JPH116860A - 半導体試験装置 - Google Patents
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- JPH116860A JPH116860A JP9159970A JP15997097A JPH116860A JP H116860 A JPH116860 A JP H116860A JP 9159970 A JP9159970 A JP 9159970A JP 15997097 A JP15997097 A JP 15997097A JP H116860 A JPH116860 A JP H116860A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＤＵＴの電源電流測定における大電流測定レン
ジのレンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可
能な電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプ
ログラマブル電源を提供する。 【解決手段】常時電源電流を流す第１の抵抗に直列に挿
入して接続する第１の制御スイッチを具備し、第１の制
御スイッチを常時ＯＮ状態に駆動する手段を具備する。
ジのレンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可
能な電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプ
ログラマブル電源を提供する。 【解決手段】常時電源電流を流す第１の抵抗に直列に挿
入して接続する第１の制御スイッチを具備し、第１の制
御スイッチを常時ＯＮ状態に駆動する手段を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体試験装置
において、被試験デバイスへの電源供給用として使用さ
れるプログラマブル電源が有する電源電流測定回路に関
する。
において、被試験デバイスへの電源供給用として使用さ
れるプログラマブル電源が有する電源電流測定回路に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術例について図４のプログラマブ
ル電源の要部回路構成図を示して以下に説明する。プロ
グラマブル電源は、被試験デバイスへ所望の電源電圧を
供給するものであり、ＤＵＴへ供給すべき最大電流は１
Ａ近くまで供給可能である。このプログラマブル電源に
はＤＵＴの電源電流を測定する機能回路が内蔵されてい
る。一方、ＤＵＴの電源電流は、品種により数μＡ〜１
Ａと極めて幅広い。従ってＤＵＴの電源電流を測定する
為には、複数のレンジ切替えにより電流測定する必要が
ある。
ル電源の要部回路構成図を示して以下に説明する。プロ
グラマブル電源は、被試験デバイスへ所望の電源電圧を
供給するものであり、ＤＵＴへ供給すべき最大電流は１
Ａ近くまで供給可能である。このプログラマブル電源に
はＤＵＴの電源電流を測定する機能回路が内蔵されてい
る。一方、ＤＵＴの電源電流は、品種により数μＡ〜１
Ａと極めて幅広い。従ってＤＵＴの電源電流を測定する
為には、複数のレンジ切替えにより電流測定する必要が
ある。
【０００３】プログラマブル電源の要部回路構成例は、
図４に示すように、ＤＡ変換器２０と、抵抗Ｒ１１、Ｒ
１２と、差動パワーアンプ３０と、バッファアンプ４０
と、大電流測定部１００と、小電流測定部２００と、ス
イッチ制御部３００とを具備する構成で成る。この構成
における小電流測定部２００は、大電流測定部１００側
で測定できない微少なＤＵＴ電源電流を測定するもので
ある。この小電流測定部を使用しない場合は、この入出
力両端間を制御スイッチで閉じて無用の電圧ドロップし
ないように制御される。尚、この小電流測定部２００に
ついては本課題と直接関係ないので内部構成及びその説
明は省く。
図４に示すように、ＤＡ変換器２０と、抵抗Ｒ１１、Ｒ
１２と、差動パワーアンプ３０と、バッファアンプ４０
と、大電流測定部１００と、小電流測定部２００と、ス
イッチ制御部３００とを具備する構成で成る。この構成
における小電流測定部２００は、大電流測定部１００側
で測定できない微少なＤＵＴ電源電流を測定するもので
ある。この小電流測定部を使用しない場合は、この入出
力両端間を制御スイッチで閉じて無用の電圧ドロップし
ないように制御される。尚、この小電流測定部２００に
ついては本課題と直接関係ないので内部構成及びその説
明は省く。
【０００４】ＤＵＴを試験する為に、この電源端子点で
の電圧は、電源電流の変動に関わらず常に所定電圧に安
定化する必要がある。この為に、電源供給ケーブル（Fo
rce）とは別の帰還ケーブル（Sence）が電圧センス用と
して使用される。ＤＵＴの電源端子点の電圧は帰還ケー
ブルの線路により受けバッファアンプ４０によりバッフ
ァした後、帰還用抵抗Ｒ１２を介して差動パワーアンプ
３０の負入力端に帰還される。この結果、大電流測定部
１００、小電流測定部２００、及び電源供給ケーブルで
の電圧ドロップの影響を受けず、常に所定電圧がＤＵＴ
電源端子点に印加される。
の電圧は、電源電流の変動に関わらず常に所定電圧に安
定化する必要がある。この為に、電源供給ケーブル（Fo
rce）とは別の帰還ケーブル（Sence）が電圧センス用と
して使用される。ＤＵＴの電源端子点の電圧は帰還ケー
ブルの線路により受けバッファアンプ４０によりバッフ
ァした後、帰還用抵抗Ｒ１２を介して差動パワーアンプ
３０の負入力端に帰還される。この結果、大電流測定部
１００、小電流測定部２００、及び電源供給ケーブルで
の電圧ドロップの影響を受けず、常に所定電圧がＤＵＴ
電源端子点に印加される。
【０００５】大電流測定部１００は、ＤＵＴ電源電流の
大電流を測定するものである。この内部構成例として
は、電流検出用の抵抗Ｒ１、Ｒ２と、制御スイッチＳＷ
１と、電位差検出器５０と、ＡＤ変換器６０とで成る。
制御スイッチＳＷ２と、これに対応するスイッチ制御部
３００の発光ダイオードＤ２とは、一対のフォトモスリ
レーを形成していて、電気的に絶縁された電子スイッチ
である。ここで制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値はｒ２
とする。抵抗Ｒ１、Ｒ２は、電源電流を電圧に変換する
ものである。抵抗Ｒ１は常時電源電流を流す抵抗であ
り、抵抗Ｒ２は測定レンジを拡大する為の分流用抵抗で
あり、両抵抗は同一の低抵抗値Ｒaを使用する場合と仮
定する。電流測定レンジの切替えは、制御スイッチＳＷ
１のＯＮ／ＯＦＦ制御によって、例えば０．８Ａ／０．
４Ａレンジとして切替え使用される。電位差検出器５０
は、抵抗Ｒ１の両端の電圧信号を受けて、両電圧の差分
電圧を等倍あるいは所定倍率に増幅してＡＤ変換器６０
へ供給する。そしてＡＤ変換器６０は、このアナログ入
力電圧をデジタルデータに変換して電源電流の測定デー
タとして外部に出力する。
大電流を測定するものである。この内部構成例として
は、電流検出用の抵抗Ｒ１、Ｒ２と、制御スイッチＳＷ
１と、電位差検出器５０と、ＡＤ変換器６０とで成る。
制御スイッチＳＷ２と、これに対応するスイッチ制御部
３００の発光ダイオードＤ２とは、一対のフォトモスリ
レーを形成していて、電気的に絶縁された電子スイッチ
である。ここで制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値はｒ２
とする。抵抗Ｒ１、Ｒ２は、電源電流を電圧に変換する
ものである。抵抗Ｒ１は常時電源電流を流す抵抗であ
り、抵抗Ｒ２は測定レンジを拡大する為の分流用抵抗で
あり、両抵抗は同一の低抵抗値Ｒaを使用する場合と仮
定する。電流測定レンジの切替えは、制御スイッチＳＷ
１のＯＮ／ＯＦＦ制御によって、例えば０．８Ａ／０．
４Ａレンジとして切替え使用される。電位差検出器５０
は、抵抗Ｒ１の両端の電圧信号を受けて、両電圧の差分
電圧を等倍あるいは所定倍率に増幅してＡＤ変換器６０
へ供給する。そしてＡＤ変換器６０は、このアナログ入
力電圧をデジタルデータに変換して電源電流の測定デー
タとして外部に出力する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述構成の
大電流測定部１００においては電流測定の誤差を生じる
難点がある。即ち、フォトモスリレーは理想スイッチで
はなくＯＮ抵抗値ｒ２は数十ミリΩ程度有している。こ
の結果、測定レンジ切替えによる分流比はＲa：（Ｒa＋
ｒ２）である。このことは分流比が１：１の目的の比率
関係にならなくなる。他方、分流比を１：１の関係とな
るように両抵抗Ｒ１、Ｒ２の抵抗値を変える方法がある
が、この場合、半導体スイッチであるフォトモスリレー
は、それ自体部品ばらつきや温度変化によりＯＮ抵抗値
ｒ２が個々に異なる。この為、必ずしも所望分流比関係
にならず誤差要因になる。これら何れにおいてもＤＵＴ
の大電流測定レンジにおける電源電流測定は、誤差要因
を招き好ましくなく、実用上の難点がある。
大電流測定部１００においては電流測定の誤差を生じる
難点がある。即ち、フォトモスリレーは理想スイッチで
はなくＯＮ抵抗値ｒ２は数十ミリΩ程度有している。こ
の結果、測定レンジ切替えによる分流比はＲa：（Ｒa＋
ｒ２）である。このことは分流比が１：１の目的の比率
関係にならなくなる。他方、分流比を１：１の関係とな
るように両抵抗Ｒ１、Ｒ２の抵抗値を変える方法がある
が、この場合、半導体スイッチであるフォトモスリレー
は、それ自体部品ばらつきや温度変化によりＯＮ抵抗値
ｒ２が個々に異なる。この為、必ずしも所望分流比関係
にならず誤差要因になる。これら何れにおいてもＤＵＴ
の大電流測定レンジにおける電源電流測定は、誤差要因
を招き好ましくなく、実用上の難点がある。
【０００７】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、ＤＵＴの電源電流測定における大電流測定レンジの
レンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可能な
電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプログ
ラマブル電源を提供することである。
は、ＤＵＴの電源電流測定における大電流測定レンジの
レンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可能な
電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプログ
ラマブル電源を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１図は、本発明に係る
解決手段を示している。第１に、上記課題を解決するた
めに、本発明の構成では、被試験デバイスの電源電流を
流す為の並列接続構成とする少なくとも第１の電源電流
／電圧変換用抵抗Ｒ１と第２の電源電流／電圧変換用抵
抗Ｒ２を有し、第１の抵抗Ｒ１には常時電源電流を流
し、第２の抵抗Ｒ２には直列接続して電源電流の分流を
開閉制御する第２の制御スイッチＳＷ２を有し、前述の
少なくとも第１、第２の抵抗Ｒ１、Ｒ２の構成による電
源電流の測定レンジ切替え手段を内蔵するプログラマブ
ル電源により、ＤＵＴへ電源を供給してＤＵＴに流れる
電源電流を測定する半導体試験装置において、常時電源
電流を流す第１の抵抗Ｒ１に直列に挿入して接続する第
１の制御スイッチＳＷ１を具備し、第１の制御スイッチ
ＳＷ１を常時ＯＮ状態に駆動する手段を具備し、以上を
プログラマブル電源に具備する構成手段である。上述に
より、ＤＵＴの電源電流測定における大電流測定レンジ
のレンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可能
な電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプロ
グラマブル電源が実現できる。
解決手段を示している。第１に、上記課題を解決するた
めに、本発明の構成では、被試験デバイスの電源電流を
流す為の並列接続構成とする少なくとも第１の電源電流
／電圧変換用抵抗Ｒ１と第２の電源電流／電圧変換用抵
抗Ｒ２を有し、第１の抵抗Ｒ１には常時電源電流を流
し、第２の抵抗Ｒ２には直列接続して電源電流の分流を
開閉制御する第２の制御スイッチＳＷ２を有し、前述の
少なくとも第１、第２の抵抗Ｒ１、Ｒ２の構成による電
源電流の測定レンジ切替え手段を内蔵するプログラマブ
ル電源により、ＤＵＴへ電源を供給してＤＵＴに流れる
電源電流を測定する半導体試験装置において、常時電源
電流を流す第１の抵抗Ｒ１に直列に挿入して接続する第
１の制御スイッチＳＷ１を具備し、第１の制御スイッチ
ＳＷ１を常時ＯＮ状態に駆動する手段を具備し、以上を
プログラマブル電源に具備する構成手段である。上述に
より、ＤＵＴの電源電流測定における大電流測定レンジ
のレンジ切替えにおいて、所定分圧比率関係で分圧可能
な電源電流／電圧変換を実現する半導体試験装置のプロ
グラマブル電源が実現できる。
【０００９】第３図は、本発明に係る解決手段を示して
いる。第２に、上記課題を解決するために、本発明の構
成では、被試験デバイスの電源電流を流す為の並列接続
構成とする少なくとも第１の電源電流／電圧変換用抵抗
Ｒ１と第２の電源電流／電圧変換用抵抗Ｒ２を有し、第
１の抵抗Ｒ１には常時電源電流を流し、第２の抵抗Ｒ２
には直列接続して電源電流の分流を開閉制御する第２の
制御スイッチＳＷ２を有し、前述の少なくとも第１、第
２の抵抗Ｒ１、Ｒ２の構成による電源電流の測定レンジ
切替え手段を内蔵するプログラマブル電源により、ＤＵ
Ｔへ電源を供給してＤＵＴに流れる電源電流を測定する
半導体試験装置において、第１の抵抗Ｒ１の負荷端から
の電圧信号を受け、第２の抵抗Ｒ２の負荷端からの電圧
信号を受けて、何れかの電圧信号を選択して出力する切
替えスイッチ５５を具備し、前記電圧信号の選択出力手
段からの電圧信号を電位差検出器５０の一方の入力端に
供給する信号路を具備し、第１の抵抗Ｒ１と第２の抵抗
Ｒ２の共通接続端を電位差検出器５０の他方の入力端に
供給する信号路を具備し、以上をプログラマブル電源に
具備する構成手段がある。
いる。第２に、上記課題を解決するために、本発明の構
成では、被試験デバイスの電源電流を流す為の並列接続
構成とする少なくとも第１の電源電流／電圧変換用抵抗
Ｒ１と第２の電源電流／電圧変換用抵抗Ｒ２を有し、第
１の抵抗Ｒ１には常時電源電流を流し、第２の抵抗Ｒ２
には直列接続して電源電流の分流を開閉制御する第２の
制御スイッチＳＷ２を有し、前述の少なくとも第１、第
２の抵抗Ｒ１、Ｒ２の構成による電源電流の測定レンジ
切替え手段を内蔵するプログラマブル電源により、ＤＵ
Ｔへ電源を供給してＤＵＴに流れる電源電流を測定する
半導体試験装置において、第１の抵抗Ｒ１の負荷端から
の電圧信号を受け、第２の抵抗Ｒ２の負荷端からの電圧
信号を受けて、何れかの電圧信号を選択して出力する切
替えスイッチ５５を具備し、前記電圧信号の選択出力手
段からの電圧信号を電位差検出器５０の一方の入力端に
供給する信号路を具備し、第１の抵抗Ｒ１と第２の抵抗
Ｒ２の共通接続端を電位差検出器５０の他方の入力端に
供給する信号路を具備し、以上をプログラマブル電源に
具備する構成手段がある。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を実施
例と共に図面を参照して詳細に説明する。
例と共に図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】本発明について図１のプログラマブル電源
の要部回路構成図を示して以下に説明する。尚、従来構
成に対応する要素は同一符号を付す。
の要部回路構成図を示して以下に説明する。尚、従来構
成に対応する要素は同一符号を付す。
【００１２】本発明のプログラマブル電源の大電流測定
部１００の内部構成例は、電流検出用の抵抗Ｒ１、Ｒ２
と、制御スイッチＳＷ１、ＳＷ２と、電位差検出器５０
と、ＡＤ変換器６０とで成る。他の構成要素は従来と同
様である。本発明は従来構成に対して制御スイッチＳＷ
１を追加した構成である。無論、制御スイッチＳＷ１は
フォトモスリレーであるから、スイッチ制御部３００に
対応する駆動用の発光ダイオードＤ１を有する。尚、両
制御スイッチＳＷ１、ＳＷ２は、同一品種の特性の揃っ
た部品を選別して使用する。
部１００の内部構成例は、電流検出用の抵抗Ｒ１、Ｒ２
と、制御スイッチＳＷ１、ＳＷ２と、電位差検出器５０
と、ＡＤ変換器６０とで成る。他の構成要素は従来と同
様である。本発明は従来構成に対して制御スイッチＳＷ
１を追加した構成である。無論、制御スイッチＳＷ１は
フォトモスリレーであるから、スイッチ制御部３００に
対応する駆動用の発光ダイオードＤ１を有する。尚、両
制御スイッチＳＷ１、ＳＷ２は、同一品種の特性の揃っ
た部品を選別して使用する。
【００１３】スイッチ制御部３００の発光ダイオードＤ
１は常時駆動している。従って対応する制御スイッチＳ
Ｗ１は常時ＯＮ状態にある。ここで電流検出用の抵抗Ｒ
１、Ｒ２は同一抵抗値のＲaと仮定する。一方、制御ス
イッチＳＷ１、ＳＷ２のＯＮ抵抗値はｒ１、ｒ２と仮定
すると、特性の揃った部品であるからほぼｒ１＝ｒ２の
関係が成立する。
１は常時駆動している。従って対応する制御スイッチＳ
Ｗ１は常時ＯＮ状態にある。ここで電流検出用の抵抗Ｒ
１、Ｒ２は同一抵抗値のＲaと仮定する。一方、制御ス
イッチＳＷ１、ＳＷ２のＯＮ抵抗値はｒ１、ｒ２と仮定
すると、特性の揃った部品であるからほぼｒ１＝ｒ２の
関係が成立する。
【００１４】この結果、制御スイッチＳＷ１がＯＦＦの
場合、大電流測定部１００の入出力間の抵抗値＝Ｒa＋
ｒ１である。制御スイッチＳＷ１がＯＮの場合、入出力
間の抵抗値は両者の並列抵抗値である。上述ｒ１＝ｒ２
の関係成立から１／２（Ｒa＋ｒ１）となる。この結
果、制御スイッチＳＷ１のＯＮ抵抗の変動影響を受け
ず、常に１：（１／２）の関係が成立する。即ち、特性
の揃った制御スイッチを両抵抗に直列に接続される構成
とすることで、両制御スイッチ間のＯＮ抵抗のばらつき
を相殺できる利点が得られる。
場合、大電流測定部１００の入出力間の抵抗値＝Ｒa＋
ｒ１である。制御スイッチＳＷ１がＯＮの場合、入出力
間の抵抗値は両者の並列抵抗値である。上述ｒ１＝ｒ２
の関係成立から１／２（Ｒa＋ｒ１）となる。この結
果、制御スイッチＳＷ１のＯＮ抵抗の変動影響を受け
ず、常に１：（１／２）の関係が成立する。即ち、特性
の揃った制御スイッチを両抵抗に直列に接続される構成
とすることで、両制御スイッチ間のＯＮ抵抗のばらつき
を相殺できる利点が得られる。
【００１５】上述発明構成によれば、一方の電源電流／
電圧変換用抵抗Ｒ１に直列接続されたＯＮ／ＯＦＦ制御
用の制御スイッチＳＷ２と同一特性の制御スイッチＳＷ
１を他方の電流／電圧変換用抵抗Ｒ１に直列に挿入接続
し、かつこの制御スイッチＳＷ１を常時ＯＮ状態とする
回路構成を具備したことにより、一方のＯＮ／ＯＦＦ制
御用の制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値とバランスし
て、常に所定の分流比関係を実現できる結果、部品ばら
つきや温度変動に伴う分流比率の変動を相殺する利点が
得られる。
電圧変換用抵抗Ｒ１に直列接続されたＯＮ／ＯＦＦ制御
用の制御スイッチＳＷ２と同一特性の制御スイッチＳＷ
１を他方の電流／電圧変換用抵抗Ｒ１に直列に挿入接続
し、かつこの制御スイッチＳＷ１を常時ＯＮ状態とする
回路構成を具備したことにより、一方のＯＮ／ＯＦＦ制
御用の制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値とバランスし
て、常に所定の分流比関係を実現できる結果、部品ばら
つきや温度変動に伴う分流比率の変動を相殺する利点が
得られる。
【００１６】尚、上述実施例の説明では、電源電流／電
圧変換用の両抵抗比を１：１とした同一抵抗値の場合で
説明していたが、例えば抵抗比が１：３と異なる場合に
は図２（ａ）の回路構成例に示すように、この抵抗比に
対応してバランスさせるように常時ＯＮ状態としたフォ
トモスリレーの制御スイッチＳＷ１ａ〜ＳＷ１ｃを挿入
することで、同様にして部品ばらつきや温度変動に伴う
比率変動を解消できる利点が得られる。
圧変換用の両抵抗比を１：１とした同一抵抗値の場合で
説明していたが、例えば抵抗比が１：３と異なる場合に
は図２（ａ）の回路構成例に示すように、この抵抗比に
対応してバランスさせるように常時ＯＮ状態としたフォ
トモスリレーの制御スイッチＳＷ１ａ〜ＳＷ１ｃを挿入
することで、同様にして部品ばらつきや温度変動に伴う
比率変動を解消できる利点が得られる。
【００１７】尚、上述実施例の説明では、２レンジの切
替え構成例で説明していたが、同様に３レンジ以上の切
替え構成においても、図２（ｂ）に示すように構成する
ことで同様にして実施可能であることは明らかである。
替え構成例で説明していたが、同様に３レンジ以上の切
替え構成においても、図２（ｂ）に示すように構成する
ことで同様にして実施可能であることは明らかである。
【００１８】尚、上述実施例の説明では、電源電流測定
用の両抵抗比を一定とする回路構成の場合で説明してい
たが、図３の回路構成例に示すように、電位差検出器５
０の一方の入力端と両抵抗の負荷端間に切替えスイッチ
５５を設け、個別に各電流を切替えて測定し、両電流値
を加算した値を電源電流とする構成例がある。この場合
は電位差検出器５０の入力端へ流れる電流は微少である
から切替えスイッチ５５のＯＮ抵抗はほぼ無視でき、誤
差要因にはならない。この回路構成の場合は制御スイッ
チＳＷ２のＯＮ抵抗の影響を受けない利点が得られる。
用の両抵抗比を一定とする回路構成の場合で説明してい
たが、図３の回路構成例に示すように、電位差検出器５
０の一方の入力端と両抵抗の負荷端間に切替えスイッチ
５５を設け、個別に各電流を切替えて測定し、両電流値
を加算した値を電源電流とする構成例がある。この場合
は電位差検出器５０の入力端へ流れる電流は微少である
から切替えスイッチ５５のＯＮ抵抗はほぼ無視でき、誤
差要因にはならない。この回路構成の場合は制御スイッ
チＳＷ２のＯＮ抵抗の影響を受けない利点が得られる。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、上述の説明内容から、下記に
記載される効果を奏する。上述発明構成によれば、同一
特性の制御スイッチＳＷ１を電流／電圧変換用抵抗Ｒ１
に直列に挿入接続し、この制御スイッチＳＷ１を常時Ｏ
Ｎ状態とする回路構成を追加することにより、他のＯＮ
／ＯＦＦ制御用の制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値とバ
ランスされる結果、部品ばらつきや温度変動に伴う分流
比率の変動を相殺する利点が得られ、電流測定レンジ切
替えの分流精度の向上が計れる。
記載される効果を奏する。上述発明構成によれば、同一
特性の制御スイッチＳＷ１を電流／電圧変換用抵抗Ｒ１
に直列に挿入接続し、この制御スイッチＳＷ１を常時Ｏ
Ｎ状態とする回路構成を追加することにより、他のＯＮ
／ＯＦＦ制御用の制御スイッチＳＷ２のＯＮ抵抗値とバ
ランスされる結果、部品ばらつきや温度変動に伴う分流
比率の変動を相殺する利点が得られ、電流測定レンジ切
替えの分流精度の向上が計れる。
【図１】 本発明の、プログラマブル電源の要部回路構
成図である。
成図である。
【図２】 本発明の、プログラマブル電源の大電流測定
部の他の構成例である。
部の他の構成例である。
【図３】 本発明の、プログラマブル電源の他の回路構
成例である。
成例である。
【図４】従来の、プログラマブル電源の要部回路構成図
である。
である。
Ｄ１，Ｄ２ 発光ダイオード Ｒ１，Ｒ２ 電源電流／電圧変換用抵抗 ＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ１ａ〜ＳＷ１ｃ 制御スイッチ ｒ２ ＯＮ抵抗値 Ｒ１１，Ｒ１２ 抵抗 ２０ ＤＡ変換器 ３０ 差動パワーアンプ ４０ バッファアンプ ５０ 電位差検出器 ５５ 切替えスイッチ ６０ ＡＤ変換器 １００ 大電流測定部 ２００ 小電流測定部 ３００ スイッチ制御部
Claims (3)
- 【請求項１】 被試験デバイス（ＤＵＴ）の電源電流を
流す為の並列接続構成とする少なくとも第１の電源電流
／電圧変換用抵抗と第２の電源電流／電圧変換用抵抗の
２種の抵抗を有し、該第１の抵抗には常時電源電流を流
し、該第２の抵抗には直列接続して電源電流の分流を開
閉制御する第２の制御スイッチを有し、前述の少なくと
も該第１、第２の抵抗の構成による電源電流の測定レン
ジ切替え手段を内蔵するプログラマブル電源により、Ｄ
ＵＴへ電源を供給して該ＤＵＴに流れる電源電流を測定
する半導体試験装置において、 常時電源電流を流す該第１の抵抗に直列に挿入して接続
する第１の制御スイッチと、 該第１の制御スイッチを常時ＯＮ状態に駆動する手段
と、 以上をプログラマブル電源に具備していることを特徴と
した半導体試験装置。 - 【請求項２】 第１の制御スイッチは、第２の制御スイ
ッチと同一特性のフォトモスリレーを使用する請求項１
記載の半導体試験装置。 - 【請求項３】 被試験デバイス（ＤＵＴ）の電源電流を
流す為の並列接続構成とする少なくとも第１の電源電流
／電圧変換用抵抗と第２の電源電流／電圧変換用抵抗の
２種の抵抗を有し、該第１の抵抗には常時電源電流を流
し、該第２の抵抗には直列接続して電源電流の分流を開
閉制御する第２の制御スイッチを有し、前述の少なくと
も該第１、第２の抵抗の構成による電源電流の測定レン
ジ切替え手段を内蔵するプログラマブル電源により、Ｄ
ＵＴへ電源を供給して該ＤＵＴに流れる電源電流を測定
する半導体試験装置において、 該第１の抵抗の負荷端からの電圧信号を受け、該第２の
抵抗の負荷端からの電圧信号を受けて、何れかの電圧信
号を選択して出力する手段と、 前記電圧信号の選択出力手段からの電圧信号を電位差検
出器の一方の入力端に供給する信号路と、 該第１の抵抗と該第２の抵抗の共通接続端を電位差検出
器の他方の入力端に供給する信号路と、 以上をプログラマブル電源に具備していることを特徴と
した半導体試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9159970A JPH116860A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | 半導体試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9159970A JPH116860A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | 半導体試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH116860A true JPH116860A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15705158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9159970A Withdrawn JPH116860A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH116860A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002354664A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Advantest Corp | 電力容量設定方法、電源装置、半導体デバイス試験装置用電源装置 |
| US7095267B2 (en) | 2004-06-22 | 2006-08-22 | Advantest Corp. | MOSFET drive circuit, programmable power supply and semiconductor test apparatus |
| WO2022224843A1 (ja) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | デバイス検査装置及びデバイス検査方法 |
-
1997
- 1997-06-17 JP JP9159970A patent/JPH116860A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002354664A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Advantest Corp | 電力容量設定方法、電源装置、半導体デバイス試験装置用電源装置 |
| US7095267B2 (en) | 2004-06-22 | 2006-08-22 | Advantest Corp. | MOSFET drive circuit, programmable power supply and semiconductor test apparatus |
| WO2022224843A1 (ja) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | デバイス検査装置及びデバイス検査方法 |
| JP2022167016A (ja) * | 2021-04-22 | 2022-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | デバイス検査装置及びデバイス検査方法 |
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