JPH1154079A - 電子顕微鏡操作連動型テレビカメラ - Google Patents
電子顕微鏡操作連動型テレビカメラInfo
- Publication number
- JPH1154079A JPH1154079A JP9208981A JP20898197A JPH1154079A JP H1154079 A JPH1154079 A JP H1154079A JP 9208981 A JP9208981 A JP 9208981A JP 20898197 A JP20898197 A JP 20898197A JP H1154079 A JPH1154079 A JP H1154079A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- television camera
- signal
- electron microscope
- intermittent
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 観察目的に応じて撮影モードを自動的に切り
換え可能にして操作性を向上させる。 【解決手段】 観察する画像を変化させる信号または観
察する画像自体の変化信号を検出し、検出信号に応じて
撮影画像取込み時間を変化させて撮影するようにしたこ
とを特徴とする。
換え可能にして操作性を向上させる。 【解決手段】 観察する画像を変化させる信号または観
察する画像自体の変化信号を検出し、検出信号に応じて
撮影画像取込み時間を変化させて撮影するようにしたこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子顕微鏡用のテレ
ビカメラに係わり、特に観察目的に応じて間欠画モード
と動画モードとを切り換えるようにした電子顕微鏡操作
連動型テレビカメラに関する。
ビカメラに係わり、特に観察目的に応じて間欠画モード
と動画モードとを切り換えるようにした電子顕微鏡操作
連動型テレビカメラに関する。
【０００２】
【従来の技術】透過電子顕微鏡用テレビカメラを開発す
るに当たり、観察上の操作性と記録上の高画質の観点か
ら、２種類の撮影モードが必要であった。このうちの１
つを動画モード、他方を間欠画モードと呼ぶ。動画モー
ドでは３０フレーム／秒のスピードで画像表示を行って
いるので、動的な被写体に適し、視野探し、フォーカス
合わせ、非点補正調整などに用いられる。一方、間欠画
モードの表示スピードは８フレーム／秒から０．５フレ
ーム／秒と遅くなっている。しかしＣＣＤのような受像
素子に蓄えられる電荷の量がその蓄積時間に比例して多
くなるので、大きな出力信号が得られる。
るに当たり、観察上の操作性と記録上の高画質の観点か
ら、２種類の撮影モードが必要であった。このうちの１
つを動画モード、他方を間欠画モードと呼ぶ。動画モー
ドでは３０フレーム／秒のスピードで画像表示を行って
いるので、動的な被写体に適し、視野探し、フォーカス
合わせ、非点補正調整などに用いられる。一方、間欠画
モードの表示スピードは８フレーム／秒から０．５フレ
ーム／秒と遅くなっている。しかしＣＣＤのような受像
素子に蓄えられる電荷の量がその蓄積時間に比例して多
くなるので、大きな出力信号が得られる。
【０００３】その結果、後段の増幅器の増幅率を下げる
ことができ、電気的なノイズを低減できる。つまり、間
欠画モードではノイズの少ない高画質像を作ることがで
き、プリントアウトやデジタル化など記録的な用途に向
いている。また、被写体の細部を観察するのにも適して
いる。したがって、テレビカメラは被写体に対する観察
目的によってその撮影モードを切り換える必要があっ
た。
ことができ、電気的なノイズを低減できる。つまり、間
欠画モードではノイズの少ない高画質像を作ることがで
き、プリントアウトやデジタル化など記録的な用途に向
いている。また、被写体の細部を観察するのにも適して
いる。したがって、テレビカメラは被写体に対する観察
目的によってその撮影モードを切り換える必要があっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】透過電子顕微鏡の操作
は「視野探し」、「フォーカス合わせ」、「視野細部確
認」、「記録」を頻繁に繰り返す。この度毎にテレビカ
メラの２種類の撮影モード切り換えを手動で行っていた
のでは操作性が悪くなり、テレビカメラの透過電子顕微
鏡への導入が難しくなってきた。
は「視野探し」、「フォーカス合わせ」、「視野細部確
認」、「記録」を頻繁に繰り返す。この度毎にテレビカ
メラの２種類の撮影モード切り換えを手動で行っていた
のでは操作性が悪くなり、テレビカメラの透過電子顕微
鏡への導入が難しくなってきた。
【０００５】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、観察目的に応じて撮影モードを自動的に切り換え可
能にして操作性を向上させること目的とする。
で、観察目的に応じて撮影モードを自動的に切り換え可
能にして操作性を向上させること目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、撮影画像取込
み時間が可変な電子顕微鏡用テレビカメラにおいて、観
察する画像を変化させる信号または観察する画像自体の
変化信号を検出し、検出信号に応じて撮影画像取込み時
間を変化させて撮影するようにしたことを特徴とする。
また、本発明は、動画モードと間欠画モードで撮影画像
取込み時間が切り換えられ、さらに間欠画モードにおい
て複数種類の撮影画像取込み時間が選択可能であること
を特徴とする。
み時間が可変な電子顕微鏡用テレビカメラにおいて、観
察する画像を変化させる信号または観察する画像自体の
変化信号を検出し、検出信号に応じて撮影画像取込み時
間を変化させて撮影するようにしたことを特徴とする。
また、本発明は、動画モードと間欠画モードで撮影画像
取込み時間が切り換えられ、さらに間欠画モードにおい
て複数種類の撮影画像取込み時間が選択可能であること
を特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の電子顕微鏡操作連動型テレ
ビカメラの実施の形態の例を示すブロック図である。１
は透過電子顕微鏡（以下、ＴＥＭと言う）の操作部であ
り、試料移動ノブ１１、フォーカスノブ１２、輝度調整
ノブ１３が設けられ、これらを操作すると、その操作量
を表すパルス信号がパルス発生器２１〜２３から発生す
る。パルス発生器２１は、試料駆動機構３の駆動回路３
１に接続され、駆動回路３１で試料台３２をＸ、Ｙ軸方
向へモータ駆動するようになっている。したがって、試
料移動ノブ１１を操作することにより、操作者の意図に
応じて試料を移動させることができる。
て説明する。図１は本発明の電子顕微鏡操作連動型テレ
ビカメラの実施の形態の例を示すブロック図である。１
は透過電子顕微鏡（以下、ＴＥＭと言う）の操作部であ
り、試料移動ノブ１１、フォーカスノブ１２、輝度調整
ノブ１３が設けられ、これらを操作すると、その操作量
を表すパルス信号がパルス発生器２１〜２３から発生す
る。パルス発生器２１は、試料駆動機構３の駆動回路３
１に接続され、駆動回路３１で試料台３２をＸ、Ｙ軸方
向へモータ駆動するようになっている。したがって、試
料移動ノブ１１を操作することにより、操作者の意図に
応じて試料を移動させることができる。
【０００８】フォーカスノブ１２を操作すると、パルス
発生器２２から操作に応じたパルス信号が発生して本体
ＣＰＵ２４に取り込まれる。本体ＣＰＵ２４は取り込ん
だ信号に応じてレンズ電流制御回路２５を通して対物レ
ンズの励磁電流を変え、蛍光板に表示される試料のＴＥ
Ｍ像のフォーカス状態を変化させる。
発生器２２から操作に応じたパルス信号が発生して本体
ＣＰＵ２４に取り込まれる。本体ＣＰＵ２４は取り込ん
だ信号に応じてレンズ電流制御回路２５を通して対物レ
ンズの励磁電流を変え、蛍光板に表示される試料のＴＥ
Ｍ像のフォーカス状態を変化させる。
【０００９】輝度調整ノブ１３を操作すると、パルス発
生器２３から操作に応じたパルス信号が発生して本体Ｃ
ＰＵ２４に取り込まれる。本体ＣＰＵ２４は取り込んだ
信号に応じてレンズ電流制御回路２５を通して照射系レ
ンズの励磁電流を変え、試料上に照射される電子線密度
を変化させる。この電子線密度の変化に伴ってＴＥＭ像
の明るさが変化する。
生器２３から操作に応じたパルス信号が発生して本体Ｃ
ＰＵ２４に取り込まれる。本体ＣＰＵ２４は取り込んだ
信号に応じてレンズ電流制御回路２５を通して照射系レ
ンズの励磁電流を変え、試料上に照射される電子線密度
を変化させる。この電子線密度の変化に伴ってＴＥＭ像
の明るさが変化する。
【００１０】一方、パルス発生器２１〜２３は変化検出
回路４に接続されており、ＴＥＭ像に何らかの変化を与
える操作部１の各操作ノブ１１〜１３の操作に応じてパ
ルス発生器２１〜２３から発生したパルス信号は、変化
検出回路４の論理和回路４１に導かれ、ＴＥＭ像に変化
があったことが検出される。論理和回路４１の出力は後
述する動画／間欠画切り換え信号であり、チャタンリン
グを防止するための遅延回路４２を通してテレビカメラ
コントロールユニット５に加えられる。
回路４に接続されており、ＴＥＭ像に何らかの変化を与
える操作部１の各操作ノブ１１〜１３の操作に応じてパ
ルス発生器２１〜２３から発生したパルス信号は、変化
検出回路４の論理和回路４１に導かれ、ＴＥＭ像に変化
があったことが検出される。論理和回路４１の出力は後
述する動画／間欠画切り換え信号であり、チャタンリン
グを防止するための遅延回路４２を通してテレビカメラ
コントロールユニット５に加えられる。
【００１１】テレビカメラコントロールユニット５で
は、遅延回路４２からの動画／間欠画切り換え信号が、
バッファ増幅器５１、切り換えスイッチ５２を通してカ
メラ制御回路５４の入力ポートに加えられる。ＴＥＭ像
に変化があった場合は変化に追随できるように動画モー
ドに切り換えられて１／３０秒読み取り周期の入力ポー
トに信号が加えられ、テレビカメラ６は、例えばＣＣＤ
読み取りセンサで１／３０秒周期で選択された視野の像
を読み取り、読み取った画像信号をフレーム・メモリ５
５に送り、フレーム・メモリからは30フレーム／秒で画
像信号が出力される。ＴＥＭ像に変化がなく、間欠画モ
ードが選択された場合には、選択スイッチ５３で選択さ
れた読み取り周期の入力ポートに動画／間欠画切り換え
信号が加えられ、テレビカメラ６は選択された読み取り
周期で、視野の像を読み取り、読み取った画像信号をフ
レーム・メモリ５５に送る。選択スイッチ５３での読み
取り周期の設定は、カメラ画像を観察しながら最適なも
のに設定される。なお、テレビカメラ６による電子顕微
鏡像の撮影は、画像観察領域７として示すように、鏡筒
７１の一部に設けられた鉛ガラス７２を通して行われ、
投影レンズ７６から電子線７５によって蛍光板７４上に
投影される像によって生ずる蛍光を反射鏡７３を介して
ＣＣＤに取込むことによって行われる。
は、遅延回路４２からの動画／間欠画切り換え信号が、
バッファ増幅器５１、切り換えスイッチ５２を通してカ
メラ制御回路５４の入力ポートに加えられる。ＴＥＭ像
に変化があった場合は変化に追随できるように動画モー
ドに切り換えられて１／３０秒読み取り周期の入力ポー
トに信号が加えられ、テレビカメラ６は、例えばＣＣＤ
読み取りセンサで１／３０秒周期で選択された視野の像
を読み取り、読み取った画像信号をフレーム・メモリ５
５に送り、フレーム・メモリからは30フレーム／秒で画
像信号が出力される。ＴＥＭ像に変化がなく、間欠画モ
ードが選択された場合には、選択スイッチ５３で選択さ
れた読み取り周期の入力ポートに動画／間欠画切り換え
信号が加えられ、テレビカメラ６は選択された読み取り
周期で、視野の像を読み取り、読み取った画像信号をフ
レーム・メモリ５５に送る。選択スイッチ５３での読み
取り周期の設定は、カメラ画像を観察しながら最適なも
のに設定される。なお、テレビカメラ６による電子顕微
鏡像の撮影は、画像観察領域７として示すように、鏡筒
７１の一部に設けられた鉛ガラス７２を通して行われ、
投影レンズ７６から電子線７５によって蛍光板７４上に
投影される像によって生ずる蛍光を反射鏡７３を介して
ＣＣＤに取込むことによって行われる。
【００１２】次に、図２のタイムチャートを参照しなが
らより詳細に動作を説明する。ＴＥＭ操作部１の各操作
ノブ１１〜１３のいずれかを操作することによりパルス
発生器２１〜２３からは、図２（ａ）に示すように、例
えばパルス間隔ｔ（ｓ）のパルスが発生し（図のＨ：駆
動信号）、論理和回路４１を通して遅延回路４２に加え
られる。図２（ｂ）に示すように、遅延回路４２からは
最初のパルスの立ち上がりをトリガとして出力が立ち上
がり、時間遅れｔd （ｓ）（ｔ＜ｔd ）で立ち下がる
（Ｈ：動画モード信号、Ｌ：間欠画モード信号）ので、
ｔd 以内にパルスが入力されると出力は連続した「Ｈ」
レベル波形となる。
らより詳細に動作を説明する。ＴＥＭ操作部１の各操作
ノブ１１〜１３のいずれかを操作することによりパルス
発生器２１〜２３からは、図２（ａ）に示すように、例
えばパルス間隔ｔ（ｓ）のパルスが発生し（図のＨ：駆
動信号）、論理和回路４１を通して遅延回路４２に加え
られる。図２（ｂ）に示すように、遅延回路４２からは
最初のパルスの立ち上がりをトリガとして出力が立ち上
がり、時間遅れｔd （ｓ）（ｔ＜ｔd ）で立ち下がる
（Ｈ：動画モード信号、Ｌ：間欠画モード信号）ので、
ｔd 以内にパルスが入力されると出力は連続した「Ｈ」
レベル波形となる。
【００１３】テレビカメラコントロールユニット５の制
御は、動画／間欠画切り換え入力ポートへの信号レベル
が「Ｈ」のときに動画モード、「Ｌ」のときに間欠画モ
ードになるようにプログラムされているので、変化検出
回路４の出力に対応してテレビカメラ６の撮影モードが
切り換わる。つまり、操作者が各操作ノブ１１〜１３の
いずれかを操作すると同時に、テレビカメラは動画モー
ドに切り換わり、その操作を停止してからｔd （ｓ）後
に自動的に間欠画モードに切り換わる。ｔd （ｓ）の実
際の時間を１〜２秒程度に設定しておけば、この自動切
り換えは操作上何の不都合も感じられない。
御は、動画／間欠画切り換え入力ポートへの信号レベル
が「Ｈ」のときに動画モード、「Ｌ」のときに間欠画モ
ードになるようにプログラムされているので、変化検出
回路４の出力に対応してテレビカメラ６の撮影モードが
切り換わる。つまり、操作者が各操作ノブ１１〜１３の
いずれかを操作すると同時に、テレビカメラは動画モー
ドに切り換わり、その操作を停止してからｔd （ｓ）後
に自動的に間欠画モードに切り換わる。ｔd （ｓ）の実
際の時間を１〜２秒程度に設定しておけば、この自動切
り換えは操作上何の不都合も感じられない。
【００１４】本発明は上記例に限定されるものではな
く、いろいろな変形が可能である。例えば、図１の構成
では操作ノブからの信号を検出する形で説明したが、Ｔ
ＥＭ本体の制御を行っているＣＰＵ２４から変化信号を
受け取る方式としてもよい。また、テレビカメラ側で撮
影した画像に変化があれば、自動的に動画モードに切り
換わり、また、その画像に変化がなくなった時点で間欠
画に移行する方式としてもよい。また、動画／間欠画の
２種類のモードに分けて考えるのではなく、撮影取り込
み時間（シャッタ時間）を可変にする方式としてもよ
い。
く、いろいろな変形が可能である。例えば、図１の構成
では操作ノブからの信号を検出する形で説明したが、Ｔ
ＥＭ本体の制御を行っているＣＰＵ２４から変化信号を
受け取る方式としてもよい。また、テレビカメラ側で撮
影した画像に変化があれば、自動的に動画モードに切り
換わり、また、その画像に変化がなくなった時点で間欠
画に移行する方式としてもよい。また、動画／間欠画の
２種類のモードに分けて考えるのではなく、撮影取り込
み時間（シャッタ時間）を可変にする方式としてもよ
い。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、テレビカ
メラ側に外部入力による動画／間欠画切り換え端子を設
け、電子顕微鏡像に変化の出る操作がなされたこと、或
いは電子顕微鏡像自体に変化があったことが検出される
と、その検出信号が動画／間欠画切り換え信号として加
えられるので、動画／間欠画の自動切り換えが可能にな
る。また、操作者がその都度必要に応じて動画／間欠画
の切り換えスイッチを操作しなくてよいので、テレビ操
作フリーのシステムが可能となり、操作性を向上させる
ことができる。
メラ側に外部入力による動画／間欠画切り換え端子を設
け、電子顕微鏡像に変化の出る操作がなされたこと、或
いは電子顕微鏡像自体に変化があったことが検出される
と、その検出信号が動画／間欠画切り換え信号として加
えられるので、動画／間欠画の自動切り換えが可能にな
る。また、操作者がその都度必要に応じて動画／間欠画
の切り換えスイッチを操作しなくてよいので、テレビ操
作フリーのシステムが可能となり、操作性を向上させる
ことができる。
【図１】 本発明の電子顕微鏡操作連動型テレビカメラ
の実施の形態の例を示すブロック図である。
の実施の形態の例を示すブロック図である。
【図２】 タイムチャートを示す図である。
１…ＴＥＭ操作部、２…ＴＥＭ制御部、３…試料駆動機
構、４…変化検出回路、５…テレビカメラコントロール
ユニット、６…テレビカメラ、７…画像観察領域。
構、４…変化検出回路、５…テレビカメラコントロール
ユニット、６…テレビカメラ、７…画像観察領域。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 家永勝治 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 撮影画像取込み時間が可変な電子顕微鏡
用テレビカメラにおいて、観察する画像を変化させる信
号または観察する画像自体の変化信号を検出し、検出信
号に応じて撮影画像取込み時間を変化させて撮影するよ
うにしたことを特徴とする電子顕微鏡操作連動型テレビ
カメラ。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置において、動画モー
ドと間欠画モードで撮影画像取込み時間が切り換えら
れ、さらに間欠画モードにおいて複数種類の撮影画像取
込み時間が選択可能であることを特徴とする電子顕微鏡
操作連動型テレビカメラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9208981A JPH1154079A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | 電子顕微鏡操作連動型テレビカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9208981A JPH1154079A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | 電子顕微鏡操作連動型テレビカメラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1154079A true JPH1154079A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16565367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9208981A Withdrawn JPH1154079A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | 電子顕微鏡操作連動型テレビカメラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1154079A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001227932A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-08-24 | Minoru Ito | マスク検査装置 |
| JP2002505437A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-19 | ウェイク フォレスト ユニバーシティ | 断層合成コンピュータトモグラフィを使用する３次元画像生成の方法と装置 |
| US6452237B1 (en) | 1998-08-07 | 2002-09-17 | Monolith Company, Ltd. | Artificial neuron on the base of β-driven threshold element |
| JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
-
1997
- 1997-08-04 JP JP9208981A patent/JPH1154079A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002505437A (ja) * | 1998-03-05 | 2002-02-19 | ウェイク フォレスト ユニバーシティ | 断層合成コンピュータトモグラフィを使用する３次元画像生成の方法と装置 |
| US6452237B1 (en) | 1998-08-07 | 2002-09-17 | Monolith Company, Ltd. | Artificial neuron on the base of β-driven threshold element |
| JP2001227932A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-08-24 | Minoru Ito | マスク検査装置 |
| JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |