JPH11509046A

JPH11509046A - 直線式ウエハ移送システム

Info

Publication number: JPH11509046A
Application number: JP9505816A
Authority: JP
Inventors: ウイスラー，モルデチャイ; ウエイス，ミッチェル
Original assignee: ピーアールアイオートメーションインコーポレイテッド
Priority date: 1995-07-07
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1999-08-03
Also published as: WO1997003004A1; EP0843640A1; EP0843640A4

Abstract

(57)【要約】ウエハ移送システム（１０）は、前面または側面装着式ウエハキャリア（１２）を伴い動作し、１以上のウエハ（２４）を前記キャリア（１２）から直線内で１つの位置、即ち前記ウエハが前記同じ直線に沿って移動することによって更なる処理を受けるための位置に移動させる。前記移送システム（１０）は、前記キャリア（１２）内で離れて積層されたウエハ（２４）間に適合するサイズと配置の対となる指（３４）を複数組使用するウエハ抽出器（３０）を提供する。ウエハ（２４）間に挿入された後、指（３４）は僅かに垂直方向に移動して、キャリア（１２）の肩部からウエハを上昇させることができる。ウエハ（２４）を支持した指（３４）は、１つの直線に沿って概ね水平方向に移動して、キャリア（１２）からウエハ（２４）を取り外すことができる。指（３４）は、１つの支持構造によって支持される。この支持構造では、ウエハが更なる処理のために前記同じ直線経路に沿って前記支持構造を通過できるようなクリアランスが提供される。

Description

【発明の詳細な説明】名称直線式ウエハ移送システム発明の分野本発明は、物品処理装置に関し、特に半導体ウエハ処理装置に関する。発明の背景半導体ウエハの製造時には、複数枚のウエハは通常密閉されたキャリア内に、または前記キャリアの１面上の開閉可能な扉を有するポッド内に、積層され且つ離れた関係で配置される。キャリアは、密閉されると、その中にウエハを配置するための十分に汚染の無い環境を提供し、そしてこれらのウエハは、キャリア内で、半導体デバイスや回路を形成するための種々の意図された位置に移動させられる。ウエハは、キャリアによって保持され得るカセット内に格納されることが多い。このカセットは、ウエハをキャリアから処理装置に移送するために、キャリアから取り外すことができる。キャリアとカセットはウエハを水平方向にも垂直方向にも維持することができる。カセットをベースとしたシステムでは、キャリアが処理装置の位置に装着されると、キャリアの扉が開放され、そしてキャリア内のカセットはロボットアームまたは他の適切な移送機構によってキャリアから取り出され、後続する処理用の意図された位置に搬送するための１もしくはそれ以上のウエハが取り出される位置に移送される。この動作は、一般には、１つの直線に沿ってキャリアからカセットを垂直方向にも水平方向にも転送すること、そしてウエハが処理装置で受け入れられる位置にカセットを回転させることを含む。同様にして、ウエハはカセットの各スロットに装着され、そしてカセットは、十分に装着されたら回転してキャリア内に移動され、その後搬送される。ウエハの回転は、床スペースの離れた領域にかけて生じ、それからウエハの搬送が行われ、これによりデバイスの全体の足跡が増加する。近年、半導体産業は３００ｍｍの直径を有する大型のウエハを製造し始めている。加えて、これらの大型のウエハ用にカセットレス式のキャリアが導入されている。この種のキャリアは、キャリア内面に形成された肩部に水平にウエハを保持する。回転が後続する搬送の同じ動作パターンが、カセットレス式のキャリアからウエハを取り出すために一般的に使用される。半導体処理用のウエハ搬送と処理の技術が極めて複雑化し、しかも十分に発達すると、ウエハ移送装置の複雑さとサイズの低減は、有益なものとなり得る。発明の要約本発明は、キャリアやカセットのような支持デバイスに水平に１もしくはそれ以上が格納されたウエハが、１つの直線経路に沿って一般的に水平に、追加的にウエハの方向付けをし直すこと無く、更なる処理を受けることができる位置に移動され得るウエハ移送システムを提供する。この位置から、個々のウエハまたはウエハの群は、特定の工程の移送機構によって同じ直線経路に沿ってどの方向にも接近し、移動することが可能になる。特に、ウエハは、前面または側面装着式キャリアの肩部上に離れて積層配列されて水平に保持される。ウエハは、カセットの使用が要求される場合でも、キャリア内の分離したカセット内に格納される必要はない。キャリアは、前面または側面に開口を有する。この開口は、一般にはウエハを内部に格納するための入り口を提供する取り外し可能な扉で密閉される。前記移送システムは、支持構造またはフレームから片持ち式に水平に延びる少なくとも一対の指を有する。一般的には、垂直方向に離れた複数の対となる指が、キャリア内に離れて積層されたウエハの下側及び相互間に適合するサイズ及び構成で提供される。抽出器は、水平に移動して、キャリア内の関連したウエハの下側に指を挿入することができる。抽出器はまた、指をウエハの底面に接触させるための小さな垂直成分を伴い、ウエハをキャリアの肩部から上昇させるように、移動することができる。それから、抽出器は、キャリアから水平方向に移動して、そこからウエハを取り外すことができる。抽出器の指は、支持構造から片持ち式に支持され、そしてウエハが同じ直線経路に沿って支持構造を通過するためのクリアランスを与えるために、支持構造から内側に変位している。このようにして、ウエハは、回転のような方向付けのし直しをすることなく、処理装置によってアクセスされる。図面の説明本発明は、添付した図面に従う以下の説明から十分に理解され得る。図１は、垂直昇降機を使用した本発明によるウエハ移送システムの斜視図である。図２は、傾斜機構を使用した本発明のウエハ移送システムの更なる実施例の正面図である。図３は、図２のウエハ移送システムの平面図である。図４は、図２のウエハ移送システムのウエハ受け取り位置での側面図である。図５は、図２のウエハ移送システムのウエハキャリア内での側面図である。発明の詳細な説明本発明の移送システム１０は、図１にその概要が示されている。図示された構成において、複数のキャリア１２は、処理装置（図示せず）を含む汚染の無い環境１８の壁面１６の反対側の格納デバイス１４内に保持されている。アクセスされるキャリア１２は、壁面１６の開口２０に隣接し且つ密閉された位置に配置されている。開口を密閉する扉２２は、周知のように、キャリア１２内の（図４及び図５に示す）肩部２６上に対をなし対向して水平に積層された半導体ウエハ２４を露呈するために取り外し可能である。本発明にかかる移送システム１０は、１つの直線に沿ってウエハをキャリアから処理装置に移送するために、汚染の無い環境の開口２０に隣接して配置されている。図示の構成において、第２の扉２８がキャリアへのアクセスのために提供される。この扉に隣接して、もう１つの移送システムが、図示はされていないが、提供される。加えて、キャリア格納デバイスに関連して図示されてはいるが、この移送システムは如何なるタイプのウエハ処理装置とも動作可能である。この移送システムは、ウエハ２４を支持する１以上の対となる指３４が片持ち式に支持される支持構造３２を有するウエハ抽出器３０を備える。図２〜図５に特に示された実施例では、支持構造は、下側の梁３８によって支持され、且つその上端が相互に上側の梁４０によって結合された２つの柱３６によって箱型に形成されたフレームを備える。直立した２つの柱は、キャリアに向けてまたはキャリアから移送するウエハ２４の直径より大きな距離だけ水平方向に離れて配置されている。この配置は、後に詳細に述べるように、ウエハが１つの直線経路に沿って柱の間を通過することを許容する。支持構造３２は、後述するように、水平搬送を行うために、そして小さな垂直成分を有する動きのために、搭載されている。支持構造は、そこを通過するウエハの動きに対しクリアランスを与える他の如何なる手法においても構成することができる。抽出器３０の指３４は、２つの柱３６に沿って垂直方向に積層された対の形態で配置される。各対は、各対の指３４が関連する柱３６から片持ち式に支持されて、慨ね水平面内に位置する。図２及び図３に最も良く示されているように、各指３４は関連する柱３６から内側に変位し、そして支持構造３２からキャリア１２に向けて概ね水平に延びている。指を変位させるために、各指は、支持構造３２の柱３６の間を通過するウエハ２４の通行を妨げないように、その表面が指３４の表面より高くないタブ４２によって支持されている。例えば、図示の実施例では、各指３４は円形断面を有したロッドを有する。タブ４２は、柱３６に集合的に形成された内側に延びる複数の部材であり、そして前記ロッドの直径より大きくはない厚みを有する。関連するロッドの一部が配置されるノッチ４４が、各タブの端部に形成されている。ロッドは、図２に１つだけ示されるネジ４６によってノッチ内に保持される。クリアランス変位を伴って指を柱へ装着する他の方法も使用され得る。例えば、タブは、指を一端に近く湾曲させ、適当な手法で柱に締結され得る短い脚部を形成するように、指と共に集合的に形成され得る。対となる指３４は、図５に最も良く示されているように、キャリア１２内のウエハ２４の垂直方向のピッチにほぼ等しく対応する点の間のピッチまたは距離だけ離れて、柱３６に沿って垂直方向に配置される。この配置は、指３４が、キャリア１２内に積層された関連するウエハ２４の下側または間に挿入されることを許容する。図３を参照すると、各対の指３４は、互いに一定距離だけ水平方向に離れて配置されている。この距離は、指がウエハ２４をウエハ端およびキャリア１２内の肩部２６から少し内側で支持し、ウエハ２４を肩部２６から持ち上げることを許容する。対となる指は、典型的にはキャリアに格納され得るウエハの数と同数、カセットレス式のキャリアに対しては一般に１３または２５が提供される。１３対の指を有する抽出器はまた、２つの経路を作ることによって、２５のウエハを保持するキャリアからウエハを抽出するために使用され得る。しかしながら、如何なる望ましい数の指の対でも提供され得る。抽出器３０は、矢印５１，５３で示されるように、概ね水平面内の水平移送機構５０によって相互に移動し、開かれたキャリア１２内に指３４を挿入して、各対となる指を関連するウエハ２４の下側に当接させる。この抽出器はまた、昇降機構７０による小さな垂直成分を伴って移動し、各指を対応するウエハ２４の底面に接触させて、各ウエハをキャリア１２の肩部２６から持ち上げることができる。一旦ウエハが持ち上げられると、抽出器３０は移送機構５０によってキャリア１２から水平方向に後戻りし、これによりキャリア１２の外にウエハを移動させることができる。水平移送機構５０は、固定ベース板５４に装着され、そして末端部位５６からキャリアの開口近傍の部位５８にかけて延びるトラック５２を有する。このトラックは、後述する目的のための好適な手法によって、末端部位５６において前記ベース板に軸支されている。例えば、柔軟なストラップ６０が、トラックとベース板の下面に固定され得る。近傍部位５８におけるトラック５２の反対側の端部にはまた、後述する目的のために、切り欠き部６２が形成されている。抽出器３０は、トラックに沿って相互移動するために、抽出器をトラック上に維持するための支持フレーム３２の下側の梁３８の下面に固定された図示のＵ字型案内路６４によって、トラック上に装着される。当業者にとって周知の如何なる好適なアクチュエータが、抽出器をトラックに沿って移動させるために使用できる。しかしながら、理解されるように、抽出器の水平相互運動を提供するための如何なる好適な機構も本発明において使用できる。例えば、直線運動を与えるリンクやロボットアームは、抽出器を駆動するために使用できる。水平移送機構は、当業者にとって周知の好適な手法、例えばマイクロプロセッサをベースとした制御器によって制御され得る。昇降機構７０は、抽出器に運動の小さな垂直成分を与える。この昇降機構は、図１に模式的に示すように、ベース板５４の下側に配置された垂直昇降機７１を備える。当業者にとって周知の如何なる昇降機構でも使用できる。垂直運動成分はまた、抽出器を移動させる代わりに、ある昇降機によってキャリアを垂直方向に移動させることによっても供給できる。如何なる好適な制御器でも、昇降機構を制御するために適用される。代わりに、図３〜図５に示すように、昇降機構７０は、キャリア１２内の支持用の肩部からウエハを持ち上げるに十分な小さな角度だけ指３４を傾斜させ、対応するウエハ２４の底面に接触させることによって、運動の垂直成分を供給することができる。例えば、くさび７２がトラック５２の端部に提供される。トラック内の切り欠き部６２によって、このくさびは、矢印７４で示すように、トラックの下面のある位置に移動でき、これによりトラックを末端部位５６におけるヒンジ６０より少し上向きに傾斜させることができる。くさび７２は、如何なる好適な手法、例えばベース板５４のスロット７８を通して延びるピン７６によって移動させることができる。このピン７６は、ベース板５４に固定された他のピン８２の回りを適当なモータ駆動機構によって回転するアーム８０に固定され、これによりアーム８０の回転が、矢印８４，７４で示されるような、くさび７２の移動を生起させることができる。このくさび７２はトラック５２を傾斜させ、これが更に矢印８６，８７で示すように抽出器３０を傾斜させる。抽出器３０の傾斜は、指３４上のキャリア１２内の肩部２６からウエハ２４を持ち上げる。近傍位置５８のくさび７２と末端位置５６のヒンジ６０との間の比較的長い距離に起因して、運動の小さな垂直成分だけが結果的に発生する。ウエハ２４が肩部２６から持ち上げられた後、抽出器３０はトラック５２に沿って概ね水平に後退して、キャリアからウエハを引き出す。抽出器が肩部からウエハを持ち上げるために傾斜した場合、抽出器全体は少し角度を有する経路に追従するが、この角度は極めて小さいために前記経路は概ね水平であるとみなし得る点が理解される。一旦ウエハ２４がキャリア１２から抽出されると、それらは処理を受けることができる位置に置かれる。処理装置（図示せず）は、更なる処理のために、１もしくはそれ以上のウエハを抽出器から取り出すことができる。ウエハは、抽出器３０の柱３６の間を、キャリア１２から取り出された時と同じ直線経路に沿って通過する。この経路は、例えば抽出器がウエハを持ち上げるために傾斜した場合、キャリアから出たウエハが経たと同じ直線経路から少し変位してもよく、これによっても本発明の目的は達成できる。「同じ直線経路」という用語は、このような少しの変位をも包含することを意図している。キャリア１２に再装填するために、処理装置は直線経路に沿ってウエハ２４を抽出器３０内の指３４に戻す。抽出器３０は、指３４とウエハ２４がキャリア内に挿入されるまで、直線経路に沿って水平に移動させられる。抽出器３０は、ウエハ２４をキャリア１２の肩部２６上に降下させるために小さな垂直成分を伴って移動され、且つキャリア１２から未装填の指３４を取り除くために水平方向に搬送される。本発明の移送機構は、複数軸の移送機構を使用する現状の装置に比べて複雑さが少ない。何故ならば、本発明の機構は単一の軸だけに沿う動きを提供するからである。この機構は、可能なより高い機械スループットを作り、そしてプラスチック製のカセットに対して改良された位置決め精度を有する。本発明は現在のシステムに比べてより小さな足跡を有する移送システムを提供する。何故ならば、キャリアから取り出した後に、周知のシステムのような処理を受ける位置にウエハを再度方向付けする必要がないからである。更に、本発明は、現在のシステムのような追加のカセット移送や方向付け用の機構を必要としない。加えて、キャリアのデザインは小型化され得る。本発明は、高温ウエハに適合し、また真空および大気処理の双方において動作可能である。大気処理用には、移送システムは好ましくはアルミニュウムまたはプラスチック素材で形成される。真空処理用には、素材は、気体を漏らさないセラミックおよびステンレススチールが望ましい。当初はカセットレス式のキャリアに使用するためにデザインされたが、望むならば本発明の移送システムは、カセットをベースとしたシステムに装備させることもできる。加えて、この移送システムは、１または如何なる数のウエハを取り除くために使用することができる。本発明は、添付した請求の範囲によって示されることを除いて、特に図示および説明されたことによって限定されるものではない。

【手続補正書】【提出日】１９９８年１月２７日【補正内容】請求の範囲１．ウエハ支持デバイスへのおよび該デバイスからの１つの水平直線経路に沿ってウエハを、該ウエハが更なる処理のために前記直線経路に沿って受け入れられる位置へおよび該位置から移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造であって、前記支持構造はウエハクリアランス開口をその間で規定するための、水平寸法が前記ウエハの直径より大きな支持要素を有し、前記ウエハクリアランス開口は前記水平直線経路に沿った水平方向内で前記ウエハクリアランス開口を通して前記ウエハを水平に通過させるように整列されている前記支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記ウエハを支持するために配置された指構成を有する指構造であって、前記指構成は前記支持構造に対応して固定され、且つ前記肩部からの前記ウエハを保持する前記支持構造内に適合するサイズを有する前記指構造と、そして前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。２．前記支持構造は、水平方向にウエハの直径より大きい距離だけ離れて前記クリアランス開口を規定する直立した２つの部材を備えることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。３．前記指構造は、一対の指を備え、前記支持構造内の前記開口に向かう概ね水平な面内で前記直立した部材の内側に面する部分から外側に延びるオフセットによって、前記各指が対応する直立した部材に装着され、前記指が前記肩部内の位置における前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。４．前記オフセットは、前記直立した部材から水平に延びる２つの対向するタブ部材によって提供され、前記指は、前記タブ部材が前記指の表面より高く延びないように対応するタブ部材に固定されていることを特徴とする請求項３のウエハ移送システム。５．前記タブ部材は、前記直立した部材に集合的に形成され、そしてその端部には指受けノッチを有し、各指の部分は対応するノッチで保持されることを特徴とする請求項４のウエハ移送システム。６．前記オフセットは、前記指に集合的に形成されていることを特徴とする請求項３のウエハ移送システム。７．前記指構造は更に複数の対となる指を備え、各対となる指の各指は、前記支持構造内の前記開口に向かう概ね水平な面内で前記直立した部材の内側に面する部分から外側に延びるオフセットによって、対応する直立した部材に装着され、各対の前記指が前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置され、前記対が前記ウエハ支持デバイス内の複数のウエハ間に適合する距離だけ垂直方向に離れて配置されていることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。８．前記支持構造は更に、前記２つの直立した部材の上側および下側端部にそれぞれ固定された下側梁部材および上側梁部材を備えることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。９．前記水平相互移送機構は、ベースに装着されたトラックを備え、前記支持構造が前記トラックに沿って相互運動するために装着されていることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１０．前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構を更に備えることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１１．ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを、該ウエハが処理を受ける位置へおよび該位置から移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部にウエハを配置するための上昇手段であって、前記支持デバイス内の前記開口に向けて概ね水平に延びるように配置され、そして前記支持デバイス内で前記ウエハの配列に適合する指構成を有した指構造と、前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備える前記上昇手段と、水平な直線経路に沿って前記ウエハを概ね水平に前記ウエハ支持デバイスに搬入しおよび該デバイスから搬出するための搬送手段と、そして前記ウエハの直径より大きな水平寸法を有し、ウエハクリアランス開口を規定する支持要素を備え、前記水平直線経路に沿って前記ウエハクリアランス開口を水平方向に通過する前記ウエハの動きによって前記ウエハを更なる処理装置を受け入れ可能な状態にするための手段とを備えることを特徴とする半導体ウエハ移送システム。１２．前記ウエハを更なる処理装置を受け入れ可能な状態にするための手段は、対となる指を更に備え、各指は内側に延びるオフセットによって前記支持構造に固定されていることを特徴とする請求項１１のウエハ移送システム。１３．前記ウエハを概ね水平に搬送するための搬送手段は、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記肩部からの前記ウエハを支持するために前記支持デバイス内に適合するサイズを有するように配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とする請求項１１のウエハ移送システム。１４．ウエハを処理用にウエハ支持デバイスから直線的に移動させるための方法であって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持するために対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記方法は、ウエハクリアランス開口を規定する支持要素を有するウエハ移送デバイスを提供する工程であって、前記クリアランス開口が前記ウエハの直径より大きな水平寸法を有する前記工程と、前記ウエハ移送デバイスによって前記ウエハ支持デバイス内の前記肩部から前記ウエハを持ち上げる工程と、前記ウエハを、前記ウエハ移送デバイスによって、前記支持デバイスから前記ウエハがウエハ処理装置によって受け入れられる位置に、概ね水平な経路に沿って前記クリアランス開口を通して移動させる工程と、前記ウエハを前記処理装置にアクセスさせ、そして前記ウエハを前記クリアランス開口を通して概ね水平な経路に沿って水平に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。１５．前記指構造は、前記ウエハクリアランス開口から水平に遠ざかる方向に延びる対となる指を備え、各指が水平面内で互いに離れて前記支持構造に固定されて、前記ウエハクリアランス開口に連続した前記指相互間の開口を規定することを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１６．前記ウエハクリアランス開口は、前記指構造に対し水平方向に整列され、且つ前記ウエハ支持デバイスから前記指構造の反対側に配置されていることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１７．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記ウエハ支持デバイスが前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項３７のウエハ移送システム。１８．前記上昇機構は、前記フレームを垂直方向にある角度だけ傾斜させ、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび該肩部上に前記ウエハを装填するに十分な垂直運動成分を提供するために配置された傾斜機構を備えることを特徴とする請求項３７のウエハ移送システム。１９．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項１８のウエハ移送システム。２０．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項１９のウエハ移送システム。２１．前記指構造は、対となる指を備え、各指は概ね水平な面内で前記支持デバイス内の前記開口に向けて外側に延びるように前記支持構造に固定され、前記指は前記肩部の内側位置において前記ウエハ支持デバイス内の前記ウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項３５のウエハ移送システム。２２．前記指構造は、対となる指を備え、各対の各指は概ね水平な面内で前記支持デバイス内の前記開口に向けて外側に延びるように前記フレームに固定され、各対の前記指は前記肩部の内側位置において前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置され、前記対となる指は前記ウエハ支持デバイス内の対応するウエハの下側に適合する距離だけ垂直方向に離れて配置されていることを特徴とする請求項３５のウエハ移送システム。２３．ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイス内の前記肩部から前記ウエハを上昇させおよび該肩部上に前記ウエハを配置するために、前記ウエハと前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を与えるための手段と、前記上昇したウエハを、直線経路に沿って概ね水平に前記ウエハ支持デバイス内に搬入し、および該デバイスから前記ウエハが更なる処理を受ける位置まで搬出するための搬送手段とを備えることを特徴とする半導体ウエハ移送システム。２４．相対的な垂直運動の成分を与えるための手段は、前記支持デバイス内の前記開口に向けて概ね水平に延びるように配置され、そして前記支持デバイス内で前記ウエハの配列に適合する指構成を有した指構造と、前記指構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハに接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とする請求項２３のウエハ移送システム。２５．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記指構造が前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項４２のウエハ移送システム。２６．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記ウエハ支持デバイスが前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項４２のウエハ移送システム。２７．前記上昇機構は、前記フレームを垂直方向にある角度だけ傾斜させ、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび該肩部上に前記ウエハを装填するに十分な垂直運動成分を提供するために配置された傾斜機構を備えることを特徴とする請求項４２のウエハ移送システム。２８．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項２７のウエハ移送システム。２９．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項２８のウエハ移送システム。３０．前記ウエハを概ね水平に搬送するための搬送手段は、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記ウエハを支持するために配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とする請求項４１のウエハ移送システム。３１．ウエハを処理用にウエハ支持デバイスから取り出すための方法であって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持するために対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記方法は、前記肩部からの前記ウエハを保持する前記支持デバイス内に適合するサイズの指構成を有する指構造を概ね水平に延出させたウエハ移送デバイスを提供する工程と、前記指構造を前記支持デバイス内で整列させて前記ウエハを受ける工程と、前記ウエハ移送デバイスと前記ウエハ支持デバイスを相対的に垂直方向に移動させて前記指構造に前記ウエハを装着する垂直移動工程と、前記ウエハ移送デバイス内の前記ウエハを、前記支持デバイスからウエハ処理装置によって前記ウエハが受け入れられる位置まで概ね水平に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。３２．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを上昇させる工程を含むことを特徴とする請求項４４の方法。３３．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを降下させる工程を含むことを特徴とする請求項４４の方法。３４．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを垂直方向にある角度傾斜させて運動の垂直成分を提供する工程を含むことを特徴とする請求項４４の方法。３５．ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記肩部からの前記ウエハを支持するために前記支持デバイス内に適合するサイズを有するように配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハの下側の前記指構造と共に、前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構と、前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。３６．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記水平相互移送機構が前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項３７のウエハ移送システム。３７．複数のウエハを水平に支持する複数の対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的に前記ウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、それぞれが前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に堅固に固定され、且つ前記肩部からの前記複数のウエハの対応するウエハを支持するために前記支持デバイス内に適合するサイズを有するように配置された指構成を有する複数の指構造であって、前記指構造のそれぞれが前記ウエハ支持デバイス内の対応するウエハの下側に適合するように隣接する指構造から垂直方向に離れて配置されている前記指構造と、前記支持構造を、前記対応するウエハの下側の前記複数の指構造のそれぞれと共に、前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構と、前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記複数のウエハを持ち上げおよび前記肩部へ前記複数のウエハをユニットとして装填するために、前記複数のウエハの底面に接触するように前記指構成をユニットとして挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。３８．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項１８のウエハ移送システム。３９．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項３８のウエハ移送システム。４０．各指構造は、対となる指を備え、各指は概ね水平な面内で前記支持デバイス内の前記開口に向けて外側に延びるように前記支持構造に固定され、前記指は前記肩部の内側位置において前記ウエハ支持デバイス内の前記対応するウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項３７のウエハ移送システム。４１．複数のウエハを水平に支持する複数の対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイス内の前記肩部から前記複数のウエハを上昇させおよび該肩部上に前記複数のウエハをユニットとして配置するために、前記ウエハと前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を与えるための手段と、前記上昇した少なくとも２つのウエハを、直線経路に沿って概ね水平に前記ウエハ支持デバイス内に搬入し、および該デバイスから前記ウエハが更なる処理を受ける位置まで搬出するための搬送手段とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。４２．相対的な垂直運動の成分を与えるための手段は、前記支持デバイス内の前記開口に向けて概ね水平に延びるように配置され、そしてそれぞれが前記支持デバイス内で前記複数のウエハの対応するウエハの配列に適合するサイズの指構成を有した複数の指構造と、前記指構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハに接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とする請求項４１のウエハ移送システム。４３．前記ウエハを概ね水平に搬送するための搬送手段は、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、それぞれが複数のウエハの対応するウエハを支持するために配置された指構成を有する複数の指構造と、前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とする請求項４１のウエハ移送システム。４４．複数のウエハを処理用にウエハ支持デバイスから取り出すための方法であって、前記ウエハ支持デバイスは前記複数のウエハを水平に支持するために複数の対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記方法は、前記肩部からの前記複数のウエハの対応するものを保持する前記支持デバイス内に適合するサイズの指構成をそれぞれが有する複数の指構造を概ね水平に延出させたウエハ移送デバイスを提供する工程と、前記指構造を前記支持デバイス内で整列させて前記複数のウエハの対応するものを受ける工程と、前記ウエハ移送デバイスと前記ウエハ支持デバイスを相対的に垂直方向に移動させて前記指構造にユニットとして前記ウエハを装着する垂直移動工程と、前記ウエハ移送デバイス内の前記ウエハを、前記支持デバイスからウエハ処理装置によって前記ウエハが受け入れられる位置まで概ね水平に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。４５．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項２４のウエハ移送システム。４６．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項４５のウエハ移送システム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号０８／６５１，７２４ (32)優先日 1996年５月22日 (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ (72)発明者ウエイス，ミッチェルアメリカ合衆国 19041 ペンシルベニア州ハーバーフォードバックレーン 848

Claims

【特許請求の範囲】１．ウエハ支持デバイスへのおよび該デバイスからの１つの水平直線経路に沿ってウエハを、該ウエハが更なる処理のために前記直線経路に沿って受け入れられる位置へおよび該位置から移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造であって、前記支持構造はウエハクリアランス開口をその間で規定するための、水平寸法が前記ウエハの直径より大きな支持要素を有し、前記ウエハクリアランス開口は前記水平直線経路に沿った水平方向内で前記ウエハクリアランス開口を通して前記ウエハを水平に通過させるように整列されている前記支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記ウエハを支持するために配置された指構成を有する指構造であって、前記指構成は前記支持構造に対応して固定され、且つ前記肩部からの前記ウエハを保持する前記支持構造内に適合するサイズを有する前記指構造と、そして前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。２．前記支持構造は、水平方向にウエハの直径より大きい距離だけ離れて前記クリアランス開口を規定する直立した２つの部材を備えることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。３．前記指構造は、一対の指を備え、前記支持構造内の前記開口に向かう概ね水平な面内で前記直立した部材の内側に面する部分から外側に延びるオフセットによって、前記各指が対応する直立した部材に装着され、前記指が前記肩部内の位置における前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。４．前記オフセットは、前記直立した部材から水平に延びる２つの対向するタブ部材によって提供され、前記指は、前記タブ部材が前記指の表面より高く延びないように対応するタブ部材に固定されていることを特徴とする請求項３のウエハ移送システム。５．前記タブ部材は、前記直立した部材に集合的に形成され、そしてその端部には指受けノッチを有し、各指の部分は対応するノッチで保持されることを特徴とする請求項４のウエハ移送システム。６．前記オフセットは、前記指に集合的に形成されていることを特徴とする請求項３のウエハ移送システム。７．前記指構造は更に複数の対となる指を備え、各対となる指の各指は、前記支持構造内の前記開口に向かう概ね水平な面内で前記直立した部材の内側に面する部分から外側に延びるオフセットによって、対応する直立した部材に装着され、各対の前記指が前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置され、前記対が前記ウエハ支持デバイス内の複数のウエハ間に適合する距離だけ垂直方向に離れて配置されていることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。８．前記支持構造は更に、前記２つの直立した部材の上側および下側端部にそれぞれ固定された下側梁部材および上側梁部材を備えることを特徴とする請求項２のウエハ移送システム。９．前記水平相互移送機構は、ベースに装着されたトラックを備え、前記支持構造が前記トラックに沿って相互運動するために装着されていることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１０．前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構を更に備えることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１１．ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを、該ウエハが処理を受け位置へおよび該位置から移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部にウエハを配置するための上昇手段であって、前記支持デバイス内の前記開口に向けて概ね水平に延びるように配置され、そして前記支持デバイス内で前記ウエハの配列に適合する指構成を有した指構造と、前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備える前記上昇手段と、水平な直線経路に沿って前記ウエハを概ね水平に前記ウエハ支持デバイスに搬入しおよび該デバイスから搬出するための搬送手段と、そして前記ウエハの直径より大きな水平寸法を有し、ウエハクリアランス開口を規定する支持要素を備え、前記水平直線経路に沿って前記ウエハクリアランス開口を水平方向に通過する前記ウエハの動きによって前記ウエハを更なる処理装置を受け入れ可能な状態にするための手段とを備えることを特徴とする半導体ウエハ移送システム。１２．前記ウエハを更なる処理装置を受け入れ可能な状態にするための手段は、対となる指を更に備え、各指は内側に延びるオフセットによって前記支持構造に固定されていることを特徴とする請求項１１のウエハ移送システム。１３．前記ウエハを概ね水平に搬送するための搬送手段は、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記肩部からの前記ウエハを支持するために前記支持デバイス内に適合するサイズを有するように配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とする請求項１１のウエハ移送システム。１４．ウエハを処理用にウエハ支持デバイスから直線的に移動させるための方法であって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持するために対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記方法は、ウエハクリアランス開口を規定する支持要素を有するウエハ移送デバイスを提供する工程であって、前記クリアランス開口が前記ウエハの直径より大きな水平寸法を有する前記工程と、前記ウエハ移送デバイスによって前記ウエハ支持デバイス内の前記肩部から前記ウエハを持ち上げる工程と、前記ウエハを、前記ウエハ移送デバイスによって、前記支持デバイスから前記ウエハがウエハ処理装置によって受け入れられる位置に、概ね水平な経路に沿って前記クリアランス開口を通して移動させる工程と、前記ウエハを前記処理装置にアクセスさせ、そして前記ウエハを前記クリアランス開口を通して概ね水平な経路に沿って水平に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。１５．前記指構造は、前記ウエハクリアランス開口から水平に遠ざかる方向に延びる対となる指を備え、各指が水平面内で互いに離れて前記支持構造に固定されて、前記ウエハクリアランス開口に連続した前記指相互間の開口を規定することを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１６．前記ウエハクリアランス開口は、前記指構造に対し水平方向に整列され、且つ前記ウエハ支持デバイスから前記指構造の反対側に配置されていることを特徴とする請求項１のウエハ移送システム。１７．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記ウエハ支持デバイスが前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項１５のウエハ移送システム。１８．前記上昇機構は、前記フレームを垂直方向にある角度だけ傾斜させ、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび該肩部上に前記ウエハを装填するに十分な垂直運動成分を提供するために配置された傾斜機構を備えることを特徴とする請求項１５のウエハ移送システム。１９．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項１８のウエハ移送システム。２０．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項１９のウエハ移送システム。２１．前記指構造は、対となる指を備え、各指は概ね水平な面内で前記支持デバイス内の前記開口に向けて外側に延びるように前記支持構造に固定され、前記指は前記肩部の内側位置において前記ウエハ支持デバイス内の前記ウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置されていることを特徴とする請求項１５のウエハ移送システム。２２．