JPH1166518A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH1166518A JPH1166518A JP22676597A JP22676597A JPH1166518A JP H1166518 A JPH1166518 A JP H1166518A JP 22676597 A JP22676597 A JP 22676597A JP 22676597 A JP22676597 A JP 22676597A JP H1166518 A JPH1166518 A JP H1166518A
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気特性を低下させることなくサーマルアス
ペリティに起因するノイズを低減した磁気抵抗効果型磁
気ヘッドおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子を有するアルミナ部３
上、およびアルミナ部３に対して段差によるリセスを有
するアルチック部２上に、ダイヤモンドライクカーボン
膜４をキャップ膜として形成する。次に、磁気抵抗効果
型磁気ヘッド１のアルチック部２にマスキングを施した
状態で、アルミナ部３にさらにダイヤモンドライクカー
ボン膜５をスパッタリングすることによりアルチック部
２とアルミナ部３と間のリセスをなくする。これによ
り、電気特性を低下させることなくサーマルアスペリテ
ィを抑制でき、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果型磁気
ヘッドを提供できる。
ペリティに起因するノイズを低減した磁気抵抗効果型磁
気ヘッドおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子を有するアルミナ部３
上、およびアルミナ部３に対して段差によるリセスを有
するアルチック部２上に、ダイヤモンドライクカーボン
膜４をキャップ膜として形成する。次に、磁気抵抗効果
型磁気ヘッド１のアルチック部２にマスキングを施した
状態で、アルミナ部３にさらにダイヤモンドライクカー
ボン膜５をスパッタリングすることによりアルチック部
２とアルミナ部３と間のリセスをなくする。これによ
り、電気特性を低下させることなくサーマルアスペリテ
ィを抑制でき、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果型磁気
ヘッドを提供できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造
方法に関し、特にスライダの空気軸受け面にリセスのな
い磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。
に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造
方法に関し、特にスライダの空気軸受け面にリセスのな
い磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置における記録密
度は、年率約５０％の割合で上昇している。この記録密
度の向上、すなわち、線記録密度およびトラック記録密
度の向上に伴って、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの浮上量
もより微小化の傾向にある。
度は、年率約５０％の割合で上昇している。この記録密
度の向上、すなわち、線記録密度およびトラック記録密
度の向上に伴って、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの浮上量
もより微小化の傾向にある。
【０００３】一方、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
は、磁気抵抗効果素子を形成したスライダを、加圧支持
ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付け、回転駆動
された磁気ディスク媒体上を所定の浮上量で浮揚させて
データの読み書きを行うように構成されているが、最近
の磁気抵抗効果型磁気ヘッドのように、例えば、約４０
〜５０ｎｍ程度の微小浮上高さで動作（浮揚）させる
と、スライダの空気軸受け面（浮揚面）が磁気ディスク
媒体面上に存在する微小突起と接触する機会が多くなっ
ている。
は、磁気抵抗効果素子を形成したスライダを、加圧支持
ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付け、回転駆動
された磁気ディスク媒体上を所定の浮上量で浮揚させて
データの読み書きを行うように構成されているが、最近
の磁気抵抗効果型磁気ヘッドのように、例えば、約４０
〜５０ｎｍ程度の微小浮上高さで動作（浮揚）させる
と、スライダの空気軸受け面（浮揚面）が磁気ディスク
媒体面上に存在する微小突起と接触する機会が多くなっ
ている。
【０００４】次に、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
主要部であるスライダの構成について、図面を参照して
具体的に説明する。図３は、従来の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に示
す側面図である。図３を参照すると、磁気抵抗効果型磁
気ヘッド（スライダ）１１は、浮動型の空気軸受け面を
有するスライダからなっており、このスライダは、例え
ば、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ（以下、アルチックという）か
らなる硬質基板（アルチック部１２）上に、Ａｌ2 Ｏ3
（以下、アルミナという）からなる下層シールド層，ギ
ャップ膜（図中、アルミナ部１３として示す）、磁気抵
抗効果膜からなる磁気抵抗効果素子１６，アルミナから
なる上層シールド層（図中、アルミナ部１３として示
す）が順次積層されている。そして、アルチック部１２
上およびアルミナ部１３上には、コーティング膜として
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜（以下ダイヤモン
ドライクカーボン膜という）１４が形成されている。
主要部であるスライダの構成について、図面を参照して
具体的に説明する。図３は、従来の磁気抵抗効果型磁気
ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に示
す側面図である。図３を参照すると、磁気抵抗効果型磁
気ヘッド（スライダ）１１は、浮動型の空気軸受け面を
有するスライダからなっており、このスライダは、例え
ば、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ（以下、アルチックという）か
らなる硬質基板（アルチック部１２）上に、Ａｌ2 Ｏ3
（以下、アルミナという）からなる下層シールド層，ギ
ャップ膜（図中、アルミナ部１３として示す）、磁気抵
抗効果膜からなる磁気抵抗効果素子１６，アルミナから
なる上層シールド層（図中、アルミナ部１３として示
す）が順次積層されている。そして、アルチック部１２
上およびアルミナ部１３上には、コーティング膜として
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜（以下ダイヤモン
ドライクカーボン膜という）１４が形成されている。
【０００５】ここで、従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッド
１１の空気軸受け面上には、アルチック部１２とアルミ
ナ部１３との間に段差がある。すなわち、磁気抵抗効果
素子１６を含むアルミナ部１３がアルチック部１２の面
に対してわずかに低く下がり、従って、コーティング膜
であるダイヤモンドライクカーボン膜１４には段差によ
るリセス(Recess)が生じている。
１１の空気軸受け面上には、アルチック部１２とアルミ
ナ部１３との間に段差がある。すなわち、磁気抵抗効果
素子１６を含むアルミナ部１３がアルチック部１２の面
に対してわずかに低く下がり、従って、コーティング膜
であるダイヤモンドライクカーボン膜１４には段差によ
るリセス(Recess)が生じている。
【０００６】これは、磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造
時において、スライダの空気軸受け面を研磨加工する際
に、アルチック部１２とアルミナ部１３との材質の硬度
が異なることから、硬度の小さいアルミナ部１３の方が
アルチック部１２よりも多く研磨され、その結果とし
て、アルミナ部１３の研磨面とアルチック部１２の研磨
面との間に段差が生じることによるものである。
時において、スライダの空気軸受け面を研磨加工する際
に、アルチック部１２とアルミナ部１３との材質の硬度
が異なることから、硬度の小さいアルミナ部１３の方が
アルチック部１２よりも多く研磨され、その結果とし
て、アルミナ部１３の研磨面とアルチック部１２の研磨
面との間に段差が生じることによるものである。
【０００７】このため、磁気ディスク装置の動作時に
は、磁気抵抗効果型磁気ヘッド（スライダ）の磁気ディ
スク媒体との空気流入方向に対する浮上姿勢（角度）を
示すピッチ角（図中、記号θで示す）に依存し、例え
ば、図３に示すように、ピッチ角θが大きい場合は、磁
気抵抗効果素子１６から離れたアルミナ部１３のエッジ
上のダイヤモンドライクカーボン膜１４が磁気ディスク
媒体１７と接触し（図中、符号Ｂで示す）、磁気ディス
ク媒体１７上を瞬時摺動する。
は、磁気抵抗効果型磁気ヘッド（スライダ）の磁気ディ
スク媒体との空気流入方向に対する浮上姿勢（角度）を
示すピッチ角（図中、記号θで示す）に依存し、例え
ば、図３に示すように、ピッチ角θが大きい場合は、磁
気抵抗効果素子１６から離れたアルミナ部１３のエッジ
上のダイヤモンドライクカーボン膜１４が磁気ディスク
媒体１７と接触し（図中、符号Ｂで示す）、磁気ディス
ク媒体１７上を瞬時摺動する。
【０００８】また、反対にピッチ角θが小さい場合は、
図４に示すように、磁気抵抗効果素子１６に近いアルチ
ック部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン１４が
磁気ディスク媒体と接触し（図中、符号Ｃで示す）、同
様に磁気ディスク媒体１７上を瞬時摺動する。
図４に示すように、磁気抵抗効果素子１６に近いアルチ
ック部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン１４が
磁気ディスク媒体と接触し（図中、符号Ｃで示す）、同
様に磁気ディスク媒体１７上を瞬時摺動する。
【０００９】磁気抵抗効果型磁気ヘッド１１が磁気ディ
スク媒体１７と接触摺動すると接触箇所で摩擦熱が発生
し、その発熱によって磁気抵抗効果素子１６の温度が上
昇する。そして、このとき磁気抵抗効果素子１６からノ
イズが発生するという現象が起きる。このような現象は
サーマルアスペリティと呼ばれている。
スク媒体１７と接触摺動すると接触箇所で摩擦熱が発生
し、その発熱によって磁気抵抗効果素子１６の温度が上
昇する。そして、このとき磁気抵抗効果素子１６からノ
イズが発生するという現象が起きる。このような現象は
サーマルアスペリティと呼ばれている。
【００１０】この磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおけるサ
ーマルアスペリティについては、磁気ディスク装置の信
頼性を損なうものとして、これを低減するための種々の
改善検討がはかられている。ここで、磁気抵抗効果素子
の耐熱性の向上をはかる技術として、例えば、特開平８
−２７３１２６号公報には、ギャップ膜が薄くなった場
合でも、良好な絶縁性を確保しつつ、電流密度の向上に
伴う熱伝導性の劣化を防止するため、ギャップ膜にダイ
ヤモンドライクカーボン膜を用いる技術が開示されてい
る。また、特開平６−２２３３３１号公報には、磁気抵
抗効果素子周辺の絶縁層に、熱伝導率と絶縁性に優れか
つ放熱効果のよいシリコンやダイヤモンドライクカーボ
ン膜を用いる技術が開示されている。
ーマルアスペリティについては、磁気ディスク装置の信
頼性を損なうものとして、これを低減するための種々の
改善検討がはかられている。ここで、磁気抵抗効果素子
の耐熱性の向上をはかる技術として、例えば、特開平８
−２７３１２６号公報には、ギャップ膜が薄くなった場
合でも、良好な絶縁性を確保しつつ、電流密度の向上に
伴う熱伝導性の劣化を防止するため、ギャップ膜にダイ
ヤモンドライクカーボン膜を用いる技術が開示されてい
る。また、特開平６−２２３３３１号公報には、磁気抵
抗効果素子周辺の絶縁層に、熱伝導率と絶縁性に優れか
つ放熱効果のよいシリコンやダイヤモンドライクカーボ
ン膜を用いる技術が開示されている。
【００１１】しかしながら、上述した従来の磁気抵抗効
果型磁気ヘッドでは、浮揚時におけるスライダのピッチ
角が小さい場合には、磁気抵抗効果素子に近いアルチッ
ク部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン膜が磁気
ディスク媒体と接触摺動するため、耐熱効果が減少して
サーマルアスペリティが発生する。
果型磁気ヘッドでは、浮揚時におけるスライダのピッチ
角が小さい場合には、磁気抵抗効果素子に近いアルチッ
ク部のエッジ上のダイヤモンドライクカーボン膜が磁気
ディスク媒体と接触摺動するため、耐熱効果が減少して
サーマルアスペリティが発生する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドのサーマルアスペリティの発生を回避するには、磁
気抵抗効果素子に対する耐熱性を向上させなければなら
ない。磁気抵抗効果素子の温度上昇に対する主な原因の
１つとしては、上述したように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に、その接触
点が磁気抵抗効果素子に近接しているため、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に
生じた摩擦熱が伝達され、磁気抵抗効果素子の温度が上
昇しやすいことにある。
ッドのサーマルアスペリティの発生を回避するには、磁
気抵抗効果素子に対する耐熱性を向上させなければなら
ない。磁気抵抗効果素子の温度上昇に対する主な原因の
１つとしては、上述したように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に、その接触
点が磁気抵抗効果素子に近接しているため、磁気抵抗効
果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触摺動した際に
生じた摩擦熱が伝達され、磁気抵抗効果素子の温度が上
昇しやすいことにある。
【００１３】本発明の目的は、このような従来の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドが有する課題を解決し、磁気抵抗効
果素子の温度上昇を抑制するとともに、磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサーマルア
スペリティを低減し、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果
型磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにあ
る。
抗効果型磁気ヘッドが有する課題を解決し、磁気抵抗効
果素子の温度上昇を抑制するとともに、磁気抵抗効果型
磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサーマルア
スペリティを低減し、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果
型磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することにあ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気抵抗効果型
磁気ヘッドは、アルチック基板からなる浮動型スライダ
の空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライダの
空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含むアル
ミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前
記磁気抵抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成した
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜を備えることを特
徴とする。
磁気ヘッドは、アルチック基板からなる浮動型スライダ
の空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライダの
空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含むアル
ミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前
記磁気抵抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成した
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜を備えることを特
徴とする。
【００１５】また、アルチック基板からなる浮動型スラ
イダの空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライ
ダの空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含む
アルミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおい
て、前記スライダの空気軸受け面の全面に形成したダイ
ヤモンド構造を有する第１のカーボン膜と、前記磁気抵
抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成したダイヤモ
ンド構造を有する第２のカーボン膜とを備えることを特
徴とする。
イダの空気流出端側の側面に形成され、かつこのスライ
ダの空気軸受け面に配置された磁気抵抗効果素子を含む
アルミナ部を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおい
て、前記スライダの空気軸受け面の全面に形成したダイ
ヤモンド構造を有する第１のカーボン膜と、前記磁気抵
抗効果素子を含むアルミナ部上のみに形成したダイヤモ
ンド構造を有する第２のカーボン膜とを備えることを特
徴とする。
【００１６】次に、上述した磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の製造方法であって、スライダの空気軸受け面のアル
チック部にマスキングを施す工程、アルミナ部にダイ
ヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする
工程、を含むことを特徴とする。
の製造方法であって、スライダの空気軸受け面のアル
チック部にマスキングを施す工程、アルミナ部にダイ
ヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする
工程、を含むことを特徴とする。
【００１７】また、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法は、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、スライダの空気軸受け面
の全面にダイヤモンド構造を有する第１のカーボン膜を
スパッタリングする工程、を含むことを特徴とする。
造方法は、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、スライダの空気軸受け面
の全面にダイヤモンド構造を有する第１のカーボン膜を
スパッタリングする工程、を含むことを特徴とする。
【００１８】さらに、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
製造方法は、スライダの空気軸受け面の全面にダイヤ
モンド構造を有する第１のカーボン膜をスパッタリング
する工程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、を含むことを特徴とする。
製造方法は、スライダの空気軸受け面の全面にダイヤ
モンド構造を有する第１のカーボン膜をスパッタリング
する工程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に
マスキングを施す工程、アルミナ部にダイヤモンド構
造を有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工
程、スライダの空気軸受け面のアルチック部に施した
マスキングを除去する工程、を含むことを特徴とする。
【００１９】本発明によれば、磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドと磁気ディスク媒体との接触点と、磁気抵抗効果素子
との距離を長くするとともに、ダイヤモンドライクカー
ボン膜の膜厚を増加させて段差によるリセスを解消する
ことにより、磁気抵抗効果素子の温度上昇を抑制し、サ
ーマルアスペリティを低減する。
ドと磁気ディスク媒体との接触点と、磁気抵抗効果素子
との距離を長くするとともに、ダイヤモンドライクカー
ボン膜の膜厚を増加させて段差によるリセスを解消する
ことにより、磁気抵抗効果素子の温度上昇を抑制し、サ
ーマルアスペリティを低減する。
【００２０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の構成について図面
