JPH1172444A - 走査型自動検査装置 - Google Patents
走査型自動検査装置Info
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- JPH1172444A JPH1172444A JP9234506A JP23450697A JPH1172444A JP H1172444 A JPH1172444 A JP H1172444A JP 9234506 A JP9234506 A JP 9234506A JP 23450697 A JP23450697 A JP 23450697A JP H1172444 A JPH1172444 A JP H1172444A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型コンパクトで、且つ優れた検査能力を有
する自動検査を行う。 【解決手段】 ウエハＷに向かってスリット状検査光Ｓ
を照射するスリット照明部１３、ウエハＷからの反射光
を受光するＣＣＤカメラ１５、およびＣＣＤカメラの撮
影画像を処理する画像処理装置１８とを有したマクロ検
査装置と、スリット光と直角方向にウエハＷを搬送する
搬送装置７と、ウエハＷの搬送位置を測定するエンコー
ダー８とを備えて自動検査装置が構成される。そして、
搬送装置７によりウエハＷを搬送するときに、スリット
照明部１３からウエハＷにスリット状検査光を照射し、
ＣＣＤカメラ１５により撮影したスリット画像を、画像
処理装置１８において、エンコーダー８により得られた
ウエハ位置情報に基づいて合成処理して被検査物の全体
反射光画像を得る。
する自動検査を行う。 【解決手段】 ウエハＷに向かってスリット状検査光Ｓ
を照射するスリット照明部１３、ウエハＷからの反射光
を受光するＣＣＤカメラ１５、およびＣＣＤカメラの撮
影画像を処理する画像処理装置１８とを有したマクロ検
査装置と、スリット光と直角方向にウエハＷを搬送する
搬送装置７と、ウエハＷの搬送位置を測定するエンコー
ダー８とを備えて自動検査装置が構成される。そして、
搬送装置７によりウエハＷを搬送するときに、スリット
照明部１３からウエハＷにスリット状検査光を照射し、
ＣＣＤカメラ１５により撮影したスリット画像を、画像
処理装置１８において、エンコーダー８により得られた
ウエハ位置情報に基づいて合成処理して被検査物の全体
反射光画像を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶製造用ガラス
基板や、ＩＣ製造用のウエハ等の表面検査を行う装置に
関し、特に、いわゆるマクロ検査と称される被検査物の
表面全体の検査を行う装置に関する。
基板や、ＩＣ製造用のウエハ等の表面検査を行う装置に
関し、特に、いわゆるマクロ検査と称される被検査物の
表面全体の検査を行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶製造用ガラス基板や、ＩＣ製造用の
ウエハ等（以下、これらを被検査物とも称する）の表面
検査は、被検査物の表面全体を観察して検査を行うマク
ロ検査と、顕微鏡等を用いて被検査物の表面を部分的に
拡大して検査を行うミクロ検査とに大別でき、マクロ検
査は、ペンライト等の白色光源を用いて、被検査物を回
転させながら検査員が目視判断して検査していた。
ウエハ等（以下、これらを被検査物とも称する）の表面
検査は、被検査物の表面全体を観察して検査を行うマク
ロ検査と、顕微鏡等を用いて被検査物の表面を部分的に
拡大して検査を行うミクロ検査とに大別でき、マクロ検
査は、ペンライト等の白色光源を用いて、被検査物を回
転させながら検査員が目視判断して検査していた。
【０００３】しかしながら、検査員による目視検査で
は、検査員毎の技術レベル差、および検査員の体調等に
よる検査レベルのばらつきがあり、安定した検査結果が
得にくいという問題がある。
は、検査員毎の技術レベル差、および検査員の体調等に
よる検査レベルのばらつきがあり、安定した検査結果が
得にくいという問題がある。
【０００４】このようなことから、被検査物の表面全体
に光を照射し、この表面からの反射光（回折光もしくは
散乱光）をＣＣＤカメラ等で受光して、被検査物の表面
全体の反射光画像を取得し、このようして得られた反射
光画像を予め測定した正常検査物の反射光画像と比較す
る画像処理を行って被検査物のマクロ検査を行う自動検
査装置が考えられている。
に光を照射し、この表面からの反射光（回折光もしくは
散乱光）をＣＣＤカメラ等で受光して、被検査物の表面
全体の反射光画像を取得し、このようして得られた反射
光画像を予め測定した正常検査物の反射光画像と比較す
る画像処理を行って被検査物のマクロ検査を行う自動検
査装置が考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな自動検査装置は、被検査物の表面全体に検査光を照
射し、同時にこの表面全体の画像を得るカメラ等が必要
であり、装置全体が大型化するという問題がある。特
に、ＩＣ製造用のウエハサイズは一層大径化する傾向に
あり、これに応じて装置がさらに大型化するという問題
がある。
うな自動検査装置は、被検査物の表面全体に検査光を照
射し、同時にこの表面全体の画像を得るカメラ等が必要
であり、装置全体が大型化するという問題がある。特
に、ＩＣ製造用のウエハサイズは一層大径化する傾向に
