JPH1138044A - 垂直型プローブカード装置 - Google Patents
垂直型プローブカード装置Info
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- JPH1138044A JPH1138044A JP19264697A JP19264697A JPH1138044A JP H1138044 A JPH1138044 A JP H1138044A JP 19264697 A JP19264697 A JP 19264697A JP 19264697 A JP19264697 A JP 19264697A JP H1138044 A JPH1138044 A JP H1138044A
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- guide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プローブ針先端の研磨、洗浄が効率良く容易
にできる垂直型プローブカード装置を得る。 【解決手段】 上側ガイド板６と、上側ガイド板６に間
隔をあけて対向し所定の位置に複数のガイド孔７ａが形
成された下側ガイド板７と、上端が上記上側ガイド板６
に固着され下端が上記下側ガイド板７の上記ガイド孔７
ａを貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針５
と、上記両ガイド板６、７間に介在し上記間隔を所定の
値に設定できるよう形成されたガイド板位置調整手段８
とで構成する。
にできる垂直型プローブカード装置を得る。 【解決手段】 上側ガイド板６と、上側ガイド板６に間
隔をあけて対向し所定の位置に複数のガイド孔７ａが形
成された下側ガイド板７と、上端が上記上側ガイド板６
に固着され下端が上記下側ガイド板７の上記ガイド孔７
ａを貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針５
と、上記両ガイド板６、７間に介在し上記間隔を所定の
値に設定できるよう形成されたガイド板位置調整手段８
とで構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体ＩＣのウエ
ハテストに使用する垂直型プローブカード装置に係り、
特にそのプローブ針をガイドするガイド板の保持構造に
関するものである。
ハテストに使用する垂直型プローブカード装置に係り、
特にそのプローブ針をガイドするガイド板の保持構造に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】垂直型プローブカードでは、ＩＢＭ社の
開発した「コブラプローブカード」がよく知られてい
る。その概要については、メーカのカタログ、そして雑
誌日経マイクロデバイス１９９６年９月号のページ１０
１ないし１０６で知ることができる。その構造について
の詳しい内容の紹介はないが、前述の雑誌のページ１０
６の図８（ａ）にその概要が開示されている。図３は前
述した従来の垂直型プローブカード装置におけるプロー
ブ針とガイド板の構成を示す概略図である。図におい
て、１は湾曲部１ａを有するピン形状で先端１ｂが被検
査基板であるウエハの電極（図示せず）に電気的に接触
するプローブ針、２は複数のプローブ針１を垂下して固
定する上側ガイド板、３は上側ガイド板２の下方に対向
して所定の間隔をあけて平行に配置され、プローブ針１
の先端１ｂに対応する位置にプローブ針１が貫通するガ
イド孔３ａを有する下側ガイド板、４は両ガイド板２、
３間に配置されプローブ針１の先端が所定の長さ（通常
１ｍｍ以下）突出する状態となるよう両ガイド板２、３
間を所定の間隔に設定する複数の間隔部材である。
開発した「コブラプローブカード」がよく知られてい
る。その概要については、メーカのカタログ、そして雑
誌日経マイクロデバイス１９９６年９月号のページ１０
１ないし１０６で知ることができる。その構造について
の詳しい内容の紹介はないが、前述の雑誌のページ１０
６の図８（ａ）にその概要が開示されている。図３は前
述した従来の垂直型プローブカード装置におけるプロー
