JPH1138083A

JPH1138083A - Ｉｃテストハンドラ

Info

Publication number: JPH1138083A
Application number: JP9203843A
Authority: JP
Inventors: Hiroki Ikeda; 浩樹池田
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1997-07-14
Filing date: 1997-07-14
Publication date: 1999-02-12

Abstract

(57)【要約】【課題】発生したアラームに関する詳細な情報を容易
に得ることができるＩＣテストハンドラを提供するこ
と。【解決手段】ＩＣテストハンドラの通常動作時に何ら
かの異常が生じると、シーケンス制御ボード１４０内の
シーケンス制御部１４２からユーザインタフェース（Ｉ
／Ｆ）ボード１６０内の入出力処理部１６２に対して、
アラームメッセージの表示要請がなされる。入出力処理
部１６２は、要請されたアラームメッセージの表示を行
うとともに、ハードディスク装置１８２に格納されてい
るヘルプファイルを実行してこのアラームメッセージに
対応するヘルプ画面を準備し、オペレータの操作指示に
応じた数々のヘルプ画面を必要に応じて表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ等の
各種ＩＣデバイスを試験する際にその搬送等を行うＩＣ
テストハンドラに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置を用いて半導体メモリ等
のＩＣデバイスの各種試験を行う場合に、試験対象とな
る複数個のＩＣデバイスを所定の試験位置に設置する必
要がある。このようなＩＣデバイスの設置作業を効率よ
く行うためにＩＣテストハンドラが用いられる。

【０００３】ＩＣテストハンドラは、ＩＣデバイスの搬
送や並べ替え等を行う機構部と、動作状態や異常を検出
する各種のセンサと、これらのセンサ出力に基づいて機
構部による各動作を制御する制御部と、オペレータが各
種の設定や動作指示を入力する操作部と、各種設定画面
表示や異常発生時のアラーム表示を行うパネルディスプ
レイとを含んで構成されている。上述した制御部は、各
種センサの出力を監視することにより、供給されたＩＣ
デバイスの搬送状態等を検出しており、搬送途中でＩＣ
デバイスの落下等の異常が生じた場合には、直ちに搬送
動作を停止させ、赤色灯の点滅やアラーム表示を行うよ
うになっている。

【０００４】例えば、ＩＣデバイスの落下等の異常発生
時のアラーム表示は、ＩＣテストハンドラに備わってい
るパネルディスプレイに、発生した異常の種類に対応し
て予め用意されている数十桁の各種のアラームコードを
表示することにより行われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したＩ
Ｃテストハンドラにおいて異常が発生した際のアラーム
表示は、パネルディスプレイに所定のアラームコードを
表示することによって行われるため、このアラームコー
ドを見ただけではその内容を把握しにくいという問題が
ある。通常は、各種のアラームコードに対応してその発
生原因やアラーム解除の方法等が記載されたマニュアル
本が用意されており、オペレータは、このマニュアル本
を調べることにより、発生したアラームについての詳細
な情報を得ることができる。

【０００６】ところが、アラームの発生原因は多岐にわ
たるため（例えばアラームにはジャム、エラー、ステー
タス、ガイドなどがある）、不慣れなオペレータがマニ
ュアル本を調べてアラームの発生原因を探すことは容易
ではない。通常、マニュアル本に記載されている各種の
アラームに関する説明は、ＩＣテストハンドラを操作し
たことがある熟練者を対象に書かれていることが多く、
技術用語による短い表現が用いられている。したがっ
て、必ずしも不慣れなオペレータが理解しやすいとは限
らない。反対に、誰でもが理解できるような表現を用い
て詳細に説明することも考えられるが、技術用語を用い
ない説明では、熟練したオペレータに分かりづらくな
る。

【０００７】また、ＩＣテストハンドラ自体の製品寿命
は１０年から１５年程度であり、使用期間内に試験対象
となるＩＣデバイスの追加や変更等に伴うソフトウエア
の変更が生じた場合には、その都度マニュアル本全体あ
るいはその一部を差し替える必要があるが、この差し替
え作業が適切なタイミングで行われないと、表示された
アラームコードとマニュアル本の記載内容との対応がと
れなくなって、アラーム原因や解除の方法を調べること
は困難となる。例えば、マニュアル本の差し替えページ
の配布を利用者からの申し込みに応じて有料で行う場合
であってこの申し込みが行われていない場合や、差し替
えページはあるがマニュアル本の該当ページの差し替え
作業が行われていない場合等においては、実際に表示さ
れるアラームコードとマニュアル本に記載された内容と
の対応がとれないことになる。

