JPH1170430A - 移動テーブル - Google Patents
移動テーブルInfo
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- JPH1170430A JPH1170430A JP9232819A JP23281997A JPH1170430A JP H1170430 A JPH1170430 A JP H1170430A JP 9232819 A JP9232819 A JP 9232819A JP 23281997 A JP23281997 A JP 23281997A JP H1170430 A JPH1170430 A JP H1170430A
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- Japan
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- linear drive
- driving
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- movable plates
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q2220/00—Machine tool components
- B23Q2220/004—Rotary tables
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大形のワークを高精度で移動させて位置決め
できる移動テーブルを提供することである。 【解決手段】 固定盤１を基台４の各コーナー部に分割
配置し、この各固定盤１上に、その上面に沿って移動可
能な４つの可動盤２を配置し、互いに平行な駆動方向の
２つの直線駆動装置３と、この駆動方向と直交する駆動
方向の１つの直線駆動装置３を、各々異なる前記可動盤
２に、回動可能で、かつ各直線駆動装置３の駆動方向と
直交する方向にスライド可能な継手７で連結することに
より、これらの各可動盤２に一体のステージを載置し
て、ステージと各可動盤２を１つの剛体とする大きな可
動盤を形成し、小寸法の各可動盤２を用いて、かつ各直
線駆動装置３も互いに離して取り付け可能としたので、
前記各直線駆動装置３の駆動量の組み合わせに応じて、
大寸法のステージを精度よく移動させ、位置決めするこ
とができる。
できる移動テーブルを提供することである。 【解決手段】 固定盤１を基台４の各コーナー部に分割
配置し、この各固定盤１上に、その上面に沿って移動可
能な４つの可動盤２を配置し、互いに平行な駆動方向の
２つの直線駆動装置３と、この駆動方向と直交する駆動
方向の１つの直線駆動装置３を、各々異なる前記可動盤
２に、回動可能で、かつ各直線駆動装置３の駆動方向と
直交する方向にスライド可能な継手７で連結することに
より、これらの各可動盤２に一体のステージを載置し
て、ステージと各可動盤２を１つの剛体とする大きな可
動盤を形成し、小寸法の各可動盤２を用いて、かつ各直
線駆動装置３も互いに離して取り付け可能としたので、
前記各直線駆動装置３の駆動量の組み合わせに応じて、
大寸法のステージを精度よく移動させ、位置決めするこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ワークを平面上
で移動させる移動テーブルに関するものである。
で移動させる移動テーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークの加工や検査のために使用される
移動テーブルには、直交する２軸方向への移動機能に加
えて、回動機能も要求されるものがある。この移動テー
ブルは、２軸方向のみに移動できるＸＹテーブルに対し
て、ＸＹθテーブルと呼ばれている。
移動テーブルには、直交する２軸方向への移動機能に加
えて、回動機能も要求されるものがある。この移動テー
ブルは、２軸方向のみに移動できるＸＹテーブルに対し
て、ＸＹθテーブルと呼ばれている。
【０００３】前記ＸＹθテーブルの例としては、実開平
４−７３４３４号公報に開示されたものがある。このＸ
Ｙθテーブルは、固定盤の上面に沿って移動可能な可動