ブ針とガイド板の構成を示す概略図である。図におい
て、１は湾曲部１ａを有するピン形状で先端１ｂが被検
査基板であるウエハの電極（図示せず）に電気的に接触
するプローブ針、２は複数のプローブ針１を垂下して固
定する上側ガイド板、３は上側ガイド板２の下方に対向
して所定の間隔をあけて平行に配置され、プローブ針１
の先端１ｂに対応する位置にプローブ針１が貫通するガ
イド孔３ａを有する下側ガイド板、４は両ガイド板２、
３間に配置されプローブ針１の先端が所定の長さ（通常
１ｍｍ以下）突出する状態となるよう両ガイド板２、３
間を所定の間隔に設定する複数の間隔部材である。
【０００３】次に動作について説明する。ウエハテスト
時には所定の長さδ1（先端がふらつかない程度）プロ
ーブ針１の先端１ｂが下側ガイド板３から突出し被検査
基板であるウエハの電極と電気的に接触するようコンタ
クトされ試験信号の送受信をさせる。この時ウエハに接
触するプローブ針１は、湾曲部１ａによって垂直方向に
可撓性を有しその先端１ｂが所定圧でウエハを押圧した
状態でウエハの電極と電気的に導通する。
時には所定の長さδ1（先端がふらつかない程度）プロ
ーブ針１の先端１ｂが下側ガイド板３から突出し被検査
基板であるウエハの電極と電気的に接触するようコンタ
クトされ試験信号の送受信をさせる。この時ウエハに接
触するプローブ針１は、湾曲部１ａによって垂直方向に
可撓性を有しその先端１ｂが所定圧でウエハを押圧した
状態でウエハの電極と電気的に導通する。
【０００４】なお、このようなウエハテストにおいて、
プローブ針１とウエハが何回もコンタクトすれば、酸化
アルミなどの異物がプローブ針１の先端１ｂに付着す
る。一般的にプローブ針１は酸化アルミに比べて硬度が
低い、即ち、軟らかいためにプローブ針１の先端１ｂに
異物が付着しやすい。酸化アルミは電気伝導度が低いた
めに接触抵抗が高くなり、最終的にはコンタクト不良と
なり半導体ＩＣの良、不良に関係なく不良品の判定をし
歩留りの低下を招くことになる。このため、プローブ針
１の先端１ｂを研磨ないし洗浄して付着した異物を除去
し、先端１ｂを清浄な初期状態にして良好なコンタクト
を得る必要がある。
プローブ針１とウエハが何回もコンタクトすれば、酸化
アルミなどの異物がプローブ針１の先端１ｂに付着す
る。一般的にプローブ針１は酸化アルミに比べて硬度が
低い、即ち、軟らかいためにプローブ針１の先端１ｂに
異物が付着しやすい。酸化アルミは電気伝導度が低いた
めに接触抵抗が高くなり、最終的にはコンタクト不良と
なり半導体ＩＣの良、不良に関係なく不良品の判定をし
歩留りの低下を招くことになる。このため、プローブ針
１の先端１ｂを研磨ないし洗浄して付着した異物を除去
し、先端１ｂを清浄な初期状態にして良好なコンタクト
を得る必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の垂直型プローブ
カード装置は以上のように構成され、プローブ針１が貫
通する下側ガイド板３は上側ガイド板２との間隔を間隔
部材４によって固定されプローブ針１の突出する先端長
さδ1をあまり長くできないためプローブ針１の下部先
端１ｂを研磨または洗浄するのが困難であるという問題
点があった。
カード装置は以上のように構成され、プローブ針１が貫
通する下側ガイド板３は上側ガイド板２との間隔を間隔
部材４によって固定されプローブ針１の突出する先端長
さδ1をあまり長くできないためプローブ針１の下部先
端１ｂを研磨または洗浄するのが困難であるという問題
点があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、プローブ針先端の研磨、洗浄が
容易にできる垂直型プローブカード装置を得ることを目
的とする。
ためになされたもので、プローブ針先端の研磨、洗浄が
容易にできる垂直型プローブカード装置を得ることを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る垂直型プローブカード装置は、上側ガイド板と、該上
側ガイド板に間隔をあけて対向し所定の位置に複数のガ
イド孔が形成された下側ガイド板と、上端が上記上側ガ
