JPH1145661A - 平面表示基板の製造方法および平面表示基板製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板の搬送時における撓み量を低減す
ることが可能な技術を提供すること。 【解決手段】 平面表示基板の加工処理を行う複数台の
加工手段を有し、前記平面表示基板を１枚ずつ各加工手
段に搬送して所定の加工処理を順次行う平面表示基板の
製造方法であって、前記加工手段を所定のグループに分
け、該各グループ間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回
させるステップと、各グループ内で各加工手段間に前記
平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、前記各
加工手段間を巡回している平面表示基板から所定の平面
表示基板を前記加工手段に搬送するステップとからな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面表示基板の製
造方法および平面表示基板製造装置に関し、特に、液晶
表示装置もしくはプラズマ表示装置等の平面表示基板を
製造工程間および主要製造装置間に当該表示装置基板を
搬送するための搬送装置に適用して有効な技術に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の平面表示基板製造装置である液晶
表示基板製造装置では、図１４に示すように、基板材料
１４０１であるガラス基板を洗浄および乾燥するステッ
プ１と、たとえば、スパッタ法で第１膜（２ａ）を成膜
した後、回転塗布法で第１膜（５ａ）のホトレジストを
成膜するステップ２と、露光および現像によってホトレ
ジストパターンを形成するステップ３と、パターンが正
常に形成できたかを検査するステップ４と、イオンミー
リング法によってパターンを形成した後図示しない酸素
プラズマ法によってレジストパターンを除去するステッ
プ５と、形成したパターンの検査を行うステップ６とか
らなり、以上のプロセスを繰り返して行うことによっ
て、第２膜（２ｂ，５ｂ）のパターン形成を行ってい
た。さらには、平面表示基板の製造としては、ガラス基
板に前述の手順で所定のパターンを形成した後、組立お
よび次工程加工を行うステップ７と、完成した表示基板
を入庫する等のステップ８とからなっていた。

【０００３】このように、従来の平面表示基板の製造で
は、ガラス基板面に蒸着・スパッタ等の物理的作製法で
成膜・パターン形成を行う工程と、スプレー・塗布等の
化学的作製法で成膜・パターン形成を行う工程とを組み
合わせた製造工程を繰り返すことによって、平面表示基
板に必要なパターンを基板表面上に形成していた。した
がって、真空内で成膜・パターン形成等を行う物理的製
造装置と、溶剤等の化学薬品で成膜・パターン形成を行
う化学的製造装置とでは、装置を設置する作業環境管理
等の安全性の面から、一般的には、それぞれの製造装置
は異なる部屋に配置されていた。

【０００４】図１５は、従来の物理的製造装置と化学的
製造装置との配置場所の一例を説明するための図であ
り、特に、図１５（ａ）は建屋の１階（一床面）に全て
の製造装置を配置した場合であり、図１５（ｂ）は建屋
の１階と２階とでそれぞれ装置の配置を分けたすなわち
二床面を使用した場合である。このように、従来では、
物理的製造装置室と化学的製造装置室と関連する材料の
保管室および製造装置の保守室とは、それぞれ異なる部
屋に分けて配置されていた。

【０００５】したがって、従来の平面表示基板の製造装
置では、ガラス基板上に所定の膜もしくはパターンを形
成する各製造装置と共に、各部屋に配置された製造装置
間および各部屋間にガラス基板を搬送する搬送装置も平
面表示基板の信頼性およびコストに重要な位置を占めて
いた。

【０００６】次に、図１６に従来の主要搬送装置を用い
た基板搬送システムの全体概要を説明するための図を示
し、以下、図１６に基づいて、従来の基板搬送システム
について説明する。ただし、図１６は製造装置１６０
１，１６０２，１６０３間を数種の搬送装置で接続し、
ガラス基板を連続的に搬送処理する製造工程の代表レイ
アウト配置の一例を示すものである。

【０００７】この基板搬送システムは、ガラス基板１６
０４を複数枚収納するカセットホルダ１６０５ａ，１６
０５ｂ、カセットホルダ１６０５ａ，１６０５ｂからガ
ラス基板１６０４を移載する移載ロボット１６０６ａ，
１６０６ｂ、搬送位置決め装置１６０７ａ，１６０７ｂ
および製造装置１６０１，１６０２，１６０３間の搬送
を行う搬送装置１６０８，１６０９で構成されており、
その基本動作は、まず、カセットホルダ１６０５ａに収
納したガラス基板１６０４を移載ロボット１６０６ａで
矢印で示す方向に移動することによって、搬送位置決め
装置１６０７ａに移載する。次に、位置決め装置１６０
７ａが移載されたガラス基板１６０４を位置決めした後
に、ガラス基板１６０４は製造装置１６０１に投入され
た後、搬送装置１６０８によって製造装置１６０２に投
入され、その後搬送装置１６０９によって製造装置１６
０３に投入されて所定の加工が施された後に、搬送位置
決め装置１６０７ｂによって位置決めがなされる。この
ガラス基板１６０４は、矢印で示すように、移載ロボッ
ト１６０６ｂによってカセットホルダ１６０５ｂに収納
されていた。この後、このカセットホルダ１６０５ｂに
収納されたガラス基板１６０４は、図示しない搬送装置
によって、カセットホルダ１６０５ｂごと次工程に搬送
されていた。このように、従来はガラス基板をカセット
ホルダに収納し、該カセットホルダごと主要装置間を移
載するいわゆる「Ｃａｓｓｅｔｅ ｔｏ Ｃａｓｓｅｔ
ｅ方式（以下、Ｃ・Ｃ搬送もしくはＣ・Ｃ搬送システム
と記す）」でガラス基板を製造していた。

【０００８】次に、図１７にこのＣ・Ｃ搬送システムに
おけるカセットホルダの概略構成を説明するための図を
示し、以下、図１７に基づいて、カセットホルダの構成
について説明する。ただし、図１７において、特に、図
１７（ａ）はカセットホルダの上面図であり、図１７
（ｂ）はカセットホルダの側面図を示す。

【０００９】カセットホルダ１６０５は、図１７
（ａ），（ｂ）に示すように、枠台１７０１と基板１６
０４を保持する保持桟１７０２とからなり、枠台１７０
１の内側部分の左右対称となる位置に、対となる保持桟
１７０２を複数組設けた構造であった。この保持桟１７
０２の形状としては、たとえば、図１７（ｃ）に示すよ
うに、Ｌ字型あるいは図１７（ｄ）に示すようにＶ字型
の桟でガラス基板１６０４の両端部分を保持する構造と
なっていた。このとき、ガラス基板１６０４の寸法に対
する保持桟１７０２の間隔および保持桟１７０２のピッ
チ間隔は、たとえば、一対の保持桟１７０２で保持され
たガラス基板１６０４の撓み量、および、ガラス基板１
６０４の取り出しおよび収納（図１７（ｃ）中に示す矢
印ａ１，ａ２方向への移動）を行う移載ロボット１６０
６の精度等を考慮した寸法であった。

【００１０】一方、Ｃ・Ｃ搬送システムにおけるガラス
基板１６０４の移動形態（搬送形態）は、図１８（ａ）
に示すように、カセットホルダ１６０５による単位が最
小量であり、たとえば、図１５（ｂ）に示すように、製
造工程を二階床面で配置・構成する場合には、図１８
（ｂ）に示すように、複数個のカセットホルダ１６０５
を積み重ねてワゴン台車やエレベータ等で移動（搬送）
し、一時保管をする場合においても積み重ねをするとい
う方法で行われていた。

【００１１】次に、図１９に成膜後のガラス基板の構造
を説明するための図を、図２０に移載ロボットを説明す
るための図を示し、以下、図１９および図２０に基づい
て、移載ロボットについて説明する。ただし、図１９に
おいて、図１９（ａ）は成膜後のガラス基板の斜視図で
あり、図１９（ｂ）はガラス基板の断面図を示す。ま
た、図２０において、図２０（ａ）は移載ロボットの動
作を説明するための図であり、図２０（ｂ）は移載ロボ
ットのマニホールド部分の拡大図であり、図２０（ｃ）
はガラス基板が撓んだ時の状態を説明するための図であ
る。

【００１２】カセットホルダ１６０５からガラス基板１
６０４を取り出す、あるいは、カセットホルダ１６０５
にガラス基板１６０４を収納する際に、移載ロボット１
６０６によって移載されるガラス基板１６０４は、通
常、図１９（ａ）に示すように、所定の膜１９０１が成
膜されているので、移載ロボット１６０６が保持するこ
とができる範囲が限定される。すなわち、移載ロボット
１６０６が保持できる位置は、図中のａ１，ａ２，ａ３
で示す成膜が行われていない領域の裏面側に限定されて
いた。このため、移載ロボット１６０６はマニホールド
２００１でこの領域の裏面側を保持してガラス基板１６
０４の移載を行っていた。

【００１３】次に、図２０（ａ），（ｂ）に基づいて、
移載ロボットによるガラス基板の移載動作を説明する。
移載ロボット１６０６は、図示しない制御駆動部に連動
している主軸２００２と、該主軸２００２の上端部分に
設けたアーム２００３と、該アーム２００３の先端部分
に設けたマニホールド２００１とから構成されていた。
このマニホールド２００１には、図２０（ｂ）に示すよ
うに、複数個の吸盤２００４が設けられており、この吸
盤２００４に接続される図示しない真空吸着装置のＯＮ
／ＯＦＦによって、ガラス基板の吸着および解除を制御
していた。このため、ガラス基板１６０４の移載では、
まず、図示しない作業者等がガラス基板１６０４の成膜
面（表面）側が下向きに収納されたカセットホルダ１６
０５を昇降台２００５にセットし、該昇降台２００５が
所定位置にまで上昇する（図中の（１）の位置）。次
に、移載ロボット１６０６はアーム２００３を前進させ
た後（図中の（２）の位置）、主軸２００２を下降させ
ることによってマニホールド２００１に配置した吸盤２
００４をガラス基板１６０４に密着させる（図中の
（３）の位置）。次に、移載ロボット１６０６は、図示
しない真空吸着装置を動作させることによってマニホー
ルド２００１にガラス基板１６０４を保持した後、主軸
２００２が上昇させることによって保持したガラス基板
１６０４を保持桟１７０２から持ち上げる（図中の
（４）の位置）。次に、移載ロボット１６０６は、主軸
２００２を１８０°回転させることによってガラス基板
１６０４を搬送装置２００６の側に移動した後（図中の
（６）の位置）、アーム２００３を１８０°回転してガ
ラス基板１６０４の表裏を反転させ、その後に主軸２０
０２を下降させた後に真空を開放することによって、ガ
ラス基板１６０４を搬送装置２００６にまで搬送してい
た（図中の（７）の位置）。ここで、搬送装置２００６
がガラス基板１６０４を図示しない次の製造装置にまで
搬送していた。

【００１４】以上の動作を繰り返し実行することによっ
て、昇降台２００５にセットしたカセットホルダ１６０
５から取り出したガラス基板１６０４を次の製造装置に
まで１枚ずつ搬送していた。

【００１５】次に、図２１にローラー搬送装置の概略構
成を説明するための図を示し、以下図２１に基づいて、
従来のローラー搬送装置について説明する。ただし、図
２１（ａ）はローラー搬送装置の上面図であり、図２１
（ｂ）はローラー搬送装置の側面図である。

【００１６】このローラー搬送装置２１０１は、枠台２
１０２、ローラー２１０３を回転駆動する駆動モータ２
１０４および各ローラー２１０３に駆動力を伝達する第
１および第２のベルト２１０５ａ，２１０５ｂで構成さ
れており、枠台２１０２の上部に２つの基台枠２１０６
ａ，２１０６ｂを設け、該基台枠２１０６ａ，２１０６
ｂの内側左右にシャフトで接続された複数個のＬ字型ロ
ーラー２１０３が固定されている。また、このシャフト
にはプーリー２１０７が設けられており、この各プーリ
ー２１０７が第２のベルト２１０５ｂで接続されると共
に、駆動モータ２１０４と複数個のローラー２１０３の
内の１つのローラーのプーリー２１０７とが第１のベル
ト２１０５ａで接続されている。したがって、駆動モー
タ２１０４の駆動力（回転力）は、まず、第１のベルト
２１０５ａを介して複数個の内の１つのローラー２１０
３に伝達された後、この駆動力が第２のベルト２１０５
ｂを介して各ローラー２１０３に伝達されるので、駆動
モータ２１０４の回転／停止によってローラー上に載置
されたガラス基板１６０４の搬送を制御していた。この
ように、ローラー搬送装置は、各ローラー２１０３の回
転量を制御することによって、ガラス基板１６０４の搬
送を行っていた。

【００１７】次に、図２２にシャトル搬送装置の概略構
成を説明するための図を示し、以下、図２２に基づい
て、従来のシャトル搬送装置について説明する。ただ
し、図２２（ａ）はシャトル搬送装置の上面図であり、
図２２（ｂ）はシャトル搬送装置の側面図を示す。

【００１８】シャトル搬送装置２２０１は、図２２
（ａ），（ｂ）から明らかなように、枠台２２０２、基
台枠２２０３ａ，２２０３ｂを基準に設けたシャトル動
作するレール２２０４ａ，２２０４ｂおよび該レール２
２０４ａ，２２０４ｂを駆動する第１および第２のシリ
ンダ２２０５，２２０６で構成され、この基台枠２２０
３ａ，２２０３ｂと水平に配置されたレール２２０４
ａ，２２０４ｂにはシャフトで接続される２つのスライ
ドアーム２２０７を介して、基台ベース２２０８が接続
されている。また、このスライドアーム２２０７には、
第１のシリンダ２２０５が接続されており、該第１のシ
リンダ２２０５の伸縮動作によって、レール２２０４
ａ，２２０４ｂを上下動させることができる。一方、基
台ベース２２０８には枠台２２０２に固定された第２の
シリンダ２２０６が接続されており、該第２のシリンダ
２２０６の伸縮動作によって基台ベース２２０８を搬送
方向に沿って移動させることができる。したがって、た
とえば、図２２（ａ）の（Ａ１）の位置にガラス基板１
６０４が搬送されたならば、まず、第１のシリンダ２２
０５が動作して、シャフトによって接続されるスライド
アーム２２０７の一端側を基台ベース２２０８の上面上
でスライドさせることにより、スライドアーム２２０７
の他端側に接続されるレール２２０４ａ，２２０４ｂを
連動して上昇させる。次に、この状態で第２のシリンダ
２２０６を動作させることによって、基台ベース２２０
８を搬送方向に前進させた後、第１のシリンダ２２０５
を伸ばしてレール２２０４ａ，２２０４ｂを下降させ
る。次に、第２のシリンダ２２０６を縮めることによっ
て、レール２２０４ａ，２２０４ｂを基台ベース２２０
８ごと元の位置に戻すことによって、ガラス基板１６０
４を図２２（ａ）の（Ａ２）の位置に移動していた。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【００２０】現在の主流となっているブラウン管を用い
た表示装置の大型化に伴い、平面表示装置に対する大型
化の要求も大きくなっており、たとえば、液晶表示基板
では大きさが６５０×５６０ｍｍ、厚さが０．７ｍｍの
ガラス基板が使用されている。しかしながら、このよう
な大きさのガラス基板をカセットホルダに格納した場合
には、図１７（ｂ）に示すように、自重のためにガラス
基板１６０４が大きく撓んでしまい、前述した大きさの
ガラス基板ではその撓み量が１４ｍｍにもなっている。
このため、今後、ガラス基板が更に大型化した場合に
は、この撓み量がさらに大きくなってしまうので、ガラ
ス基板表面に形成したパターンが断線する、移載ロボッ
トによる十分な吸着ができないすなわち吸着ミスを起こ
す、あるいは、カセットホルダの移動時に桟からガラス
基板が外れてしまい他のガラス基板と接触してしまう等
の不具合が発生してしまうという問題があった。また、
このために、液晶表示基板自身の信頼性が低下してしま
うという問題があった。

【００２１】また、従来の液晶表示基板製造装置では、
メモリ等の半導体を製造する製造装置と同様に、各製造
装置と共に搬送装置もガラス基板の大きさに適合するよ
うに製造されていたので、製造するガラス基板の大きさ
を変更する場合には、液晶表示基板製造装置を構成する
全装置を同時に変更しなければならず、変更に要する時
間すなわち製造装置の停止時間が大きくなり、液晶表示
基板の製造単価を上昇させてしまうという問題があっ
た。

【００２２】さらには、従来の液晶表示基板製造装置で
は、図２１，２２に示すように、各搬送装置はガラス基
板を直線的に搬送することを基調としているので、図１
６に示すように、複数台の製造装置からなる各工程内で
も直線を基調とする配置が行われていた。また、Ｃ・Ｃ
搬送システムでは、搬送中のガラス基板の形態は常に横
向きであった。このため、Ｃ・Ｃ搬送システムを用いた
従来の液晶表示基板製造装置では、全製造装置の床面積
に占める搬送装置の割合が大きくなってしまうので、更
にガラス基板面積を拡大するためには液晶表示基板の製
造工場の建屋を大きくしなければならず、液晶表示基板
の製造コストが上昇してしまうという問題があった。ま
た、図１５（ｂ）に示すように、各製造工程ごとに製造
装置を建屋の複数階に分散して配置するという方法もあ
るが、この場合には、カセットホルダによるガラス基板
の搬送量が増加してしまうと共に、製造装置の効率的な
配置を行うことができないので、製造効率を低下させて
しまうという問題があった。

【００２３】また、従来の液晶表示基板製造装置におけ
る各工程内での製造装置の配置は、各製造装置と各搬送
装置とが直接接続されていた。すなわち、従来の液晶表
示基板製造装置では、各工程内での処理は一連の処理と
されていたので、たとえば、図１６に示す製造装置１６
０２までの処理で製造を中断するということが考えられ
ていなかった。このため、各製造装置の保守点検あるい
は装置異常等で一台の製造装置を停止しなければならな
い場合でも、１ライン分の製造装置の全てを停止しなけ
ればならず、生産性が大きく低下してしまうという問題
があった。

【００２４】また、各搬送装置の内部には各製造装置で
使用する溶剤、圧縮空気および電気等を供給するための
排管および配線等が通っていると共に、各搬送装置の側
面は鉄板等によって覆われている。このため、従来では
搬送装置に故障等の不具合が生じた場合には、上面側す
なわちローラーが設置されている側から作業者が作業を
行わなければならなかったので、作業効率が非常に低下
してしまい、生産性が大きく低下してしまうという問題
があった。

【００２５】基板サイズがさらに大型化した場合には、
当該ガラス基板を収納するカセットホルダの大きさも大
型化すると共に、このカセットホルダの洗浄を行う洗浄
装置等の付帯設備も大型化するので、さらに、製造装置
の設置床面積が大きくなってしまうという問題もあっ
た。

【００２６】本発明の目的は、ガラス基板の搬送時にお
ける撓み量を低減することが可能な技術を提供すること
にある。

【００２７】本発明の他の目的は、各製造装置の変更に
伴う製造ラインの停止時間を短縮することが可能な技術
を提供することにある。

【００２８】本発明のその他の目的は、ガラス基板の搬
送効率を向上することが可能な技術を提供することにあ
る。

【００２９】本発明のその他の目的は、製造装置の効率
的な配置を行うことが可能な技術を提供することにあ
る。

【００３０】本発明のその他の目的は、搬送装置の保守
点検等にかかる時間を短縮することが可能な技術を提供
することにある。

【００３１】本発明のその他の目的は、１台の製造装置
の故障に伴う生産効率の低下を小さくすることが可能な
技術を提供することにある。

【００３２】本発明のその他の目的は、ガラス基板の変
更に伴う付帯設備の変更を最小限にすることが可能な技
術を提供することにある。

【００３３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００３４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００３５】（１）平面表示基板の加工処理を行う複数
台の加工手段を有し、前記平面表示基板を１枚ずつ各加
工手段に搬送して所定の加工処理を順次行う平面表示基
板の製造方法であって、前記加工手段を所定のグループ
に分け、該各グループ間に前記平面表示基板を縦姿勢で
巡回させるステップと、各グループ内で各加工手段間に
前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、前
記各加工手段間を巡回している平面表示基板から所定の
平面表示基板を前記加工手段に搬送するステップとから
なる。

【００３６】（２）前述した（１）に記載の平面表示基
板の製造方法において、前記平面表示基板の周辺部を額
縁状の保持部材で保持し、該保持した状態で前記平面表
示基板を巡回させる。

【００３７】（３）平面表示基板の加工処理を行う複数
台の加工手段を有し、前記平面表示基板を１枚ずつ各加
工手段に搬送して各加工処理を順次行う平面表示基板製
造装置において、前記加工手段を所定のグループに分
け、該各グループ間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回
させる第１の巡回搬送手段と、各グループ内で各加工手
段間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させる第２の巡
回搬送手段と、前記第１の巡回搬送手段と前記第２の巡
回搬送手段との間で前記平面表示基板の移載を行う第１
の移載手段と、前記第２の巡回搬送手段と前記加工手段
との間で前記平面表示基板の移載を行う第２の移載手段
とを具備する。

【００３８】（４）前述した（３）に記載の平面表示基
板製造装置において、前記平面表示基板を周辺部分から
保持する額縁状の基板保持手段を具備し、該基板保持手
段で前記平面表示基板を保持したままで巡回させる。

【００３９】（５）前述した（４）に記載の平面表示基
板製造装置において、前記第１および第２の巡回手段
は、前記基板保持手段の移動経路を規制する移動経路規
制手段を具備する。

【００４０】（６）前述した（５）に記載の平面表示基
板製造装置において、前記移動経路規制手段は、前記平
面表示基板を縦姿勢で搬送する第１の領域と、前記第１
および第２の移載手段の近傍における姿勢が所定の角度
となるようなねじり量を有する第２の領域とからなる。

【００４１】（７）前述した（５）に記載の平面表示基
板製造装置において、前記移動経路規制手段は、前記第
１および第２の移載手段の近傍における前記平面表示基
板の姿勢を前記基板保持手段ごと変角させる変角手段を
具備する。

【００４２】（８）前述した（５）ないし（７）の内の
いずれか１項に記載の平面表示基板製造装置において、
前記基板保持手段は、扁平額縁形状の額縁枠と、該額縁
枠の内側に設けた４以上の保持部材とからなる。

【００４３】（９）前述した（８）に記載の平面表示基
板製造装置において、前記基板保持手段は、前記額縁枠
の一方の側に開口部を覆う保護板を具備する。

【００４４】（１０）前述した（３）ないし（９）の内
のいずれか１項に記載の平面表示基板製造装置におい
て、前記第１および第２の移載手段は、前記平面表示基
板の移動速度に同期して当該平面表示基板の移載を行う
手段である。

【００４５】（１１）前述した（３）ないし（１０）の
内のいずれか１項に記載の平面表示基板製造装置におい
て、前記第１および第２の巡回搬送手段は、前記平面表
示基板を一時的に収納する収納手段を具備する。

【００４６】前述した（１）、（２）の手段によれば、
平面表示基板の製造において、たとえば、加工手段を工
程ごとの所定のグループに分け、搬送装置がこの各グル
ープ間に平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップ
と、各グループ内で各加工手段間に平面表示基板を縦姿
勢で巡回させるステップと、各加工手段間を巡回してい
る平面表示基板から所定の平面表示基板を加工手段に搬
送するステップとからなることによって、平面表示基板
の撓みが発生しやすい横姿勢で搬送する必要が無くなる
ので、搬送中の平面表示基板の撓み量を低減することが
できる。

【００４７】また、平面表示基板を縦姿勢で搬送するこ
とによって、全製造装置に占める搬送装置の設置床面積
を減少させることができるので、製造装置の効率的な配
置を行うことができる。

【００４８】さらには、平面表示基板の周辺部を額縁状
の保持部材で保持して巡回させることによって、巡回中
の平面表示基板の撓み量をさらに減少させることができ
るので、搬送中に生じる信号線の断線等を防止できる。
したがって、平面表示基板の信頼性を向上することがで
きる。また、断線等が原因となる不良品数すなわち平面
表示基板の製造歩留まりを向上することができるので、
平面表示基板の生産効率を向上することができる。

【００４９】前述した（３）〜（１０）の手段によれ
ば、加工手段をたとえば製造工程ごとに所定のグループ
に分け、第１の巡回手段が該各グループ間に平面表示基
板を縦姿勢で巡回させ、第２の巡回手段が各グループ内
で各加工手段間に平面表示基板を縦姿勢で巡回させてお
き、第１の移載手段が第１の巡回搬送手段と第２の巡回
搬送手段との間で平面表示基板の移載を行い、第２の移
載手段が第２の巡回搬送手段と加工手段との間で平面表
示基板の移載を行うことによって、搬送中の平面表示基
板が占める床面積を減少させることができるので、全製
造装置に占める搬送中の平面表示基板の占める床面積を
減少させることができる。したがって、各加工手段の配
置を自由に設定することができる。また、各グループご
とに平面表示基板の搬送を制御することができるので、
第１および第２の巡回搬送手段の保守点検等にかかる時
間を短縮することができる。さらには、各加工手段の変
更に伴う製造ラインの停止時間を短縮することができ
る。

【００５０】また、縦姿勢で平面表示基板を搬送するこ
とによって、搬送中の平面表示基板の撓み量をさらに減
少させることができるので、搬送中に生じる信号線の断
線等を防止できる。したがって、平面表示基板の信頼性
を向上することができる。また、断線等が原因となる不
良品数すなわち平面表示基板の製造歩留まりを向上する
ことができるので、平面表示基板の生産効率を向上する
ことができる。

【００５１】さらには、従来の平面表示基板製造装置の
搬送装置にように平面表示基板の大きさに搬送装置の大
きさを合わせる必要がないので、容易に大きめの平面表
示基板の搬送を想定した搬送装置を設置しておくことが
できるので、平面表示基板の大きさを変更した場合であ
ってもこの変更に伴う搬送装置の変更をなくすことがで
きる。また、平面表示基板を格納するカセットホルダが
必要なくなるので、平面表示基板の大きさを変更した場
合であっても、カセットホルダの洗浄装置等の付帯設備
の変更を最小限に押さえることができる。平面表示基板
を格納するカセットホルダが必要なくなるので、平面表
示基板をカセットホルダへ格納する作業が不要となるの
で、平面表示基板の搬送効率を向上することができる。

【００５２】ここで、第１および第２の巡回搬送手段に
格納手段を配置することによって、たとえば、加工手段
の１台に故障等が発生したならば、故障した加工装置以
前の加工装置が加工した平面表示基板をこの格納手段に
格納しながら、故障した加工手段よりも後の加工手段に
は、当該格納手段に格納してあった平面表示基板を供給
することによって、故障した加工装置以外を停止させる
ことなく平面表示基板の製造を行うことができる。した
がって、加工手段の故障に伴う生産効率の低下を小さく
することができる。

【００５３】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００５４】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００５５】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態１の平面基板製造装置である液晶表示基板製造装置の
概略構成を説明するための図であり、１００は第１の搬
送装置（第１の巡回搬送手段）、１０１は第２の搬送装
置（第２の巡回搬送手段）、１０２は第１の製造装置
（加工手段）、１０３は第２の製造装置（加工手段）、
１０４は第３の製造装置（加工手段）、１０５は基板着
脱装置、１０６は基板ホルダに保持されたガラス基板、
１０７は基板ホルダ（基板保持手段）、１１０ａは第１
のレール（移動経路規制手段）、１１０ｂは第２のレー
ル（移動経路規制手段）、１１１はトロール、１１２は
支柱、１１３は支柱サポート、１１４はトロール駆動装
置、点線で示す矢印はトロール１１１と各製造装置１０
２，１０４との基板ホルダに保持されたガラス基板１０
６の移動経路を示す。ただし、製造装置１０３と基板着
脱装置１０５との間に示す点線の矢印は、ガラス基板１
０６のみの移動経路を示す。

【００５６】図１において、第１の搬送装置１００は、
液晶表示基板の製造装置の内で、各工程（グループ）間
に巡回してガラス基板１０６を搬送する搬送装置であ
り、その構成は後述する第２の搬送装置と同じとなる。

【００５７】第２の搬送装置１０１は、各工程内におい
て、各製造装置（主要製造装置間）１０２，１０３，１
０４間に巡回してガラス基板を搬送する搬送装置であ
り、巡回経路となるレール１１０ａと、該レール１１０
ａを移動するトロール１１１と、該トロール１１１の動
力源となるトロール駆動装置１１４と、レールを所定の
位置に支える支柱１１２および支柱サポート１１３とか
ら構成される。

【００５８】製造装置１０２，１０３，１０４は、それ
ぞれガラス基板に対する各種成膜処理あるいはエッチン
グ処理等を行う周知の製造装置であり、本実施の形態に
おいては、製造装置１０２，１０４は、たとえば、基板
ホルダ１０７に保持されたままのガラス基板を加工（処
理）することが可能な装置であり、製造装置１０３はエ
ッチング装置等のようにガラス基板を基板ホルダ１０７
から外す必要がある製造装置である。

【００５９】基板着脱装置１０５は、基板ホルダ１０７
にガラス基板１０６を保持させるあるいは基板ホルダ１
０７からガラス基板１０６を外すための装置であり、構
成の詳細については後述する。

【００６０】基板ホルダ１０７に保持されたガラス基板
１０６は、１枚づつ枚葉で保持された状態のガラス基板
を示しており、本実施の形態では、１枚づつ基板ホルダ
１０７で保持した状態で搬送を行うと共に、搬送時のガ
ラス基板１０６の姿勢は縦姿勢となる。なお、基板ホル
ダ１０７の構造については、後に詳述する。

【００６１】第１のレール１１０ａは、各工程内の製造
装置間を巡回するようにループ状に配置されており、そ
の断面形状は当該レール１１０ａに嵌合するトロール１
１１の移動方向がレール１１０ａの延在方向にのみ規制
されるように、たとえば、平板状の形状となっている。
また、この第１のレール１１０ａは、図１（ｂ）に示す
ように、各製造装置１０２，１０３，１０４の上部に配
置されている。一方、第２のレール１１０ｂは液晶基板
の各製造工程間を巡回するようにループ状に配置されて
おり、その断面形状は第１のレール１１０ａと同じ形状
である。なお、第１および第２のレール１１０ａ，１１
０ｂとトロール１１１との関係についての詳細は後述す
る。

【００６２】トロール１１１は、基板ホルダに保持され
たガラス基板１０６を１枚づつ枚葉に第１および第２の
レール１１０ａ，１１０ｂに沿って搬送する手段であ
り、本実施の形態においては、トロール１１１は基板ホ
ルダに保持されたガラス基板１０６を保持するアームを
有する構造となっている。また、このトロール１１１に
保持されるガラス基板１０６の管理法としては、たとえ
ば、一番はじめの成膜工程においてガラス基板１０６上
に四角形を複数個並べた認識用のパターンを設けてお
き、各工程の一番最初の加工装置あるいは主要加工装置
ごとにこの認識用パターンを書き換えるレーザ装置と、
この認識パターンを読み取る周知の読み取り装置とによ
って各加工装置およびトロール１１１で搬送されるガラ
ス基板１０６を管理する。なお、トロール１１１につい
ての詳細は後述する。

【００６３】支柱１１２および支柱サポート１１３は、
第１および第２のレールを固定するための周知の支柱お
よび支柱サポートであり、支柱１１２は建屋の床面およ
び天井のどちらに固定してもよく、本実施の形態１では
天井に固定する。

【００６４】トロール駆動装置１１４は、たとえば、周
知のモータと該モータの駆動力をトロール１１１に伝達
するための周知のワイヤとからなり、このトロール駆動
装置１１１は各ループを描くレールごとに独立してい
る。また、該ワイヤは、たとえば、周知の滑車等を用い
てそれぞれのレールに沿って配置されており、このワイ
ヤと所定のトロール１１１とを接続すると共に、各トロ
ール１１１をリンク棒で接続しておくことによって、各
トロール１１１をそれぞれのレールに沿って移動させ
る。

【００６５】また、本実施の形態１の液晶基板製造装置
においては、第１あるいは第２のレール１１０ａ，１１
０ｂと各装置１０２，１０３，１０４，１０５との間で
の基板ホルダに保持されたガラス基板１０６の受け渡し
には、受け渡し対象となるトロール１１１の移動速度に
同期して受け渡しを行う周知の図示しない移載装置（第
１および第２の移載手段）を用いる。

【００６６】次に、図１に基づいて、本発明の実施の形
態の液晶基板製造装置におけるガラス基板の搬送手順に
ついて説明する。

【００６７】本製造装置へのガラス基板１０６の投入手
順は、従来の製造装置と同様であり、たとえば、従来と
同様の構成の図示しない移載装置によって納入形態であ
る発泡スチロールのケースから格納されているガラス基
板を取り出す。次に、この移載装置は、取り出したガラ
ス基板１０６に基板ホルダ１０７をはめるために、図示
しない基板着脱装置にこの取り出したガラス基板１０６
を移載する。ガラス基板１０６を投入された図示しない
移載装置は、このガラス基板１０６を基板ホルダ１０７
にはめた後、該移載装置が工程間を巡回する第２のレー
ル１１０ｂのトロール１１１に当該ガラス基板１０６を
取り付ける。このときのガラス基板１０６の管理、すな
わち、当該ガラス基板１０６が各レールのどの位置にあ
るか、あるいは、どの工程の製造装置によってどのよう
な加工処理が行われているかの管理については、たとえ
ば、以下に示す手順によって行う。たとえば、移載装置
に設けた図示しない基板ＩＤ識別装置によって基板ＩＤ
を読み取り、該基板ＩＤと各レール上を移動するトロー
ル１１１移動量を制御する図示しないトロール駆動装置
制御手段とに基づいて、図示しない加工状況管理手段が
搬送中および加工中のガラス基板１０６の位置情報を管
理する。

【００６８】第２のレール１１０ｂのトロール１１１に
搬送されたガラス基板１０６が、ａ１で示す位置に到達
すると、図示しないトロール駆動制御手段の出力に基づ
いて製造装置１０２に設けた図示しない移載装置が当該
ガラス基板１０６を製造装置１０２に移載する。製造装
置１０２はこのガラス基板１０６に所定の処理を施した
後、該移載装置がこのガラス基板１０６すなわち基板ホ
ルダ１０７に保持されたガラス基板１０６を第１のレー
ル１１０ａに配置されるトロール１１１がａ２に示す位
置に到達したときに移載する。次に、このガラス基板１
０６がａ３で示す位置に到達したならば、基板脱着装置
１０５に設けた移載装置がガラス基板１０６をこの基板
脱着装置１０５に移載する。ここで、基板脱着装置１０
５は、移載されたガラス基板１０６から基板ホルダ１０
７を外した後、ガラス基板１０６のみを製造装置１０３
に移載して、製造装置１０３で所定の処理を行う。処理
後のガラス基板１０６は、再び、基板脱着装置１０５に
移載された後、この装置によって基板ホルダ１０７を装
着された後、ａ４で示す位置の第１のレール１１０ａの
トロール１１１に移載される。このガラス基板がａ５で
示す位置に到達したならば、製造装置１０４に設けた図
示しない移載装置がこのガラス基板１０６を製造装置１
０４に移載する。次に、このガラス基板１０６は、製造
装置１０４で所定の処理を施された後、図示しない移載
装置によって、処理後のガラス基板１０６をトロール１
１１がａ６で示す位置に到達したときに第１のレール１
１０ａに移載する。

【００６９】ただし、この場合の移載状態、すなわち、
製造装置１０２，１０３および基板脱着装置１０５に設
けた図示しない移載装置にガラス基板１０６を移載する
ときのガラス基板１０６の角度は、図２（ａ）に示すよ
うに、第１および第２のレール１１０ａ，１１０ｂのね
じり量の大きさおよび高さで可変することによって、移
載装置もしくは移載される側である製造装置１０２，１
０４および基板脱着装置１０５に適した角度および位置
でのガラス基板の移載を行うことができる。たとえば、
図２（ａ）のＡ部（第２の領域）に示すように、レール
のねじり量を９０°とすることによって、ガラス基板１
０６を床面に対して水平に保持して移載する、あるい
は、Ｃ部（第１の領域）に示すように、通常の搬送高さ
であるＢ部（第１の領域）に対して、低い位置でガラス
基板１０６の移載を行うことができる。ただし、標準の
搬送形態としては、図２のＢ部に示すように、床面に対
してガラス基板１０６を垂直姿勢に保持すると共に、進
行方向と水平になるように保持する場合がガラス基板に
かかる加重および搬送に伴うスペースの点で最も適して
いることはいうまでもない。

【００７０】トロール１１１が図２（ａ）のＡ部にある
場合のレールとトロール１１１との関係は、図２（ｂ）
に示すＡ部のａ−ａ’での断面図から明らかなように、
トロール１１１に設けた４個の車輪２０１でレール（た
とえば、第１のレール１１０ａ）を挟み込んでいる。し
たがって、レールのねじり量によって、トロール１１１
の角度すなわちアーム２０２に固定するガラス基板１０
６の角度を任意に設定することが可能となる。また、こ
のときのレールの断面形状は、車輪２０１の断面形状に
沿う形状とすることによって、レールのねじり量にした
がったトロール１１１の角度を実現できる。また、図２
（ｃ）はトロール１１１がＢ部に到達した時の断面図で
あり、この場合においても図２（ｂ）に示すように、レ
ールを車輪２０１で挟み込んでおくことによって搬送中
のガラス基板１０６が進行方向に対してふらつくことを
防止できる。

【００７１】次に、図３および図４に本実施の形態１の
基板ホルダの概略構成を説明するための図を、図５およ
び図６に本実施の形態１の基板ホルダの詳細な構成を説
明するための図を示し、以下、図３〜６に基づいて、基
板ホルダの構成を説明する。ただし、図３（ａ），図５
（ａ）は基板ホルダの上面図を、図３（ｂ），図５
（ｂ）は基板ホルダの側面図、図３（ｃ），３（ｄ）は
基板ホルダによるガラス基板の保持原理を説明するため
の図である。また、図４（ａ）は基板ホルダで保持した
ガラス基板を水平姿勢（横姿勢）で搬送する場合の最小
搬送量を説明するための図であり、図４（ｂ）は保持し
たガラス基板を垂直姿勢で搬送する場合の最小搬送量を
説明するための図であり、図４（ｃ）は保持したガラス
基板を水平姿勢で一時保管もしくは収納する場合の保持
形態を説明するための図であり、図４（ｄ）は保持した
ガラス基板を垂直姿勢で一時保管もしくは収納する場合
の保持形態を説明するための図である。さらには、図６
（ａ）は本実施の形態の基板ホルダの支持具の詳細な構
造を説明するための図であり、図６（ｂ）は保持駒部分
の詳細な構造を説明するための図である。

【００７２】図３（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施
の形態の基板ホルダ１０７は、扁平額縁形状の４角形の
ホルダ枠３０１と、各辺の内側すなわちガラス基板側１
０６に各辺当たり１〜２個を設けた保持駒３０２（保持
部材）と、ホルダ枠３０１上に設けた基板ホルダの平面
方向と垂直をなす方向に設けた支持具３０３とからな
る。

【００７３】本実施の形態１の基板ホルダにおいては、
図３（ｂ）〜（ｄ）に示すように、保持駒３０２は、ガ
ラス基板１０６を支持する側がコの字型をしており、こ
の保持駒３０２が移載装置あるいは基板脱着装置１０５
によってホルダ枠３０１内に引き込まれることによっ
て、ガラス基板１０６の保持と解除とを行う。すなわ
ち、ガラス基板１０６の保持時には、この保持駒３０２
は、図３（ｄ）に示すように、ガラス基板１０６側すな
わち基板ホルダの内側に迫り出すことによってコの字の
部分でガラス基板１０６を保持する。一方、ガラス基板
１０６をこの基板ホルダ１０７から外すあるいはガラス
基板１０６をこの基板ホルダ１０７に保持させる場合に
は、図３（ｃ）に示すように、保持駒３０２をホルダ枠
３０１内に引き込ませた状態でガラス基板をホルダ枠３
０１内に位置合わせした後、この保持駒３０２を保持位
置に戻すことによって、ガラス基板１０６の保持を行
う。

【００７４】また、ガラス基板１０６の基本的な搬送形
態は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、枚葉すなわち
１枚ずつであり、第１あるいは第２のレール１１０ａ，
ｂから一時的にガラス基板１０６を退避させて一時的な
保管および収納を行う場合には、図４（ｃ），（ｄ）に
示すように、ホルダ枠３０１に設けた支持具３０３が保
持するガラス基板１０６同士が接触することを防止する
ことができるので、基板ホルダ１０７を横姿勢および縦
姿勢で積み重ねておくことができる。

【００７５】次に、図５および図６に基づいて、本実施
の形態の基板ホルダの詳細な構造について説明する。

【００７６】図５（ａ），（ｂ）に示すように、本実施
の形態１の基板ホルダは、ホルダ枠３０１内部に各保持
駒３０２を引き込ませるすなわち保持駒３０２の内側方
向への凸量を操作するための開閉孔５０１を有してい
る。したがって、移載装置および基板脱着装置は、この
開閉孔５０１位置と同じ位置に、たとえば、棒状の突起
を有する機構を用いることによって、ガラス基板１０６
の脱着を容易に行うことができる。また、図５（ｂ）に
示すように、保持具３０３の先端形状を凸形状とすると
共に、該保持具３０３の反対側の形状を先端の形状にし
たがった形状として、たとえば、凹形状とすることによ
って、特に、保持したガラス基板１０６を横姿勢で積み
重ねた場合の安定性を向上できる。すなわち、支持具３
０３は、図６（ａ）に示すように、額縁状の２個のホル
ダ枠３０１を固定するための凸形状の支持ピン６０１と
凹形状のテーパナット６０２とから構成されており、２
個のホルダ枠３０１に支持ピン６０１の形状に従う孔と
テーパナット６０２の形状に従う孔とを設け、重ね合わ
せたホルダ枠３０１を勘合させた支持ピン６０１とテー
パナット６０２とで固定することによって、本実施の形
態１の基板ホルダ１０７を構成する。また、図６（ａ）
に示すように、テーパナット６０２の形状は、支持ピン
６０１の先端部分の形状と同じ傾斜を有する凹形状とな
っているので、この基板ホルダ１０７を重ね合わせたと
きにその安定性が向上する。

【００７７】一方、保持駒３０２の詳細構造は、たとえ
ば、図６（ｂ）に示すように、コの字型の保持駒３０２
の一部分に開閉孔５０１から差し入れた開閉ピン６０５
が貫通する孔を設けておくと共に、保持駒３０２をホル
ダ枠３０１の内側の方向に押し出すためのバネ６０３を
コの字部分と反対の側に設けることによって、図６
（ｂ）に示すように、通常時は、常に保持駒３０２がホ
ルダ枠３０２の内側方向に押し出されるようにしてお
く。このとき、開閉孔５０１の中心軸に対して保持駒３
０２に設けた孔（貫通孔）６０４の中心軸がホルダ枠３
０１の内側方向にずれるように保持駒３０２を配置する
ことによって、開閉ピン６０５の挿入によって保持駒３
０２をバネ６０３を圧縮させる方向（図中のｃ方向）す
なわちホルダ枠３０１の内部に引き込ますことができる
ので、ガラス基板１０６の脱着が可能となる。また、ガ
ラス基板１０６をセットした状態すなわち開閉ピン６０
５を引き抜いた場合の保持駒３０２は、ガラス基板１０
６に接触するまでバネ６０３によって図中のｄ方向に押
し出され、バネ６０３による押し出し力とガラス基板を
押す力とがバランスした状態でガラス基板１０６を保持
する。

【００７８】図７は本実施の形態１のトロールの概略構
成を説明するための図であり、以下、図７に基づいてト
ロールの構造について説明する。ただし、図７（ａ）は
トロールの上面図であり、図７（ｂ）はトロールの側面
図である。

【００７９】図７（ａ），（ｂ）から明らかなように、
トロール１１１は第１および第２のレール１１０ａ，ｂ
を両側から挟み込む４個の車輪２０１と、該車輪２０１
をトロール本体７０１に固定する第１の軸ピン７０２
と、隣接するトロールを接続するリンク棒７０３と、該
リンク棒７０３をトロール本体に固定する第２の軸ピン
７０４と、アーム２０２とから構成される。特に、リン
ク棒７０３は、図７（ｂ）から明らかなように、トロー
ル本体７０１に対して可動するように第２の軸ピン７０
４で固定されているので、第１および第２のレール１１
０ａ，ｂにねじれ等があった場合でも当該レールに沿っ
て移動することが可能である。

【００８０】次に、図８に本実施の形態のアームの概略
構成を説明するための図を示し、以下、図８に基づいて
アームの構造について説明する。ただし、図８（ａ）は
アームの正面図であり、図８（ｂ）はアームの側面図で
ある。

【００８１】図８から明らかなように、アーム２０２
は、アーム本体８０１、開閉軸８０２、補助アーム８０
３、フックアーム８０４および引っ張りスプリング８０
５から構成される。基板ホルダ１０７に設けた４個の支
持ピン６０１の内、隣接する支持ピン６０１を両側から
挟み込んで基板ホルダ１０７を保持するフックアーム８
０４は、アーム軸ピン８０６によりアーム本体８０１に
固定されている。このフックアーム８０４の一端側は、
補助アーム８０３の一端側と周知の軸ピンによって固定
されると共に、他端側は支持ピン６０１を保持するため
のフックが設けられている。また、補助アーム８０３の
他端側は、開閉軸８０２の一端側に周知の軸ピンによっ
て固定されると共に、引っ張りスプリング８０５が設け
られている。したがって、フックアーム８０４の開閉状
態は、この引っ張りスプリング８０５によって保持され
る。ただし、アーム本体８０１は、前述するようにトロ
ール本体７０１に固定されている。したがって、アーム
２０２のフックアーム８０４で保持されたガラス基板１
０６は、トロール１１１の角度すなわち第１および第２
のレール１１０ａ，ｂのねじれ量に応じた角度に設定で
きる。

【００８２】次に、図８に基づいて、本実施の形態１の
アームの動作について説明すると、まず、所定の移載位
置に設けた図示しない開閉動作具が開閉軸８０２の他端
側をａ方向に動作（移動）させると、該開閉軸８０２の
一端側に接続される補助アーム８０３の一端側が図中の
ｂ方向に引かれるので、この補助アーム８０３の動作に
連動してフックアーム８０４の一端側も図中のｂ方向に
引かれる。したがって、フックアーム８０４はアーム軸
ピン８０６を回転中心として回転して、その他端側のフ
ック部分が図中のｃ方向に移動し、２個の支持ピン６０
１をそれぞれフッキングすなわち固定する。一方、ガラ
ス基板１０６の解放時の動作においては、前述する動作
と逆の動作となるので、説明は省略する。

【００８３】次に、図９に本実施の形態の基板脱着装置
の概略構成を説明するためのブロック図を示し、以下、
図９に基づいて基板脱着装置の構造を説明する。ただ
し、図９（ａ）は基板脱着装置の上面図であり、図９
（ｂ）は基板脱着装置の側面図である。

【００８４】図９（ａ）に示すように、基板脱着装置１
０５は、当該装置全体を固定する枠台９０１、基台ベー
ス９０２，９０３、固定具９０５およびシリンダ９０７
で構成される。基台ベース９０２の上面側には基板ホル
ダ１０７の位置決めを行うと同時に、脱着時の基板ホル
ダ１０７を支持する支持ピン９０４が設けられている。
この支持ピン９０４の配置位置は、基板ホルダ１０７に
設けられた支持具３０３の位置に相当し、その取り付け
個所は枠台９０１である。また、基台ベース９０３の上
面側には、基板ホルダ１０７の保持駒３０２の開閉を行
うための開閉ピン９０６が、基板ホルダ１０７の開閉孔
５０１に相当する位置に設けられている。一方、シリン
ダ９０７は一端側がこの基台ベース９０３に固定されて
いると共に、他端側が枠台９０１に固定されているの
で、たとえば、図示しない制御装置がこのシリンダ９０
７を伸収縮させることによって、基板ホルダ１０７から
のガラス基板１０６の脱着を行うことができる。また、
シリンダ９０７の伸収縮によってこの基板脱着装置１０
５から基板ホルダ１０７が外れないように、基板ホルダ
１０７を当該基板脱着装置１０５に固定するための固定
具９０５が、枠台９０１の上部すなわち上面部分に設け
られている。

【００８５】次に、図９に基づいて、本実施の形態の基
板脱着装置の動作を説明すると、まず、ガラス基板１０
６を保持する基板ホルダ１０７を図示しない他の移載装
置が当該基板脱着装置１０５の所定の位置に載せる（図
中の矢印ａ）。次に、支持ピン９０４と基板ホルダ１０
７のテーパナット６０２とが嵌合する位置にこの基板ホ
ルダ１０７が位置決めされた後、固定具９０５によって
基板ホルダ１０７が固定される（図中の矢印ｂ）。この
後、図示しない制御装置の指示に基づいて、シリンダ９
０７が伸張すなわち上昇することによって（図中の矢印
ｃ）、基台ベース９０２面上に設けた開閉ピン９０６が
基板ホルダ１０７の開閉孔５０１に貫通されるので、保
持駒３０２が開き、ガラス基板１０６が取り出し可能と
なる。ここで、たとえば図示しない従来の吸着手段を用
いた移載装置がこのガラス基板１０６を吸着して移載す
る。ただし、基板ホルダ１０７へのガラス基板の装着
は、前述する動作の逆の手順となるので、説明は省略す
る。

【００８６】以上説明したように、本実施の形態の液晶
基板製造装置では、製造工程間にガラス基板１０６を巡
回させる第２のレール１１０ｂと、各工程間においてそ
れぞれの製造装置間にガラス基板を巡回させる第１のレ
ール１１０ａとを設けると共に、基板ホルダ１０７で保
持して縦姿勢でガラス基板１０６を搬送することによっ
て、搬送時におけるガラス基板１０７の占める床面積を
減少することができるので、製造装置全体に占める搬送
装置の床面積を減少することができる。また、従来の搬
送装置のようにガラス基板１０６の大きさに搬送装置の
大きさを適合させる必要がないので、容易に大きめのガ
ラス基板１０６の搬送を想定した搬送装置を予め設置し
ておくことができる。したがって、ガラス基板１０６の
大きさを変更した場合であっても変更に伴う搬送装置の
変更をなくすことができる。さらには、ガラス基板１０
６の移載等を基板ホルダ１０７に保持して行うことによ
り、カセットホルダ等のガラス基板の大きさに依存する
付帯設備等を減少させることができるので、ガラス基板
１０６の大きさの変更に伴う搬送装置以外の他の付帯設
備等の変更を最小限に押さえることができる。

【００８７】また、各ラインごとにそれぞれ加工途中の
ガラス基板１０６を一時保管もしくは収納するための収
納部を容易に設けることができるので、この収納部を設
けることによって、各製造装置の変更に伴う製造ライン
の停止を各ラインごとにできるようになり、製造装置の
変更に伴うラインの停止時間を短縮することができる。
さらには、搬送装置の保守点検等にかかる時間を短縮す
ることができる。また、１台の製造装置の故障した場合
等には、この故障した製造装置に関係する処理の直前の
処理までは行うことができるので、製造装置の故障に伴
う生産効率の低下を小さくすることができる。

【００８８】さらには、搬送時には基板ホルダ１０７に
保持してガラス基板を搬送するので、ガラス基板１０６
の搬送中における撓み量をさらに低減することができ
る。したがって、配線等のパターンにかかる不要な力を
減少することができるので、液晶表示基板の信頼性を向
上できる。

【００８９】また、図１に示すように、ガラス基板の搬
送装置を製造工場の建屋内で立体的に構成することがで
きるので、製造装置の効率的な配置を行うことができ
る。したがって、ガラス基板１０６の搬送効率を向上す
ることができる。

【００９０】本実施の形態においては、納入されたケー
スからガラス基板を取り出す時にのみ基板ＩＤを読み取
る構成としたが、これに限定されることはなく、たとえ
ば、各レール間および製造装置とレール間とにガラス基
板１０６を移載する移載装置に基板ＩＤを読み取るため
の装置を設け、各移載点ごとに基板ＩＤの確認をしても
よいことはいうまでもない。

【００９１】また、レールの形状は、平板状に限定され
ることはなく、たとえば、以下に説明するようなＣ字型
等でもよいことはいうまでもない。

【００９２】さらには、前述したトロール１１１で搬送
されるあるいは各加工装置に投入されるガラス基板１０
６の管理法としては、周知のレーザーマーカによってガ
ラス基板にそれぞれ固有番号（記号）を入れ、各工程の
一番最初の加工装置あるいは主要加工装置にこの固有番
号を読み取る読み取り装置を設け、この番号に基づい
て、ガラス基板１０６を管理してもよいことはいうまで
もない。他の方法として、図２３に示すように、基板ホ
ルダ１０７のホルダ枠３０１に磁気メモリ板２３０１を
設け、この磁気メモリ板２３０１に管理Ｎｏ．等を書き
込んでおき、各工程内の所定の加工装置あるいは主要加
工装置ごとにこの磁気メモリ板２３０１の情報を読み出
す読み取り装置を設けて管理してもよい。この場合に
は、特に、磁気メモリ板２３０１に書き込んだ情報の書
き換えが容易であるので、作業者あるいは加工装置等の
情報等が必要に応じて容易に追加もしくは書き換えでき
るという効果がある。その他の方法としては、図２４
（ａ）の側断面図および図２４（ｂ）の上面図に示すよ
うに、基板ホルダ１０７のホルダ枠３０１の一部分に１
個以上の通過孔２４０１と該通過孔２４０１の開閉（矢
印のａｂ方向にフラグ２４０２を移動させることによっ
て行う）を行うフラグ２４０２とを設け、たとえば、図
２４（ｃ）に示すように、通過孔２４０１の一方の側か
らダイオード２４０３等で光を照射し、他方の側の検出
器で各通過孔２４０１を光が通過したか否かを検出する
ことによって、この通過孔２４０１の光の通過パターン
によって基板ホルダ１０７および該ホルダ１０７のガラ
ス基板１０６を識別することができる。したがって、た
とえば、各工程の一番最初の加工装置あるいは主要加工
装置に図２４（ｃ）に示す通過光の読み取り装置を設置
しておくことによって、基板ホルダ１０７およびこのホ
ルダに格納されるガラス基板１０６の管理を行うことが
できる。この場合、基板ホルダ１０７の耐熱性を向上す
ることができるので、たとえば、配向膜等の加工を行う
加熱炉（約２００℃）にガラス基板１０６と共に基板ホ
ルダ１０７を投入することができ、基板ホルダ１０７か
らガラス基板１０６を外す必要が無くなる。したがっ
て、製造効率を向上することができる。また、基板ホル
ダ１０７からガラス基板を外すための装置が不要となる
ので、製造ラインを安価に製造でき、液晶表示基板の製
造コストを低減できる。

【００９３】（実施の形態２）図１０は本発明の実施の
形態２の液晶表示基板製造装置における搬送装置の概略
構成を説明するための図であり、１００１，１００２は
搬送レール、１００３はトロール、１００４はリンク
棒、１００５はアーム、１００６は変角装置（変角手
段）、１００７は支柱、１００８は第１の支持サポー
ト、１００９は第２の支持サポート、１０１０は第３の
支持サポート、１０１１は駆動部、１０１２は変角レー
ル、１０１３は車輪を示す。ただし、図１０において、
図１０（ａ）は実施の形態２の搬送装置の側面図であ
り、図１０（ｂ）は図１０（ａ）におけるＡ−Ａ’線に
よる実施の形態２の搬送装置の断面図である。

【００９４】ただし、本実施の形態２における液晶表示
基板製造装置は、実施の形態１の液晶表示基板製造装置
の搬送装置における変角部分すなわち第１および第２の
レール１１０ａ，ｂのねじり部分に相当する部分が異な
るのみで、他の構造は実施の形態１と同様となるので、
以下の説明においては、その構造が異なる変角部分につ
いて説明する。また、本実施の形態２においても、変角
を必要とする個所の全ての個所に以下に説明する変角装
置を用いる必要はなく、実施の形態１に示すように、レ
ールのねじり量によって変角を行う個所を設けてもよい
ことはいうまでもない。

【００９５】図１０（ａ）から明らかなように、本実施
の形態２の搬送装置では、Ｃ字型の形状をしたレール１
００１、該レール１００１の開口部分を移動するトロー
ル１００３、隣接するトロール１００３を接続するリン
ク棒１００４、基板ホルダ１０７に保持されたガラス基
板１０６をトロール１００３に保持するアーム１００
５、変角部分のレール１００２の変角量を変化させる変
角装置１００６、および、該変角装置１００６全体を支
持する支柱１００７とからなる。特に、本実施の形態２
の搬送装置では、図１０（ａ）に示すように、搬送レー
ル１００１，１００２は変角装置１００６以外の部分の
搬送レール１００１と、変角装置１００６を構成する搬
送レール１００２とからなり、この搬送レール１００２
は変角装置１００６に支持されている。このとき、この
搬送レール１００２は、他の部分の搬送レール１００１
に対して、相対位置寸法を保つように配置されている。

【００９６】次に、図１０（ｂ）に基づいて、変角装置
１００６の構成を説明する。本実施の形態の変角装置
は、図１０（ｂ）から明らかなように、支柱１００７に
設けられた第１の支持サポート１００８と第２の支持サ
ポート１００９との間に設けた変角レール１０１２上を
移動する駆動部１０１１に変角装置１００６部分の搬送
レール１００２が支持されている。一方、トロール１０
０３は、周知の軸ピンでトロール本体に固定された車輪
１０１３の凹部に搬送レール１００１，１００２の開口
部分が嵌合されている。また、本実施の形態のトロール
１００３は、変角装置１００３による移動量を最小限に
押さえるために、変角時の略回転中心とするリンク棒１
００４が搬送レール１００１，１００２の内部に収まる
ように、車輪１０１３を中心として、リンク棒１００４
を接続するための図示しない接続部とアーム１００５と
が対象となるように配置される。したがって、変角レー
ル１０１２の形状を円弧とし、その中心がリンク棒１０
０４の位置となるように設定し、この変角レール１０１
２に沿って周知の方法で移動する駆動部１０１１と搬送
レール１００２とを第３の支持サポート１０１０で接続
することによって、駆動部１０１１による搬送レール１
００２すなわちトロール１００３に保持されるガラス基
板１０６の変角が可能となる。

【００９７】次に、図１０（ａ），（ｂ）に基づいて、
本実施の形態２の搬送装置における変角装置の動作を説
明する。ただし、以下の説明においては、基板ホルダで
保持したガラス基板１０６を床面に対して水平姿勢にし
て、移載する場合について説明する。

【００９８】搬送レール１００１にしたがって移動する
トロール１００３が区間Ｂで示す位置に到達したことを
図示しない制御部が検知したならば、該制御部は図示し
ないトロール駆動装置を停止することによりトロール１
００３の移動を停止させる。次に、この制御部は駆動部
１０１１に移動指示を出し、駆動部１０１１を図中に示
すａ方向に移動させる。このとき、この駆動部１０１１
と搬送レール１００２と第３の支持サポート１０１０で
接続されているので、駆動部１０１１の移動に伴って搬
送レール１００２、トロール１００３およびアーム１０
０５が図中に示すｂ方向に移動して、点線で示すよう
に、９０°回転する。したがって、アーム１００５に保
持される図示しないガラス基板１０６も９０°回転し
て、床面と水平の状態となる。ここで、図示しない制御
手段の回転完了出力に基づいて、図示しない移載装置が
このガラス基板１０６を移載することによって、たとえ
ば、移載装置にとって最も適切な移載角度である水平状
態でのガラス基板１０６の移載を行うことが可能とな
る。

【００９９】以上説明したように、本実施の形態２の液
晶表示基板製造装置では、通常の搬送姿勢である縦姿勢
以外の姿勢で移載を行う必要がある個所では、搬送レー
ル１００１の一部分を他のレール部分と切り放してお
き、この切り放した搬送レール１００２の部分は支柱１
００７で保持した円弧状の変角レール１０１２に沿って
移動する駆動部１０１１に接続しておき、所望のトロー
ル１００３がこの部分（Ｂ区間）に到達したならば、制
御手段が一端トロール１００３の移動を停止させた後、
駆動部１０１１を動作させることによって、トロール１
００３すなわちガラス基板１０６を所定の角度に変角す
ることができるので、変角に使用できる搬送レール１０
０１の区間が短い場合であっても、所望の角度でガラス
基板の移載を行うことができる。したがって、製造装置
等の配置を変更したことによって、移載位置が接近して
しまった場合等でも、各製造装置の移載装置が欲する角
度でガラス基板１０６の移載を行うことができる。

【０１００】（実施の形態３）図１１は本発明の実施の
形態３の液晶表示基板製造装置における搬送装置で用い
る基板ホルダの概略構成を説明するための図であり、１
１０１はホルダ枠、１１０２は支持桟、１１０３はスプ
リング、１１０４は保護板を示す。ただし、図１１にお
いて、図１１（ａ）は本実施の形態の基板ホルダの上面
図であり、図１１（ｂ）は本実施の形態の基板ホルダを
Ｂ−Ｂ’線で切断した場合の断面図であり、図１１
（ｃ）は本実施の形態の基板ホルダをＡ−Ａ’線で切断
した場合の断面図である。ただし、本実施の形態３にお
ける液晶表示基板製造装置は、実施の形態１の液晶表示
基板製造装置の搬送装置における基板ホルダの構造が異
なるのみで、他の構造は実施の形態１と同様となるの
で、以下の説明においては、その構造が異なる基板ホル
ダについて説明する。

【０１０１】図１１において、ホルダ枠１１０１は、図
１１（ｂ）、（ｃ）から明らかなように、各辺部分が凹
溝形状に加工された略対象の２つの額縁状の枠を合わせ
た構造であり、この２つの枠は各頂点部分の支持具３０
３によって固定される。

【０１０２】支持桟１１０２は、図１１（ａ），（ｃ）
から明らかなように、断面形状が凸形状であると共にそ
の先端部分の形状がコの字型であり、２つの枠を合わせ
ることによって形成されるＣ字形状の部分に嵌合されて
いる。実施の形態１に示す基板ホルダと最も異なる点
は、この支持桟１１０２がホルダ枠１１０１の内側方向
に延在していることである。また、この支持桟１１０２
には、ホルダ枠１１０１に設けた開閉孔５０１の位置に
該開閉孔と一致する貫通孔１１０４が設けられている。
さらには、この貫通孔１１０４の位置は、図１１（ｃ）
に示すように、支持桟１１０２がホルダ枠１１０１内に
入った状態の場合に開閉孔５０１と貫通孔１１０４との
中心が一致する位置である。

【０１０３】バネ１１０３は周知のバネであり、支持桟
１１０２をホルダ枠１１０１の内側方向に押し出すよう
に配置されており、ガラス基板１０６を保持していると
きには、このバネ力によって、支持桟１１０２のコの字
部分に嵌合するガラス基板１０６を保持する。

【０１０４】保護板１１０４は、図１１（ｂ）における
紙面右方向からの他の物体の接触およびゴミ等の付着を
防止するための周知の板であり、たとえば、ホルダ枠１
１０１の外径と同じ大きさであり、支持具３０３が突出
している側と反対の側に配置される。

【０１０５】したがって、本実施の形態の基板ホルダで
は、保持するガラス基板１０６とほぼ同等の長さの支持
桟１１０２でガラス基板１０６を保持し、このガラス基
板の脱着においても、前述した実施の形態１に示す基板
ホルダ１０７と同様の手順によって実現することができ
る。

【０１０６】以上説明したように、本実施の形態の基板
ホルダにおいては、ガラス基板１０６を保持する支持桟
１１０２の長さが長いので、ガラス基板１０６に印加す
る保持力をガラス基板全体に分散できるので、保持する
ことによるガラス基板の撓み量および変形量等を減少す
ることができる。したがって、基板ホルダでガラス基板
を保持したままで加工（加工処理）を行う時の加工誤差
を小さくできるという効果がある。

【０１０７】（実施の形態４）図１２は本発明の実施の
形態４の液晶表示基板製造装置の搬送装置の概略構成を
説明するための図であり、１２０１は一時保管用のレー
ル、１２０２は移載装置、Ｌ１は第１のレールに設置さ
れるトロール１１１の間隔、Ｌ２は一時保管用のレール
１２０１に設置されるトロール１１１の間隔を示す。た
だし、図１２において、図１２（ａ）は本実施の形態の
搬送装置の上面図であり、図１２（ｂ）は本実施の形態
の搬送装置の側面図である。また、図１２に示す各レー
ル１１０ａ，１２０１は建屋の天井部分に設置された支
柱１１２の支柱サポート１１３によって支持される。

【０１０８】図１２において、一時保管用のレール１２
０１は所定の長さを有する平板状のレールであり、他の
レールすなわち第１および第２のレール１１０ａ，ｂと
同じ形状である。ただし、このレール１２０１に設置さ
れているトロール１１１の間隔Ｌ２は、第１および第２
のレールに設置されるトロール１１１の間隔Ｌ１と比較
して小さい間隔に設定されている。ただし、一時保管用
のレール１２０１に配置されたトロール１１１は、図１
２から明らかなように、ガラス基板１０６をトロール１
１１の進行方向に対して垂直に保持するように設置され
ている。したがって、狭い範囲に設置した場合であって
も、より多くのガラス基板１０６を収容することが可能
である。

【０１０９】移載装置１２０２は、第１のレール１１０
ａに配置されるトロール１１１に搬送される基板ホルダ
に保持されたガラス基板１０６を、一時保管用のレール
１２０１に配置されるトロール１１１に移載する周知の
移載手段であり、第１のレール１１０ａのトロール１１
１から取り外したガラス基板１０６を９０°回転した
後、一時保管用のレール１２０１のトロール１１１に取
り付ける。

【０１１０】次に、図１２に基づいて、本実施の形態４
の搬送装置の動作を説明すると、所定の工程内を巡回す
る第１のレール１１０ａに設けたトロール１１１に搬送
されるガラス基板１０６が当該第１のレール１１０ａに
したがって、図中のａ１で示す位置にまで搬送されてき
たことを図示しない移載制御装置が検知すると、該移載
制御装置は、移載ロボット１２０２に対してガラス基板
１０６の移載を指示する。移載を指示された移載ロボッ
ト１２０２は、第１のレール１１０ａを移動するトロー
ル１１１の移動速度に同期して、図中（１）に示すよう
に、移載アームを伸ばし、基板ホルダに保持されたガラ
ス基板１０６を保持した後、該移載アームを縮めること
によって、ガラス基板１０６をトロール１１１から取り
外す。次に、移載ロボット１２０１は、図中（２）に示
すように、基板ホルダに保持されるガラス基板１０６を
保持する移載アームを一時保管用のレール１２０１の側
に反転させる。次に、移載ロボット１２０２は、図中
（３）に示すように、ガラス基板１０６を一時保管用の
レール１２０１のトロール１１１の高さにまで持ち上げ
た後、図中（４）に示すように、ガラス基板を９０°反
転させ、図中（５）に示すように、移載アームを伸ばし
て一時保管用のレール１２０１のトロール１１１に基板
ホルダに保持されるガラス基板１０６を取り付けること
によって、第１のレール１１０ａから一時保管用のレー
ル１２０１へのガラス基板１０６の移載が終了となる。
以上に示す動作を順番に行うことによって、順次、第１
のレールで搬送されている製造中のガラス基板１０６
を、一時保管用のレール１２０１に移載することによっ
て、ガラス基板１０６の一時保管が可能となる。

【０１１１】以上説明したように、本実施の形態４の搬
送装置では、各工程間にガラス基板１０６を巡回させる
第２のレール１１０ｂと、各工程内において各製造装置
間にガラス基板１０６を巡回させる第１のレール１１０
ａとの他に、基板ホルダに保持したままのガラス基板１
０６を一時的に巡回させておくための一時保管用のレー
ル１２０１を設け、この一時保管用のレール１２０１に
基板ホルダで保持したガラス基板１０６を一時的に格納
しておくことにより、各工程あるいは各製造装置毎に製
造途中のガラス基板１０６を一時的退避できるので、製
造装置等が故障した場合であっても、該当しない他の工
程および他の製造装置による製造を続けることができ
る。したがって、製造装置故障に伴う製造効率の低下を
最小限に押さえることができ、全体として、製造効率を
向上できる。

【０１１２】また、本実施の形態においては、一時保管
用のレール１２０１の設置位置を高い場所に設けること
ができるので、一時保管用のレール１２０１の下側を他
の目的に使用できる。したがって、限られた製造工場の
床面積を有効に使用できるという効果がある。

【０１１３】なお、本実施の形態の一時保管用のレール
１２０１を巡回するトロール１１１は、常時、巡回する
構成としたがこれに限定されることはなく、たとえば、
移載時にのみ移動させる構成としてもよいことはいうま
でもない。

【０１１４】（実施の形態５）図１３は本発明の実施の
形態５の液晶表示基板製造装置における搬送装置の概略
構成を説明するための図であり、１３０１は移載装置、
１３０２はパレット、１３０３は移動レール、１３０４
はリンク棒を示す。

【０１１５】図１３において、移載装置１３０２は第１
のレール１１０ａを巡回するトロール１１１が保持する
ガラス基板１０６を、パレット１３０２に移載する周知
の移載装置であり、本実施の形態においては、横姿勢の
ガラス基板１０６をそのままの姿勢で移載する。したが
って、本実施の形態においては、当該移載装置１３０２
は、第１のレール１１０ａのねじり量が９０°の位置に
設置されている。

【０１１６】パレット１３０２は、第１のライン１１０
ａから移載した基板ホルダに保持されるガラス基板１０
６を横姿勢で積み重ねるための周知のパレットであり、
隣接するパレットとリンク棒１３０４で接続される。ま
た、このパレット１３０２は、レール１３０３に嵌合す
る車輪を有しており、該レールに沿って移動することが
できる。

【０１１７】次に、図１３に基づいて、本実施の形態の
搬送装置による搬送動作を説明すると、第１のレール１
１０ａのトロール１１１に搬送されたガラス基板１０６
が図中ａ１で示す位置に達したことを図示しない移載制
御装置が検知すると、該移載制御装置が移載装置１３０
１にガラス基板１０６の移載を指示する。移載を指示さ
れた移載装置１３０１は、移載アームを図中（１）に示
すように下降させて基板ホルダごとガラス基板１０６を
保持した後、移載アームを図中（２）に示すように上昇
させて、ガラス基板１０６を第１のレール１１０ａのト
ロール１１１から持ち上げる。次に、移載装置１３０１
は、図中（３）に示すように、パレット１３０２の位置
にまで移動する。移動が完了したならば、移載装置１３
０１は図中（４）に示すように移載アームを下降させた
後、ガラス基板１０６の保持を解除することによって、
パレット１３０２にガラス基板１０６の移載を完了す
る。ただし、このパレット１３０２に収納したガラス基
板１０６を再び第１のレール１１０ａのトロール１１１
に戻す手順は、前述する手順と逆の手順となるので、そ
の説明は省略する。

【０１１８】以上説明したように、本実施の形態５の搬
送装置は、各工程間にガラス基板１０６を巡回させる第
２のレール１１０ｂと、各工程内において各製造装置間
にガラス基板１０６を巡回させる第１のレール１１０ａ
との他に、基板ホルダに保持したままのガラス基板１０
６を一時的に横姿勢で収納しておくためのパレット１３
０２を設け、このパレット１３０２の上に基板ホルダで
保持したガラス基板１０６を横姿勢で収納しておくこと
により、各工程あるいは各製造装置毎に製造途中のガラ
ス基板１０６を一時的あるいは所定の期間にわたって大
量に退避できるので、製造装置等が故障した場合であっ
て、該当しない他の工程および他の製造装置による製造
を続けることができる。したがって、製造装置故障に伴
う製造効率の低下を最小限に押さえることができ、全体
として、製造効率を向上できる。

【０１１９】なお、本実施の形態においては、工程間を
巡回する第２のレール１１０ｂは１つの場合について説
明したが、これに限定されることはなく、２つ以上のル
ープしたレールで構成してもよいことはいうまでもな
い。

【０１２０】また、以上の説明においては、平面表示基
板として液晶表示基板を用いた場合について説明した
が、これに限定されることはなく、プラズマディスプレ
イ等の製造装置にも適用可能なことはいうまでもない。

【０１２１】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【０１２２】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）ガラス基板の搬送時における撓み量を低減するこ
とができる。 （２）各製造装置の変更に伴う製造ラインの停止時間を
短縮することができる。 （３）ガラス基板の搬送効率を向上することができる。 （４）製造装置の効率的な配置を行うことができる。 （５）搬送装置の保守点検等にかかる時間を短縮するこ
とができる。 （６）１台の製造装置の故障に伴う生産効率の低下を小
さくすることができる。 （７）ガラス基板の変更に伴う付帯設備の変更を最小限
にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の平面基板製造装置であ
る液晶表示基板製造装置の概略構成を説明するための図
である。

【図２】本発明の実施の形態１の搬送装置の概略構成を
説明するための図である。

【図３】本実施の形態１の基板ホルダの概略構成を説明
するための図である。

【図４】本実施の形態１の基板ホルダの概略構成を説明
するための図である。

【図５】本実施の形態１の基板ホルダの詳細な構成を説
明するための図である。

【図６】本実施の形態１の基板ホルダの詳細な構成を説
明するための図である。

【図７】本実施の形態１のトロールの概略構成を説明す
るための図である。

【図８】本実施の形態のアームの概略構成を説明するた
めの図である。

【図９】本実施の形態の基板脱着装置の概略構成を説明
するためのブロック図である。

【図１０】本発明の実施の形態２の液晶表示基板製造装
置における搬送装置の概略構成を説明するための図であ
る。

【図１１】本発明の実施の形態３の液晶表示基板製造装
置における搬送装置で用いる基板ホルダの概略構成を説
明するための図である。

【図１２】本発明の実施の形態４の液晶表示基板製造装
置の搬送装置の概略構成を説明するための図である。

【図１３】本発明の実施の形態５の液晶表示基板製造装
置における搬送装置の概略構成を説明するための図であ
る。

【図１４】従来の平面表示基板製造装置である液晶表示
基板製造装置による製造手順を説明するための図であ
る。

【図１５】従来の物理的製造装置と化学的製造装置との
配置場所の一例を説明するための図である。

【図１６】従来の液晶表示基板製造装置における主要搬
送装置を用いた基板搬送システムの全体概要を説明する
ための図である。

【図１７】Ｃ・Ｃ搬送システムにおけるカセットホルダ
の概略構成を説明するための図である。

【図１８】Ｃ・Ｃ搬送システムにおけるガラス基板の移
動形態を説明するための図である。

【図１９】Ｃ・Ｃ搬送システムにおける成膜後のガラス
基板の構造を説明するための図である。

【図２０】Ｃ・Ｃ搬送システムにおける移載ロボットの
概略構成をを説明するための図である。

【図２１】Ｃ・Ｃ搬送システムにおけるローラー搬送装
置の概略構成を説明するための図である。

【図２２】Ｃ・Ｃ搬送システムにおけるシャトル搬送装
置の概略構成を説明するための図である。

【図２３】本発明の実施の形態１の搬送装置における他
のガラス基板の管理方式を説明するための図である。

【図２４】本発明の実施の形態１の搬送装置におけるそ
の他のガラス基板の管理方式を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１００…第１の搬送装置、１０１…第２の搬送装置、１
０２…第１の製造装置、１０３…第２の搬送装置、１０
４…第３の搬送装置、１０５…基板着脱装置、１０６…
基板ホルダに保持されたガラス基板、１０７…基板ホル
ダ、１１０ａ…第１のレール、１１０ｂ…第２のレー
ル、１１１…トロール、１１２…支柱、１１３…支柱サ
ポート、１１４…トロール駆動装置、２０１，１０１３
…車輪、２０２…アーム、３０１…ホルダ枠、３０２…
保持駒、３０３…支持具、５０１…開閉孔、６０１…支
持ピン、６０２…テーパナット、６０３…バネ、６０４
…貫通孔、６０５，９０６…開閉ピン、７０１…トロー
ル本体、７０２…第１の軸ピン、７０３…リンク棒、７
０４…第２の軸ピン、８０１…アーム本体、８０２…ア
ーム、８０３…補助アーム、８０４…フックアーム、８
０５…スプリング、８０６…アーム軸ピン、９０１…枠
台、９０２，９０３…基台ベース、９０４…支持ピン、
９０５…固定具、９０７…シリンダ、１００１，１００
２…搬送レール、１００３…トロール、１００４…リン
ク棒、１００５…アーム、１００６…変角装置、１００
７…支柱、１００８…第１の支持サポート、１００９…
第２の支持サポート、１０１０…第３の支持サポート、
１０１１…駆動部、１０１２…変角レール、１１０１…
ホルダ枠、１１０２…支持桟、１１０３…スプリング、
１１０４…保護板、１２０１…一時保管用のレール、１
２０２…移載装置、１３０１…移載装置、１３０２…パ
レット、１３０３…移動レール、１３０４…リンク棒。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 俊夫 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 川島 康弘 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面表示基板の加工処理を行う複数台の
   加工手段を有し、前記平面表示基板を１枚ずつ各加工手
   段に搬送して所定の加工処理を順次行う平面表示基板の
   製造方法であって、 前記加工手段を所定のグループに分け、該各グループ間
   に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、
   各グループ内で各加工手段間に前記平面表示基板を縦姿
   勢で巡回させるステップと、前記各加工手段間を巡回し
   ている平面表示基板から所定の平面表示基板を前記加工
   手段に搬送するステップとからなることを特徴とする平
   面表示基板の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の平面表示基板の製造方
   法において、 前記平面表示基板の周辺部を額縁状の保持部材で保持
   し、該保持した状態で前記平面表示基板を巡回させるこ
   とを特徴とする平面表示基板の製造方法。
3. 【請求項３】 平面表示基板の加工処理を行う複数台の
   加工手段を有し、前記平面表示基板を１枚ずつ各加工手
   段に搬送して各加工処理を順次行う平面表示基板製造装
   置において、 前記加工手段を所定のグループに分け、該各グループ間
   に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させる第１の巡回搬
   送手段と、各グループ内で各加工手段間に前記平面表示
   基板を縦姿勢で巡回させる第２の巡回搬送手段と、前記
   第１の巡回搬送手段と前記第２の巡回搬送手段との間で
   前記平面表示基板の移載を行う第１の移載手段と、前記
   第２の巡回搬送手段と前記加工手段との間で前記平面表
   示基板の移載を行う第２の移載手段とを具備することを
   特徴とする平面表示基板製造装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の平面表示基板製造装置
   において、 前記平面表示基板を周辺部分から保持する額縁状の基板
   保持手段を具備し、該基板保持手段で前記平面表示基板
   を保持したままで巡回させることを特徴とする平面表示
   基板製造装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の平面表示基板製造装置
   において、 前記第１および第２の巡回手段は、前記基板保持手段の
   移動経路を規制する移動経路規制手段を具備することを
   特徴とする平面表示基板製造装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の平面表示基板製造装置
   において、 前記移動経路規制手段は、前記平面表示基板を縦姿勢で
   搬送する第１の領域と、前記第１および第２の移載手段
   の近傍における姿勢が所定の角度となるようなねじり量
   を有する第２の領域とからなることを特徴とする平面表
   示基板製造装置。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の平面表示基板製造装置
   において、 前記移動経路規制手段は、前記第１および第２の移載手
   段の近傍における前記平面表示基板の姿勢を前記基板保
   持手段ごと変角させる変角手段を具備することを特徴と
   する平面表示基板製造装置。
8. 【請求項８】 請求項５ないし７の内のいずれか１項に
   記載の平面表示基板製造装置において、 前記基板保持手段は、扁平額縁形状の額縁枠と、該額縁
   枠の内側に設けた４以上の保持部材とからなることを特
   徴とする平面表示基板製造装置。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の平面表示基板製造装置
   において、 前記基板保持手段は、前記額縁枠の一方の側に開口部を
   覆う保護板を具備することを特徴とする平面基板製造装
   置。
10. 【請求項１０】 請求項３ないし９の内のいずれか１項
    に記載の平面表示基板製造装置において、 前記第１および第２の移載手段は、前記平面表示基板の
    移動速度に同期して当該平面表示基板の移載を行う手段
    であることを特徴とする平面表示基板製造装置。
11. 【請求項１１】 請求項３ないし１０の内のいずれか１
    項に記載の平面表示基板製造装置において、 前記第１および第２の巡回搬送手段は、前記平面表示基
    板を一時的に収納する収納手段を具備することを特徴と
    する平面表示基板製造装置。