JPH1154818A - 気体レーザ発振装置 - Google Patents
気体レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH1154818A JPH1154818A JP9210672A JP21067297A JPH1154818A JP H1154818 A JPH1154818 A JP H1154818A JP 9210672 A JP9210672 A JP 9210672A JP 21067297 A JP21067297 A JP 21067297A JP H1154818 A JPH1154818 A JP H1154818A
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- JP
- Japan
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- medium
- optical amplification
- gas laser
- laser
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 気体レーザ発振装置の光増幅用ミラーの支持
体内部に冷却用媒体の通路を螺旋状に設けて、装置に熱
が生じても光増幅用ミラーの平行度を維持し安定したレ
ーザビームを得る。 【解決手段】 媒体通路10を冷却用媒体が支持体６内部
を回転しながら螺旋状に流れるため、冷却用媒体の熱対
流によって支持体６の上部，下部で発生した温度差もな
く、かつ冷却用媒体により支持体６は均一に冷却され
る。支持体６の各部分の温度差により引き起こされてい
た熱膨張の違いからの熱的変形による支持体６の歪みも
なくなり、支持体６に接続されたフランジ５によって保
持された光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持するこ
とができる。気体レーザ発振装置に発生する熱により影
響されることなく、安定したレーザビーム４を発生させ
ることができる。
体内部に冷却用媒体の通路を螺旋状に設けて、装置に熱
が生じても光増幅用ミラーの平行度を維持し安定したレ
ーザビームを得る。 【解決手段】 媒体通路10を冷却用媒体が支持体６内部
を回転しながら螺旋状に流れるため、冷却用媒体の熱対
流によって支持体６の上部，下部で発生した温度差もな
く、かつ冷却用媒体により支持体６は均一に冷却され
る。支持体６の各部分の温度差により引き起こされてい
た熱膨張の違いからの熱的変形による支持体６の歪みも
なくなり、支持体６に接続されたフランジ５によって保
持された光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持するこ
とができる。気体レーザ発振装置に発生する熱により影
響されることなく、安定したレーザビーム４を発生させ
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高電圧電源で励起
させたレーザ媒質の両端を挟みレーザビームを発する光
増幅用ミラーと、それを保持するフランジが接続されて
媒体により冷却される支持体とを備えた気体レーザ発振
装置に関するものである。
させたレーザ媒質の両端を挟みレーザビームを発する光
増幅用ミラーと、それを保持するフランジが接続されて
媒体により冷却される支持体とを備えた気体レーザ発振
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の気体レーザ発振装置は特開昭56−
90588号公報に記載されたように、図２(a)に示すような
構成になっていた。すなわち、レーザ発振用のレーザ媒
質１を励起用の高電圧電源２で励起し、部分透過型光増
幅用ミラー３a，光増幅用ミラー３bによってレーザ発振
させてレーザビーム４を発生させていた。
90588号公報に記載されたように、図２(a)に示すような
構成になっていた。すなわち、レーザ発振用のレーザ媒
質１を励起用の高電圧電源２で励起し、部分透過型光増
幅用ミラー３a，光増幅用ミラー３bによってレーザ発振
させてレーザビーム４を発生させていた。
【０００３】この２つの光増幅用ミラー３a，３bはフラ
ンジ５によってレーザ媒質１の両端に保持され、そのフ
ランジ５間を支持体６により接続することでレーザ発振
に必要な光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持してい
る。また、支持体６はオイルなどの冷却用媒体が媒体通
路７を通ることによって温度が一定となるように冷却さ
れていた。支持体６の内部での冷却用媒体の媒体通路７
は冷却用媒体の入口から出口に向かって直線となってい
た。
ンジ５によってレーザ媒質１の両端に保持され、そのフ
ランジ５間を支持体６により接続することでレーザ発振
に必要な光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持してい
る。また、支持体６はオイルなどの冷却用媒体が媒体通
路７を通ることによって温度が一定となるように冷却さ
れていた。支持体６の内部での冷却用媒体の媒体通路７
は冷却用媒体の入口から出口に向かって直線となってい
た。
【０００４】このように構成された従来の気体レーザ発
振装置は図２(b)に示すように、レーザ媒質１に励起用
の高電圧電源２によって加えられた電気エネルギーのう
ちで、レーザビーム４に変換されたものを除いたすべて
のエネルギーが熱８となっていた。レーザ媒質１が発生
源となって熱８がレーザ媒質１の周辺に存在するフラン
ジ５や支持体６などのような気体レーザ発振装置を構成
する箇所に伝導，放射していた。
振装置は図２(b)に示すように、レーザ媒質１に励起用
の高電圧電源２によって加えられた電気エネルギーのう
ちで、レーザビーム４に変換されたものを除いたすべて
のエネルギーが熱８となっていた。レーザ媒質１が発生
源となって熱８がレーザ媒質１の周辺に存在するフラン
ジ５や支持体６などのような気体レーザ発振装置を構成
する箇所に伝導，放射していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような構成の気体
レーザ発振装置は、発生した熱のうち一部が支持体にも
伝わり、支持体の温度分布の均一性が失われることによ
って、高温部と低温部とで熱膨張に差が生じ、支持体に
熱的な歪みが発生していた。
レーザ発振装置は、発生した熱のうち一部が支持体にも
伝わり、支持体の温度分布の均一性が失われることによ
って、高温部と低温部とで熱膨張に差が生じ、支持体に
熱的な歪みが発生していた。
【０００６】また、温度分布の不均一性による熱膨張の
違いから、支持体が熱的な変形を起こすことにより、レ
ーザ発振に必要な光増幅用ミラー間の平行度を維持する
ことが不可能となり、安定したレーザビームを得ること
ができないといった欠点が存在した。
違いから、支持体が熱的な変形を起こすことにより、レ
ーザ発振に必要な光増幅用ミラー間の平行度を維持する
ことが不可能となり、安定したレーザビームを得ること
ができないといった欠点が存在した。
【０００７】さらに、従来の技術では、支持体の温度分
布の不均一性を解消するために支持体の内部に冷却用媒
体を入口から出口に向かって直線的に流していたが、冷
却用媒体の通過部分において、冷却用媒体に熱対流が発
生して冷却用媒体自身の温度分布に不均一が発生してい
たため、支持体も同様に温度分布が不均一となってい
た。このため、冷却用媒体の熱対流により、支持体の上
部が高温となり下部が低温となるため温度差が生じ、温
度分布の均一性を保つことができないという問題があっ
た。
布の不均一性を解消するために支持体の内部に冷却用媒
体を入口から出口に向かって直線的に流していたが、冷
却用媒体の通過部分において、冷却用媒体に熱対流が発
生して冷却用媒体自身の温度分布に不均一が発生してい
たため、支持体も同様に温度分布が不均一となってい
た。このため、冷却用媒体の熱対流により、支持体の上
部が高温となり下部が低温となるため温度差が生じ、温
度分布の均一性を保つことができないという問題があっ
た。
【０００８】本発明は、前記従来技術の問題を解決する
ことに指向するものであり、気体レーザ発振装置の光増
幅用ミラーの支持体内部に冷却用媒体の通路を螺旋状に
設けて、装置に熱が生じても光増幅用ミラーの平行度を
維持し安定したレーザビームを得ることができる気体レ
ーザ発振装置を提供することを目的とする。
ことに指向するものであり、気体レーザ発振装置の光増
幅用ミラーの支持体内部に冷却用媒体の通路を螺旋状に
設けて、装置に熱が生じても光増幅用ミラーの平行度を
維持し安定したレーザビームを得ることができる気体レ
ーザ発振装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係る気体レーザ発振装置は、レーザ媒質を
励起させる高電圧電源と、レーザ媒質の両端に設置して
レーザ発振させレーザビームを発する光増幅用ミラー
と、光増幅用ミラーを保持するフランジと、フランジ間
を接続して光増幅用ミラーの平行度を維持するため媒体
によって冷却される支持体と、支持体内部に螺旋状に設
けられ冷却用媒体の流れる媒体通路とを備えたことを特
徴とする。
に、本発明に係る気体レーザ発振装置は、レーザ媒質を
励起させる高電圧電源と、レーザ媒質の両端に設置して
レーザ発振させレーザビームを発する光増幅用ミラー
と、光増幅用ミラーを保持するフランジと、フランジ間
を接続して光増幅用ミラーの平行度を維持するため媒体
によって冷却される支持体と、支持体内部に螺旋状に設
けられ冷却用媒体の流れる媒体通路とを備えたことを特
徴とする。
【００１０】また、前記媒体通路が、複数形成された構
造で少なくとも二重構造とするように構成したものであ
る。
造で少なくとも二重構造とするように構成したものであ
る。
【００１１】前記構成によれば、光増幅用ミラーを保持
するフランジ間を接続する支持体を冷却するため、オイ
ルなどの冷却用媒体を支持体の内部を螺旋状に流すこと
により、冷却用媒体の熱対流によって支持体の上部と下
部で発生した温度差も、冷却用媒体が支持体内部を回転
しながら上部と下部を螺旋状に流れるため、冷却用媒体
の熱対流は起こらない。そして、支持体は冷却用媒体に
より均一に冷却されるので上部，下部ともに同一温度と
なり温度差は発生しない。これにより、温度差により引
き起こされていた熱膨張の違いによる熱的変形による支
持体の歪みもなくなり、光増幅用ミラーの平行度を維持
することができる。
するフランジ間を接続する支持体を冷却するため、オイ
ルなどの冷却用媒体を支持体の内部を螺旋状に流すこと
により、冷却用媒体の熱対流によって支持体の上部と下
部で発生した温度差も、冷却用媒体が支持体内部を回転
しながら上部と下部を螺旋状に流れるため、冷却用媒体
の熱対流は起こらない。そして、支持体は冷却用媒体に
より均一に冷却されるので上部，下部ともに同一温度と
なり温度差は発生しない。これにより、温度差により引
き起こされていた熱膨張の違いによる熱的変形による支
持体の歪みもなくなり、光増幅用ミラーの平行度を維持
することができる。
【００１２】また、媒体通路を複数形成された形状とし
て設けることにより、冷却効果をより高めることができ
る。
て設けることにより、冷却効果をより高めることができ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明にお
ける一実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一
実施の形態における気体レーザ発振装置の構成を示す概
略図である。ここで、前記従来例を示す図２(a)におい
て説明した構成部材に対応し実質的に同等の機能を有す
るものには同一の符号を付してこれを示す。図１におい
て、１はレーザ媒質、２は高電圧電源、３aは部分透過
型光増幅用ミラー、３bは光増幅用ミラー、４はレーザ
ビーム、５はフランジ、６は支持体、10は支持体６内部
に螺旋状に形成され冷却用媒体の流れる媒体通路であ
る。
ける一実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一
実施の形態における気体レーザ発振装置の構成を示す概
略図である。ここで、前記従来例を示す図２(a)におい
て説明した構成部材に対応し実質的に同等の機能を有す
るものには同一の符号を付してこれを示す。図１におい
て、１はレーザ媒質、２は高電圧電源、３aは部分透過
型光増幅用ミラー、３bは光増幅用ミラー、４はレーザ
ビーム、５はフランジ、６は支持体、10は支持体６内部
に螺旋状に形成され冷却用媒体の流れる媒体通路であ
る。
【００１４】以下、本発明の実施の形態１について図１
を参照しながら説明する。図１に示すように、光増幅用
ミラー３a，３bを保持するフランジ５間を接続する支持
体６に、冷却用媒体の媒体通路10を螺旋状に設けた気体
レーザ発振装置である。
を参照しながら説明する。図１に示すように、光増幅用
ミラー３a，３bを保持するフランジ５間を接続する支持
体６に、冷却用媒体の媒体通路10を螺旋状に設けた気体
レーザ発振装置である。
【００１５】また、前記従来例において説明したよう
に、レーザビーム４を発生させる動作は同様であるた
め、その動作について従来例との違いを述べ、重複する
説明は省略する。図１に示すように媒体通路10を構成す
ることによって、冷却用媒体が支持体６内部を回転しな
がら螺旋状に流れるため、冷却用媒体の熱対流によって
支持体６の上部，下部で発生した温度差もなく、かつ冷
却用媒体により支持体６は均一に冷却される。これによ
り、支持体６の各部分の温度差により引き起こされてい
た熱膨張の違いからの熱的変形による支持体６の歪みも
なくなり、支持体６に接続されたフランジ５によって保
持された光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持するこ
とができる。
に、レーザビーム４を発生させる動作は同様であるた
め、その動作について従来例との違いを述べ、重複する
説明は省略する。図１に示すように媒体通路10を構成す
ることによって、冷却用媒体が支持体６内部を回転しな
がら螺旋状に流れるため、冷却用媒体の熱対流によって
支持体６の上部，下部で発生した温度差もなく、かつ冷
却用媒体により支持体６は均一に冷却される。これによ
り、支持体６の各部分の温度差により引き起こされてい
た熱膨張の違いからの熱的変形による支持体６の歪みも
なくなり、支持体６に接続されたフランジ５によって保
持された光増幅用ミラー３a，３bの平行度を維持するこ
とができる。
【００１６】以上のことから、本実施の形態１の構成に
よれば、気体レーザ発振装置より発生する熱によって影
響されることなく、安定したレーザビーム４を発生させ
ることができる。
よれば、気体レーザ発振装置より発生する熱によって影
響されることなく、安定したレーザビーム４を発生させ
ることができる。
【００１７】次に、図１を参照しながら、本発明の実施
の形態２における媒体通路10を２重構造とした、さらに
は複数の媒体通路10を設けた支持体６を備えた気体レー
ザ発振装置について説明する。本実施の形態２は実施の
形態１で説明した気体レーザ発振装置の支持体６に設け
られた媒体通路10を少なくとも二重構造として、その冷
却効果を高めたものである。例えば、支持体６内部に第
１媒体通路10を設け、支持体６の表面部近傍に第２媒体
通路(図示せず)を設けてもよい。また、支持体６を何分
割かに分け、分割部分毎にその支持体６内部に媒体通路
10を複数設けてもよい。
の形態２における媒体通路10を２重構造とした、さらに
は複数の媒体通路10を設けた支持体６を備えた気体レー
ザ発振装置について説明する。本実施の形態２は実施の
形態１で説明した気体レーザ発振装置の支持体６に設け
られた媒体通路10を少なくとも二重構造として、その冷
却効果を高めたものである。例えば、支持体６内部に第
１媒体通路10を設け、支持体６の表面部近傍に第２媒体
通路(図示せず)を設けてもよい。また、支持体６を何分
割かに分け、分割部分毎にその支持体６内部に媒体通路
10を複数設けてもよい。
【００１８】なお、本実施の形態１，２の説明におい
て、支持体６の内部に媒体通路10を設けたが、支持体６
の機械的強度を十分考慮したうえで形成されることはい
うまでもない。
て、支持体６の内部に媒体通路10を設けたが、支持体６
の機械的強度を十分考慮したうえで形成されることはい
うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザ媒質を高電圧電源で励起させ、レーザ媒質の両端
に設置された光増幅用ミラーによりレーザ発振させレー
ザビームを発する気体レーザ発振装置において、光増幅
用ミラーを保持するフランジと、そのフランジ間を接続
し光増幅用ミラーの平行度を維持するため媒体によって
冷却する螺旋状の媒体通路を設けた支持体を備えること
によって、支持体の温度が均一となり熱的歪みがなくな
り、光増幅用ミラーのレーザ発振に必要な平行度を維持
することが可能となり、安定したレーザビームを得るこ
とができるという効果を奏する。
レーザ媒質を高電圧電源で励起させ、レーザ媒質の両端
に設置された光増幅用ミラーによりレーザ発振させレー
ザビームを発する気体レーザ発振装置において、光増幅
用ミラーを保持するフランジと、そのフランジ間を接続
し光増幅用ミラーの平行度を維持するため媒体によって
冷却する螺旋状の媒体通路を設けた支持体を備えること
によって、支持体の温度が均一となり熱的歪みがなくな
り、光増幅用ミラーのレーザ発振に必要な平行度を維持
することが可能となり、安定したレーザビームを得るこ
とができるという効果を奏する。
【図１】本発明の実施の形態１における気体レーザ発振
装置の構成を示す概略図である。
装置の構成を示す概略図である。
【図２】(a)は従来の気体レーザ発振装置の構成を示す
概略図、(b)は気体レーザ装置の熱の伝導，放射を示す
図である。
概略図、(b)は気体レーザ装置の熱の伝導，放射を示す
図である。
１…レーザ媒質、 ２…高電圧電源、 ３a…部分透過
型光増幅用ミラー、 ３b…光増幅用ミラー、 ４…レ
ーザビーム、 ５…フランジ、 ６…支持体、 ７，10
…媒体通路、 ８…熱。
型光増幅用ミラー、 ３b…光増幅用ミラー、 ４…レ
ーザビーム、 ５…フランジ、 ６…支持体、 ７，10
…媒体通路、 ８…熱。
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ媒質を励起させる高電圧電源と、
前記レーザ媒質の両端に設置してレーザ発振させレーザ
ビームを発する光増幅用ミラーと、該光増幅用ミラーを
保持するフランジと、該フランジ間を接続して前記光増
幅用ミラーの平行度を維持するため媒体によって冷却さ
れる支持体と、前記支持体内部に螺旋状に設けられ冷却
用媒体が流れる媒体通路とを備えたことを特徴とする気
体レーザ発振装置。 - 【請求項２】 前記媒体通路が、複数形成された構造で
少なくとも２重構造としたことを特徴とする請求項１記
載の気体レーザ発振装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9210672A JPH1154818A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 気体レーザ発振装置 |
| US09/120,886 US6249535B1 (en) | 1997-07-30 | 1998-07-23 | Gas laser oscillator |
| BE9800577A BE1013002A5 (fr) | 1997-07-30 | 1998-07-30 | Oscillateur de laser a gaz. |
| BE9900508A BE1012408A3 (fr) | 1997-07-30 | 1999-07-26 | Oscillateur de laser a gaz. |
| BE9900513A BE1012409A3 (fr) | 1997-07-30 | 1999-07-27 | Oscillateur de laser a gaz. |
| US09/843,950 US6434181B2 (en) | 1997-07-30 | 2001-04-30 | Gas laser oscillator |
| US09/843,747 US6331995B2 (en) | 1997-07-30 | 2001-04-30 | Gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9210672A JPH1154818A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | 気体レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1154818A true JPH1154818A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16593207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9210672A Pending JPH1154818A (ja) | 1997-07-30 | 1997-08-05 | 気体レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1154818A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
-
1997
- 1997-08-05 JP JP9210672A patent/JPH1154818A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
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