JPH1151890A - 導電率計 - Google Patents
導電率計Info
- Publication number
- JPH1151890A JPH1151890A JP9225613A JP22561397A JPH1151890A JP H1151890 A JPH1151890 A JP H1151890A JP 9225613 A JP9225613 A JP 9225613A JP 22561397 A JP22561397 A JP 22561397A JP H1151890 A JPH1151890 A JP H1151890A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity meter
- electrode
- titanium
- titanium boride
- molten salt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 27
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000003836 solid-state method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020808 NaBF Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N disodium;3,7-dioxido-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3,5,7-tetraborabicyclo[3.3.1]nonane Chemical compound [Na+].[Na+].O1B([O-])OB2OB([O-])OB1O2 UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- VLCLHFYFMCKBRP-UHFFFAOYSA-N tricalcium;diborate Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]B([O-])[O-].[O-]B([O-])[O-] VLCLHFYFMCKBRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極表面が安定化することにより電極の電気
特性が安定し、長期的に高い測定精度を維持することが
でき、信頼性の高い導電率計を提供する。 【解決手段】 導電率計の電極表面１，２にホウ化チタ
ン膜を形成したものである。
特性が安定し、長期的に高い測定精度を維持することが
でき、信頼性の高い導電率計を提供する。 【解決手段】 導電率計の電極表面１，２にホウ化チタ
ン膜を形成したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの洗
浄工程で使用される純水の純度管理等に用いられる導電
率計に関する。
浄工程で使用される純水の純度管理等に用いられる導電
率計に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエハの製造工程におい
て、微細な埃あるいはわずかの汚れの存在も許されない
ため、純水による洗浄等の洗浄工程が設けられている。
この洗浄用の純水も、その成分によってはウエハの表面
に影響を与えるため、純水の純度管理を適切に行う必要
がある。従来のこのような純度管理を行う際には、純水
中に不純物が存在すると導電率が変化することを利用す
るため、導電率計を用いて監視を行っている。
て、微細な埃あるいはわずかの汚れの存在も許されない
ため、純水による洗浄等の洗浄工程が設けられている。
この洗浄用の純水も、その成分によってはウエハの表面
に影響を与えるため、純水の純度管理を適切に行う必要
がある。従来のこのような純度管理を行う際には、純水
中に不純物が存在すると導電率が変化することを利用す
るため、導電率計を用いて監視を行っている。
【０００３】このような導電率計においては、対向して
設けた電極に交流電圧を与え、電流変化を検出すること
により被検査液体の導電率、比抵抗を測定している。そ
の際に用いる電極の素材としては、チタン、ステンレ
ス、白金、あるいはチタン表面に酸化チタン処理を施し
たもの他ものが用いられ、また、電極表面にＴｉＮ膜、
あるいはＴｉＣ膜を形成したものが提案されている。
設けた電極に交流電圧を与え、電流変化を検出すること
により被検査液体の導電率、比抵抗を測定している。そ
の際に用いる電極の素材としては、チタン、ステンレ
ス、白金、あるいはチタン表面に酸化チタン処理を施し
たもの他ものが用いられ、また、電極表面にＴｉＮ膜、
あるいはＴｉＣ膜を形成したものが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように電極の素
材としてチタンを用いたものにおいては、使用中に表面
が酸化し、酸化チタンが表層に形成され、その厚さは徐
々に変化し、温度変化等の外乱によって電極特性が変化
しやすく、指示に影響が発生し、信頼性が低下する欠点
があった。また、ステンレスを用いたものにおいては、
前記のチタン極よりも変化の程度は低いものの、やはり
比抵抗値が徐々に大となり、指示に影響が生じる欠点は
存在する。更に、白金極を用いた場合には、材質的には
安定であるものの、その使用に際しては構造上堅牢さが
要求され、また、電極自体が高価なものとなる欠点もあ
る。また、チタン表面に酸化チタン処理を施したものに
おいては、その酸化チタン層自体が不働体化しているた
め、表面の変化はないが、その酸化チタン層が絶縁体で
あるため、温度変化等の外乱の影響を受けやすい欠点が
ある。
材としてチタンを用いたものにおいては、使用中に表面
が酸化し、酸化チタンが表層に形成され、その厚さは徐
々に変化し、温度変化等の外乱によって電極特性が変化
しやすく、指示に影響が発生し、信頼性が低下する欠点
があった。また、ステンレスを用いたものにおいては、
前記のチタン極よりも変化の程度は低いものの、やはり
比抵抗値が徐々に大となり、指示に影響が生じる欠点は
存在する。更に、白金極を用いた場合には、材質的には
安定であるものの、その使用に際しては構造上堅牢さが
要求され、また、電極自体が高価なものとなる欠点もあ
る。また、チタン表面に酸化チタン処理を施したものに
おいては、その酸化チタン層自体が不働体化しているた
め、表面の変化はないが、その酸化チタン層が絶縁体で
あるため、温度変化等の外乱の影響を受けやすい欠点が
ある。
【０００５】更に、電極表面にＴｉＮのコーテイング処
理を施したものにおいては、ＴｉＮ層が高温水中では変