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態を
示す磁気抵抗効果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接
触した状態を模式的に示す側面図である。なお、一般に
浮動型磁気ヘッドは、電磁変換素子を形成したスライダ
を、加圧支持ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付
けたものを示すが、本実施例においては、磁気抵抗効果
型磁気ヘッドは、特に磁気抵抗効果素子を形成したスラ
イダのことを示すものとする。
を参照して説明する。図１は、本発明の一実施の形態を
示す磁気抵抗効果型磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接
触した状態を模式的に示す側面図である。なお、一般に
浮動型磁気ヘッドは、電磁変換素子を形成したスライダ
を、加圧支持ばねの一端に設けたジンバル機構に取り付
けたものを示すが、本実施例においては、磁気抵抗効果
型磁気ヘッドは、特に磁気抵抗効果素子を形成したスラ
イダのことを示すものとする。
【００２１】図１を参照すると、本実施例における磁気
抵抗効果型磁気ヘッドの基本的な構成は従来と同様であ
って、磁気抵抗効果型磁気ヘッド１は、Ａｌ2 Ｏ3 −Ｔ
ｉＣ（以下、アルチックという）からなる硬質基板（ア
ルチック部２）上に、Ａｌ2Ｏ3 （以下、アルミナとい
う）からなる下層シールド層，ギャップ膜（図中、アル
ミナ部３として示す）、磁気抵抗効果膜からなる磁気抵
抗効果素子６およびアルミナからなる上層シールド層
（図中、アルミナ部３として示す）が順次積層されてい
る。また、アルチック部２上およびアルミナ部３上に
は、コーティング膜としてダイヤモンドライクカーボン
膜４が形成されている。
抵抗効果型磁気ヘッドの基本的な構成は従来と同様であ
って、磁気抵抗効果型磁気ヘッド１は、Ａｌ2 Ｏ3 −Ｔ
ｉＣ（以下、アルチックという）からなる硬質基板（ア
ルチック部２）上に、Ａｌ2Ｏ3 （以下、アルミナとい
う）からなる下層シールド層，ギャップ膜（図中、アル
ミナ部３として示す）、磁気抵抗効果膜からなる磁気抵
抗効果素子６およびアルミナからなる上層シールド層
（図中、アルミナ部３として示す）が順次積層されてい
る。また、アルチック部２上およびアルミナ部３上に
は、コーティング膜としてダイヤモンドライクカーボン
膜４が形成されている。
【００２２】そして、本実施例では、さらに磁気抵抗効
果型磁気ヘッド１のアルチック部２および磁気抵抗効果
素子６を含むアルミナ部３の浮揚面側（図中、磁気ディ
スク媒体７と対向する側）に、ダイヤモンドライクカー
ボン膜４を約１０ｎｍの厚さでスパッタリングを施す。
次に、アルチック部２上のダイヤモンドライクカーボン
膜４に対してマスキングを行い、アルミナ部３上のダイ
ヤモンドライクカーボン膜４上に、さらにダイヤモンド
ライクカーボン膜５を約１０ｎｍの厚さにスパッタリン
グを施す。すなわち、アルチック部２とアルミナ部３間
の段差によるリセスの箇所にダイヤモンドライクカーボ
ン膜５を形成する。
果型磁気ヘッド１のアルチック部２および磁気抵抗効果
素子６を含むアルミナ部３の浮揚面側（図中、磁気ディ
スク媒体７と対向する側）に、ダイヤモンドライクカー
ボン膜４を約１０ｎｍの厚さでスパッタリングを施す。
次に、アルチック部２上のダイヤモンドライクカーボン
膜４に対してマスキングを行い、アルミナ部３上のダイ
ヤモンドライクカーボン膜４上に、さらにダイヤモンド
ライクカーボン膜５を約１０ｎｍの厚さにスパッタリン
グを施す。すなわち、アルチック部２とアルミナ部３間
の段差によるリセスの箇所にダイヤモンドライクカーボ
ン膜５を形成する。
【００２３】これにより、磁気抵抗効果型磁気ヘッド１
に存在するリセスが解消される。その結果、磁気抵抗効
果型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置
は、磁気抵抗効果素子６に、アルチック部２上のダイヤ
モンドライクカーボン膜４のエッジ部と比べて、より離
れた位置にあるアルミナ部３上のダイヤモンドライクカ
ーボン膜５のエッジ部（図中、符号Ａで示す）に限定さ
れ、例えば、図２に示すように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド１（スライダ）のピッチ角（図中、記号θで示す）
が、図１に示す状態より小さい場合でも、磁気抵抗効果
型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置（同
様に符号Ａで示す）は変わらない。
に存在するリセスが解消される。その結果、磁気抵抗効
果型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置
は、磁気抵抗効果素子６に、アルチック部２上のダイヤ
モンドライクカーボン膜４のエッジ部と比べて、より離
れた位置にあるアルミナ部３上のダイヤモンドライクカ
ーボン膜５のエッジ部（図中、符号Ａで示す）に限定さ
れ、例えば、図２に示すように、磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド１（スライダ）のピッチ角（図中、記号θで示す）
が、図１に示す状態より小さい場合でも、磁気抵抗効果
型磁気ヘッド１と磁気ディスク媒体７との接触位置（同
様に符号Ａで示す）は変わらない。
【００２４】また、ダイヤモンドライクカーボン膜５の
有する耐熱効果により、接触摺動時における磁気抵抗効