盤に、駆動方向が互いに平行な２つの直線駆動装置と、
この２つの直線駆動装置と直交する駆動方向の１つの直
線駆動装置とを連結し、これら３つの直線駆動装置の駆
動量の組み合わせで、前記可動盤を直進移動や回動させ
るものである。
４−７３４３４号公報に開示されたものがある。このＸ
Ｙθテーブルは、固定盤の上面に沿って移動可能な可動
盤に、駆動方向が互いに平行な２つの直線駆動装置と、
この２つの直線駆動装置と直交する駆動方向の１つの直
線駆動装置とを連結し、これら３つの直線駆動装置の駆
動量の組み合わせで、前記可動盤を直進移動や回動させ
るものである。
【０００４】上述のＸＹθテーブルは、前記３つの直線
駆動装置を同一平面上で駆動することができるため、シ
ンプルな構造でがたを少なくし、かつテーブルの高さを
コンパクトにすることができる。この種のＸＹθテーブ
ルは、液晶パネルや半導体チップ等の精密電子部品の製
造装置や検査装置によく用いられている。これら従来の
ワークとしての精密電子部品は比較的小形のものが多
い。
駆動装置を同一平面上で駆動することができるため、シ
ンプルな構造でがたを少なくし、かつテーブルの高さを
コンパクトにすることができる。この種のＸＹθテーブ
ルは、液晶パネルや半導体チップ等の精密電子部品の製
造装置や検査装置によく用いられている。これら従来の
ワークとしての精密電子部品は比較的小形のものが多
い。
【０００５】近年、ハイビジョンテレビや壁掛けテレビ
等のテレビジョン分野では、大画面化が進んでおり、そ
の他のマルチメディア分野でも今後大画面ディスプレイ
への需要が増大することが予想されている。この大画面
化への武器としてプラズマディスプレイが注目され、す
でに４０インチのプラズマディスプレイが実現されてお
り、さらに大型化への開発が進められている。
等のテレビジョン分野では、大画面化が進んでおり、そ
の他のマルチメディア分野でも今後大画面ディスプレイ
への需要が増大することが予想されている。この大画面
化への武器としてプラズマディスプレイが注目され、す
でに４０インチのプラズマディスプレイが実現されてお
り、さらに大型化への開発が進められている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したプラズマディ
スプレイのような大形のワークの製造装置や検査装置
に、前記ＸＹθテーブルを用いる場合は、これらのワー
クが前記可動盤上に納まらない問題がある。
スプレイのような大形のワークの製造装置や検査装置
に、前記ＸＹθテーブルを用いる場合は、これらのワー
クが前記可動盤上に納まらない問題がある。
【０００７】上記の問題に対しては、前記固定盤と可動
盤を大きくする方法と、図６に示すように、固定盤２６
のみを大きくして、可動盤２７の外側に、固定盤２６の
上面に沿って移動自在な複数の補助可動盤２８を配置
し、これらの補助可動盤２８と前記可動盤２７の上に一
体の大寸法のステージ２９を載置する方法が考えられ
る。
盤を大きくする方法と、図６に示すように、固定盤２６
のみを大きくして、可動盤２７の外側に、固定盤２６の
上面に沿って移動自在な複数の補助可動盤２８を配置
し、これらの補助可動盤２８と前記可動盤２７の上に一
体の大寸法のステージ２９を載置する方法が考えられ
る。
【０００８】前者の方法は、可動盤を加工後、焼入れ、
焼戻しする際にひずみが出やすく、仕上げ加工も実施し
難いため、この可動盤を固定盤上で移動させるための、
可動盤下面の面精度を十分に確保できない問題がある。
焼戻しする際にひずみが出やすく、仕上げ加工も実施し
難いため、この可動盤を固定盤上で移動させるための、
可動盤下面の面精度を十分に確保できない問題がある。
【０００９】後者の方法は、３つの駆動装置３０の取り
付け位置が、前記ステージ２９の中央部で互いに近接し
ているため、各駆動装置３０の駆動量の誤差が前記ステ
ージ２９の移動量に影響しやすい問題がある。また、前
記ステージ２９を回動させる際には、各駆動装置３０の
取り付けスパンが短いため、回動させるためのモーメン
トアームが小さく、各駆動装置３０が大きな駆動力を必
要とする問題もある。
付け位置が、前記ステージ２９の中央部で互いに近接し
ているため、各駆動装置３０の駆動量の誤差が前記ステ
ージ２９の移動量に影響しやすい問題がある。また、前
記ステージ２９を回動させる際には、各駆動装置３０の
取り付けスパンが短いため、回動させるためのモーメン
トアームが小さく、各駆動装置３０が大きな駆動力を必
要とする問題もある。
【００１０】そこで、この発明の課題は、大形のワーク
を高精度で移動させて位置決めできる移動テーブルを提
供することである。
を高精度で移動させて位置決めできる移動テーブルを提
供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明の移動テーブルは、固定盤と、この固定
盤の上面に沿って移動可能な３つ以上の可動盤と、前記
固定盤の上面に平行で、かつ互いに平行な駆動方向の２
つの直線駆動装置と、この２つの直線駆動装置の駆動方
向と直交し、同じく前記固定盤の上面に平行な駆動方向
の１つの直線駆動装置からなり、これらの３つの直線駆
動装置を、前記固定盤の上面と平行な平面内で回動可能
で、かつ各直線駆動装置の駆動方向と直交する方向にス
ライド可能な継手で、各々異なる前記可動盤に連結した
構成を採用したのである。
めに、この発明の移動テーブルは、固定盤と、この固定
盤の上面に沿って移動可能な３つ以上の可動盤と、前記
固定盤の上面に平行で、かつ互いに平行な駆動方向の２
つの直線駆動装置と、この２つの直線駆動装置の駆動方
向と直交し、同じく前記固定盤の上面に平行な駆動方向
の１つの直線駆動装置からなり、これらの３つの直線駆
動装置を、前記固定盤の上面と平行な平面内で回動可能
で、かつ各直線駆動装置の駆動方向と直交する方向にス
ライド可能な継手で、各々異なる前記可動盤に連結した
構成を採用したのである。
【００１２】すなわち、固定盤の上面に沿って移動可能
な３つ以上の可動盤を配置し、互いに平行な駆動方向の
２つの直線駆動装置と、この駆動方向と直交する駆動方
向の１つの直線駆動装置を、各々異なる前記可動盤に、
回動可能で、かつ各直線駆動装置の駆動方向と直交する
方向にスライド可能な継手で連結することにより、これ
らの各可動盤に一体のステージを載置して、このステー
ジを直進移動や回動させるようにしたのである。
な３つ以上の可動盤を配置し、互いに平行な駆動方向の
２つの直線駆動装置と、この駆動方向と直交する駆動方
向の１つの直線駆動装置を、各々異なる前記可動盤に、
回動可能で、かつ各直線駆動装置の駆動方向と直交する
方向にスライド可能な継手で連結することにより、これ
らの各可動盤に一体のステージを載置して、このステー
ジを直進移動や回動させるようにしたのである。
【００１３】この移動テーブルでは、各可動盤は小寸法
のものでよく、かつ各直線駆動装置の取り付け位置も互
いに離すことができるため、大寸法のステージを精度よ
く移動させ、位置決めすることができる。
のものでよく、かつ各直線駆動装置の取り付け位置も互
いに離すことができるため、大寸法のステージを精度よ
く移動させ、位置決めすることができる。
【００１４】前記各可動盤を固定盤の上面に沿って移動
可能とする手段としては、各可動盤とこれらの各可動盤
の下方に一体に連結された部材で、前記固定盤の上下を
複数の鋼球を介して挟持する方法を採用することができ
る。
可能とする手段としては、各可動盤とこれらの各可動盤
の下方に一体に連結された部材で、前記固定盤の上下を
複数の鋼球を介して挟持する方法を採用することができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図５に基づき、こ
の発明の実施形態を説明する。
の発明の実施形態を説明する。
【００１６】図１は移動テーブルの実施形態を示す。こ
の移動テーブルは、４箇所に分割配置された固定盤１
と、この分割配置された固定盤１上に１つづつ配置され
た可動盤２と、これらの各可動盤２のうち、３つの可動
盤２に１つづつ連結された直線駆動装置３とで基本的に
構成されている。
の移動テーブルは、４箇所に分割配置された固定盤１
と、この分割配置された固定盤１上に１つづつ配置され
た可動盤２と、これらの各可動盤２のうち、３つの可動
盤２に１つづつ連結された直線駆動装置３とで基本的に
構成されている。
【００１７】前記固定盤１は、基台４の上面各コーナー
部に、図示はしないボルトで、１つづつ固定されてい
る。前記各可動盤２は、後述するフランジ部材５で固定
盤１の上下を挟持しながら、固定盤１の上面に沿って移
動可能に形成されている。
部に、図示はしないボルトで、１つづつ固定されてい
る。前記各可動盤２は、後述するフランジ部材５で固定
盤１の上下を挟持しながら、固定盤１の上面に沿って移
動可能に形成されている。
【００１８】前記３つの直線駆動装置３は、前記基台４
の３つの辺部に配置され、２つの直線駆動装置３の駆動
方向が互いに平行に、他の１つの駆動方向がこれらに直
交するように取り付けられている。これらの各直線駆動
装置３には、後述するスライド板６と継手７を介して、
前記可動盤２が１つづつ連結されている。
の３つの辺部に配置され、２つの直線駆動装置３の駆動
方向が互いに平行に、他の１つの駆動方向がこれらに直
交するように取り付けられている。これらの各直線駆動
装置３には、後述するスライド板６と継手７を介して、
前記可動盤２が１つづつ連結されている。
【００１９】図２乃至図４は、１つの可動盤２と直線駆
動装置３について、その要部を拡大して示す。図２は平
面図、図３および図４は断面図である。
動装置３について、その要部を拡大して示す。図２は平
面図、図３および図４は断面図である。
【００２０】前記固定盤１が取り付けられた部分の基台
４上面には凹部が設けられ、固定盤１の下面と基台４の
上面との間には空間８が形成されている。この固定盤１
の中央部には孔９が設けられ、前記フランジ部材５が、
この孔９を通して可動盤２と一体に連結され、前記空間
８に配置されている。
４上面には凹部が設けられ、固定盤１の下面と基台４の
上面との間には空間８が形成されている。この固定盤１
の中央部には孔９が設けられ、前記フランジ部材５が、
この孔９を通して可動盤２と一体に連結され、前記空間
８に配置されている。
【００２１】前記フランジ部材５の連結部１０は、前記
固定盤１の孔９よりも小径に形成され、可動盤２は、固
定盤１の上下面と可動盤２およびフランジ部材５のフラ
ンジ間に配置された複数の鋼球１１、１２の転がりで、
固定盤１の上面に沿ってスムーズに移動できるようにな
っている。この複数の鋼球１１、１２は、各々保持器１
３、１４で転動自在に保持されている。
固定盤１の孔９よりも小径に形成され、可動盤２は、固
定盤１の上下面と可動盤２およびフランジ部材５のフラ
ンジ間に配置された複数の鋼球１１、１２の転がりで、
固定盤１の上面に沿ってスムーズに移動できるようにな
っている。この複数の鋼球１１、１２は、各々保持器１
３、１４で転動自在に保持されている。
【００２２】前記直線駆動装置３は、取り付け金具１５
で前記基台４の側面に取り付けられている。この直線駆
動装置３は、モーター１６と、このモーター１６の駆動
軸に連結されたねじ軸１７と、このねじ軸１７に嵌め込
まれたボールねじのナット１８で構成され、モーター１
６を駆動してねじ軸１７を回転させることにより、ナッ
ト１８がボールねじでねじ軸１７に沿って直線移動す
る。
で前記基台４の側面に取り付けられている。この直線駆
動装置３は、モーター１６と、このモーター１６の駆動
軸に連結されたねじ軸１７と、このねじ軸１７に嵌め込
まれたボールねじのナット１８で構成され、モーター１
６を駆動してねじ軸１７を回転させることにより、ナッ
ト１８がボールねじでねじ軸１７に沿って直線移動す
る。
【００２３】前記ナット１８には、金具１９を介してス
ライド板６が接続されている。このスライド板６の下面
には、２つのスライド軸受２０が取り付けられ、この各
スライド軸受２０が、前記基台４の上面に取り付けられ
たガイドレール２１に係合されている。
ライド板６が接続されている。このスライド板６の下面
には、２つのスライド軸受２０が取り付けられ、この各
スライド軸受２０が、前記基台４の上面に取り付けられ
たガイドレール２１に係合されている。
【００２４】前記スライド板６の先端には、回動ピン２
２を介して継手７が連結され、この継手７の先端には、
スライド軸受２３が取り付けられている。このスライド
軸受２３は、前記可動盤２の側面に取り付けられたガイ
ドレール２４に沿ってスライド可能に係合されている。
２を介して継手７が連結され、この継手７の先端には、
スライド軸受２３が取り付けられている。このスライド
軸受２３は、前記可動盤２の側面に取り付けられたガイ
ドレール２４に沿ってスライド可能に係合されている。
【００２５】つぎに、図５に基づいて、上述の移動テー
ブルの作用について説明する。前記４つの可動盤２に差
し渡して、大形のワークを載せるためのステージ２５が
載置されている。このステージ２５は、ボルト等で各可
動盤２に固定してもよい。
ブルの作用について説明する。前記４つの可動盤２に差
し渡して、大形のワークを載せるためのステージ２５が
載置されている。このステージ２５は、ボルト等で各可
動盤２に固定してもよい。
【００２６】図５は、前記ステージ２５を反時計回りに
回転させた状態であり、図５の上辺側の直線駆動装置３
ａが左方へ、下辺側の直線駆動装置３ｂが右方へ、右辺
側の直線駆動装置３ｃが上方へ駆動されている。
回転させた状態であり、図５の上辺側の直線駆動装置３
ａが左方へ、下辺側の直線駆動装置３ｂが右方へ、右辺
側の直線駆動装置３ｃが上方へ駆動されている。
【００２７】前記４つの可動盤２は、前記ステージ２５
の載置で一体に連結され、ステージ２５と各可動盤２が
１つの剛体を形成している。したがって、この各可動盤
２とステージ２５の複合体で形成される剛体が、１つの
大きな可動盤の役割をし、この大きな可動盤に前記３つ
直線駆動装置３ａ、３ｂ、３ｃが連結された形態になっ
ている。
の載置で一体に連結され、ステージ２５と各可動盤２が
１つの剛体を形成している。したがって、この各可動盤
２とステージ２５の複合体で形成される剛体が、１つの
大きな可動盤の役割をし、この大きな可動盤に前記３つ
直線駆動装置３ａ、３ｂ、３ｃが連結された形態になっ
ている。
【００２８】したがって、前記３つ直線駆動装置３ａ、
３ｂ、３ｃの駆動量の組み合わせに応じて、前記各回動
ピン２２が自在に回動するとともに、前記スライド軸受
２３がガイドレール２４に沿ってスライドし、このステ
ージ２５を含む大きな可動盤を任意の位置に直線移動や
回動させることができる。
３ｂ、３ｃの駆動量の組み合わせに応じて、前記各回動
ピン２２が自在に回動するとともに、前記スライド軸受
２３がガイドレール２４に沿ってスライドし、このステ
ージ２５を含む大きな可動盤を任意の位置に直線移動や
回動させることができる。
【００２９】上述した実施形態では、分割された固定盤
１と４つの可動盤２を基台４の各コーナー部に配置した
が、ステージのサイズや形状に応じて、可動盤の個数お
よび配置場所は任意に選定できる。
１と４つの可動盤２を基台４の各コーナー部に配置した
が、ステージのサイズや形状に応じて、可動盤の個数お
よび配置場所は任意に選定できる。
【００３０】また、この実施形態では、各可動盤２を固
定盤１の上面に沿ってスムーズに移動させる手段とし
て、各可動盤２にフランジ部材５を連結し、固定盤１の
上下を転がり軸受としての鋼球１１、１２を介して挟持
する構成を採用したが、前記フランジ部材等を連結する
ことなく、単に固定盤の上側のみに転がり軸受やすべり
軸受を配置する構成としてもよいことは勿論である。
定盤１の上面に沿ってスムーズに移動させる手段とし
て、各可動盤２にフランジ部材５を連結し、固定盤１の
上下を転がり軸受としての鋼球１１、１２を介して挟持
する構成を採用したが、前記フランジ部材等を連結する
ことなく、単に固定盤の上側のみに転がり軸受やすべり
軸受を配置する構成としてもよいことは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、この発明の移動テーブル
は、固定盤の上面に沿って移動可能な３つ以上の可動盤
を配置し、互いに平行な駆動方向の２つの直線駆動装置
と、この駆動方向と直交する駆動方向の１つの直線駆動
装置を、各々異なる前記可動盤に、回動可能で、かつ各
直線駆動装置の駆動方向と直交する方向にスライド可能
な継手で連結し、これらの各可動盤に一体のステージを
載置して、ステージと各可動盤を１つの剛体とする大き
な可動盤を形成し、この大きな可動盤を前記各直線駆動
装置の駆動量の組み合わせに応じて、直進移動や回動さ
せるようにしたので、各可動盤を小寸法として、かつ各
直線駆動装置の取り付け位置も互いに離すことができ、
大寸法のステージを精度よく移動させ、位置決めするこ
とができる。
は、固定盤の上面に沿って移動可能な３つ以上の可動盤
を配置し、互いに平行な駆動方向の２つの直線駆動装置
と、この駆動方向と直交する駆動方向の１つの直線駆動
装置を、各々異なる前記可動盤に、回動可能で、かつ各
直線駆動装置の駆動方向と直交する方向にスライド可能
な継手で連結し、これらの各可動盤に一体のステージを
載置して、ステージと各可動盤を１つの剛体とする大き
な可動盤を形成し、この大きな可動盤を前記各直線駆動
装置の駆動量の組み合わせに応じて、直進移動や回動さ
せるようにしたので、各可動盤を小寸法として、かつ各
直線駆動装置の取り付け位置も互いに離すことができ、
大寸法のステージを精度よく移動させ、位置決めするこ
とができる。
【図１】移動テーブルの実施形態を示す平面図
【図２】図１の要部を拡大して示す図
【図３】図１のIII −III 線に沿った断面図
【図４】図２のIV−IV線に沿った断面図
【図５】図１の作用を説明する図
【図６】従来の移動テーブルを示す平面図
１ 固定盤 ２ 可動盤 ３、３ａ、３ｂ、３ｃ 直線駆動装置 ４ 基台 ５ フランジ部材 ６ スライド板 ７ 継手 ８ 空間 ９ 孔 １０ 連結部 １１、１２ 鋼球 １３、１４ 保持器 １５ 取り付け金具 １６ モーター １７ ねじ軸 １８ ナット １９ 金具 ２０ スライド軸受 ２１ ガイドレール ２２ 回動ピン ２３ スライド軸受 ２４ ガイドレール ２５ ステージ ２６ 固定盤 ２７、２８ 可動盤 ２９ ステージ ３０ 駆動装置
Claims (2)
- 【請求項１】 固定盤と、この固定盤の上面に沿って移
動可能な３つ以上の可動盤と、前記固定盤の上面に平行
で、かつ互いに平行な駆動方向の２つの直線駆動装置
と、この２つの直線駆動装置の駆動方向と直交し、同じ
く前記固定盤の上面に平行な駆動方向の１つの直線駆動
装置からなり、これらの３つの直線駆動装置が、前記固
定盤の上面と平行な平面内で回動可能で、かつ各直線駆
動装置の駆動方向と直交する方向にスライド可能な継手
で、各々異なる前記可動盤に連結された移動テーブル。 - 【請求項２】 前記固定盤の上面に沿って移動可能な各
可動盤が、各可動盤とこれらの各可動盤の下方に一体に
連結された部材で、前記固定盤の上下を複数の鋼球を介
して挟持するように形成された請求項１に記載の移動テ
ーブル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281997A JP3725672B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 移動テーブル |
| KR1019980030110A KR19990023243A (ko) | 1997-08-28 | 1998-07-27 | 이동테이블 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281997A JP3725672B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 移動テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1170430A true JPH1170430A (ja) | 1999-03-16 |
| JP3725672B2 JP3725672B2 (ja) | 2005-12-14 |
Family
ID=16945283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23281997A Expired - Lifetime JP3725672B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | 移動テーブル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3725672B2 (ja) |
| KR (1) | KR19990023243A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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