イド板に固着され下端が上記下側ガイド板の上記ガイド
孔を貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針と、
上記両ガイド板間に介在し上記間隔を所定の値に設定で
きるよう形成されたガイド板位置調整手段とで構成した
ものである。
る垂直型プローブカード装置は、上側ガイド板と、該上
側ガイド板に間隔をあけて対向し所定の位置に複数のガ
イド孔が形成された下側ガイド板と、上端が上記上側ガ
イド板に固着され下端が上記下側ガイド板の上記ガイド
孔を貫通して所定の長さ突出する複数のプローブ針と、
上記両ガイド板間に介在し上記間隔を所定の値に設定で
きるよう形成されたガイド板位置調整手段とで構成した
ものである。
【０００８】また、この発明の請求項２に係る垂直型プ
ローブカード装置は、請求項１において、ガイド板位置
調整手段は、一端がいずれか一方のガイド板に形成され
た貫通孔に回転可能に貫通しかつ軸方向に拘束され他端
が他方のガイド板の上記一方のガイド板の貫通孔に対応
する位置に形成されたねじ孔に螺合する複数の位置調整
棒で構成したものである。
ローブカード装置は、請求項１において、ガイド板位置
調整手段は、一端がいずれか一方のガイド板に形成され
た貫通孔に回転可能に貫通しかつ軸方向に拘束され他端
が他方のガイド板の上記一方のガイド板の貫通孔に対応
する位置に形成されたねじ孔に螺合する複数の位置調整
棒で構成したものである。
【０００９】また、この発明の請求項３に係る垂直型プ
ローブカード装置は、請求項１において、ガイド板位置
調整手段は、両ガイド板の対応する位置にそれぞれ形成
された複数対の貫通孔に両端がそれぞれ摺動可能に貫通
し両ガイド板間の広がる方向の間隔を規制する支柱と、
上記支柱をガイドとして上記両ガイド板間に介在し上記
両ガイド板を上記広がる方向に付勢するばね部材とで構
成したものである。
ローブカード装置は、請求項１において、ガイド板位置
調整手段は、両ガイド板の対応する位置にそれぞれ形成
された複数対の貫通孔に両端がそれぞれ摺動可能に貫通
し両ガイド板間の広がる方向の間隔を規制する支柱と、
上記支柱をガイドとして上記両ガイド板間に介在し上記
両ガイド板を上記広がる方向に付勢するばね部材とで構
成したものである。
【００１０】
実施の形態１．以下、この発明の実施の形態１を図につ
いて説明する。図１はこの発明の実施の形態１による垂
直型プローブカード装置におけるプローブ針とガイド板
の構成を示す概略図であり、（Ａ）に通常のウエハテス
トする時の状態を示し、（Ｂ）にプローブ針を洗浄する
時の状態を示している。図において、５は湾曲部５ａを
有するピン形状で先端５ｂが被検査基板であるウエハ
（図示せず）の電極に電気的に接触するプローブ針、６
は複数のプローブ針５を所定位置に垂下して固定すると
ともにプローブ針１をさけた位置に複数の貫通孔６ａが
形成された上側ガイド板、上側ガイド板６と対向して所
定の間隔をあけて平行に配置され、プローブ針５の先端
５ｂに対応する位置にプローブ針５が貫通するガイド孔
７ａを有しかつ貫通孔６ａに対応する位置にねじ穴７ｂ
が形成された下側ガイド板、８は棒状で両ガイド板６、
７間に介在して設けられ上側ガイド板６の貫通孔６ａと
軸方向に拘束され回転可能に嵌合する一端部８ａと、下
側ガイド板７のねじ穴７ｂと螺合するねじが形成された
他端部８ｂを有し、両ガイド板６、７間を所定の間隔に
設定するガイド板位置調整手段としての位置調整棒であ
る。
いて説明する。図１はこの発明の実施の形態１による垂
直型プローブカード装置におけるプローブ針とガイド板
の構成を示す概略図であり、（Ａ）に通常のウエハテス
トする時の状態を示し、（Ｂ）にプローブ針を洗浄する
時の状態を示している。図において、５は湾曲部５ａを
有するピン形状で先端５ｂが被検査基板であるウエハ
（図示せず）の電極に電気的に接触するプローブ針、６
は複数のプローブ針５を所定位置に垂下して固定すると
ともにプローブ針１をさけた位置に複数の貫通孔６ａが
形成された上側ガイド板、上側ガイド板６と対向して所
定の間隔をあけて平行に配置され、プローブ針５の先端
５ｂに対応する位置にプローブ針５が貫通するガイド孔
