JPH1161380A - 耐磨耗性多層型硬質皮膜 - Google Patents
耐磨耗性多層型硬質皮膜Info
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- JPH1161380A JPH1161380A JP22401397A JP22401397A JPH1161380A JP H1161380 A JPH1161380 A JP H1161380A JP 22401397 A JP22401397 A JP 22401397A JP 22401397 A JP22401397 A JP 22401397A JP H1161380 A JPH1161380 A JP H1161380A
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Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 工具母材表面に形成された耐磨耗性多層型硬
質皮膜であって皮膜と基材の密着性に優れるとともに、
さらに耐磨耗性に優れた多層型硬質皮膜を提供する。 【解決手段】 工具母材表面に形成される耐磨耗性多層
型硬質皮膜であって、低硬度及び高硬度の２種類のＴｉ
ＡｌＮで示される化学組成からなる皮膜が交互に隣接し
て積層され、前記低硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌ
x Ｎにて０．１≦ｘ≦０．４で示される化学組成からな
り、高硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌ x Ｎにて０．
４＜ｘ≦０．７５で示される化学組成からなる。
質皮膜であって皮膜と基材の密着性に優れるとともに、
さらに耐磨耗性に優れた多層型硬質皮膜を提供する。 【解決手段】 工具母材表面に形成される耐磨耗性多層
型硬質皮膜であって、低硬度及び高硬度の２種類のＴｉ
ＡｌＮで示される化学組成からなる皮膜が交互に隣接し
て積層され、前記低硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌ
x Ｎにて０．１≦ｘ≦０．４で示される化学組成からな
り、高硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌ x Ｎにて０．
４＜ｘ≦０．７５で示される化学組成からなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フライス加工、切
削加工、穿孔加工等の加工に使用される工作工具の表面
コーティング材として有用な耐磨耗性多層型硬質皮膜構
造に関するものである。
削加工、穿孔加工等の加工に使用される工作工具の表面
コーティング材として有用な耐磨耗性多層型硬質皮膜構
造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速度工具鋼や超硬合金工具鋼等を製作
する場合は、耐磨耗性等の性能をより優れたものとする
目的で、工具基材の表面にＴｉ等の窒化物や炭化物より
なる耐磨耗性皮膜を形成することが行なわれている。母
材表面に耐磨耗性皮膜を形成する方法としては、従来よ
りＣＶＤ法（化学的蒸着法）およびＰＶＤ法（物理的蒸
着法）が知られている。しかし前者の方法では母材が高
温処理に曝される為母材特性が劣化するおそれがあり、
母材特性も重要視される工具の場合は後者の方法が好ま
れる傾向がある。そこで比較的低温条件でコーティング
処理することのできる高周波放電プラズマＣＶＤ法、反
応性イオンプレーティング法、スパッタリング法等が採
用されるに至っている。
する場合は、耐磨耗性等の性能をより優れたものとする
目的で、工具基材の表面にＴｉ等の窒化物や炭化物より
なる耐磨耗性皮膜を形成することが行なわれている。母
材表面に耐磨耗性皮膜を形成する方法としては、従来よ
りＣＶＤ法（化学的蒸着法）およびＰＶＤ法（物理的蒸
着法）が知られている。しかし前者の方法では母材が高
温処理に曝される為母材特性が劣化するおそれがあり、
母材特性も重要視される工具の場合は後者の方法が好ま
れる傾向がある。そこで比較的低温条件でコーティング
処理することのできる高周波放電プラズマＣＶＤ法、反
応性イオンプレーティング法、スパッタリング法等が採
用されるに至っている。
【０００３】工具等の耐磨耗性皮膜としてはイオンプレ
ーティング法によるＴｉＮやＴｉＣが汎用されており、
特に高温耐酸化性（耐熱性）の優れたＴｉＮ膜が広く実
用化されている。即ちＴｉＮはＴｉＣより耐熱性に優れ
ている為、切削時の加工熱や摩擦熱によって昇温する工
具すくい面をクレータ磨耗から保護する機能を発揮す
る。しかしＴｉＮはＴｉＣに比べて低硬度である為被削
材と接する逃げ面に発生するフランク磨耗に対してはむ
しろ脆弱であり、フランク磨耗に対してはＴｉＣの方が
高い耐久性を示す。
ーティング法によるＴｉＮやＴｉＣが汎用されており、
特に高温耐酸化性（耐熱性）の優れたＴｉＮ膜が広く実
用化されている。即ちＴｉＮはＴｉＣより耐熱性に優れ
ている為、切削時の加工熱や摩擦熱によって昇温する工
具すくい面をクレータ磨耗から保護する機能を発揮す
る。しかしＴｉＮはＴｉＣに比べて低硬度である為被削
材と接する逃げ面に発生するフランク磨耗に対してはむ
しろ脆弱であり、フランク磨耗に対してはＴｉＣの方が
高い耐久性を示す。
【０００４】近年、切削速度の一層の高速化が要望され
ており、切削条件がより過酷化する傾向にある為、上記
した様な従来のＴｉＮ皮膜程度ではこの要請に応えきれ