成し、ＴｉＯ2 に成ることが確認されている。即ち、 ２ＴｉＮ＋４Ｈ2Ｏ→２ＴｉＯ2＋２ＮＨ3＋Ｈ2 ２ＴｉＮ＋２Ｏ2 →２ＴｉＯ2＋Ｎ2 の化学変化が考えられ、いずれもＴｉＯ2 を生じる。ま
た、電極面にＴｉＣ膜を形成したものにおいては、Ｔｉ
Ｃ膜の比抵抗は１９３×１０-6Ω・cmと大きく電極のコ
ーテイング材としては不向きである。
理を施したものにおいては、ＴｉＮ層が高温水中では変
成し、ＴｉＯ2 に成ることが確認されている。即ち、 ２ＴｉＮ＋４Ｈ2Ｏ→２ＴｉＯ2＋２ＮＨ3＋Ｈ2 ２ＴｉＮ＋２Ｏ2 →２ＴｉＯ2＋Ｎ2 の化学変化が考えられ、いずれもＴｉＯ2 を生じる。ま
た、電極面にＴｉＣ膜を形成したものにおいては、Ｔｉ
Ｃ膜の比抵抗は１９３×１０-6Ω・cmと大きく電極のコ
ーテイング材としては不向きである。
【０００６】したがって、本発明は、電極表面が安定化
することにより電極の電気特性が安定し、長期的に高い
測定精度を維持することができ、信頼性の高い導電率計
を提供することを目的とする。
することにより電極の電気特性が安定し、長期的に高い
測定精度を維持することができ、信頼性の高い導電率計
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、導電率計の電極表面にホウ化チタン膜を形
成したものである。
決するため、導電率計の電極表面にホウ化チタン膜を形
成したものである。
【０００８】本発明は、上記のように導電率計の電極表
面にホウ化チタン膜を形成したので、電極表面が安定化
し、またその比抵抗も小さく電極のコーテイング材とし
て最適である。
面にホウ化チタン膜を形成したので、電極表面が安定化
し、またその比抵抗も小さく電極のコーテイング材とし
て最適である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明を適用する導電計の電極部
は、図に示すように、中心電極１とその周囲に間隔を有
して同心円の円筒状の周辺電極２を有し、ここに交流電
圧が通電される。この各電極の素材はチタン製のものと
し、その表面に、本発明においてはホウ化チタン（チタ
ンＢ，チタンＢ2 ）層を形成している。
は、図に示すように、中心電極１とその周囲に間隔を有
して同心円の円筒状の周辺電極２を有し、ここに交流電
圧が通電される。この各電極の素材はチタン製のものと
し、その表面に、本発明においてはホウ化チタン（チタ
ンＢ，チタンＢ2 ）層を形成している。
【００１０】ホウ化チタン層は、固体法、溶融塩浴浸漬
法、ペースト法、融塩浴電解法により形成することがで
きる。例えば溶融塩浴法によることができる。この方法
においては、ホウ酸、ホウ酸カリュウム、炭酸カリュウ
ム、マグネシュウムなどの混合塩を溶融し、材料や溶融
塩の酸化を防ぐためにアルゴンなどの不活性ガスで覆っ
た溶融塩浴に材料を浸し、１０２３乃至１３２３Ｋの温
度で処理をする。また、ペースト法によってもチタンＢ
2層を形成することができる。この方法によると、Ｂ4Ｃ
、Ｎａ2Ｂ4Ｏ7 、ＮａＢＦ4 、ＮＨ4Ｃｌ 等の薬剤の
混合物をエチルアルコールでペースト状にし、材料の表
面に塗布し、乾燥後、Ｂ4Ｃ を含むアルミナ粉に埋め込
み、１１２３乃至１２３８Ｋの温度で大気中にて加熱処
理する事によっても得られる。
法、ペースト法、融塩浴電解法により形成することがで
きる。例えば溶融塩浴法によることができる。この方法
においては、ホウ酸、ホウ酸カリュウム、炭酸カリュウ
ム、マグネシュウムなどの混合塩を溶融し、材料や溶融
塩の酸化を防ぐためにアルゴンなどの不活性ガスで覆っ
た溶融塩浴に材料を浸し、１０２３乃至１３２３Ｋの温
度で処理をする。また、ペースト法によってもチタンＢ
2層を形成することができる。この方法によると、Ｂ4Ｃ
、Ｎａ2Ｂ4Ｏ7 、ＮａＢＦ4 、ＮＨ4Ｃｌ 等の薬剤の
混合物をエチルアルコールでペースト状にし、材料の表
面に塗布し、乾燥後、Ｂ4Ｃ を含むアルミナ粉に埋め込
み、１１２３乃至１２３８Ｋの温度で大気中にて加熱処
理する事によっても得られる。
【００１１】更に、溶融塩浴電解法によることもでき
る。この方法によってホウ化チタン層を形成するには、
厚さ３ｍｍの市販の純チタン圧延板ををエメリー紙で研
磨し、トリクロールエタンで洗浄脱脂後、硝酸１０％、
フッ酸３％の水溶液で酸洗いする。溶融塩浴電解ホウ酸
化処理装置としては、黒鉛ルツボを電解槽とし、溶融塩
電解質としては無水ホウ砂（Ｎａ2Ｂ4Ｏ7 ）を溶融した
ものを用い、処理前に予備電解を行い、脱水を充分に行
った後、試料をカソードで、溶融塩浴に浸し、電解層を
アノードとして、処理温度１１２３乃至１２２３Ｋ、処
理時間１０．８乃至５４ｋｓ、電流密度２００乃至６０
０Ａ／ｍ2 の条件でホウ化処理を行う。チタンは酸化さ
れやすいので装置内をアルゴン雰囲気として試料を浸
す。このように、種々の方法によりチタンに対してホウ
化チタン層を生成することができる。
る。この方法によってホウ化チタン層を形成するには、
厚さ３ｍｍの市販の純チタン圧延板ををエメリー紙で研
磨し、トリクロールエタンで洗浄脱脂後、硝酸１０％、
フッ酸３％の水溶液で酸洗いする。溶融塩浴電解ホウ酸
化処理装置としては、黒鉛ルツボを電解槽とし、溶融塩
電解質としては無水ホウ砂（Ｎａ2Ｂ4Ｏ7 ）を溶融した
ものを用い、処理前に予備電解を行い、脱水を充分に行
った後、試料をカソードで、溶融塩浴に浸し、電解層を
アノードとして、処理温度１１２３乃至１２２３Ｋ、処
理時間１０．８乃至５４ｋｓ、電流密度２００乃至６０
０Ａ／ｍ2 の条件でホウ化処理を行う。チタンは酸化さ
れやすいので装置内をアルゴン雰囲気として試料を浸
す。このように、種々の方法によりチタンに対してホウ
化チタン層を生成することができる。
【００１２】上記のように形成されたホウ化チタン層は
その比抵抗が６．４×１０-6Ω・cmと上記のＴｉＣの１
９３×１０-6Ω・cmに比べて小さく、電極のコーテイン
グ材として適していることが明らかである。
その比抵抗が６．４×１０-6Ω・cmと上記のＴｉＣの１
９３×１０-6Ω・cmに比べて小さく、電極のコーテイン
グ材として適していることが明らかである。
【００１３】
【発明の効果】本発明の導電率計は、その電極にホウ化
チタン層を形成したので、非常に堅い導電性の膜により
耐酸化性、耐熱性に優れ電気的特性が安定する。そし
て、長期的に高い測定精度を信頼性よく得ることができ
る。
チタン層を形成したので、非常に堅い導電性の膜により
耐酸化性、耐熱性に優れ電気的特性が安定する。そし
て、長期的に高い測定精度を信頼性よく得ることができ
る。
【図１】本発明の実施例の導電率計の電極部分を示す概
略図である。
略図である。
１ 中心電極 ２ 周辺電極
Claims (5)
- 【請求項１】 両電極表面にホウ化チタン膜を形成した
ことを特徴とする導電率計。 - 【請求項２】 前記ホウ化チタン膜は固体法により形成
される請求項１に記載の導電率計。 - 【請求項３】 前記ホウ化チタン膜は溶融塩浴法により
形成される請求項１に記載の導電率計。 - 【請求項４】 前記ホウ化チタン膜はペースト法により
形成される請求項１に記載の導電率計。 - 【請求項５】 前記ホウ化チタン膜は融塩浴電解法によ
り形成される請求項１に記載の導電率計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22561397A JP3616840B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 導電率計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22561397A JP3616840B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 導電率計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151890A true JPH1151890A (ja) | 1999-02-26 |
| JP3616840B2 JP3616840B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=16832071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22561397A Expired - Fee Related JP3616840B2 (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 導電率計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3616840B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296263A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-10-26 | Japan Organo Co Ltd | 電気伝導度計および電気伝導度測定用電極とその製造方法 |
| JP2010007134A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Air Water Inc | 鋼材の表面処理方法および表面処理装置ならびにそれらによって得られる鋼材 |
| CN104391179A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-03-04 | 成都光明光电股份有限公司 | 熔融玻璃电导率测试装置及其方法 |
| CN116576916A (zh) * | 2023-05-09 | 2023-08-11 | 宝鸡百事得控制技术有限公司 | 一种复合型多功能工业传感器 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159685A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-07-02 | Taiho Kogyo Co Ltd | ベ−ン |
| JPH04251650A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-09-08 | Tokyo Yogyo Co Ltd | ダイカストマシン用スリーブ |
| JPH0649687A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-22 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性表面被覆材 |
| JPH06138067A (ja) * | 1991-08-06 | 1994-05-20 | Shinagawa Refract Co Ltd | 導電率測定用セル |
| JPH07230714A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | 銅導電性ペースト |
| JPH08278270A (ja) * | 1995-04-08 | 1996-10-22 | Horiba Ltd | 導電率または比抵抗を測定するための装置 |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP22561397A patent/JP3616840B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63159685A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-07-02 | Taiho Kogyo Co Ltd | ベ−ン |
| JPH04251650A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-09-08 | Tokyo Yogyo Co Ltd | ダイカストマシン用スリーブ |
| JPH06138067A (ja) * | 1991-08-06 | 1994-05-20 | Shinagawa Refract Co Ltd | 導電率測定用セル |
| JPH0649687A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-22 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性表面被覆材 |
| JPH07230714A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | 銅導電性ペースト |
| JPH08278270A (ja) * | 1995-04-08 | 1996-10-22 | Horiba Ltd | 導電率または比抵抗を測定するための装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296263A (ja) * | 2000-02-07 | 2001-10-26 | Japan Organo Co Ltd | 電気伝導度計および電気伝導度測定用電極とその製造方法 |
| JP2010007134A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Air Water Inc | 鋼材の表面処理方法および表面処理装置ならびにそれらによって得られる鋼材 |
