JPH1158193A - 平面研削方法及び平面研削装置 - Google Patents

平面研削方法及び平面研削装置

Info

Publication number
JPH1158193A
JPH1158193A JP21859497A JP21859497A JPH1158193A JP H1158193 A JPH1158193 A JP H1158193A JP 21859497 A JP21859497 A JP 21859497A JP 21859497 A JP21859497 A JP 21859497A JP H1158193 A JPH1158193 A JP H1158193A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
shaft
grinding
grinding wheel
surface grinding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21859497A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3583264B2 (ja
Inventor
Kazuo Kawa
一夫 河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seibu Jido Kiki Co Ltd
Original Assignee
Seibu Jido Kiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seibu Jido Kiki Co Ltd filed Critical Seibu Jido Kiki Co Ltd
Priority to JP21859497A priority Critical patent/JP3583264B2/ja
Publication of JPH1158193A publication Critical patent/JPH1158193A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3583264B2 publication Critical patent/JP3583264B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 砥石28の端面で研削を行う平面研削装置に
おいて、部分的で狭小の部位に対しても、高精度の研削
ができるようにする。 【解決手段】 公転駆動装置により、ベルト伝動手段3
4を介して回転可能にされた筒軸23の先端部に対し、
偏心軸受37を設ける。この偏心軸受37には、砥石軸
25を回転自在に設けておき、この砥石軸25の先に砥
石28を設ける。砥石軸25は、等速自在継手45を有
する連結軸26により、自転駆動装置27と連結し回転
可能にする。これにより、砥石28は、自転と公転とを
同時に行いつつ、研削を行う。自転速度は低速にし、公
転速度は高速にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面研削方法及び
平面研削装置に関わり、より詳しくは、例えばバルブシ
ートの弁座表面を研削する技術に関する。なお、本明細
書における「平面研削」とは、砥石を用いた加工であっ
て、荒仕上げレベルの研削から、超仕上げ等のいわゆる
研磨レベルまでの広い範囲を包含するものとする。
【0002】
【従来の技術】従来、この種、平面研削装置として、例
えば特開昭60−191750号公報に記載のものが公
知である。この平面研削装置は、砥石を自転・公転させ
ながら、ワークを加工するものである。なお、参考とし
て、株式会社養賢堂の昭和52年2月20日発行に係る
「最新機械製作」第275〜277頁には、内面研削に
用いる装置の一例として、遊星運動機構を有したものが
記載されている。この内面研削盤も、砥石を自転・公転
させるものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】バルブシートをワーク
とする場合、その弁座面を従来の平面研削装置によって
加工することは困難であった。すなわち、バルブシート
は異形物であるため、上記弁座面の中心を回転中心とし
てバルブシートを回転させることは、偏心荷重の発生や
チャックの困難性等がネックとなり、不適である。そこ
で、バルブシートを静止状態にして弁座表面を研削する
ことになる。
【0004】しかし、上記平面研削装置は、砥石の公転
半径を比較的大きくとっており、自転を高速、公転を低
速にして加工するものであるのに対し、上記バルブシー
トの弁座面は部分的で、且つ凹部内で狭小であるためで