なくなっている。そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜
として、イオンプレーティング法やスパッタリング法に
よるＴｉＡｌＮ，ＴｉＡｌＣ，或はＴｉＡｌＣＮ等の皮
膜が提案された（特開昭６２−５６５６５）。
ており、切削条件がより過酷化する傾向にある為、上記
した様な従来のＴｉＮ皮膜程度ではこの要請に応えきれ
なくなっている。そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜
として、イオンプレーティング法やスパッタリング法に
よるＴｉＡｌＮ，ＴｉＡｌＣ，或はＴｉＡｌＣＮ等の皮
膜が提案された（特開昭６２−５６５６５）。
【０００５】上記のＰＶＤ法はイオンのエネルギーを利
用した低温皮膜法であるので、母材表面と皮膜間には、
ＣＶＤ法において見られた様な熱による拡散層は存在し
ない。従ってＰＶＤ法によって形成された皮膜は、ＣＶ
Ｄ法によって形成された皮膜に比べて密着性が劣るのが
一般的である。一方最近では耐磨耗性を改善して寿命延
長を図るという観点から、皮膜を厚膜化する傾向が見ら
れるが、厚膜化するにつれて皮膜の内部応力が増大し、
皮膜にクラックが発生したり膜密着性が低下して皮膜剥
離の原因になる。尚ＴｉＮ皮膜に代わり得る高耐磨耗性
皮膜として、（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｎ，Ｃ）系皮膜が提案さ
れていることは上述した通りであるが、これらの皮膜は
ＴｉＮ皮膜に比べて内部応力が２倍以上も高くなるの
で、ＴｉＮ皮膜を形成する場合よりもできるだけ薄い膜
厚を形成して実用されている。こうしたことから、特に
（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｎ，Ｃ）系皮膜等の優れた特性を十分
に発揮し得る様な、皮膜形成技術の改善が望まれてい
た。
用した低温皮膜法であるので、母材表面と皮膜間には、
ＣＶＤ法において見られた様な熱による拡散層は存在し
ない。従ってＰＶＤ法によって形成された皮膜は、ＣＶ
Ｄ法によって形成された皮膜に比べて密着性が劣るのが
一般的である。一方最近では耐磨耗性を改善して寿命延
長を図るという観点から、皮膜を厚膜化する傾向が見ら
れるが、厚膜化するにつれて皮膜の内部応力が増大し、
皮膜にクラックが発生したり膜密着性が低下して皮膜剥
離の原因になる。尚ＴｉＮ皮膜に代わり得る高耐磨耗性
皮膜として、（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｎ，Ｃ）系皮膜が提案さ
れていることは上述した通りであるが、これらの皮膜は
ＴｉＮ皮膜に比べて内部応力が２倍以上も高くなるの
で、ＴｉＮ皮膜を形成する場合よりもできるだけ薄い膜
厚を形成して実用されている。こうしたことから、特に
（Ａｌ，Ｔｉ）（Ｎ，Ｃ）系皮膜等の優れた特性を十分
に発揮し得る様な、皮膜形成技術の改善が望まれてい
た。
【０００６】そこで、こうした事情に着目して比較的低
温条件で製膜することができると共に、それにもかかわ
らず、密着性や膜強度に優れ、しかもクレータ磨耗やフ
ランク磨耗に対する抵抗力の優れた耐磨耗性多層型硬質
皮膜を提供した（特開平６−１３６５１４）。この皮膜
構成はＴｉＣx Ｎ1-x （但し、０≦ｘ≦０．６）で示さ
れる化学組成からなる皮膜層と、（Ａｌy Ｔｉ1-y ）
（Ｎz Ｃ1-z ）（但し、０．５６≦ｙ≦０．７５、０．
６≦ｚ≦１）で示される化学組成からなる皮膜層が交互
に隣接して、４層以上積層され、かつ全皮膜層厚が０．
６〜１２μｍである、工具母材表面に形成されるという
ものである。
温条件で製膜することができると共に、それにもかかわ
らず、密着性や膜強度に優れ、しかもクレータ磨耗やフ
ランク磨耗に対する抵抗力の優れた耐磨耗性多層型硬質
皮膜を提供した（特開平６−１３６５１４）。この皮膜
構成はＴｉＣx Ｎ1-x （但し、０≦ｘ≦０．６）で示さ
れる化学組成からなる皮膜層と、（Ａｌy Ｔｉ1-y ）
（Ｎz Ｃ1-z ）（但し、０．５６≦ｙ≦０．７５、０．
６≦ｚ≦１）で示される化学組成からなる皮膜層が交互
に隣接して、４層以上積層され、かつ全皮膜層厚が０．
６〜１２μｍである、工具母材表面に形成されるという
ものである。
【０００７】上記の耐磨耗性硬質皮膜は、以下の理由に
より耐磨耗性が十分ではなかった。即ち、ＴｉＮ（ｘ＝
０の場合）と（Ａｌy Ｔｉ1-y ）（Ｎz Ｃ1-z ）との積
層ではＴｉＮ層部の硬度及び耐酸化性が不足し、ＴｉＣ
x Ｎ1-x （０≦ｘ≦０．６）と（Ａｌy Ｔｉ1-y ）（Ｎ
z Ｃ1-z ）との積層ではどちらも硬度が高い為、基材と
の密着性や２種類の層間の密着性が不足することが原因
であることを知見した。
より耐磨耗性が十分ではなかった。即ち、ＴｉＮ（ｘ＝
０の場合）と（Ａｌy Ｔｉ1-y ）（Ｎz Ｃ1-z ）との積
層ではＴｉＮ層部の硬度及び耐酸化性が不足し、ＴｉＣ
x Ｎ1-x （０≦ｘ≦０．６）と（Ａｌy Ｔｉ1-y ）（Ｎ
z Ｃ1-z ）との積層ではどちらも硬度が高い為、基材と
の密着性や２種類の層間の密着性が不足することが原因
であることを知見した。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決し、皮膜と基材の密着性に優れるとともに、さら
に耐磨耗性に優れた多層型硬質皮膜を提供することを目
的とするものである。
を解決し、皮膜と基材の密着性に優れるとともに、さら
に耐磨耗性に優れた多層型硬質皮膜を提供することを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た発
明とは、工具母材表面に形成される耐磨耗性多層型硬質
皮膜であって、低硬度及び高硬度の２種類のＴｉＡｌＮ
で示される化学組成からなる皮膜が交互に隣接して積層
されたものであり（請求項１）、前記低硬度のＴｉＡｌ
Ｎ層がＴｉ1-x Ａｌx Ｎにて０．１≦ｘ≦０．４で示さ
れる化学組成からなり、高硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ
1-x Ａｌx Ｎにて０．４＜ｘ≦０．７５で示される化学
組成からなるものであり（請求項２）、前記低硬度のＴ
ｉＡｌＮ層が、コーティング時の基板バイアス電圧−１
０〜−３０Ｖの条件下で形成され、高硬度のＴｉＡｌＮ
層が基板バイアス電圧−５０〜−１５０Ｖの条件下で形
成されてなるものであり（請求項３）、前記積層される
単位皮膜層数が１０層以上であるものであり（請求項
４）、更に前記低硬度層と高硬度層の厚さ比が５：１〜
１：１０である耐磨耗性多層型硬質皮膜である（請求項
５）。
明とは、工具母材表面に形成される耐磨耗性多層型硬質
皮膜であって、低硬度及び高硬度の２種類のＴｉＡｌＮ
で示される化学組成からなる皮膜が交互に隣接して積層
されたものであり（請求項１）、前記低硬度のＴｉＡｌ
Ｎ層がＴｉ1-x Ａｌx Ｎにて０．１≦ｘ≦０．４で示さ
れる化学組成からなり、高硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ
1-x Ａｌx Ｎにて０．４＜ｘ≦０．７５で示される化学
組成からなるものであり（請求項２）、前記低硬度のＴ
ｉＡｌＮ層が、コーティング時の基板バイアス電圧−１
０〜−３０Ｖの条件下で形成され、高硬度のＴｉＡｌＮ
層が基板バイアス電圧−５０〜−１５０Ｖの条件下で形
成されてなるものであり（請求項３）、前記積層される
単位皮膜層数が１０層以上であるものであり（請求項
４）、更に前記低硬度層と高硬度層の厚さ比が５：１〜
１：１０である耐磨耗性多層型硬質皮膜である（請求項
５）。
【００１０】本発明は、非常に高硬度を示すＴｉＡｌＮ
皮膜に、あえて低硬度、すなわち皮膜の内部応力の小さ
いＴｉＡｌＮをはさみ、積層構造とすることで、皮膜全
体としての内部応力を緩和し、皮膜と基材の密着性が改
善される。また、積層構造とすることで、従来技術同様
に皮膜表層で発生したクラックが、隣接する皮膜層によ
って、その伝播が抑制されることによる耐磨耗性改善効
果が得られるが、特に積層する皮膜がＴｉＡｌＮで示さ
れる同一の元素構成からなるため、積層皮膜間の密着性
にも非常に優れ、層間での皮膜剥離が減少する。
皮膜に、あえて低硬度、すなわち皮膜の内部応力の小さ
いＴｉＡｌＮをはさみ、積層構造とすることで、皮膜全
体としての内部応力を緩和し、皮膜と基材の密着性が改
善される。また、積層構造とすることで、従来技術同様
に皮膜表層で発生したクラックが、隣接する皮膜層によ
って、その伝播が抑制されることによる耐磨耗性改善効
果が得られるが、特に積層する皮膜がＴｉＡｌＮで示さ
れる同一の元素構成からなるため、積層皮膜間の密着性
にも非常に優れ、層間での皮膜剥離が減少する。
【００１１】因みにＴｉＡｌＮはＴｉＮに比べて高硬度
を示し、一般にＡｌ比率の増加に従って硬度が上昇す
る。そこで通常作成されるＴｉＡｌＮ層に比べ、低Ａｌ
組成とすることで低硬度のＴｉＡｌＮ層が形成される。
本発明の効果を発揮させるためには低硬度ＴｉＡｌＮ層
のＡｌ組成としてはＴｉ1-x Ａｌx Ｎにて０．１≦ｘ≦
０．４であり、より好ましくは０．２≦ｘ≦０．３とす
るのが望ましい。ｘ＜０．１ではＡｌ添加の効果が得ら
れず、また、ｘ＞０．４では硬度が高くなりすぎ、低硬
度層として作用しなくなる。
を示し、一般にＡｌ比率の増加に従って硬度が上昇す
る。そこで通常作成されるＴｉＡｌＮ層に比べ、低Ａｌ
組成とすることで低硬度のＴｉＡｌＮ層が形成される。
本発明の効果を発揮させるためには低硬度ＴｉＡｌＮ層
のＡｌ組成としてはＴｉ1-x Ａｌx Ｎにて０．１≦ｘ≦
０．４であり、より好ましくは０．２≦ｘ≦０．３とす
るのが望ましい。ｘ＜０．１ではＡｌ添加の効果が得ら
れず、また、ｘ＞０．４では硬度が高くなりすぎ、低硬
度層として作用しなくなる。
【００１２】次に高硬度のＴｉＡｌＮ層は、Ｔｉ1-x Ａ
ｌx Ｎにて０．４＜ｘ≦０．７５で示されるものが必要
であり、より好ましくは０．６≦ｘ≦０．６５とするの
が望ましい。ｘ≦０．４では高硬度層として作用せず、
また、ｘ＞０．７５でも皮膜層組成がＡｌＮに近似して
くる結果、十分な硬度が得られなくなる。また、一般に
イオンプレーティングやスパッタによって形成されるＴ
ｉＡｌＮ膜の硬度はコーティング時の基板バイアス電圧
によって大きく影響されることが知られており、バイア
ス電圧を制御することにより低硬度と高硬度のＴｉＡｌ
Ｎ層の作り分けが可能である。
ｌx Ｎにて０．４＜ｘ≦０．７５で示されるものが必要
であり、より好ましくは０．６≦ｘ≦０．６５とするの
が望ましい。ｘ≦０．４では高硬度層として作用せず、
また、ｘ＞０．７５でも皮膜層組成がＡｌＮに近似して
くる結果、十分な硬度が得られなくなる。また、一般に
イオンプレーティングやスパッタによって形成されるＴ
ｉＡｌＮ膜の硬度はコーティング時の基板バイアス電圧
によって大きく影響されることが知られており、バイア
ス電圧を制御することにより低硬度と高硬度のＴｉＡｌ
Ｎ層の作り分けが可能である。
【００１３】低硬度ＴｉＡｌＮ層の形成条件としてはバ
イアス電圧（Ｖｂ）が、−３０Ｖ≦Ｖｂ≦−１０Ｖが適
当であり、より好ましくは−２０Ｖ≦Ｖｂ≦−１０Ｖと
するのが望ましい。Ｖｂ＜−３０Ｖでは低硬度層として
作用しなくなり、またＶｂ＞−１０Ｖの場合はアーク放
電プラズマのプラズマ電位に近づくために安定した電圧
印加が難しく、また、０Ｖバイアスではイオンプレーテ
ィングの効果が得られないため皮膜の特性が悪化する。
イアス電圧（Ｖｂ）が、−３０Ｖ≦Ｖｂ≦−１０Ｖが適
当であり、より好ましくは−２０Ｖ≦Ｖｂ≦−１０Ｖと
するのが望ましい。Ｖｂ＜−３０Ｖでは低硬度層として
作用しなくなり、またＶｂ＞−１０Ｖの場合はアーク放
電プラズマのプラズマ電位に近づくために安定した電圧
印加が難しく、また、０Ｖバイアスではイオンプレーテ
ィングの効果が得られないため皮膜の特性が悪化する。
【００１４】また高硬度ＴｉＡｌＮ層の形成条件として
は、バイアス電圧を−１５０Ｖ≦Ｖｂ≦−５０Ｖの範囲
とするのが適当であり、より好ましくは−１００Ｖ≦Ｖ
ｂ≦−５０が望ましい。Ｖｂ＞−５０Ｖでは高硬度層と
して作用しなくなり、またＶｂ＜−１５０Ｖでも再度硬
度低下が起こり、高硬度層として作用しなくなる。尚、
本実施例では積層する第１層（低硬度層）と第２層（高
硬度層）でバイアス電圧を不連続に変化させたが、第１
層と第２層の間でのバイアス電圧の変化を勾配を付けて
ある時間で徐々に変化させることも可能である。
は、バイアス電圧を−１５０Ｖ≦Ｖｂ≦−５０Ｖの範囲
とするのが適当であり、より好ましくは−１００Ｖ≦Ｖ
ｂ≦−５０が望ましい。Ｖｂ＞−５０Ｖでは高硬度層と
して作用しなくなり、またＶｂ＜−１５０Ｖでも再度硬
度低下が起こり、高硬度層として作用しなくなる。尚、
本実施例では積層する第１層（低硬度層）と第２層（高
硬度層）でバイアス電圧を不連続に変化させたが、第１
層と第２層の間でのバイアス電圧の変化を勾配を付けて
ある時間で徐々に変化させることも可能である。
【００１５】次に積層される単位皮膜層数が１０層以上
であるが、より好ましくは２０層以上であり、この際１
０層未満では良好な特性が得られない。本発明では低硬
度層と高硬度層の厚さ比（膜厚比）は５：１〜１：１０
（より好ましくは２：１〜１：５）が望ましい。５：１
より外れて低硬度層の比率が高くなると全体の硬度が低
下して耐磨耗性が低下する。また、１：１０を越えて高
硬度層の比率が高くなると、全体の硬度が高くなりすぎ
て皮膜の密着性が低下する。
であるが、より好ましくは２０層以上であり、この際１
０層未満では良好な特性が得られない。本発明では低硬
度層と高硬度層の厚さ比（膜厚比）は５：１〜１：１０
（より好ましくは２：１〜１：５）が望ましい。５：１
より外れて低硬度層の比率が高くなると全体の硬度が低
下して耐磨耗性が低下する。また、１：１０を越えて高
硬度層の比率が高くなると、全体の硬度が高くなりすぎ
て皮膜の密着性が低下する。
【００１６】
＜実施例１＞陰極アーク方式イオンプレーティング装置
にて、自公転可能な基板テーブルを挟んで対向した位置
に取り付けられた少なくとも２つのアーク蒸発源に、Ｔ
ｉ1- x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）の組成のターゲッ
トとＴｉ0.5 Ａｌ0.5 の組成のターゲットを組み込み、
高速度鋼製エンドミル（φ１０）へのコーティングを実
施した。
にて、自公転可能な基板テーブルを挟んで対向した位置
に取り付けられた少なくとも２つのアーク蒸発源に、Ｔ
ｉ1- x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）の組成のターゲッ
トとＴｉ0.5 Ａｌ0.5 の組成のターゲットを組み込み、
高速度鋼製エンドミル（φ１０）へのコーティングを実
施した。
【００１７】本発明の多層型硬質皮膜を形成するにあた
っては、まず、装置の真空チャンバを５×１０-5Ｔｏｒ
ｒ以下まで真空排気後、ヒータによって基板の加熱を行
う。その後、ガス無し雰囲気中またはＡｒガス雰囲気中
にてアーク放電を発生させ、メタルイオンによる基板の
スパッタクリーニングを行う。クリーニング時はＴｉ
1-x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）、Ｔｉ0.5 Ａｌ0.5
ターゲットのどちらか片方または両方同時に放電させて
良い。クリーニング終了後、チャンバ内を窒素雰囲気に
して、Ｔｉ1-x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）、Ｔｉ
0.5 Ａｌ0.5 の両ターゲットにて同時にアーク放電を開
始する。コーティング時の代表的な条件は下記の通りで
ある。
っては、まず、装置の真空チャンバを５×１０-5Ｔｏｒ
ｒ以下まで真空排気後、ヒータによって基板の加熱を行
う。その後、ガス無し雰囲気中またはＡｒガス雰囲気中
にてアーク放電を発生させ、メタルイオンによる基板の
スパッタクリーニングを行う。クリーニング時はＴｉ
1-x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）、Ｔｉ0.5 Ａｌ0.5
ターゲットのどちらか片方または両方同時に放電させて
良い。クリーニング終了後、チャンバ内を窒素雰囲気に
して、Ｔｉ1-x Ａｌx （０．１≦ｘ≦０．４）、Ｔｉ
0.5 Ａｌ0.5 の両ターゲットにて同時にアーク放電を開
始する。コーティング時の代表的な条件は下記の通りで
ある。
【００１８】 ＜コーティング条件＞ ・窒素ガス圧力：２〜４×１０-2Ｔｏｒｒ（２×１０-2Ｔｏｒｒ…実験条件） ・アーク電流 ：８０〜２００Ａ （１００Ａ …実験条件） ・バイアス電圧：−４０〜−１５０Ｖ （−５０Ｖ …実験条件） ・膜厚 ：２．５〜３．０μｍ （実施例もこの範囲程度でばらつき有 り） 上記ガス圧条件下で、基板テーブルを回転させながら、
組成の異なるターゲットを同時に放電させると、各々の
ターゲット前方でターゲット組成に応じた組成のＴｉＡ
ｌＮ膜が形成され、結果的に組成の異なる２種類のＴｉ
ＡｌＮ膜が交互に積層された多層型硬質皮膜が形成され
る。回転基板ホルダーの回転数を変化させたり、ターゲ
ットに流すアーク電流を調整することにより、各層の膜
厚を調整することができる。また、ある程度以上各層の
厚みを増すためには、２種類のターゲットを交互に放電
させてもよい。
組成の異なるターゲットを同時に放電させると、各々の
ターゲット前方でターゲット組成に応じた組成のＴｉＡ
ｌＮ膜が形成され、結果的に組成の異なる２種類のＴｉ
ＡｌＮ膜が交互に積層された多層型硬質皮膜が形成され
る。回転基板ホルダーの回転数を変化させたり、ターゲ
ットに流すアーク電流を調整することにより、各層の膜
厚を調整することができる。また、ある程度以上各層の
厚みを増すためには、２種類のターゲットを交互に放電
させてもよい。
【００１９】上記方法によって各種ＴｉＡｌＮ膜を形成
されたエンドミルについて、下記条件での切削試験を行
い、刃先部磨耗量を測定した。 ＜切削条件＞ ・被削材 ：ＳＫＤ６１（ＨＲＣ３０） ・切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ ・送り ：０．０７ｍｍ／刃 ・切込み ：１ｍｍ（半径方向），１５ｍｍ（軸方向） ・切削方法：ダウンカット、エアブロー 切削試験の結果を各皮膜の層構成とともに表１に示す。
尚、表１には比較のためにＴｉＡｌＮ単層、及び従来技
術のＴｉＮとＴｉＡｌＮ層を積層したものを示す。
されたエンドミルについて、下記条件での切削試験を行
い、刃先部磨耗量を測定した。 ＜切削条件＞ ・被削材 ：ＳＫＤ６１（ＨＲＣ３０） ・切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ ・送り ：０．０７ｍｍ／刃 ・切込み ：１ｍｍ（半径方向），１５ｍｍ（軸方向） ・切削方法：ダウンカット、エアブロー 切削試験の結果を各皮膜の層構成とともに表１に示す。
尚、表１には比較のためにＴｉＡｌＮ単層、及び従来技
術のＴｉＮとＴｉＡｌＮ層を積層したものを示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】（評価）表１の実施例（Ｎｏ．１〜１１）
と比較例（Ｎｏ．１２〜１５）と比較すると、比較例Ｎ
ｏ．１２は層数が本発明の特定数より少なく、比較例Ｎ
ｏ．１３は膜厚比が本発明の特定比を外れており、比較
例Ｎｏ．１４はＴｉＡｌＮ膜単層であり、比較例Ｎｏ．
１５はＴｉＮとＴｉＡｌＮ積層膜であり、これらの何れ
も実施例の刃先部磨耗量（ｍｍ）と比較すると、比較例
のものが劣っており、実施例のものは良好な特性が得ら
れていることが判明している。
と比較例（Ｎｏ．１２〜１５）と比較すると、比較例Ｎ
ｏ．１２は層数が本発明の特定数より少なく、比較例Ｎ
ｏ．１３は膜厚比が本発明の特定比を外れており、比較
例Ｎｏ．１４はＴｉＡｌＮ膜単層であり、比較例Ｎｏ．
１５はＴｉＮとＴｉＡｌＮ積層膜であり、これらの何れ
も実施例の刃先部磨耗量（ｍｍ）と比較すると、比較例
のものが劣っており、実施例のものは良好な特性が得ら
れていることが判明している。
【００２２】＜実施例２＞低硬度と高硬度のＴｉＡｌＮ
膜の積層は、コーティング時のバイアス電圧を周期的に
変化させることによっても可能である。この場合、各層
の膜厚はバイアス電圧を一定に保持する時間やアーク電
流の増減によって調節可能である。ターゲットとしては
１種類のＴｉ0.5 Ａｌ0.5 の組成からなるターゲットを
用いて、各種ＴｉＡｌＮ膜を形成したエンドミルについ
て、実施例１と同じ条件での切削試験を行い、刃先部磨
耗量を測定した結果を表２に示す。比較例としてＴｉＡ
ｌＮ単層、及び従来技術のＴｉＮとＴｉＡｌＮ層を積層
したものも示す。（実施例１と共通）。
膜の積層は、コーティング時のバイアス電圧を周期的に
変化させることによっても可能である。この場合、各層
の膜厚はバイアス電圧を一定に保持する時間やアーク電
流の増減によって調節可能である。ターゲットとしては
１種類のＴｉ0.5 Ａｌ0.5 の組成からなるターゲットを
用いて、各種ＴｉＡｌＮ膜を形成したエンドミルについ
て、実施例１と同じ条件での切削試験を行い、刃先部磨
耗量を測定した結果を表２に示す。比較例としてＴｉＡ
ｌＮ単層、及び従来技術のＴｉＮとＴｉＡｌＮ層を積層
したものも示す。（実施例１と共通）。
【００２３】
【表２】
【００２４】（評価）表２の実施例（Ｎｏ．１〜５）と
比較例（Ｎｏ．６〜９）と比較すると比較例Ｎｏ．６，
Ｎｏ．７，Ｎｏ．８を比較をする、いずれも第１層バイ
アス電圧は本発明特定外数値であり特に同Ｎｏ．８はＴ
ｉＡｌＮ膜単層のものであり、比較例Ｎｏ．９はＴｉＮ
とＴｉＡｌＮ積層膜のものであり、これらの比較例の何
れも実施例の刃先部磨耗量と比較すると、比較例のもの
が劣っており、実施例のものは良好な特性が得られてい
ることが判明している。
比較例（Ｎｏ．６〜９）と比較すると比較例Ｎｏ．６，
Ｎｏ．７，Ｎｏ．８を比較をする、いずれも第１層バイ
アス電圧は本発明特定外数値であり特に同Ｎｏ．８はＴ
ｉＡｌＮ膜単層のものであり、比較例Ｎｏ．９はＴｉＮ
とＴｉＡｌＮ積層膜のものであり、これらの比較例の何
れも実施例の刃先部磨耗量と比較すると、比較例のもの
が劣っており、実施例のものは良好な特性が得られてい
ることが判明している。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明は基材の密着性に優
れるとともに耐磨耗性に非常に優れた多層型硬質皮膜が
得られた。
れるとともに耐磨耗性に非常に優れた多層型硬質皮膜が
得られた。
Claims (5)
- 【請求項１】 工具母材表面に形成される耐磨耗性多層
型硬質皮膜であって、低硬度及び高硬度の２種類のＴｉ
ＡｌＮで示される化学組成からなる皮膜が交互に隣接し
て積層されたことを特徴とする耐磨耗性多層型硬質皮
膜。 - 【請求項２】 低硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌx
Ｎにて０．１≦ｘ≦０．４で示される化学組成からな
り、高硬度のＴｉＡｌＮ層がＴｉ1-x Ａｌx Ｎにて０．
４＜ｘ≦０．７５で示される化学組成からなる、請求項
１記載の耐磨耗性多層型硬質皮膜。 - 【請求項３】 低硬度のＴｉＡｌＮ層が、コーティング
時の基板バイアス電圧−１０〜−３０Ｖの条件下で形成
され、高硬度のＴｉＡｌＮ層が基板バイアス電圧−５０
〜−１５０Ｖの条件下で形成されてなる請求項１記載の
耐磨耗性多層型硬質皮膜。 - 【請求項４】 積層される単位皮膜層数が１０層以上で
ある、請求項１〜３のいずれかに記載の耐磨耗性多層型
硬質皮膜。 - 【請求項５】 低硬度層と高硬度層の厚さ比が５：１〜
１：１０である、請求項１〜３のいずれかに記載の耐磨
耗性多層型硬質皮膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22401397A JPH1161380A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22401397A JPH1161380A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1161380A true JPH1161380A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16807228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22401397A Pending JPH1161380A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1161380A (ja) |
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000308916A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-11-07 | Sandvik Ab | 切削インサート及びその製造方法 |
| WO2003061884A1 (en) * | 2002-01-21 | 2003-07-31 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting excellent abrasion resistance in high-speed cutting, and method for forming said hard coating layer on surface of cutting tool |
| WO2003064085A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member having hard coating layer and method for forming the hard coating layer on cutting tool |
| US7258933B2 (en) * | 2002-06-25 | 2007-08-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member |
| WO2007111301A1 (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具 |
| KR100771968B1 (ko) | 2006-09-01 | 2007-11-01 | 한국야금 주식회사 | 우수한 내마모성을 가지는 ｐｖｄ 코팅 절삭공구 |
| KR100900529B1 (ko) | 2008-07-16 | 2009-06-02 | 한국야금 주식회사 | 내마모성과 인성이 우수한 복합 다층경질 박막 |
| JP2009293612A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Hyundai Motor Co Ltd | 燃料噴射装置 |
| EP2308621A1 (en) * | 2004-01-30 | 2011-04-13 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| WO2011099683A1 (en) * | 2010-02-11 | 2011-08-18 | Taegutec Ltd. | Cutting tool |
| WO2011118782A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 京セラ株式会社 | 切削工具 |
| WO2012173236A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材 |
| DE112009000799B4 (de) * | 2008-04-24 | 2013-12-12 | Korloy Inc. | Mehrschichtiger Hartüberzug für Wendeschneidplatte |
| WO2014019897A1 (de) * | 2012-08-03 | 2014-02-06 | Walter Ag | Tialn-beschichtetes werkzeug |
| CN103568428A (zh) * | 2013-11-14 | 2014-02-12 | 厦门建霖工业有限公司 | 一种应用于工程塑料上的硬质膜结构及其制备方法 |
| US20140169891A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Kennametal, Inc. | Tool For The Cutting Machining Of Workpieces And Process For Coating Substrate Bodies |
| WO2016076386A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP2016175161A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| US9476114B2 (en) | 2012-08-03 | 2016-10-25 | Walter Ag | TiAlN-coated tool |
| WO2016190332A1 (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2016221672A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
-
1997
- 1997-08-20 JP JP22401397A patent/JPH1161380A/ja active Pending
Cited By (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000308916A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-11-07 | Sandvik Ab | 切削インサート及びその製造方法 |
| CN100408237C (zh) * | 2002-01-21 | 2008-08-06 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆切削工具部件和在切削工具表面形成硬质被覆层的方法 |
| WO2003061884A1 (en) * | 2002-01-21 | 2003-07-31 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting excellent abrasion resistance in high-speed cutting, and method for forming said hard coating layer on surface of cutting tool |
| US7094479B2 (en) | 2002-01-21 | 2006-08-22 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface-coated cutting tool member having hard coating layer exhibiting superior wear resistance during high speed cutting operation and method for forming hard coating layer on surface of cutting tool |
| US7144639B2 (en) | 2002-01-31 | 2006-12-05 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool member having hard coating layer and method for forming the hard coating layer on surface of cutting tool |
| WO2003064085A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member having hard coating layer and method for forming the hard coating layer on cutting tool |
| US7258933B2 (en) * | 2002-06-25 | 2007-08-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member |
| EP2308621A1 (en) * | 2004-01-30 | 2011-04-13 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| WO2007111301A1 (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具 |
| KR100771968B1 (ko) | 2006-09-01 | 2007-11-01 | 한국야금 주식회사 | 우수한 내마모성을 가지는 ｐｖｄ 코팅 절삭공구 |
| DE112009000799B4 (de) * | 2008-04-24 | 2013-12-12 | Korloy Inc. | Mehrschichtiger Hartüberzug für Wendeschneidplatte |
| JP2009293612A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Hyundai Motor Co Ltd | 燃料噴射装置 |
| KR100900529B1 (ko) | 2008-07-16 | 2009-06-02 | 한국야금 주식회사 | 내마모성과 인성이 우수한 복합 다층경질 박막 |
| KR101190324B1 (ko) | 2010-02-11 | 2012-10-11 | 대구텍 유한회사 | 절삭공구 |
| US8889252B2 (en) | 2010-02-11 | 2014-11-18 | Taegutec, Ltd. | Cutting insert |
| WO2011099683A1 (en) * | 2010-02-11 | 2011-08-18 | Taegutec Ltd. | Cutting tool |
| WO2011118782A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 京セラ株式会社 | 切削工具 |
| JP5558558B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2014-07-23 | 京セラ株式会社 | 切削工具 |
| JP2013019051A (ja) * | 2011-06-17 | 2013-01-31 | Kobe Steel Ltd | 硬質皮膜被覆部材 |
| US9273387B2 (en) | 2011-06-17 | 2016-03-01 | Kobe Steel, Ltd. | Member covered with hard coating |
| WO2012173236A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆部材 |
| CN104520472A (zh) * | 2012-08-03 | 2015-04-15 | 瓦尔特公开股份有限公司 | TiAlN-涂层工具 |
| WO2014019897A1 (de) * | 2012-08-03 | 2014-02-06 | Walter Ag | Tialn-beschichtetes werkzeug |
| US9476114B2 (en) | 2012-08-03 | 2016-10-25 | Walter Ag | TiAlN-coated tool |
| US20140169891A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Kennametal, Inc. | Tool For The Cutting Machining Of Workpieces And Process For Coating Substrate Bodies |
| US9126273B2 (en) * | 2012-12-17 | 2015-09-08 | Kennametal Inc | Tool for the cutting machining of workpieces and process for coating substrate bodies |
| CN103568428A (zh) * | 2013-11-14 | 2014-02-12 | 厦门建霖工业有限公司 | 一种应用于工程塑料上的硬质膜结构及其制备方法 |
| US10384269B2 (en) | 2014-11-13 | 2019-08-20 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool |
| WO2016076386A1 (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-19 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP2016175161A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP2016221672A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2016190332A1 (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2017077801A1 (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-11 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
| JP2017088937A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 株式会社Ihi | 耐食性コーティングを有するエンジン用圧縮機翼およびそのコーティング方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Effective date: 20040817 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |