JPH1164290A - 共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 - Google Patents
共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法Info
- Publication number
- JPH1164290A JPH1164290A JP9221310A JP22131097A JPH1164290A JP H1164290 A JPH1164290 A JP H1164290A JP 9221310 A JP9221310 A JP 9221310A JP 22131097 A JP22131097 A JP 22131097A JP H1164290 A JPH1164290 A JP H1164290A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test element
- sample
- laser beam
- irradiated
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- Prior art date
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置のバ
ックグラウンドを低くすることによって高感度で分析す
る。 【解決手段】被検元素の励起準位に非同調した波長のパ
ルスレーザビームを、上記被検元素の励起準位に同調し
た波長のパルスレーザビーム照射とは異なるタイミング
で、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過するように照射
する。
ックグラウンドを低くすることによって高感度で分析す
る。 【解決手段】被検元素の励起準位に非同調した波長のパ
ルスレーザビームを、上記被検元素の励起準位に同調し
た波長のパルスレーザビーム照射とは異なるタイミング
で、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過するように照射
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子線もしく
は光を試料に照射して、試料から放出される中性粒子
に、特定の被検元素の励起準位に同調した波長のパルス
レーザビームを照射して発生した光励起イオンを検出し
て、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べる
共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方
法に関する。
は光を試料に照射して、試料から放出される中性粒子
に、特定の被検元素の励起準位に同調した波長のパルス
レーザビームを照射して発生した光励起イオンを検出し
て、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調べる
共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、イオンビームを試料に照射して試
料から放出される二次イオンを検出する二次イオン質量
分析法は、固体の表面分析において最も高感度な分析法
として広く用いられてきた、しかしながら分析対象の半
導体デバイスの高密度化や高性能化により、更に高感度
な分析法が求められている。この要求を満たすことがで
きる有力な候補として、イオンビーム照射によって試料
から放出される中性粒子にレーザビームを照射してイオ
ンを発生させてこれを検出するレーザイオン化中性粒子
質量分析法が期待されている。
料から放出される二次イオンを検出する二次イオン質量
分析法は、固体の表面分析において最も高感度な分析法
として広く用いられてきた、しかしながら分析対象の半
導体デバイスの高密度化や高性能化により、更に高感度
な分析法が求められている。この要求を満たすことがで
きる有力な候補として、イオンビーム照射によって試料
から放出される中性粒子にレーザビームを照射してイオ
ンを発生させてこれを検出するレーザイオン化中性粒子
質量分析法が期待されている。
【０００３】このレーザイオン化中性粒子質量分析法が
従来の二次イオン質量分析法に比較して高感度な分析が
期待できるのは次の理由による。すなわち二次イオンの
発生割合が多くとも１％程度であるのに対して、９９％
以上は中性粒子であり、これを効率良くイオン化できれ
ば、大幅な感度向上が期待できるのである。また特定の
被検元素の励起準位に同調した波長のレーザビームを照
射する手法を共鳴法と言い、イオン化率をほぼ１００％
にするためのレーザ強度が小さくてよいため、他方の非
共鳴法に比べて特に高感度な分析が期待できる。
従来の二次イオン質量分析法に比較して高感度な分析が
期待できるのは次の理由による。すなわち二次イオンの
発生割合が多くとも１％程度であるのに対して、９９％
以上は中性粒子であり、これを効率良くイオン化できれ
ば、大幅な感度向上が期待できるのである。また特定の
被検元素の励起準位に同調した波長のレーザビームを照
射する手法を共鳴法と言い、イオン化率をほぼ１００％
にするためのレーザ強度が小さくてよいため、他方の非
共鳴法に比べて特に高感度な分析が期待できる。