あり、これに応じて装置がさらに大型化するという問題
がある。
【０００６】本発明はこのような問題に鑑みたもので、
小型コンパクトな構成で、且つ優れた検査能力を有する
自動検査装置を提供することを目的とする。
小型コンパクトな構成で、且つ優れた検査能力を有する
自動検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的達成のた
め、本発明においては、被検査物に向かってスリット状
の検査光を照射するスリット照明部、被検査物からの反
射光を受光する受光部、およびこの受光部により受光し
た反射光から被検査物の反射光画像を得る画像処理部と
を有したマクロ検査装置と、マクロ検査装置に対して検
査光のスリット方向と直角な方向に被検査物を相対移動
させる搬送装置と、搬送装置により相対移動される被検
査物とマクロ検査装置との相対位置関係を測定する位置
検出装置とを備えて走査型自動検査装置が構成され、搬
送装置により被検査物を相対移動させながらスリット照
明部から被検査物にスリット状検査光を照射し、画像処
理部において受光部により受光した反射光からスリット
状の反射光画像を得るとともにこのスリット状反射光画
像を位置検出装置により得られた相対位置情報に基づい
て合成処理して被検査物の全体反射光画像を得るように
なっている。
め、本発明においては、被検査物に向かってスリット状
の検査光を照射するスリット照明部、被検査物からの反
射光を受光する受光部、およびこの受光部により受光し
た反射光から被検査物の反射光画像を得る画像処理部と
を有したマクロ検査装置と、マクロ検査装置に対して検
査光のスリット方向と直角な方向に被検査物を相対移動
させる搬送装置と、搬送装置により相対移動される被検
査物とマクロ検査装置との相対位置関係を測定する位置
検出装置とを備えて走査型自動検査装置が構成され、搬
送装置により被検査物を相対移動させながらスリット照
明部から被検査物にスリット状検査光を照射し、画像処
理部において受光部により受光した反射光からスリット
状の反射光画像を得るとともにこのスリット状反射光画
像を位置検出装置により得られた相対位置情報に基づい
て合成処理して被検査物の全体反射光画像を得るように
なっている。
【０００８】このような構成の自動検査装置の場合に
は、マクロ検査装置を構成するスリット照明部はスリッ
ト状の検査光を照射するだけであるので、スリット照明
部および受光部が非常にコンパクトとなり、マクロ検査
装置全体構成が小型、コンパクトとなる。
は、マクロ検査装置を構成するスリット照明部はスリッ
ト状の検査光を照射するだけであるので、スリット照明
部および受光部が非常にコンパクトとなり、マクロ検査
装置全体構成が小型、コンパクトとなる。
【０００９】なお、スリット照明部から単色の検査光を
照射し、受光部において被検査物から反射された回折光
を受光するように構成すれば、回折光を用いたコンパク
トなマクロ検査装置構成が得られる。さらに、この場合
に、スリット照明部に、検査光の波長を選択切換する波
長選択手段を設けるのが好ましく、これにより、被検査
物に合わせて最適な波長を選択し、マクロ検査を最適化
できる。また、スリット照明部から白色光を照射して受
光部において被検査物からの散乱光を受光し、被検査物
のキズ等のマクロ検査を行うようにすることもできる。
照射し、受光部において被検査物から反射された回折光
を受光するように構成すれば、回折光を用いたコンパク
トなマクロ検査装置構成が得られる。さらに、この場合
に、スリット照明部に、検査光の波長を選択切換する波
長選択手段を設けるのが好ましく、これにより、被検査
物に合わせて最適な波長を選択し、マクロ検査を最適化
できる。また、スリット照明部から白色光を照射して受
光部において被検査物からの散乱光を受光し、被検査物
のキズ等のマクロ検査を行うようにすることもできる。
【００１０】この場合、スリット照明部から被検査物へ
照射される検査光の照射角度を可変調整可能で、受光部
の反射光受光角度を可変調整可能とするのが好ましい。
これにより、被検査物の種類（例えば、ウエハ上に形成
されるラインパターンのピッチ）および検査のタイプ
（例えば、回折光による検査もしくは散乱光による検
査）等に応じて、照射角度および受光角度を最適に調整
設定可能となり、より精度の高い検査が可能となる。
照射される検査光の照射角度を可変調整可能で、受光部
の反射光受光角度を可変調整可能とするのが好ましい。
これにより、被検査物の種類（例えば、ウエハ上に形成
されるラインパターンのピッチ）および検査のタイプ
（例えば、回折光による検査もしくは散乱光による検
査）等に応じて、照射角度および受光角度を最適に調整
設定可能となり、より精度の高い検査が可能となる。
【００１１】上記のようににして画像処理部において得
られた被検査物の全体反射画像は、予め測定記憶されて
いる正常検査物の全体反射画像と比較されて、被検査物
のマクロ検査が行われ、これにより完全な自動マクロ検
査が可能となる。
られた被検査物の全体反射画像は、予め測定記憶されて
いる正常検査物の全体反射画像と比較されて、被検査物
のマクロ検査が行われ、これにより完全な自動マクロ検
査が可能となる。
【００１２】なお、マクロ検査装置を固定保持し、搬送
装置により被検査物をスリットの方向と直角な方向に搬
送し、位置検出装置は搬送装置による被検査物の搬送量
を検出するように構成するのが好ましい。これにより、
例えば、ミクロ検査装置の搬送系にこのマクロ検査装置
をコンパクトに配設することが可能となる。
装置により被検査物をスリットの方向と直角な方向に搬
送し、位置検出装置は搬送装置による被検査物の搬送量
を検出するように構成するのが好ましい。これにより、
例えば、ミクロ検査装置の搬送系にこのマクロ検査装置
をコンパクトに配設することが可能となる。
【００１３】このようなことから、本発明に係る自動検
査装置は、被検査物収容装置と、被検査物を光学顕微鏡
を用いて検査するミクロ検査装置と、被検査物収容装置
に収容された被検査物をミクロ検査装置へ搬送する搬送
装置と、この搬送装置の搬送経路中に配設されたマクロ
検査装置とを備えて構成することもできる。この場合、
マクロ検査装置は、被検査物に向かって搬送方向と直角
な方向に延びるスリット状の検査光を照射するスリット
照明部と、被検査物からの反射光を受光する受光部と、
この受光部により受光した反射光から被検査物の反射光
画像を得る画像処理部とを有し、さらに、すくなくとも
マクロ検査装置内における被検査物の搬送位置を検出す
る位置検出装置を備え、搬送装置により被検査物がマク
ロ検査装置内を搬送されるときに、スリット照明部から
被検査物にスリット状検査光を照射し、画像処理部にお
いて受光部により受光した反射光からスリット状の反射
光画像を得るとともにこのスリット状反射光画像を位置
検出装置により得られた搬送位置情報に基づいて合成処
理して被検査物の全体反射光画像を得るように構成され
る。
査装置は、被検査物収容装置と、被検査物を光学顕微鏡
を用いて検査するミクロ検査装置と、被検査物収容装置
に収容された被検査物をミクロ検査装置へ搬送する搬送
装置と、この搬送装置の搬送経路中に配設されたマクロ
検査装置とを備えて構成することもできる。この場合、
マクロ検査装置は、被検査物に向かって搬送方向と直角
な方向に延びるスリット状の検査光を照射するスリット
照明部と、被検査物からの反射光を受光する受光部と、
この受光部により受光した反射光から被検査物の反射光
画像を得る画像処理部とを有し、さらに、すくなくとも
マクロ検査装置内における被検査物の搬送位置を検出す
る位置検出装置を備え、搬送装置により被検査物がマク
ロ検査装置内を搬送されるときに、スリット照明部から
被検査物にスリット状検査光を照射し、画像処理部にお
いて受光部により受光した反射光からスリット状の反射
光画像を得るとともにこのスリット状反射光画像を位置
検出装置により得られた搬送位置情報に基づいて合成処
理して被検査物の全体反射光画像を得るように構成され
る。
【００１４】このような構成の自動検査装置の場合に
は、被検査物収容装置、ミクロ検査装置および搬送装置
からなる既存のミクロ検査装置において、その搬送経路
内にマクロ検査装置を付加することができ、検査装置全
体のサイズを変更せず、もしくは若干の変更のみでミク
ロ検査およびマクロ検査をともに行うことができる自動
検査装置を得ることができる。
は、被検査物収容装置、ミクロ検査装置および搬送装置
からなる既存のミクロ検査装置において、その搬送経路
内にマクロ検査装置を付加することができ、検査装置全
体のサイズを変更せず、もしくは若干の変更のみでミク
ロ検査およびマクロ検査をともに行うことができる自動
検査装置を得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態について説明する。本発明に係る自動検
査装置の全体構成を図１および図２に示している。この
自動検査装置は基台１の上に、顕微鏡２を有したミクロ
検査装置３と、ウエハ（検査対象物）Ｗを複数収容可能
なウエハ収容装置５と、ウエハＷをウエハ収容装置５と
ミクロ検査装置３との間で搬送する搬送装置７と、この
搬送装置７による搬送路中に主要検査部が配設されたマ
クロ検査装置１０とを備える。
ましい実施形態について説明する。本発明に係る自動検
査装置の全体構成を図１および図２に示している。この
自動検査装置は基台１の上に、顕微鏡２を有したミクロ
検査装置３と、ウエハ（検査対象物）Ｗを複数収容可能
なウエハ収容装置５と、ウエハＷをウエハ収容装置５と
ミクロ検査装置３との間で搬送する搬送装置７と、この
搬送装置７による搬送路中に主要検査部が配設されたマ
クロ検査装置１０とを備える。
【００１６】ミクロ検査装置３はウエハＷの表面を顕微
鏡２で拡大して検査する装置である。搬送装置７はウエ
ハ収容装置５に収容された未検査ウエハを一枚ずつ取り
出して、図１において矢印ＹおよびＸで示す経路に沿っ
てミクロ検査装置３に搬送し、ここでミクロ検査が完了
したウエハＷを上記経路を逆にたどってウエハ収容装置
５に搬送するようになっている。
鏡２で拡大して検査する装置である。搬送装置７はウエ
ハ収容装置５に収容された未検査ウエハを一枚ずつ取り
出して、図１において矢印ＹおよびＸで示す経路に沿っ
てミクロ検査装置３に搬送し、ここでミクロ検査が完了
したウエハＷを上記経路を逆にたどってウエハ収容装置
５に搬送するようになっている。
【００１７】この搬送装置７は、図３に示すように、ボ
ールネジ軸７ａと、このボールネジ軸７ａを回転するモ
ータ７ｂと、ボールネジ軸７ａの上にボールネジ係合し
て取り付けられた搬送台７ｃとから構成され、モータ７
ｂによりボールネジ軸７ａを回転させて搬送台７ｃを紙
面左右方向（矢印Ｃ方向およびこれと反対方向）に移動
させるように構成される。このとき、モータ７ｂの回転
