JPH11502951A - ガラススペーサを有するプラズマアドレス液晶ディスプレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 横方向に間隔を置いたスロットをスペーサプレートにエッチングし、薄い絶縁性シートを前記エッチングされたスペーサプレートを覆って取り付け、前記エッチングされたスペーサプレートを透過性基板に取り付けることによってプラズマチャネルを形成し、各々のチャネルが、前記スペーサプレートにおけるエッチングされたスロットによって形成される側部壁間の前記基板の部分と、前記薄い絶縁性シートの重なっている部分とによって形成さされるようにした、好適にはＰＡＬＣ形式の平面表示装置。変形例において、補強クロスバを隣接する側部壁間に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】 ガラススペーサを有するプラズマアドレス液晶ディスプレイ この発明は、プラズマチャネルと、プラズマチャネルを具える表示デバイスと 、このようなチャネルを使用する一般に“ＰＡＬＣ”表示装置と呼ばれるプラズ マアドレス液晶表示パネルとに関するものである。ＰＡＬＣ装置は、代表的に、 代表的に酸化錫ドープ酸化インジウムを使用することから“ＩＴＯ”列または電 極と普通呼ばれる堆積された平行透過列電極を有し、カラーフィルタ層を堆積し た第１基板と、前記ＩＴＯ列のすべてと交差する該ディスプレイの行に対応し、 各々にヘリウム、ネオンおよび／またはアルゴンのような低圧イオン化可能ガス を充填した平行シールドプラズマチャネルを具え、前記ガスをイオン化しプラズ マを生成する前記チャネルに沿って間隔を置いたカソードおよびアノード電極を 含む第２基板と、これらの基板間に位置する液晶（ＬＣ）材料とのサンドイッチ を具える。前記基板は、各画素における薄膜トランジスタスイッチを、行スイッ チとして機能し、ＬＣ画素の行を選択的にアドレスすることができるプラズマチ ャネルに置き換えたアクティブマトリックス液晶ディスプレイのように振る舞う 。動作において、表示すべき画像を表すデータ信号の連続するラインを列位置に おいて標本化し、標本化データ電圧を前記ＩＴＯ列に各々印加する。前記行プラ ズマチャネルのほとんど１つが、消イオン化すなわち非導通状態にある。あるイ オン化選択チャネルのプラズマは、導通し、実際には前記ＬＣ層の画素の行にお ける基準電位を確立し、各々のＬＣ画素を前記データ信号の印加列電位に充電す る。前記イオン化チャネルはターンオフし、前記ＬＣ画素電荷を絶縁し、前記デ ータ電圧をフレーム周期中に格納する。データの次の行が前記ＩＴＯ列に現れた 場合、続くプラズマチャネル行のみをイオン化し、前記データ電圧をＬＣ画素の 続く行に格納し、これを続ける。周知のように、バックライトまたは各々のＬＣ 画素への入射光の減衰が、前記画素の両端間に格納された電圧の機能である。こ のようなＰＡＬＣの構造、製造法および動作は、参照によって内容がここに含ま れる米国特許明細書第４８９６１４９号、第５０７７５５３号、第５２７２４７ ２号お よび第５２７６３８４号と、刊行物「Buzak et al.,“A 16-Inch Full Color Pl asma Addressed Liquid Crystal Display”,Digest of Tech．Papers，1993 SID Int．Symp.，Soc．for Info．Displ．pp.883-886」とに詳細に記載されている ため、より詳細な説明は必要ない。前記1993 SID Digest に記載のＰＡＬＣディ スプレイの部分的な斜視図を図２に示す。前記参考文献に記載の前記プラズマチ ャネルを形成する方法は、平坦なガラス基板をエッチングし、間隔を置いたリッ ジまたはメサによって規定される平行な半円柱形状のリセスを形成し、前記メサ の頂上に３０−５０μｍ程度の範囲における厚さを有する薄い絶縁性カバーシー トを結合する。 