前記指構造は、対となる指を備え、各対の各指は概ね水平な面内で前記支持デバイス内の前記開口に向けて外側に延びるように前記フレームに固定され、各対の前記指は前記肩部の内側位置において前記ウエハ支持デバイス内のウエハの下側に適合する距離だけ離れて配置され、前記対となる指は前記ウエハ支持デバイス内の対応するウエハの下側に適合する距離だけ垂直方向に離れて配置されていることを特徴とする請求項１５のウエハ移送システム。２３．ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイス内の前記肩部から前記ウエハを上昇させおよび該肩部上に前記ウエハを配置するために、前記ウエハと前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を与えるための手段と、前記上昇したウエハを、直線経路に沿って概ね水平に前記ウエハ支持デバイス内に搬入し、および該デバイスから前記ウエハが更なる処理を受ける位置まで搬出するための搬送手段とを備えることを特徴とする半導体ウエハ移送システム。２４．相対的な垂直運動の成分を与えるための手段は、前記支持デバイス内の前記開口に向けて概ね水平に延びるように配置され、そして前記支持デバイス内で前記ウエハの配列に適合する指構成を有した指構造と、前記指構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハに接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とする請求項２３のウエハ移送システム。２５．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記指構造が前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項２４のウエハ移送システム。２６．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記ウエハ支持デバイスが前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項２５のウエハ移送システム。２７．前記上昇機構は、前記フレームを垂直方向にある角度だけ傾斜させ、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび該肩部上に前記ウエハを装填するに十分な垂直運動成分を提供するために配置された傾斜機構を備えることを特徴とする請求項２６のウエハ移送システム。２８．前記傾斜機構は、前記ウエハ支持デバイスから離れた位置のベースにヒンジで軸支されたトラックと、前記トラックを前記ヒンジの回りで軸支するための軸支機構を備え、前記支持構造が前記トラックに固定されていることを特徴とする請求項２７のウエハ移送システム。２９．前記軸支機構は、前記ウエハ支持デバイスの近傍位置において前記トラックの下側にスライドして噛み合うくさび部材を備えることを特徴とする請求項２８のウエハ移送システム。３０．前記ウエハを概ね水平に搬送するための搬送手段は、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記ウエハを支持するために配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハを保持する前記指構造と共に、前記水平直線経路に沿って前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構とを備えることを特徴とする請求項２３のウエハ移送システム。３１．ウエハを処理用にウエハ支持デバイスから取り出すための方法であって、前記ウエハ支持デバイスは前記ウエハを水平に支持するために対向して対となる肩部をその内壁面上に有し、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記方法は、前記肩部からの前記ウエハを保持する前記支持デバイス内に適合するサイズの指構成を有する指構造を概ね水平に延出させたウエハ移送デバイスを提供する工程と、前記指構造を前記支持デバイス内で整列させて前記ウエハを受ける工程と、前記ウエハ移送デバイスと前記ウエハ支持デバイスを相対的に垂直方向に移動させて前記指構造に前記ウエハを装着する垂直移動工程と、前記ウエハ移送デバイス内の前記ウエハを、前記支持デバイスからウエハ処理装置によって前記ウエハが受け入れられる位置まで概ね水平に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。３２．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを上昇させる工程を含むことを特徴とする請求項３１の方法。３３．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを降下させる工程を含むことを特徴とする請求項３２の方法。３４．前記垂直移動工程は、前記ウエハ移送デバイスを垂直方向にある角度傾斜させて運動の垂直成分を提供する工程を含むことを特徴とする請求項３２の方法。３５．ウエハを水平に支持する対向して対となる肩部をその内壁面上に有するウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから直線的にウエハを移動させるための半導体ウエハ移送システムであって、前記ウエハ支持デバイスは前記、前記支持デバイスは更にその中に垂直開口を有し、前記ウエハ移送システムは、前記ウエハ支持デバイスの前記開口に隣接して位置決めできる支持構造と、前記支持デバイスの開口に向けて概ね水平に延びるように前記支持構造に装着され、且つ前記肩部からの前記ウエハを支持するために前記支持デバイス内に適合するサイズを有するように配置された指構成を有する指構造と、前記支持構造を、前記ウエハの下側の前記指構造と共に、前記ウエハ支持デバイスへおよび該デバイスから移動させるための前記支持構造に結合された概ね水平な相互移送機構と、前記支持構造と前記ウエハ支持デバイスとの間に相対的な垂直運動の成分を提供して、前記支持デバイスの前記肩部から前記ウエハを持ち上げおよび前記肩部へウエハを装填するために、前記ウエハの底面に接触するように前記指構成を挿入しおよび該底面から該指を外させるための上昇機構とを備えることを特徴とするウエハ移送システム。３６．前記上昇機構は、垂直可動昇降機構を備え、前記水平相互移送機構が前記昇降機構に固定されていることを特徴とする請求項３５のウエハ移送システム。