果素子６の温度上昇を低減できる。これにより、磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサ
ーマルアスペリティの発生を抑制することができる。
有する耐熱効果により、接触摺動時における磁気抵抗効
果素子６の温度上昇を低減できる。これにより、磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの電気特性を低下させることなくサ
ーマルアスペリティの発生を抑制することができる。
【００２５】次に、上述した磁気抵抗効果型磁気ヘッド
の製造方法について説明する。
の製造方法について説明する。
【００２６】本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、公
知の技術を用いてアルチック基板上に磁気抵抗効果素子
やアルミナの保護層などを形成した後、浮揚型スライダ
の形状に研削加工し、さらにスライダの空気軸受け面を
研磨加工する。そして、この空気軸受け面のアルチック
部にマスキングを施し、アルミナ部にダイヤモンド構造
を有するカーボン膜をスパッタリングする。
知の技術を用いてアルチック基板上に磁気抵抗効果素子
やアルミナの保護層などを形成した後、浮揚型スライダ
の形状に研削加工し、さらにスライダの空気軸受け面を
研磨加工する。そして、この空気軸受け面のアルチック
部にマスキングを施し、アルミナ部にダイヤモンド構造
を有するカーボン膜をスパッタリングする。
【００２７】また、別の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法は、スライダの空気軸受け面を研磨加工後、スラ
イダの空気軸受け面のアルチック部にマスキングを施
し、アルミナ部にダイヤモンド構造を有するカーボン膜
をスパッタリングする。そして、マスキングを除去する
と、さらにスライダの空気軸受け面の全面にダイヤモン
ド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする。
造方法は、スライダの空気軸受け面を研磨加工後、スラ
イダの空気軸受け面のアルチック部にマスキングを施
し、アルミナ部にダイヤモンド構造を有するカーボン膜
をスパッタリングする。そして、マスキングを除去する
と、さらにスライダの空気軸受け面の全面にダイヤモン
ド構造を有するカーボン膜をスパッタリングする。
【００２８】このとき、最初にスライダの空気軸受け面
の全面にダイヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッ
タリングし、後にアルミナ部にダイヤモンド構造を有す
るカーボン膜をスパッタリングしてもよい。
の全面にダイヤモンド構造を有するカーボン膜をスパッ
タリングし、後にアルミナ部にダイヤモンド構造を有す
るカーボン膜をスパッタリングしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気抵抗
効果型磁気ヘッドおよびその製造方法によれば、アルチ
ック部とアルミナ部との間に生じるリセスを除去するこ
とにより、磁気ディスク媒体との接触摺動時における磁
気抵抗効果素子の温度上昇を低減できるため、電気特性
を低下させることなくサーマルアスペリティの発生を抑
制でき、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッド
を提供できるという効果がある。
効果型磁気ヘッドおよびその製造方法によれば、アルチ
ック部とアルミナ部との間に生じるリセスを除去するこ
とにより、磁気ディスク媒体との接触摺動時における磁
気抵抗効果素子の温度上昇を低減できるため、電気特性
を低下させることなくサーマルアスペリティの発生を抑
制でき、ノイズ発生の少ない磁気抵抗効果型磁気ヘッド
を提供できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態を示す磁気抵抗効果型磁
気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に
示す側面図である。
気ヘッドが磁気ディスク媒体に接触した状態を模式的に
示す側面図である。
【図２】図１においてピッチ角が小さいときの磁気抵抗
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。
【図３】従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドが磁気ディス
ク媒体に接触した状態を模式的に示す側面図である。
ク媒体に接触した状態を模式的に示す側面図である。
【図４】図３においてピッチ角が小さいときの磁気抵抗
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。
効果型磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との関係を模式的
に示す側面図である。
１，１１ 磁気抵抗効果型磁気ヘッド ２，１２ アルチック部 ３，１３ アルミナ部 ４，５，１４ ダイヤモンドライクカーボン膜 ６，１６ 磁気抵抗効果素子 ７，１７ 磁気ディスク媒体
Claims (5)
- 【請求項１】 アルチック（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）基板
からなる浮動型スライダの空気流出端側の側面に形成さ
れ、かつこのスライダの空気軸受け面に配置された磁気
抵抗効果素子を含むアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部を有する
磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果
素子を含むアルミナ部上のみにダイヤモンド構造を有す
るカーボン膜を備えることを特徴とする磁気抵抗効果型
磁気ヘッド。 - 【請求項２】 アルチック（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）基板
からなる浮動型スライダの空気流出端側の側面に形成さ
れ、かつこのスライダの空気軸受け面に配置された磁気
抵抗効果素子を含むアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部を有する
磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記スライダの空
気軸受け面の全面に形成したダイヤモンド構造を有する
第１のカーボン膜と、前記磁気抵抗効果素子を含むアル
ミナ部上のみに形成したダイヤモンド構造を有する第２
のカーボン膜とを備えることを特徴とする磁気抵抗効果
型磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （２）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有するカーボン膜をスパッタリングする工程 - 【請求項４】 請求項２記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （２）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工程 （３）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部に施したマスキングを除去する工程 （４）スライダの空気軸受け面の全面にダイヤモンド構
造を有する第１のカーボン膜をスパッタリングする工程 - 【請求項５】 請求項２記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法であって、次の工程を含むことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。 （１）スライダの空気軸受け面の全面にダイヤモンド構
造を有する第１のカーボン膜をスパッタリングする工程 （２）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部にマスキングを施す工程 （３）アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）部にダイヤモンド構造を
有する第２のカーボン膜をスパッタリングする工程 （４）スライダの空気軸受け面のアルチック（Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ）部に施したマスキングを除去する工程
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676597A JPH1166518A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22676597A JPH1166518A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1166518A true JPH1166518A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=16850274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22676597A Pending JPH1166518A (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1166518A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243234B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-06-05 | Maxtor Corporation | Disk drive including slider with contact edge and recessed read transducer |
| US6947259B2 (en) | 2002-07-30 | 2005-09-20 | Tdk Corporation | Magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP22676597A patent/JPH1166518A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6243234B1 (en) * | 1998-05-21 | 2001-06-05 | Maxtor Corporation | Disk drive including slider with contact edge and recessed read transducer |
| US6947259B2 (en) | 2002-07-30 | 2005-09-20 | Tdk Corporation | Magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001212 |