ある。また、上記バルブシートにおいて、弁座面には高
いシール性を持たせる必要があるため、同心円状の加工
模様を付けるのが最適とされるが、上記平面研削装置に
よる加工では、どうしても顕著な網目状をした加工模様
が生じてしまい、シール性能の向上が図れないというこ
とがあった。
【0005】一方、従来の内面研削装置では、砥石をそ
の軸方向へ送りながら砥石の外周側面で加工するもので
あるため、バルブシートの弁座面表面を加工することが
できないことは言うまでもない。本発明は、上記事情に
鑑みてなされたものであって、バルブシート等の異形物
をワークとする場合も研削が容易且つ良好に行えるよう
にした平面研削方法及び平面研削装置を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するために、次の技術的手段を講じた。即ち、本発
明に係る平面研削方法では、砥石を自転させ且つ公転さ
せて、この砥石端面で静止状態のワーク表面の所定箇所
を研削するに際し、前記ワークに対する、前記公転回転
数を自転回転数よりも高くしている。このような方法で
あると、加工の主たる作用を砥石の公転により生じさせ
ることができ、その公転半径を比較的小さくして、バル
ブシートの弁座面のように部分的で、且つ狭小の部位の
加工に適したものにできることになる。
【0007】静止状態のワークからみて砥石の自転回転
数が略零になるよう、自転回転数を設定すれば、同心円
状の加工模様を得ることができる。従って、バルブシー
トの弁座面においてシール性能を向上させるような場合
に、好適となる。砥石の加工送りを流体圧により行い、
その送り停止を前記流体圧に抗するストッパーで行うと
共に、このストッパーの位置を自動制御する方法を採用
すれば、砥石の加工送りを正確且つ確実にできる。従っ
て、超仕上げ等の高精度の加工にも適したものとなる。
【0008】一方、本発明に係る平面研削装置では、砥
石を装備可能なヘッドを有する平面研削装置において、
前記ヘッドには、内径偏心部を有する筒軸が回転自在に
支持されると共に、この筒軸を回転駆動する公転駆動装
置が設けられ、前記偏心部に砥石軸が回転自在に支持さ
れると共に、前記ヘッドには、この砥石軸を回転駆動す
る自転駆動装置が設けられ、この自転駆動装置と砥石軸
とは自在継手を介して結合されている。
【0009】このように自転駆動装置と砥石軸とを自在
継手によって結合する構造であれば、公転駆動装置だけ
でなく、自転駆動装置をも固定状態にすることができ
る。従って、砥石の公転を高速化することの実現が可能
になるものであり、構造の簡潔化、及び故障の防止等が
図れるものである。前記砥石軸をワークに対して接近さ
せる砥石送り装置が設けられ、この砥石送り装置は、流
体圧により砥石をワークに接触させるものである。この
砥石送り装置には、流体圧に抗して前記砥石軸の移動を
阻止するストッパー制御装置が設けられており、このス
トッパー制御装置は、ストッパーの位置が自動制御可能
になっている。
【0010】この構成により、砥石の加工送りを正確且
つ確実にでき、超仕上げ等の高精度の加工にも適したも
のとなる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図6は、研削工程の一例を模式的
に示した平面図であって、ローディング(ワークセッ
ト)ステーション1、荒仕上げステーション2、仕上げ
ステーション3、ポスト(検査)ステーション4、アン
ローディング(ワーク取出)ステーション5が円形に配
置されており、これらの中央部で円形状をした旋回テー
ブル6が間欠回動するようになっている。そして、例え
ばこのうち荒仕上げステーション2や仕上げステーショ
ン3等において、本発明に係る平面研削装置8が設置さ
れている。
【0012】なお、本実施形態では、図7(a)に示す
ような平板状をしたバルブシートをワークWとし、この
ワークWにおいて弁ポート10等の開口縁部に設けられ
た円環状弁座面11の表面を研削したり、図7(b)に
示すような異形パイプの端面11の表面を、同心状の研
磨目が形成されるよう研削する。図2は本発明に係る平
面研削装置8の全体側面図であり、この平面研削装置8
は、ベッド12及びコラム13を有した装置本体14
と、この装置本体14のコラム13に対してメイン昇降
装置16により大ストロークで昇降可能に設けられたサ
ドル17と、このサドル17に対してサブ昇降装置18
により小ストロークで昇降可能に設けられたヘッド19
とを有している。
【0013】この平面研削装置8に対し、上記した旋回
テーブル6は、ベッド12の上部を水平に通過可能にな
っている。まず、ヘッド19について説明する。ヘッド
19は、ヘッド基枠22に対して軸心を縦方向に向けて
