JPH1146024A - スラブ型固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】固体レーザ媒質の両側に導光部材を組合せ、Ｏ
リングを用いて導光部材と収納容器との間を液密シール
したスラブ型固体レーザ装置を対象に、Ｏリングの取付
け構造を改良してシール性の信頼性を高める。 【解決手段】スラブ型固体レーザ媒質１と、該固体レー
ザ媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両側に配し
たスラブ型導光部材２との組立体と、励起ランプ３とを
収納容器４に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該
収納容器より外部に突き出した導光部材の端面を通じて
レーザ光を入，出射するよう構成したスラブ型固定レー
ザ装置で、導光部材２が収納容器４の端面を貫通する部
分にＯリング６を配してシールしたものにおいて、Ｏリ
ング６を導光部材の外周面に形成した周溝２ａに嵌合し
てレーザ光５の当たらない位置に位置決め固定し、組立
位置の調整に際して導光部材を軸方向へ移動しても、Ｏ
リングが定位置からずれ動くことのないようにし、Ｏリ
ングがレーザ光に当たって焼損するのを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、固体レーザ媒質
として板状のＹＡＧ結晶などを用いたスラブ型固体レー
ザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】頭記したスラブ型固体レーザ装置とし
て、この発明と同一出願人より特開平６−２１６４３８
号として提案した構成のものが公知である。図８はかか
るスラブ型固体レーザ装置の基本的な構成図であり、図
において、１はスラブ型固体レーザ媒質（例えばＹＡＧ
結晶）、２は固体レーザ媒質１と光軸を合わせてその
入，出射端面の両側に並べて一直線上に配置してレーザ
光の導光路を形成する導光部材（光学ガラス）、３は固
体レーザ媒質１の光励起面に対向して配備した励起ラン
プ、４はレーザ装置の収納容器であり、該収納容器４の
端面より外部に突き出した導光部材２の端面を通じて共
振器（図示せず）の反射鏡で反射させたレーザ光５を
入，出射しつつ、励起ランプ３からの照射による光ポン
ピング作用で固体レーザ媒質１を励起し、図示されてな
い光共振器によってレーザ発振させる。

【０００３】一方、前記した光ポンピングに伴い固体レ
ーザ媒質１，励起ランプ３から発生する熱を系外に除熱
するために、収納容器４の内部に冷媒通路を画成して固
体レーザ媒質１の励起面，および励起ランプ３の励起面
に冷却媒体（冷却水）を流すようにしており、通常は導
光部材２が収納容器１を貫通する部分にＯリング６を用
いて液密にシールし、収納容器内に流す冷却媒体の漏出
を防ぐようにしている。この場合に、図示例では導光部
材２の内部をジグザグに反射して進むレーザ光５が当た
ってＯリング６が焼損，劣化するのを避けるために、Ｏ
リング６はレーザ光５と当たらないような部位で導光部
材２の周面と当接するように斜め姿勢に定めた上で、収
納容器側に固定するようにしている。

【０００４】また、固体レーザ媒質１の冷却法に関して
は、固体レーザ媒質１の長手方向に沿ってその励起面側
に冷媒通路を形成し、該冷媒通路の一端側から冷却媒体
（純水）を流し、他端側から排出して固体レーザ媒質１
の発生熱を系外に排熱するような冷却方式が一般に採用
されている。なお、このような冷却方式は特開昭６４−
７２５７６号公報で公知である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した図
８に示した従来構造のスラブ型固体レーザ装置では、そ
の導光部材に対するシール構造，固体レーザ媒質に対す
る冷却の均一性，および高出力レーザ装置の小型，コン
パクト化などに関して次のような問題点がある。すなわ
ち、 (1) レーザ装置を組立てる際には、仮組立の状態で最終
的に固体レーザ媒質１と導光部材２との相対位置調整を
行うようにしている。この調整時に導光部材２を軸方向
に移動調整すると、あらかじめ収納容器４の所定位置に
固定しておいたＯリング６と導光部材２との相対位置が
変わり、状況によっては運転時に導光部材２の内部を反
射しながら進むレーザ光５がＯリング６に当たって焼
損，劣化させるおそれがある。

【０００６】(2) また、図８で示すように、導光部材２
にＯリング６を斜め姿勢に取付けた構成では、導光部材
２に対してＯリング６の締め付け力が偶力として加わ
り、このために導光部材２の取付け姿勢が傾き、固体レ
ーザ媒質１と光軸を合わせて正しく保持することが困難
となる。 (3) 固体レーザ媒質１に対し、その長手方向に沿って冷
却媒体を流して固体レーザ媒質を冷却する場合に、特に
固体レーザ媒質１の内部で幅方向に温度勾配が生じる
と、レーザ媒質自身に光学的な歪みを誘起して固体レー
ザ媒質がレンズ作用（熱レンズ効果）を持つようにな
り、その影響を受けて固体レーザ媒質から出射するレー
ザビームの広がりが大きくなるといった特性上の不具合
を生じる。

【０００７】かかる点、従来構成のように固体レーザ媒
質１の励起面に沿ってその長手方向に画成した冷媒通路
に対してその一端側から単純に冷却媒体を導入すると、
冷媒導入口付近に生じた冷媒流の乱流の影響が固体レー
ザ媒質１の流路範囲まで及び、そのために固体レーザ媒
質１の励起面に沿って流れる冷媒の流量分布が流路の幅
方向で不均等（冷媒の流れが流路断面の幅方向で片寄り
したりする）となり、これに起因して固体レーザ媒質の
内部に幅方向の温度分布が発生し、前記した光学的歪み
が生じてレーザ光の特性が低下する。

【０００８】(4) また、高出力のレーザ装置を製作する
ために、長尺な固体レーザ媒質を使用する、あるいは複
数本に分けた固体レーザ媒質を一直線上に並べて収納容
器に組み込んで組立てると、レーザ装置全体が長大化し
て設置スペース，移動，取扱い面で支障を来すほか、収
納容器４のベース板の寸法も長くなるために、その撓
み，反りなどに起因して固体レーザ媒質１，および導光
部材２の相互間に光軸のずれが生じ易くなるといった組
立上の問題が派生する。

【０００９】この発明は上記の点に鑑みなされたもので
あり、その目的は前記各課題の解決が図れるようにその
組立構造を改良したスラブ型固体レーザ装置を提供する
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によれば、スラブ型固体レーザ媒質と、該
固体レーザ媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両
側に配したスラブ型導光部材との組立体と、スラブ型固
体レーザ媒質の光励起面に対向して配した励起ランプと
を収納容器に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該
収納容器より外部に突き出した導光部材の端面を通じて
レーザ光を入，出射するよう構成したスラブ型固定レー
ザ装置において、 (1) 先記の課題(1) に対する解決手段として、導光部材
が収納容器を貫通する部分をＯリングで液密シールする
とともに、該Ｏリングを導光部材の外周面に形成した周
溝内に嵌合して所定位置に固定する（請求項１）。

【００１１】この構成により、レーザ装置の組立状態で
行う固体レーザ媒質，導光部材の相対位置調整に際して
導光部材を軸方向に移動しても、Ｏリングと導光部材と
の相対位置は不変である。したがって、導光部材に対す
るＯリングの設置位置を、あらかじめレーザ光がＯリン
グに当たらないような部位に定めて周溝内に嵌合保持し
ておけば、導光部材を移動調整した状態でもＯリングに
レーザ光が当たって焼損を誘起するおそれがなくてシー
ルに対する信頼性が向上する。

【００１２】(2) 先記の課題(2) に対する解決手段とし
て、導光部材が収納容器を貫通する部分の液密シール材
として、導光部材を透過するレーザ光が当たらないよう
な部位に位置を合わせてＯリングを斜め姿勢に設置する
とともに、前記Ｏリングと並置して導光部材の励起面に
別なＯリングを逆向きの斜め姿勢に設置する（請求項
２）。

【００１３】かかる構成により、導光部材の周上で互い
に逆斜め姿勢に並ぶ２個のＯリングの締めつけ偶力が相
殺し合うことになり、これにより収納容器内に組み込ん
だ導光部材の取付け姿勢が安定する。 (3) 先記の課題(3) に対する解決手段として、導光部
材、固体レーザ媒質の組立体に対し、固体レーザ媒質の
励起面に沿って冷却媒体を流すよう収納容器内に画成し
た冷媒通路対し、外部より供給する冷却媒体の導入口，
排出口を固体レーザ媒質の端面から十分に離間した位置
に開口するものとし（請求項３）、具体的には冷却媒体
導入口に対応して冷媒通路に流路断面を拡大した冷媒導
入用プレナム室を形成し、外部より送り込んだ冷却媒体
を前記プレナム室を経て固体レーザ媒質の励起面に向け
て流すようにする（請求項４）、あるいは冷却媒体導入
口に対応して冷媒通路の一部に流路断面を縮小した絞り
部を形成し、外部より送り込んだ冷却媒体を前記絞り部
を経て固体レーザ媒質の励起面に向けて流すように構成
する（請求項５）。

【００１４】上記のように冷媒通路対して、外部より供
給する冷却媒体の導入口，排出口を固体レーザ媒質の端
面から十分に離間した上流，下流位置に開口することに
より、冷媒導入口を付近に生じた冷媒の乱流も固体レー
ザ媒質の領域に到達するまでは定常な層流に回復し、固
体レーザ媒質の励起面に沿った冷媒通路の幅方向を均一
に流れるようになり、これにより固体レーザ媒質の励起
面が幅方向で均一に冷却される。

【００１５】この場合に、冷却媒体導入口部分に流路断
面を拡大した冷媒導入用プレナム室を形成する、あるい
は冷却媒体導入口の近傍に流路断面を縮小した絞り部を
形成することにより、プレナム室，絞り部を経由して下
流側の固体レーザ媒質の励起面を流れる冷媒流量が固体
レーザ媒質の幅方向でより一層均一になる。 (4) 先記の課題(4) に対する解決手段として、複数本の
スラブ型固体レーザ媒質を平行，かつ端面を揃えて単一
の収納容器内に組み込むとともに、各固体レーザ媒質を
直列に連ねて蛇行状のレーザ光路を形成するように、各
固体レーザ媒質の端面相互間に導光部材，および反射プ
リズムを介装するものとする（請求項６）。また、その
具体的な態様として、複数本の固体レーザ媒質をその幅
方向に並べて配列する（請求項７）、あるいは固体レー
ザ媒質をその厚み方向に並べて配列する（請求項８）よ
うにした構成がある。

【００１６】前記のような組立構造を採用して複数本に
分割した固体レーザ媒質を収納容器内に組み込むことに
より、特に長手方向で装置全体の小型，コンパクト化を
図りつつ、高出力のレーザ装置を製作することができ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の各請求項に対応
した実施の形態を図１ないし図７に示す実施例に基づい
て説明する。なお、各実施例の図中で図８に対応する同
一部材には同じ符号が付してある。 〔実施例１〕図１(a),(b) はこの発明の請求項１に対応
した導光部材に対するＯリングの取付構造に関する実施
例を示すものである。

【００１８】図において、レーザ装置の基本構造は図８
と同様であるが、収納容器４の端面を貫通する部分で導
光部材２を液密にシールするＯリング６の固定方法とし
て、図示実施例では導光部材２の外周に周溝（凹溝）２
ａを形成し、この周溝２ａにＯリング６を嵌合して固定
している。また、図示の実施例では、導光部材２の断面
形状を小判形となしてＯリング６が周面に密着し易いよ
うにしており、かつＯリング６の設置部位は導光部材２
の端面より入射して媒質内をジグザグに反射して進むレ
ーザ光５がＯリング６に当たらないような位置にあらか
じめ設定した上で、この位置に形成した周溝２ａ内に嵌
合している。

【００１９】この構成によれば、レーザ装置の組立時に
行う固体レーザ媒質１と導光部材２との相対的な位置調
整で導光部材２を軸方向に移動しても、導光部材２とＯ
リング６との相対位置は不変であるから、Ｏリング６に
レーザ光５が当たって焼損，劣化するおそれはない。 〔実施例２〕図２(a),(b) は前記した実施例１の応用実
施例を示すものであり、この実施例では、導光部材２の
端部に径大な円柱状のフランジ部２ｂを形成し、このフ
ランジ部の周面に周溝２ａを形成してここにＯリング６
を嵌合保持している。

【００２０】この構成によれば、Ｏリング６の設置部位
はレーザ光線５の光路から十分に離れているので、Ｏリ
ング６にレーザ光５が当たって焼損することがない。 〔実施例３〕図３はこの発明の請求項２に対応したＯリ
ングの取付構造に関する実施例を示すものである。

【００２１】この実施例では、導光部材２に対するシー
ル手段として、導光部材２を透過するレーザ光５の光路
から外すように斜め姿勢に取付けたＯリング６（図８参
照）に加えて、前記Ｏリング６と並置して導光部材２の
周面に別なＯリング７が同じ傾斜角度で逆向きの斜め姿
勢に取付けてある。このように斜め姿勢のＯリング６と
７を互いに逆向きに取付けることにより、導光部材２に
加わるＯリング６，７の締めつけ偶力が相殺し合う。し
たがって、導光部材２の組立て姿勢を傾けるような不当
な力が無くなって組立位置精度が向上する。

【００２２】〔実施例４〕図４(a),(b) はこの発明の請
求項３，４に対応した固体レーザ媒質１に対する冷媒通
路に関する実施例を示すものである。この実施例では、
同軸上に並ぶ固体レーザ媒質１，導光部材２の組立体に
対し、その長手方向に沿って収納容器４の内部に冷媒通
路８を画成し、外部から冷媒通路８に供給した冷却媒体
（冷却水）を固体レーザ媒質の励起面に沿って流し、固
体レーザ媒質１の励起に伴う発生熱を系外に除熱するよ
うにしている。なお、冷媒通路８は固体レーザ媒質１を
挟んでその励起面側（図示の上下面側）にのみ画成され
ており、レーザ媒質の厚さ方向の端面（図示の左右側面
側）は冷却せずに断熱している。

【００２３】ここで、前記冷媒通路８に対して、冷却媒
体の導入口，排出口を固体レーザ媒質の端面から十分に
離間した位置，すなわち、導光部材２の励起面でＯリン
グ６に近い部位に開口するとともに、冷却媒体の導入
口，排出口に対応して冷媒通路８に流路断面を拡大した
プレナム室８ａを形成し、外部より送り込んだ冷却媒体
をプレナム室８ａを通じて下流側に位置する固体レーザ
媒質１の励起面に向けて流すようにしいてる。なお、９
は固体レーザ媒質１と励起ランプとの対向面域で冷媒通
路８を仕切る光学ガラス製の透光性整流板である。

【００２４】上記のように冷却媒体導入口を固体レーザ
媒質１から十分離れた上流位置に開口することで、冷媒
導入口を付近に生じた冷媒の乱流も固体レーザ媒質の領
域に到達するまでは定常な層流に回復し、固体レーザ媒
質の励起面に沿った通路域では冷媒が通路断面を略均一
に流れるようになる。また、この構成に加えて、図４
(b) で示すように冷媒導入口部分に流路断面を拡大した
プレナム室８ａを形成し、このプレナム室８ａを通じて
下流側流路へ冷却媒体を送り出すようにすることで通路
断面の幅方向での冷媒流の片寄りもなく、固体レーザ媒
質１の励起面に対してその幅方向での流れがより一層均
一になる。なお、このことは発明者等が行った実機テス
トのレーザ特性からも確認されている。

【００２５】この結果、固体レーザ媒質１はその幅方向
で均一に冷却されるようになるので幅方向での温度差が
抑えられ、これにより固体レーザ媒質１の熱レンズ作用
に起因する光学的歪みの発生を防止してレーザの特性低
下が防げる。 〔実施例５〕図５は、先記実施例４の応用例としてのこ
の発明の請求項５に対応した実施例を示すものである。

【００２６】この実施例では、固体レーザ媒質１，導光
部材２の組立体に対する冷媒通路８の冷媒導入口，排出
口が、固体レーザ媒質１より十分に離間して導光部材２
のＯリング６に近い励起面に開口した上で、さらに冷媒
導入口の近傍には冷媒通路８の一部に流路断面を縮小し
た絞り部８ｂを形成し、外部より送り込んだ冷却媒体を
この絞り部８ｂを経て下流側に位置する固体レーザ媒質
１の励起面に向けて流すようにしている。

【００２７】このように冷媒通路８の冷媒導入口側に絞
り部８ｂを形成し、ここを通過する冷媒の流れを局部的
に絞り込むことにより、この絞り部がデフューザの役目
を果し、その下流側では冷媒が冷媒通路８の流路断面を
均一に流れて固体レーザ媒質１をその幅方向で均一に冷
却できるようになる。 〔実施例６〕図６(a),(b) はこの発明の請求項６，７に
対応した高出力レーザ装置の組立構造に関する実施例を
示すものである。

【００２８】この実施例においては、複数本に分けた短
尺なスラブ型固体レーザ媒質１をその光励起面を上下に
向けて幅方向に並置し、かつその両端面を揃えて単一の
収納容器４に組み込まれており、ここで各固体レーザ媒
質１の相互間を直列に連ねて蛇行状のレーザ光路を形成
するように、各固体レーザ媒質１の端面間に導光部材
２，および多角形の反射プリズム１０が介装されてい
る。そして、レーザ光５の入射，出射端側に位置する導
光部材２の端面が収納容器４より外部に突き出してい
る。また、励起ランプ３は各固体レーザ媒質１を挟んで
その上下側に配置されている。

【００２９】上記の構成で、導光部材２の入射端面より
入射したレーザ光５は図示の矢印のように導光経路のコ
ーナー部に配した反射プリズム１０で反射を繰り返しな
がら各固体レーザ媒質１を直列に透過し、出射側端の導
光部材２を経て外部に出射する。かかる構成により、１
本の長さ寸法がｌである固体レーザ媒質１を複数本（図
示例では３本）直列に連ねてレーザの高出力化を図りつ
つ、一方では収納容器４の長さＬは固体レーザ媒質１の
両側に導光部材２，反射プリズム１０を並べた寸法、つ
まり先記した各実施例と殆ど同等な長さ寸法でレーザ装
置を構成することがてきる。したがって、複数本の固体
レーザ媒質１を一直線上に配置して組立構造のものと較
べてレーザ装置が設置，取扱面で有利な小型，コンパク
トな構成となる。

【００３０】〔実施例７〕図７は先記実施例６の応用実
施例であるこの発明の請求項８に対応した実施例を示す
ものである。この実施例においては、実施例６とは異な
り、収納容器４に組み込んだ３本の固体レーザ媒質１が
その厚み方向，つまり光励起面を向かい合わせて平行に
配列している。そして、各固体レーザ媒質１の間を直列
に連ねるように導光部材２，反射プリズム１０を組合
せ、さらに各固体レーザ媒質１を１本ずつ両側から挟む
ような形で励起ランプ３を対向配備してレーザ装置を構
成している。

【００３１】上記構成によれば、先記実施例６と同様に
小型，コンパクトな構成で高出力のレーザ装置が得られ
るほか、平行に並ぶ固体レーザ媒質１の間に介装した励
起ランプ３は、反射鏡を使わずに１本のランプでその両
側に並ぶ固体レーザ媒質１に励起光を照射することがで
きる。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように、この発明の構成によ
れば、次記の効果を奏する。 (1) 導光部材のシール用Ｏリングを、導光部材の周面に
形成した周溝内に嵌合保持させた構成（請求項１）によ
れば、固体レーザ媒質／導光部材の位置調整を行う際
に、導光部材を軸方向に移動してもＯリングとの相対位
置がずれることがなく、この位置ずれが原因でＯリング
がレーザ光に当たって焼損するようなトラブルを防ぐこ
とができてシール面での信頼性が向上する。

【００３３】(2) 導光部材が収納容器を貫通する部分の
液密シール材として、導光部材を透過するレーザ光が当
たらないような部位に位置を合わせてＯリングを斜め姿
勢に設置するとともに、前記Ｏリングと並置して導光部
材の励起面に別なＯリングを逆向きの斜め姿勢に設置し
た構成（請求項２）によれば、導光部材の周上で互いに
逆斜め姿勢に並ぶ２個のＯリングの締めつけ偶力を相殺
し、収納容器内に組み込んだ導光部材の取付け姿勢の安
定化が図れる。

【００３４】(3) 導光部材、固体レーザ媒質の組立体に
沿って収納容器内に画成した冷媒通路対して、外部より
供給する冷却媒体の導入口，排出口を固体レーザ媒質の
端面から十分に離間した位置に開口し（請求項３）、こ
こで、冷却媒体導入口に対応して冷媒通路に流路断面を
拡大した冷媒導入用プレナム室を形成し、外部より送り
込んだ冷却媒体を前記プレナム室を通じて固体レーザ媒
質の励起面に向けて流すようにする（請求項４）、ある
いは冷却媒体導入口に対応して冷媒通路の一部に流路断
面を縮小した絞り部を形成し、外部より送り込んだ冷却
媒体を前記絞り部を経て固体レーザ媒質の励起面に向け
て流すように構成する（請求項５）ことにより、固体レ
ーザ媒質の励起面に沿う冷媒通路に対し、冷媒が流路断
面を均一に流れて固体レーザ媒質をその幅方向で均一に
冷却することができ、これにより固体レーザ媒質の熱レ
ンズ作用を抑えて良好なレーザ特性を確保できる。

【００３５】(4) 複数本のスラブ型固体レーザ媒質を平
行，かつ端面を揃えて単一の収納容器内に組み込むとと
もに、各固体レーザ媒質を直列に連ねて蛇行状のレーザ
光路を形成するように各固体レーザ媒質の端面相互間に
導光部材，および反射プリズムを介装してレーザ装置を
組立てた構成（請求項６〜８）により、装置全体の小
型，コンパクト化を図りつつ、高出力のレーザ装置を製
作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置の主要部の構成図であり、(a) は格納容器に組
み込んだ導光部材の側面図、(b) は(a) 図の矢視Ａ−Ａ
断面図

【図２】この発明の実施例２に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置の主要部の構成図であり、(a) は格納容器に組
み込んだ導光部材の側面図、(b) は(a) 図の矢視Ｂ−Ｂ
断面図

【図３】この発明の実施例３に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置を模式的に表した全体構成図

【図４】この発明の実施例４に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置の構成図であり、(a)はレーザ装置の全体構成
を模式的に表した図、(b) は(a) 図における矢視Ｃ−Ｃ
断面図

【図５】この発明の実施例５に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置を模式的に表した全体構成図

【図６】この発明の実施例６に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置を模式的に表した全体構成図であり、(a) は平
面図、(b) は(a) 図の矢視Ｄ−Ｄ断面図

【図７】この発明の実施例７に対応するスラブ形固体レ
ーザ装置を模式的に表した全体構成図

【図８】従来におけるスラブ形固体レーザ装置を模式的
に表した全体構成図

【符号の説明】

１ スラブ型固体レーザ媒質 ２ スラブ型導光部材 ２ａ 周溝 ３ 励起ランプ ４ 収納容器 ５ レーザ光 ６ Ｏリング ７ Ｏリング ８ 冷媒通路 ８ａ プレナム室 ８ｂ 絞り部 １０ 反射プリズム

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スラブ型固体レーザ媒質と、該固体レーザ
   媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両側に配した
   スラブ型導光部材との組立体と、スラブ型固体レーザ媒
   質の光励起面に対向して配した励起ランプとを収納容器
   に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該収納容器よ
   り外部に突き出した導光部材の端面を通じてレーザ光を
   入，出射するよう構成したスラブ型固定レーザ装置であ
   り、導光部材が収納容器を貫通する部分をＯリングで液
   密シールしたものにおいて、前記Ｏリングを導光部材の
   外周面に形成した周溝内に嵌合したことを特徴とするス
   ラブ型固体レーザ装置。
2. 【請求項２】スラブ型固体レーザ媒質と、該固体レーザ
   媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両側に配した
   スラブ型導光部材との組立体と、スラブ型固体レーザ媒
   質の光励起面に対向して配した励起ランプとを収納容器
   に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該収納容器よ
   り外部に突き出した導光部材の端面を通じてレーザ光を
   入，出射するよう構成したスラブ型固定レーザ装置であ
   り、導光部材が収納容器を貫通する部分の液密シール材
   として、導光部材を透過するレーザ光が当たらないよう
   な部位に位置を合わせてＯリングを斜め姿勢に配したも
   のにおいて、前記Ｏリングと並置して導光部材の励起面
   に別なＯリングを逆向きの斜め姿勢に配したことを特徴
   とするスラブ型固体レーザ装置。
3. 【請求項３】スラブ型固体レーザ媒質と、該固体レーザ
   媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両側に配した
   スラブ型導光部材との組立体と、スラブ型固体レーザ媒
   質の光励起面に対向して配した励起ランプとを収納容器
   に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該収納容器よ
   り外部に突き出した導光部材の端面を通じてレーザ光を
   入，出射するよう構成したスラブ型固定レーザ装置であ
   り、前記導光部材と固体レーザ媒質の組立体に対し、収
   納容器内に画成した冷媒通路を通じて固体レーザ媒質の
   励起面に沿って冷却媒体を流すようにしたものにおい
   て、前記冷媒通路に対して、外部より供給する冷却媒体
   の導入口，排出口を固体レーザ媒質の端面から十分に離
   間した位置に開口したことを特徴とするスラブ型固体レ
   ーザ装置。
4. 【請求項４】請求項３記載のスラブ型固体レーザ装置に
   おいて、冷却媒体導入口に対応して冷媒通路に流路断面
   を拡大した冷媒導入用プレナム室を形成し、外部より導
   入した冷却媒体を前記プレナム室を通じて固体レーザ媒
   質の励起面に向けて流すようにしたことを特徴とするス
   ラブ型固体レーザ装置。
5. 【請求項５】請求項３記載のスラブ型固体レーザ装置に
   おいて、冷却媒体導入口に対応して冷媒通路の一部に流
   路断面を縮小した絞り部を形成し、外部より導入した冷
   却媒体を前記絞り部を経て固体レーザ媒質の励起面に向
   けて流すようにしたことを特徴とするスラブ型固体レー
   ザ装置。
6. 【請求項６】スラブ型固体レーザ媒質と、該固体レーザ
   媒質と光軸を合わせてその入，出射端面の両側に配した
   スラブ型導光部材との組立体と、スラブ型固体レーザ媒
   質の光励起面に対向して配した励起ランプとを収納容器
   に組み込んでその内部に冷却媒体を流し、該収納容器よ
   り外部に突き出した導光部材の端面を通じてレーザ光を
   入，出射するよう構成したスラブ型固体レーザ装置にお
   いて、複数本のスラブ型固体レーザ媒質を平行，かつ端
   面を揃えて単一の収納容器内に組み込むとともに、各固
   体レーザ媒質を直列に連ねて蛇行状のレーザ光路を形成
   するように、各固体レーザ媒質の端面相互間に導光部
   材，および反射プリズムを介装したことを特徴とするス
   ラブ型固体レーザ装置。
7. 【請求項７】請求項６記載のスラブ型固体レーザ装置に
   おいて、複数本の固体レーザ媒質をその幅方向に並べて
   配列したことを特徴とするスラブ型固体レーザ装置。
8. 【請求項８】請求項６記載のスラブ型固体レーザ装置に
   おいて、複数本の固体レーザ媒質をその厚み方向に並べ
   て配列したことを特徴とするスラブ型固体レーザ装置。