JPH1152123A - カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 - Google Patents
カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法Info
- Publication number
- JPH1152123A JPH1152123A JP21907397A JP21907397A JPH1152123A JP H1152123 A JPH1152123 A JP H1152123A JP 21907397 A JP21907397 A JP 21907397A JP 21907397 A JP21907397 A JP 21907397A JP H1152123 A JPH1152123 A JP H1152123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- contact
- glass substrate
- substrate
- sulfuric acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 title description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタの不良基板から、ガラス基板
などの他の素材を侵すことなく、カラーフィルタ層を効
率よく剥離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生する
方法を提供すること。 【解決手段】 カラーフィルタの不良基板を、40℃以
上の温度で、濃硫酸と接触させることにより、カラーフ
ィルタ用ガラス基板からカラーフィルタ層を剥離してカ
ラーフィルタ用ガラス基板を再生する。
などの他の素材を侵すことなく、カラーフィルタ層を効
率よく剥離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生する
方法を提供すること。 【解決手段】 カラーフィルタの不良基板を、40℃以
上の温度で、濃硫酸と接触させることにより、カラーフ
ィルタ用ガラス基板からカラーフィルタ層を剥離してカ
ラーフィルタ用ガラス基板を再生する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造工程で発生する不良基板からカラーフィルタ層を剥
離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生する方法に関
する。
製造工程で発生する不良基板からカラーフィルタ層を剥
離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生する方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイのカラー化には種々の
方法があるが、現在では、カラーフィルタを用いた方法
が主流となっている。かかるカラーフィルタには高い信
頼性が必要であり、また高精度が要求されるために、製
品の検査も厳格にならざるを得ず、製品の不良率が高く
なって、カラーフィルタ製造の歩留まりが低下している
のが現状である。このようなカラーフィルタ製造の歩留
まりの低下は、液晶ディスプレイのコスト高の大きな要
因を占めており、カラーフィルタ製造の低コスト化が要
望されている。
方法があるが、現在では、カラーフィルタを用いた方法
が主流となっている。かかるカラーフィルタには高い信
頼性が必要であり、また高精度が要求されるために、製
品の検査も厳格にならざるを得ず、製品の不良率が高く
なって、カラーフィルタ製造の歩留まりが低下している
のが現状である。このようなカラーフィルタ製造の歩留
まりの低下は、液晶ディスプレイのコスト高の大きな要
因を占めており、カラーフィルタ製造の低コスト化が要
望されている。
【0003】カラーフィルタ製造の低コスト化の手段と
しては、製品の不良の原因となっている、ゴミなどの異
物の混入による欠陥、ピンホールや欠けなどによる欠
陥、ガラス基板の平坦性不良による欠陥などを改良して
カラーフィルタ製造の歩留まりを向上することが考えら
れる。しかし、これらの欠陥を完全に排除することは困
難であり、また製造工程を厳重に管理してこれらの原因
を完全に排除することは工業的に有利とは言えない。
しては、製品の不良の原因となっている、ゴミなどの異
物の混入による欠陥、ピンホールや欠けなどによる欠
陥、ガラス基板の平坦性不良による欠陥などを改良して
カラーフィルタ製造の歩留まりを向上することが考えら
れる。しかし、これらの欠陥を完全に排除することは困
難であり、また製造工程を厳重に管理してこれらの原因
を完全に排除することは工業的に有利とは言えない。
【0004】また、カラーフィルタ製造の低コスト化の
手段としては、カラーフィルタの不良基板からカラーフ
ィルタ層を剥離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生
して再利用する方法がある。このようなカラーフィルタ
用ガラス基板の再生方法には、たとえば、水酸化ナトリ
ウムなどの水溶液を剥離剤として用いるアルカリ処理法
などがある。しかし、アルカリ処理法では、カラーフィ
ルタ層の剥離に長時間を要し、またカラーフィルタ層の
剥離とともにガラス基板などの他の素材を侵すなどの問
題があった。また、紫外線照射、濃硫酸などによりカラ
ーフィルタ層の剥離を行なう方法も知られている。しか
し、紫外線処理や濃硫酸処理では、カラーフィルタ層の
剥離は十分でない。
手段としては、カラーフィルタの不良基板からカラーフ
ィルタ層を剥離してカラーフィルタ用ガラス基板を再生
して再利用する方法がある。このようなカラーフィルタ
用ガラス基板の再生方法には、たとえば、水酸化ナトリ
ウムなどの水溶液を剥離剤として用いるアルカリ処理法
などがある。しかし、アルカリ処理法では、カラーフィ
ルタ層の剥離に長時間を要し、またカラーフィルタ層の
剥離とともにガラス基板などの他の素材を侵すなどの問
題があった。また、紫外線照射、濃硫酸などによりカラ
ーフィルタ層の剥離を行なう方法も知られている。しか
し、紫外線処理や濃硫酸処理では、カラーフィルタ層の
剥離は十分でない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、カラーフィ
ルタの不良基板から、ガラス基板などの他の素材を侵す
ことなく、カラーフィルタ層を効率よく剥離してカラー
フィルタ用ガラス基板を再生する方法を提供することを
目的とする。
ルタの不良基板から、ガラス基板などの他の素材を侵す
ことなく、カラーフィルタ層を効率よく剥離してカラー
フィルタ用ガラス基板を再生する方法を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、カラーフィルタの
不良基板に、以下に示す特定処理を施すことにより、前
記目的を達成しうることを見出し本発明を完成するに至
った。
を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、カラーフィルタの
不良基板に、以下に示す特定処理を施すことにより、前
記目的を達成しうることを見出し本発明を完成するに至
った。
【0007】すなわち本発明は、カラーフィルタの不良
基板を、40℃以上の温度で、濃硫酸と接触させること
により、カラーフィルタ用ガラス基板からカラーフィル
タ層を剥離することを特徴とするカラーフィルタ用ガラ
ス基板の再生方法に関する。
基板を、40℃以上の温度で、濃硫酸と接触させること
により、カラーフィルタ用ガラス基板からカラーフィル
タ層を剥離することを特徴とするカラーフィルタ用ガラ
ス基板の再生方法に関する。
【0008】
【0009】本発明では、カラーフィルタの不良基板
を、40℃以上の温度で、濃硫酸と接触させる。濃硫酸
との接触温度を40℃以上としたのは、カラーフィルタ
層の剥離を十分に行なうためである。温度の上限は特に
制限されないが、安全性、作業性等の点から100℃程
度以下が好ましい。なお、濃硫酸とは濃度98重量%程
度の一般的な濃硫酸をいう。濃度が低いものはカラーフ
ィルタ基板上の金属部分などを腐食する場合があるので
好ましくない。
を、40℃以上の温度で、濃硫酸と接触させる。濃硫酸
との接触温度を40℃以上としたのは、カラーフィルタ
層の剥離を十分に行なうためである。温度の上限は特に
制限されないが、安全性、作業性等の点から100℃程
度以下が好ましい。なお、濃硫酸とは濃度98重量%程
度の一般的な濃硫酸をいう。濃度が低いものはカラーフ
ィルタ基板上の金属部分などを腐食する場合があるので
好ましくない。
【0010】カラーフィルタの不良基板を、濃硫酸に接
触させる方法は、特に制限されないが、たとえば、カラ
ーフィルタの不良基板を、カラーフィルタ層用剥離剤に
浸漬する方法があげられる。カラーフィルタの不良基板
は所定のカセット等に収納して、接触することもでき、
接触とともに揺動等することもできる。接触時間は、通
常、数分〜60分程度である。濃硫酸処理後は、カラー
フィルタ用ガラス基板を、水で十分に洗浄してから、水
切りを行なう。
触させる方法は、特に制限されないが、たとえば、カラ
ーフィルタの不良基板を、カラーフィルタ層用剥離剤に
浸漬する方法があげられる。カラーフィルタの不良基板
は所定のカセット等に収納して、接触することもでき、
接触とともに揺動等することもできる。接触時間は、通
常、数分〜60分程度である。濃硫酸処理後は、カラー
フィルタ用ガラス基板を、水で十分に洗浄してから、水
切りを行なう。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、カラーフィルタの不良
基板から、ガラス基板などの他の素材を侵すことなく、
カラーフィルタ層を効率よく剥離できる。再生したカラ
ーフィルタ用ガラス基板は、再度カラーフィルタ製造に
供することができためカラーフィルタ製造の低コスト化
に寄与する。
基板から、ガラス基板などの他の素材を侵すことなく、
カラーフィルタ層を効率よく剥離できる。再生したカラ
ーフィルタ用ガラス基板は、再度カラーフィルタ製造に
供することができためカラーフィルタ製造の低コスト化
に寄与する。
【0012】
【実施例】以下、実施例をあげて、本発明を更に詳しく
説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるも
のではない。なお、各例の%は重量基準である。
説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるも
のではない。なお、各例の%は重量基準である。
【0013】実施例1 液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを、濃硫酸(98
%)に、60℃で10分間浸漬して、カラーフィルタ層
の剥離を行なった後、水洗をしてカラーフィルタ用ガラ
ス基板からカラーフィルタ層を剥離したカラーフィルタ
用ガラス基板を回収した。
%)に、60℃で10分間浸漬して、カラーフィルタ層
の剥離を行なった後、水洗をしてカラーフィルタ用ガラ
ス基板からカラーフィルタ層を剥離したカラーフィルタ
用ガラス基板を回収した。
【0014】比較例1 実施例1において、濃硫酸の接触温度を、30℃に変え
た以外は実施例1と同様にして、カラーフィルタ用ガラ
ス基板を回収した。
た以外は実施例1と同様にして、カラーフィルタ用ガラ
ス基板を回収した。
【0015】実施例または比較例において回収したカラ
ーフィルタ用ガラス基板について、以下の評価を行なっ
た。評価結果を表1に示す。
ーフィルタ用ガラス基板について、以下の評価を行なっ
た。評価結果を表1に示す。
【0016】(1)剥離性 カラーフィルタ用ガラス基板のカラーフィルタ層の剥離
の度合いを以下の判定基準に基づき顕微鏡(約50倍)
で目視判定した。 ○:良好に剥離できる △:若干残存する ×:かなり残存する
の度合いを以下の判定基準に基づき顕微鏡(約50倍)
で目視判定した。 ○:良好に剥離できる △:若干残存する ×:かなり残存する
【0017】(2)ガラス基板の状態 カラーフィルタ用ガラス基板のガラス部分のエッチング
の度合いを、表面粗さ計((株)東京精密製)を用いて
測定し、以下の判定基準により評価した。 ○:ガラスエッチング量10オングストロームより少な
い △:ガラスエッチング量10〜100オングストローム ×:ガラスエッチング量100オングストロームより多
い
の度合いを、表面粗さ計((株)東京精密製)を用いて
測定し、以下の判定基準により評価した。 ○:ガラスエッチング量10オングストロームより少な
い △:ガラスエッチング量10〜100オングストローム ×:ガラスエッチング量100オングストロームより多
い
【0018】
【表1】
Claims (1)
- 【請求項1】 カラーフィルタの不良基板を、40℃以
上の温度で、濃硫酸と接触させることにより、カラーフ
ィルタ用ガラス基板からカラーフィルタ層を剥離するこ
とを特徴とするカラーフィルタ用ガラス基板の再生方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21907397A JPH1152123A (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21907397A JPH1152123A (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1152123A true JPH1152123A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16729846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21907397A Pending JPH1152123A (ja) | 1997-07-29 | 1997-07-29 | カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1152123A (ja) |
-
1997
- 1997-07-29 JP JP21907397A patent/JPH1152123A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5049200A (en) | Process for the hydrophilizing and/or cement-residue-removing surface treatment of silicon wafers | |
| JP3881517B2 (ja) | 仕上げを向上したスパッターターゲットを製造する方法 | |
| JP2016528146A (ja) | ガラス表面を処理する方法 | |
| JPH1092777A (ja) | 半導体ウェハの製造方法 | |
| US5964953A (en) | Post-etching alkaline treatment process | |
| US2411806A (en) | Purification of alumina | |
| JPH06254764A (ja) | 研磨液の再生方法 | |
| JPWO1999061573A1 (ja) | 半導体処理装置の部品の洗浄液及び洗浄方法 | |
| DE19953152C1 (de) | Verfahren zur naßchemischen Oberflächenbehandlung einer Halbleiterscheibe | |
| JPH1152123A (ja) | カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 | |
| JPH09295833A (ja) | フロートガラス基板の平坦化方法 | |
| JPH1149533A (ja) | カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 | |
| JPH1121483A (ja) | カラーフィルタ層用剥離剤およびカラーフィルタ用ガラス基板の再生方法 | |
| US4144090A (en) | Non-oxidative removal of gold films | |
| KR102271746B1 (ko) | 저농도 알칼리 용액에서의 초음파 침지 세척 및 고온 건조에 의한 타이타늄 스크랩 전처리 방법 | |
| US6063205A (en) | Use of H2 O2 solution as a method of post lap cleaning | |
| KR20030068354A (ko) | 반도체 웨이퍼의 재생방법 | |
| CN113832471B (zh) | 一种用于快速剥离聚酰亚胺薄膜的清洗剂及其应用 | |
| CN109950137A (zh) | 一种用于处理切割带胶条碎片料处理方法 | |
| JPH0288445A (ja) | ガラスの洗浄方法 | |
| US5269904A (en) | Single tank de-oxidation and anodization process | |
| JPH11319518A (ja) | 分離膜またはモジュールの洗浄・再生方法 | |
| CN112635295A (zh) | 半导体的清洗方法 | |
| JPH01126245A (ja) | ガラス製品の表面処理方法 | |
| JP2008153272A (ja) | 半導体製造装置用部品の洗浄方法及び洗浄液組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040617 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060919 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060921 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070215 |