【０００８】このように、アラーム発生からアラーム解
除までの一連の対処方法を、マニュアル本を調べること
により誰もが理解することは容易ではなく、熟練度等に
よらずに誰でもが、簡単にアラーム内容や解除方法を理
解できる方法が望まれていた。

【０００９】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、発生したアラームに関する
詳細な情報を容易に得ることができるＩＣテストハンド
ラを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のＩＣテストハンドラは、異常検出手段
によって異常の発生を検出したときにアラーム表示手段
によって所定のアラーム表示を行うとともに、ヘルプフ
ァイル格納手段に格納されているヘルプファイルをヘル
プ機能実行手段によって実行することにより、表示され
たアラームの内容解説と解除方法についての詳細情報を
表示する。このように、アラームに対応したヘルプファ
イルを備えることにより、発生したアラームに関する詳
細な情報を容易に得ることができる。また、ＩＣテスト
ハンドラで使用されるソフトウエアを変更したためにア
ラームの解除方法等が変更された場合であっても、この
ソフトウエアの変更と同時にヘルプファイルの内容更新
を行うことにより、発生したアラームとその解除方法等
との対応をとることができる。

【００１１】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行って、説明文、図、表、静止画、動
画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳細情報
の表示を行うことにより、発生したアラームに関する内
容解説や解除方法が誰にでも分かりやすくなる。特に、
表示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘルプ機
能実行手段によって、表示する詳細情報の内容を段階的
に切り替えることにより、オペレータの熟練度等に応じ
て適切な内容の詳細情報を表示させることができる。例
えば、最初は簡単な説明文を表示し、さらに詳細な説明
を求める指示がなされた場合には、詳細な説明文や図、
静止画あるいは動画等を用いて、各オペレータの理解力
に応じた内容表示を行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明を適用した一実施形態のＩ
Ｃテストハンドラは、何らかの異常が生じてアラーム表
示を行ったときに、熟練度等が異なるオペレータの要求
に応じて、発生したアラームの詳細内容とアラーム解除
を行う方法を画面に表示させることに特徴がある。以
下、一実施形態のＩＣテストハンドラについて、図面を
参照しながら詳細に説明する。

【００１３】図１は、一実施形態のＩＣテストハンドラ
の外観図であり、一例として水平搬送方式のＩＣテスト
ハンドラの正面図が示されている。同図に示すＩＣテス
トハンドラ１００は、複数のカストマトレイの供給と回
収を行うために開閉される開閉扉１１０と、各種の設定
を行うために必要な操作画面表示や異常発生時に所定の
アラーム表示を行う表示部としてのＬＣＤ（液晶表示装
置）１１２と、試験対象となるＩＣデバイスやこれを載
せたカストマトレイに関する各種の設定値や動作指示等
を入力する操作部としてのキーボード１１４と、動作状
態に応じて異なる色の照明を点灯あるいは点滅させるシ
グナルタワー１１６とを備えている。

【００１４】図２は、図１に外観を示したＩＣテストハ
ンドラ１００の機構部の概略構成を示す図である。同図
に示すように、ＩＣテストハンドラ１００は、供給され
たＩＣデバイスを加熱した後に所定位置まで搬送し、試
験終了後に冷却して取り出すための機構部として、スト
ッカ１２２、吸着ヘッド１２６、ローダ１２８、ソーク
チャンバ１３０、テストチャンバ１３２、アンソークチ
ャンバ１３６、アンローダ１３８を備えている。

【００１５】カストマトレイ１２０は、複数個のＩＣデ
バイス１１８を収容する容器であり、ＩＣデバイス１１
８の品種や形状に応じて異なったものが使用される。こ
のカストマトレイ１２０は、ＩＣテストハンドラ１００
のユーザによって用意され、形状にある程度の自由度が
許容されるため、予めサイズ等の各種データを設定する
必要がある。