７ａを有しかつ貫通孔６ａに対応する位置にねじ穴７ｂ
が形成された下側ガイド板、８は棒状で両ガイド板６、
７間に介在して設けられ上側ガイド板６の貫通孔６ａと
軸方向に拘束され回転可能に嵌合する一端部８ａと、下
側ガイド板７のねじ穴７ｂと螺合するねじが形成された
他端部８ｂを有し、両ガイド板６、７間を所定の間隔に
設定するガイド板位置調整手段としての位置調整棒であ
る。
【００１１】次に動作について説明する。ウエハテスト
時には下側ガイド板７より所定長さδ1（通常１ｍｍ以
下）突出した図１−（Ａ）の状態のプローブ針５の先端
５ｂが湾曲部５ａの屈曲による所定圧で被検査基板であ
るウエハの電極（図示せず）と電気的に接触するようコ
ンタクトされ試験信号の送受信をさせる。また、プロー
ブ針５の先端５ｂを研磨または洗浄する場合は、支柱８
を他端部８ｂのねじが進む方向にそれぞれ均等に回転さ
せ両ガイド板６、７の間隔を狭めることによって図１−
（Ｂ）のようにプローブ針５の先端５ｂを図１−（Ａ）
に示す状態より長い長さδ2（通常数ｍｍ以上）突出さ
せた後、研磨または洗浄を実施する。
時には下側ガイド板７より所定長さδ1（通常１ｍｍ以
下）突出した図１−（Ａ）の状態のプローブ針５の先端
５ｂが湾曲部５ａの屈曲による所定圧で被検査基板であ
るウエハの電極（図示せず）と電気的に接触するようコ
ンタクトされ試験信号の送受信をさせる。また、プロー
ブ針５の先端５ｂを研磨または洗浄する場合は、支柱８
を他端部８ｂのねじが進む方向にそれぞれ均等に回転さ
せ両ガイド板６、７の間隔を狭めることによって図１−
（Ｂ）のようにプローブ針５の先端５ｂを図１−（Ａ）
に示す状態より長い長さδ2（通常数ｍｍ以上）突出さ
せた後、研磨または洗浄を実施する。
【００１２】このようにプローブ針５の先端５ｂの突出
した長さを支柱８を回転させるという簡単な操作で調整
できるようにしたので、プローブ針５の先端５ｂの研磨
または洗浄を容易にすることができる。また、プローブ
針５の突出を長くできることはプローブ針５の先端の状
態を容易に把握することができメンテナンスがよくな
る。さらに、研磨または洗浄の作業時に発生するごみな
どの異物が下側ガイド板７のガイド穴７ａに進入しても
ガイド孔７ａとプローブ針５の相対位置が変わることに
よって、異物の除去を容易とする。
した長さを支柱８を回転させるという簡単な操作で調整
できるようにしたので、プローブ針５の先端５ｂの研磨
または洗浄を容易にすることができる。また、プローブ
針５の突出を長くできることはプローブ針５の先端の状
態を容易に把握することができメンテナンスがよくな
る。さらに、研磨または洗浄の作業時に発生するごみな
どの異物が下側ガイド板７のガイド穴７ａに進入しても
ガイド孔７ａとプローブ針５の相対位置が変わることに
よって、異物の除去を容易とする。
【００１３】なお、上記実施の形態１の説明では、支柱
８の一端部８ａが上側ガイド板６に軸方向に拘束して嵌
合し他端部８ｂが下側ガイド板７と螺合するように構成
したものを示したが、支柱８の取付けを上下逆にして、
一端部８ａが下側ガイド板７に軸方向に拘束して嵌合さ
せ他端部８ｂが上側ガイド板６と螺合するよう構成して
も同様の効果を得ることはいうまでもない。
８の一端部８ａが上側ガイド板６に軸方向に拘束して嵌
合し他端部８ｂが下側ガイド板７と螺合するように構成
したものを示したが、支柱８の取付けを上下逆にして、
一端部８ａが下側ガイド板７に軸方向に拘束して嵌合さ
せ他端部８ｂが上側ガイド板６と螺合するよう構成して
も同様の効果を得ることはいうまでもない。
【００１４】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２による垂直型プローブカード装置におけるプローブ
針とガイド板の構成を示す概略図であり、（Ａ）に通常
のウエハテスト時の状態を示し、（Ｂ）にプローブ針を
洗浄する時の状態を示している。図において、上記実施
の形態１におけると同様な部分は同一符号を付して説明
を省略する。９は上側ガイド板６と対向して所定の間隔
に配置され、プローブ針５の先端５ｂに対応する位置に
プローブ針５が貫通するガイド孔９ａが、また、貫通孔
６ａに対応する位置に貫通孔９ｂがそれぞれ形成された
下側ガイド板、１０は棒状で一端側は上側ガイド板６の
貫通孔６ａと他端側は下側ガイド板９の貫通孔９ｂにそ
れぞれ軸方向に摺動可能で、かつ両端にそれぞれ両ガイ
ド板６、９の間隔の広がりを規制する頭部１０ａ、１０
ｂが形成された複数の支柱、１１は支柱１０に嵌合する
ようにして両ガイド板６、９に介在し両ガイド板６、９
の間隔を広げる方向に付勢されたコイル状のばね部材、
１２は両ガイド板６、９の外縁を挟持し両ガイド板６、
９の間隔を狭める方向に押圧するガイド板ストッパで、
これら１０ないし１２でガイド板位置調整手段をなして
いる。
態２による垂直型プローブカード装置におけるプローブ
針とガイド板の構成を示す概略図であり、（Ａ）に通常
のウエハテスト時の状態を示し、（Ｂ）にプローブ針を
洗浄する時の状態を示している。図において、上記実施
の形態１におけると同様な部分は同一符号を付して説明
を省略する。９は上側ガイド板６と対向して所定の間隔
に配置され、プローブ針５の先端５ｂに対応する位置に
プローブ針５が貫通するガイド孔９ａが、また、貫通孔
６ａに対応する位置に貫通孔９ｂがそれぞれ形成された
下側ガイド板、１０は棒状で一端側は上側ガイド板６の
貫通孔６ａと他端側は下側ガイド板９の貫通孔９ｂにそ
れぞれ軸方向に摺動可能で、かつ両端にそれぞれ両ガイ
ド板６、９の間隔の広がりを規制する頭部１０ａ、１０
ｂが形成された複数の支柱、１１は支柱１０に嵌合する
ようにして両ガイド板６、９に介在し両ガイド板６、９
の間隔を広げる方向に付勢されたコイル状のばね部材、
１２は両ガイド板６、９の外縁を挟持し両ガイド板６、
９の間隔を狭める方向に押圧するガイド板ストッパで、
これら１０ないし１２でガイド板位置調整手段をなして
いる。
【００１５】次に動作について説明する。ウエハテスト
時は両ガイド板６、９の間隔は支柱１０の頭部１０ａ、
１０ｂで規制された図２−（Ａ）の状態、即ち下側ガイ
ド板９より所定長さ（通常１ｍｍ以下）突出したプロー
ブ針５先端５ｂが湾曲部５ａの屈曲による所定圧で被検
査基板であるウエハの電極（図示せず）と電気的に接触
するようコンタクトされ試験信号の送受信をさせる。ま
た、プローブ針５の先端５ｂを研磨または洗浄する場合
は、ガイド板ストッパ１２を動作させ両ガイド板６、９
の外縁を挟持して押圧し両ガイド板６、９の間隔を均等
に狭めることによって、図２−（Ｂ）のようにプローブ
針５の先端５ｂを長く（通常数ｍｍ以上）突出させた
後、研磨または洗浄を実施する。
時は両ガイド板６、９の間隔は支柱１０の頭部１０ａ、
１０ｂで規制された図２−（Ａ）の状態、即ち下側ガイ
ド板９より所定長さ（通常１ｍｍ以下）突出したプロー
ブ針５先端５ｂが湾曲部５ａの屈曲による所定圧で被検
査基板であるウエハの電極（図示せず）と電気的に接触
するようコンタクトされ試験信号の送受信をさせる。ま
た、プローブ針５の先端５ｂを研磨または洗浄する場合
は、ガイド板ストッパ１２を動作させ両ガイド板６、９
の外縁を挟持して押圧し両ガイド板６、９の間隔を均等
に狭めることによって、図２−（Ｂ）のようにプローブ
針５の先端５ｂを長く（通常数ｍｍ以上）突出させた
後、研磨または洗浄を実施する。
【００１６】このようにプローブ針５の突出した先端長
さを両ガイド板間のばね部材と両ガイド板を挟持するガ
イド板ストッパ１２の動作によって簡単な操作で調整で
きるようにしたので、プローブ針５先端５ｂの研磨また
は洗浄を作業性良く容易にすることができる。
さを両ガイド板間のばね部材と両ガイド板を挟持するガ
イド板ストッパ１２の動作によって簡単な操作で調整で
きるようにしたので、プローブ針５先端５ｂの研磨また
は洗浄を作業性良く容易にすることができる。
【００１７】なお、上記実施の形態２の説明では支柱１
０の両端が両ガイド板６、９の嵌合孔６ａ、９ａとそれ
ぞれ軸方向に摺動可能のものを示したが、いずれか一方
は固定し他方のみ摺動可能にしても同様の効果が得られ
る。また、両ガイド板６、９を挟持する手段としてガイ
ド板ストッパ１２を用いたが、これに限定されるもので
はない。
０の両端が両ガイド板６、９の嵌合孔６ａ、９ａとそれ
ぞれ軸方向に摺動可能のものを示したが、いずれか一方
は固定し他方のみ摺動可能にしても同様の効果が得られ
る。また、両ガイド板６、９を挟持する手段としてガイ
ド板ストッパ１２を用いたが、これに限定されるもので
はない。
【００１８】また、上記実施の形態１および２では、プ
ローブ針５の形状をコブラ型で説明したが、Ｌ型等の別
の形状のものでも同様の効果が得られることはいうまで
もない。
ローブ針５の形状をコブラ型で説明したが、Ｌ型等の別
の形状のものでも同様の効果が得られることはいうまで
もない。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１によ
れば、上側ガイド板と、該上側ガイド板に間隔をあけて
対向し所定の位置に複数のガイド孔が形成された下側ガ
イド板と、上端が上記上側ガイド板に固着され下端が上
記下側ガイド板の上記ガイド孔を貫通して所定の長さ突
出する複数のプローブ針と、上記両ガイド板間に介在し
上記間隔を所定の値に設定できるよう形成されたガイド
板位置調整手段とで構成したので、プローブ針先端の研
磨または洗浄が容易にできる垂直型プローブカード装置
が得られる効果がある。
れば、上側ガイド板と、該上側ガイド板に間隔をあけて
対向し所定の位置に複数のガイド孔が形成された下側ガ
イド板と、上端が上記上側ガイド板に固着され下端が上
記下側ガイド板の上記ガイド孔を貫通して所定の長さ突
出する複数のプローブ針と、上記両ガイド板間に介在し
上記間隔を所定の値に設定できるよう形成されたガイド
板位置調整手段とで構成したので、プローブ針先端の研
磨または洗浄が容易にできる垂直型プローブカード装置
が得られる効果がある。
【００２０】また、この発明の請求項２によれば、請求
項１において、ガイド板位置調整手段は、一端がいずれ
か一方のガイド板に形成された貫通孔に回転可能に貫通
しかつ軸方向に拘束され他端が他方のガイド板の上記一
方のガイド板の貫通孔に対応する位置に形成されたねじ
孔に螺合する複数の位置調整棒で構成されているので、
両ガイド板の間隔を簡単に調整できプローブ針先端の研
磨または洗浄が容易にできる垂直型プローブカード装置
が得られる効果がある。
項１において、ガイド板位置調整手段は、一端がいずれ
か一方のガイド板に形成された貫通孔に回転可能に貫通
しかつ軸方向に拘束され他端が他方のガイド板の上記一
方のガイド板の貫通孔に対応する位置に形成されたねじ
孔に螺合する複数の位置調整棒で構成されているので、
両ガイド板の間隔を簡単に調整できプローブ針先端の研
磨または洗浄が容易にできる垂直型プローブカード装置
が得られる効果がある。
【００２１】また、この発明の請求項３によれば、請求
項１において、ガイド板位置調整手段は、両ガイド板の
対応する位置にそれぞれ形成された複数対の貫通孔に両
端がそれぞれ摺動可能に貫通し両ガイド板間の広がる方
向の間隔を規制する支柱と、上記支柱をガイドとして上
記両ガイド板間に介在し上記両ガイド板を上記広がる方
向に付勢するばね部材とで構成されているので、両ガイ
ド板の間隔を簡単に調整できプローブ針先端の研磨また
は洗浄が作業性良く容易にできる垂直型プローブカード
装置が得られる効果がある。
項１において、ガイド板位置調整手段は、両ガイド板の
対応する位置にそれぞれ形成された複数対の貫通孔に両
端がそれぞれ摺動可能に貫通し両ガイド板間の広がる方
向の間隔を規制する支柱と、上記支柱をガイドとして上
記両ガイド板間に介在し上記両ガイド板を上記広がる方
向に付勢するばね部材とで構成されているので、両ガイ
ド板の間隔を簡単に調整できプローブ針先端の研磨また
は洗浄が作業性良く容易にできる垂直型プローブカード
装置が得られる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１による垂直型プロー
ブカード装置におけるプローブ針とガイド板の構成を示
し、（Ａ）に通常のウエハテスト時の状態を、（Ｂ）に
プローブ針を洗浄する時の状態をそれぞれ示す概略図で
ある。
ブカード装置におけるプローブ針とガイド板の構成を示
し、（Ａ）に通常のウエハテスト時の状態を、（Ｂ）に
プローブ針を洗浄する時の状態をそれぞれ示す概略図で
ある。
【図２】 この発明の実施の形態２による垂直型プロー
ブカード装置におけるプローブ針とガイド板の構成を示
し、（Ａ）に通常のウエハテスト時の状態を、（Ｂ）に
プローブ針を洗浄する時の状態をそれぞれ示す概略図で
ある。
ブカード装置におけるプローブ針とガイド板の構成を示
し、（Ａ）に通常のウエハテスト時の状態を、（Ｂ）に
プローブ針を洗浄する時の状態をそれぞれ示す概略図で
ある。
【図３】 従来の垂直型プローブカード装置におけるプ
ローブ針とガイド板の構成を示す概略図である。
ローブ針とガイド板の構成を示す概略図である。
５ プローブ針、５ｂ 先端、６ 上側ガイド板、７
下側ガイド板、７ａ ガイド孔、８ 位置調整棒（ガイ
ド板位置調整手段）、８ａ 一端部、８ｂ 他端部、９
下側ガイド板、９ａ ガイド孔、１０ 支柱、１０
ａ，１０ｂ 頭部、１１ ばね部材、１２ ガイド板ス
トッパ。
下側ガイド板、７ａ ガイド孔、８ 位置調整棒（ガイ
ド板位置調整手段）、８ａ 一端部、８ｂ 他端部、９
下側ガイド板、９ａ ガイド孔、１０ 支柱、１０
ａ，１０ｂ 頭部、１１ ばね部材、１２ ガイド板ス
トッパ。
Claims (3)
- 【請求項１】 上側ガイド板と、該上側ガイド板に間隔
をあけて対向し所定の位置に複数のガイド孔が形成され
た下側ガイド板と、上端が上記上側ガイド板に固着され
下端が上記下側ガイド板の上記ガイド孔を貫通して所定
の長さ突出する複数のプローブ針と、上記両ガイド板間
に介在し上記間隔を所定の値に設定できるよう形成され
たガイド板位置調整手段とを備えたことを特徴とする垂
直型プローブカード装置。 - 【請求項２】 ガイド板位置調整手段は、一端がいずれ
か一方のガイド板に形成された貫通孔に回転可能に貫通
しかつ軸方向に拘束され他端が他方のガイド板の上記一
方のガイド板の貫通孔に対応する位置に形成されたねじ
孔に螺合する複数の位置調整棒で構成されていることを
特徴とする請求項１に記載の垂直型プローブカード装
置。 - 【請求項３】 ガイド板位置調整手段は、両ガイド板の
対応する位置にそれぞれ形成された複数対の貫通孔に両
端がそれぞれ摺動可能に貫通し両ガイド板間の広がる方
向の間隔を規制する支柱と、上記支柱をガイドとして上
記両ガイド板間に介在し上記両ガイド板を上記広がる方
向に付勢するばね部材とで構成されていることを特徴と
する請求項１に記載の垂直型プローブカード装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19264697A JPH1138044A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 垂直型プローブカード装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19264697A JPH1138044A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 垂直型プローブカード装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1138044A true JPH1138044A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16294720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19264697A Pending JPH1138044A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 垂直型プローブカード装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1138044A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1997
- 1997-07-17 JP JP19264697A patent/JPH1138044A/ja active Pending
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