JPH1164623A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH1164623A5 JPH1164623A5 JP1997228338A JP22833897A JPH1164623A5 JP H1164623 A5 JPH1164623 A5 JP H1164623A5 JP 1997228338 A JP1997228338 A JP 1997228338A JP 22833897 A JP22833897 A JP 22833897A JP H1164623 A5 JPH1164623 A5 JP H1164623A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist layer
- openings
- opening window
- light
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、上述の課題を解決するために成されたもので、その特徴とするところは、受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のレジスト層を形成する第１の工程と、上記レジスト層を感光させて、上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、この開口部が形成される領域を除いた領域に上記所定膜厚よりも浅い凹部を形成する第２の工程と、上記開口部及び上記凹部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第３の工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第４の工程と、を含むことにある。
【課題を解決するための手段】
本願発明は、上述の課題を解決するために成されたもので、その特徴とするところは、受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のレジスト層を形成する第１の工程と、上記レジスト層を感光させて、上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、この開口部が形成される領域を除いた領域に上記所定膜厚よりも浅い凹部を形成する第２の工程と、上記開口部及び上記凹部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第３の工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第４の工程と、を含むことにある。
Claims (3)
- 受光素子あるいは表示素子が形成された基板の表面に所定のパターン形状を有するフィルタ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記基板の表面に所定膜厚のレジスト層を形成する第１の工程と、上記レジスト層を感光させて、上記基板の表面の一部を露出する開口部を形成すると共に、この開口部が形成される領域を除いた領域に上記所定膜厚よりも浅い凹部を形成する第２の工程と、上記開口部及び上記凹部が形成された上記レジスト層上に、上記開口部に露出した上記基板の表面を被って特定の色成分に対応付けられる顔料層を形成する第３の工程と、上記顔料層を上記開口部の底面部分を除いて上記レジスト層と共に除去する第４の工程と、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
- 上記第２の工程は、上記開口部の形成部分に対応する第１の開口窓及び上記凹部の形成部分に対応し、第１の開口窓よりも光透過率が低い第２の開口窓を有する露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 上記第２の工程は、上記開口部の形成部分に対応する開口窓を有する第１の露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射すると共に、上記凹部の形成部分に対応する開口窓を有する第２の露光マスクを通して上記レジスト層に光を照射することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22833897A JPH1164623A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22833897A JPH1164623A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164623A JPH1164623A (ja) | 1999-03-05 |
| JPH1164623A5 true JPH1164623A5 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=16874902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22833897A Pending JPH1164623A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1164623A (ja) |
-
1997
- 1997-08-25 JP JP22833897A patent/JPH1164623A/ja active Pending
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