JPH1151217A - 流量調節弁機構 - Google Patents
流量調節弁機構Info
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- JPH1151217A JPH1151217A JP22423997A JP22423997A JPH1151217A JP H1151217 A JPH1151217 A JP H1151217A JP 22423997 A JP22423997 A JP 22423997A JP 22423997 A JP22423997 A JP 22423997A JP H1151217 A JPH1151217 A JP H1151217A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ニードル部材の摺動に伴うパーティクルの発
生を防止し、かつ流体の外部漏出を回避することを目的
として提案されたものであって、ニードル部材の摺動部
をなくした新規な流量調節弁機構を提供する。 【解決手段】 流体流入口１３とオリフィス１５が取り
付けられた流体流出口１４を有する弁室１２内に、前記
オリフィス２０の開口量を調節するニードル部材２０が
進退自在に配置されたものであって、前記ニードル部材
２０は前記弁室１２に外周縁３１を固定されて該ニード
ル部材２０の軸方向ｄに可動なダイヤフラム３０に保持
されている。
生を防止し、かつ流体の外部漏出を回避することを目的
として提案されたものであって、ニードル部材の摺動部
をなくした新規な流量調節弁機構を提供する。 【解決手段】 流体流入口１３とオリフィス１５が取り
付けられた流体流出口１４を有する弁室１２内に、前記
オリフィス２０の開口量を調節するニードル部材２０が
進退自在に配置されたものであって、前記ニードル部材
２０は前記弁室１２に外周縁３１を固定されて該ニード
ル部材２０の軸方向ｄに可動なダイヤフラム３０に保持
されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体の流量調節
弁機構に関し、特にはニードル部材が進退自在に配置さ
れた流量調節弁機構に関する。
弁機構に関し、特にはニードル部材が進退自在に配置さ
れた流量調節弁機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体の製造においては、薬液や
超純水等の流体の微量調節（微少送り）が行われる。こ
のような微量な調節のためには、流体流出口に取り付け
られたオリフィスの開口量をニードル部材の進退によっ
て調節するニードル弁機構が有利である。しかるに、従
来のこの種ニードル弁機構にあっては、ニードル部材の
前後調節のための摺動部を弁室内に備えることが一般的
である。
超純水等の流体の微量調節（微少送り）が行われる。こ
のような微量な調節のためには、流体流出口に取り付け
られたオリフィスの開口量をニードル部材の進退によっ
て調節するニードル弁機構が有利である。しかるに、従
来のこの種ニードル弁機構にあっては、ニードル部材の
前後調節のための摺動部を弁室内に備えることが一般的
である。
【０００３】弁室内にニードル部材の摺動部を有すると
いうことは、弁室内にこの慴動に伴うパーティクルと呼
ばれる微細な塵や屑の発生を余儀なくし、一方におい
て、摺動部には弁室内の流体を遮断するＯリング等のシ
ール部材を不可欠とする。しかしながら、薬液や超純水
等にはパーティクルの発生は極力避けねばならないし、
また、摺動部のシール部材を介して流体が外部に漏出
（滲出）することも回避しなければならない。
いうことは、弁室内にこの慴動に伴うパーティクルと呼
ばれる微細な塵や屑の発生を余儀なくし、一方におい
て、摺動部には弁室内の流体を遮断するＯリング等のシ
ール部材を不可欠とする。しかしながら、薬液や超純水
等にはパーティクルの発生は極力避けねばならないし、
また、摺動部のシール部材を介して流体が外部に漏出
（滲出）することも回避しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な状況に鑑みなされたもので、ニードル部材の摺動に伴
うパーティクルの発生を防止し、かつ流体の外部漏出を
回避することを目的として提案されたものであって、ニ
ードル部材の摺動部をなくした新規な流量調節弁機構を
提供しようとするものである。
な状況に鑑みなされたもので、ニードル部材の摺動に伴
うパーティクルの発生を防止し、かつ流体の外部漏出を
回避することを目的として提案されたものであって、ニ
ードル部材の摺動部をなくした新規な流量調節弁機構を
提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち請求項１の発明
は、流体流入口とオリフィスが取り付けられた流体流出
口を有する弁室内に、前記オリフィスの開口量を調節す
るニードル部材が進退自在に配置されたものであって、
前記ニードル部材は前記弁室に外周縁を固定されて該ニ
ードル部材の軸方向に可動なダイヤフラムに保持されて
いることを特徴とする流量調節弁機構に係る。
は、流体流入口とオリフィスが取り付けられた流体流出
口を有する弁室内に、前記オリフィスの開口量を調節す
るニードル部材が進退自在に配置されたものであって、
前記ニードル部材は前記弁室に外周縁を固定されて該ニ
ードル部材の軸方向に可動なダイヤフラムに保持されて
いることを特徴とする流量調節弁機構に係る。
【０００６】また、請求項２の発明は、請求項１におい
て、前記ニードル部材が調節ねじの回動によって直動す
る直動部材に取り付けられていて、前記調節ねじはバル
ブボディ本体のねじ溝と螺合する第１ねじ部と前記直動
部材の内ねじ部と螺合する第２ねじ部を有しており、前
記第２ねじ部のねじピッチは前記第１ねじ部のねじピッ
チより小さく構成されている流量調節弁機構に係る。
て、前記ニードル部材が調節ねじの回動によって直動す
る直動部材に取り付けられていて、前記調節ねじはバル
ブボディ本体のねじ溝と螺合する第１ねじ部と前記直動
部材の内ねじ部と螺合する第２ねじ部を有しており、前
記第２ねじ部のねじピッチは前記第１ねじ部のねじピッ
チより小さく構成されている流量調節弁機構に係る。
【０００７】さらに、請求項３の発明は、請求項１また
は２において、前記ニードル部材が先細のテーパ形状を
有する流量調節弁機構に係る。
は２において、前記ニードル部材が先細のテーパ形状を
有する流量調節弁機構に係る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例を示す流
量調節弁機構の断面図、図２はニードル部材先端の形状
を示す拡大した部分断面図である。
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例を示す流
量調節弁機構の断面図、図２はニードル部材先端の形状
を示す拡大した部分断面図である。
【０００９】図１に図示の流量調節弁機構１０は、前述
した半導体の製造において薬液や超純水等の流体の微量
調節（微少送り）に使用されるもので、流体流入口１３
とオリフィス１５が取り付けられた流体流出口１４を有
する弁室１２内に、前記オリフィス１５の開口量を調節
するニードル部材２０が進退自在に配置されたものであ
る。そして、この発明においては、前記ニードル部材２
０は弁室１２に外周縁３１を固定されて該ニードル部材
２０の軸方向ｄに可動なダイヤフラム３０に保持されて
いることを特徴とする。
した半導体の製造において薬液や超純水等の流体の微量
調節（微少送り）に使用されるもので、流体流入口１３
とオリフィス１５が取り付けられた流体流出口１４を有
する弁室１２内に、前記オリフィス１５の開口量を調節
するニードル部材２０が進退自在に配置されたものであ
る。そして、この発明においては、前記ニードル部材２
０は弁室１２に外周縁３１を固定されて該ニードル部材
２０の軸方向ｄに可動なダイヤフラム３０に保持されて
いることを特徴とする。
【００１０】図において、符号１１はバルブボディ本体
で、１９はその後端に形成された調節ねじ５０のねじ
溝、２１はニードル部材２０の先端部、３６はダイヤフ
ラム外周縁３１を弁室１２に取付固定する取付部材、３
７はクッション部材、３８は押え部材、３９はパッキン
である。また、符号４０はニードル部材２０が取り付け
られた直動部材で、４１はニードル部材２０の取付部、
４２は調節ねじ５０と螺合する内ねじ部、４５は直動
溝、４６はピンである。符号５０はニードル部材２０を
前進後退する調節ねじで、５１はバルブボディ本体１１
のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部、５２は直動部材４
０の内ねじ部４２と螺合する第２ねじ部、５５はロック
ナットである。
で、１９はその後端に形成された調節ねじ５０のねじ
溝、２１はニードル部材２０の先端部、３６はダイヤフ
ラム外周縁３１を弁室１２に取付固定する取付部材、３
７はクッション部材、３８は押え部材、３９はパッキン
である。また、符号４０はニードル部材２０が取り付け
られた直動部材で、４１はニードル部材２０の取付部、
４２は調節ねじ５０と螺合する内ねじ部、４５は直動
溝、４６はピンである。符号５０はニードル部材２０を
前進後退する調節ねじで、５１はバルブボディ本体１１
のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部、５２は直動部材４
０の内ねじ部４２と螺合する第２ねじ部、５５はロック
ナットである。
【００１１】バルブボディ本体１１は、実施例では耐蝕
性、耐薬品性に優れるポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹脂から形成されている。な
お、用途に応じ一般的なプラスチックあるいは金属によ
って形成することができる。また、弁室１２内に装置さ
れるニードル部材２０およびダイヤフラム３０も、実施
例ではポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等
のフッ素樹脂から形成されているが、同様に、用途に応
じて他のプラスチック等としてもよい。
性、耐薬品性に優れるポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ樹脂）等のフッ素樹脂から形成されている。な
お、用途に応じ一般的なプラスチックあるいは金属によ
って形成することができる。また、弁室１２内に装置さ
れるニードル部材２０およびダイヤフラム３０も、実施
例ではポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ樹脂）等