【００１６】ストッカ１２２は、試験前のＩＣデバイス
１１８を載せたカストマトレイ１２０や、試験終了後に
試験結果に基づいてカテゴリ別に分類した各ＩＣデバイ
ス１１８を載せたカストマトレイ１２０を収容するため
のものである。ストッカ１２２は、カストマトレイ１２
０を多数段積み重ねた積層部を有しており、これが複数
配置されている。ＩＣデバイス１１８をローダ１２８側
に供給する場合には、この積層部の最上段のカストマト
レイ１２０に載っているＩＣデバイス１１８をピックア
ップしてテストトレイ１２４に載せた後、ローダ１２８
側に移送する。積層部の最上段のカストマトレイ１２０
が空になると、この空トレイを最下段に移動させた後、
エレベータ（図示せず）が上昇して２段目のカストマト
レイ１２０を最上段に押し上げ、ＩＣデバイス１１８の
供給が継続される。また、アンローダ１３８側からＩＣ
デバイス１１８を収納する場合には、テストトレイ１２
４上のＩＣデバイス１１８を積層部の最上段にある空の
カストマトレイ１２０上に移送し、所定数のＩＣデバイ
ス１１８を載せたカストマトレイ１２０を順次降下させ
ることにより収容が行われる。

【００１７】上述したストッカ１２２は、図１に示した
開閉扉１１０を開けた位置にあり、オペレータは、通常
の試験動作においてはこのストッカ１２２の所定位置に
カストマトレイ１２０を供給する作業と、ストッカ１２
２から試験終了後のＩＣデバイス１１８が載ったカスト
マトレイ１２０を回収する作業とを行う。

【００１８】上述したカストマトレイ１２０からテスト
トレイ１２４へのＩＣデバイス１１８の載せ変え、ある
いはテストトレイ１２４からカストマトレイ１２０への
ＩＣデバイス１１８の載せ換えは、吸着ヘッド１２６に
よって行われる。吸着ヘッド１２６は、ヘッド内部を負
圧にすることによりＩＣデバイス１１８をピックアップ
するとともに、この負圧状態を解除することにより、保
持しているＩＣデバイス１１８を解放する。

【００１９】ローダ１２８は、ストッカ１２２のいずれ
かの積層部の最上段にあるカストマトレイ１２０上のＩ
Ｃデバイス１１８を吸着ヘッド１２６によってピックア
ップしてテストトレイ１２４に載せた後に、このテスト
トレイ１２４をソークチャンバ１３０に向けて搬送す
る。

【００２０】ソークチャンバ１３０は、試験前のＩＣデ
バイス１１８を加熱あるいは冷却して所定温度に維持す
る恒温槽であり、複数のテストトレイ１２４を収納す
る。ローダ１２８によって搬送されたテストトレイ１２
４は、ソークチャンバ１３０の最上段にセットされた
後、順次１段ずつ降下する。この降下時間を所定値に設
定することにより、所望の到達温度に達するまでＩＣデ
バイス１１８の加熱あるいは冷却が行われる。テストト
レイ１２４は、ソークチャンバ１３０の最下段に到達し
た後排出されて、テストチャンバ１３２に搬送される。

【００２１】テストチャンバ１３２は、所定温度に維持
されたＩＣデバイス１１８に対して各種の機能試験を実
施するための恒温槽である。テストチャンバ１３２で
は、ソークチャンバ１３０から排出されたテストトレイ
１２４上の各ＩＣデバイス１１８を個々にピックアップ
してコンタクト部１３４に移動させて、各ＩＣデバイス
１１８に対する各種の機能試験が実施され、試験終了後
にこのＩＣデバイス１１８が元のテストトレイ１２４に
収容される。コンタクト部１３４には、複数個のＩＣソ
ケット（図示せず）が設けられており、これらのそれぞ
れにＩＣデバイス１１８を装着した後にＩＣデバイス１
１８の各端子にテストヘッド（図示せず）を接触させる
ことによりＩＣデバイス１１８と半導体試験装置２００
との電気的な接続を行う。このようにして電気的な接続
が完了した後、半導体試験装置２００は、ＩＣデバイス
１１８に対する機能試験を実施する。テストトレイ１２
４上の全てのＩＣデバイス１１８に対する試験が終了す
ると、このテストトレイ１２４はアンソークチャンバ１
３６側に搬送される。