上記構造およびその製造法は、ある問題に直面している。前記チャネル電極を 前記チャネルの傾斜する側壁においてパターン化しなければならないため、前記 電極の寸法および位置を正確に制御することができない。さらに、処理状態にお ける僅かな変化が、エッチングレートを変えてしまう恐れがあるため、チャネル エッチングプロセスを制御するのが困難であり、したがって、前記エッチングプ ロセスの制御に依存する前記チャネルの深さを制御するのが困難である。 欧州特許出願公開明細書第５０００８４Ａ２号は、平面基板上に電極をパター ン化し、前記平面基板上にスペーサを設け、前記スペーサの頂上に薄いガラスシ ートを配置することによるチャネルの製造法を記載している。したがって放電ス ペースは、前記電極を横断して連続的に延在している。しかしながら、この連続 的な放電スペースは、チャネル間に回避することが困難なクロストークを導く。 さらに、前記スペーサを、前記平面基板上に、スクリーン印刷のような堆積およ び／またはエッチング処理によって形成しなければならない。前記スペーサは、 必要なチャネル深さ（〜１００ミクロンまたはそれ以上）と同じ位の厚さにする 必要があるため、前記スペーサの製造は前記プロセスをより複雑にする。 欧州特許出願公開明細書第５０００８５Ａ２号および第５５４８５１Ａ１号は 、隔壁をスクリーンプリントすることによるチャネルの製造法を記載している。 しかしながら、これも困難なプロセスであり、必要な隔壁の高さを得るために複 数の層を必要とする。 本発明の目的は、改善したチャネルプレートにある。 本発明の他の目的は、改善したプラズマアドレス表示装置にある。 本発明のさらに他の目的は、ＰＡＬＣ表示装置のプラズマチャネルを製造する 改善した方法にある。 本発明の第１の態様によれば、チャネルプレートは、絶縁性基板と、貫通穴に よってパターン化された絶縁性シートの一部として各々形成された複数の横向き に間隔をおいたチャネル規定スペーサ部材によって前記基板上に間隔をおいて配 置した薄い絶縁性シート状部材とを具え、ここで前記シートをスペーサシートま たはプレートと呼ぶ。前記穴を、所望のチャネル配置を形成するために配置し、 前記チャネル配置を代表的に細長く延びた平行チャネルとし、好適には直線状と するが、実際的に平行な関係が保たれている限りカーブしてもよい。前記基板上 のスペーサシートの高さは、前記チャネルの高さを決定し、前記チャネルを、隣 接して側面に位置するスペーサ間に延在する前記基板表面の部分と、それら自体 が前記チャネル壁を形成する前記側面に位置するスペーサと、前記薄い絶縁性シ ート状部材とによって各々形成する。間隔を置いた電極を各々のチャネルにプラ ズマ形成雰囲気と共に設ける。前記チャネルは、前記３つのシート状部材、すな わち、基板、スペーサプレートおよび薄い絶縁性シートを組みたて、互いに結合 した時に形成される。 本発明の第１の好適実施例によれば、前記基板をガラスのものとし、前記薄い 絶縁性シートをガラスのものとし、前記スペーサシートを、化学的またはプラズ マエッチングか、サンドブラストのような機械的手段かによって形成されたスロ ットの形態における貫通穴を有するガラスプレートとする。前記３つのガラス部 材を、前記引用した特許明細書および刊行物のいくつかにおいて記載されている ような溶融ガラスを使用して互いに結合してもよく、上述した第１の関連する特 許明細書において記載されているような陽極結合によって互いに結合してもよい 。 本発明の他の好適実施例によれば、前記チャネルプレートをＰＡＬＣ表示装置 の一部とし、前記基板、パターン化スペーサプレートおよびその上に重なる薄い 絶縁性シート状部材が前記電極と共に、前記ＰＡＬＣ表示装置のプラズマチャネ ルまたはチャネルプレートを構成する。 