のフッ素樹脂から形成されているが、同様に、用途に応
じて他のプラスチック等としてもよい。
【００１２】この発明構造では、図示のように、ニード
ル部材２０はダイヤフラム３０に保持されていて、該ダ
イヤフラム３０の可動範囲内においてニードル部材２０
の軸方向ｄに進退自在に構成されている。これによっ
て、ニードル部材２０が摺動部をもつことが回避され、
もって前記した摺動に伴うパーティクルの発生を防止
し、シール部による外部漏出（滲出）のおそれが解消さ
れる。
ル部材２０はダイヤフラム３０に保持されていて、該ダ
イヤフラム３０の可動範囲内においてニードル部材２０
の軸方向ｄに進退自在に構成されている。これによっ
て、ニードル部材２０が摺動部をもつことが回避され、
もって前記した摺動に伴うパーティクルの発生を防止
し、シール部による外部漏出（滲出）のおそれが解消さ
れる。
【００１３】次に、ニードル部材２０の進退機構を説明
をする。ニードル部材２０は調節ねじ５０の回動によっ
て直動する直動部材４０とともに前進後退する。すなわ
ち、ニードル部材２０は前記のようにダイヤフラム３０
に保持されているが、同時のその後部の取付部４１にお
いて直動部材４０に一体に取り付けられている。
をする。ニードル部材２０は調節ねじ５０の回動によっ
て直動する直動部材４０とともに前進後退する。すなわ
ち、ニードル部材２０は前記のようにダイヤフラム３０
に保持されているが、同時のその後部の取付部４１にお
いて直動部材４０に一体に取り付けられている。
【００１４】調節ねじ５０は、前記のように、バルブボ
ディ本体１１のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部５１
と、直動部材４０の内ねじ部４２と螺合する第２ねじ部
５２を有していて、その回動を第２ねじ部５２を介して
直動部材４０に伝達する。直動部材４０は、図のよう
に、その外周面の軸方向に直動溝４５が形成されてい
て、バルブボディ本体１１に固着されたピン４６と係止
してその回り止めがなされている。従って、調節ねじ５
０の回動によって直動部材はとも回りすることなく、第
２ねじ部５２のピッチＰ２に応じて直動する。
ディ本体１１のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部５１
と、直動部材４０の内ねじ部４２と螺合する第２ねじ部
５２を有していて、その回動を第２ねじ部５２を介して
直動部材４０に伝達する。直動部材４０は、図のよう
に、その外周面の軸方向に直動溝４５が形成されてい
て、バルブボディ本体１１に固着されたピン４６と係止
してその回り止めがなされている。従って、調節ねじ５
０の回動によって直動部材はとも回りすることなく、第
２ねじ部５２のピッチＰ２に応じて直動する。
【００１５】なお、図示されていないが、直動部材４０
とバルブボディ本体１０との間、または直動部材４０と
押え部材３８との間にスプリングを介設して、調節ねじ
５０のねじ部５１，５２に生ずることのあるバックラッ
シを吸収するようにしてもよい。
とバルブボディ本体１０との間、または直動部材４０と
押え部材３８との間にスプリングを介設して、調節ねじ
５０のねじ部５１，５２に生ずることのあるバックラッ
シを吸収するようにしてもよい。
【００１６】図示の実施例では、請求項２の発明として
記載したように、直動部材４０の内ねじ部４２に螺合す
る調節ねじ５０の第２ねじ５２のねじピッチＰ２は、バ
ルブボディ本体１１のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部
５１のねじピッチＰ１より小さく構成されている。具体
的には、第１ねじ部５１のねじピッチＰ１が１．０ｍｍ
で、第２ねじ部５２のねじピッチＰ２が０．７５ｍｍで
ある。このような構成とすることによって、調節ねじ５
０を１回転前進（または後退）させると、直動部材４０
は両ねじピッチＰ１とＰ２の差の分、つまり０．２５ｍ
ｍだけ前進（または後退）する。これによって、微量な
調整、つまり微小送りを精密に行うことが容易にでき
る。
記載したように、直動部材４０の内ねじ部４２に螺合す
る調節ねじ５０の第２ねじ５２のねじピッチＰ２は、バ
ルブボディ本体１１のねじ溝１９と螺合する第１ねじ部
５１のねじピッチＰ１より小さく構成されている。具体
的には、第１ねじ部５１のねじピッチＰ１が１．０ｍｍ
で、第２ねじ部５２のねじピッチＰ２が０．７５ｍｍで
ある。このような構成とすることによって、調節ねじ５
０を１回転前進（または後退）させると、直動部材４０
は両ねじピッチＰ１とＰ２の差の分、つまり０．２５ｍ
ｍだけ前進（または後退）する。これによって、微量な
調整、つまり微小送りを精密に行うことが容易にでき
る。
【００１７】さらに、図２に図示し、請求項３として記
載したように、この例では、ニードル部材２０が先細の
テーパ形状２２に形成されている。具体的には、ニード
ル部材２０の一般部の直径は２．０ｍｍで、先端部２１
は１．８ｍｍである。このようなニードル部材２０のテ
ーパ形状２２によって、より微細で繊細な調節が可能と
なる。
載したように、この例では、ニードル部材２０が先細の
テーパ形状２２に形成されている。具体的には、ニード
ル部材２０の一般部の直径は２．０ｍｍで、先端部２１
は１．８ｍｍである。このようなニードル部材２０のテ
ーパ形状２２によって、より微細で繊細な調節が可能と
なる。
【００１８】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明に
よれば、ニードル部材が弁室に外周縁を固定されて該ニ
ードル部材の軸方向に可動なダイヤフラムに保持されて
いるものであるから、従来のように弁室内にニードル部
材の摺動部が形成されない。従って、弁室内に摺動に伴
うパーティクルの発生が防止されるとともに、摺動部の
シール部材による流体の外部漏出（滲出）が回避され、
薬液や超純水等に最適な流量調節弁機構を提供すること
ができた。
よれば、ニードル部材が弁室に外周縁を固定されて該ニ
ードル部材の軸方向に可動なダイヤフラムに保持されて
いるものであるから、従来のように弁室内にニードル部
材の摺動部が形成されない。従って、弁室内に摺動に伴
うパーティクルの発生が防止されるとともに、摺動部の
シール部材による流体の外部漏出（滲出）が回避され、
薬液や超純水等に最適な流量調節弁機構を提供すること
ができた。
【００１９】また、ニードル部材の進退機構を請求項２
のようなねじピッチの差を設けることによって、微量な
調整、つまり微小送りを精密に行うことが容易にでき
る。さらに、請求項３のようにニードル部材を先細のテ
ーパ形状とすることによって、より微細で繊細な調節が
可能となる。このように、この発明の流量調節弁機構
は、薬液や超純水等を微量調整するための流量調節弁機
構として極めて有用なものである。
のようなねじピッチの差を設けることによって、微量な
調整、つまり微小送りを精密に行うことが容易にでき
る。さらに、請求項３のようにニードル部材を先細のテ
ーパ形状とすることによって、より微細で繊細な調節が
可能となる。このように、この発明の流量調節弁機構
は、薬液や超純水等を微量調整するための流量調節弁機
構として極めて有用なものである。
【図１】この発明の一実施例を示す流量調節弁機構の断
面図である。
面図である。
【図２】ニードル部材先端の形状を示す拡大した部分断
面図である。
面図である。
１０ 流量調節弁機構 １１ バルブボディ本体 １２ 弁室 １３ 流体流入口 １４ 流体流出口 １５ オリフィス ２０ ニードル部材 ２１ ニードル部材の先端部 ２２ テーパ形状 ３０ ダイヤフラム ３１ ダイヤフラム外周縁 ３６ 取付部材 ３７ クッション部材 ３８ 押え部材 ４０ 直動部材 ４２ 内ねじ部 ４５ 直動溝 ５０ 調節ねじ ５１ 第１ねじ部 ５２ 第２ねじ部
Claims (3)
- 【請求項１】 流体流入口とオリフィスが取り付けられ
た流体流出口を有する弁室内に、前記オリフィスの開口
量を調節するニードル部材が進退自在に配置されたもの
であって、前記ニードル部材は前記弁室に外周縁を固定
されて該ニードル部材の軸方向に可動なダイヤフラムに
保持されていることを特徴とする流量調節弁機構。 - 【請求項２】 請求項１において、前記ニードル部材が
調節ねじの回動によって直動する直動部材に取り付けら
れていて、前記調節ねじはバルブボディ本体のねじ溝と
螺合する第１ねじ部と前記直動部材の内ねじ部と螺合す
る第２ねじ部を有しており、前記第２ねじ部のねじピッ
チは前記第１ねじ部のねじピッチより小さく構成されて
いる流量調節弁機構。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記ニード
ル部材が先細のテーパ形状を有する流量調節弁機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22423997A JPH1151217A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流量調節弁機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22423997A JPH1151217A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流量調節弁機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151217A true JPH1151217A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16810680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22423997A Pending JPH1151217A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 流量調節弁機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1151217A (ja) |
Cited By (12)
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-
1997
- 1997-08-05 JP JP22423997A patent/JPH1151217A/ja active Pending
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