JPH1152121A - カラ−フィルタの製造法 - Google Patents
カラ−フィルタの製造法Info
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- JPH1152121A JPH1152121A JP20666497A JP20666497A JPH1152121A JP H1152121 A JPH1152121 A JP H1152121A JP 20666497 A JP20666497 A JP 20666497A JP 20666497 A JP20666497 A JP 20666497A JP H1152121 A JPH1152121 A JP H1152121A
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- Japan
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- transparent
- film
- resin
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 作業性がよく、高歩留りで画素、オーバーコ
ート層を平坦化することができるカラーフィルタの製造
法を提供する。 【解決手段】 透明基板上のブラックマトリクスパター
ンの無い部分を、ネガ透明樹脂層を含むフィルムを用い
たフィルム転写法で形成する透明層で埋めることによ
り、平坦化してカラーフィルタを製造する。
ート層を平坦化することができるカラーフィルタの製造
法を提供する。 【解決手段】 透明基板上のブラックマトリクスパター
ンの無い部分を、ネガ透明樹脂層を含むフィルムを用い
たフィルム転写法で形成する透明層で埋めることによ
り、平坦化してカラーフィルタを製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
置に使用されるカラーフィルタの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示用カラーフィルタの製造方法に
おいて、透明基板上のブラックマトリクス（以下、Ｂ
Ｍ）パターンの無い部分を透明層で埋めて平坦化し、画
素層あるいはオーバーコート層を平坦化する方法として
は、以下の方法が知られている。 （１）特開昭６３−２４３９０２号公報に、ＢＭを形成
した透明基板の上から全面に透明な感光性樹脂を塗布
し、ＢＭパターンをマスクとして透明基板から露光して
（あるいはマスクを用いて透明基板に向かって露光し
て）ＢＭパターンの無い部分のみ感光性樹脂を残存して
透明樹脂層を設ける。 （２）特開平５−８８００８号公報に、透明層の材料と
して酸化シリコンあるいはポリイミド樹脂、アクリル樹
脂が示され、樹脂を用いる場合、透明層の形成にはスピ
ンコート法を用いる。すなわち、例えば、ポリイミド樹
脂をスピンナーを用いて塗布し乾燥、硬化させ、次いで
ＢＭパターンに重なる部分の透明膜を除去する。また、
透明層の他の形成方法としては、例えば、ポリイミド等
の樹脂を転写印刷する方法が、同特許に示されている。 （３）特開平７−２８７１１２号公報に、顔料分散フォ
トレジストを用いて形成したＢＭパターンの上から全面
に透明樹脂液を塗布して透明樹脂層を形成し、該透明樹
脂層を乾燥固化した後に、該透明樹脂層を平坦に研磨し
て、ＢＭパターン層表面と透明樹脂層表面とを同一面に
仕上げる。
おいて、透明基板上のブラックマトリクス（以下、Ｂ
Ｍ）パターンの無い部分を透明層で埋めて平坦化し、画
素層あるいはオーバーコート層を平坦化する方法として
は、以下の方法が知られている。 （１）特開昭６３−２４３９０２号公報に、ＢＭを形成
した透明基板の上から全面に透明な感光性樹脂を塗布
し、ＢＭパターンをマスクとして透明基板から露光して
（あるいはマスクを用いて透明基板に向かって露光し
て）ＢＭパターンの無い部分のみ感光性樹脂を残存して
透明樹脂層を設ける。 （２）特開平５−８８００８号公報に、透明層の材料と
して酸化シリコンあるいはポリイミド樹脂、アクリル樹
脂が示され、樹脂を用いる場合、透明層の形成にはスピ
ンコート法を用いる。すなわち、例えば、ポリイミド樹
脂をスピンナーを用いて塗布し乾燥、硬化させ、次いで
ＢＭパターンに重なる部分の透明膜を除去する。また、
透明層の他の形成方法としては、例えば、ポリイミド等
の樹脂を転写印刷する方法が、同特許に示されている。 （３）特開平７−２８７１１２号公報に、顔料分散フォ
トレジストを用いて形成したＢＭパターンの上から全面
に透明樹脂液を塗布して透明樹脂層を形成し、該透明樹
脂層を乾燥固化した後に、該透明樹脂層を平坦に研磨し
て、ＢＭパターン層表面と透明樹脂層表面とを同一面に
仕上げる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＢＭパターンの無い部
分に透明層を形成する際、樹脂を塗布して乾燥、硬化す
るまでの間に樹脂の粘着性のためごみが付着しやすく、
また、付着したごみを除去しにくいという問題がある。
本発明は、透明層をＢＭパターンの無いところに形成す
る際、ごみが付着しにくく、また、付着したごみを除去
しやすい、カラーフィルタの製造法を提供するものであ
る。
分に透明層を形成する際、樹脂を塗布して乾燥、硬化す
るまでの間に樹脂の粘着性のためごみが付着しやすく、
また、付着したごみを除去しにくいという問題がある。
本発明は、透明層をＢＭパターンの無いところに形成す
る際、ごみが付着しにくく、また、付着したごみを除去
しやすい、カラーフィルタの製造法を提供するものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造法は、ブラックマトリックスパターンが形成され
た透明基板上のブラックマトリックスパターンの無い部
分を透明層で埋めて平坦化する工程を備えるカラーフィ
ルタの製造法において、前記透明層をネガ型透明樹脂層
を含むフィルムを用いたフィルム転写法で形成すること
を特徴とする。本発明は、透明基板上にブラックマトリ
クス、着色画素を形成してなるカラーフィルタ、あるい
は前記着色画素上にオーバーコートを形成してなるカラ
ーフィルタにおいて、透明基板上のブラックマトリクス
パターンの無い部分を透明層で埋めて平坦化するカラー
フィルタの製造法であって、前記透明層をネガ型透明樹
脂層を含むフィルムを用いたフィルム転写法で形成する
ものである。すなわち本発明は、透明基板上にＢＭパタ
ーンを形成した基板上に、ベースフィルムとネガ型透明
樹脂層とからなる樹脂フィルムを、前記透明樹脂層が前
記ＢＭパターン形成基板のＢＭ形成面に面するように張
り合わせ、前記ベースフィルムを剥がすというフィルム
転写法で、透明樹脂層を積層することを特徴とするカラ
ーフィルタの製造法である。
の製造法は、ブラックマトリックスパターンが形成され
た透明基板上のブラックマトリックスパターンの無い部
分を透明層で埋めて平坦化する工程を備えるカラーフィ
ルタの製造法において、前記透明層をネガ型透明樹脂層
を含むフィルムを用いたフィルム転写法で形成すること
を特徴とする。本発明は、透明基板上にブラックマトリ
クス、着色画素を形成してなるカラーフィルタ、あるい
は前記着色画素上にオーバーコートを形成してなるカラ
ーフィルタにおいて、透明基板上のブラックマトリクス
パターンの無い部分を透明層で埋めて平坦化するカラー
フィルタの製造法であって、前記透明層をネガ型透明樹
脂層を含むフィルムを用いたフィルム転写法で形成する
ものである。すなわち本発明は、透明基板上にＢＭパタ
ーンを形成した基板上に、ベースフィルムとネガ型透明
樹脂層とからなる樹脂フィルムを、前記透明樹脂層が前
記ＢＭパターン形成基板のＢＭ形成面に面するように張
り合わせ、前記ベースフィルムを剥がすというフィルム
転写法で、透明樹脂層を積層することを特徴とするカラ
ーフィルタの製造法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明に用いられる型樹脂フィル
ムは、剥離性ベースフィルム、例えばポリエチレンテレ
フタレート等のフィルム上にネガ型透明樹脂を塗布し、
乾燥させて透明樹脂層を形成させたものである。透明樹
脂層は未硬化状であるため、傷つきやすいため、透明樹
脂層の上にさらにポリエチレンフィルム等の保護フィル
ムを張り合わせて外部からの損傷を防止することが好ま
しい。樹脂フィルムに形成されたネガ型透明樹脂層は、
保護フィルムを剥がしながらＢＭ形成基板上に張り合わ
され、またこの透明樹脂層表面のベースフィルム剥離
後、フォトマスクを用いて露光し、ＢＭパターン上の不
要な透明樹脂を除去する。あるいは、ＢＭパターンをマ
スクとし、基板の背面から露光してもよい。樹脂フィル
ムは、予め検査して異物や欠陥がないことを確認して用
いるのが良い。透明樹脂としては、アクリル系樹脂、エ
ポキシ樹脂、ポリイミド系樹脂等を用いることができる
が、画素形成用材料組成から色材成分のみ除いたものを
用いることができる。すなわち、画素形成用材料が顔料
分散樹脂系の場合、該樹脂組成から顔料を除いた樹脂系
を用いることができる。透明層の膜厚は、ＢＭパターン
の厚さとほぼ同等の厚さである必要があるが、具体的に
はＢＭと透明層との膜厚差が、±０．１μｍ以内がよ
い。
ムは、剥離性ベースフィルム、例えばポリエチレンテレ
フタレート等のフィルム上にネガ型透明樹脂を塗布し、
乾燥させて透明樹脂層を形成させたものである。透明樹
脂層は未硬化状であるため、傷つきやすいため、透明樹
脂層の上にさらにポリエチレンフィルム等の保護フィル
ムを張り合わせて外部からの損傷を防止することが好ま
しい。樹脂フィルムに形成されたネガ型透明樹脂層は、
保護フィルムを剥がしながらＢＭ形成基板上に張り合わ
され、またこの透明樹脂層表面のベースフィルム剥離
後、フォトマスクを用いて露光し、ＢＭパターン上の不
要な透明樹脂を除去する。あるいは、ＢＭパターンをマ
スクとし、基板の背面から露光してもよい。樹脂フィル
ムは、予め検査して異物や欠陥がないことを確認して用
いるのが良い。透明樹脂としては、アクリル系樹脂、エ
ポキシ樹脂、ポリイミド系樹脂等を用いることができる
が、画素形成用材料組成から色材成分のみ除いたものを
用いることができる。すなわち、画素形成用材料が顔料
分散樹脂系の場合、該樹脂組成から顔料を除いた樹脂系
を用いることができる。透明層の膜厚は、ＢＭパターン
の厚さとほぼ同等の厚さである必要があるが、具体的に
はＢＭと透明層との膜厚差が、±０．１μｍ以内がよ
い。
【０００６】
【実施例】樹脂フィルムの形成方法 日立化成工業（株）製の画素形成用樹脂であるネガ型ア
クリル系樹脂と、顔料を加えないこと以外は同じ樹脂溶
液を、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート上に
均一な厚さに塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥
し、保護フィルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフ
ィルムを張り合わせて樹脂フィルムを得た。乾燥後のネ
ガ型樹脂層の厚さは、０．８μｍであった。 ＢＭパターン形成基板の作成方法（樹脂ＢＭ、膜厚０．
８μｍ） 厚さ０．７ｍｍのガラス板上に、日立化成工業（株）製
のカーボン顔料分散感光性アクリル系樹脂液をスピンナ
ーを用いて全面に塗布、乾燥し、所定のパターンのマス
クを通して露光機（大日本スクリーン製）で露光した
後、３０℃で０．３重量％のＫＯＨ水溶液でスプレー現
像し、１５０℃、３０分間加熱してＢＭパターン形成基
板を得た。このＢＭパターンの膜厚は、０．８μｍであ
った。次に、前記ＢＭパターン形成基板を８０℃に保持
し、前記ネガ型樹脂フィルムの保護フィルムを剥がしな
がら、該樹脂層をロール温度１００℃、ロール圧４ｋｇ
／ｃｍ2 、速度２ｍ／ｍｉｎでラミネートした。次い
で、所定のパターンのマスクを通して露光した後、ポリ
エチレンテレフタレートフィルムを除去し、３０℃で２
重量％のＮａ2 ＣＯ3 水溶液でスプレー現像して、ＢＭ
パターン上の未露光部を除去し、ＢＭパターンの無い部
分を透明層で埋めた構造基板を作成した。形成したＢＭ
パターンの膜厚と透明層の膜厚は、どちらも０．８μｍ
で等しく、全面に渡り平坦化されたＢＭパターン無し部
分平坦化基板を得た。前記平坦化基板の透明層上にフィ
ルム転写法を用いて、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素をＢＭの端部と
画素の端部が重なるように形成し図１に示すカラーフィ
ルタを得た。得られたカラーフィルタの表面形状を段差
計れ（日本真空技術製 Ｄｅｋｔａｋ）で測定した結
果、ＢＭパターン上の画素端部においても、画素の盛り
上がりが無く平坦なものとなっており、画素の無い部分
を除く画素表面の最大の段差は、０．１μｍであった。
また、このものは透明層、画素において問題となる程度
の異物は見られなかった。
クリル系樹脂と、顔料を加えないこと以外は同じ樹脂溶
液を、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート上に
均一な厚さに塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥
し、保護フィルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフ
ィルムを張り合わせて樹脂フィルムを得た。乾燥後のネ
ガ型樹脂層の厚さは、０．８μｍであった。 ＢＭパターン形成基板の作成方法（樹脂ＢＭ、膜厚０．
８μｍ） 厚さ０．７ｍｍのガラス板上に、日立化成工業（株）製
のカーボン顔料分散感光性アクリル系樹脂液をスピンナ
ーを用いて全面に塗布、乾燥し、所定のパターンのマス
クを通して露光機（大日本スクリーン製）で露光した
後、３０℃で０．３重量％のＫＯＨ水溶液でスプレー現
像し、１５０℃、３０分間加熱してＢＭパターン形成基
板を得た。このＢＭパターンの膜厚は、０．８μｍであ
った。次に、前記ＢＭパターン形成基板を８０℃に保持
し、前記ネガ型樹脂フィルムの保護フィルムを剥がしな
がら、該樹脂層をロール温度１００℃、ロール圧４ｋｇ
／ｃｍ2 、速度２ｍ／ｍｉｎでラミネートした。次い
で、所定のパターンのマスクを通して露光した後、ポリ
エチレンテレフタレートフィルムを除去し、３０℃で２
重量％のＮａ2 ＣＯ3 水溶液でスプレー現像して、ＢＭ
パターン上の未露光部を除去し、ＢＭパターンの無い部
分を透明層で埋めた構造基板を作成した。形成したＢＭ
パターンの膜厚と透明層の膜厚は、どちらも０．８μｍ
で等しく、全面に渡り平坦化されたＢＭパターン無し部
分平坦化基板を得た。前記平坦化基板の透明層上にフィ
ルム転写法を用いて、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素をＢＭの端部と
画素の端部が重なるように形成し図１に示すカラーフィ
ルタを得た。得られたカラーフィルタの表面形状を段差
計れ（日本真空技術製 Ｄｅｋｔａｋ）で測定した結
果、ＢＭパターン上の画素端部においても、画素の盛り
上がりが無く平坦なものとなっており、画素の無い部分
を除く画素表面の最大の段差は、０．１μｍであった。
また、このものは透明層、画素において問題となる程度
の異物は見られなかった。
【０００７】
【効果】本発明によれば、ＢＭ形成基板に積層する透明
樹脂は乾燥状態であるため、樹脂液を塗布する場合と比
較してごみが付着しにくく、また、軽くのったごみはエ
アーブロー等で簡単に除去できるため、高い歩留りでカ
ラーフィルタを製造することができる。
樹脂は乾燥状態であるため、樹脂液を塗布する場合と比
較してごみが付着しにくく、また、軽くのったごみはエ
アーブロー等で簡単に除去できるため、高い歩留りでカ
ラーフィルタを製造することができる。
【図１】本発明のカラーフィルタの断面図である。
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス（ＢＭ）パターン層 ３ 透明樹脂層 ４ 着色画素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伴野 秀邦 茨城県つくば市和台48 日立化成工業株式 会社筑波開発研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 ブラックマトリックスパターンが形成さ
れた透明基板上のブラックマトリックスパターンの無い
部分を透明層で埋めて平坦化する工程を備えるカラーフ
ィルタの製造法において、前記透明層をネガ型透明樹脂
層を含むフィルムを用いたフィルム転写法で形成するこ
とを特徴とするカラ−フィルタの製造法。 - 【請求項２】 透明層の樹脂組成が、画素形成材料組成
から色材成分のみ除いたものである請求項１のカラーフ
ィルタの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20666497A JPH1152121A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | カラ−フィルタの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20666497A JPH1152121A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | カラ−フィルタの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1152121A true JPH1152121A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16527097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20666497A Pending JPH1152121A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | カラ−フィルタの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1152121A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007030906A2 (en) | 2005-09-12 | 2007-03-22 | FIAT AUTOMÓVEIS S.A. - Filial Mecânica | Cold start up auxiliary system for alcohol and flex engines with air-inlet and alcohol warm up |
| CN108594511A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-28 | 东旭（昆山）显示材料有限公司 | 彩膜基板、彩膜基板的制备方法和显示面板 |
| CN116520599A (zh) * | 2022-01-20 | 2023-08-01 | 虹彩光电股份有限公司 | 胆固醇液晶显示装置 |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP20666497A patent/JPH1152121A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007030906A2 (en) | 2005-09-12 | 2007-03-22 | FIAT AUTOMÓVEIS S.A. - Filial Mecânica | Cold start up auxiliary system for alcohol and flex engines with air-inlet and alcohol warm up |
| CN108594511A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-28 | 东旭（昆山）显示材料有限公司 | 彩膜基板、彩膜基板的制备方法和显示面板 |
| CN116520599A (zh) * | 2022-01-20 | 2023-08-01 | 虹彩光电股份有限公司 | 胆固醇液晶显示装置 |
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