JPH1172436A

JPH1172436A - 金属材料表面の塗油量測定方法および装置

Info

Publication number: JPH1172436A
Application number: JP23427997A
Authority: JP
Inventors: Akira Torao; 彰虎尾; Yoshio Kawashima; 祥生川嶋
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1997-08-29
Filing date: 1997-08-29
Publication date: 1999-03-16

Abstract

(57)【要約】【課題】低塗油量域での測定精度が高く且つオフライン
でもオンラインでも簡便且つ容易に塗油量を測定できる
金属材料表面の塗油量測定装置を提供する。【解決手段】油が塗布された金属材料表面に長方形のビ
ーム形状とした特定波長の励起光を照射する励起用光源
６と、その励起光により発生した金属材料表面からの蛍
光を集光して長方形のスリット１３上に長方形の蛍光像
を結ぶ光学系１２と、スリット１３を介して導いた蛍光
を分光する分光器１４と、その分光器１４で分光した蛍
光を検出して蛍光強度を測定する光検出素子１５とを備
え、長方形のスリット１３はその長辺の方向が長方形の
蛍光像の長辺方向と直交するように配置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料表面の塗
油量測定方法および装置に係り、特に、鋼板やアルミニ
ウム板等の金属材の表面に塗布された微量な油の量を簡
便かつ高精度に測定することが可能な金属材料表面の塗
油量測定方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】防錆やプレス成形時の潤滑等のために金
属板面に塗布された油の塗油量は、防錆やプレス成形の
特性を決める重要な管理項目である。通常は、連続生産
される金属板からサンプルを切り出して油付着時と油脱
脂後との重量を測定し、両者の差を求めて単位面積当た
りの塗油量を算出している。しかし最近は、より厳しい
品質管理が要求されることから、これに対応するべく測
定対象の金属板が走行している状態でも測定可能な連続
式のオンライン塗油量測定装置（特開平７−２４３９７
０号）や、反対にバッチ式で簡便に使用できる小型軽量
なオフライン塗油量測定装置（New methods for qualit
y assurance in metal forming,18th Bi-ennial Congre
ss IDDRG 1994) が開発されて実用化されている。前者
はレーザ誘起蛍光法を利用し、後者は赤外吸収法を利用
したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
誘起蛍光法を利用した前者の場合は、例えば鉄鋼業の冷
間圧延工程や表面処理工程などで連続生産中の冷延鋼板
や各種めっき材などの表面の塗油量をオンライン測定で
きることを前提とし、塗油量の測定範囲も１００〜２０
００ｍｇ／ｍ²と比較的多いものが対象となるため、工
業的に安定で高出力のレーザを使用しており、その結果
装置が大型化し価格も高くなってオフラインでは利用し
にくいという問題がある。

【０００４】一方、後者の赤外吸収法を利用したものの
場合は、オフライン用装置に必要なコンパクトで低価格
という条件は満足しても、塗布油の赤外線吸収度合いは
下地金属材料の表面特性例えば表面粗さ，圧延方向性，
反射率等の影響や、油の付着状態例えば粒状に付着して
いるか膜状に付着しているかの違いによる影響を受けや
すいことから、低塗油量域での測定精度が良くないとい
う問題がある。

【０００５】そこで本発明は、このような従来技術の問
題点に着目してなされたものであり、油が塗布された被
測定金属面へ照射する励起光により誘起された蛍光を集
中的に受光光学系に導いて蛍光強度を測定することによ
り、被測定面の粗さや測定装置との位置関係の変動によ
る蛍光強度測定誤差を低減させた、低塗油量域での測定
精度が高く且つオフラインでもオンラインでも簡便且つ
容易に塗油量を測定できる金属材料表面の塗油量測定方
法および装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の請求項１に係る金属材料表面の塗油量測定方法
は、油が塗布された金属材料表面に長方形のビーム形状
とした特定波長の励起光を照射し、その照射によって生
じる蛍光を集光して長方形の蛍光像を長方形のスリット
位置に結ばせて当該蛍光像の長辺方向と前記スリットの
長辺方向とを直交せしめるとともに各長方形の中心を一
致せしめ、当該スリットを通過した蛍光の強度を測定し
て塗油量を求めることを特徴とする。

【０００７】また、請求項２に係る金属材料表面の塗油
量測定装置は、油が塗布された金属材料表面に長方形の
ビーム形状とした特定波長の励起光を照射する手段と、
その励起光により発生した前記金属材料表面からの蛍光
を集光して長方形のスリット位置に長方形の蛍光像を結
ぶ光学系と、前記スリットを介して導いた前記蛍光を分
光する分光器と、該分光器で分光した蛍光を検出して蛍
光強度を測定する手段と、その蛍光強度に基づいて塗油
量を算出する手段とを備え、前記長方形のスリットはそ
の長辺の方向を前記長方形の蛍光像の長辺方向と直交す
るように配置したことを特徴とする。

【０００８】請求項３に係る金属材料表面の塗油量測定
装置は、上記請求項２記載の塗油量測定装置において、
被測定金属材料を所定の測定位置に保持する保持装置を
備えたことを特徴とする。

【０００９】鋼板などの金属板上に塗布された油の表面
に、その油に好適な励起波長の光を照射すると、蛍光を
発することが知られており、この蛍光の強度と塗油量と
の間には比例関係があるとの知見が得られている。例え
ば、冷間圧延後の調質圧延工程や精整工程において多く
使用される防錆油の蛍光特性を調べると、紫外線波長領
域である波長３３０〜３５０ｎｍ付近で励起すると効率
良く蛍光が発し、その蛍光のピークは波長４２０〜４５
０ｎｍ付近であるとの結果を得ており、肉眼でも蛍光を
観察することができる。本願発明者らは、この原理を利
用しオフラインでの測定に特に好適に適用できるコンパ
クトな塗油量測定を実現するために実験を重ねたとこ
ろ、コンパクト化にはピークパワーの強い波長３３７ｎ
ｍの窒素（Ｎ₂）パルスレーザが好適に利用できるとの
知見が得られた。従来、Ｎ₂パルスレーザは理化学実験
用に用いられており比較的大型の装置が多かったが、最
近はＮ₂ガスを循環させなくても、２千万パルスを連続
的に発信できる小型のレーザ発振器が安価に市販されて
いる。そこで、このようなレーザ発振器を用い、例えば
繰り返し周波数２０Ｈｚ、１パルス当たりのエネルギー
１２０μＪのＮ₂レーザ光を集光して鋼板上の油に照射
し、蛍光強度をパルス同期させて測定すると、Ｓ／Ｎ比
の良い蛍光検出が可能であり、塗油量測定に応用できる
ことが分かった。

【００１０】しかして、例えばＮ₂レーザを用いてオフ
ライン用の塗油量測定を構成する場合、塗油量が１００
ｍｇ／ｍ²以下の低塗油量域で高精度に測定するために
は、レーザビームをレンズを用いて集光して蛍光効率を
高め金属材料表面に照射することが効果的であることが
判明した。

【００１１】一方、オフライン測定では、サンプルを切
り出して塗油量測定装置に装着して測定する場合と、塗
油量測定装置の方をシート状またはコイル状の金属材料
表面上に押し当てるか或いは金属材料表面上に載せて測
定する場合との両方の場合を想定し、それぞれの場合に
使用できるようにすることが好ましい。しかしこれらの
場合、金属材料表面の微小な凹凸形状や装置へのサンプ
ル装着，押し当て方などの位置精度の違いにより、受光
される蛍光ビームの受光光学系への導光状態が微妙に異
なり、それが蛍光強度誤差となって最終的な塗油量測定
誤差となる可能性がある。そこで、本願発明者らは、こ
のようなオフライン測定の欠点に対処して測定値の信頼
性を高めるべく研究を進めた結果、測定面の位置が多少
変動したり傾いたりしても受光する蛍光を安定的に受光
光学系に導き測定誤差を減少させるには、照射光ビーム
形状と受光スリット形状とのそれぞれを長方形とし、各
長方形の中心を一致させて配置するとともに、各長方形
の長辺が直交するように励起光とスリットとの三次元的
な配置を定めることが有効であることを見いだして本発
明をなすに至ったものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明に係る金属材料表面
の塗油量測定装置の全体構成を説明する概要図である。
図において、符号１は塗油量測定用の検出ヘッドで、持
ち運びできる程度に小型軽量である。この検出ヘッド１
の先端部には、油を塗布した被測定金属試料（以下、ワ
ークという）Ｗを所定の測定位置に保持する保持装置と
しての着脱可能なサンプルホルダ２を備えている。この
場合のワークＷは、プロセスラインで切断して採取した
ものを示しているが、サンプルホルダ２を取り外すこと
により、シート状又はコイル状の金属材料に直接に検出
ヘッド１を接触させて測定することもできる。符号３は
検出ヘッド１に接続された信号制御処理装置で、後述す
るレーザの発信タイミングや蛍光強度を測定する検出素
子の検出タイミングを制御する機能を有する。符号４は
塗油量算出手段としての演算処理装置で、前記信号制御
処理装置３で処理された信号の測定値から塗油量を算出
したり、校正板の測定，検量線の入力などの一連の測定
手順を制御する。

【００１３】前記検出ヘッド１は、図２に示すように、
ワークＷの表面に長方形のビーム形状とした特定波長の
励起光を照射する手段としての励起用光源６と、この励
起用光源６からの励起光ＬＢのうち波長λ₁のみを透過
する干渉フィルタ７と、励起光ＬＢをワークＷの表面に
入射角θ₁で照射するためのミラー８と、ミラー８の反
射光をワークＷの表面に集光するレンズ９と、このレン
ズ９で集光された長方形の励起光ＬＢによりワークＷ表
面に塗布されている油１１から発生した蛍光Ｌ _fを集光
して長方形のスリット１３の位置に長方形の蛍光像を結
ぶ光学系１２と、スリット１３を通過して導かれた蛍光
Ｌ_fを高精度で分光する分光器１４と、この分光器１４
で分光した蛍光Ｌ_fを検出して蛍光強度を測定する手段
としての光検出素子１５を備えている。光検出素子１５
で検出された蛍光強度の測定値は、図１に示す演算処理
装置４に送られて、ワークＷの表面の油１１の塗油量が
算出されるようになっている。

【００１４】前記光学系１２は、例えば励起光ＬＢの照
射によりワークＷの表面上の油１１に誘起された蛍光Ｌ
_fを集光して平行光線にするレンズ１２ａと、その平行
光線のうちの波長λ₂を透過させる干渉フィルタ１２ｂ
と、干渉フィルタ１２ｂを透過した波長λ₂の蛍光Ｌ_f
をスリット１３の面上に集光するレンズ１２ｃとを組み
合わせて構成される。その場合、レンズ１２ａとレンズ
１２ｃとしては、同一の焦点距離を有するレンズを用い
ると、ワークＷの表面にレンズ９で集光された励起光Ｌ
Ｂの長方形の結像（Ａ’、図３参照）の寸法形状を、ス
リット１３の面上に集光された蛍光Ｌ_fの長方形の蛍光
像（Ａ”、図３参照）と同一にすることができ、スリッ
ト１３の上に蛍光像を結ぶことができて効率の良い蛍光
測定が可能となる。

【００１５】なお、図２中の符号１７は励起用光源６の
光を遮断するためのシャッタである。符号１８は検出ヘ
ッド１の内部に外光が侵入しないように通常は閉じ測定
時のみ開くようにしたスライドシャッタで、その開閉タ
イミングは信号制御処理装置３により制御される。ま
た、符号１９はサンプルホルダ２を上下左右に一定の長
さだけ移動させるためのサンプル微動用ステージであ
る。

【００１６】前記励起用光源６としては、波長３３０〜
３５０ｎｍの紫外線領域の波長の励起光ＬＢを（長方形
のビームとして）出力するものを用いると、ワークＷに
塗布した例えば防錆油から波長４２０〜４５０ｎｍの蛍
光が良好な発光効率で得られて好都合である。但し本発
明の塗油量測定装置はオフラインでの測定を好適に行え
るようなコンパクトなものが望ましい。また、本発明の
場合、励起光ＬＢのビーム形状は、後述する理由によ
り、一般的な円形ビームではなく長方形ビームを使用す
る。そこでこの実施形態では励起用光源６として、ピー
クパワーの強い波長３３７ｎｍの長方形のビームを発信
する安価で小型の市販のＮ₂パルスレーザ発振器を利用
している。したがって干渉フィルタ７の波長λ₁＝３３
７ｎｍである。このＮ₂パルスレーザ発振器を励起用光
源とし、先に述べたようにワークＷへの塗油量が１００
ｍｇ／ｍ²以下の低塗油量域で高精度に測定するため
に、長方形のレーザビームをレンズ９により集光してワ
ークＷの表面に長方形に照射するものである。

【００１７】その励起光ＬＢ（λ₁＝３３７ｎｍの長方
形のレーザビーム）の入射により、ワークＷの表面に塗
布されている油１１に誘起される蛍光Ｌ_fは、指向性と
単色性の良いレーザ光線の反射光（ＬＢ’）とは異なる
方向，異なる波長で放射される（例えばある種の防錆油
の場合であれば波長λ₂＝４３５ｎｍ）。これをレーザ
反射光（ＬＢ’）とは異なる方向に配置した受光光学系
１２で受光することで感度の高い検出ができる。そのた
め、受光光学系１２の配置は、レーザ光線のワークＷへ
の入射角θ₁と、油で発生した蛍光がワークＷの表面で
反射する蛍光反射角θ₂との関係が正反射を測定する関
係（すなわちθ₁＝θ₂）にならないように設定するこ
とが好ましい。例えば３０°≦θ₁≦７５°， θ₂＝０° ……（１）のような条件で三次元配置すると、効率的に蛍光を受光
でき、且つワークＷの表面の性状、例えば表面粗さ，圧
延方向性，反射率等の影響を受けにくいことが実験的に
確認できた。

【００１８】ここで、本発明におけるワークＷの表面に
集光して照射される励起光ＬＢの形状，寸法と、スリッ
ト１３上に形成される蛍光像および当該スリット１３の
形状，寸法との関係並びに配置等の条件について説明す
る。

【００１９】励起光ＬＢのビーム形状を長方形とする
理由：円形ビームを使用するよりも、塗油量の測定精度
が向上し、しかも照射エネルギーが小さくてすみ、装置
の小型化が容易になる。

【００２０】これを、図３，図４を参照して詳しく説明
する。例えば、いま、スリット１３上に焦点した蛍光Ｌ
_fの蛍光像（ビーム形状）Ａ”に対して、単位面積当た
りのエネルギー密度を等しくするとともに分光器１４に
導かれる蛍光の強度を等価とした円形蛍光ビームをＤ”
とする。この円形蛍光ビームＤ”の場合は、照射面積が
小さいぶん照射エネルギーは少なくても良いが、被測定
面であるワークＷ表面の凹凸形状や測定装置までの距離
の変動により円形蛍光ビームＤ”の位置がずれて蛍光強
度に誤差を生じ易く、塗油量の測定精度が悪化すること
になる。一方、前記蛍光Ｌ_fの蛍光像（ビーム形状）
Ａ”に対して、単位面積当たりのエネルギー密度を等し
くするとともにワークＷ表面上に焦点した励起光ＬＢの
長方形ビームにより発生する蛍光ビームＡ’の長辺長さ
（蛍光像Ａ”の長辺長さと同じ）を直径とする円形の蛍
光ビームＣ”とした場合には、円形蛍光ビームＣ”の位
置ずれによる蛍光強度誤差は生じにくいが、照射面積が
広いぶん受光される蛍光強度は弱くなり測定感度が劣
る。従って強度を高めるためには照射エネルギーを大き
くする必要があるので好ましくない。

【００２１】そこで、本発明の励起光ＬＢのビーム形状
は長方形として、スリット１３上に長方形の蛍光蛍光像
Ａ”を焦点させるものとし、これによりワークの表面状
態等に起因する蛍光像の位置ずれによる誤差が生じにく
く、かつ照射エネルギーが小さくてすむようにした。

【００２２】励起光，蛍光像，スリットの各長方形の
相互の配置関係について：Ｎ₂パルスレーザ発振器から
なる励起用光源６から出力される励起光ＬＢのビーム形
状Ａは、図３に示すように、長辺がａ₁，短辺がａ₂の
長方形である。この励起光ＬＢをレンズ９で集光しワー
クＷ表面に照射して、長辺がａ₁’，短辺がａ₂’の長
方形の結像Ａ’とする。ここに、ａ₁：ａ₂＝ａ₁’：
ａ₂’である。この照射で発生する蛍光Ｌ_fを、光学系
１２の同一焦点距離を有するレンズ１２ａ，１２ｃで集
光してスリット１３上に投影すると、長辺ａ₁”＝
ａ₁’，短辺ａ₂”＝ａ₂’の長方形の蛍光像Ａ”とな
る。そのスリット１３の形状は長辺がｂ₁，短辺がｂ₂
の長方形Ｂである。本発明にあっては、スリット１３の
長方形Ｂの中心と蛍光像Ａ”の中心を一致させる（中心
点Ｏ）。且つまた、両長方形を直交させる（中心線の交
叉角α＝９０°）。このようにすることで、ワークＷ表
面自体の凹凸形状や、ワークＷを検出ヘッド１のサンプ
ルホルダ２に装着する際に生ずる測定面と測定装置との
相対的位置の変動誤差に起因する蛍光強度測定誤差を低
減させることができるので、測定値の信頼性が高められ
る。

【００２３】図５は、スリットと蛍光像とを直交させた
効果を確認するべく行った比較実験の結果を示したもの
である。すなわち、スリット１３の長方形Ｂの中心と蛍
光像Ａ”の中心を一致させた状態で、交叉角αを９０
°，４５°及び０°（両長方形が平行に重なる）とした
場合のそれぞれについて、測定値とα＝０°でサンプル
位置０ｍｍの場合の塗油量Ｍとの測定誤差（絶対値）│
ΔＭ／Ｍ│で比較した。横軸の目盛りは、試料ワークＷ
の位置の励起光ＬＢの焦点位置からの前後方向のずれ量
である。この結果から、スリット１３と蛍光像Ａ”とを
中心一致の状態で直交させた配置にすることで、ワーク
Ｗの保持位置が前後方向で２．０ｍｍ変動しても測定誤
差が５％以内になることがわかる。

【００２４】ワークＷ表面へ焦点した長方形励起光Ｌ
Ｂの照射形状の寸法およびスリット１３の長方形寸法に
ついて：本発明の塗油量測定装置において、ワークＷ表
面上で焦点した長方形励起光ＬＢの長方形の結像Ａ’の
大きさは、短辺を０．４〜１．０ｍｍの範囲、長辺を
１．６〜４．０ｍｍの範囲とするのが好ましい。これに
よりワークＷ表面の油１１が点状の油滴の場合にも照射
面を広く取り、しかも励起エネルギーを十分に確保する
ことができるからである。上記各辺の長さが下限値未満
の場合は、点状の塗布に対して測定面積が小さすぎて塗
油むらの影響を受け易く、上限値を超えると感度を高め
るためには励起用光源６の所要パワーを大きくする必要
が生じる。

【００２５】また、スリット１３の大きさは、分光器１
４への迷光の除去、波長分解能，信号強度の確保の見地
から短辺を０．４〜０．８ｍｍの範囲とするのが好まし
い。０．４ｍｍ未満では信号強度が不十分となり、０．
８ｍｍを超えると迷光の除去が不完全になる。

【００２６】本実施形態では、励起用光源６から発射さ
れる励起光ＬＢの長方形ビームＡの寸法を長辺ａ₁＝８
ｍｍ、短辺ａ₂＝２ｍｍとし、レンズ９で集光されてワ
ークＷの表面上に焦点を結んだ長方形の照射部Ａ’の寸
法は長辺ａ₁’＝２．０ｍｍ、短辺ａ₂’＝０．５ｍ
ｍ、スリット１３上に焦点した蛍光像Ａ”の寸法は前記
照射部Ａ’の寸法と同じく長辺ａ₁’＝２．０ｍｍ、短
辺ａ₂’＝０．５ｍｍとしている。

【００２７】（実施例）上記の実施形態に示す塗油量測
定装置と他の蛍光分析法による塗油量測定装置を用い
て、冷延鋼板に防錆油を静電塗油したワークＷについて
塗油量を測定し、その結果を重量法による塗油量分析値
と比較したものを図６に示す。

【００２８】ケース１（ＣＡＳＥ１）は、本発明塗油量
測定装置による測定値（○）である。ケース２（ＣＡＳ
Ｅ２）は、スリット１３上に結像する長方形蛍光像Ａ”
と長方形スリット形状Ｂとが平行（即ち交叉角α＝０
°）になるように光学系を配置した装置による比較例の
測定値（●）である。

【００２９】ケース３（ＣＡＳＥ３）は、励起光ＬＢの
ビーム形状が円形の従来の装置による測定値（▲）であ
る。この図６から明らかなように、塗油量が３００ｍｇ
／ｍ²以下の少ない領域において、本発明による結果
（ＣＡＳＥ１）では、±１０％以内の精度で測定可能で
ある。これに対して、比較例及び従来例（ＣＡＳＥ２，
３）による結果は、測定誤差が±１０％を超えてしま
い、測定性能が低下している。

【００３０】この実施例の場合、使用した冷延鋼板の表
面粗さはＲａ０．１５〜１．０μｍの範囲で異なるもの
である。したがって、本発明の塗油量測定装置によれ
ば、ワークＷの表面粗さ（下地表面粗さ）の影響を受け
ない測定が可能であるといえる。

【００３１】なお、上記実施形態では、測定対象である
油の油種を１種類に限定して説明したが、油種が異なる
場合には蛍光効率が異なるため、油種毎に予め蛍光強度
と塗油量との関係を表す検量線を求めておき、それらの
関係式を前記演算処理装置４に記憶させておくことによ
り、測定油種毎に検量線を選択して用いるようにすれば
良い。

【００３２】また、本発明の金属材料表面の塗油量測定
装置及び方法は、鋼板に限らず、アルミニウム板や銅箔
などの各種非鉄分野への応用も可能である。また、本発
明の金属材料表面の塗油量測定装置は、小型で軽量な構
成であるから容易に持ち運びができるとともに、保持装
置２を取り外すことによりシート状またはコイル状の金
属材料表面に装置を押し当てて測定するという使用態様
も可能であるから、オフラインとは限らずラインにおけ
るバッチ測定にも利用できるものである。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定対象の金属材料表面に塗布された油の量を、たとえ
単位面積当たりの塗油量が微量であっても十分な感度で
精度良く測定できると共に簡便な操作で測定でき、且つ
自動測定で作業負荷を軽減することも可能であるから、
測定頻度を増やすことができて、その結果品質管理の強
化、異常の早期発見、目標に合わせた塗油量での安定的
な塗布がなされると同時に過剰塗布による無駄を排除し
コストダウンできるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る金属材料表面の塗油量測定装置の
全体構成を示す概略図である。

【図２】本発明に用いる検出ヘッドの一実施形態の構成
を模式的にしめす図である。

【図３】本発明における励起光と蛍光像およびスリット
の形状，寸法，位置等との関係を説明する模式図で、
（ａ）は部分の斜視図、（ｂ）はそのスリット部の拡大
図である。

【図４】本発明におけるスリット形状と蛍光ビーム形状
との関係を説明する図である。

【図５】スリットと蛍光像との位置関係（交叉角α）と
測定誤差との相関を示す実測値のグラフである。

【図６】本発明に係る実施例と比較例と従来例との塗油
量測定値を比較したグラフである。

【符号の説明】

１検出ヘッド２保持装置（サンプルホルダ）４塗油量算出手段（演算処理装置）６励起光照射手段（励起用光源）１２光学系１３スリット１４分光器１５蛍光強度測定手段（光検出素子）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】油が塗布された金属材料表面に長方形の
ビーム形状とした特定波長の励起光を照射し、その照射
によって生じる蛍光を集光して長方形の蛍光像を長方形
のスリット位置に結ばせて当該蛍光像の長辺方向と前記
スリットの長辺方向とを直交せしめるとともに各長方形
の中心を一致せしめ、当該スリットを通過した蛍光の強
度を測定して塗油量を求めることを特徴とする金属材料
表面の塗油量測定方法。
【請求項２】油が塗布された金属材料表面に長方形の
ビーム形状とした特定波長の励起光を照射する手段と、
その励起光により発生した前記金属材料表面からの蛍光
を集光して長方形のスリット位置に長方形の蛍光像を結
ぶ光学系と、前記スリットを介して導いた前記蛍光を分
光する分光器と、該分光器で分光した蛍光を検出して蛍
光強度を測定する手段と、その蛍光強度に基づいて塗油
量を算出する手段とを備え、前記長方形のスリットをそ
の長辺の方向が前記長方形の蛍光像の長辺方向と直交す
るように配置したことを特徴とする金属材料表面の塗油
量測定装置。
【請求項３】請求項２記載の塗油量測定装置におい
て、被測定金属材料を所定の測定位置に保持する保持装
置を備えたことを特徴とする金属材料表面の塗油量測定
装置。