JPH1140391A - Ｘ線管装置の製造方法およびその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｘ線管収容容器21への絶縁油の充填工程にお
いて、Ｘ線管収容容器21に充填する絶縁油内の気泡を十
分に低減し、絶縁油の充填工程にかかる時間を短縮す
る。 【解決手段】 Ｘ線管収容容器21への絶縁油の供給充填
過程で絶縁油を噴霧するか、絶縁油に対して超音波振動
を付与する。絶縁油の噴霧により、絶縁油に含まれる空
気を脱気する。絶縁油に超音波振動を与えることによ
り、絶縁油に含まれる空気を脱気する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線管収容容器に
絶縁油を充填するＸ線管装置の製造方法およびその製造
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、回転陽極形のＸ線管は、
Ｘ線管自体の冷却と、アノード、カソード間の絶縁のた
め、絶縁油とともにＸ線管収容容器（以下、ハウベと呼
ぶ）内に収容されてＸ線管装置が構成されている。

【０００３】ハウベに絶縁油を充填するには、例えば、
特開平５−１０１７７８号公報に記載されているような
製造装置が用いられる。この製造装置は、図２に示すよ
うに、絶縁油が導かれる油タンク１を有し、この油タン
ク１に揚程ポンプ２を介して油量調整タンク３が接続さ
れ、この油量調整タンク３にハウベ４に着脱自在に接続
される接続治具５が接続されている。接続治具５には、
絶縁油の温度を検知する温度センサ６が取り付けられて
いる。

【０００４】油タンク１および油量調整タンク３には真
空ポンプ７が接続され、接続治具５には残油タンク８を
介して真空ポンプ９が接続されている。残油タンク８に
は揚程ポンプ10が接続されている。

【０００５】ハウベ４には、充填（封入）された絶縁油
の温度上昇に伴う熱膨張を吸収するために、ベローズ11
が設けられている。ベローズ11には、ベローズ11を可動
させてハウベ４の内容積を可変させる油量調整手段12が
連結されている。

【０００６】そして、ハウベ４に絶縁油を充填する場合
には、油タンク１に一定量の絶縁油を導入して貯留し、
真空ポンプ７を作動させて油タンク１および油量調整タ
ンク３の脱気を行なうとともに絶縁油中に含まれる空気
の脱気を行なう。これに並行して、真空ポンプ９を作動
させて残油タンク８およびハウベ４の脱気を行なう。

【０００７】この脱気は、ハウベ４内のＸ線管に高電圧
が印加されるため、ハウベ４内に空気が残留している
と、ハウベ４内での放電の原因となり、さらに、絶縁油
内に気泡が入っていると、耐電圧が低下し、油内放電の
原因になる。

【０００８】脱気完了後、真空ポンプ７，９を停止さ
せ、油量調整手段12によりベローズ11を介してハウベ４
の内容積を縮小させた状態で、揚程ポンプ２を作動させ
て油タンク１内の脱気された絶縁油を油量調整タンク３
および接続治具５を介してハウベ４内に注入する。絶縁
油をハウベ４内および接続治具５内を満たした後、絶縁
油の油面が油量調整タンク３の所定位置に達したら、絶
縁油の注入を停止する。

【０００９】接続治具５に設けた温度センサ６によって
検知される絶縁油の温度とハウベ４の種類とから、ハウ
ベ４に充填する適正油量を求めるとともに、適正油量の
絶縁油をハウベ４内に充填するようにハウベ４の内容積
を可変させた場合の油量調整タンク３における油面の位
置を求める。

【００１０】油量調整手段12によりベローズ11を可動さ
せてハウベ４の内容積を拡大させ、油量調整タンク３に
おける油面が所定位置に達したら油量調整手段12を停止
する。これにより、適正油量の絶縁油がハウベ４内に充
填されたことになる。

【００１１】調整完了後、大気状態に開放し、真空ポン
プ９を作動させて油量調整タンク３、接続治具５の余分
な絶縁油を残油タンク８に吸引する。残油タンク８内の
絶縁油は揚程ポンプ10の作動によって回収タンクなどに
回収する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線管装置の製造方法および製造装置では、油タンク
１、油量調整タンク３、ハウベ４などに絶縁油を導入す
る際、それらに対して絶縁油を滴下によって導入するた
め、絶縁油の脱気を十分に行なっていても、絶縁油自身
が油面に落下したときに気泡を巻き込み、絶縁油内に気
泡が発生しやすい問題がある。