【０００４】従来のレーザイオン化中性粒子質量分析装
置の例としては、特開平6−119905号公報記載の装置が
ある。従来の装置の原理について図２を用いて説明す
る。まず一次イオン源１からイオンビーム２が引き出さ
れ、一組の静電偏向板４およびアパーチャ５で構成され
るイオンビームパルス化機構６，互いに直交するする二
組の静電偏向板８で構成されるイオンビーム走査機構９
およびイオンビームレンズ１０を通して試料１２に照射
される。そして試料１２から放出された中性粒子１３に
パルスレーザビーム１５を照射することによってイオン
化した光イオン１６を質量分析計１７によって検出す
る。ここで共鳴法では、特定の被検元素の励起準位に同
調した波長のパルスレーザビーム１５を照射してイオン
化した被検元素の光イオンを検出する。
置の例としては、特開平6−119905号公報記載の装置が
ある。従来の装置の原理について図２を用いて説明す
る。まず一次イオン源１からイオンビーム２が引き出さ
れ、一組の静電偏向板４およびアパーチャ５で構成され
るイオンビームパルス化機構６，互いに直交するする二
組の静電偏向板８で構成されるイオンビーム走査機構９
およびイオンビームレンズ１０を通して試料１２に照射
される。そして試料１２から放出された中性粒子１３に
パルスレーザビーム１５を照射することによってイオン
化した光イオン１６を質量分析計１７によって検出す
る。ここで共鳴法では、特定の被検元素の励起準位に同
調した波長のパルスレーザビーム１５を照射してイオン
化した被検元素の光イオンを検出する。
【０００５】試料表面元素の二次元分布を得る場合に
は、イオンビーム２を、走査信号電圧を二組の静電偏向
板８に印加することによって試料上を走査させる。そし
てイオンビームの試料上の走査点に対応して、光イオン
強度を測定すれば、試料表面元素の二次元分布を高感度
で得ることができる。
は、イオンビーム２を、走査信号電圧を二組の静電偏向
板８に印加することによって試料上を走査させる。そし
てイオンビームの試料上の走査点に対応して、光イオン
強度を測定すれば、試料表面元素の二次元分布を高感度
で得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の共鳴
レーザイオン化中性粒子質量分析装置では、特定の被検
元素の励起準位に同調した波長のパルスレーザビームを
照射した時に、わずかに生じる被検元素以外の光イオン
については十分考慮されていなかった。このような被検
元素以外の光イオンは、質量分析計によってその多くは
分離され除去されるが、被検元素の質量数に近い場合に
は分離されず、被検元素の光イオン信号に重畳されてし
まう。すなわち被検元素分析のためのバックグラウンド
が高くなってしまい、検出感度が悪くなってしまうとい
う問題があった。
レーザイオン化中性粒子質量分析装置では、特定の被検
元素の励起準位に同調した波長のパルスレーザビームを
照射した時に、わずかに生じる被検元素以外の光イオン
については十分考慮されていなかった。このような被検
元素以外の光イオンは、質量分析計によってその多くは
分離され除去されるが、被検元素の質量数に近い場合に
は分離されず、被検元素の光イオン信号に重畳されてし
まう。すなわち被検元素分析のためのバックグラウンド
が高くなってしまい、検出感度が悪くなってしまうとい
う問題があった。
【０００７】本発明の目的は、従来の装置に比べて、バ
ックグラウンドを低くすることによって高感度で分析す
ることができる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装
置および分析方法を提供することにある。
ックグラウンドを低くすることによって高感度で分析す
ることができる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装
置および分析方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題は、荷電粒子線
もしくは光を試料に照射して、試料から放出される中性
粒子に、特定の被検元素の励起準位に同調した波長のパ
ルスレーザビームを照射して発生した光励起イオンを検
出して、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調
べる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置におい
て、被検元素の励起準位に非同調した波長のパルスレー
ザビームを、上記被検元素の励起準位に同調した波長の
パルスレーザビーム照射とは異なるタイミングで、かつ
試料上方のほぼ同じ領域を通過するように照射すること
を特徴とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置
とすることで達成される。
もしくは光を試料に照射して、試料から放出される中性
粒子に、特定の被検元素の励起準位に同調した波長のパ
ルスレーザビームを照射して発生した光励起イオンを検
出して、試料内の被検元素の濃度もしくは分布などを調
べる共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置におい
て、被検元素の励起準位に非同調した波長のパルスレー
ザビームを、上記被検元素の励起準位に同調した波長の
パルスレーザビーム照射とは異なるタイミングで、かつ
試料上方のほぼ同じ領域を通過するように照射すること
を特徴とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置
とすることで達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施例を図１を用
いて説明する。本装置は次のように動作させる。まず一
次イオン源１から引き出されたイオンビーム２は、パル
ス電圧電源３，一組の静電偏向板４およびアパーチャ５
で構成されるイオンビームパルス化機構６，走査電源７
および互いに直交する二組の静電偏向板８で構成される
イオンビーム走査機構９およびイオンビームレンズ１０
を通過して、最後に試料台１１上の試料１２に照射され
る。そして、まず第一にレーザ装置１４から波長を被検
元素の励起準位に非同調したパルスレーザビーム１５を
発生させ、これを試料１２から放出された中性粒子１３
に照射する。このとき発生した光イオン１６は、質量分
析計の前段に設けた偏向器１９にパルス電圧を印加して
質量分析計１７に導かれないようにする。
いて説明する。本装置は次のように動作させる。まず一
次イオン源１から引き出されたイオンビーム２は、パル
ス電圧電源３，一組の静電偏向板４およびアパーチャ５
で構成されるイオンビームパルス化機構６，走査電源７
および互いに直交する二組の静電偏向板８で構成される
イオンビーム走査機構９およびイオンビームレンズ１０
を通過して、最後に試料台１１上の試料１２に照射され
る。そして、まず第一にレーザ装置１４から波長を被検
元素の励起準位に非同調したパルスレーザビーム１５を
発生させ、これを試料１２から放出された中性粒子１３
に照射する。このとき発生した光イオン１６は、質量分
析計の前段に設けた偏向器１９にパルス電圧を印加して
質量分析計１７に導かれないようにする。
【００１０】第二にレーザ装置１４から波長を被検元素
の励起準位に同調したパルスレーザビーム１５′を発生
させ、これを前のパルスレーザが通過した領域とほぼ同
じ領域を通過するようにして中性粒子１３に照射する。
このとき発生した光イオン１６′は、質量分析計の前段
に設けた偏向器にはパルス電圧を印加しないで質量分析
計１７に導いて検出する。なお上記第一のレーザ照射と
第二のレーザ照射でのパルスレーザビームの強度はほぼ
等しくしておく。そしてイオンビームの試料上の走査点
に対応して、被検元素のみの光イオン強度を測定すれ
ば、試料表面の被検元素の二次元分布を高感度で得るこ
とができる。
の励起準位に同調したパルスレーザビーム１５′を発生
させ、これを前のパルスレーザが通過した領域とほぼ同
じ領域を通過するようにして中性粒子１３に照射する。
このとき発生した光イオン１６′は、質量分析計の前段
に設けた偏向器にはパルス電圧を印加しないで質量分析
計１７に導いて検出する。なお上記第一のレーザ照射と
第二のレーザ照射でのパルスレーザビームの強度はほぼ
等しくしておく。そしてイオンビームの試料上の走査点
に対応して、被検元素のみの光イオン強度を測定すれ
ば、試料表面の被検元素の二次元分布を高感度で得るこ
とができる。
【００１１】以上のようにした場合にバックグラウンド
が低くなることについて説明する。まず、第一のレーザ
照射ではパルスレーザの通過する領域に存在する全元素
がイオン化される。しかし元素の励起準位にはレーザ波
長が同調していない非共鳴イオン化であるためイオン化
率は低い。
が低くなることについて説明する。まず、第一のレーザ
照射ではパルスレーザの通過する領域に存在する全元素
がイオン化される。しかし元素の励起準位にはレーザ波
長が同調していない非共鳴イオン化であるためイオン化
率は低い。
【００１２】次に第二のレーザ照射では、レーザ波長が
被検元素の励起準位に同調している共鳴イオン化である
ため被検元素のみが高確率でイオン化される。この時、
第二のレーザ照射のパルスレーザビームの強度は第一の
レーザ照射のパルスレーザビームの強度とほぼ等しく、
すでに第一のレーザ照射によってイオン化されているた
め、第二のレーザ照射では被検元素以外の元素のイオン
化は少なくなる。したがってバックグラウンドが低くな
り高感度の分析が達成される。
被検元素の励起準位に同調している共鳴イオン化である
ため被検元素のみが高確率でイオン化される。この時、
第二のレーザ照射のパルスレーザビームの強度は第一の
レーザ照射のパルスレーザビームの強度とほぼ等しく、
すでに第一のレーザ照射によってイオン化されているた
め、第二のレーザ照射では被検元素以外の元素のイオン
化は少なくなる。したがってバックグラウンドが低くな
り高感度の分析が達成される。
【００１３】またこの時、第二のレーザ照射で被検元素
以外の元素がわずかながらイオン化される場合は、第一
のレーザ照射によって得られた上記光イオン強度もしく
は上記光イオン強度から推定されるバックグラウンドを
第二のレーザ照射で得られた被検元素の光イオン強度か
ら差し引けば、さらに高感度な分析が達成される。
以外の元素がわずかながらイオン化される場合は、第一
のレーザ照射によって得られた上記光イオン強度もしく
は上記光イオン強度から推定されるバックグラウンドを
第二のレーザ照射で得られた被検元素の光イオン強度か
ら差し引けば、さらに高感度な分析が達成される。
【００１４】ここで、イオンビームパルス化機構６とレ
ーザ装置１４は互いに同期を取って動作するように、コ
ンピュータ１８によって制御する。すなわちイオンビー
ムがパルス的に照射される毎に、まず第一にレーザ装置
１４から波長を被検元素の励起準位に非同調したパルス
レーザビーム１５が照射され、次にレーザ装置１４から
波長を被検元素の励起準位に同調したパルスレーザビー
ム１５が照射されるようにレーザ装置１４を制御する。
ーザ装置１４は互いに同期を取って動作するように、コ
ンピュータ１８によって制御する。すなわちイオンビー
ムがパルス的に照射される毎に、まず第一にレーザ装置
１４から波長を被検元素の励起準位に非同調したパルス
レーザビーム１５が照射され、次にレーザ装置１４から
波長を被検元素の励起準位に同調したパルスレーザビー
ム１５が照射されるようにレーザ装置１４を制御する。
【００１５】この実施例で用いたレーザ装置１４の構成
の例を試料上方向から見た図を図３に示す。本レーザ装
置はエキシマレーザ２０およびエキシマレーザ２０′励
起の色素レーザ２１を組合せて構成されている。エキシ
マレーザ２０は、波長を被検元素の励起準位に非同調し
たパルスレーザビーム１５を発生させ、色素レーザ２１
は波長を被検元素の励起準位に同調したパルスレーザビ
ーム１５′を発生させる。これらのパルスイオンビーム
は光学ミラー２２によって試料上方に導かれる。また既
に述べたように、これらのレーザ装置からパルスレーザ
ビーム１５，１５′が放出されるタイミングはコンピュ
ータ１８によって制御される。
の例を試料上方向から見た図を図３に示す。本レーザ装
置はエキシマレーザ２０およびエキシマレーザ２０′励
起の色素レーザ２１を組合せて構成されている。エキシ
マレーザ２０は、波長を被検元素の励起準位に非同調し
たパルスレーザビーム１５を発生させ、色素レーザ２１
は波長を被検元素の励起準位に同調したパルスレーザビ
ーム１５′を発生させる。これらのパルスイオンビーム
は光学ミラー２２によって試料上方に導かれる。また既
に述べたように、これらのレーザ装置からパルスレーザ
ビーム１５，１５′が放出されるタイミングはコンピュ
ータ１８によって制御される。
【００１６】なお本実施例ではイオンビームを試料に照
射したが、試料から中性粒子を放出せしめる荷電粒子や
光であってもよい。
射したが、試料から中性粒子を放出せしめる荷電粒子や
光であってもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、バックグラウンドを低
くすることによって高感度で分析するのに好適な共鳴レ
ーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法が提
供される。
くすることによって高感度で分析するのに好適な共鳴レ
ーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法が提
供される。
【図１】本発明の一実施例である共鳴レーザイオン化中
性粒子質量分析装置の構成を示す図。
性粒子質量分析装置の構成を示す図。
【図２】従来の装置の構成を示す図。
【図３】図１で使用したレーザ装置の構成を示す図。
１…一次イオン源、２…イオンビーム、３…パルス電圧
電源、４…一組の静電偏向板、５…アパーチャ、６…イ
オンビームパルス化機構、７…走査電源、８…二組の静
電偏向板、９…イオンビーム走査機構、１０…イオンビ
ームレンズ、１１…試料台、１２…試料、１３…中性粒
子、１４…レーザ装置、１５，１５′…レーザビーム、
１６，１６′…光イオン、１７…質量分析計、１８…コ
ンピュータ、１９…偏向器、２０，２０′…エキシマレ
ーザ、２１…ダイレーザ、２２…光学ミラー。
電源、４…一組の静電偏向板、５…アパーチャ、６…イ
オンビームパルス化機構、７…走査電源、８…二組の静
電偏向板、９…イオンビーム走査機構、１０…イオンビ
ームレンズ、１１…試料台、１２…試料、１３…中性粒
子、１４…レーザ装置、１５，１５′…レーザビーム、
１６，１６′…光イオン、１７…質量分析計、１８…コ
ンピュータ、１９…偏向器、２０，２０′…エキシマレ
ーザ、２１…ダイレーザ、２２…光学ミラー。
Claims (6)
- 【請求項１】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析装置において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射することを特徴とする共鳴レーザイオン化
中性粒子質量分析装置。 - 【請求項２】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析装置において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射し、この時発生した光励起イオンを、被検
元素の励起準位に同調した波長のパルスレーザビームを
照射して発生した光励起イオンとは分離することを特徴
とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置。 - 【請求項３】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析装置において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射し、被検元素の励起準位に非同調した波長
のパルスレーザビーム照射によって得られた該光イオン
強度もしくは上記光イオン強度から推定されるバックグ
ラウンドを、被検元素の励起準位に同調した波長のパル
スレーザビーム照射で得られた被検元素の光イオン強度
から差し引いて、被検元素の濃度もしくは分布などを調
べることを特徴とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量
分析装置。 - 【請求項４】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析方法において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射することを特徴とする共鳴レーザイオン化
中性粒子質量分析方法。 - 【請求項５】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析方法において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射し、この時発生した光励起イオンを、被検
元素の励起準位に同調した波長のパルスレーザビームを
照射して発生した光励起イオンとは分離することを特徴
とする共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析方法。 - 【請求項６】荷電粒子線もしくは光を試料に照射して、
試料から放出される中性粒子に、特定の被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビームを照射して発
生した光励起イオンを検出して、試料内の被検元素の濃
度もしくは分布などを調べる共鳴レーザイオン化中性粒
子質量分析方法において、被検元素の励起準位に非同調
した波長のパルスレーザビームを、上記被検元素の励起
準位に同調した波長のパルスレーザビーム照射とは異な
るタイミングで、かつ試料上方のほぼ同じ領域を通過す
るように照射し、被検元素の励起準位に非同調した波長
のパルスレーザビーム照射によって得られた上記光イオ
ン強度もしくは上記光イオン強度から推定されるバック
グラウンドを、被検元素の励起準位に同調した波長のパ
ルスレーザビーム照射で得られた被検元素の光イオン強
度から差し引いて、被検元素の濃度もしくは分布などを
調べることを特徴とする共鳴レーザイオン化中性粒子質
量分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221310A JPH1164290A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | 共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221310A JPH1164290A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | 共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164290A true JPH1164290A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16764802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9221310A Pending JPH1164290A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | 共鳴レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164290A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011159625A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-18 | Carl Zeiss Nts Gmbh | エネルギー伝達および／またはイオン輸送装置、およびこのような装置を備える粒子ビーム装置 |
| JP2011171296A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-09-01 | Carl Zeiss Nts Gmbh | イオンを集束および蓄積する装置、および圧力領域を分離する装置 |
| JP2015191887A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 株式会社東芝 | 質量分析装置および質量分析方法 |
| JP2017062204A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 清水建設株式会社 | コンクリート中の微量元素の分析方法および分析装置 |
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1997
- 1997-08-18 JP JP9221310A patent/JPH1164290A/ja active Pending
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