JPH1163993A - 測量機のレーザー光照射方向補正光学系 - Google Patents

測量機のレーザー光照射方向補正光学系

Info

Publication number
JPH1163993A
JPH1163993A JP9228743A JP22874397A JPH1163993A JP H1163993 A JPH1163993 A JP H1163993A JP 9228743 A JP9228743 A JP 9228743A JP 22874397 A JP22874397 A JP 22874397A JP H1163993 A JPH1163993 A JP H1163993A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical axis
optical system
laser light
correction
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9228743A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3976850B2 (ja
Inventor
Fumio Otomo
文夫 大友
Ikuo Ishinabe
郁夫 石鍋
Junichi Furuhira
純一 古平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Priority to JP22874397A priority Critical patent/JP3976850B2/ja
Priority to US09/140,338 priority patent/US6253457B1/en
Publication of JPH1163993A publication Critical patent/JPH1163993A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3976850B2 publication Critical patent/JP3976850B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/002Active optical surveying means
    • G01C15/004Reference lines, planes or sectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/64Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image
    • G02B27/646Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image compensating for small deviations, e.g. due to vibration or shake
    • G02B27/648Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image compensating for small deviations, e.g. due to vibration or shake for automatically maintaining a reference alignment, e.g. in self-levelling surveying instruments
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S33/00Geometrical instruments
    • Y10S33/21Geometrical instruments with laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 出射光軸の補正精度の劣化を避けつつ被照射
対象にレーザー光を結像させることのできる測量機のレ
ーザー光照射方向補正光学系を提供する。 【解決手段】本発明の測量機のレーザー光照射方向補正
光学系は、出射されたレーザー光の出射光軸が特定方向
を指向するように装置本体の傾き姿勢に応じて出射光軸
を補正する光軸補正光学系と、レーザー光源と光軸補正
光学系17との間に設けられて、レーザー光源から出射
されたレーザー光の光軸補正光学系17に入射する入射
光軸を装置本体の傾き姿勢に応じて補正する傾斜角補正
光学系と、光軸補正光学系17が対物レンズ19からな
り、対物レンズ19はその光軸上の主平面Hの位置が固
定され、かつ、レーザー光の結像位置を変更可能な焦点
距離可変レンズから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光を特定
方向に照射する測量機のレーザー光照射方向補正光学系
の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】測量機には、例えば、レーザー光を水平
面内で回転させて基準面を生成する回転レーザー照射装
置を有するものが知られている。図9はその回転レーザ
ー照射装置の一例を示している。この回転レーザー照射
装置は、レーザー光源としての可視半導体レーザー1、
コリメータレンズ2、傾斜角補正光学系3、レーザー回
転走査光学系4を備えている。
【0003】その可視半導体レーザー1は発振器5aと
LD駆動回路5bとからなるパルス駆動回路5により駆
動される。コリメータレンズ2は可視半導体レーザー1
から出射されたレーザー光を平行光束P1に変換する。
その平行光束P1は傾斜角補正光学系3に入射される。
【0004】レーザー回転走査光学系4は鉛直方向指向
光学系6とこれに入射したレーザー光を水平方向に反射
するペンタプリズム7とを備えている。そのペンタプリ
ズム7は回転載置台8に設けられ、これによりペンタプ
リズム7が回転され、レーザー光が水平面内で回転照射
され、被照射対象に照射される。
【0005】傾斜角補正光学系3は、オイルバス10、
封入ガラス11、12からなるX面内傾き補正系とこの
X面内傾き補正系に対して垂直なY面内傾き補正系とを
備え、X面内傾き補正系はオイルバス10、封入ガラス
11、12、このオイルバス12に封入されたオイル1
3からなり、Y面内傾き補正系は一対のプリズム14、
15からなっている。オイル13は装置本体の傾きに拘
わらず水平に維持され、平行光束P1は装置本体の傾き
に応じてオイル13の裏面13aによりX面内での反射
方向が補正されてY面内傾き補正系に導かれ、このY面
内傾き補正系によりY面内での傾きが補正されて鉛直方
向指向光学系6に導かれ、傾斜角補正光学系3は、可視
半導体レーザー1と鉛直方向指向光学系6との間に存在
して、可視半導体レーザー1から出射された平行光束P
1の鉛直方向指向光学系6に入射する入射光軸θinを
装置本体の傾き姿勢に応じて補正する役割を果たす。
【0006】鉛直方向指向光学系6は、反射ミラー16
と光軸補正光学系17とからなっている。光軸補正光学
系17は対物レンズ18、19からなっている。この光
軸補正光学系17は、入射されたレーザー光の出射光軸
が鉛直方向(特定方向)を指向するように装置本体の傾
き姿勢に応じて出射光軸を補正する役割を果たす。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、測量機で
は、被照射対象までの距離は実用上一定ではなく、各距
離に応じて照射効率を変更可能とするために、レーザー
光を被照射対象に合焦させる機能を光軸補正光学系17
に付加することが要望されている。すなわち、被照射対
象にレーザー光を平行光束として照射するのではなく
て、被照射対象にレーザー光を結像光束として照射する
ことが要望されている。
【0008】特に、レーザー光が可視光の場合、レーザ
ー光を平行光束として照射すると距離が遠くなるに従っ
て見えにくくなるから、被照射対象にレーザー光を結像
させることが望まれている。
【0009】しかしながら、従来の回転レーザー照射装
置では、傾斜角補正光学系3で補正後に光軸補正光学系
17に入射させるため、光軸補正光学系17の対物レン
ズ18を光軸O方向に移動させて、被照射対象にレーザ
ー光を合焦させようとすると、入射されたレーザー光の
出射光軸が特定方向からずれ、以下に説明する理由によ
り出射光軸の傾き補正精度が劣化するという問題点が発
生する。
【0010】図10(a)に示すように、対物レンズ1
8に入射する平行光束の光軸補正光学系17の光軸Oに
対する入射光軸の傾き角度をθin、対物レンズ19か
ら出射される平行光束の光軸補正光学系17に対する出
射光軸の傾き角度をθout、対物レンズ18の焦点距
離をfa、対物レンズ19の焦点距離をfbとし、対物
レンズ17の焦点と対物レンズ18の焦点とを一致させ
ると、対物レンズ18に入射する平行光束は焦点位置f
aでかつ像高yの位置に一旦結像され、対物レンズ19
から再び平行光束として出射され、入射光軸の角度θi
nと出射光軸の傾き角度θoutとの間には、角倍率を
rとして、θout=r・θinの関係がある。
【0011】但し、r=fa/fb 次に、対物レンズ19を図10(b)に破線で示すよう
に光軸Oに沿って矢印方向に△Xだけ移動させることに
より、被照射対象に結像させるものとすると、出射光軸
の傾き角度θout(s)が対物レンズ19から被照射
対象までの距離に応じて△θoutほど無限遠の場合の
出射光軸の傾き角度θout(∞)に対して狂いが生
じ、出射光軸の補正精度が劣化する。なお、Sは対物レ
ンズ19から被照射対象までの光軸方向の距離(結像位
置までの距離)である。
【0012】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、その目的とするところは、出射光軸の補正精度の
劣化を避けつつ被照射対象にレーザー光を結像させるこ
とのできる測量機のレーザー光照射方向補正光学系を提
供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の測量機のレーザー光照射方向補正光学系は、入射され
たレーザー光の出射光軸が特定方向を指向するように装
置本体の傾き姿勢に応じて前記出射光軸を補正する光軸
補正光学系と、レーザー光源と前記光軸補正光学系との
間に設けられて、前記レーザー光源から出射されたレー
ザー光の前記光軸補正光学系に入射する入射光軸を前記
装置本体の傾き姿勢に応じて補正する傾斜角補正光学系
と、前記光軸補正光学系が対物レンズからなり、該対物
レンズはその光軸上の主平面位置が固定され、かつ、前
記レーザー光の結像位置を変更可能な焦点距離可変レン
ズから構成されている。
【0014】本発明の請求項2に記載の測量機のレーザ
ー光照射方向補正光学系は、前記対物レンズが一群のレ
ンズから構成されている。
【0015】本発明の請求項3に記載の測量機のレーザ
ー光照射方向補正光学系は、入射されたレーザー光の出
射光軸が特定方向を指向するように装置本体の傾き姿勢
に応じて前記出射光軸を補正する光軸補正光学系と、レ
ーザー光源と前記光軸補正光学系との間に設けられて、
前記レーザー光源から出射されたレーザー光の前記光軸
補正光学系に入射する入射光軸を前記装置本体の傾き姿
勢に応じて補正する傾斜角補正光学系と、前記光軸補正
光学系が二群の対物レンズからなり、該対物レンズはそ
の光軸上の合成主平面位置が固定されている。
【0016】本発明の請求項4に記載の測量機のレーザ
ー光照射方向補正光学系は、前記二群のレンズの少なく
とも一方が光軸方向に移動可能である。
【0017】本発明の請求項5に記載の測量機のレーザ
ー光照射方向補正光学系は、前記二群のレンズのうちレ
ーザー光源側のレンズが光軸方向に移動可能である。
【0018】
【発明の実施の形態】
【0019】
【発明の原理】本発明の理解の容易化を図るために、対
物レンズ18、19が図1に示すように薄肉レンズであ
るとして説明する。対物レンズ18、19の光軸O上の
位置PO1、PO2はそのレンズの主平面の位置を示し
ている。可視半導体レーザー1(レーザー光源)から出
射されたレーザー光の平行光束P1は焦点距離faの対
物レンズ18に入射し、そのレーザー光の入射光軸の傾
き角度はθinであり、像高yの光源像Soが形成され
る。その像高yの光源像Soは、この光源像Soから距
離lだけ光軸方向に離れて配置された焦点距離fbの対
物レンズ19により被照射対象に照射される。距離lと
焦点距離fbとが等しければ、対物レンズ19から出射
されたレーザー光は平行光束として照射され、その出射
光軸の傾き角度はθoutとなる。距離lが焦点距離f
bよりも大きければ、対物レンズ19から出射されたレ
ーザー光は結像光束となる。
【0020】従って、対物レンズ19の主平面の位置P
O2を固定して、対物レンズ19の焦点距離fbが距離
lよりも小さくなるように変化させれば、結像光束を得
ることができる。また、出射光軸の傾き角度θoutは
距離lと像高yとの比(y/l)で決まるから、対物レ
ンズ19の主平面の位置PO2を固定すれば、出射光軸
の角度θoutは変化しない。なお、図1において、B
eは対物レンズ19によって得られた像高Yの二次光源
像を示す。
【0021】そこで、以下に説明する発明の実施の形態
を採用する。
【0022】
【発明の実施の形態1】対物レンズ19を液体レンズ又
は液晶等を用いた焦点距離可変レンズにより構成する。
図2に示すように、光源像Soから対物レンズ19まで
の距離をS1(発明の原理で説明した距離lと同じ)、
対物レンズ19から結像位置までの距離をS2とし、対
物レンズ19の主平面Hの光軸O上の位置PO2から右
向きに図った場合を正、左向きに図った場合を負とし
て、結像公式を作ると、 1/S2=1/fb+1/S1 …(1) fb=S1・S2/(S1−S2) …(2) 距離S2が∞のとき、(1)式からS1=−fb(∞)
である。ここで、fb(∞)は距離S2を無限大にした
ときの対物レンズ19の焦点距離を意味する。
【0023】従って、S1=−fb(∞)を(2)式に
代入すると、 fb=−S2・fb(∞)/(−fb(∞)−S2) 上記式を変形して、 fb=S2・fb(∞)/(fb(∞)+S2) …(3) 従って、上記(3)式の条件を満足するように焦点距離
fbを変化させることにより、出射光軸の傾き角度θo
utを一定として、レーザービームの結像位置を変化さ
せることができる。何故なら、光源像Soから対物レン
ズ19の主平面Hの位置PO2までの距離S1は、S1
=−fb(∞)=lに固定されているからである。
【0024】すなわち、入射されたレーザー光の出射光
軸が特定方向を指向するように装置本体の傾き姿勢に応
じて前記出射光軸を補正する光軸補正光学系17と、レ
ーザー光源と光軸補正光学系17との間に設けられて、
レーザー光源から出射されたレーザー光の光軸補正光学
系17に入射する入射光軸を装置本体の傾き姿勢に応じ
て補正する傾斜角補正光学系3とを備えた測量機のレー
ザー光照射方向補正光学系において、光軸補正光学系1
7の対物レンズ19の光軸上の主平面Hの位置を固定
し、かつ、レーザー光の結像位置を変更可能な焦点距離
可変レンズを用いれば、出射光軸の補正精度の劣化を避
けつつ被照射対象にレーザー光を結像させることができ
る。
【0025】
【発明の実施の形態2】ここでは、図3に示すように、
対物レンズ19が二群のレンズ19a、19bから構成
されている。このレンズ19a、19bは光軸上に間隔
dを開けて設けられている。ここでいう、間隔とはレン
ズの19aの中心からレンズ19bの中心までの距離を
いう。レンズ19aの焦点距離をf1、レンズ19bの
焦点距離をf2とすると、合成レンズの焦点距離fは、
1/f=(1/f1)+(1/f2)−d/(f1・f
2)である。
【0026】この式を変形して、dを求めると、 d=−(f1・f2)/f+(f1+f2) …(4) また、合成レンズの合成前側主平面H1のレンズ19a
からの距離をol、合成レンズの合成後側主平面H2の
レンズ19bからの距離をokとすると、 ol=d・f1/(f1+f2−d) ok=−d・f2/(f1+f2−d) である。
【0027】更に、レンズ19aから光源像Soまでの
距離をS1、レンズ19bから結像位置までの距離をS
2’、右向きに測った場合を正、左向きに図った場合を
負として、結像公式を作ると、 S2’=f2・((f1・S1/(S1+f1))−d)/((f1・S1/(S1+f1)−d+f2) =f2・(f1・S1−d(S1+f1)/(f1・S1+(f2−d)・(S1+f1)) …(5) また、光源像Soから合成前側主平面H1までの距離を
Ll、光源像Soから後側主平面までの距離をLk、光
源像Soからレンズ19bまでの距離をLとすると、 Ll=−S1+ol Lk=L+ok ここで、焦点距離f1、f2に基づく合成焦点距離fb
を変化させても、合成前側主平面H1の光軸上の位置
(光源像Soからの距離L1)が一定であれば、出射光
軸の傾き角度θoutは変化しない。
【0028】ここで、S2’=∞のとき、L1=f
(∞)の条件を満足させなければならないから、 S1=−(f(∞)−ol) …(6) 光源像Soからレンズ19bまでの距離Lは L=−S1+d …(7) 従って、(6)式の条件を満たしながら、レンズ19
a、19bの少なくとも一方を光軸方向に移動させて、
(4)式により求められるレンズ間隔dを変化させて、
合成焦点距離fを変化させれば、出射光軸の傾き角度θ
outを一定に保ちながら、レーザー光の結像位置を変
化させることができる。
【0029】ただし、距離S2’は、レンズ間隔dを変
化させるため、光源像Soから測った距離S2が△S
2’だけ変化することになるが、この変化量△S2’は
S2’に較べて非常に小さいので、無視できる。
【0030】例えば、レンズ19aの焦点距離f1を3
4.58mm、レンズ19bの焦点距離f2を75mm
とした場合、光学系から結像位置までの距離を変化させ
た場合、レンズ19aのレンズ位置とレンズ19bのレ
ンズ位置とは図4に示すように変化し、合焦距離の誤差
は図5に示すように変化し、各数値は以下の表1に示す
ように変化する。
【0031】
【表1】
【0032】
【発明の実施の形態3】光源像Soから合成前側主平面
H1までの距離L1を一定として説明したが、測量機の
光学系の場合、対物レンズ19には防水、防塵構造を採
用するため、レンズ19bを固定し、レンズ19aを移
動させる内焦式の構成とするのが望ましい。
【0033】そこで、前記(7)式に注目して、L=−
S1+d=一定とする。
【0034】上記式をS1が求められるように変形する
と、 S1=d−L …(8) 従って、Lが一定となるように、レンズ19aを移動さ
せれば、距離S1を変化させて射出角θoutを実質上
一定に保ちながら、合焦する機能を提供することができ
る。
【0035】実際には、光源像Soから合成前側主平面
H1までの距離L1が変化するため、角倍率rが変化す
るので、射出光軸の傾き角度θoutが△θ変化する。
【0036】しかし、距離L1の変化はレンズの移動量
に対して微小な値であり、実用上支障はない。
【0037】例えば、レンズ19bの焦点距離f2を7
5mm、レンズ19aの焦点距離を20mmとしたとき
の各数値を表2に示し、各レンズ19a、19bの位置
を図6に、距離L1の変化を1群のレンズと比較した例
を図7に合焦距離の誤差を図8にそれぞれ示す。
【0038】
【表2】
【0039】
【発明の効果】本発明の測量機のレーザー光照射方向補
正光学系は、以上説明したように構成したので、出射光
軸の補正精度の劣化を避けつつ被照射対象にレーザー光
を結像させることのできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の原理を説明するための光学模式図で
ある。
【図2】 本発明の実施の形態1の光学模式図である。
【図3】 本発明の実施の形態2の光学模式図である。
【図4】 図4に示す合焦距離を変化させた場合の光源
像に対するレンズ位置の変化を示すグラフである。
【図5】 図4に示す合焦距離の誤差を説明するための
グラフである。
【図6】 本発明の実施の形態3の合焦距離を変化させ
た場合の光源像に対するレンズ位置の変化を示すグラフ
である。
【図7】 本発明の実施の形態3の合焦距離を変化させ
た場合の光源像に対するレンズ位置の変化を示すグラフ
である。
【図8】 本発明の実施の形態3の合焦距離の誤差を説
明するためのグラフである。
【図9】 従来のレーザー光照射方向補正光学系の一例
を示す図である。
【図10】 従来のレーザー光照射方向補正光学系の不
具合を説明するための図であって、(a)は無限遠にレ
ーザー光を照射する場合のレンズ位置の説明図であり、
(b)は有限距離にレーザー光を照射結像させた場合の
レーザー光の出射光軸の傾き角度と無限遠に照射した場
合の出射光軸の傾き角度とのずれを説明するための図で
ある。
【符号の説明】
17…光軸補正光学系 19…対物レンズ H…主平面

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射されたレーザー光の出射光軸が特定
    方向を指向するように装置本体の傾き姿勢に応じて前記
    出射光軸を補正する光軸補正光学系と、 レーザー光源と前記光軸補正光学系との間に設けられ
    て、前記レーザー光源から出射されたレーザー光の前記
    光軸補正光学系に入射する入射光軸を前記装置本体の傾
    き姿勢に応じて補正する傾斜角補正光学系と、 前記光軸補正光学系が対物レンズからなり、該対物レン
    ズはその光軸上の主平面位置が固定され、かつ、前記レ
    ーザー光の結像位置を変更可能な焦点距離可変レンズか
    ら構成されている測量機のレーザー光照射方向補正光学
    系。
  2. 【請求項2】 前記対物レンズが一群のレンズから構成
    されている請求項1に記載の測量機のレーザー光照射方
    向補正光学系。
  3. 【請求項3】 入射されたレーザー光の出射光軸が特定
    方向を指向するように装置本体の傾き姿勢に応じて前記
    出射光軸を補正する光軸補正光学系と、 レーザー光源と前記光軸補正光学系との間に設けられ
    て、前記レーザー光源から出射されたレーザー光の前記
    光軸補正光学系に入射する入射光軸を前記装置本体の傾
    き姿勢に応じて補正する傾斜角補正光学系と、 前記光軸補正光学系が二群の対物レンズからなり、該対
    物レンズはその光軸上の合成主平面位置が固定されてい
    る測量機のレーザー光照射方向補正光学系。
  4. 【請求項4】 前記二群のレンズの少なくとも一方が光
    軸方向に移動可能である請求項3に記載の測量機のレー
    ザー光照射方向補正光学系。
  5. 【請求項5】 前記二群のレンズのうちレーザー光源側
    のレンズが光軸方向に移動可能である請求項4に記載の
    測量機のレーザー光照射方向補正光学系。
JP22874397A 1997-08-26 1997-08-26 測量機のレーザー光照射方向補正光学系 Expired - Lifetime JP3976850B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22874397A JP3976850B2 (ja) 1997-08-26 1997-08-26 測量機のレーザー光照射方向補正光学系
US09/140,338 US6253457B1 (en) 1997-08-26 1998-08-26 Laser beam direction correcting optical system for a surveying instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22874397A JP3976850B2 (ja) 1997-08-26 1997-08-26 測量機のレーザー光照射方向補正光学系

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1163993A true JPH1163993A (ja) 1999-03-05
JP3976850B2 JP3976850B2 (ja) 2007-09-19

Family

ID=16881138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22874397A Expired - Lifetime JP3976850B2 (ja) 1997-08-26 1997-08-26 測量機のレーザー光照射方向補正光学系

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6253457B1 (ja)
JP (1) JP3976850B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002122779A (ja) * 2000-10-15 2002-04-26 Akira Ishii 定倍率可変焦点結像方法および装置
JP2010286362A (ja) * 2009-06-12 2010-12-24 Topcon Corp 回転レーザ出射装置
CN114370846A (zh) * 2021-10-01 2022-04-19 中航洛阳光电技术有限公司 一种用于光电系统的高精度光轴校正方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4317639B2 (ja) * 2000-03-29 2009-08-19 株式会社トプコン レーザ測量機
JP3937154B2 (ja) * 2002-06-28 2007-06-27 株式会社トプコン 位置検出装置
DE102005042636A1 (de) * 2005-09-07 2007-03-15 Prüftechnik Dieter Busch AG Optisches Element zur Verbesserung einer Laser-Strahllage
US7392592B2 (en) 2005-10-07 2008-07-01 Milwaukee Electric Tool Corporation Ruggedized laser level
DE502006007272D1 (de) * 2006-10-19 2010-08-05 Sick Ag Optische Erfassungseinrichtung
DE102006060937A1 (de) * 2006-12-20 2008-06-26 Universität Bielefeld Verfahren zur Stabilisierung eines Laserstrahles
US7646554B2 (en) * 2007-03-05 2010-01-12 Prueftechnik Dieter Busch Ag Optical element for improving laser beam position
EP2789973B1 (de) * 2013-04-12 2017-11-22 Hexagon Technology Center GmbH Rotationslaser mit durch Aktuatoren gezielt verformbarer Linse
CN103954266B (zh) * 2014-05-15 2016-06-01 黑龙江大学 线性调频双光束激光外差测量入射角度的方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3237518A (en) * 1962-02-07 1966-03-01 Bausch & Lomb Mounting for compound telescope having parallel optical axes
US3588249A (en) * 1968-06-17 1971-06-28 Robert H Studebaker Laser beam survey apparatus
US3627429A (en) * 1968-08-14 1971-12-14 Spectra Physics Laser optical surveying instrument and method
AU6697874A (en) * 1973-03-28 1975-09-25 Commonwealth Of Australia, The Optical collimating alignment units
JP3474605B2 (ja) * 1993-06-25 2003-12-08 株式会社トプコン 対象反射物体検出装置
US6088156A (en) * 1993-06-28 2000-07-11 Olympus Optical Co., Ltd. Finder optical system
JP3621123B2 (ja) * 1993-12-28 2005-02-16 株式会社トプコン 測量機
US5838430A (en) * 1996-07-03 1998-11-17 Nearfield Systems Incorporated Dual beam laser device for linear and planar alignment
US6091487A (en) * 1997-09-09 2000-07-18 Spectra Precision, Inc. Laser transmitter incorporating auto scan dither zone
US5929983A (en) * 1997-10-29 1999-07-27 International Business Machines Corporation Optical apparatus for determining the height and tilt of a sample surface
JPH11133298A (ja) * 1997-10-29 1999-05-21 Olympus Optical Co Ltd 二次結像式ファインダー
US6097537A (en) * 1998-04-07 2000-08-01 Nikon Corporation Catadioptric optical system

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002122779A (ja) * 2000-10-15 2002-04-26 Akira Ishii 定倍率可変焦点結像方法および装置
JP2010286362A (ja) * 2009-06-12 2010-12-24 Topcon Corp 回転レーザ出射装置
CN114370846A (zh) * 2021-10-01 2022-04-19 中航洛阳光电技术有限公司 一种用于光电系统的高精度光轴校正方法
CN114370846B (zh) * 2021-10-01 2023-04-18 中航洛阳光电技术有限公司 一种用于光电系统的高精度光轴校正方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3976850B2 (ja) 2007-09-19
US6253457B1 (en) 2001-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5230236B2 (ja) 露光装置
JP3976850B2 (ja) 測量機のレーザー光照射方向補正光学系
US11409199B2 (en) Pattern drawing device
JPS61124919A (ja) 結像光学装置
JPS5857108A (ja) 光走査方式
US20200088979A1 (en) Optical apparatus
JP2004109219A (ja) 走査型光学顕微鏡
JP3463054B2 (ja) マルチビーム走査装置
JP2755400B2 (ja) 描画装置
JP5007070B2 (ja) 露光装置
JP2004258173A (ja) 光学走査装置
CN113260893A (zh) 光学系统
JPS62203117A (ja) 光ビ−ムのスキヤンニング装置
JPH10232363A (ja) 光走査装置
JPH08261734A (ja) 形状測定装置
JP2857395B2 (ja) 走査光学用レンズユニット
JPH0996757A (ja) 光路偏向装置
JP2005007427A (ja) レーザマーキング方法
JPH0729454Y2 (ja) 測量用レーザ光投光装置
WO2023112363A1 (ja) 光学系、マルチビーム投写光学系、マルチビーム投写装置、画像投写装置および撮像装置
KR910001796B1 (ko) 광(光)주사(走査)방법
JPS60200217A (ja) 光学走査装置
CN117029677A (zh) 一种基于激光传感器的vr凸面镜片的中心点的寻找方法及装置
JP2757311B2 (ja) 走査光学装置
JPH0670688B2 (ja) 走査光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040730

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051116

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060815

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061005

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070327

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070525

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070619

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070620

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150