回転自在に保持された筒軸23と、この筒軸23を回転
駆動する公転駆動装置24と、筒軸23の筒孔内部で回
転自在に保持された砥石軸25と、この砥石軸25を、
中間連結軸26を介して回転駆動する自転駆動装置27
とを有している。そして、上記砥石軸25の先に砥石2
8が設けられる。
【0014】図1に示すように、ヘッド基枠22には軸
受ケース29を内装した箱型ブラケット30が設けら
れ、上記筒軸23は、この軸受ケース29の内部に設け
られた上下の軸受具31,32により回転中心Pまわり
で回転自在に保持されている。すなわち、この回転中心
Pが公転軸となる。そして、この筒軸23の上部にタイ
ミングプーリ等の駆動入力ホイール33が設けられ、こ
の駆動入力ホイール33へ掛け渡されるタイミングベル
ト等の伝動部材34を介して公転駆動装置24(図2参
照)からの回転駆動が筒軸23へ伝えられるようになっ
ている。
【0015】筒軸23において、砥石軸25を保持する
部分の筒孔内の内径は、筒軸23の回転軸心Pに対して
偏心した偏心部36とされており、この偏心部36に、
更に偏心軸受37が装入されている。上記砥石軸25
は、この偏心軸受37の内部に設けられた上下の軸受具
38,39により回転中心Qまわりで回転自在に保持さ
れている。すなわち、この回転中心Qが自転軸となる。
【0016】従って、上記筒軸23を回転させたとき、
砥石軸25はその自転用回転中心Qが公転用回転中心P
まわりで円周移動することになる。なお、図3に示すよ
うに偏心軸受37の下端面には、軸受ケース29に対す
る固定用ボルト40の挿通部分に円弧状長孔41が設け
られており、軸受ケース29の下端面には、偏心軸受3
7を取り囲むようにして角度表示目盛42が設けられて
いる。
【0017】そのため、ボルト40を緩めることによ
り、長孔41の範囲で偏心軸受37を回動させることが
でき、これによって公転用回転中心Pと自転用回転中心
Qとの偏心量を調節することができる。また、一旦、ボ
ルト40を外してしまえば、偏心軸受37の回動量を長
孔41のピッチ幅に応じて大きくとることも可能である
ため、これによって長孔41の範囲を超えた偏心量調節
も可能になる。
【0018】なお、軸受ケース29(図1参照)の内部
に設けられた上下の軸受具31,32や、偏心軸受37
の内部に設けられた上下の軸受具38,39は、軸受ケ
ース29、筒軸23、偏心軸受37等の各周壁中を通っ
て設けられた通路43,44へ供給されるミスト状潤滑
剤により、潤滑及び冷却されるようになっている。公転
駆動装置24及び自転駆動装置27(図2参照)は、上
記ヘッド基枠22に対して固定されている。これらに
は、いずれも減速機を備えた可変速制御可能な電動モー
タ又は流体圧モータが用いられている。
【0019】このように公転駆動装置24だけでなく、
自転駆動装置27をもヘッド基枠22に固定しているた
め、砥石軸25と自転駆動装置27とを連結する中間連
結軸26は、少なくとも一端部に自在継手45(図1参
照)を有したものとしてある。本実施形態では、入力側
(即ち、自転駆動装置27側)を自在継手45とし、出
力側(即ち砥石軸25側)を弾性カップリング46とし
ている。この自在継手45には等速ボールジョイントを
用いた。なお、前記弾性カップリング46に代えて等速
ボールジョイント45を用いて、軸方向及び径方向の変
化を吸収するようにしてもよい。また、不等速自在継手
を中間連結軸26の両端部へ設け、最終出力は等速回転
となるように構成してもよい。
【0020】次に、メイン昇降装置16(図2参照)に
ついて説明する。メイン昇降装置16は、上記したよう
に装置本体14のコラム13に対してサドル17を大ス
トロークで昇降可能にしたものであるが、その構造は従
来公知の縦型工作機械等で普通に採用されている昇降装
置と同様で、例えば、流体圧シリンダやネジ送り機構等
を用いている。
【0021】次に、サブ昇降装置18について説明す
る。サブ昇降装置18は、砥石送り装置48とストッパ
ー制御装置49とを有している。図3及び図4に示すよ
うに、砥石送り装置48は、サドル17の上下の支持片
17a,17b間で縦方向に架設保持された一対のガイ
ドバー52と、これらガイドバー52に上下動自在に保
持された昇降台53と、サドル17の上部支持片17a
から両ガイドバー52の中間部で平行状に吊り下げられ
た吊り軸54と、昇降台53内において吊り軸54の下
端部まわりで構成されるシリンダ駆動部55と、このシ
リンダ駆動部55の上部に設けられたマイクロリフト駆
動部56とを有している。
【0022】そして、上記した昇降台53に対して、前
記の箱型ブラケット30及びヘッド基枠22(即ち、ヘ
ッド19全体)が固定関係にされている。シリンダ駆動
部55は、昇降台53に形成したシリンダ孔53aの長
さに対して、これより短いプランジャ58を吊り軸54
の下端部へボルト59によって連結し、シリンダ孔53
aの上下を閉塞する蓋60,61の各内側寄りへ向けて
連通する上下の流体通路62,63を介して、シリンダ
孔53a内へエア等の流体を選択的に加圧供給可能にな
ったものである。
【0023】すなわち、このシリンダ駆動部55は、プ
ランジャ58を固定側とし、シリンダ孔53a側、即
ち、昇降台53側が昇降する、いわゆる複動型シリンダ
となっている。このシリンダ駆動部55による昇降台5
3の下降駆動、即ち、流体圧による下向き加圧により、
砥石軸25の先の砥石28を、旋回テーブル6(図2参
照)上で保持されたワークWへ接触させるようにする。
【0024】マイクロリフト駆動部56は、吊り軸54
の中間部に固定された下向きテーパ部材65と、この下
向きテーパ部材65まわりを取り囲むようにして昇降台
53に固定された外筒体66と、下向きテーパ部材65
と外筒体66との周隙間へ挿入可能な楔片67を有した
コレット68と、このコレット68を下向きテーパ部材
65から離反方向へ付勢するバネ69と、コレット68
の移動範囲を規制する中底支持体70とを有し、且つ吊
り軸54の内部及び中底支持体70中に設けられた流体
通路71,72を通じて、コレット68の下面へエア等
の流体を加圧供給可能になったものである。
【0025】コレット68の楔片67は、吊り軸54ま
わりで筒状となる部材に対し、周方向複数箇所へ軸方向
のスリットを入れることで、スリット相互間へ形成させ
たものである。従って、径方向へ拡縮可能な弾性を有し
ている。すなわち、このマイクロリフト駆動部56は、
流体通路71,72へ流体を供給することで、コレット
68を上昇させ、楔片67を下向きテーパ部材65と外
筒体66との周隙間へ圧入させ、これにより昇降台53
と吊り軸54とを間接的不動状態にロックできるように
なっている。
【0026】従って例えば、上記シリンダ駆動部55に
おいて、シリンダ孔53aの長手方向中立位置へプラン
ジャ58を位置付けた状態にして、マイクロリフト駆動
部56を上記のロック状態にすれば、そのままメイン昇
降装置16を作動させても昇降台53を安定状態に保持
できるため、このような使い方が可能になる。一方、図
2に示すようにストッパー制御装置49は、昇降台53
側の適所に設けられた当たり片75と、この当たり片7
5が所定だけ下降したときにこれと接触干渉するように
設けられたストッパー76と、このストッパー76を昇
降可能にする位置制御部77とを有している。ストッパ
ー76及び位置制御部77は、サドル17に対して設け
てもよいが、スペース的な理由から、装置本体14側の
適所に設ける方が好適である。
【0027】位置制御部77は、減速機付きモータ等の
駆動部78によって送りねじ機構79を回転駆動させ、
もってストッパー76の保持台80を昇降させるもの
で、ストッパー76の停止位置を、微小ストロークから
メイン昇降装置16によるサドル17の昇降に合わせた
大ストロークにわたり、適宜且つ高精度で変更調節可能
になっている。
【0028】そして、駆動部78は、装置本体14に対
するサドル17の昇降量を考慮したうえで、1回の研削
で砥石28が磨耗する平均的な量等を予め記憶したデー
タ、又は1回の研削ごとに測定される砥石28の残量や
人為的入力等により、1回の研削ごとにストッパー76
を所定量ずつ下降させるべく、NC制御される。すなわ
ち、このストッパー制御装置49は、シリンダ駆動部5
5(図4参照)により昇降台53(砥石軸25及び砥石
28)が流体圧下降されるとき、昇降台53側の当たり
片75と装置本体14側のストッパー76とを当接さ
せ、上記流体圧に抗して昇降台53の下降を高精度位置
で阻止するものである。
【0029】即ち、このストッパー76は、砥石28の
下降位置を制御すると共に、砥石28の下降速度を制御
するものである。このストッパー制御装置49におい
て、1回の研削でストッパー76を下降させた下降デー
タ(昇降台53、ひいては砥石28の下端レベルの下降
データに相当)は、研削後のワークWが下流側のポスト
ステーション4(図6参照)で検査されたときの測定デ
ータと照合され、その合否や誤差等に対する修正制御値
として、荒仕上げステーション2や仕上げステーション
3へとフィードバックされるようになっている。
【0030】なお、図示は省略するが、砥石28の磨耗
量が使用限度に達したとき、これを検出するために、昇
降台53とサドル17との相互間には、昇降台53の下
降限度を検出するための近接スイッチや各種センサ類が
設けられている。このような構成を具備した平面研削装
置8(図2参照)を、図6に示すように荒仕上ステーシ
ョン2と仕上げステーション3に配置し、図7(a)に
示すワークWの円環状弁座11の表面を加工する具体例
を説明する。
【0031】円環状弁座11の外径は7mm、砥石外径
8mm、砥石内径5mm、公転軸Pと自転軸Qの偏心量
4mmとして、前記荒仕上ステーション2では、筒軸2
3(公転軸)の回転数を+500rpmとし、砥石軸2
5(自転軸)の回転数を−4000rpmとした。尚、
回転数の+−は、回転方向が正逆であることを意味す
る。
【0032】仕上げステーション3では、2段階仕上が
行われ、その第1段階は、筒軸23の回転数を+500
rpmとし、砥石軸25の回転数を+4000rpmと
した。最終仕上段階は、筒軸23の回転数を+2500
rpmとし、砥石軸25の回転数を+2500rpmと
した。この最終仕上段階において、ワークWに対する砥
石軸25の回転は零になり、円環状弁座11の表面に同
心円状の研磨目が形成される。
【0033】尚、荒ステーションと仕上ステーションと
に分けないで、1ステーションで荒と仕上加工を連続し
て行う場合は、荒においては、筒軸23の回転数を+5
00rpmとし、砥石軸25の回転数を+4000rp
mとし、仕上においては、筒軸23の回転数を+250
0rpmとし、砥石軸25の回転数を+2500rpm
とした。
【0034】ところで、同心円状の研磨目を得るだけな
ら、筒軸23の偏心位置に砥石を固定すればよい。しか
し、砥石を固定した場合、砥石とワークとの接触位置が
一定となり、砥石の偏磨耗が生じる。しかし、本発明の
ように、砥石軸を自転軸として回転可能とすることによ
り、その偏磨耗を防止することができる。尚、本発明は
上記実施形態に限定されるものではない。
【0035】例えば、サブ昇降装置18の砥石送り装置
48において、使用する流体圧をエアによるものとした
が、油圧や水圧に代えることも可能である。砥石軸25
に対して振動をも与えられる構造にすることで、超仕上
げ等のいわゆる研磨レベルの研削を行うことも可能にな
る。その他、各部の細部にわたる部材の形状・構造や駆
動方式等は、従来公知のものに適宜変更可能である。
【0036】ワークWは、バルブシート等に限定される
ものではなく、ノズルシール面をはじめ、その他、平面
部分の研削を目的とするものであれば何でもよい。もと
より、異形物であることや、平板状物であることが限定
されるものでもない。また、材質も特に限定されるもの
ではない。
【0037】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係る平面研削方法では、砥石を自転させ且つこの自転回
転数より高速で公転させて(ワークから見て)、静止状
態のワークを研削するので、部分的で且つ狭小の部位の
加工に適している。ワークからみて砥石が自転しない状
態とした場合、同心円状の加工模様を得ることができ、
バルブシートの弁座面においてシール性能を向上させる
ような場合に、好適となる。
【0038】砥石の加工送りをストッパーによる当たり
止め方式とし、このストッパーを自動制御して位置付け
るようにすれば、超仕上げ等の高精度の加工に適したも
のにできる。一方、本発明に係る平面研削装置では、公
転駆動装置によって回転駆動される筒軸の内径偏心部に
砥石軸が設けられ、この砥石軸が自在継手を介して自転
駆動装置によって回転駆動される構造であるので、自転
駆動装置を固定でき、砥石の公転速度を高速化可能にな
っている。
【0039】砥石を流体圧によりワークへ接触させる砥
石送り装置に対し、流体圧に抗して砥石の送りを阻止す
るストッパー制御装置が設けておけば、超仕上げ等の高
精度の加工に適したものにできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2の一部(ヘッド)を拡大して示す側断面図
である。
【図2】本発明に係る平面研削装置を概略的に示す全体
側面図である。
【図3】図4に対応する底面図である。
【図4】図2の一部(砥石送り装置)を拡大して示す側
断面図である。
【図5】ワークに対する研削状況を示す平面図である。
【図6】本発明の平面研削装置が実施される研削工程の
一例を模式的に示す平面配置図である。
【図7】ワークの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
2 荒仕上げステーション 3 仕上げステーション 6 旋回テーブル 8 平面研削装置 12 ベッド 13 コラム 14 装置本体 19 ヘッド 23 筒軸 24 公転駆動装置 25 砥石軸 27 自転駆動装置 28 砥石 36 偏心部 45 自在継手 48 砥石送り装置 49 ストッパー制御装置 76 ストッパー W ワーク

