JPH1148139A - モータ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 軸受にずれた傾斜力が働かず、超精密かつ円
滑な回転力が得られ、高精度、高剛性、高出力、小型化
が可能となるモータ駆動装置を提供する。 【解決手段】 回転自在に軸支されている回転の対象と
なる回転軸３と、回転軸３と直交する方向に軸中心が位
置するように設けられた、第１のモータ１および第２の
モータ２と、回転軸３の回転伝達部３３と、第１のモー
タの軸の回転伝達部１３と第２のモータの回転伝達部２
３とにかけられた平ベルト４と、第１のモータに速度指
令を印加する速度指示手段５と、速度指示手段から印加
された速度指令に応答して第１のモータが回転し、その
回転時のトルクを受け入れ、所定の信号処理を行ってそ
の結果を前記第２のモータに印加するトルク指示手段６
とを有する。第１のモータ１は速度指示手段５からの速
度指令に応答した速度制御動作をし、第２のモータ２は
トルク指示手段からのトルク指令に応じて、第１のモー
タ２のトルク不足を補うようにトルク制御動作を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はモータ駆動装置に関
するものであり、特に、たとえば、半導体ウェーハの平
坦化のための研磨装置、曲面形成研磨装置などの超精密
加工機の加工用回転テーブルなどの超精密および円滑な
回転を必要とする回転軸の高出力・高剛性・小型化を図
るモータ駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、特開平８−２８１５５０号公
報に開示されているように、半導体デバイスの高集積化
に伴い、半導体ウェーハの平坦度はますます高い平坦度
が要求されている。したがって、半導体ウェーハの平坦
化のための研磨装置は、超精密な研磨が要望されてい
る。そのような研磨装置においては、モータが研磨材を
回転させて半導体ウェーハの表面を研磨する。

【０００３】このような超精密な加工が要求される場合
の、回転軸を回転させるモータ駆動装置を下記に例示す
る。図４を参照してモータと回転軸との連結方法につい
て述べる。ギア、歯付ベルトなどを用いた回転駆動にお
いて、ギアのピッチＰごとに回転数の微小なうねり（ジ
ッタまたはウワフラッタともいう）が発生する。そのた
め、極めて滑らかな回転を得るためには、図５に図解し
た平ベルトを用いた駆動方法、または、図６に図解した
ダイレクトモータ駆動方法などが試みられている。しか
しながら、これら下記に述べる不具合に遭遇している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図５は平ベルト駆動装
置の構成図である。この構成においては、１台のモータ
から平ベルトを介して下側の回転軸の回転伝達部を回転
させるから、回転軸への駆動力がセンターよりずれた位
置にかかる。そのため、回転軸は常に振れ回りを起こそ
うとする。このモーメントにより回転軸の軸受が持つ有
効負荷容量は見かけ上、低下する。また、この装置の制
御系の安定性はモータの出力が増加するに従って低下す
る。その結果、回転軸を高出力化するためにはモータ以
外にも軸受の剛性を高くする必要がある。このことが、
制御装置および機構の小型化を困難にしている。

【０００５】図６はダイレクトモータ駆動装置の構成図
である。このダイレクトモータ駆動装置は、モータ、回
転軸、回転テーブルが垂直方向に並んでいるから、高さ
方向の寸法が大きく小型化に適さない。さらに、回転テ
ーブルの回転はすべて、１台のモータの回転に依存する
から、モータに回転変動が発生すると回転テーブルのそ
の影響を受けて回転むらが起こる。

【０００６】したがって、本発明の目的は、軸受にずれ
た（オフセットした）傾斜力が働かず、超精密かつ円滑
な回転力が得られ、高い精度、高い剛性、高い出力、さ
らに小型化が可能となるモータ駆動装置を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、回転自
在に軸支されている回転の対象となる回転軸と、該回転
軸と直交する方向に軸中心が位置するように設けられ
た、第１のモータおよび第２のモータと、前記回転軸の
回転伝達部と、前記第１のモータの軸の回転伝達部と前
記第２のモータの回転伝達部とにかけられた平ベルト
と、前記第１のモータに速度指令を印加する速度指示手
段と、該速度指示手段から印加された速度指令に応答し
て前記第１のモータが回転し、その回転時のトルクを受
け入れ、所定の信号処理を行ってその結果を前記第２の
モータに印加するトルク指示手段とを有するモータ駆動
装置が提供される。

【０００８】好適には、前記回転軸には細径部および太
径部からなる第３の軸が接続されており、前記第１の駆
動モータには細径部および太径部からなる第１のモータ
軸が接続されており、前記第２の駆動モータには細径部
および太径部からなる第２のモータ軸が接続されてお
り、前記第３の軸の太径部と、前記第１のモータ軸の太
径部と、前記第２のモータ軸の太径部とはほぼ同一平面
に位置し、前記平ベルトが横方向に前記第３の軸の太径
部の外周、前記第１のモータ軸の太径部の外周、前記第
２のモータ軸の太径部の外周にかけられている。

【０００９】特定的には、前記第３の軸の太径部は前記
回転軸の下側に位置し、前記第１のモータ軸の太径部は
第１の駆動モータの下側に位置し、前記第２のモータ軸
の太径部は第２の駆動モータの下側に位置し、前記平ベ
ルトが横方向に前記前記第３の軸の太径部の外周、前記
第１のモータ軸の太径部の外周、前記第２のモータ軸の
太径部の外周にかけられている。また特定的には、前記
回転軸は内筒型の回転軸であり、前記内筒において回転
自在に軸支されており、前記第３の軸の太径部は前記回
転軸の中央に位置する。さらに特定的には、前記第３の
軸の太径部は前記回転軸の上側にに接続された回転テー
ブルであり、前記第１のモータ軸の太径部は第１の駆動
モータの上側に位置し、前記第２のモータ軸の太径部は
第２の駆動モータの上側に位置し、前記平ベルトが横方
向に前記回転テーブルの外周、前記第１のモータ軸の太
径部の外周、前記第２のモータ軸の太径部の外周にかけ
られている。

【００１０】

【作用】前記第１のモータは前記速度指示手段からの速
度指令に応答した速度制御動作をする。第２のモータは
前記トルク指示手段からのトルク指令に応じて、前記第
１のモータのトルク不足を補うようにトルク制御動作を
行う。平ベルトで連結された第１の駆動モータの第１の
モータ軸と第２の駆動モータの第２のモータ軸の回転力
は第３の軸を介して釣り合う。その結果、ずれた（オフ
セットした）軸傾斜力は働かず、超精密かつ円滑な回転
力が得られる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明のモータ駆動装置の実施の
形態を下記に述べる。

【００１２】第１の実施の形態 図１（Ａ）は本発明のモータ駆動装置の第１の実施の形
態の構成図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の線Ｈ−Ｈ
からみた平面図である。図１（Ａ）および図１（Ｂ）に
図解したように、本実施の形態のモータ駆動装置におい
ては、第１の駆動モータ１および第２の駆動モータ２を
用い、これらのモータ１、２を回転軸３と直交する方向
に配置する。回転軸３からみて、第１の駆動モータ１と
第２の駆動モータ２とが完全に対称な位置、すなわち、
回転軸３から第１の駆動モータ１の軸中心と第２の駆動
モータ２の軸中心とが等しい必要はないが、第１の駆動
モータ１の太径部１３の直径は第２の駆動モータ２の太
径部２３の直径が等しいときは、第１の駆動モータ１と
第２の駆動モータ２とが回転軸３から等しい距離にある
ことが望ましい。すなわち、第１の駆動モータ１と第２
の駆動モータ２とを回転軸３に対して対向位置に配置す
る。図解の例は第１の駆動モータ１と第２の駆動モータ
２とが回転軸３に対して対称な位置にある場合を示して
いる。しかしながら、第１のモータ軸１１の太径部１３
と第２のモータ軸２１の太径部２３の直径が異なる時
は、実質的に回転軸３から対称な位置に第１の駆動モー
タ１と第２の駆動モータ２とか位置すればよい。

【００１３】第１の駆動モータ１には、細径部１２と太
径部１３とからなる第１のモータ軸１１が接続されてい
る。同様に、第２の駆動モータ２には、細径部２２と太
径部２３とからなる第２のモータ軸２１が接続されてい
る。回転軸３には、細径部３２と太径部３３とからなる
第３の軸３１が接続されており、第３の軸３１と対向す
る上側には、回転テーブル３４が設けられている。回転
軸３は軸受３５で回転自在に軸支されている。

【００１４】第１のモータ軸１１の太径部１３と、第３
の軸３１の太径部３３と、第２のモータ軸２１の太径部
２３とは同一平面に位置しており、これら第１のモータ
軸１１の太径部１３、第３の軸３１の太径部３３、第２
のモータ軸２１の太径部２３との外周には、平ベルト４
がかけられている。第１の駆動モータ１および第２の駆
動モータ２は、本実施の形態においては、図示のごと
く、反時計回りに回転する。

【００１５】本実施の形態のモータ駆動装置には、速度
指示器（速度設定器）５と、トルク指示器（トルク設定
器）６とが設けられている。

【００１６】以下、本実施の形態の動作を述べる。たと
えば、作業者によって目標とする速度入力Ｓｒが速度指
示器５に設定されると、速度指示器５はその設定された
速度入力Ｓ５を第１の駆動モータ１に設定する。第１の
駆動モータ１は、速度制御用主モータとして機能し、速
度指示器５から指示された速度指令に応じた回転数で回
転する。第１の駆動モータ１はまた、その実効トルク値
をトルク指示器６に実時間で出力する。トルク指示器６
は、第１の駆動モータ１から設定された実効トルク値を
入力し、入力された実効トルクに所定係数ｋを乗じ、そ
の乗算結果をトルク指令値Ｓ６として第２の駆動モータ
２に印加する。所定の係数ｋは、平ベルト４にかかる張
力Ｔ１，Ｔ２、平ベルト４の摩擦係数などによって決定
される定数である。この係数ｋは、事前に測定してお
く。第２の駆動モータ２は、トルク制御用補助モータと
して機能し、トルク指示器６から入力されたトルク指令
値Ｓ６に応じたトルクで回転する。以上の動作のとき、
平ベルト４には、第１の駆動力（または、第１の張力）
Ｔ１と第２の駆動力（第２の張力）Ｔ２とが図１（Ｂ）
に図解のごとくかかる。

【００１７】以上の動作を分析すると、第１の駆動モー
タ１は、速度指示器５からの速度指令に応じて速度制御
する主モータとして機能し、そのときのトルクを第２の
駆動モータ２に伝達する。第２の駆動モータ２は、第１
の駆動モータ１のトルクを入力して、第１の駆動モータ
１のトルク不足を補うトルク制御補助モータとして機能
する。

【００１８】第１実施の形態の効果 このように、平ベルト４で連結された第１の駆動モータ
１の第１のモータ軸１１と第２の駆動モータ２の第２の
モータ軸２１の回転力は第３の軸３１を介して釣り合
う。すなわち、第１の駆動力（または、第１の張力）Ｔ
１と第２の駆動力（第２の張力）Ｔ２とは第３の軸３１
を介して釣り合う。その結果、ずれた（オフセットし
て）軸傾斜力は働かず、超精密かつ円滑な回転力が得ら
れる。すなわち、第１実施の形態によれば、高い精度、
高い剛性、高い出力、さらに小型化が可能となる。

【００１９】したがって、本実施の形態のモータ駆動装
置を、高い精度、高い剛性、高い出力、さらに小型化が
要望される用途、たとえば、半導体ウェーハの表面研磨
用の化学的機械的研磨装置の回転テーブルなどに有効に
活用できる。

【００２０】第２の実施の形態 図２（Ａ）は本発明のモータ駆動装置の第２の実施の形
態の構成図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の線Ｈ−Ｈ
からみた平面図である。第２実施の形態のモータ駆動装
置は、外輪回転型モータ駆動装置ともいうべきものであ
り、このモータ駆動装置は、図２（Ａ）および図２
（Ｂ）に図解したように、第１の駆動モータ１および第
２の駆動モータ２を用い、これらのモータ１、２を回転
軸３Ａに対して対向位置に配置する。第１の駆動モータ
１には、細径部１２と太径部１３とからなる第１のモー
タ軸１１が接続されている。同様に、第２の駆動モータ
２には、細径部２２と太径部２３とからなる第２のモー
タ軸２１が接続されている。回転軸３Ａは内筒型の回転
軸であり、内筒が軸受３５Ａで回転自在に軸支されてい
る。回転軸３Ａの一部が太径部３３Ａになっていて、太
径部３３Ａに平ベルト４Ａがかけられる。回転軸３Ａの
上部には回転テーブル３４Ａが接続されている。

【００２１】第１のモータ軸１１の太径部１３と、回転
軸３Ａの太径部３３Ａと、第２のモータ軸２１の太径部
２３とは同一平面に位置しており、これら第１のモータ
軸１１の太径部１３、回転軸３Ａの太径部３３Ａ、第２
のモータ軸２１の太径部２３との外周には、平ベルト４
Ａがかけられている。第１の駆動モータ１および第２の
駆動モータ２は、本実施の形態においては、図示のごと
く、時計回りに回転する。

【００２２】本実施の形態のモータ駆動装置にも、速度
指示器（速度設定器）５と、トルク指示器（トルク設定
器）６とが設けられている。

【００２３】以下、本実施の形態の動作を述べる。な
お、本実施の形態の動作は実質的に第１の実施の形態の
動作と同じである。たとえば、作業者によって目標とす
る速度入力Ｓｒが速度指示器５に設定されると、速度指
示器５はその設定された速度入力Ｓ５を第１の駆動モー
タ１に設定する。第１の駆動モータ１は、速度制御用主
モータとして機能し、速度指示器５から指示された速度
指令に応じた回転数で回転する。第１の駆動モータ１は
また、その実効トルク値をトルク指示器６に実時間で出
力する。トルク指示器６は、第１の駆動モータ１から設
定された実効トルク値を入力し、入力された実効トルク
に所定係数ｋを乗じ、その乗算結果をトルク指令値Ｓ６
として第２の駆動モータ２に印加する。所定の係数ｋ
は、平ベルト４Ａにかかる張力Ｔ１，Ｔ２、平ベルト４
の摩擦係数などによって決定される定数である。この係
数ｋは、事前に測定しておく。第２の駆動モータ２は、
トルク制御用補助モータとして機能し、トルク指示器６
から入力されたトルク指令値Ｓ６に応じたトルクで回転
する。以上の動作のとき、平ベルト４Ａには、第１の駆
動力（または、第１の張力）Ｔ１と第２の駆動力（第２
の張力）Ｔ２とが、図２（Ｂ）に図解のごとくかかる。

【００２４】したがって、第２の実施の形態において
も、第１の駆動モータ１は、速度指示器５からの速度指
令に応じて速度制御する主モータとして機能し、そのと
きのトルクを第２の駆動モータ２に伝達する。第２の駆
動モータ２は、第１の駆動モータ１のトルクを入力し
て、第１の駆動モータ１のトルク不足を補うトルク制御
補助モータとして機能する。

【００２５】第２実施の形態の効果と用途 第２の実施の形態の効果は実質的に第１の実施の形態の
効果度同様である。ただし、第２実施の形態において
は、軸受３５を中心に、第１の駆動力と第２の駆動力を
配置できるという利点がある。本実施の形態のモータ駆
動装置も、高い精度、高い剛性、高い出力、さらに小型
化が要望される用途、たとえば、半導体ウェーハの表面
研磨用の化学的機械的研磨装置の回転テーブルなどに有
効に活用できる。

【００２６】第３の実施の形態 図３（Ａ）は本発明のモータ駆動装置の第３の実施の形
態の構成図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の線Ｈ−Ｈ
からみた平面図である。第３実施の形態のモータ駆動装
置は、テーブル側駆動型モータ駆動装置ともいうべきも
のであり、このモータ駆動装置は、図３（Ａ）および図
３（Ｂ）に図解したように、第１の駆動モータ１および
第２の駆動モータ２を用い、これらのモータ１、２を回
転軸３Ｂに対して対向位置に配置する。第１の駆動モー
タ１には、細径部１２と太径部１３とからなる第１のモ
ータ軸１１が接続されている。同様に、第２の駆動モー
タ２には、細径部２２と太径部２３とからなる第２のモ
ータ軸２１が接続されている。回転軸３Ｂの外周は軸受
３５で回転自在に軸支されている。平ベルト４Ｂがかけ
られる回転軸３Ｂの太径部が回転テーブル３４Ｂと一致
しており、回転テーブル３４Ｂの側壁に平ベルト４Ｂが
かけられる。

【００２７】第１のモータ軸１１の太径部１３と、回転
テーブル３４Ｂと、第２のモータ軸２１の太径部２３と
は同一平面に位置しており、これら第１のモータ軸１１
の太径部１３、回転テーブル３４Ｂ、第２のモータ軸２
１の太径部２３との外周には、平ベルト４Ｂがかけられ
ている。第１の駆動モータ１および第２の駆動モータ２
は、本実施の形態においては、図示のごとく、時計回り
に回転する。

【００２８】本実施の形態のモータ駆動装置にも、速度
指示器（速度設定器）５と、トルク指示器（トルク設定
器）６とが設けられている。

【００２９】以下、本実施の形態の動作を述べる。な
お、本実施の形態の動作は実質的に第２の実施の形態の
動作と同じである。たとえば、作業者によって目標とす
る速度入力Ｓｒが速度指示器５に設定されると、速度指
示器５はその設定された速度入力Ｓ５を第１の駆動モー
タ１に設定する。第１の駆動モータ１は、速度制御用主
モータとして機能し、速度指示器５から指示された速度
指令に応じた回転数で回転する。第１の駆動モータ１は
また、その実効トルク値をトルク指示器６に実時間で出
力する。トルク指示器６は、第１の駆動モータ１から設
定された実効トルク値を入力し、入力された実効トルク
に所定係数ｋを乗じ、その乗算結果をトルク指令値Ｓ６
として第２の駆動モータ２に印加する。所定の係数ｋ
は、平ベルト４Ａにかかる張力Ｔ１，Ｔ２、平ベルト４
の摩擦係数などによって決定される定数である。この係
数ｋは、事前に測定しておく。第２の駆動モータ２は、
トルク制御用補助モータとして機能し、トルク指示器６
から入力されたトルク指令値Ｓ６に応じたトルクで回転
する。以上の動作のとき、平ベルト４Ｂには、第１の駆
動力（または、第１の張力）Ｔ１と第２の駆動力（第２
の張力）Ｔ２とが、図３（Ｂ）に図解のごとくかかる。

【００３０】したがって、第３の実施の形態において
も、第１の駆動モータ１は、速度指示器５からの速度指
令に応じて速度制御する主モータとして機能し、そのと
きのトルクを第２の駆動モータ２に伝達する。第２の駆
動モータ２は、第１の駆動モータ１のトルクを入力し
て、第１の駆動モータ１のトルク不足を補うトルク制御
補助モータとして機能する。

【００３１】第３実施の形態の効果と用途 第３の実施の形態の効果は実質的に第１の実施の形態お
よび第２の実施の形態の効果度同様である。なお、第３
実施の形態においては、回転テーブル３４Ｂの直径が第
１および第２の実施の形態の太径部３３、３３Ａの直径
より大きいので、軸受３５への傾斜力が働かず、安定し
た回転が得られる。また、高さ方向の寸法が小さくな
り、小型化に適している。本実施の形態のモータ駆動装
置も、高い精度、高い剛性、高い出力、さらに小型化が
要望される用途、たとえば、半導体ウェーハの表面研磨
用の化学的機械的研磨装置の回転テーブルなどに有効に
活用できる。

【００３２】その他の実施の形態 本発明のモータ駆動装置は上述した構成に限定されず、
種々の変形態様をとることができる。たとえば、図２に
おいて、第１の駆動モータ１は図解のまま上向きにし、
第２の駆動モータ２は下向きにすることができる。本発
明のモータ駆動装置においては、平ベルト４が、回転軸
３の回転伝達部、第１の駆動モータ１の回転伝達部、第
２の駆動モータ２の回転伝達部に水平方向で円滑にかか
ればよい。本発明のモータ駆動装置の実施に際しては、
第１の駆動モータ１および第２の駆動モータ２のモータ
の種別には限定されない。しかしながら、本発明のモー
タ駆動装置は正確な速度制御およびトルク制御が行われ
るから、そのような動作を行うモータが適している。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、ずれた（オフセットし
て）軸傾斜力は働かず、超精密かつ円滑な回転力が得ら
れる。その結果、本発明によれば、高い精度、高い剛
性、高い出力、さらに小型化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明のモータ駆動装置の第１の実施の
形態を示す図であり、図１（Ａ）は本発明のモータ駆動
装置の第１の実施の形態の構成図であり、図１（Ｂ）は
図１（Ａ）の線Ｈ−Ｈからみた平面図である。

【図２】図２は本発明のモータ駆動装置の第２の実施の
形態を示す図であり、図２（Ａ）は本発明のモータ駆動
装置の第２の実施の形態の構成図であり、図２（Ｂ）は
図２（Ａ）の線Ｈ−Ｈからみた平面図である。

【図３】図３は本発明のモータ駆動装置の第３の実施の
形態を示す図であり、図３（Ａ）は本発明のモータ駆動
装置の第３の実施の形態の構成図であり、図３（Ｂ）は
図３（Ａ）の線Ｈ−Ｈからみた平面図である。

【図４】図１は従来のモータ駆動装置の構成とその特性
を示す図である。

【図５】図５は従来のモータ駆動装置の構成図である。

【図６】図６は他の従来のモータ駆動装置の構成図であ
る。

【符号の説明】 １・・第１の駆動モータ ２・・第２の駆動モータ １１・・第１のモータ軸 ２１・・第２のモータ軸 １２・・細径部 ２２・・細径部 １３・・太径部 ２３・・太径部 ３・・回転軸 ３１・・第３の軸 ３２・・細径部 ３３・・太径部 ３４・・回転テーブル ３５・・軸受 ４・・平ベルト ５・・速度指示器（速度設定器） ６・・トルク指示器（トルク設定器） ７・・固定軸

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転自在に軸支されている回転の対象とな
   る回転軸と、 該回転軸と直交する方向に軸中心が位置するように設け
   られた、第１のモータおよび第２のモータと、 前記回転軸の回転伝達部と、前記第１のモータの軸の回
   転伝達部と前記第２のモータの回転伝達部とにかけられ
   た平ベルトと、 前記第１のモータに速度指令を印加する速度指示手段
   と、 該速度指示手段から印加された速度指令に応答して前記
   第１のモータが回転し、その回転時のトルクを受け入
   れ、所定の信号処理を行ってその結果を前記第２のモー
   タに印加するトルク指示手段とを有し、 前記第１のモータは前記速度指示手段からの速度指令に
   応答した速度制御動作をし、 前記第２のモータは前記トルク指示手段からのトルク指
   令に応じて、前記第１のモータのトルク不足を補うよう
   にトルク制御動作を行うモータ駆動装置。
2. 【請求項２】前記回転軸には細径部および太径部からな
   る第３の軸が接続されており、 前記第１の駆動モータには細径部および太径部からなる
   第１のモータ軸が接続されており、 前記第２の駆動モータには細径部および太径部からなる
   第２のモータ軸が接続されており、 前記第３の軸の太径部と、前記第１のモータ軸の太径部
   と、前記第２のモータ軸の太径部とはほぼ同一平面に位
   置し、前記平ベルトが横方向に前記第３の軸の太径部の
   外周、前記第１のモータ軸の太径部の外周、前記第２の
   モータ軸の太径部の外周にかけられている請求項１記載
   のモータ駆動装置。
3. 【請求項３】前記第３の軸の太径部は前記回転軸の下側
   に位置し、 前記第１のモータ軸の太径部は第１の駆動モータの下側
   に位置し、 前記第２のモータ軸の太径部は第２の駆動モータの下側
   に位置し、 前記平ベルトが横方向に前記前記第３の軸の太径部の外
   周、前記第１のモータ軸の太径部の外周、前記第２のモ
   ータ軸の太径部の外周にかけられている請求項２記載の
   モータ駆動装置。
4. 【請求項４】前記回転軸は内筒型の回転軸であり、前記
   内筒において回転自在に軸支されており、前記第３の軸
   の太径部は前記回転軸の中央に位置する請求項２記載の
   モータ駆動装置。
5. 【請求項５】前記第３の軸の太径部は前記回転軸の上側
   に接続された回転テーブルであり、 前記第１のモータ軸の太径部は第１の駆動モータの上側
   に位置し、 前記第２のモータ軸の太径部は第２の駆動モータの上側
   に位置し、 前記平ベルトが横方向に前記回転テーブルの外周、前記
   第１のモータ軸の太径部の外周、前記第２のモータ軸の
   太径部の外周にかけられている請求項２記載のモータ駆
   動装置。