【００１３】この滴下時の気泡の巻き込みを少なくする
ために、油タンク１、油量調整タンク３、ハウベ４など
の内面に絶縁油を沿わせて導入することが考えられる
が、絶縁油内の気泡の発生を十分に抑えることはできな
い。

【００１４】したがって、ハウベ４内での放電を抑制
し、絶縁油の耐電圧を向上させるには、絶縁油の脱気を
長時間かけて十分に行ない、さらに、滴下時に発生した
気泡を長時間かけて絶縁油に溶け込ませる必要があり、
ハウベ４への絶縁油の充填工程全体として長時間がかか
る問題がある。

【００１５】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、Ｘ線管収容容器への絶縁油の充填工程において、
Ｘ線管収容容器に充填される絶縁油内の気泡を十分に低
減し、その上でＸ線管収容容器への絶縁油の充填工程に
かかる時間を短縮できるＸ線管装置の製造方法およびそ
の製造装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のＸ線管装置の製
造方法は、Ｘ線管収容容器内を脱気しながらこのＸ線管
収容容器内に絶縁油を供給充填する工程を備えるＸ線管
装置の製造方法において、前記Ｘ線管収容容器への絶縁
油の供給充填過程で絶縁油を噴霧する工程とを具備して
いるものである。また、Ｘ線管収容容器内を脱気しなが
らこのＸ線管収容容器内に絶縁油を供給充填する工程を
備えるＸ線管装置の製造方法において、前記絶縁油に対
して超音波振動を付与する工程とを具備しているもので
ある。

【００１７】Ｘ線管収容容器に供給充填する絶縁油を噴
霧することによって、または絶縁油に対して超音波振動
を付与することによって、絶縁油中に含まれる空気を効
率よく脱気可能となる。そのため、Ｘ線管収容容器への
絶縁油の充填工程において、Ｘ線管収容容器に充填され
る絶縁油内の気泡を十分に低減し、その上でＸ線管収容
容器への絶縁油の充填工程にかかる時間の短縮を図れ
る。

【００１８】本発明のＸ線管装置の製造装置は、Ｘ線管
収容容器内を脱気しながらこのＸ線管収容容器内に絶縁
油を供給充填する絶縁油供給充填手段を備えるＸ線管装
置の製造装置において、前記絶縁油供給充填手段による
Ｘ線管収容容器への絶縁油の供給充填過程で絶縁油を噴
霧する噴霧手段とを具備しているものである。また、Ｘ
線管収容容器内を脱気しながらこのＸ線管収容容器内に
絶縁油を供給充填する絶縁油供給充填手段を備えるＸ線
管装置の製造装置において、前記絶縁油供給充填手段に
よってＸ線管収容容器に供給充填される絶縁油に対して
超音波振動を付与する超音波振動付与手段とを具備して
いるものである。

【００１９】Ｘ線管収容容器に供給充填する絶縁油を噴
霧手段により噴霧することによって、または絶縁油に対
して超音波振動付与手段により超音波振動を付与するこ
とによって、絶縁油中に含まれる空気を効率よく脱気可
能となる。そのため、Ｘ線管収容容器への絶縁油の充填
工程において、Ｘ線管収容容器に充填される絶縁油内の
気泡を十分に低減し、その上でＸ線管収容容器への絶縁
油の充填工程にかかる時間の短縮を図れる。

【００２０】本発明のＸ線管装置の製造装置は、絶縁油
が溜められる油タンクと、この油タンクから絶縁油が導
入される油量調整タンクと、この油量調整タンクに設け
られ、この油量調整タンクから下流側に導かれた絶縁油
の油量を検知する油量検知手段と、前記油量調整タンク
から絶縁油が導入される補助タンクと、この補助タンク
に設けられ、絶縁油の温度を検知する温度検知手段と、
前記Ｘ線管収容容器に着脱自在に接続され、前記補助タ
ンクから導入される絶縁油をＸ線管収容容器に充填させ
る接続治具と、前記油タンクからＸ線管収容容器に至る
経路中の脱気を行なう脱気手段と、前記Ｘ線管収容容器
の絶縁油が充填される内容積を可変させる油量調整手段
と、前記温度検知手段で検知される絶縁油の温度により
Ｘ線管収容容器に充填する適正油量を求め、この適正油
量と前記油量検知手段で検知される油量とに応じて油量
調整手段を制御する油量制御手段とを具備し、さらに、
前記油タンク、油量調整タンク、補助タンクおよび接続
治具の少なくとも１つにおいて、それらに導入される絶
縁油を噴霧する噴霧手段、または、前記油タンク、油量
調整タンク、補助タンクおよびＸ線管収容容器の少なく
とも１つにおいて、それらに導入される絶縁油に対して
超音波振動を付与する超音波振動付与手段を備してい
る。

【００２１】Ｘ線管収容容器に絶縁油を充填する場合に
は、油タンクに絶縁油を溜め、脱気手段により油タン
ク、油量調整タンク、補助タンク、接続治具およびＸ線
管収容容器およびそれらを接続する配管系の脱気を行な
い、油タンクの絶縁油を油量調整タンク、補助タンクお
よび接続治具を通じてＸ線管収容容器に導く。絶縁油が
Ｘ線管収容容器、接続治具および補助タンクを満たして
油量調整タンクに達し、この油量調整タンクにおいて下
流側に導かれた絶縁油の油量を油量検知手段で検知す
る。補助タンクの温度検知手段で絶縁油の温度を検知す
る。そして、温度検知手段で検知される絶縁油の温度に
よりＸ線管収容容器に充填する適正油量を求め、この適
正油量と油量検知手段で検知される油量とに応じて、油
量調整手段を制御し、Ｘ線管収容容器に適正油量の絶縁
油を充填する。

【００２２】油タンク、油量調整タンク、補助タンクお
よび接続治具の少なくとも１つにおいて、それらに導入
される絶縁油を噴霧手段により噴霧することによって、
または、タンク、油量調整タンク、補助タンクおよびＸ
線管収容容器の少なくとも１つにおいて、それらに導入
される絶縁油に対して超音波振動付与手段により超音波
振動を付与することによって、絶縁油中に含まれる空気
を効率よく脱気可能となる。そのため、Ｘ線管収容容器
への絶縁油の充填工程において、Ｘ線管収容容器に充填
される絶縁油内の気泡を十分に低減し、その上でＸ線管
収容容器への絶縁油の充填工程にかかる時間の短縮を図
れる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明のＸ線管装置の製造
方法およびその製造装置の一実施の形態を図１を参照し
て説明する。

【００２４】図１はＸ線管装置の製造装置の構成図であ
る。

【００２５】図１において、21はＸ線管収容容器（以
下、ハウベと呼ぶ）で、例えば、回転陽極形のＸ線管が
収容されており、Ｘ線管自体の冷却とアノードおよびカ
ソード間の絶縁のために絶縁油が充填される。このハウ
ベ21にはＸ線を出射する窓部22が形成され、この窓部22
を通じて絶縁油が充填される。さらに、ハウベ21には充
填（封入）された絶縁油の温度上昇に伴う熱膨張を吸収
するために、ベローズ23が設けられている。そして、こ
れらのＸ線管、ハウベ21および絶縁油などによってＸ線
管装置が構成されている。

【００２６】また、30はハウベ21に絶縁油を供給充填す
る絶縁油供給充填手段である。この絶縁油供給充填手段
30は油タンク31を有し、この油タンク31にはハウベ21に
充填される絶縁油が配管32を通じて導入されて脱気のた
めに溜められる。なお、配管32は油タンク31の上部に接
続されている。

【００２７】油タンク31の下部には配管33の一端が接続
され、この配管33の途中にバルブ34が接続されている。
このバルブ34は、電動弁であり、配管33の途中の流路の
開閉および絶縁油の流出量が調整される。