本発明を特徴付ける新規の種々の特徴を、この明細書に付属し、その一部を形 成する請求の範囲において詳細に指摘した。本発明と、その使用によって達成さ れるその動作上の利点および特定の目的をより理解するために、本発明の好適実 施例を示し、説明する添付した図面と記述的な内容とを参照すべきであり、同様 の参照符は、同じまたは同様の構成部分を示す。 図１は、慣例的な平面パネル表示システムの図式的なブロック図である。 図２は、慣例的なＰＡＬＣ表示装置の一部の斜視図である。 図３は、ＰＡＬＣカラーディスプレイにおいて使用する本発明によるチャネル プレートのある形態の一部の斜視図であり、図４は、このチャネルプレートに使 用するスペーサプレートの上面図である。 図５は、図３のチャネルプレートの分解側面図である。 図６および７は、図３−５の実施例において使用するスペーサプレートをエッ チングする２つの異なった方法を示す図式的な図である。 図８および９は、各々、本発明による他の実施例において使用するスペーサプ レートの他の形態の一部の側面図および上面図である。 図１は、平面パネル表示システム１０を示し、これは、代表的なＰＡＬＣ表示 装置および動作電気回路網を表す。図１の参照によれば、前記平面パネル表示シ ステムは、垂直および水平方向において予め決められた距離だけ互いに間隔をお いた名目上同一のデータ格納部すなわち表示素子１６の矩形平面アレイによって 形成されたパターンを含む表示表面１４を有する表示パネル１２を具える。前記 アレイにおける各々の表示素子１６は、垂直列において配置された薄い狭い電極 １８と、水平行において配置された細長く延びた狭い電極２０との重なった部分 を表す。（ここでは電極１８を、時々“列電極”と呼ぶ。）チャネル２０の列の 各々における表示素子１６はデータの１ラインを表す。 列電極１８およびチャネル２０の幅は、表示素子１６の寸法を決定し、表示素 子１６を代表的に矩形形状のものとする。列電極１８を、第１の非導電性で光学 的に透過性の基板３４（図２）の表面の大部分に堆積し、前記チャネル行を、第 ２の透過性基板３６に普通に組み込む。当業者には、直視または投影形式の反射 ディスプレイのような特定のシステムが、一方の基板のみを光透過性とすること を必要とすることが明らかであろう。 行電極１８は、データドライバまたは駆動回路２４の出力増幅器２３（図２） の異なったものによって並列出力導体２２’に生ぜられたアナログ電圧形式のデ ータ駆動信号を受け、チャネル２０は、データストローブまたはストローブ手段 またはストローブ回路２８の出力増幅器２１（図２）の異なったものによって並 列出力導体２６’に生ぜられた電圧パルス形式のデータストローブ信号を受ける 。各々のチャネル２０は、基準電極３０（図２）を具え、この基準電極に対して 、各々のチャネル２０に共通するグランドのような基準電位を印加する。 表示表面１４の領域全体における画像を同期させるために、表示システム１０ は、データドライバ２４およびデータストローブ２８の機能を調整し、表示パネ ル１２の表示素子１６の全ての列が上述したような行走査方法において一行ずつ アドレスされるようにする走査制御回路３２を使用する。表示パネル１２は、異 なった形式の電気光学材料を使用してもよい。例えば、入射光線の偏光状態を変 化させるような材料を使用した場合、表示パネル１２を一対の光偏光フィルタ間 に配置し、これらのフィルタは表示パネル１２と協働し、これらを通過して伝播 する光の輝度を変化させる。しかしながら、前記電気光学材料として散乱液晶セ ルを使用すると、偏光フィルタを使用する必要が無くなる。透過または反射光を その両端間の電圧に応じて減衰させる全てのこのような材料または材料の層を、 ここでは電気光学材料と呼ぶ。ＬＣ材料が現在最も一般的な例であるため、詳細 な説明にはＬＣ材料を参照するが、本発明はそれに限定されないことを理解され たい。カラーフィルタ（図示せず）を表示パネル１２中に配置し、制御可能なカ ラー強度の多色画像を発生してもよい。投影型ディスプレイに関して、各々が１ つの原色を制御する３つの別個の単色パネル１２を使用してカラーを達成するこ ともできる。 図２は、ＬＣ材料を使用するこのような平面表示パネルのＰＡＬＣ版を示す。 列電極１８を３つのみ示す。行電極２０を、（図２において）ＬＣ材料の層４２ の下にある複数の平行な細長く延びた密封したチャネルによって構成する。チャ ネル２０の各々をイオン化可能ガス４４で満たし、代表的にガラスの薄い絶縁性 シート４５と共に密封し、これらのチャネルは、内部チャネル表面上に各々のチ ャネルの長さ一杯に延在する第１および第２の間隔を置いて細長く延びた電極３ ０および３１を含む。第１電極３０を接地し、一般にアノードと呼ぶ。第２電極 ３１をカソードと呼ぶが、これは、カソード３１から発生される電子に前記ガス をイオン化させるのに十分な負のストローブパルスを前記アノード電極に関して 供給するためである。上述したように、各々のチャネル２０は、順番に、ストロ ーブパルスによってイオン化され、プラズマを形成するガスと、ＬＣ層４２にお ける画素の行に対する接地ライン接続部とを有する。前記ストローブパルスが終 了し、消イオン化が起こった後、次のチャネルがストローブされ、ターンオンす る。列電極１８が各々画素の列全体を横断するため、クロストークを回避するた めに代表的に同時に１つのみのプラズマ行接続が許可される。 ＰＡＬＣ装置の製造は、代表的に前記1993 SID Digest 論文に記載のように、 第１および第２基板３４および３６を設け、第１基板３４がＩＴＯ列電極１８を 堆積したガラスパネルを具え、続いて、前記ＩＴＯ電極をカラーフィルタ処理し 、ＲＧＢストライプ（図示せず）を生じさせ、続いて、ブラックサラウンド処理 および液晶整列処理を行うことによって行う。ガラスパネルの第２基板３６をマ スクし、エッチングしてチャネル２０を形成し、それに続いて、プラズマ電極材 料を堆積し、マスクし、エッチングしてカソード電極３１およびアノード電極３ ０を形成する。次に薄い絶縁性ガラスマイクロシート４５で前記装置の周囲の縁 を横切ってシールしてリッジ５０と共にチャネル２０を形成し、次にこれを排気 し、ヘリウムまたはネオンのような低圧イオン化可能ガスで任意にわずかな割合 の他の不活性ガスと共に満たし、密封する。次にマイクロシート４５の露出表面 のＬＣ整列を行う。次に前記２つの組み立てられた基板を、互いに間隔を置き、 その間の空間にＬＣ材料４２を導入した２つのＬＣ整列表面と、列電極１８およ びプラズマ電極３０および３１に形成した電気的接続部とを有するパネルに組み 立てる。 図３は、本発明による液晶表示パネルの一形態のための、本発明によるチャネ ルプレート５２の一形態の一部の斜視図である。薄い平面ガラス下部プレート３ ６は、プラズマチャネル２０用の実際的に透過性の絶縁性基板を形成する。下部 プレート３６の全面に間隔を置いた電極層部分３０および３１を堆積する。 本発明によれば、前記チャネル壁を、必要なチャネル深さとほぼ等しい厚さの 透過性絶縁性シート５０において形成する。絶縁性シート５０を、好適にはガラ スのようなエッチング可能材料のものとする。これを、図４に示すように、慣例 的なマスキングおよびエッチング処理を使用してガラスに貫通穴５２をエッチン グすることによって行う。 図６および７は、前記ガラスをエッチングしてできるかぎり垂直に閉じる穴を 形成する２つの好適な方法を示す。これを図６に示すように、エッチングマスク ５６に比較的小さい開口５４をあけ、横方向の寸法がマスク開口５４とこの場合 においてシート５０の厚さである深さより少なくとも５倍大きい穴５８をエッチ ングすることによって行うことができる。点線は、エッチング処理中の等方的エ ッチング液を使用してエッチングされた前記側壁の外形を示す。エッチングが進 むにつれて、前記側壁がより急勾配になるのが分かる。ガラスシート５０の厚さ に対してエッチングされた穴５８の横方向の寸法がより大きくなると、前記側壁 はより急勾配になる。限定することを意味しない例として、１００μｍ程度の厚 さのガラスシート５０に関して、５００μｍ幅の穴をエッチングするために、マ スク穴５４を好適には１００μｍ幅とする。図２に示すような直線状チャネルを 有するパネルに関して、穴５２をプレート５０の長さ一杯に近く延在する細長い スロットとするが、環状ガラス境界領域５３における向かい合った側において終 了させ、プレート５０が、スペーサ壁５８によって間隔を置いた平行スロットの 形態における穴５２を除く構成要素として残るようにする。 図７は、プレート５０の両側からエッチングを行うことによって前記スペーサ 壁をより垂直に形成できるエッチングの変形例を示す。この場合において、エッ チングマスク５６は、穴５８を形成すべき部分を除く前記プレートの両側におい て必要であり、マスク穴５４を互いにあける。エッチングが進むにつれてエッチ ングされた外形を示す点線は、両側エッチング処理に関して、前記側壁を、図６ に示す片側エッチング処理によるよりも垂直にできることを示す。 このように生じたチャネル側壁５８の厚さは、チャネル２０の高さを表し、前 記チャネルを密閉する薄い絶縁性シート４５を基板３６から一定の間隔を置かせ るスペーサを構成し、したがってスペーサプレートとして開口プレート５０に対 する基準となることが分かる。前記エッチングを、慣例的な化学的エッチング液 によって、または慣例的なプラズマエッチングによって行うことができる。代わ りに、サンドブラストのような機械的浸食処理を行うこともできる。これは費用 が掛からず、エッチングがより困難なスペーサプレート５０用材料に用いること もできる。 チャネル電極３０および３１を、前記参照した論文および特許に記載されてい るように基板３６に分離して堆積し、パターン化し、その後、薄いガラスシート ４５を開口されたスペーサプレート５０の全面に取り付け、次にスペーサプレー ト５０を整列させ、電極を含む基板３６に取り付ける。示されるように、スペー サプレート壁５０が電極３０および３１を覆って位置することによって、隣接す るチャネル２０は１つの電極を共有し、必要な電極の数が減少する。壁５８を僅 かにテーパ化した形状で示すが、これは、前記片側エッチング記述を使用すると 、マスク穴５４により近いガラス表面がより遠いガラス部分よりもエッチングさ れるためである。前記両側エッチング処理を使用した場合、２重テーパとなる。 薄い絶縁性シート４５のスペーサプレート５０への取り付けと、スペーサプレ ート５０の基板３６への取り付けとを、前記構造の周囲において溶融ガラスを使 用することによって行うことができる。代わりに、陽極結合を使用することもで きる。このような陽極結合は、ガラスのようなイオンコーティング材料の２つの 平坦な表面を結合する既知の処理である。代表的な処理において、ガラスシート を互いに向かい合わせて配置し、これらの両端間に電界を印加し、これらを、ガ ラスイオンが移動するようになるある中間上昇温度に加熱する。これらのイオン は、前記２つのシート間の接触面に移動し、これらを相互に引き寄せる。熱の存 在において結果として生じる力は、前記２つのシート間の恒久的な結合の形成を 導く。代表的な温度は、ガラスの軟化温度よりもかなり低い。溶融ガラスシール は、薄いシート４５を取り付けた後、前記電極領域においてのみ必要となる。 結果として組み立てられたチャネルプレート構造５２を図３に示す。ＰＡＬＣ パネルの残りの部分を通常の方法において、プラズマパネルを充填すると共に密 封し、次に図５における分解図において示すように薄いガラスシート４５の表面 に前記パネルのＬＣ部分を形成することによって製造することができる。上部プ レート３４は、スペーサ壁５８と整列し、ＩＴＯ電極１８を有する上部構造３４ をガラスシート４５から分離し、ＬＣ材料用の閉じ込め空間を与えるように機能 する堆積スペーサ部材６０を有してもよい。 チャネル２０の幅を大きくしてもよい本発明の変形例において、前記スペーサ プレートの機械的強度を増すことが望ましいかもしれない。これを、スペーサプ レート６２において補強クロスバをエッチングすることによって行うことができ る。横方向にスペーサ壁５８間に延在するクロスバ６４は、したがってプレート ６２と一体化している。クロスバ６４がチャネル２０におけるプラズマ放電の動 作に悪影響を及ぼす可能性を避けるために、これらの高さをスペーサ壁５８の高 さを減少させることなく減少させる。図示した実施例において、クロスバ６４の 高さｈを表面から減少させる。高さｈを、前記エッチングマスクにおけるエッチ ング開口の幅と、過剰エッチングの程度とによって制御することができる。当業 者によって容易に決定される適切なマスキングおよびエッチング技術によって、 クロスバ６４を、これらがチャネル２０の高さをどこでも越えないように形成す ることができる。 認められるように、代表的にモニタ使用のためのＰＡＬＣ表示装置は、数百の 列電極１８および数百のプラズマチャネル２０を含むため、図面における要素の 縁における折れ線は、図示した部分がより大きな組み立て部品から分かれる小さ い部分であることを示す。 スペーサ壁部分５８は、導電性層３０および３１の側面とは重ならない、すな わちこれらを覆わず、したがって、導電性層３０および３１の側面は露出された ままであり、適切な電圧がこれらに印加された場合、導電性プラズマを点火する これらの機能を行うことができる。前記電極材料を、代表的に、銅のような金属 、Cu-Cr-Cuの層、または他の適切な金属のものとする。 前記参照した論文および特許に記載の方法のすべては、本発明のパネルの残り の部分を形成するのに適切である。 本発明を、一般的に、すべての種類の平面ディスプレイに適用することができ 、特に、プラズマアドレス形式のディスプレイ、特に、代表的に、コンピュータ モニタ、ワークステーションまたはＴＶ用途に使用する小さいチャネルピッチを 有するＰＡＬＣディスプレイに適用することができる。本発明のチャネルプレー ト の主な用途はＰＡＬＣ形式表示装置にあるが、同じプラズマプレート構造５２を 、出力がプラズマによって発生され、透過性基板および／または上に重なる透過 性シート状部材を経て該装置を出ることができる光であるプラズマ表示装置とし ても使用することができる。 図３の実施例に関するいくつかの好適な例は、（すべての値はμｍ）２０−５ ０程度の壁幅、５０−１６０程度の壁高さ、２００−５００程度の壁ピッチであ る。 これらの図面は一定の割合ではなく、特にチャネル幅において誇張して前記電 極を示している。 さらに、前記基板におけるチャネルを代表的に直線状とするが、本発明はこの ような形態に限定されず、曲がりくねっている形状のような他のチャネル形状も 本発明の範囲内とすることができる。 本発明を好適実施例に関連して説明したが、概要を上述した原理内のこれらの 変形例は当業者に明らかであり、したがって、本発明は前記好適実施例に限定さ れないず、このような変形例を含もうとするものであることを理解されたい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブルフマンス アドリアヌス エル イェ ー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 クエイク カレル エルベルト オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ボンガエルツ ペトルス