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 砥石(28)を自転させ且つ公転させ
    て、該砥石(28)端面で静止状態のワーク(W)表面
    の所定箇所を研削する平面研削方法であって、 前記ワーク(W)に対する、前記公転回転数を自転回転
    数よりも高くしたことを特徴とする平面研削方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の平面研削方法において、 静止状態のワーク(W)からみて砥石(28)の自転回
    転数が略零になるよう、自転回転数が設定されているこ
    とを特徴とする平面研削方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の平面研削方法において、 前記砥石(28)の加工送りを流体圧により行い、その
    送り停止を前記流体圧に抗するストッパー(76)で行
    うと共に、該ストッパー(76)の位置を自動制御する
    ことを特徴とする平面研削方法。
  4. 【請求項4】 砥石(28)を装備可能なヘッド(1
    9)を有する平面研削装置において、 前記ヘッド(19)には、内径偏心部(36)を有する
    筒軸(23)が回転自在に支持されると共に、該筒軸
    (23)を回転駆動する公転駆動装置(24)が設けら
    れ、 前記偏心部(36)に砥石軸(25)が回転自在に支持
    されると共に、前記ヘッド(19)には、該砥石軸(2
    5)を回転駆動する自転駆動装置(27)が設けられ、
    該自転駆動装置(27)と砥石軸(25)とは自在継手
    (45)を介して結合されていることを特徴とする平面
    研削装置。
  5. 【請求項5】 前記砥石軸(25)をワーク(W)に対
    して接近させる砥石送り装置(48)が設けられ、該砥
    石送り装置(48)は、流体圧により砥石(28)をワ
    ーク(W)に接触させるものであって、 前記流体圧に抗して前記砥石軸(25)の移動を阻止す
    るストッパー制御装置(49)が設けられており、該ス
    トッパー制御装置(49)は、ストッパー(76)の位
    置が自動制御可能になっていることを特徴とする請求項
    4記載の平面研削装置。
JP21859497A 1997-08-13 1997-08-13 平面研削方法及び平面研削装置 Expired - Fee Related JP3583264B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21859497A JP3583264B2 (ja) 1997-08-13 1997-08-13 平面研削方法及び平面研削装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21859497A JP3583264B2 (ja) 1997-08-13 1997-08-13 平面研削方法及び平面研削装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1158193A true JPH1158193A (ja) 1999-03-02
JP3583264B2 JP3583264B2 (ja) 2004-11-04

Family

ID=16722414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21859497A Expired - Fee Related JP3583264B2 (ja) 1997-08-13 1997-08-13 平面研削方法及び平面研削装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3583264B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007054897A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd 研磨装置
JP2011098436A (ja) * 2002-11-07 2011-05-19 Ebara Technologies Inc 化学機械研磨装置および化学機械研磨方法
CN106002600A (zh) * 2016-06-30 2016-10-12 宁波圣圭精工科技有限公司 一种用于超精机上的摇摆机构
CN111015437A (zh) * 2019-12-30 2020-04-17 长光卫星技术有限公司 一种数控抛光的自适应轮式机构
CN114193251A (zh) * 2021-12-21 2022-03-18 蔡芳 数控自动化导轨磨削机构

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011098436A (ja) * 2002-11-07 2011-05-19 Ebara Technologies Inc 化学機械研磨装置および化学機械研磨方法
JP2007054897A (ja) * 2005-08-22 2007-03-08 Sumitomo Metal Fine Technology Co Ltd 研磨装置
CN106002600A (zh) * 2016-06-30 2016-10-12 宁波圣圭精工科技有限公司 一种用于超精机上的摇摆机构
CN111015437A (zh) * 2019-12-30 2020-04-17 长光卫星技术有限公司 一种数控抛光的自适应轮式机构
CN114193251A (zh) * 2021-12-21 2022-03-18 蔡芳 数控自动化导轨磨削机构

Also Published As

Publication number Publication date
JP3583264B2 (ja) 2004-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6419443B2 (en) Glass product machining apparatus
CN104684682B (zh) 磨床
US8172644B2 (en) Grinding machine and grinding method
JP7137916B2 (ja) 内面研削装置
JP2006142446A (ja) 玉軸受の製造設備及び超仕上加工装置
KR100483738B1 (ko) 연삭기 및 연삭방법
US9873177B2 (en) Machining apparatus
KR101660956B1 (ko) 공작물 가공용 회전 테이블
CN113231954A (zh) 一种四点接触球轴承套圈的超精加工装置和加工方法
JP5125391B2 (ja) 旋回装置およびそれを備えた円筒研削盤
JP3583264B2 (ja) 平面研削方法及び平面研削装置
JP4110396B2 (ja) 軸受軌道面の超仕上げ方法及び超仕上げ装置
JP4825374B2 (ja) 研削盤
JP2602165B2 (ja) 研磨装置
US3710514A (en) Apparatus for superfinishing of rotary crankpins of crankshafts
CN215700763U (zh) 一种四点接触球轴承套圈的超精加工装置
JP4250594B2 (ja) 遊星ギヤ機構を用いた移動装置及び平面研磨機
JP3192963B2 (ja) 研磨装置
KR980008454A (ko) 반구면 연마장치
JP4072929B2 (ja) ラップ盤及びラップ加工方法
JP3944640B2 (ja) 片面研削方法および装置
JP2007083328A (ja) 平面研磨装置
JPS63162156A (ja) ロ−ラバニツシング方法およびその装置
JPS6055260B2 (ja) ロ−ル研磨方法及びその装置
KR102903294B1 (ko) 스러스트 베어링 슈퍼 피니싱 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040603

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040728

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090806

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100806

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110806

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110806

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120806

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120806

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120806

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120806

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees