JPH1158281A - 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット - Google Patents
半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボットInfo
- Publication number
- JPH1158281A JPH1158281A JP23025397A JP23025397A JPH1158281A JP H1158281 A JPH1158281 A JP H1158281A JP 23025397 A JP23025397 A JP 23025397A JP 23025397 A JP23025397 A JP 23025397A JP H1158281 A JPH1158281 A JP H1158281A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- cover
- vacuum
- independent control
- transfer chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体ウエハまたガラス基板を真空搬送チャン
バー内で搬送する場合、従来のロボットでは完全独立制
御が出来ずロードロックチャンバーからプロセスチャン
バーへの受け渡し、又はプロセスチャンバーからロード
チャックチャンバーへの収納の際に待機時間が発生し、
スループット向上の障害となっていた。 【解決策】２台のロボット同士の物理的干渉がなく最短
の時間で半導体ウエハまたはガラス基板の搬送が行え、
より待機時間が短縮され最大のスループットを得ること
が可能となる、独立制御ロボットを開発する。
バー内で搬送する場合、従来のロボットでは完全独立制
御が出来ずロードロックチャンバーからプロセスチャン
バーへの受け渡し、又はプロセスチャンバーからロード
チャックチャンバーへの収納の際に待機時間が発生し、
スループット向上の障害となっていた。 【解決策】２台のロボット同士の物理的干渉がなく最短
の時間で半導体ウエハまたはガラス基板の搬送が行え、
より待機時間が短縮され最大のスループットを得ること
が可能となる、独立制御ロボットを開発する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハまたはガ
ラス基板をロボットを使用して搬送する搬送用独立制御
ロボットに関するものであり、特にクラスタツール内の
ロボットに関するものである。
ラス基板をロボットを使用して搬送する搬送用独立制御
ロボットに関するものであり、特にクラスタツール内の
ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハまたはガラス基板を真空内
でプロセスチャンバーに搬送するために、一般的にクラ
スターツールというシステムが使用されている。そのク
ラスターツールの半導体ウエハまたはガラス基板搬送ロ
ボットは、単アームロボット式、多アームロボット式、
自走回転式、昇降機構付きなどが広く使用されている。
でプロセスチャンバーに搬送するために、一般的にクラ
スターツールというシステムが使用されている。そのク
ラスターツールの半導体ウエハまたはガラス基板搬送ロ
ボットは、単アームロボット式、多アームロボット式、
自走回転式、昇降機構付きなどが広く使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のクラスターツー
ルの搬送ロボットの問題点として以下の項目があげられ
る。
ルの搬送ロボットの問題点として以下の項目があげられ
る。
【０００４】多アームロボットにおいて、同時に異なる
プロセスチャンバーへの半導体ウエハまたはガラス基板
の搬送は不可能である。
プロセスチャンバーへの半導体ウエハまたはガラス基板
の搬送は不可能である。
【０００５】半導体ウエハまたはガラス基板のロードロ
ックチャンバーあるいはプロセスチャンバーへの受け取
り又は収納の際に待機時間が存在しスループットに制限
を受けた。
ックチャンバーあるいはプロセスチャンバーへの受け取
り又は収納の際に待機時間が存在しスループットに制限
を受けた。
【０００６】ロボットが昇降機構を持たない場合、ロー
ドロックチャンバー又はプロセスチャンバーとの制御が
複雑になる。
ドロックチャンバー又はプロセスチャンバーとの制御が
複雑になる。
【０００７】ロボットの駆動方式に減速機を使用してお
り、これによりパーティクルの発生及びそのメンテナン
ス、駆動モーターの低寿命化をもたらす。
り、これによりパーティクルの発生及びそのメンテナン
ス、駆動モーターの低寿命化をもたらす。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めの本発明の手段は、２台のロボットをトランスファー
チャンバーの底板と蓋に独立に取り付けることにより、
ロボットが互いに干渉することなく動作・制御を独立に
行うことが出来る。さらに各ロボットが昇降機構を持つ
ことでロードロックチャンバー又はプロセスチャンバー
との制御の負荷が低減される。
めの本発明の手段は、２台のロボットをトランスファー
チャンバーの底板と蓋に独立に取り付けることにより、
ロボットが互いに干渉することなく動作・制御を独立に
行うことが出来る。さらに各ロボットが昇降機構を持つ
ことでロードロックチャンバー又はプロセスチャンバー
との制御の負荷が低減される。
【０００９】
【発明の実態の形態】発明の実施形態を図１、図２に示
す。図１の１の真空搬送チャンバーはウエハまたは基板
を７，８，９のロードロックチャンバーから１０に示す
ようなプロセスチャンバーに搬送するためのクラスター
ツールの核となるチャンバーである。この１の真空搬送
チャンバー内においてウエハまたは基板を７、８，９の
ロードロックチャンバーから１０に示す各プロセスチャ
ンバーに搬送するために２及び３の真空ロボットが設置
されている。本発明は、真空搬送チャンバー内において
独立に回転、伸縮、上下動の機構をもつ２及び３の２台
のロボットで、チャンバーの底板と蓋に配置することに
よりロボットどうしの物理的干渉がない。
す。図１の１の真空搬送チャンバーはウエハまたは基板
を７，８，９のロードロックチャンバーから１０に示す
ようなプロセスチャンバーに搬送するためのクラスター
ツールの核となるチャンバーである。この１の真空搬送
チャンバー内においてウエハまたは基板を７、８，９の
ロードロックチャンバーから１０に示す各プロセスチャ
ンバーに搬送するために２及び３の真空ロボットが設置
されている。本発明は、真空搬送チャンバー内において
独立に回転、伸縮、上下動の機構をもつ２及び３の２台
のロボットで、チャンバーの底板と蓋に配置することに
よりロボットどうしの物理的干渉がない。
【００１０】図１及び図２の１の真空内搬送チャンバー
の底側には、ロボット取り付け開口部があり、そこに回
転、伸縮、上下動を行う２の独立制御運動ロボットが取
り付けられる。真空内搬送チャンバーの４の一段目の蓋
には回転、伸縮、上下動を行う３の独立制御運動ロボッ
トが蓋の中央に孔いている開口部に取り付けられる。メ
ンテナンス時には５及び６の蓋が設置されている４の蓋
の開口穴が使用できる。４の蓋には位置合わせ用ピンが
Ｏリングから外れた大気側の蓋の最外周近くに数個あ
り、それを使用することによって蓋の開閉前後の上下の
ロボットの軸合わせ、及び３の上側ロボットの１０に示
すプロセスチャンバーへの基板出し入れ位置の高精度な
再現性を得る。通常１の真空搬送チャンバーは真空が維
持された状態となるので５と６の蓋を４の蓋にかぶせる
ことにより蓋一個だけと同じ高真空状態が得られる。
の底側には、ロボット取り付け開口部があり、そこに回
転、伸縮、上下動を行う２の独立制御運動ロボットが取
り付けられる。真空内搬送チャンバーの４の一段目の蓋
には回転、伸縮、上下動を行う３の独立制御運動ロボッ
トが蓋の中央に孔いている開口部に取り付けられる。メ
ンテナンス時には５及び６の蓋が設置されている４の蓋
の開口穴が使用できる。４の蓋には位置合わせ用ピンが
Ｏリングから外れた大気側の蓋の最外周近くに数個あ
り、それを使用することによって蓋の開閉前後の上下の
ロボットの軸合わせ、及び３の上側ロボットの１０に示
すプロセスチャンバーへの基板出し入れ位置の高精度な
再現性を得る。通常１の真空搬送チャンバーは真空が維
持された状態となるので５と６の蓋を４の蓋にかぶせる
ことにより蓋一個だけと同じ高真空状態が得られる。
【００１１】ロボットの駆動方式は、ロボットが長寿命
かつパーテイクルフリー及びメンテナンスフリーである
ことが要求されているため、モーターは減速機構等を使
用しなくかつ非接触式のダイレクトドライブモーターを
採用している。これにより、モーターの回転用軸受は低
回転仕様となりロボットは長寿命化しよりクリーン及び
メンテナンスフリーとなる。ダイレクトドライブモータ
ーの１１と１２のローターは真空内の軸に設置され、１
３と１４のステータは１７の隔壁の大気側にローターの
位置に合わせて設置されている。エンコーダー１５と１
６は真空内の各々のローター軸に取り付けられている。
かつパーテイクルフリー及びメンテナンスフリーである
ことが要求されているため、モーターは減速機構等を使
用しなくかつ非接触式のダイレクトドライブモーターを
採用している。これにより、モーターの回転用軸受は低
回転仕様となりロボットは長寿命化しよりクリーン及び
メンテナンスフリーとなる。ダイレクトドライブモータ
ーの１１と１２のローターは真空内の軸に設置され、１
３と１４のステータは１７の隔壁の大気側にローターの
位置に合わせて設置されている。エンコーダー１５と１
６は真空内の各々のローター軸に取り付けられている。
【００１２】
【発明の効果】本発明の独立制御ロボットでは２台の制
御ロボットを独立制御することで、ロボット同士の物理
的干渉がなく最短の時間で半導体ウエハまたはガラス基
板の搬送が行え、より待機時間が短縮され最大のスルー
プットを得ることが可能となる。
御ロボットを独立制御することで、ロボット同士の物理
的干渉がなく最短の時間で半導体ウエハまたはガラス基
板の搬送が行え、より待機時間が短縮され最大のスルー
プットを得ることが可能となる。
【図１】本発明を用いたクラスターツールの平面図であ
る。
る。
【図２】本発明を用いたクラスターツールの内部断面で
ある。
ある。
１ 真空搬送チャンバー １０ プロセスチャンバー ２ 真空ロボット １１ ローター ３ 真空ロボット １２ ローター ４ 蓋 １３ ステーター ５ 蓋 １４ ステーター ６ 蓋 １５ エンコーダー ７ ロードチャックチャンバー １６ エンコーダー ８ ロードチャックチャンバー １７ 隔壁 ９ ロードチャックチャンバー
Claims (5)
- 【請求項１】 真空搬送チャンバー内のロボットで、半
導体ウエハまたはガラス基板の搬送に使用されるもので
ありロボットは２台ある、各ロボットは独立制御され、
１台のロボットは真空搬送チャンバーの底板に取り付け
られ、回転と伸縮と上下動を行う独立制御ロボットで、
もう１台のロボットは真空搬送チャンバーの蓋に取り付
けられ、回転と伸縮と上下動を行う独立制御ロボット。 - 【請求項２】 ２台のロボットは、真空搬送チャンバー
から同一のプロセスチャンバー位置に、同時にウエハま
たはガラス基板を出し入れしない限り干渉はなく、片方
のロボットがウエハの出し入れを行っている最中でも、
もう一方のロボットが下側に設置されたロボットならば
相手ロボットの下側を通過するか、または上側に設置さ
れたロボットならば相手ロボットの上側を通過しても物
理的にお互いに干渉しない独立制御ロボット。 - 【請求項３】 真空搬送チャンバーにＯリングを介して
２つの蓋を使用する２段式蓋の構造で、一段目の蓋は蓋
の中心を境にして左右に複数の穴を持ちながら、中央に
はロボットを取り付けるための開口部の孔が開いてお
り、二段目の蓋は一段目の穴の上に取り付けられる構造
を持つこと特徴とする独立制御ロボット。 - 【請求項４】 ロボットの構造は、パンタグラフの形を
したリンク機構のロボット。パンタグラフ形状の第２ア
ーム先端出力軸は２軸に分かれておりその２軸には角度
調整可能な２個の歯車がそれぞれの軸に取り付けられて
お互いに噛み合っており、アーム先端でのウエハまたは
ガラス基板等の搬送物の姿勢を保つこととその姿勢の任
意角度微調調整可能な独立制御ロボット。 - 【請求項５】 ロボットの駆動軸は２軸同軸で２軸の駆
動シャフトのモータの構成は、それぞれ各回転軸上に直
列に配置された２つのローターと大気側に真空側との隔
壁を通して配置された２つのステータ、及び各ローター
に連結して取り付けられた位置検出用のエンコーダーを
持つ独立制御ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23025397A JPH1158281A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23025397A JPH1158281A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1158281A true JPH1158281A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16904919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23025397A Pending JPH1158281A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1158281A (ja) |
-
1997
- 1997-08-12 JP JP23025397A patent/JPH1158281A/ja active Pending
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