JPH1148121A - 修正キャリヤ用収納装置 - Google Patents

修正キャリヤ用収納装置

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Publication number
JPH1148121A
JPH1148121A JP9223182A JP22318297A JPH1148121A JP H1148121 A JPH1148121 A JP H1148121A JP 9223182 A JP9223182 A JP 9223182A JP 22318297 A JP22318297 A JP 22318297A JP H1148121 A JPH1148121 A JP H1148121A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
correction carrier
support
correction
carrier
storage device
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9223182A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichiro Yamashita
下 耕一郎 山
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SpeedFam Co Ltd
Original Assignee
SpeedFam Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1148121A publication Critical patent/JPH1148121A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 修正キャリヤの出し入れが簡単な収納装置を
得る。 【解決手段】 複数の修正キャリヤ12を上下多段状に
支持する左右一対の棚枠部材14,14を、横桟17を
備えた複数の支持部片16を折曲自在に連結することに
より構成し、最上段の支持部片16,16上の修正キャ
リヤ12を取り出したあと棚枠部材14,14を一段分
上昇させると、空になった支持部片16,16が外側に
傾斜して次段の修正キャリヤ12の取り出しが可能にな
るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ラッピングマシン
やポリッシングマシンのような平面研磨装置に付設し
て、定盤の作業面を修正する修正キャリヤを収納して保
管するのに使用される修正キャリヤ用収納装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】この種の収納装置として従来では、図4
及び図5に示すようなものが使用されていた。この収納
装置は、リング状の修正キャリヤ2を水平に向けて収納
可能な箱形ホルダ1を有し、このホルダ1における相対
する側壁の内面に、上記修正キャリヤ2を載置するため
の横桟3,3を上下に複数段設けたもので、研磨装置4
の近くに、回転自在の複数の球体6を上面に備えた作業
用の中継テーブル5を介して、エアシリンダ7により上
下動自在に配置されている。
【0003】定盤の修正を行う場合は、横桟3,3上に
載置されている修正キャリヤ2を中継テーブル5上に横
滑りさせて引き出し、内孔2aの孔壁に形成された係止
孔2b,2bに内径チャック8の係止ピン8a,8aを
挿入係止させることにより持ち上げて、定盤上の所要に
位置にセットする。そしてその作業を、最上段のものか
らホルダ1を一段ずつ順次上昇させながら必要回数行う
ことにより、各修正キャリヤを定盤上にセットする。そ
して定盤の修正が終了すると、上記の場合とは逆の作業
により、各修正キャリヤ2を中継テーブル5からホルダ
1内に横滑りさせることにより押し込んで収納するよう
にしていた。これは、上記横桟3,3が内側に張り出し
ている関係で、最上段の修正キャリヤ以外はホルダ1か
ら直接上方に持ち上げて出し入れすることができないた
めである。
【0004】この結果、上記従来の収納装置は、修正キ
ャリヤ2をホルダ1から出し入れする作業を一々中継テ
ーブル5を経由して行わなければならないため、手数が
かかって面倒であるばかりでなく、ホルダ1からテーブ
ル5上に引き出したりテーブル5からホルダ1に押し込
んだりするときに該修正キャリヤ2に傷がつき易いとい
う欠点があり、また、内径チャック8の係止ピン8aを
小さな係止孔2bに挿入係止させる作業も非常に面倒
で、該係止孔が研磨材などで目詰まりしてチャック不能
になることも多いという問題もあった。更に、上記中継
テーブルの設置に多くのスペースとコストとを必要とし
ていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、収納
装置からの修正キャリヤの出し入れを、中継テーブルを
経由して横滑りさせることなく、簡単な方法により直接
行うことができるようにし、それによって上記従来の問
題点を解消することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、修正キャリヤ載置用の横桟を内側
に備えた複数の支持部片を折曲可能に連結することによ
り構成され、相互間に上記横桟上への修正キャリヤの載
置に必要な間隔を保って上下動自在に配設された一対の
棚枠部材;上記両棚枠部材を同時に上下動させる昇降手
段;上記棚枠部材の上下動を案内するガイド手段;上記
棚枠部材の各支持部片を、最上段の支持位置を越えて上
昇した時に外側に傾斜させる傾斜手段;を有することを
特徴とする修正キャリヤ用収納装置が提供される。
【0007】上記構成を有する収納装置において、それ
に収納されている修正キャリヤで定盤の作業面を修正す
るときは、各修正キャリヤをそのまま持ち上げて直接定
盤上にセットすることができる。即ち、先ず、最上段の
横桟上にある修正キャリヤを適宜のチャック手段により
チャックし、上方に持ち上げることにより取り出して定
盤上にセットする。次に、棚枠部材を一段分上昇させる
と、空になった最上段の支持部片が外方に傾斜してその
横桟が左右に開放すると共に、第2段目の支持部片が上
端の支持位置まで上昇するため、この支持部片に支持さ
れている第2段目の修正キャリヤを上記チャック手段に
よりチャックし、そのまま上方に持ち上げて定盤上にセ
ットすることができる。同様の作業を必要回数繰り返す
ことにより、各修正キャリヤを収納装置から直接定盤上
にセットすることができる。
【0008】上記各修正キャリヤを収納装置に収納する
時は、上述した取出作業とは逆の操作を行うことによ
り、定盤から直接収納装置に収納することができる。
【0009】かくして本発明によれば、修正キャリヤを
収納装置に直接出し入れすることができるため、修正作
業が簡単であると共に、従来必要としていた中継テーブ
ルが不要でスペースやコストも節約できる。しかも、中
継テーブルを使用して横滑りさせながら出し入れする場
合のように修正キャリヤに傷が付くということもなくな
る。また、該修正キャリヤの外周をチャックすることが
可能になるため、チャック手段の選択肢も広がる等の利
点がある。
【0010】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
ガイド手段が、棚枠部材を支持する支持枠に形成されて
該棚枠部材が嵌合するガイド溝であり、上記傾斜手段
が、棚枠部材の各支持部片に設けられた重りか又は上記
ガイド溝により構成される。
【0011】
【発明の実施の形態】図1〜図3は本発明に係る収納装
置の一実施例を示すもので、この収納装置10は、研磨
装置11の側方位置に固定的に立設された角筒状の支持
枠13と、該支持枠13内に上下動自在に配設された左
右一対の棚枠部材14,14と、これらの棚枠部材1
4,14を上下動させる昇降手段としてのエアシリンダ
15とを備えている。
【0012】上記棚枠部材14,14は、リング状をし
た複数の修正キャリヤ12を水平且つ上下多段状に支持
するためのもので、それぞれ、上記修正キャリヤ12の
端部が載置する横桟17を内側に備えた複数の横長形状
の支持部片16を、蝶番のような連結金具19によって
折曲可能に連結することにより構成され、各支持部片1
6の両側端部を、支持枠13の相対する側壁内面に上下
方向に設けたガイド溝18,18内に摺動自在に嵌合さ
せることにより、該ガイド溝18,18に沿って上下動
自在となっている。従ってこれら一対の棚枠部材14,
14間には、相対する横桟17,17上に修正キャリヤ
12を載置させるのに必要な間隔が保たれている。ま
た、上記ガイド溝18,18は、棚枠部材14の上下動
を案内する機能と、各支持部片16が内外方向に不必要
に傾かないように規制する機能とを持つものである。
【0013】上記棚枠部材14における各支持部片16
の外側面(背面)には重り20が取り付けられていて、
この重り20で支持部片16の重心を外側寄りの位置に
偏寄させることにより、該支持部片16を外側に向けて
傾斜し易くしている。従ってこの重り20は、支持部片
16を傾斜させるための傾斜手段を構成するものであ
る。なお、最下段の支持部片16は傾斜させないため、
重り20を取り付ける必要がない。
【0014】上記両棚枠部材14,14の下端部は連結
部材21により相互に連結され、該連結部材21に上記
エアシリンダ15のロッド15aが連結されており、こ
のエアシリンダ15によって両棚枠部材14,14が、
上記ガイド溝18,18に沿って1段ずつ上下動できる
ようになっている。
【0015】上記ガイド溝18の上端部においては、外
側の溝壁18aが外側に向けて傾斜し、図3に示すよう
に棚枠部材14の支持部片16が最上段の支持位置(上
限位置)を越えて更に上昇した時、この支持部片16が
溝壁18aに沿って外側に容易に傾斜できるようになっ
ている。しかし、支持部片16が上限位置を越えて更に
上昇した時ガイド溝18から外れるようにした場合に
は、ガイド溝18の上端の溝壁18aを必ずしも傾斜さ
せる必要はない。
【0016】上記構成を有する収納装置10は、図2に
示すように、左右の棚枠部材14,14に上下多段状に
設けられている横桟17,17上に、修正キャリヤ12
をそれぞれ載置して他段状に収納するものである。この
場合、各支持部片16は両端がガイド溝18,18に嵌
合することによって傾斜が規制されているから、横桟1
7,17上に重量の大きい修正キャリヤ12を載置して
も内側に傾くことはない。なお、上記各支持部片16が
内側に傾かないようにするため、これらの支持部片16
を外側だけに折曲可能なるように連結しておくことが望
ましい。
【0017】上記修正キャリヤ12を使用して研磨装置
11における定盤23の作業面を修正するときは、最上
位の修正キャリヤ12から順番に取り出すことにより、
各修正キャリヤ12を収納装置10から直接定盤23の
作業面上にセットすることができる。即ち、先ず、最上
段に位置する支持部片16,16の横桟17,17上に
ある修正キャリヤ12を適宜のチャック手段によりチャ
ックし、上方に持ち上げることにより取り出してそのま
ま定盤23上にセットする。
【0018】次に、図3に示すように、エアシリンダ1
5で棚枠部材14,14を一段分上昇させると、空にな
った最上段の支持部片16,16が上限位置を越えて上
昇することによりガイド溝18,18から外れ、重り2
0により外方に傾斜してそれらの横桟17,17が左右
に大きく開放すると共に、第2段目の支持部片16,1
6が上端の支持位置まで上昇するため、この第2段目の
支持部片16,16に支持された修正キャリヤ12を上
記チャック手段によりチャックしてそのまま上方に持ち
上げることにより、定盤23上に直接セットすることが
できる。
【0019】同様の作業を必要回数繰り返すことによ
り、各修正キャリヤ12を収納装置10から直接定盤2
3上にセットすることができる。
【0020】定盤23の修正が終了して各修正キャリヤ
12を収納装置10に再び収納する時は、上述した取出
作業とは逆の操作を行うことにより、定盤23から直接
収納装置10に収納することができる。即ち、最初の修
正キャリヤ12を上限位置にある最下段の支持部片1
6,16の横桟17,17上に載置し、エアシリンダ1
5で棚枠部材14,14を一段分下降させると、外側に
向けて傾斜していた一つ上段の支持部片16,16がガ
イド溝18,18に嵌合し、修正キャリヤ12を支持で
きるように姿勢を変えながら上限位置に復帰するため、
次の修正キャリヤ12をこの支持部片16,16の横桟
17,17上に載置して収納することができる。以下、
同様の作業を必要回数繰り返すことにより、全ての修正
キャリヤ12を定盤23から収納装置10に直接収納す
ることができる。
【0021】上記修正キャリヤ12の出し入れに際して
は、従来のような中継テーブルを経由する必要がないた
め、チャック手段で該修正キャリヤ12の外周をチャッ
クすることも可能であり、チャック手段の制限がない。
なお、上記修正キャリヤ12のチャックには公知のチャ
ック手段が使用されるため、その構成についての説明は
省略する。
【0022】かくして上記収納装置10は、修正キャリ
ヤ12を直接上方に持ち上げて出し入れすることができ
るため、定盤修正時における修正キャリヤ12の取り出
しや収納作業が簡単であると共に、中継テーブルが不要
でスペースやコストも節約できる。しかも、修正キャリ
ヤ12を中継テーブル上や横桟上を横滑りさせて出し入
れする場合のように該修正キャリヤ12に傷が付くとい
うこともない。また、棚枠部材14,14を単に上下動
させるだけで支持部片16,16が傾斜したり復帰した
りして横桟17,17が開閉するようになっているた
め、その開閉のための動力源が全く不要で、構造的にも
非常に簡単である。
【0023】上記実施例では、支持部片16を外側に傾
斜させる傾斜手段を重り20で構成しているが、ここで
いう「重り」とは、特別に設けた専用の重りのことだけ
を言うのではなく、支持部材16の重量を外側に傾き易
いように配分した場合も含むものとする。また、上記重
り20を設ける代りに、ガイド溝18,18によって傾
斜手段を構成することもできる。即ち、ガイド溝18,
18の上端部に外側に傾斜する傾斜部を設け、上限位置
を越えて上昇した支持部片16をこの傾斜部によって外
側に傾斜させるようにすることもできる。この場合、図
2及び図3に示すようにガイド溝18,18の外側の溝
壁だけを外方に傾斜させても、両溝壁を共に傾斜させて
も構わない。
【0024】更に、上記棚枠部材14,14を昇降させ
る手段は、エアシリンダ15以外の手段であっても良
い。例えば、モータで駆動されるボール螺子を支持枠部
材側に設け、それに螺合するナット部材を棚枠部材1
4,14側に取り付けることによって昇降手段を構成す
ることもできる。
【0025】
【発明の効果】このように本発明によれば、定盤の修正
時に修正キャリヤを収納装置から定盤上にセットした
り、定盤上の修正キャリヤを収納装置に収納したりする
場合に、従来のように中継テーブルを使用して修正キャ
リヤを横滑りさせながら収納装置に出し入れすることな
く、該収納装置から直接上方に持ちあげて出し入れする
ことができるため、作業が非常に簡単であるばかりでな
く、中継テーブル上を横滑りさせる場合のように修正キ
ャリヤに傷が付くということもなく、また、中継テーブ
ルの設置に要していたスペースやコストも節約できると
いう利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図2】図1におけるII−II線での拡大断面図であ
る。
【図3】図2の異なる動作状態を示す断面図である。
【図4】従来の収納装置の平面図である。
【図5】図4におけるV−V線での断面図である。
【符号の説明】
10 収納装置 12 修正キャリヤ 13 支持枠 14 棚枠部材 15 エアシリンダ 16 支持部片 17 横桟 18 ガイド溝 20 重り

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】修正キャリヤ載置用の横桟を内側に備えた
    複数の支持部片を折曲可能に連結することにより構成さ
    れ、相互間に上記横桟上への修正キャリヤの載置に必要
    な間隔を保って上下動自在に配設された一対の棚枠部
    材;上記両棚枠部材を同時に上下動させる昇降手段;上
    記棚枠部材の上下動を案内するガイド手段;上記棚枠部
    材における各支持部片を、上限位置を越えて上昇した時
    に外側に傾斜させる傾斜手段;を有することを特徴とす
    る修正キャリヤ用収納装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の収納装置において、上記
    ガイド手段が、棚枠部材を支持する支持枠に形成されて
    該棚枠部材が嵌合するガイド溝であり、上記傾斜手段
    が、棚枠部材の各支持部片に設けられた重りであること
    を特徴とするもの。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の収納装置において、上記
    ガイド手段が、棚枠部材を支持する支持枠に形成されて
    該棚枠部材が嵌合するガイド溝であって、該ガイド溝が
    傾斜手段をも兼ねていることを特徴とするもの。
JP9223182A 1997-08-05 1997-08-05 修正キャリヤ用収納装置 Withdrawn JPH1148121A (ja)

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JP9223182A JPH1148121A (ja) 1997-08-05 1997-08-05 修正キャリヤ用収納装置

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JP9223182A JPH1148121A (ja) 1997-08-05 1997-08-05 修正キャリヤ用収納装置

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JPH1148121A true JPH1148121A (ja) 1999-02-23

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JP (1) JPH1148121A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008062378A (ja) * 2007-10-15 2008-03-21 Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd 両面研摩装置用ドレッサ収納機構
JP2008137153A (ja) * 2008-01-28 2008-06-19 Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd 両面研摩装置並びにこれに使用されるブラシ及びドレッサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008062378A (ja) * 2007-10-15 2008-03-21 Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd 両面研摩装置用ドレッサ収納機構
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Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

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Effective date: 20041005