エフ ヘー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ブロイニンク ヤコブ オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ブザク トーマス スタンリー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 イルシジン ケヴィン ジョン オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 マーティン ポール クリストファー オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．絶縁性基板上の細長く伸びたチャネルと、前記チャネルの各々における電極 表面とを具え、前記絶縁性基板が、該基板上のチャネル規定側部壁部分と、前記 側部壁部分を覆う薄い絶縁性シート状部材とを具える、平面ディスプレイ用チャ ネルプレートにおいて、 ａ）前記側部壁部分を一体の絶縁性シートの部分としたことを特徴とするチャ ネルプレート。 ２．請求の範囲１に記載のチャネルプレートにおいて、前記絶縁性シートをガラ スで構成したことを特徴とするチャネルプレート。 ３．請求の範囲１に記載のチャネルプレートにおいて、前記側部壁部分をこれら の周囲において一体の境界領域によって結合したことを特徴とするチャネルプレ ート。 ４．請求の範囲１に記載のチャネルプレートにおいて、前記側部壁部分をエッチ ングされたスロットによって横方向に間隔を置いたことを特徴とするチャネルプ レート。 ５．請求の範囲１に記載のチャネルプレートにおいて、前記側部壁部分を前記電 極表面に取り付けたことを特徴とするチャネルプレート。 ６．請求の範囲１に記載のチャネルプレートにおいて、間隔をおいたクロスバを 前記側部壁部分間に横方向に延在させたことを特徴とするチャネルプレート。 ７．請求の範囲６に記載のチャネルプレートにおいて、前記クロスバを前記側部 壁部分より低くしたことを特徴とするチャネルプレート。 ８．電極を有し、プラズマ形成雰囲気で満たした細長く延びたチャネルを実際的 に透過性の絶縁性基板上に具える、ＰＡＬＣ表示装置用プラズマチャネルプレー トにおいて、 ａ）前記基板上に複数の間隔を置いた導電性電極層部分を堆積し、 ｂ）前記チャネルの各々を、前記基板を覆って取り付けた一体のスペーサプレ ートの一部として形成した側部壁部分によって規定し、前記スペーサプレートを 覆って薄い絶縁性シートを取り付けたことを特徴とするプラズマチャネル プレート。 ９．請求の範囲８に記載のプラズマチャネルプレートにおいて、前記基板、スペ ーサプレートおよび薄い絶縁性シートを、各々ガラスシート状部材によって構成 したことを特徴とするプラズマチャネルプレート。 10．請求の範囲９に記載のプラズマチャネルプレートにおいて、前記壁が、２０ 〜５０μｍ程度の幅と、５０〜１６０μｍ程度の高さと、２００〜５００μｍ程 度のピッチとを有するようにしたことを特徴とするプラズマチャネルプレート。 11．請求の範囲８に記載のプラズマチャネルプレートにおいて、間隔をおいたク ロスバを前記側部壁部分間に横方向に延在させたことを特徴とするプラズマチャ ネルプレート。 12．請求の範囲８に記載のプラズマチャネルプレートにおいて、前記クロスバを 前記側部壁部分より低くしたことを特徴とするチャネルプレート。 13．データ電極を具える第１基板と請求の範囲８に記載のプラズマチャネルプレ ートとの間に電気光学材料の層を具えることを特徴とするプラズマアドレス表示 装置。 14．平面表示装置用チャネルプレートを形成する方法において、 （ａ）実際的に透過性の絶縁性基板を設け、 （ｂ）第１および第２の向かい合った表面を有する実際的に透過性のスペー サプレートを設け、 （ｃ）前記スペーサプレートにおいて、前記第１および第２の向かい合った 表面間のスペーサプレートの厚さとほぼ等しい高さを各々が有する複数のほぼ等 しく間隔を置いた壁を形成し、 （ｄ）前記スペーサプレートの第１表面を覆って薄い絶縁性シートを取り付 け、 （ｅ）前記基板を覆って導電性材料を堆積し、前記基板上に間隔をおいた電 極層部分を形成し、 （ｆ）前記スペーサプレートをその第２表面を介して、一般的に前記基板に 対して横になっている前記間隔を置いた壁によって前記基板に取り付け、前記 間隔を置いた電極部分が各々の隣接する壁の対の間に位置するようにすることを 特徴とする方法。 15．請求の範囲１４に記載の方法において、前記基板、スペーサプレートおよび 薄い絶縁性シートをガラスで形成することを特徴とする方法。 16．請求の範囲１４に記載の方法において、工程（ｃ）を、前記スペーサプレー トにスロットを化学的またはプラズマエッチングすることによって行うことを特 徴とする方法。 17．請求の範囲１４に記載の方法において、工程（ｃ）を、前記スペーサプレー ト壁間の隙間より狭い開口を有するエッチングマスクを使用して前記スペーサプ レートを化学的にエッチングすることによって行うことを特徴とする方法。 18．請求の範囲１４に記載の方法において、工程（ｃ）を、前記スペーサプレー ト壁間にスロットを機械的に浸食することによって行うことを特徴とする方法。 19．請求の範囲１４に記載の方法において、間隔を置いたクロスバを前記スペー サプレートにおいて側部壁部分間に横方向に延在するように形成することを特徴 とする方法。 20．請求の範囲１９に記載の方法において、前記クロスバを前記側部壁部分より 低くすることを特徴とする方法。 21．請求の範囲１４に記載の方法において、前記取り付け工程を、溶融ガラスま たは陽極結合によって行うことを特徴とする方法。 22．電気光学材料の層と、前記電気光学層に結合し、前記電気光学層の部分を活 性化するデータ電圧を受けるようにしたデータ電極と、一般に前記データ電極に 対して横向きに延在し、前記電気光学部分を選択的にスイッチオンする複数の細 長く延びたプラズマチャネルと、前記データ電極に面する側において前記プラズ マチャネルを閉じる絶縁性シートとを具え、前記プラズマチャネルの各々が、間 隔を置いた細長く延びたカソードおよびアノードプラズマ電極とイオン化可能ガ ス充填物とを具える、プラズマアドレス電気光学表示装置のプラズマチャネルプ レートを形成する方法において、 （ａ）実際的に透過性の絶縁性基板を設け、 （ｂ）第１および第２の向かい合った表面を有する実際的に透過性の絶縁性 スペーサプレートを設け、 （ｃ）前記スペーサプレートにおいて、前記第１および第２の向かい合った 表面間のスペーサプレートの厚さとほぼ等しい高さを各々が有する複数のほぼ等 しく間隔を置いた壁をエッチングによって形成し、 （ｄ）前記スペーサプレートの第１表面を覆って薄い絶縁性シートを取り付 け、 （ｅ）前記基板を覆って導電性材料を堆積し、前記基板上に間隔をおいたカ ソードおよびアノード電極層部分を形成し、 （ｆ）前記スペーサプレートをその第２表面を介して、一般的に前記基板に 対して横になっている前記間隔を置いた壁によって前記基板に取り付け、前記間 隔を置いた電極部分が各々の隣接する壁の対の間に位置するようにすることを特 徴とするプラズマアドレス電気光学表示装置のプラズマチャネルプレートを形成 する方法。 23．請求の範囲２２に記載のプラズマアドレス電気光学表示装置のプラズマチャ ネルプレートを形成する方法において、前記カソードおよびアノード電極部分を 前記間隔を置いた壁よりも広くし、前記間隔を置いた壁を前記カソードおよびア ノード電極部分を覆って位置させ、隣接するチャネルが１つの電極を共有するよ うにすることを特徴とするプラズマアドレス電気光学表示装置のプラズマチャネ ルプレートを形成する方法。