【００２８】配管33の他端は、油タンク31より低い位置
に配置された油量調整タンク35の上部に接続されてい
る。この油量調整タンク35には、油量調整タンク35から
下流側に導かれた絶縁油の油量を検知する油量検知手段
36が取り付けられている。この油量検知手段36には、油
量調整タンク35内での油面の高さ位置を検知する油面検
知センサが用いられる。

【００２９】油量調整タンク35の下部には配管37の一端
が接続され、この配管37の他端が、油量調整タンク35よ
り低い位置に配置された補助タンク38の上部に接続され
ている。この補助タンク38には絶縁油の温度を検知する
温度検知手段としての温度センサ39が取り付けられてい
る。

【００３０】補助タンク38の下部にはチューブなどの配
管40の一端が接続され、この配管40の他端が、油量調整
タンク35および補助タンク38より低い位置においてハウ
ベ21の窓部22に着脱自在に装着される接続治具41の上部
に接続されている。

【００３１】また、油タンク31および油量調整タンク35
には第１の脱気系42が接続され、補助タンク38および接
続治具41には第２の脱気系43が接続されている。

【００３２】第１の脱気系42は、脱気手段としての真空
ポンプ44を有し、この真空ポンプ44と油タンク31の上部
とが配管45によって接続されるとともに、油タンク31の
上部と油量調整タンク35の上部とが配管46によって接続
されている。

【００３３】第２の脱気系43は、脱気手段としての真空
ポンプ47を有し、この真空ポンプ47と残油タンク48の上
部とが配管49によって接続され、残油タンク48の上部と
補助タンク38の上部とが配管50によって接続されている
とともに、残油タンク48の上部と接続治具41とがチュー
ブなどの配管51によって接続されている。

【００３４】油タンク31の上部と補助タンク38の上部に
は、第１の脱気系42と第２の脱気系43の真空度を合わせ
るためのバイパス管52が接続されている。

【００３５】残油タンク48の下部には図示しない残油回
収タンクなどに連なる回収管53が接続され、この回収管
53の途中に揚程ポンプ54が接続されている。

【００３６】また、接続治具41が接続されるハウベ21と
は別の種類のハウベに着脱自在に接続される接続治具55
を有し、この接続治具55と配管40，51がチューブなどの
配管56，57によってそれぞれ接続されている。接続治具
55は接続治具41と同様の構造に形成されている。

【００３７】また、ハウベ21のベローズ23には、そのベ
ローズ23を強制的に可動させる油量調整手段58が接続さ
れている。この油量調整手段58には、負圧を用いたシリ
ンダやモータなどが用いられる。

【００３８】また、製造装置全体を制御するコントロー
ラ59を有している。このコントローラ59には、油量検知
手段36および温度センサ39から検知信号が入力される。
このコントローラ59により、バルブ34、真空ポンプ44，
47、揚程ポンプ54、油量調整手段58が制御される。

【００３９】コントローラ59は、真空ポンプ44，47によ
り脱気を行なわせるとともに、この脱気を継続させなが
らバルブ34により油タンク31の絶縁油を流出させる充填
制御手段の機能と、温度センサ39で検知される絶縁油の
温度によりハウベ21に充填する適正油量を求め、この適
正油量と油量検知手段36で検知される油量とに応じて油
量調整手段58を制御する油量制御手段の機能を有してい
る。

【００４０】また、油タンク31、油量調整タンク35、補
助タンク38および接続治具41には、それらの中に上流側
の配管32，33，37，40を通じて導入される絶縁油を噴霧
状（ジェット噴霧）にする噴霧手段61がそれぞれ配設さ
れている。

【００４１】また、少なくともハウベ21には、ハウベ21
内に導入された絶縁油に対して、ハウベ21を介して外部
から超音波振動を付与する超音波振動付与手段62が接続
されている。

【００４２】次に、ハウベ21への絶縁油の充填工程を説
明する。

【００４３】この充填工程は、ハウベ21の着脱作業以外
は、コントローラ59の制御によって自動的に行なう。

【００４４】図１に示すように、絶縁油の充填を行なう
ハウベ21を所定の充填位置に配置し、接続治具41をハウ
ベ21の窓部22に接続し、油量調整手段58をハウベ21のベ
ローズ23に連結するとともに、ハウベ21に超音波振動付
与手段62を接続する。

【００４５】配管32を通じて一定量の絶縁油を油タンク
31に導入する。このとき、絶縁油は噴霧手段61を通じて
油タンク31内に噴霧され、この噴霧によって絶縁油に含
まれる空気が脱気される。また、バルブ34は閉じられて
おり、導入された絶縁油は油タンク31に貯留される。

【００４６】第１および第２の脱気系42，43の真空ポン
プ44，47をそれぞれ作動させ、油タンク31、油量調整タ
ンク35、残油タンク48、補助タンク38、接続治具41、ハ
ウベ21、および各配管中の脱気（１．３Ｐａまたは０．
０１Ｔｏｒｒ）を行なうとともに、油タンク31の絶縁油
中に含まれる空気の脱気を行なう。

【００４７】油量調整手段58によりベローズ23をハウベ
21内に強制的に変位させてハウベ21の内容積を縮小させ
る。

【００４８】第１および第２の脱気系42，43の真空度が
所定値に達したら、真空ポンプ44，47を作動状態のま
ま、すなわち脱気を継続させながらバルブ34を開く。バ
ルブ34を開くと、油タンク31内の絶縁油が少しずつ自重
で流出し、油量調整タンク35、補助タンク38、接続治具
41を通じて、ハウベ21内に充填されていく。この絶縁油
の充填中においても、脱気を並行して行なう。なお、絶
縁油は油量調整タンク35および補助タンク38には溜まら
ずに自重で流出する。

【００４９】そして、油量調整タンク35、補助タンク38
およびハウベ21に導入される絶縁油は、各噴霧手段61を
通じてそれら油量調整タンク35内、補助タンク38内およ
びハウベ21内にそれぞれ噴霧され、この噴霧によって絶
縁油に含まれる空気が脱気される。このとき、超音波振
動付与手段62が作動され、ハウベ21内の絶縁油に超音波
振動が付与され、この超音波振動によって絶縁油に含ま
れる空気が脱気される。なお、振動として超音波振動を
用いることにより、絶縁油に含まれる空気の脱気が効率
よく良好に行なわれる。

【００５０】絶縁油はハウベ21内および接続治具41内を
順次満たし、絶縁油の油面が油量調整タンク35の所定位
置まで上昇したことが油量検知手段36で検知したら、バ
ルブ34を閉じ、油タンク31からの絶縁油の流出を停止さ
せる。同時に、真空ポンプ44，47を停止させるととも
に、第１および第２の脱気系42，43を大気状態に開放す
る。

【００５１】コントローラ59は、温度センサ39で検知さ
れる絶縁油の温度とハウベ21の種類とから、ハウベ21に
充填する適正油量を求めるとともに、適正湯量の絶縁油
をハウベ21内に充填するようにハウベ21の内容積を可変
させた場合の油量調整タンク35における適正油面の位置
を求める。

【００５２】油量調整手段58によりベローズ23を可動さ
せてハウベ21の内容積を拡大させ、油量調整タンク35に
おける油面が所定位置（適正油面＋油面下降量）に達し
たら油量調整手段58を停止する。油量調整手段58を停止
した後も、ベローズ23の内外面の圧力がバランスするま
で油面が下がり、所定時間後に適正油面の位置に達す
る。これにより、適正油量の絶縁油がハウベ21内に充填
されたことになる。なお、油量調整タンク35における油
面が適正油量に適合しない場合には、再度、油量調整手
段58により調整を行なう。

【００５３】調整完了後、第２の脱気系43の真空ポンプ
47のみを作動させて、補助タンク38、接続治具41内の余
分な絶縁油を残油タンク48に吸引する。油量調整タンク
35内の絶縁油は補助タンク38を経由して残油タンク48に
吸引する。

【００５４】残油タンク48に吸引された絶縁油は、揚程
ポンプ54の作動によって回収タンクなどに回収する。

【００５５】そして、ハウベ21から接続治具41を外すこ
とにより、ハウベ21への絶縁油の充填工程が終了する。

【００５６】以上のように、上方から油タンク31、油量
調整タンク35、補助タンク38、接続治具41の順に上下関
係を設定し、真空ポンプ44，47による脱気を継続させな
がら油タンク31の絶縁油を自重で流出させてハウベ21に
充填するため、絶縁油内に気泡を生じさせることがな
く、絶縁油の脱気も十分に行なえ、ハウベ21への絶縁油
の充填工程にかかる時間を短縮できる。

【００５７】さらに、ハウベ21に供給充填する絶縁油を
噴霧手段61により噴霧することによって、または絶縁油
に対して超音波振動付与手段62により超音波振動を付与
することによって、絶縁油中に含まれる空気を効率よく
脱気できるため、ハウベ21への絶縁油の充填工程におい
て、ハウベ21に充填される絶縁油内の気泡を十分に低減
でき、その上でハウベ21への絶縁油の充填工程にかかる
時間を短縮できる。

【００５８】また、油量調整タンク35と接続治具41の間
に配置した補助タンク38に温度センサ39を設けたため、
接続治具41の着脱に伴う温度センサ39の破損などを防止
でき、温度センサ39が確実に作動し、ハウベ21に適正油
量の絶縁油を確実に充填できる。

【００５９】なお、噴霧手段61は、油タンク31、油量調
整タンク35、補助タンク38および接続治具41の全てに配
設することにより脱気効果が高くなるが、それらのうち
の少なくとも１つに配設するだけでもよく、この場合で
も十分な絶縁油の脱気効果を得られる。

【００６０】また、超音波振動付与手段62は、油タンク
31、油量調整タンク35、補助タンク38およびハウベ21の
全てに接続することにより脱気効果が高くなるが、それ
らのうちの少なくとも１つに接続するだけでもよく、こ
の場合でも十分な絶縁油の脱気効果を得られる。しか
も、超音波振動付与手段62は、タンクや容器の外部から
超音波振動を付与するのみならず、絶縁油中に超音波振
動子を配置して絶縁油に対して超音波振動を直接付与す
るようにしてもよい。

【００６１】さらに、噴霧手段61と超音波振動付与手段
62とを併用することにより脱気効果が高くなるが、噴霧
手段61と超音波振動付与手段62とを独立して使用しても
よく、この場合でも十分な絶縁油の脱気効果が得られ
る。

【００６２】なお、脱気にかかる時間をより短縮するに
は、油タンク31、油量調整タンク35、補助タンク38、残
油タンク48は、高さを低く、径方向を小さくして内容積
を縮小することが好ましい。

【００６３】

【発明の効果】本発明のＸ線管装置の製造方法によれ
ば、Ｘ線管収容容器に供給充填する絶縁油を噴霧するこ
とによって、または絶縁油に対して超音波振動を付与す
ることによって、絶縁油中に含まれる空気を効率よく脱
気できるため、Ｘ線管収容容器への絶縁油の充填工程に
おいて、Ｘ線管収容容器に充填される絶縁油内の気泡を
十分に低減でき、その上でＸ線管収容容器への絶縁油の
充填工程にかかる時間を短縮できる。

【００６４】本発明のＸ線管装置の製造装置によれば、
Ｘ線管収容容器に供給充填する絶縁油を噴霧手段により
噴霧することによって、または絶縁油に対して超音波振
動付与手段により超音波振動を付与することによって、
絶縁油中に含まれる空気を効率よく脱気できるため、Ｘ
線管収容容器への絶縁油の充填工程において、Ｘ線管収
容容器に充填される絶縁油内の気泡を十分に低減でき、
その上でＸ線管収容容器への絶縁油の充填工程にかかる
時間を短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示すＸ線管装置の製造
装置の構成図である。

【図２】従来のＸ線管装置の製造装置の構成図である。

【符号の説明】

21 Ｘ線管収容容器（ハウベ） 30 絶縁油供給充填手段 31 油タンク 35 油量調整タンク 36 油量検知手段 38 補助タンク 39 温度検知手段としての温度センサ 41 接続治具 44，47 脱気手段としての真空ポンプ 58 油量調整手段 59 油量制御手段の機能を有するコントローラ 61 噴霧手段 62 超音波振動付与手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線管収容容器内を脱気しながらこのＸ
   線管収容容器内に絶縁油を供給充填する工程を備えるＸ
   線管装置の製造方法において、 前記Ｘ線管収容容器への絶縁油の供給充填過程で絶縁油
   を噴霧する工程を具備していることを特徴とするＸ線管
   装置の製造方法。
2. 【請求項２】 Ｘ線管収容容器内を脱気しながらこのＸ
   線管収容容器内に絶縁油を供給充填する工程を備えるＸ
   線管装置の製造方法において、 前記絶縁油に対して超音波振動を付与する工程を具備し
   ていることを特徴とするＸ線管装置の製造方法。
3. 【請求項３】 Ｘ線管収容容器内を脱気しながらこのＸ
   線管収容容器内に絶縁油を供給充填する絶縁油供給充填
   手段を備えるＸ線管装置の製造装置において、 前記絶縁油供給充填手段によるＸ線管収容容器への絶縁
   油の供給充填過程で絶縁油を噴霧する噴霧手段を具備し
   ていることを特徴とするＸ線管装置の製造装置。
4. 【請求項４】 Ｘ線管収容容器内を脱気しながらこのＸ
   線管収容容器内に絶縁油を供給充填する絶縁油供給充填
   手段を備えるＸ線管装置の製造装置において、 前記絶縁油供給充填手段によってＸ線管収容容器に供給
   充填される絶縁油に対して超音波振動を付与する超音波
   振動付与手段とを具備していることを特徴とするＸ線管
   装置の製造装置。
5. 【請求項５】 絶縁油が溜められる油タンクと、 この油タンクから絶縁油が導入される油量調整タンク
   と、 この油量調整タンクに設けられ、この油量調整タンクか
   ら下流側に導かれた絶縁油の油量を検知する油量検知手
   段と、 前記油量調整タンクから絶縁油が導入される補助タンク
   と、 この補助タンクに設けられ、絶縁油の温度を検知する温
   度検知手段と、 前記Ｘ線管収容容器に着脱自在に接続され、前記補助タ
   ンクから導入される絶縁油をＸ線管収容容器に充填させ
   る接続治具と、 前記油タンクからＸ線管収容容器に至る経路中の脱気を
   行なう脱気手段と、 前記Ｘ線管収容容器の絶縁油が充填される内容積を可変
   させる油量調整手段と、 前記油タンク、油量調整タンク、補助タンクおよび接続
   治具の少なくとも１つにおいて、それらに導入される絶
   縁油を噴霧する噴霧手段と、 前記温度検知手段で検知される絶縁油の温度によりＸ線
   管収容容器に充填する適正油量を求め、この適正油量と
   前記油量検知手段で検知される油量とに応じて油量調整
   手段を制御する油量制御手段とを具備していることを特
   徴とするＸ線管装置の製造装置。
6. 【請求項６】 絶縁油が溜められる油タンクと、 この油タンクから絶縁油が導入される油量調整タンク
   と、 この油量調整タンクに設けられ、この油量調整タンクか
   ら下流側に導かれた絶縁油の油量を検知する油量検知手
   段と、 前記油量調整タンクから絶縁油が導入される補助タンク
   と、 この補助タンクに設けられ、絶縁油の温度を検知する温
   度検知手段と、 前記Ｘ線管収容容器に着脱自在に接続され、前記補助タ
   ンクから導入される絶縁油をＸ線管収容容器に充填させ
   る接続治具と、 前記油タンクからＸ線管収容容器に至る経路中の脱気を
   行なう脱気手段と、 前記Ｘ線管収容容器の絶縁油が充填される内容積を可変
   させる油量調整手段と、 前記油タンク、油量調整タンク、補助タンクおよびＸ線
   管収容容器の少なくとも１つにおいて、それらに導入さ
   れる絶縁油に対して超音波振動を付与する超音波振動付
   与手段と、 前記温度検知手段で検知される絶縁油の温度によりＸ線
   管収容容器に充填する適正油量を求め、この適正油量と
   前記油量検知手段で検知される油量とに応じて油量調整
   手段を制御する油量制御手段とを具備していることを特
   徴とするＸ線管装置の製造装置。