を検出するロータリエンコーダ８が設けられており、こ
のロータリエンコーダ８により搬送台７ｃの位置検出が
なされる。なお、図１に示すように、搬送装置７はウエ
ハＷをＸおよびＹ方向に搬送するものであるため、図３
に示す搬送装置７が二組用いられる。
ールネジ軸７ａと、このボールネジ軸７ａを回転するモ
ータ７ｂと、ボールネジ軸７ａの上にボールネジ係合し
て取り付けられた搬送台７ｃとから構成され、モータ７
ｂによりボールネジ軸７ａを回転させて搬送台７ｃを紙
面左右方向（矢印Ｃ方向およびこれと反対方向）に移動
させるように構成される。このとき、モータ７ｂの回転
を検出するロータリエンコーダ８が設けられており、こ
のロータリエンコーダ８により搬送台７ｃの位置検出が
なされる。なお、図１に示すように、搬送装置７はウエ
ハＷをＸおよびＹ方向に搬送するものであるため、図３
に示す搬送装置７が二組用いられる。
【００１８】マクロ検査装置１０は、照明光源部１１
と、この照明光源部１１からの光を導く光ファイバー１
２と、光ファイバー１２を介して伝達された光からスリ
ット照明光を作り出すスリット照明部１３と、ウエハＷ
からの反射光（回折光もしくは散乱光）を検出するＣＣ
Ｄカメラ１５と、このＣＣＤカメラ１５により撮影され
た画像の合成処理を行う画像処理部１８（図５参照）と
から構成される。
と、この照明光源部１１からの光を導く光ファイバー１
２と、光ファイバー１２を介して伝達された光からスリ
ット照明光を作り出すスリット照明部１３と、ウエハＷ
からの反射光（回折光もしくは散乱光）を検出するＣＣ
Ｄカメラ１５と、このＣＣＤカメラ１５により撮影され
た画像の合成処理を行う画像処理部１８（図５参照）と
から構成される。
【００１９】照明光源部１１は、図５に詳しく示すよう
に、光源ランプ１１ａと、この光源ランプ１１ａからの
光を光ファイバー１２に集光する集光レンズ系１１ｂ
と、集光された光の波長選択を行う切換式干渉フィルタ
１１ｃとから構成される。この切換式干渉フィルタ１１
ｃは集光レンズ系１１ｂから光ファイバー１２に至る光
路に位置するフィルタを選択切換するものであり、これ
により、光源ランプ１１ａからの白色光をそのまま光フ
ァイバー１２に伝えたり、フィルターにより単色光を選
択して光ファイバー１２に伝えたりすることができる。
さらに、フィルターの種類に応じて波長を選択すること
もできる。
に、光源ランプ１１ａと、この光源ランプ１１ａからの
光を光ファイバー１２に集光する集光レンズ系１１ｂ
と、集光された光の波長選択を行う切換式干渉フィルタ
１１ｃとから構成される。この切換式干渉フィルタ１１
ｃは集光レンズ系１１ｂから光ファイバー１２に至る光
路に位置するフィルタを選択切換するものであり、これ
により、光源ランプ１１ａからの白色光をそのまま光フ
ァイバー１２に伝えたり、フィルターにより単色光を選
択して光ファイバー１２に伝えたりすることができる。
さらに、フィルターの種類に応じて波長を選択すること
もできる。
【００２０】このようにして光ファイバー１２を介して
送られる光は、スリット照明部１３においてスリット状
の光に変換される。スリット照明部１３は、光ファイバ
ー１２から分岐した多数の光ファイバーを帯状に配列し
てなる帯状ファイバー部１３ａと、この帯状ファイバー
部１３ａの先端に位置するシリンドリカルレンズ１３ｂ
とからなり、これにより、スリット状の照明光Ｓを照射
する。このスリット照明部１３は、図１においてＸ方向
に搬送されるウエハＷの上側に斜めに対向して配設され
ており、Ｘ方向（ウエハの搬送方向）と直角に延びるス
リット状照明光ＳをウエハＷに照射する。
送られる光は、スリット照明部１３においてスリット状
の光に変換される。スリット照明部１３は、光ファイバ
ー１２から分岐した多数の光ファイバーを帯状に配列し
てなる帯状ファイバー部１３ａと、この帯状ファイバー
部１３ａの先端に位置するシリンドリカルレンズ１３ｂ
とからなり、これにより、スリット状の照明光Ｓを照射
する。このスリット照明部１３は、図１においてＸ方向
に搬送されるウエハＷの上側に斜めに対向して配設され
ており、Ｘ方向（ウエハの搬送方向）と直角に延びるス
リット状照明光ＳをウエハＷに照射する。
【００２１】一方、ＣＣＤカメラ１５も、Ｘ方向に搬送
されるウエハＷの上側に斜めに対向して配設され、ウエ
ハＷに照射されたスリット状照明光からの反射光に向か
って受光部が位置する。なお、この反射光の方向は、Ｃ
ＣＤカメラ１５が受光する反射光の種類（回折光、散乱
光）、スリット状照明光の種類（白色光、単色光および
その波長）等に応じて異なり、さらに、回折光の場合に
はウエハＷ上のパターンピッチに応じても異なる。この
ため、所望の反射光を効率良くＣＣＤカメラ１５により
受光できるように、スリット照明部１３の照明光照射角
度が図３において矢印Ａで示すように調整可能であり、
ＣＣＤカメラ１５の受光角度も矢印Ｂで示すように調整
可能となっている。
されるウエハＷの上側に斜めに対向して配設され、ウエ
ハＷに照射されたスリット状照明光からの反射光に向か
って受光部が位置する。なお、この反射光の方向は、Ｃ
ＣＤカメラ１５が受光する反射光の種類（回折光、散乱
光）、スリット状照明光の種類（白色光、単色光および
その波長）等に応じて異なり、さらに、回折光の場合に
はウエハＷ上のパターンピッチに応じても異なる。この
ため、所望の反射光を効率良くＣＣＤカメラ１５により
受光できるように、スリット照明部１３の照明光照射角
度が図３において矢印Ａで示すように調整可能であり、
ＣＣＤカメラ１５の受光角度も矢印Ｂで示すように調整
可能となっている。
【００２２】
【実施例】以上の構成の自動検査装置による検査工程に
ついて以下に説明する。この装置による検査を行うとき
には、まず、搬送装置７によりウエハ収容装置５に収容
された未検査ウエハＷを一枚取り出して、搬送経路Ｙお
よびＸに沿ってこのウエハＷを搬送する。このようにし
てウエハＷが搬送経路Ｘに沿って搬送されるときに、ス
リット照明部１３からスリット状の照明光ＳがウエハＷ
上に照射される。
ついて以下に説明する。この装置による検査を行うとき
には、まず、搬送装置７によりウエハ収容装置５に収容
された未検査ウエハＷを一枚取り出して、搬送経路Ｙお
よびＸに沿ってこのウエハＷを搬送する。このようにし
てウエハＷが搬送経路Ｘに沿って搬送されるときに、ス
リット照明部１３からスリット状の照明光ＳがウエハＷ
上に照射される。
【００２３】この状態を図３から図５に順次示してお
り、これらの図から分かるように、搬送装置７によりウ
エハＷが図における右方向（矢印Ｃ方向）に搬送される
ときに、スリット照明部１３からの照射光ＬＥはウエハ
Ｗの表面にスリット状照明光Ｓとなって照射され、この
スリット状照明光Ｓの反射光ＬＲはＣＣＤカメラ１５に
より受光され、スリット状照明光Ｓにより照射された部
分のスリット状画像がＣＣＤカメラ１５により撮影され
る。
り、これらの図から分かるように、搬送装置７によりウ
エハＷが図における右方向（矢印Ｃ方向）に搬送される
ときに、スリット照明部１３からの照射光ＬＥはウエハ
Ｗの表面にスリット状照明光Ｓとなって照射され、この
スリット状照明光Ｓの反射光ＬＲはＣＣＤカメラ１５に
より受光され、スリット状照明光Ｓにより照射された部
分のスリット状画像がＣＣＤカメラ１５により撮影され
る。
【００２４】このようにして撮影されたスリット画像情
報は、ＣＣＤカメラ１５から画像処理装置１８に送られ
る。画像処理装置１８にはロータリエンコーダ８からの
信号（ウエハＷの位置情報信号）も入力されており、Ｃ
ＣＤカメラ１５から順次送られてくるスリット画像情報
をロータリエンコーダ８からのウエハＷの位置情報信号
に基づいて合成し、図６に示すようなウエハＷの全体反
射画像Ｗ’を得る。なお、この図における縦線で挟まれ
た各スリット状空間が各スリット画像を示し、図におい
て矢印ａ，ｂおよびｃで示すスリット画像が、それぞ
れ、図３、図４および図５の状態で撮影されたスリット
画像に対応する。
報は、ＣＣＤカメラ１５から画像処理装置１８に送られ
る。画像処理装置１８にはロータリエンコーダ８からの
信号（ウエハＷの位置情報信号）も入力されており、Ｃ
ＣＤカメラ１５から順次送られてくるスリット画像情報
をロータリエンコーダ８からのウエハＷの位置情報信号
に基づいて合成し、図６に示すようなウエハＷの全体反
射画像Ｗ’を得る。なお、この図における縦線で挟まれ
た各スリット状空間が各スリット画像を示し、図におい
て矢印ａ，ｂおよびｃで示すスリット画像が、それぞ
れ、図３、図４および図５の状態で撮影されたスリット
画像に対応する。
【００２５】このようにして全体反射画像Ｗ’が得られ
ると、これが、画像処理装置１８内に予め撮影記録され
ている正常ウエハの全体反射画像と比較され、欠陥の有
無等の検査が行われる。例えば、図６には、ハッチング
を施した箇所（ピクセル）に欠陥がある場合を示してい
る。
ると、これが、画像処理装置１８内に予め撮影記録され
ている正常ウエハの全体反射画像と比較され、欠陥の有
無等の検査が行われる。例えば、図６には、ハッチング
を施した箇所（ピクセル）に欠陥がある場合を示してい
る。
【００２６】このようにして、ウエハＷが搬送装置７に
よりＸ方向に搬送されるときにマクロ検査が行われ、ウ
エハＷはミクロ検査装置３内に搬送される。そして、ミ
クロ検査装置３において顕微鏡２を用いて検査が行われ
る。ミクロ検査が完了するとウエハＷは搬送装置７によ
り逆に搬送されて収納装置５に戻される。以下、同様の
手順で残りのウエハＷについてもマクロ検査およびミク
ロ検査が行われる。
よりＸ方向に搬送されるときにマクロ検査が行われ、ウ
エハＷはミクロ検査装置３内に搬送される。そして、ミ
クロ検査装置３において顕微鏡２を用いて検査が行われ
る。ミクロ検査が完了するとウエハＷは搬送装置７によ
り逆に搬送されて収納装置５に戻される。以下、同様の
手順で残りのウエハＷについてもマクロ検査およびミク
ロ検査が行われる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送装置により被検査物を相対移動させながらスリット
照明部から被検査物にスリット状検査光を照射し、画像
処理部において受光部により受光した反射光からスリッ
ト状の反射光画像を得るとともにこのスリット状反射光
画像を位置検出装置により得られた相対位置情報に基づ
いて合成処理して被検査物の全体反射光画像を得るよう
になっているので、マクロ検査装置を構成するスリット
照明部はスリット状の検査光を照射するだけで良く、ス
リット照明部および受光部を非常にコンパクトに構成
し、マクロ検査装置全体構成を小型、コンパクトとする
ことができる。
搬送装置により被検査物を相対移動させながらスリット
照明部から被検査物にスリット状検査光を照射し、画像
処理部において受光部により受光した反射光からスリッ
ト状の反射光画像を得るとともにこのスリット状反射光
画像を位置検出装置により得られた相対位置情報に基づ
いて合成処理して被検査物の全体反射光画像を得るよう
になっているので、マクロ検査装置を構成するスリット
照明部はスリット状の検査光を照射するだけで良く、ス
リット照明部および受光部を非常にコンパクトに構成
し、マクロ検査装置全体構成を小型、コンパクトとする
ことができる。
【００２８】なお、検査目的に応じて、スリット照明部
から単色もしくは白色の検査光を照射し、受光部におい
て被検査物から反射された回折光もしくは散乱光を受光
するように構成することにより、回折光もしくは散乱光
を用いたコンパクトな構成の検査装置を得ることができ
る。この場合に、スリット照明部に、検査光の波長を選
択切換する波長選択手段を設けるのが好ましく、これに
より、被検査物に合わせて最適な波長を選択し、マクロ
検査を最適化できる。
から単色もしくは白色の検査光を照射し、受光部におい
て被検査物から反射された回折光もしくは散乱光を受光
するように構成することにより、回折光もしくは散乱光
を用いたコンパクトな構成の検査装置を得ることができ
る。この場合に、スリット照明部に、検査光の波長を選
択切換する波長選択手段を設けるのが好ましく、これに
より、被検査物に合わせて最適な波長を選択し、マクロ
検査を最適化できる。
【００２９】この場合、スリット照明部から被検査物へ
照射される検査光の照射角度を可変調整可能で、受光部
の反射光受光角度を可変調整可能とするのが好ましい。
これにより、被検査物の種類（例えば、ウエハ上に形成
されるラインパターンのピット）および検査のタイプ
（例えば、回折光による検査もしくは散乱光による検
査）等に応じて、照射角度および受光角度を最適に調整
設定可能となり、より精度の高い検査が可能となる。
照射される検査光の照射角度を可変調整可能で、受光部
の反射光受光角度を可変調整可能とするのが好ましい。
これにより、被検査物の種類（例えば、ウエハ上に形成
されるラインパターンのピット）および検査のタイプ
（例えば、回折光による検査もしくは散乱光による検
査）等に応じて、照射角度および受光角度を最適に調整
設定可能となり、より精度の高い検査が可能となる。
【００３０】上記ようににして画像処理部において得ら
れた被検査物の全体反射画像は、予め測定記憶されてい
る正常検査物の全体反射画像と比較されて、被検査物の
マクロ検査が行われ、これにより完全な自動マクロ検査
が可能となる。
れた被検査物の全体反射画像は、予め測定記憶されてい
る正常検査物の全体反射画像と比較されて、被検査物の
マクロ検査が行われ、これにより完全な自動マクロ検査
が可能となる。
【００３１】なお、マクロ検査装置を固定保持し、搬送
装置により被検査物をスリットの方向と直角な方向に搬
送し、位置検出装置は搬送装置による被検査物の搬送量
を検出するように構成するのが好ましい。これにより、
例えば、ミクロ検査装置の搬送系にこのマクロ検査装置
をコンパクトに配設することが可能となる。
装置により被検査物をスリットの方向と直角な方向に搬
送し、位置検出装置は搬送装置による被検査物の搬送量
を検出するように構成するのが好ましい。これにより、
例えば、ミクロ検査装置の搬送系にこのマクロ検査装置
をコンパクトに配設することが可能となる。
【００３２】本発明に係る自動検査装置は、被検査物収
容装置と、被検査物を光学顕微鏡を用いて検査するミク
ロ検査装置と、被検査物収容装置に収容された被検査物
をミクロ検査装置へ搬送する搬送装置と、この搬送装置
の搬送経路中に配設されたマクロ検査装置とを備えて構
成することもできる。この場合、マクロ検査装置は、被
検査物に向かって搬送方向と直角な方向に延びるスリッ
ト状の検査光を照射するスリット照明部と、被検査物か
らの反射光を受光する受光部と、この受光部により受光
した反射光から被検査物の反射光画像を得る画像処理部
とを有して構成され、搬送装置により被検査物がマクロ
検査装置内を搬送されるときに、スリット照明部から被
検査物にスリット状検査光を照射し、画像処理部におい
て受光部により受光した反射光からスリット状の反射光
画像を得るとともにこのスリット状反射光画像を位置検
出装置により得られた搬送位置情報に基づいて合成処理
して被検査物の全体反射光画像を得るように構成され
る。
容装置と、被検査物を光学顕微鏡を用いて検査するミク
ロ検査装置と、被検査物収容装置に収容された被検査物
をミクロ検査装置へ搬送する搬送装置と、この搬送装置
の搬送経路中に配設されたマクロ検査装置とを備えて構
成することもできる。この場合、マクロ検査装置は、被
検査物に向かって搬送方向と直角な方向に延びるスリッ
ト状の検査光を照射するスリット照明部と、被検査物か
らの反射光を受光する受光部と、この受光部により受光
した反射光から被検査物の反射光画像を得る画像処理部
とを有して構成され、搬送装置により被検査物がマクロ
検査装置内を搬送されるときに、スリット照明部から被
検査物にスリット状検査光を照射し、画像処理部におい
て受光部により受光した反射光からスリット状の反射光
画像を得るとともにこのスリット状反射光画像を位置検
出装置により得られた搬送位置情報に基づいて合成処理
して被検査物の全体反射光画像を得るように構成され
る。
【００３３】このような構成の自動検査装置の場合に
は、被検査物収容装置、ミクロ検査装置および搬送装置
からなる既存のミクロ検査装置において、その搬送経路
内にマクロ検査装置を付加することができ、検査装置全
体のサイズを変更せず、もしくは若干の変更のみでミク
ロ検査およびマクロ検査をともに行うことができる自動
検査装置を得ることができる。
は、被検査物収容装置、ミクロ検査装置および搬送装置
からなる既存のミクロ検査装置において、その搬送経路
内にマクロ検査装置を付加することができ、検査装置全
体のサイズを変更せず、もしくは若干の変更のみでミク
ロ検査およびマクロ検査をともに行うことができる自動
検査装置を得ることができる。
【図１】本発明に係る自動検査装置の全体構成を示す平
面図である。
面図である。
【図２】本発明に係る自動検査装置の全体構成を示す正
面図である。
面図である。
【図３】本発明に係る自動検査装置を構成するマクロ検
査装置を示す平面図および正面図である。
査装置を示す平面図および正面図である。
【図４】本発明に係る自動検査装置を構成するマクロ検
査装置を示す平面図および正面図である。
査装置を示す平面図および正面図である。
【図５】本発明に係る自動検査装置を構成するマクロ検
査装置を示す平面図および正面図である。
査装置を示す平面図および正面図である。
【図６】このマクロ検査装置により得られたウエハの全
体反射画像を示す図である。
体反射画像を示す図である。
２ 顕微鏡 ３ ミクロ検査装置 ５ ウエハ収容装置 ７ 搬送装置 ８ ロータリエンコーダ １０ マクロ検査装置 １１ 照明光源部 １２ 光ファイバー １３ スリット照明部 １５ ＣＣＤカメラ １８ 画像処理部 Ｗ ウエハ Ｓ スリット照明光
Claims (9)
- 【請求項１】 被検査物に向かってスリット状の検査光
を照射するスリット照明部と、前記被検査物からの反射
光を受光する受光部と、この受光部により受光した前記
反射光から前記被検査物の反射光画像を得る画像処理部
とを有してなるマクロ検査装置と、 このマクロ検査装置に対して前記検査光のスリット方向
と直角な方向に前記被検査物を相対移動させる搬送装置
と、 前記搬送装置により相対移動される前記被検査物と前記
マクロ検査装置との相対位置関係を測定する位置検出装
置とを備え、 前記搬送装置により被検査物を相対移動させながら前記
スリット照明部から前記被検査物にスリット状検査光を
照射し、前記画像処理部において前記受光部により受光
した前記反射光からスリット状の反射光画像を得るとと
もにこのスリット状反射光画像を前記位置検出装置によ
り得られた相対位置情報に基づいて合成処理して前記被
検査物の全体反射光画像を得ることを特徴とする走査型
自動検査装置。 - 【請求項２】 前記スリット照明部から単色のスリット
状検査光を照射し、前記受光部において前記被検査物か
ら反射された回折光を受光することを特徴とする請求項
１に記載の走査型自動検査装置。 - 【請求項３】 前記スリット照明部に前記検査光の波長
を選択切換する波長選択手段が設けられていることを特
徴とする請求項２に記載の走査型自動検査装置。 - 【請求項４】 前記スリット照明部から白色のスリット
状検査光を照射し、前記受光部において前記被検査物か
ら反射された散乱光を受光することを特徴とする請求項
１に記載の走査型自動検査装置。 - 【請求項５】前記スリット照明部から被検査物へ照射さ
れる検査光の照射角度が可変調整可能であり、前記受光
部の反射光受光角度が可変調整可能であることを特徴と
する請求項１〜４のいずれかに記載の走査型自動検査装
置。 - 【請求項６】 前記画像処理部において得られた被検査
物の全体反射画像を、予め測定記憶されている正常検査
物の全体反射画像と比較して前記被検査物のマクロ検査
を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
の走査型自動検査装置。 - 【請求項７】 前記マクロ検査装置が固定保持され、前
記搬送装置により前記被検査物が前記スリットの方向と
直角な方向に搬送され、前記位置検出装置は前記搬送装
置による前記被検査物の搬送量を検出することを特徴と
する請求項１に記載の走査型自動検査装置。 - 【請求項８】 前記被検査物が、液晶製造用ガラス基板
もしくはＩＣ製造用のウエハであることを特徴とする請
求項１〜７のいずれかに記載の走査型自動検査装置。 - 【請求項９】 被検査物収容装置と、被検査物を光学顕
微鏡を用いて検査するミクロ検査装置と、前記被検査物
収容装置に収容された被検査物を前記ミクロ検査装置へ
搬送する搬送装置と、この搬送装置の搬送経路中に配設
されたマクロ検査装置とを備え、 前記マクロ検査装置が、被検査物に向かって前記搬送方
向と直角な方向に延びるスリット状の検査光を照射する
スリット照明部と、前記被検査物からの反射光を受光す
る受光部と、この受光部により受光した前記反射光から
前記被検査物の反射光画像を得る画像処理部とを有し、 すくなくとも前記マクロ検査装置内における被検査物の
搬送位置を検出する位置検出装置を備え、 前記搬送装置により被検査物が前記マクロ検査装置内を
搬送されるときに、前記スリット照明部から前記被検査
物にスリット状検査光を照射し、前記画像処理部におい
て前記受光部により受光した前記反射光からスリット状
の反射光画像を得るとともにこのスリット状反射光画像
を前記位置検出装置により得られた搬送位置情報に基づ
いて合成処理して前記被検査物の全体反射光画像を得る
ことを特徴とする走査型自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234506A JPH1172444A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 走査型自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234506A JPH1172444A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 走査型自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1172444A true JPH1172444A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=16972103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9234506A Pending JPH1172444A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 走査型自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1172444A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003174065A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 半導体基板検査装置、半導体基板検査方法およびプログラム |
| JP2008026306A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-02-07 | Hoya Corp | パターン欠陥検査方法、パターン欠陥検査装置、フォトマスク製品の製造方法、及び表示デバイス用基板の製造方法 |
| JP2008216159A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Kyushu Nogeden:Kk | 移動物品の欠陥部等の検出方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置 |
| JP2011044609A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 外観検査装置 |
| CN102262095A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-11-30 | 株式会社高永科技 | 检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法 |
-
1997
- 1997-08-29 JP JP9234506A patent/JPH1172444A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003174065A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 半導体基板検査装置、半導体基板検査方法およびプログラム |
| JP2008026306A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-02-07 | Hoya Corp | パターン欠陥検査方法、パターン欠陥検査装置、フォトマスク製品の製造方法、及び表示デバイス用基板の製造方法 |
| JP2008216159A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Kyushu Nogeden:Kk | 移動物品の欠陥部等の検出方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置 |
| JP2011044609A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 外観検査装置 |
| CN102262095A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-11-30 | 株式会社高永科技 | 检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法 |
| US9124810B2 (en) | 2010-04-14 | 2015-09-01 | Koh Young Technology Inc. | Method of checking an inspection apparatus and method of establishing a measurement variable of the inspection apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040827 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060614 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060623 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061020 |