【００２２】アンソークチャンバ１３６は、急激な温度
ストレスの印加や結露を防止するために、試験時に高温
あるいは低温状態にあるＩＣデバイス１１８を緩やかに
冷却あるいは加熱して常温に戻す恒温槽である。ＩＣデ
バイス１１８の試験が終了したテストトレイ１２４がア
ンソークチャンバ１３６の最下段に収容された後、順次
１段ずつ上昇し、最上段に達するまでにＩＣデバイス１
１８の温度が常温に戻される。最上段にあるテストトレ
イ１２４は、アンソークチャンバ１３６から排出され
て、アンローダ１３８に向けて搬送される。

【００２３】アンローダ１３８は、アンソークチャンバ
１３６から排出された試験終了後のＩＣデバイス１１８
を良否あるいは特性別に分類して、対応するカストマト
レイ１２０に移送する。どの分類に属するＩＣデバイス
１１８をどのカストマトレイ１２０に分配するかは、予
め設定されている。

【００２４】上述したカストマトレイ１２０やテストト
レイ１２４の搬送制御、ソークチャンバ１３０やアンソ
ークチャンバ１３６における加熱冷却制御、ＩＣデバイ
ス１１８の識別管理制御等の一連の制御がシーケンス制
御部（後述する）によって行われる。

【００２５】図３は、本実施形態のＩＣテストハンドラ
１００の動作を制御する制御機構の概略を示すブロック
図である。図３に示すように、本実施形態のＩＣテスト
ハンドラ１００は、図２に示す機構部の動作を制御して
半導体試験装置２００による機能試験を実施するために
必要な構成を備えるシーケンス制御ボード１４０と、オ
ペレータが各種の設定データを入力したりオペレータに
対してアラーム表示等を行うために必要な構成を備える
ユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）ボード１６０と、ロー
ダ１２８やアンローダ１３８を移動させるパルスモータ
やサーボモータ（図示せず）を回転駆動するモータコン
トローラ（ＭＣ）１７０、１７２と、ＩＣデバイス１１
８のピックアップや解放を行うとともにその保持状態を
検出するために各吸着ヘッド１２６毎に設けられる電磁
弁１７４および吸着センサ１７６とを含んで構成されて
いる。

【００２６】シーケンス制御ボード１４０は、シーケン
ス制御部１４２、入出力制御部１４４、温度制御部１４
６、ユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）変換部１４８、テ
スタインタフェース（Ｉ／Ｆ）部１５０とを含んで構成
されている。シーケンス制御部１４２は、プロセッサと
メモリを含んでおり、複数のタスクの並列処理が可能な
専用のオペレーティングシステム（ＯＳ）を用いて所定
のプログラムを実行することにより実現される。入出力
制御部１４４は、シーケンス制御部１４２からの指示に
応じて、図２に示した機構部の動作を制御するためのも
のであり、モータコントローラ１７０、１７２や電磁弁
１７４に対して動作指示を送る。また、入出力制御部１
４４は、吸着センサ１７６の出力を検出してＩＣデバイ
ス１１８の有無をシーケンス制御部１４２に知らせる。
温度制御部１４６は、ソークチャンバ１３０、アンソー
クチャンバ１３６およびテストチャンバ１３２の温度を
制御する。ユーザインタフェース変換部１４８は、シー
ケンス制御ボード１４０とユーザインタフェースボード
１６０との間のデータの入出力を制御するためのもので
ある。

【００２７】ユーザインタフェースボード１６０は、入
出力処理部１６２および入出力インタフェース（Ｉ／
Ｆ）部１６４を含んで構成されている。入出力処理部１
６２は、プロセッサとメモリを含んだパーソナルコンピ
ュータ本体（パソコン本体）であり、一般のパーソナル
コンピュータで汎用されているオペレーティングシステ
ム（例えばマイクロソフト社のＷｉｎｄｏｗｓ（登録商
標））を用いて、各種データの入力や表示およびアラー
ム発生時には所定のヘルプ画面の表示を行う。入出力イ
ンタフェース部１６４は、入出力処理部１６２とＬＣＤ
１１２、キーボード１１４、マウス１８０、ハードディ
スク装置（ＨＤＤ）１８２、スピーカ１８４とを接続す
るためのものであり、接続する機器に応じた所定の規格
に適合したコネクタ形状を有する。また、ハードディス
ク装置１８２には、上述したヘルプ画面表示に必要なヘ
ルプファイルが格納されている。

【００２８】上述したシーケンス制御部１４２、入出力
制御部１４４および吸着センサ１７６が異常検出手段
に、入出力処理部１６２およびＬＣＤ１１２がアラーム
表示手段に、ハードディスク装置１８２がヘルプファイ
ル格納手段に、入出力処理部１６２がヘルプ機能実行手
段にそれぞれ対応する。

【００２９】本実施形態のＩＣテストハンドラ１００
は、上述した構成を有しており、次に通常動作において
何らかの異常が発生してアラーム表示を行う場合の動作
を説明する。例えば、通常動作としてカストマトレイ１
２０からテストトレイ１２４にＩＣデバイス１１８を載
せ換える動作を考え、その途中でＩＣデバイス１１８が
落下するものとする。

【００３０】図４は、カストマトレイ１２０からテスト
トレイ１２４に載せ換える場合の動作手順を示す流れ図
であり、図３に示すシーケンス制御部１４２によって実
行される動作タスクによって一連の動作が行われる。

【００３１】まず、シーケンス制御部１４２によって実
行される動作タスク（本実施形態では、通常動作を行う
種々のタスクを総括して動作タスクと称して説明を行う
ものとする）は、入出力制御部１４４を介して電磁弁１
７４を駆動し、吸着ヘッド１２６によってカストマトレ
イ１２０上のＩＣデバイス１１８の吸着を行う（ステッ
プ４０１）。吸着動作終了後に、動作タスクは、入出力
制御部１４４に入力される吸着センサ１７６の出力に基
づいて、吸着ヘッド１２６の先端にＩＣデバイス１１８
が吸着されているか否かを確認する（ステップ４０
２）。

【００３２】ＩＣデバイス１１８が吸着されていること
を確認すると、次に動作タスクは、ＩＣデバイス１１８
を吸着した状態で吸着ヘッド１２６を上昇させ（ステッ
プ４０３）、位置センサ（図示せず）によってＩＣデバ
イス１１８が所定位置に達したことを確認して上昇動作
を停止する（ステップ４０４）。その後、動作タスク
は、吸着センサ１７６の出力に基づいて、上昇動作にお
いて吸着ヘッド１２６からＩＣデバイス１１８が落下し
たか否かを確認する（ステップ４０５）。

【００３３】ＩＣデバイス１１８が落下していないこと
を確認すると、次に動作タスクは、吸着ヘッド１２６が
取り付けされたアームを移動させるモータ（図示せず）
を回転駆動し、吸着ヘッド１２６を水平方向に移動させ
ることによりＩＣデバイスの搬送を行い（ステップ４０
６）、モータの搬送距離により停止位置を確認して搬送
動作を終了する（ステップ４０７）。その後、動作タス
クは、吸着センサ１７６の出力に基づいて、搬送動作に
おいて吸着ヘッド１２６からＩＣデバイス１１８が落下
したか否かを確認する（ステップ４０８）。

【００３４】ＩＣデバイス１１８が落下していないこと
を確認すると、次に動作タスクは、ＩＣデバイスを吸着
した状態で吸着ヘッド１２６を下降させ（ステップ４０
９）、位置センサによってＩＣデバイス１１８が所定位
置に達したことを確認して下降動作を停止する（ステッ
プ４１０）。その後、動作タスクは、吸着センサ１７６
の出力に基づいて、下降動作において吸着ヘッド１２６
からＩＣデバイス１１８が落下したか否かを確認する
（ステップ４１１）。

【００３５】ところで、動作タスクは、上述したステッ
プ４０２、４０５、４０８、４１１のそれぞれにおい
て、ＩＣデバイス１１８が落下したか否かを確認してい
るが、例えばステップ４０９の下降動作中にＩＣデバイ
ス１１８が落下すると、その異常事態を検出し（ステッ
プ４１２）、シーケンス制御部１４２によって実行され
る状態管理タスク（以後、単に「状態管理タスク」と称
する）に対してアラームの出力を要請する（ステップ４
１３）。

【００３６】図５は、通常動作中に異常が発生した場合
のＩＣテストハンドラ１００の動作手順を示す流れ図で
あり、状態管理タスクによって行われる動作が示されて
いる。動作タスクからアラームの出力要請を受けた状態
管理タスクは、現在出力されているアラームと重複した
アラームの要請でないことを確認し（ステップ５０
１）、このアラームの累積発生数をカウントアップする
（ステップ５０２）。なお、現在出力されているアラー
ムと重複したアラームの出力要請がなされる場合とは、
発生したアラームの原因となる異常事態を解除せずに動
作の再スタートが指示されて、同一の原因に基づいてア
ラームの出力要請がなされる場合であり、上述した累積
発生数のカウントアップの動作等は行われない。また、
同一のアラームの累積発生数が頻繁にカウントアップさ
れて大きな値になると、構造上の不具合のおそれがある
ため、この累積発生数を監視することにより、早期の対
策を立てることができる。

【００３７】次に、状態管理タスクは、ユーザインタフ
ェース変換部１４８を介して、ユーザインタフェースボ
ード１６０内の入出力処理部１６２に対してアラームメ
ッセージの表示を依頼し、入出力処理部１６２によって
ＬＣＤ１１２の画面上に所定のアラーム表示が行われる
（ステップ５０３）。また、状態管理タスクは、入出力
制御部１４４を介してアラームブザー（図示せず）から
異常事態を知らせる警告音を出力し（ステップ５０
４）、シグナルタワー１１６を赤色点滅させるとともに
（ステップ５０５）、ＩＣテストハンドラ１００全体の
動作を停止させる（ステップ５０６）。

【００３８】このようにして、状態管理タスクによっ
て、異常事態発生時の一連の処理が行われ、オペレータ
によって通常動作の再スタートの指示が行われるまで、
ＩＣテストハンドラ１００全体の動作停止状態が維持さ
れる。

【００３９】次に、上述した状態管理タスクからアラー
ムの表示依頼を受けた入出力処理部１６２のアラーム表
示動作について説明する。図６は、入出力処理部１６２
によって行われるアラーム表示の動作手順を示す流れ図
である。状態管理タスクからのアラーム表示依頼を受け
取ると、入出力処理部１６２は、発生した異常事態に対
応した所定のアラームメッセージを表示するとともに
（ステップ６０１）、この内容の補足説明を行うため
に、予め用意されているヘルプファイルを起動する（ス
テップ６０２）。

【００４０】図７は、アラームメッセージの表示画面を
示す図である。同図に示す表示画面に含まれるアラーム
メッセージは、数十桁程度のアラームコードであり、従
来から行われているアラーム表示の内容と同じものであ
る。したがって、操作に熟練していないオペレータは、
その表示を見ただけでは、発生したアラームの内容や解
除の方法を理解することは容易ではない。

【００４１】入出力処理部１６２は、アラームメッセー
ジの表示動作と並行して、アラーム表示の内容解説と異
常事態の解除方法についてのガイド表示がオペレータに
よって要求されているか否かを監視している（ステップ
６０３）。マウス１８０を用いることによって、図７に
示した表示画面内の「ガイド表示」ボタンがオペレータ
によってクリックされると、次に入出力処理部１６２
は、それまで表示していたアラームメッセージに対応す
る具体的な内容解説とアラームの解除方法を表示する
（ステップ６０４）。

【００４２】図８は、ガイド表示ボタンをクリックした
ときの表示画面を示す図である。同図に示すように、こ
の表示画面には、内容解説と解除方法の具体的な内容を
示す文章が含まれているとともに、これらの文章の理解
を容易にする図や表あるいは写真等の静止画が含まれて
いる。したがって、オペレータは、これらの表示内容を
見ることにより、アラームメッセージの意味するところ
を容易に理解することができ、発生したアラームを解除
するにはどのようにすればよいかがわかる。

【００４３】例えば、図８に示した表示画面および後述
する図９、図１０に示す表示画面は、汎用ＯＳであるＷ
ｉｎｄｏｗｓ（登録商標）上でヘルプファイルを実行す
ることにより作成され、表示される。このヘルプファイ
ルは、１つの情報が割り当てられたトピックを複数個集
めたものであり、各トピックの間につながりを持たせ
て、関連する情報を調べやすくしている点に特徴があ
る。図８に示す画面においては、内容解説の文章中や解
除方法の文章中や図、表、静止画中にホットスポットと
称される部分があり、このホットスポットをマウス１８
０によってクリックすることにより、図９に示すよう
に、その部分についての用語の意味等が含まれるポップ
アップウインドウを表示させることができる。あるい
は、画面右上の「？」マークをクリックした後に、用語
の意味等を知りたい事項にマウス１８０のポインタを移
動させてクリックすることにより、上述したポップアッ
プウインドウを表示させることもできる。

【００４４】また、図８に示した表示画面にはさらに詳
細ガイドを表示させる場合を考慮して「詳細ガイド」ボ
タンが用意されている。なお、図８に示した内容解説の
理解が容易であり、発生したアラームの解除方法の理解
も容易である場合には、「詳細ガイド」ボタンを設けな
くてもよい。

【００４５】「詳細ガイド」ボタンが表示されている場
合には、入出力処理部１６２は、詳細ガイドの表示がオ
ペレータによって要求されているか否かを監視しており
（ステップ６０５）、オペレータによって「詳細ガイ
ド」ボタンがマウス１８０を用いてクリックされると、
図８に示した表示画面中の内容解説あるいは解除方法の
文章や図あるいは静止画だけでは理解し難いと思われる
内容についての詳細ガイドを出力する。

【００４６】図１０は、詳細表示ボタンをクリックした
ときの表示画面の具体例を示す図である。同図に示す表
示画面には、図８に示した表示画面には含まれていなか
った補足説明とともに動画あるいはアニメーションが含
まれている。ヘルプファイルにビデオファイルを含ませ
ることにより、ヘルプ画面において動画表示を行うこと
もできる。例えば、落下したＩＣデバイス１１８を回収
するために、他の構造を排除する必要がある場合に、そ
の手順を動画（あるいはアニメーション）によって説明
することができれば、理解も容易であり、操作に熟練し
ていないオペレータであっても、表示にしたがってアラ
ームを解除することができる。また、入出力処理部１６
２は、必要に応じて、図１０に示した表示と並行して、
スピーカ１８４から操作ガイダンス音声を出力する。

【００４７】このようにして表示画面を見ながらオペレ
ータによってアラームが解除された後、再スタートスイ
ッチ（図示せず）が押されると、状態管理タスクは、ユ
ーザインタフェース変換部１４８を介して入出力処理部
１６２に対してアラームメッセージ画面およびこれに関
連するヘルプ画面の表示を停止する旨の指示を送るとと
もに、入出力制御部１４４を介して指示を送って、シグ
ナルタワー１１６を緑色点灯に切り替えるとともにアラ
ームブザーによる警告音の出力を停止する。以後、動作
タスクによる通常動作が再開される。

【００４８】このように、本実施形態のＩＣテストハン
ドラ１００においては、何らかの異常が発生してアラー
ム表示を行ったときに、その具体的な内容やアラーム解
除の方法をオペレータからの要求に応じて図や静止画を
含むヘルプ画面として段階的に表示しており、必要に応
じてさらに用語の解説を表示させたり、動画を含む詳細
ガイド情報を表示させることができる。したがって、各
オペレータは、熟練度に応じて表示内容を選択すること
により、発生したアラームの内容や解除の方法を詳細に
知ることができる。

【００４９】また、試験対象となるＩＣデバイスの追加
や変更等に伴うソフトウエアの変更が生じた場合であっ
ても、この変更されたソフトウエアに対応するヘルプフ
ァイルを同時に変更することにより、表示されたアラー
ム内容とその解説内容等の対応がとれなくなるといった
不都合がなくなる。

【００５０】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、上述した実施形態では、ＩＣデ
バイス１１８が途中で落下したときに発生するアラーム
について考えたが、それ以外の異常事態に対応したアラ
ームについても同様に考えることができる。また、入出
力処理部１６２が使用するＯＳとしてＷｉｎｄｏｗｓ
（登録商標）を考えたが、同等の機能を有するＯＳを用
いるようにしてもよい。

【００５１】また、上述した実施形態では、ユーザイン
タフェースボード１６０にパソコンとしての機能を持た
せるようにしたが、ＩＣテストハンドラ１００とは別に
パソコンを接続し、この接続されたパソコンの画面上で
上述したオンラインヘルプの表示動作を行うようにして
もよい。

【００５２】また、上述した実施形態では、水平搬送式
のＩＣテストハンドラ１００について説明したが、自動
落下方式あるいはこれら２つの方式を組み合わせたＩＣ
テストハンドラにおいて、アラーム発生時のオンライン
マニュアル表示を行うようにしてもよい。

【００５３】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、異常
検出手段によって異常の発生を検出したときにアラーム
表示手段によって所定のアラーム表示を行うとともに、
ヘルプファイル格納手段に格納されているヘルプファイ
ルをヘルプ機能実行手段によって実行してこの表示され
たアラームの内容解説と解除方法についての詳細情報を
表示しており、アラームに対応したヘルプファイルを備
えることにより、発生したアラームに関する詳細な情報
を容易に得ることができる。

【００５４】また、上述したヘルプ機能実行手段によっ
て対話型処理を行うことにより、説明文、図、表、静止
画、動画、アニメーションの少なくとも一つを用いて詳
細情報の表示を行うことにより、発生したアラームに関
する内容解説や解除方法が誰にでも分かりやすくなる。
特に、表示画面の所定箇所が選択指示されたときに、ヘ
ルプ機能実行手段によって、表示する詳細情報の内容を
段階的に切り替えることにより、オペレータの熟練度等
に応じて適切な内容の詳細情報を表示させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態のＩＣテストハンドラの外観図であ
る。

【図２】ＩＣテストハンドラの機構部の概略構成を示す
図である。

【図３】ＩＣテストハンドラの動作を制御する制御機構
の概略を示すブロック図である。

【図４】カストマトレイからテストトレイに載せ換える
場合の動作手順を示す流れ図である。

【図５】通常動作中に異常が発生した場合のＩＣテスト
ハンドラの動作手順を示す流れ図である。

【図６】入出力処理部により行われるアラーム表示の動
作手順を示す流れ図である。

【図７】アラームメッセージの表示画面を示す図であ
る。

【図８】ガイド表示ボタンをクリックしたときの表示画
面を示す図である。

【図９】ポップアップウィンドウを一部に表示させた表
示画面を示す図である。

【図１０】詳細表示ボタンをクリックしたときの表示画
面を示す図である。

【符号の説明】

１００ＩＣテストハンドラ１１２ＬＣＤ１１４キーボード１４２シーケンス制御部１４８ユーザインタフェース（Ｉ／Ｆ）変換部１６２入出力処理部１６４入出力インタフェース（Ｉ／Ｆ）部１８０マウス１８２ハードディスク装置（ＨＤＤ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】異常の発生を検出する異常検出手段と、前記異常検出手段によって異常の発生を検出したとき
に、所定のアラーム表示を行うアラーム表示手段と、表示されたアラームの内容解説と解除方法についての詳
細情報を少なくとも含むヘルプファイルを格納するヘル
プファイル格納手段と、前記ヘルプファイルを実行することにより、前記アラー
ム表示手段によって表示されたアラームの内容解説と解
除方法についての詳細情報を表示するヘルプ機能実行手
段と、を備えることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項２】請求項１において、前記ヘルプ機能実行手段は、対話型処理を行うことによ
って、説明文、図、表、静止画、動画、アニメーション
の少なくとも一つを用いることにより、前記詳細情報の
表示を行うことを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項３】請求項１または２において、前記ヘルプ機能実行手段は、表示画面の所定箇所が選択
指示されたときに、表示する前記詳細情報の内容を段階
的に切り替えることを特徴とするＩＣテストハンドラ。