| CN104391179A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-03-04 | 成都光明光电股份有限公司 | 熔融玻璃电导率测试装置及其方法 |
| CN116576916A (zh) * | 2023-05-09 | 2023-08-11 | 宝鸡百事得控制技术有限公司 | 一种复合型多功能工业传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3616840B2 (ja) | 2005-02-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Turner | Electropolishing silicon in hydrofluoric acid solutions | |
| Jurczakowski et al. | Impedance of porous Au based electrodes | |
| CA2208109C (en) | Cleaning aluminium workpieces | |
| Devilliers et al. | Cr (III) oxidation with lead dioxide-based anodes | |
| Hussey et al. | The electrochemistry of copper in a room temperature acidic chloroaluminate melt | |
| WO1997001179A2 (en) | Method of producing aluminum foil for electrolytic capacitors and product thereof | |
| Dallek et al. | Mechanism of pit initiation on aluminum alloy type 7075 | |
| Vermilyea | Conduction and rectification in anodic oxide films | |
| Hussey et al. | Electrodissolution and electrodeposition of lead in an acidic room temperature chloroaluminate molten salt | |
| US20210055248A1 (en) | Reference electrodes for molten salt systems, and related methods and electrochemical systems | |
| Schuldiner et al. | Comparative Activity of (111),(100),(110), and Polycrystalline Platinum Electrodes in H2‐Saturated 1 M H 2 SO 4 under Potentiostatic Control | |
| Popov et al. | Electrochemical behaviour of titanium (II) and titanium (III) compounds in molten lithium chloride/potassium chloride eutectic melts | |
| Petrocelli | The electrochemical behavior of aluminum: I. In solutions of cerium sulfate in sulfuric acid | |
| JP2574699B2 (ja) | 酸素発生陽極及びその製法 | |
| West | Comparison of modeling approaches for a porous salt film | |
| JP3616840B2 (ja) | 導電率計 | |
| US6610194B1 (en) | Bath composition for electropolishing of titanium and method for using same | |
| Kisza et al. | An Impedance Study of the Kinetics and Mechanism of the Anodic Reaction on Graphite Anodes in Saturated Cryolite‐Alumina Melts | |
| JPH11172489A (ja) | チタン酸バリウム被膜の製造方法 | |
| Taxil et al. | The preparation of corrosion-resistant layers by the electrolytic deposition of tantalum on nickel and stainless steel | |
| Beck et al. | Conductivity of anodic silver chloride during formation | |
| US4559114A (en) | Nickel sulfate coloring process for anodized aluminum | |
| JP4377960B2 (ja) | 低発塵性導電性バナジン酸塩ガラスの製造方法 | |
| Kelly et al. | An electrochemical study of undercutting during etching of duplex metal films | |
| Morisaki et al. | Electronic State Densities of Aquo‐Complex Ions in Water Determined by Electrochemical Tunneling Spectroscopy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040406 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040804 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041019 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041021 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |