラズマディスプレイ基板の形
状精度検査装置であって、一つのスリット光またはスポ
ット光の走査光の散乱光を隔壁に直角な水平方向に圧縮
すると共にCCD カメラによる高さ方向の分解能を維持し
て水平方向の視野を拡大するシリンドリカルレンズを設
け、偶数個のCCD カメラを隔壁に直角な水平方向にシフ
トして取付け、シリンドリカルレンズで視野が拡大され
た走査光の散乱像を偶数個のCCD カメラで視野分担させ
るハーフミラーを設けたことを特徴とする。
本発明の構成はスリット光またはスポット光を走査して
スリット光またはスポット光をプラズマディスプレイ基
板に垂直に投光し、該投光によって生じる散乱光を受光
するCCD カメラを設け、該CCD カメラの撮像を光切断法
による処理を行うことにより隔壁とアドレス電極と蛍光
体の状況を測定評価するプラズマディスプレイ基板の形
状精度検査装置であって、一つのスリット光またはスポ
ット光の走査光の散乱光を隔壁に直角な水平方向に圧縮
すると共にCCD カメラによる高さ方向の分解能を維持し
て水平方向の視野を拡大するシリンドリカルレンズを設
け、偶数個のCCD カメラを隔壁に直角な水平方向にシフ
トして取付け、シリンドリカルレンズで視野が拡大され
た走査光の散乱像を偶数個のCCD カメラで視野分担させ
るハーフミラーを設けたことを特徴とする。
【０００８】そして、シリンドリカルレンズ、ハーフミ
ラー及び偶数個のCCD カメラを一つのスリット光または
スポット光を挟んで対称に設けたことを特徴とする。
ラー及び偶数個のCCD カメラを一つのスリット光または
スポット光を挟んで対称に設けたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１には本発明の一実施形態例に
係るプラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置の光
学ヘッドの概略構成、図２にはCCD カメラの視野分担を
説明するための図１中のII-II 線矢視を示してある。
尚、プラズマディスプレイ基板の構成は図３に示したも
のと同一であるので、同一符号を付して重複する説明は
省略してある。
係るプラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置の光
学ヘッドの概略構成、図２にはCCD カメラの視野分担を
説明するための図１中のII-II 線矢視を示してある。
尚、プラズマディスプレイ基板の構成は図３に示したも
のと同一であるので、同一符号を付して重複する説明は
省略してある。
【００１０】図１に示すように、レーザ光源２１からス
リット光としてのスリットレーザ光２２がプラズマディ
スプレイ基板１の上面に垂直に投光される。スリットレ
ーザ光２２は図１中紙面に垂直な方向を長手方向とした
極細スリット状の光束となっている。
リット光としてのスリットレーザ光２２がプラズマディ
スプレイ基板１の上面に垂直に投光される。スリットレ
ーザ光２２は図１中紙面に垂直な方向を長手方向とした
極細スリット状の光束となっている。
【００１１】一つのスリットレーザ光２２の走査光の散
乱光２３を隔壁４に直角な水平方向に圧縮すると共にCC
D カメラ１３による高さ方向の分解能を維持して水平方
向の視野を拡大するシリンドリカルレンズ２４が設けら
れている。CCD カメラ１３は４個設けられ、４個のCCD
カメラ１３は隔壁４に直角な水平方向にシフトして取付
けられ、シリンドリカルレンズ２４で視野が拡大された
走査光の散乱像はハーフミラー２５によって４個のCCD
カメラ１３で視野分担される。そして、シリンドリカル
レンズ２４、ハーフミラー２５及び２個のCCD カメラ１
３は、一つのスリットレーザ光２２を挟んで対称に設け
られている。
乱光２３を隔壁４に直角な水平方向に圧縮すると共にCC
D カメラ１３による高さ方向の分解能を維持して水平方
向の視野を拡大するシリンドリカルレンズ２４が設けら
れている。CCD カメラ１３は４個設けられ、４個のCCD
カメラ１３は隔壁４に直角な水平方向にシフトして取付
けられ、シリンドリカルレンズ２４で視野が拡大された
走査光の散乱像はハーフミラー２５によって４個のCCD
カメラ１３で視野分担される。そして、シリンドリカル
レンズ２４、ハーフミラー２５及び２個のCCD カメラ１
３は、一つのスリットレーザ光２２を挟んで対称に設け
られている。
【００１２】プラズマディスプレイ基板１の表面で散乱
したスリットレーザ光２２の一部は散乱光23a,23b とな
ってそれぞれミラー26a,26b で反射してシリンドリカル
レンズ24a,24b を通過し、ハーフミラー25a,25b に至
る。プラズマディスプレイ基板１には図１中左右方向に
延びる隔壁４が形成されている。
したスリットレーザ光２２の一部は散乱光23a,23b とな
ってそれぞれミラー26a,26b で反射してシリンドリカル
レンズ24a,24b を通過し、ハーフミラー25a,25b に至
る。プラズマディスプレイ基板１には図１中左右方向に
延びる隔壁４が形成されている。
【００１３】図２に示すように、プラズマディスプレイ
基板１は、ガラス板２の上にアドレス電極３、隔壁４及
び蛍光体５が図中紙面に垂直な方向に直線的に形成さ
れ、スリットレーザ光２２は図中紙面に垂直な方向に１
０μｍ〜２０μｍの幅を有している。そして、スリット
レーザ光２２はプラズマディスプレイ基板１の上面に対
して垂直に投光されている。図２中、は、４個
のCCD カメラ１３による視野分担の範囲を示してある。
基板１は、ガラス板２の上にアドレス電極３、隔壁４及
び蛍光体５が図中紙面に垂直な方向に直線的に形成さ
れ、スリットレーザ光２２は図中紙面に垂直な方向に１
０μｍ〜２０μｍの幅を有している。そして、スリット
レーザ光２２はプラズマディスプレイ基板１の上面に対
して垂直に投光されている。図２中、は、４個
のCCD カメラ１３による視野分担の範囲を示してある。
【００１４】図１に基づいて視野分担の範囲について説
明する。散乱光23a は、ミラー26aを介してシリンドリ
カルレンズ24a に到達し、シリンドリカルレンズ24a に
よって圧縮された後にハーフミラー25a によって２分割
される。２分割された散乱光23a は圧縮散乱光23a ，
23a としてそれぞれ撮像レンズ31,31 を介してCC
D カメラ１３, １３に到達する。同様に、散乱光23
b は、ミラー26b を介してシリンドリカルレンズ24b に
到達し、シリンドリカルレンズ24b によって圧縮された
後にハーフミラー25b によって２分割される。２分割さ
れた散乱光23bは圧縮散乱光23b ，23b としてそれ
ぞれ撮像レンズ31,31 を介してCCDカメラ１３,
１３に到達する。
明する。散乱光23a は、ミラー26aを介してシリンドリ
カルレンズ24a に到達し、シリンドリカルレンズ24a に
よって圧縮された後にハーフミラー25a によって２分割
される。２分割された散乱光23a は圧縮散乱光23a ，
23a としてそれぞれ撮像レンズ31,31 を介してCC
D カメラ１３, １３に到達する。同様に、散乱光23
b は、ミラー26b を介してシリンドリカルレンズ24b に
到達し、シリンドリカルレンズ24b によって圧縮された
後にハーフミラー25b によって２分割される。２分割さ
れた散乱光23bは圧縮散乱光23b ，23b としてそれ
ぞれ撮像レンズ31,31 を介してCCDカメラ１３,
１３に到達する。
【００１５】撮像レンズ31乃至及びCCD カメラ１３
乃至は、図１中紙面に垂直な方向（図２中左右方
向）に少しずつ位置をずらして配置され、図２で示した
撮像エリア乃至をそれぞれCCD カメラ１３乃至
で視野分担するようになっている。
乃至は、図１中紙面に垂直な方向（図２中左右方
向）に少しずつ位置をずらして配置され、図２で示した
撮像エリア乃至をそれぞれCCD カメラ１３乃至
で視野分担するようになっている。
【００１６】通常、プラズマディスプレイ基板１では、
隔壁４は約0.3mm のピッチで設けられ、隔壁４の高さは
約0.2mm である。プラズマディスプレイ基板１としての
性能確保のために精度が必要な箇所は、蛍光体５が塗布
される前の隔壁４の高さ、アドレス電極３の幅と厚み、
及び蛍光体５の塗布後の膜厚の均一性である。したがっ
て、高さ精度と厚み精度の重要度が大きい。
隔壁４は約0.3mm のピッチで設けられ、隔壁４の高さは
約0.2mm である。プラズマディスプレイ基板１としての
性能確保のために精度が必要な箇所は、蛍光体５が塗布
される前の隔壁４の高さ、アドレス電極３の幅と厚み、
及び蛍光体５の塗布後の膜厚の均一性である。したがっ
て、高さ精度と厚み精度の重要度が大きい。
【００１７】また、タクトタイム６０秒でプラズマディ
スプレイ基板１の全面にわたって検査を行う場合、必要
な測定精度を確保する高分解能のCCD カメラを複数台準
備する必要がある。本実施形態例では、高速・高精度の
検査を行うための光学ヘッドとしてCCD カメラの台数が
少なく、且つレーザ光源２１の数を最小とするコンパク
トな光学ヘッドを実現している。
スプレイ基板１の全面にわたって検査を行う場合、必要
な測定精度を確保する高分解能のCCD カメラを複数台準
備する必要がある。本実施形態例では、高速・高精度の
検査を行うための光学ヘッドとしてCCD カメラの台数が
少なく、且つレーザ光源２１の数を最小とするコンパク
トな光学ヘッドを実現している。
【００１８】つまり、図１において、シリンドリカルレ
ンズ24a,24b は紙面に垂直な方向、即ち、隔壁４に直交
した水平方向に撮像を圧縮する作用を有する。このた
め、測定精度が必要な高さ方向の撮像分解能は維持した
まま、水平方向に撮像を圧縮することにより１台のCCD
カメラ１３の視野が実質的に拡大される。
ンズ24a,24b は紙面に垂直な方向、即ち、隔壁４に直交
した水平方向に撮像を圧縮する作用を有する。このた
め、測定精度が必要な高さ方向の撮像分解能は維持した
まま、水平方向に撮像を圧縮することにより１台のCCD
カメラ１３の視野が実質的に拡大される。
【００１９】また、ハーフミラー25a,25b はシリンドリ
カルレンズ24a,24b を通過する散乱光23a,23b をそれぞ
れ２分割して圧縮散乱光23a ，23a 及び圧縮散乱光
23b，23b とする作用を有している。そして、CCD
カメラ１３乃至を図１中紙面に垂直な方向（図２中
左右方向）に順次一定距離にシフトして設置することに
より、一つのスリットレーザ光２２から４つの撮像が得
られ、光学ヘッドがコンパクトになる。
カルレンズ24a,24b を通過する散乱光23a,23b をそれぞ
れ２分割して圧縮散乱光23a ，23a 及び圧縮散乱光
23b，23b とする作用を有している。そして、CCD
カメラ１３乃至を図１中紙面に垂直な方向（図２中
左右方向）に順次一定距離にシフトして設置することに
より、一つのスリットレーザ光２２から４つの撮像が得
られ、光学ヘッドがコンパクトになる。
【００２０】
【発明の効果】本発明のプラズマディスプレイ基板の形
状精度検査装置は、スリット光またはスポット光を走査
してスリット光またはスポット光をプラズマディスプレ
イ基板に垂直に投光し、該投光によって生じる散乱光を
受光するCCD カメラを設け、該CCD カメラの撮像を光切
断法による処理を行うことにより隔壁とアドレス電極と
蛍光体の状況を測定評価するプラズマディスプレイ基板
の形状精度検査装置であって、一つのスリット光または
スポット光の走査光の散乱光を隔壁に直角な水平方向に
圧縮すると共にCCD カメラによる高さ方向の分解能を維
持して水平方向の視野を拡大するシリンドリカルレンズ
を設け、偶数個のCCD カメラを隔壁に直角な水平方向に
シフトして取付け、シリンドリカルレンズで視野が拡大
された走査光の散乱像を偶数個のCCD カメラで視野分担
させるハーフミラーを設けたので、シリンドリカルレン
ズによって測定精度が必要な高さ方向の撮像分解能は維
持したまま水平方向の視野が拡大され、視野が拡大され
た散乱像をハーフミラーで偶数個のCCD カメラに視野分
担することができる。この結果、コンパクトな光学ヘッ
ドにより一つのスリット光またはスポット光の走査光に
よって複数の撮像を得ることができ、必要な測定分解能
を維持したままコンパクトな装置とすることができる。
状精度検査装置は、スリット光またはスポット光を走査
してスリット光またはスポット光をプラズマディスプレ
イ基板に垂直に投光し、該投光によって生じる散乱光を
受光するCCD カメラを設け、該CCD カメラの撮像を光切
断法による処理を行うことにより隔壁とアドレス電極と
蛍光体の状況を測定評価するプラズマディスプレイ基板
の形状精度検査装置であって、一つのスリット光または
スポット光の走査光の散乱光を隔壁に直角な水平方向に
圧縮すると共にCCD カメラによる高さ方向の分解能を維
持して水平方向の視野を拡大するシリンドリカルレンズ
を設け、偶数個のCCD カメラを隔壁に直角な水平方向に
シフトして取付け、シリンドリカルレンズで視野が拡大
された走査光の散乱像を偶数個のCCD カメラで視野分担
させるハーフミラーを設けたので、シリンドリカルレン
ズによって測定精度が必要な高さ方向の撮像分解能は維
持したまま水平方向の視野が拡大され、視野が拡大され
た散乱像をハーフミラーで偶数個のCCD カメラに視野分
担することができる。この結果、コンパクトな光学ヘッ
ドにより一つのスリット光またはスポット光の走査光に
よって複数の撮像を得ることができ、必要な測定分解能
を維持したままコンパクトな装置とすることができる。
【００２１】また、シリンドリカルレンズ、ハーフミラ
ー及び偶数個のCCD カメラを一つのスリット光またはス
ポット光を挟んで対称に設けたので、光学ヘッドが更に
コンパクトになる。
ー及び偶数個のCCD カメラを一つのスリット光またはス
ポット光を挟んで対称に設けたので、光学ヘッドが更に
コンパクトになる。
【図１】本発明の一実施形態例に係るプラズマディスプ
レイ基板の形状精度検査装置の光学ヘッドの概略構成
図。
レイ基板の形状精度検査装置の光学ヘッドの概略構成
図。
【図２】図１中のII-II 線矢視図。
【図３】プラズマディスプレイ基板の従来の形状精度検
査状況を表す斜視図。
査状況を表す斜視図。
【符号の説明】 １ プラズマディスプレイ基板 ２ ガラス板 ３ アドレス電極 ４ 隔壁 ５ 蛍光体 １３ CCD カメラ ２１ レーザ光源 ２２ スリットレーザ光 ２３ 散乱光 ２４ シリンドリカルレンズ ２５ ハーフミラー ２６ ミラー ３１ 撮像レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】 スリット光またはスポット光を走査して
スリット光またはスポット光をプラズマディスプレイ基
板に垂直に投光し、該投光によって生じる散乱光を受光
するCCD カメラを設け、該CCD カメラの撮像を光切断法
による処理を行うことにより隔壁とアドレス電極と蛍光
体の状況を測定評価するプラズマディスプレイ基板の形
状精度検査装置であって、一つのスリット光またはスポ
ット光の走査光の散乱光を隔壁に直角な水平方向に圧縮
すると共にCCD カメラによる高さ方向の分解能を維持し
て水平方向の視野を拡大するシリンドリカルレンズを設
け、偶数個のCCD カメラを隔壁に直角な水平方向にシフ
トして取付け、シリンドリカルレンズで視野が拡大され
た走査光の散乱像を偶数個のCCD カメラで視野分担させ
るハーフミラーを設けたことを特徴とするプラズマディ
スプレイ基板の形状精度検査装置。 - 【請求項２】 請求項１において、シリンドリカルレン
ズ、ハーフミラー及び偶数個のCCD カメラを一つのスリ
ット光またはスポット光を挟んで対称に設けたことを特
徴とするプラズマディスプレイ基板の形状精度検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196602A JPH1137734A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | プラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196602A JPH1137734A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | プラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137734A true JPH1137734A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16360486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9196602A Withdrawn JPH1137734A (ja) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | プラズマディスプレイ基板の形状精度検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1137734A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8891756B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-11-18 | Certicom Corp. | Collision-resistant elliptic curve hash functions |
| JP2015096837A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | 表面形状計測装置 |
| TWI506241B (zh) * | 2013-11-15 | 2015-11-01 | Shimadzu Corp | 表面形狀測量裝置 |
-
1997
- 1997-07-23 JP JP9196602A patent/JPH1137734A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8891756B2 (en) | 2008-10-30 | 2014-11-18 | Certicom Corp. | Collision-resistant elliptic curve hash functions |
| JP2015096837A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | 表面形状計測装置 |
| TWI506241B (zh) * | 2013-11-15 | 2015-11-01 | Shimadzu Corp | 表面形狀測量裝置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |