JPH1176445A - クリーンルームにおける消火方法及びその装置 - Google Patents
クリーンルームにおける消火方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH1176445A JPH1176445A JP14117598A JP14117598A JPH1176445A JP H1176445 A JPH1176445 A JP H1176445A JP 14117598 A JP14117598 A JP 14117598A JP 14117598 A JP14117598 A JP 14117598A JP H1176445 A JPH1176445 A JP H1176445A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- fire
- air
- gas
- ceiling chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 85
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 36
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical group N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 22
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 21
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 2
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000029087 digestion Effects 0.000 description 1
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000000241 respiratory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62C—FIRE-FIGHTING
- A62C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- A62C99/0009—Methods of extinguishing or preventing the spread of fire by cooling down or suffocating the flames
- A62C99/0018—Methods of extinguishing or preventing the spread of fire by cooling down or suffocating the flames using gases or vapours that do not support combustion, e.g. steam, carbon dioxide
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Fire-Extinguishing By Fire Departments, And Fire-Extinguishing Equipment And Control Thereof (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】初期消火を迅速に行なうことができると共に、
清浄室内の人の人命の保護を図ることができ、更には清
浄室内に配設された装置等の汚染を極力防止することが
できる。 【解決手段】清浄室３０を含むクリーンルーム内で火災
が発生したら、外部空調機１４から天井チャンバ１８内
への空調空気の給気を停止して酸素の補給系路を遮断し
た状態で天井チャンバ１８と清浄室の空気循環だけを継
続する。この空気循環を継続した状態で、清浄室３０内
の空気を排出しながら天井チャンバ１８内に炭酸ガスと
不活性ガスとから成る消火ガスを放出する。天井チャン
バ１８内に放出された消火ガスは、空気循環により天井
面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２８通して清浄室
３０内に吹き出される。これにより、清浄室３０内の酸
素濃度を速やかに低下させて迅速な消火を行なう。
清浄室内の人の人命の保護を図ることができ、更には清
浄室内に配設された装置等の汚染を極力防止することが
できる。 【解決手段】清浄室３０を含むクリーンルーム内で火災
が発生したら、外部空調機１４から天井チャンバ１８内
への空調空気の給気を停止して酸素の補給系路を遮断し
た状態で天井チャンバ１８と清浄室の空気循環だけを継
続する。この空気循環を継続した状態で、清浄室３０内
の空気を排出しながら天井チャンバ１８内に炭酸ガスと
不活性ガスとから成る消火ガスを放出する。天井チャン
バ１８内に放出された消火ガスは、空気循環により天井
面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２８通して清浄室
３０内に吹き出される。これにより、清浄室３０内の酸
素濃度を速やかに低下させて迅速な消火を行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
おける消火方法及びその装置に係り、特に半導体製造装
置や超精密機器の製造ラインを備えたクリーンルームに
おける消火方法及びその装置に関する。
おける消火方法及びその装置に係り、特に半導体製造装
置や超精密機器の製造ラインを備えたクリーンルームに
おける消火方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の高集積化、微細化にともな
い半導体製造装置はクリーンルーム内に収納されてい
る。クリーンルームの一般の構成としては、空調空気を
天井チャンバ内に給気して天井面に配設されたフィルタ
（ＨＥＰＡフィルタ）を通して清浄室内に吹き出すと共
に、吹き出された空調空気は前記天井チャンバとの間で
循環使用されるのが通常である。
い半導体製造装置はクリーンルーム内に収納されてい
る。クリーンルームの一般の構成としては、空調空気を
天井チャンバ内に給気して天井面に配設されたフィルタ
（ＨＥＰＡフィルタ）を通して清浄室内に吹き出すと共
に、吹き出された空調空気は前記天井チャンバとの間で
循環使用されるのが通常である。
【０００３】クリーンルーム内では、半導体製造機器と
共に、薬品、ガス等の可燃物が多く使用されており防災
対策について種々の取り組みがなされている。従来、半
導体工場のクリーンルームに火災が発生した場合の消火
対策として、ハロゲンガス消火設備や、局所に散水設備
等の消火設備を設置する等の初期消火対策がなされてい
る。
共に、薬品、ガス等の可燃物が多く使用されており防災
対策について種々の取り組みがなされている。従来、半
導体工場のクリーンルームに火災が発生した場合の消火
対策として、ハロゲンガス消火設備や、局所に散水設備
等の消火設備を設置する等の初期消火対策がなされてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ハロゲ
ン系消火ガスによる消火では腐食性ガス（臭化水素、フ
ッ化水素等）の発生を伴うために、人命に危険なだけで
なく、装置を腐食させる等の二次災害の原因にもなると
いう欠点がある。また、炭酸ガスのクリーンルーム内全
域への放出による消火方法もあるが、ハロゲン系消火ガ
スの場合と同様の欠点があり根本的な解決とはならな
い。
ン系消火ガスによる消火では腐食性ガス（臭化水素、フ
ッ化水素等）の発生を伴うために、人命に危険なだけで
なく、装置を腐食させる等の二次災害の原因にもなると
いう欠点がある。また、炭酸ガスのクリーンルーム内全
域への放出による消火方法もあるが、ハロゲン系消火ガ
スの場合と同様の欠点があり根本的な解決とはならな
い。
【０００５】また、火災の際にはクリーンルームを空調
する全ての装置の運転を停止した状態で清浄室に上記の
消火ガスが放出されるので、清浄室内の圧力が一気に上
昇する場合があり、この圧力上昇による人体や装置への
悪影響も問題となる。本発明はこのような事情に鑑みて
なされたもので、初期消火を迅速に行なうことができる
と共に、清浄室内の人の人命の保護を図ることができ、
更には清浄室内に配設された装置等の汚染を極力防止す
ることができるクリーンルームにおける消火方法及びそ
の装置を提供することを目的とする。
する全ての装置の運転を停止した状態で清浄室に上記の
消火ガスが放出されるので、清浄室内の圧力が一気に上
昇する場合があり、この圧力上昇による人体や装置への
悪影響も問題となる。本発明はこのような事情に鑑みて
なされたもので、初期消火を迅速に行なうことができる
と共に、清浄室内の人の人命の保護を図ることができ、
更には清浄室内に配設された装置等の汚染を極力防止す
ることができるクリーンルームにおける消火方法及びそ
の装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、空調空気を天井チャンバ内に給気して天井
面に配設されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと
共に、吹き出された空調空気を前記天井チャンバとの間
で循環使用するクリーンルームにおける消火方法に於い
て、前記クリーンルームに発生した火災を検出し、前記
天井チャンバへの外部からの空調空気の給気を停止し、
前記清浄室内と天井室内の間の空気循環を継続させたま
まで、前記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとか
ら成る消火ガスを放出し、放出した消火ガスを前記空気
循環により前記清浄室と天井チャンバとの間で前記フィ
ルタを介して循環する一方、前記清浄室内の空気排出に
より前記清浄室の圧力調整を行いながら前記清浄室の空
気を前記消火ガスで希釈することを特徴とする。
するために、空調空気を天井チャンバ内に給気して天井
面に配設されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと
共に、吹き出された空調空気を前記天井チャンバとの間
で循環使用するクリーンルームにおける消火方法に於い
て、前記クリーンルームに発生した火災を検出し、前記
天井チャンバへの外部からの空調空気の給気を停止し、
前記清浄室内と天井室内の間の空気循環を継続させたま
まで、前記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとか
ら成る消火ガスを放出し、放出した消火ガスを前記空気
循環により前記清浄室と天井チャンバとの間で前記フィ
ルタを介して循環する一方、前記清浄室内の空気排出に
より前記清浄室の圧力調整を行いながら前記清浄室の空
気を前記消火ガスで希釈することを特徴とする。
【０００７】また、本発明は前記目的を達成するため
に、空調空気を天井チャンバ内に給気して天井面に配設
されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと共に、吹
き出された空調空気は前記天井チャンバとの間で循環使
用されるクリーンルームにおける消火装置に於いて、火
災を検出する火災検出器と、前記清浄室内の圧力上昇を
検出する圧力検知器と、前記空調空気の前記天井チャン
バ内への外部からの給気を停止する給気停止手段と、前
記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとから成る消
火ガスの放出口が設けられた消火ガス放出手段と、前記
清浄室内の空気を排気して前記清浄室内の圧力を調整す
る圧力調整手段と、前記火災検知器と前記圧力検知器の
検出結果に基づいて、前記給気停止手段と、前記消火ガ
ス放出手段と、前記圧力調整手段を制御する制御手段
と、から成ることを特徴とする。
に、空調空気を天井チャンバ内に給気して天井面に配設
されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと共に、吹
き出された空調空気は前記天井チャンバとの間で循環使
用されるクリーンルームにおける消火装置に於いて、火
災を検出する火災検出器と、前記清浄室内の圧力上昇を
検出する圧力検知器と、前記空調空気の前記天井チャン
バ内への外部からの給気を停止する給気停止手段と、前
記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとから成る消
火ガスの放出口が設けられた消火ガス放出手段と、前記
清浄室内の空気を排気して前記清浄室内の圧力を調整す
る圧力調整手段と、前記火災検知器と前記圧力検知器の
検出結果に基づいて、前記給気停止手段と、前記消火ガ
ス放出手段と、前記圧力調整手段を制御する制御手段
と、から成ることを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、清浄室で火災が発生した
ら、天井チャンバ内への外部からの空調空気の給気を停
止して酸素の補給系路を遮断した状態で天井チャンバと
清浄室の空気循環だけを継続する。この空気循環を継続
した状態で、天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスと
から成る消火ガスを放出する。天井チャンバ内に放出さ
れた消火ガスは、空気循環により天井面に配設されたフ
ィルタを通して清浄室に吹き出される。消火ガスの清浄
室への吹き出しによる清浄室の圧力は、清浄室内の空気
を排気することにより調整される。これにより、清浄室
内の酸素濃度を１５％程度以下に速やかに低下させて迅
速な消火を行なう。また、天井チャンバ内に放出された
消火ガスをフィルタを介して清浄室に吹き出すことによ
り、消火ガスに同伴される塵埃を除去してから清浄室に
給気することができるだけでなく、フィルタの通気抵抗
を利用することにより消火ガスが天井チャンバから清浄
室に一度に吹き出されることを防止できる。従って、清
浄室内の圧力が一気に上昇することがないので、清浄室
内の人や装置に急激な圧力変化による悪影響を及ぼすこ
とがない。
ら、天井チャンバ内への外部からの空調空気の給気を停
止して酸素の補給系路を遮断した状態で天井チャンバと
清浄室の空気循環だけを継続する。この空気循環を継続
した状態で、天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスと
から成る消火ガスを放出する。天井チャンバ内に放出さ
れた消火ガスは、空気循環により天井面に配設されたフ
ィルタを通して清浄室に吹き出される。消火ガスの清浄
室への吹き出しによる清浄室の圧力は、清浄室内の空気
を排気することにより調整される。これにより、清浄室
内の酸素濃度を１５％程度以下に速やかに低下させて迅
速な消火を行なう。また、天井チャンバ内に放出された
消火ガスをフィルタを介して清浄室に吹き出すことによ
り、消火ガスに同伴される塵埃を除去してから清浄室に
給気することができるだけでなく、フィルタの通気抵抗
を利用することにより消火ガスが天井チャンバから清浄
室に一度に吹き出されることを防止できる。従って、清
浄室内の圧力が一気に上昇することがないので、清浄室
内の人や装置に急激な圧力変化による悪影響を及ぼすこ
とがない。
【０００９】更に、清浄室の空気を、炭酸ガスと不活性
ガスから成る消火ガスで希釈することにより、清浄室内
の酸素濃度が１５％以下の低酸素状態となり、灯油など
でも可燃性が失われるので、火災が鎮火する。尚、室内
に残っている人に対しては、炭酸ガス濃度が適度に上が
ることにより自然に呼吸回数が増えるので、低酸素状態
の清浄室内においても生命に異常はなく、必要な消火活
動を可能にする。
ガスから成る消火ガスで希釈することにより、清浄室内
の酸素濃度が１５％以下の低酸素状態となり、灯油など
でも可燃性が失われるので、火災が鎮火する。尚、室内
に残っている人に対しては、炭酸ガス濃度が適度に上が
ることにより自然に呼吸回数が増えるので、低酸素状態
の清浄室内においても生命に異常はなく、必要な消火活
動を可能にする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルームにおける消火方法及びその装置の好ま
しい実施の形態について詳説する。図１は、本発明の第
１の実施の形態を説明する図で、乱流方式（コンベンシ
ョナル型）のクリーンルームに、本発明のクリーンルー
ムの消火方法及びその装置を適用した構成図である。
るクリーンルームにおける消火方法及びその装置の好ま
しい実施の形態について詳説する。図１は、本発明の第
１の実施の形態を説明する図で、乱流方式（コンベンシ
ョナル型）のクリーンルームに、本発明のクリーンルー
ムの消火方法及びその装置を適用した構成図である。
【００１１】図１に示すように、外気導入系路１２から
導入された外気は、外部空調機１４で空調され、給気ダ
クト１６を介して天井チャンバ１８内に給気される。給
気ダクト１６には給気バルブ２０が設けられ、信号ケー
ブル２２を介してコントローラ２４に接続される。これ
により、外部空調機１４で空調した空調空気の天井チャ
ンバ１８内への給気を遮断することができるようになっ
ている。天井チャンバ１８内に給気された空調空気は、
天井面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２８を通して
塵埃等が濾過され、清浄な空調空気となって清浄室３０
内に吹き出される。清浄室３０の側壁３０Ａ下部には吸
気口３２が形成され、吸気口３２と給気ダクト１６とが
循環ダクト３４により連通される。そして、循環ダクト
３４には循環ファン３６が設けられる。循環ファン３６
は、信号ケーブル３８を介してコントローラ２４に接続
される。これにより、コントローラ２４が循環ファン３
６を作動させると、清浄室３０内に吹き出された空調空
気は天井チャンバ１８との間で循環使用される。また、
循環ファン３６の回転数を可変することにより循環量を
調整できるようになっている。循環ダクト３４の途中に
は、排気バルブ４０を備えた排気ダクト４２が連通され
ると共に、排気バルブ４０は信号ケーブル４４を介して
コントローラ２４に接続される。これにより、コントロ
ーラが排気バルブ４０を開くと、循環空気の一部を外部
に排気することができる。そして、排気バルブの開度を
調整することにより排気量を可変できるようになってい
る。
導入された外気は、外部空調機１４で空調され、給気ダ
クト１６を介して天井チャンバ１８内に給気される。給
気ダクト１６には給気バルブ２０が設けられ、信号ケー
ブル２２を介してコントローラ２４に接続される。これ
により、外部空調機１４で空調した空調空気の天井チャ
ンバ１８内への給気を遮断することができるようになっ
ている。天井チャンバ１８内に給気された空調空気は、
天井面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２８を通して
塵埃等が濾過され、清浄な空調空気となって清浄室３０
内に吹き出される。清浄室３０の側壁３０Ａ下部には吸
気口３２が形成され、吸気口３２と給気ダクト１６とが
循環ダクト３４により連通される。そして、循環ダクト
３４には循環ファン３６が設けられる。循環ファン３６
は、信号ケーブル３８を介してコントローラ２４に接続
される。これにより、コントローラ２４が循環ファン３
６を作動させると、清浄室３０内に吹き出された空調空
気は天井チャンバ１８との間で循環使用される。また、
循環ファン３６の回転数を可変することにより循環量を
調整できるようになっている。循環ダクト３４の途中に
は、排気バルブ４０を備えた排気ダクト４２が連通され
ると共に、排気バルブ４０は信号ケーブル４４を介して
コントローラ２４に接続される。これにより、コントロ
ーラが排気バルブ４０を開くと、循環空気の一部を外部
に排気することができる。そして、排気バルブの開度を
調整することにより排気量を可変できるようになってい
る。
【００１２】天井チャンバ１８内には、消火ガスの放出
配管４６が設けられ、放出配管４６は外部の消火ガス供
給装置４８に接続される。消火ガス供給装置４８の図示
しない作動部は信号ケーブル５０を介してコントローラ
２４に接続される。これにより、コントローラ２４が消
火ガス供給装置４８を作動させると、放出配管４６から
消火ガスが天井チャンバ１８内に放出される。消火ガス
は、炭酸ガスと不活性ガスとから構成され炭酸ガス濃度
が８±２％程度が良い。消化ガスの具体的な構成として
は、例えば炭酸ガス１０％と窒素９０％、或いは炭酸ガ
ス８％、窒素ガス５２％、アルゴンガス４０％の組成で
ある。
配管４６が設けられ、放出配管４６は外部の消火ガス供
給装置４８に接続される。消火ガス供給装置４８の図示
しない作動部は信号ケーブル５０を介してコントローラ
２４に接続される。これにより、コントローラ２４が消
火ガス供給装置４８を作動させると、放出配管４６から
消火ガスが天井チャンバ１８内に放出される。消火ガス
は、炭酸ガスと不活性ガスとから構成され炭酸ガス濃度
が８±２％程度が良い。消化ガスの具体的な構成として
は、例えば炭酸ガス１０％と窒素９０％、或いは炭酸ガ
ス８％、窒素ガス５２％、アルゴンガス４０％の組成で
ある。
【００１３】清浄室３０内には、火災検知器のうち温度
により反応する温度検知器５２が設けられ、循環ダクト
３４の吸気口３２近傍には、火災検知器のうち煙により
反応する煙検知器５４が設けられ、それぞれの検知器５
２、５４で検出された検出結果は、信号ケーブル５６、
５８によりコントローラ２４に入力される。また、清浄
室３０内には、圧力検知器６０が設けられ、圧力検知器
６０で検出された検出結果は信号ケーブル６２を介して
コントローラ２４に入力される。
により反応する温度検知器５２が設けられ、循環ダクト
３４の吸気口３２近傍には、火災検知器のうち煙により
反応する煙検知器５４が設けられ、それぞれの検知器５
２、５４で検出された検出結果は、信号ケーブル５６、
５８によりコントローラ２４に入力される。また、清浄
室３０内には、圧力検知器６０が設けられ、圧力検知器
６０で検出された検出結果は信号ケーブル６２を介して
コントローラ２４に入力される。
【００１４】清浄室３０の側壁３０Ｂには、圧力調整ダ
ンパ６４が設けられ、その駆動部６４Ａは信号ケーブル
６６を介してコントローラ２４に接続される。コントロ
ーラ２４は、圧力検知器６０による検出結果に基づい
て、清浄室３０の圧力上昇が例えば３０ｍｍＡｑを越え
ると圧力調整ダンパ６４を開けて清浄室３０内に空気を
清浄室３０に隣接する廊下６８等に逃がして清浄室３０
内の圧力上昇を抑制する。
ンパ６４が設けられ、その駆動部６４Ａは信号ケーブル
６６を介してコントローラ２４に接続される。コントロ
ーラ２４は、圧力検知器６０による検出結果に基づい
て、清浄室３０の圧力上昇が例えば３０ｍｍＡｑを越え
ると圧力調整ダンパ６４を開けて清浄室３０内に空気を
清浄室３０に隣接する廊下６８等に逃がして清浄室３０
内の圧力上昇を抑制する。
【００１５】次に、上記の如く構成したクリーンルーム
の消火装置を用いてクリーンルームの清浄室で発生した
火災の消火方法について説明する。火災が発生したら、
温度検知器５２及び煙検知器５４が火災が発生したこと
を検出して検出結果がコントローラ２４に出力される。
コントローラ２４は、給気バルブ２０を閉じて新たな空
調空気が天井チャンバ１８内に給気されるのを停止する
一方、循環ファン３６の運転を継続する。これにより、
新たな酸素の補給系路を遮断した状態で天井チャンバ１
８と清浄室３０との間での空気循環が行なわれる。次
に、コントローラ２４は、空気循環を継続しながら、排
気バルブ４０を短時間（１５〜３０秒程度）開けた状態
で消火ガス供給装置４８を作動して放出配管４６から天
井チャンバ１８内に消火ガスを放出する。消火ガスの放
出量は、清浄室３０内の空気の略半分を置換する量であ
り、清浄室３０の容積に応じて放出量が予めコントロー
ラ２４に設定されている。
の消火装置を用いてクリーンルームの清浄室で発生した
火災の消火方法について説明する。火災が発生したら、
温度検知器５２及び煙検知器５４が火災が発生したこと
を検出して検出結果がコントローラ２４に出力される。
コントローラ２４は、給気バルブ２０を閉じて新たな空
調空気が天井チャンバ１８内に給気されるのを停止する
一方、循環ファン３６の運転を継続する。これにより、
新たな酸素の補給系路を遮断した状態で天井チャンバ１
８と清浄室３０との間での空気循環が行なわれる。次
に、コントローラ２４は、空気循環を継続しながら、排
気バルブ４０を短時間（１５〜３０秒程度）開けた状態
で消火ガス供給装置４８を作動して放出配管４６から天
井チャンバ１８内に消火ガスを放出する。消火ガスの放
出量は、清浄室３０内の空気の略半分を置換する量であ
り、清浄室３０の容積に応じて放出量が予めコントロー
ラ２４に設定されている。
【００１６】天井チャンバ１８内に放出された消火ガス
は、空気循環により天井面に配設されたＨＥＰＡフィル
タ２８を通して清浄室３０に吹き出される。この清浄室
３０内への消火ガスの吹き出しにおいて、排気バルブ４
０が短時間開いているので、清浄室３０の空気の一部を
外部に押し出しながら清浄室３０に流入する。そして、
排気バルブ４０が閉じた後は、清浄室内の残存空気と共
に天井チャンバ１８との間で循環し、均一に混合され
る。消火ガスの放出時間としては５分以内が適当であ
り、好ましくは２〜３分の範囲が良い。この理由は、清
浄室３０と天井チャンバ１８との間で空調空気を循環さ
せる方式のクリーンルームの場合、換気回数（１時間当
たり清浄室３０内の空気が完全に循環する回数）は８０
回／時間以上あるのが通常である。従って、１分当たり
の換気回数は１回強となるので、放出時間を２〜３分に
すれば、消火ガスの放出中に少なくとも２回以上の換気
回数を得ることができ、清浄室３０内の空気と消火ガス
との混合を十分に行なうことができる。
は、空気循環により天井面に配設されたＨＥＰＡフィル
タ２８を通して清浄室３０に吹き出される。この清浄室
３０内への消火ガスの吹き出しにおいて、排気バルブ４
０が短時間開いているので、清浄室３０の空気の一部を
外部に押し出しながら清浄室３０に流入する。そして、
排気バルブ４０が閉じた後は、清浄室内の残存空気と共
に天井チャンバ１８との間で循環し、均一に混合され
る。消火ガスの放出時間としては５分以内が適当であ
り、好ましくは２〜３分の範囲が良い。この理由は、清
浄室３０と天井チャンバ１８との間で空調空気を循環さ
せる方式のクリーンルームの場合、換気回数（１時間当
たり清浄室３０内の空気が完全に循環する回数）は８０
回／時間以上あるのが通常である。従って、１分当たり
の換気回数は１回強となるので、放出時間を２〜３分に
すれば、消火ガスの放出中に少なくとも２回以上の換気
回数を得ることができ、清浄室３０内の空気と消火ガス
との混合を十分に行なうことができる。
【００１７】このように、清浄室３０内への新たな酸素
の供給系路を遮断した状態で清浄室３０と天井チャンバ
１８との循環を行いながら、清浄室３０内の酸素濃度
を、消火ガスで下げるようにしたので、清浄室３０内の
酸素濃度を速やかに低下させて迅速な消火を行なうこと
ができる。即ち、清浄室３０内の酸素濃度を２１％から
１５％以下に希釈することにより、初期の火災ならば確
実に鎮火させることができる。尚、酸素濃度が１５％以
下ではガスライターも着火することはない。
の供給系路を遮断した状態で清浄室３０と天井チャンバ
１８との循環を行いながら、清浄室３０内の酸素濃度
を、消火ガスで下げるようにしたので、清浄室３０内の
酸素濃度を速やかに低下させて迅速な消火を行なうこと
ができる。即ち、清浄室３０内の酸素濃度を２１％から
１５％以下に希釈することにより、初期の火災ならば確
実に鎮火させることができる。尚、酸素濃度が１５％以
下ではガスライターも着火することはない。
【００１８】また、清浄室３０内の空気を消火ガスで完
全に置換するのではなく、清浄室３０の空気の約半分を
置換することにより、清浄室３０内の人命保護をも行な
うことができる。この理由は、清浄室３０内の酸素濃度
が低下した低酸素状態でも炭酸ガス濃度を適度（３〜４
％）に上げることにより人間の呼吸量が増えるので、短
時間であれば低酸素状態でも行動することが可能となる
からである。ちなみに、清浄室３０内の空気を炭酸ガス
８％、窒素ガス５２％、アルゴンガス４０％の組成を有
する消火ガスで約半分置換した時の清浄室内の空気組成
は、窒素ガス６７〜７０％、アルゴンガス１２〜１６
％、酸素１２〜１４％、炭酸ガス３〜４％である。従っ
て、消火ガスを放出しても人命に問題がなく、清浄室３
０から人が避難する前に消火ガスの放出ができるので、
速やかな消火を行なうことが可能となる。
全に置換するのではなく、清浄室３０の空気の約半分を
置換することにより、清浄室３０内の人命保護をも行な
うことができる。この理由は、清浄室３０内の酸素濃度
が低下した低酸素状態でも炭酸ガス濃度を適度（３〜４
％）に上げることにより人間の呼吸量が増えるので、短
時間であれば低酸素状態でも行動することが可能となる
からである。ちなみに、清浄室３０内の空気を炭酸ガス
８％、窒素ガス５２％、アルゴンガス４０％の組成を有
する消火ガスで約半分置換した時の清浄室内の空気組成
は、窒素ガス６７〜７０％、アルゴンガス１２〜１６
％、酸素１２〜１４％、炭酸ガス３〜４％である。従っ
て、消火ガスを放出しても人命に問題がなく、清浄室３
０から人が避難する前に消火ガスの放出ができるので、
速やかな消火を行なうことが可能となる。
【００１９】また、天井チャンバ１８内に放出された消
火ガスは、天井面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２
８を介して清浄室３０内に吹き出されるので、消火ガス
に同伴される塵埃を除去してから清浄室３０に給気する
ことができると共に、火災により発生した塵埃等を除去
することができる。また、ＨＥＰＡフィルタ２８の通気
抵抗により消火ガスが天井チャンバ１８から清浄室３０
内に一度に吹き出されるのを防止できるので、清浄室３
０内の圧力が一気に上昇することがない。更に、コント
ローラ２４は、清浄室３０内に設けられた圧力検知器６
０の圧力上昇が３０ｍｍＡｑ以上になったら圧力調整ダ
ンパ６４を開いて清浄室３０内の圧力調整を行なう。従
って、清浄室３０内の急激な圧力変化がないので、清浄
室３０内の人や半導体装置等の精密機器に対しても悪影
響がない。
火ガスは、天井面２６に配設されたＨＥＰＡフィルタ２
８を介して清浄室３０内に吹き出されるので、消火ガス
に同伴される塵埃を除去してから清浄室３０に給気する
ことができると共に、火災により発生した塵埃等を除去
することができる。また、ＨＥＰＡフィルタ２８の通気
抵抗により消火ガスが天井チャンバ１８から清浄室３０
内に一度に吹き出されるのを防止できるので、清浄室３
０内の圧力が一気に上昇することがない。更に、コント
ローラ２４は、清浄室３０内に設けられた圧力検知器６
０の圧力上昇が３０ｍｍＡｑ以上になったら圧力調整ダ
ンパ６４を開いて清浄室３０内の圧力調整を行なう。従
って、清浄室３０内の急激な圧力変化がないので、清浄
室３０内の人や半導体装置等の精密機器に対しても悪影
響がない。
【００２０】図２は、本発明の第２の実施の形態を説明
する図で、垂直流方式（ビッグファン方式）のクリーン
ルームに、本発明のクリーンルームの消火方法及びその
装置を適用した構成図である。尚、第１の実施の形態と
同じ部材や装置には同符号を付すと共に、説明を省略す
る。図２に示すように、垂直流方式は、天井面２６全体
にＨＥＰＡフィルタ２８を配設し、天井チャンバ１８か
らＨＥＰＡフィルタ２８を介して清浄室３０内に吹き出
された空調空気を、グレーチング床７０を通って床下チ
ャンバ７２内に吸い込むことにより、清浄室３０内に垂
直流を発生させるものである。その他の構成は第１の実
施の形態と同様である。
する図で、垂直流方式（ビッグファン方式）のクリーン
ルームに、本発明のクリーンルームの消火方法及びその
装置を適用した構成図である。尚、第１の実施の形態と
同じ部材や装置には同符号を付すと共に、説明を省略す
る。図２に示すように、垂直流方式は、天井面２６全体
にＨＥＰＡフィルタ２８を配設し、天井チャンバ１８か
らＨＥＰＡフィルタ２８を介して清浄室３０内に吹き出
された空調空気を、グレーチング床７０を通って床下チ
ャンバ７２内に吸い込むことにより、清浄室３０内に垂
直流を発生させるものである。その他の構成は第１の実
施の形態と同様である。
【００２１】このように構成された第２の実施の形態の
場合にも、第１の実施の形態で説明した手順により消火
を行なうことにより、人命保護や装置への汚染がないよ
うに清浄室３０内の火災を消火することができる。図３
は、本発明の第３の実施の形態を説明する図で、ローカ
ルリターン方式（ファンフィルタユニット方式）のクリ
ーンルームに、本発明のクリーンルームの消火方法及び
その装置を適用した構成図である。尚、第１及び第２の
実施の形態と同じ部材や装置には同符号を付すと共に、
説明を省略する。
場合にも、第１の実施の形態で説明した手順により消火
を行なうことにより、人命保護や装置への汚染がないよ
うに清浄室３０内の火災を消火することができる。図３
は、本発明の第３の実施の形態を説明する図で、ローカ
ルリターン方式（ファンフィルタユニット方式）のクリ
ーンルームに、本発明のクリーンルームの消火方法及び
その装置を適用した構成図である。尚、第１及び第２の
実施の形態と同じ部材や装置には同符号を付すと共に、
説明を省略する。
【００２２】図３に示すように、ローカルリターン方式
は、清浄室３０内の天井面２６から例えば半導体の製造
装置やウエハーの搬送路等の高清浄度が要求される空間
周囲に垂れ壁７４を垂下させて囲むことにより、垂れ壁
７４内の高清浄度エリア７６と垂れ壁７４外の低清浄度
エリア７８に区画する。即ち、高清浄度エリア７６の天
井面２６にはＨＥＰＡフィルタとファンから成るファン
フィルタユニット８０（以下、「ＦＦＵ」という）が配
設され、外部空調機１４で空調された空調空気は給気ダ
クト１６によりＦＦＵ８０に直接接続される。また、各
ＦＦＵ８０は信号ケーブル８４を介してコントローラ２
４に接続され、コントローラ２４からの指示により個別
に作動できるようになっている。ＦＦＵ８０には、図示
しない吸気用開口が形成されており、ＦＦＵ８０が作動
すると、給気ダクト１６からの空調空気の他に天井チャ
ンバ１８内の空気がＦＦＵ８０内に取り込まれる。
は、清浄室３０内の天井面２６から例えば半導体の製造
装置やウエハーの搬送路等の高清浄度が要求される空間
周囲に垂れ壁７４を垂下させて囲むことにより、垂れ壁
７４内の高清浄度エリア７６と垂れ壁７４外の低清浄度
エリア７８に区画する。即ち、高清浄度エリア７６の天
井面２６にはＨＥＰＡフィルタとファンから成るファン
フィルタユニット８０（以下、「ＦＦＵ」という）が配
設され、外部空調機１４で空調された空調空気は給気ダ
クト１６によりＦＦＵ８０に直接接続される。また、各
ＦＦＵ８０は信号ケーブル８４を介してコントローラ２
４に接続され、コントローラ２４からの指示により個別
に作動できるようになっている。ＦＦＵ８０には、図示
しない吸気用開口が形成されており、ＦＦＵ８０が作動
すると、給気ダクト１６からの空調空気の他に天井チャ
ンバ１８内の空気がＦＦＵ８０内に取り込まれる。
【００２３】一方、低清浄度エリア７８の天井面２６に
はリターン用開口８２が形成される。そして、ＦＦＵ８
０から高清浄度エリア７６に吹き出された空調空気は、
グレーチング床７０に向かって吹き出される。吹き出さ
れた空調空気の大部分は、グレーチング床７０を通って
床下チャンバ７２内に流入する。これにより、高清浄度
エリア７６に空調空気の垂直流を形成する。床下チャン
バ７２内に流入した空調空気は、グレーチング床７０か
ら再び清浄室３０に至り、低清浄度エリア７８を通って
リターン用開口８２から天井チャンバ１８内に循環され
る。天井チャンバ１８内に循環された空気は、ＦＦＵ８
０内に吸引されて給気ダクト１６からの空調空気と混合
し、再び清浄室３０内に吹き出される。これにより、清
浄室３０と天井チャンバ１８との間に循環流が形成され
る。
はリターン用開口８２が形成される。そして、ＦＦＵ８
０から高清浄度エリア７６に吹き出された空調空気は、
グレーチング床７０に向かって吹き出される。吹き出さ
れた空調空気の大部分は、グレーチング床７０を通って
床下チャンバ７２内に流入する。これにより、高清浄度
エリア７６に空調空気の垂直流を形成する。床下チャン
バ７２内に流入した空調空気は、グレーチング床７０か
ら再び清浄室３０に至り、低清浄度エリア７８を通って
リターン用開口８２から天井チャンバ１８内に循環され
る。天井チャンバ１８内に循環された空気は、ＦＦＵ８
０内に吸引されて給気ダクト１６からの空調空気と混合
し、再び清浄室３０内に吹き出される。これにより、清
浄室３０と天井チャンバ１８との間に循環流が形成され
る。
【００２４】床下チャンバ７２の側壁７２Ａには、排気
口８３が形成され、排気バルブ４０を備えた排気ダクト
４２に連結される。排気バルブ４０は信号ケーブル４４
を介してコントローラ２４に接続される。これにより、
コントローラ２４が排気バルブ４０を開くと、天井チャ
ンバ１８、清浄室３０、床下チャンバ７２の間で循環す
る空気の一部を排気することができる。その他の構成
は、第１及び第２の実施の形態と同様である。
口８３が形成され、排気バルブ４０を備えた排気ダクト
４２に連結される。排気バルブ４０は信号ケーブル４４
を介してコントローラ２４に接続される。これにより、
コントローラ２４が排気バルブ４０を開くと、天井チャ
ンバ１８、清浄室３０、床下チャンバ７２の間で循環す
る空気の一部を排気することができる。その他の構成
は、第１及び第２の実施の形態と同様である。
【００２５】このように構成された第３の実施の形態で
は、清浄室３０に火災が発生したら、温度検知器５２及
び煙検知器５４が火災が発生したことを検出して検出結
果がコントローラ２４に出力される。コントローラ２４
は、給気バルブ２０を閉じて新たな空調空気が天井チャ
ンバ１８内に給気されるのを停止する一方、ＦＦＵの運
転を継続する。これにより、新たな酸素の補給系路を遮
断した状態で天井チャンバ１８と清浄室３０との間での
空気循環が行なわれる。次に、コントローラ２４は、空
気循環を継続しながら、排気バルブ４０を短時間（１５
〜３０秒程度）だけ開けた状態で消火ガス供給装置４８
を作動して放出配管４６から天井チャンバ１８内に消火
ガスを放出する。これにより、天井チャンバ１８内に放
出された消火ガスは、ＦＦＵ８０に吸気されて清浄室３
０内に吹き出され、清浄室３０内の空気を希釈する。こ
の場合、ＦＦＵ８０を作動させて循環流を形成した状態
で消火ガスを天井チャンバ１８に吹き出すことにより、
消火ガスをＦＦＵ８０のＨＥＰＡフィルタを介して清浄
室３０に吹き出すことができる。
は、清浄室３０に火災が発生したら、温度検知器５２及
び煙検知器５４が火災が発生したことを検出して検出結
果がコントローラ２４に出力される。コントローラ２４
は、給気バルブ２０を閉じて新たな空調空気が天井チャ
ンバ１８内に給気されるのを停止する一方、ＦＦＵの運
転を継続する。これにより、新たな酸素の補給系路を遮
断した状態で天井チャンバ１８と清浄室３０との間での
空気循環が行なわれる。次に、コントローラ２４は、空
気循環を継続しながら、排気バルブ４０を短時間（１５
〜３０秒程度）だけ開けた状態で消火ガス供給装置４８
を作動して放出配管４６から天井チャンバ１８内に消火
ガスを放出する。これにより、天井チャンバ１８内に放
出された消火ガスは、ＦＦＵ８０に吸気されて清浄室３
０内に吹き出され、清浄室３０内の空気を希釈する。こ
の場合、ＦＦＵ８０を作動させて循環流を形成した状態
で消火ガスを天井チャンバ１８に吹き出すことにより、
消火ガスをＦＦＵ８０のＨＥＰＡフィルタを介して清浄
室３０に吹き出すことができる。
【００２６】図４は、消火ガス吹出時間と清浄室３０内
の酸素濃度の関係を示したものであり、曲線ＡはＦＦＵ
８０を作動した状態で消火ガスを天井チャンバ１８内に
吹き出した場合、曲線ＢはＦＦＵ８０を作動しない状態
で消火ガスを天井チャンバ１８内に吹き出した場合であ
る。図４から明らかなように、ＦＦＵ８０を作動した場
合には、酸素濃度１５％以下にするまでの時間が約３０
秒であるのに対し、ＦＦＵ８０を作動しないと８０秒か
かってしまう。このように、ＦＦＵ８０を作動しなくて
も天井チャンバ１８内に放出された消火ガスは、リター
ン用開口８２から清浄室３０内に吹き出すことはできる
が、ＦＦＵ８０を作動しないと、清浄室３０の空気を希
釈して酸素濃度１５％以下にするまでの時間が長くかか
る。従って、ＦＦＵ８０を作動させることにより迅速な
消火を行なうことができる。
の酸素濃度の関係を示したものであり、曲線ＡはＦＦＵ
８０を作動した状態で消火ガスを天井チャンバ１８内に
吹き出した場合、曲線ＢはＦＦＵ８０を作動しない状態
で消火ガスを天井チャンバ１８内に吹き出した場合であ
る。図４から明らかなように、ＦＦＵ８０を作動した場
合には、酸素濃度１５％以下にするまでの時間が約３０
秒であるのに対し、ＦＦＵ８０を作動しないと８０秒か
かってしまう。このように、ＦＦＵ８０を作動しなくて
も天井チャンバ１８内に放出された消火ガスは、リター
ン用開口８２から清浄室３０内に吹き出すことはできる
が、ＦＦＵ８０を作動しないと、清浄室３０の空気を希
釈して酸素濃度１５％以下にするまでの時間が長くかか
る。従って、ＦＦＵ８０を作動させることにより迅速な
消火を行なうことができる。
【００２７】第３の実施の形態のように、ローカルリタ
ーン方式のクリーンルームに本発明の消火方法を適用し
た場合にも、第１及び第２の実施の形態と同様の効果を
得ることができる。
ーン方式のクリーンルームに本発明の消火方法を適用し
た場合にも、第１及び第２の実施の形態と同様の効果を
得ることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームにおける消火方法及びその装置によれば、速やか
に火災を消火することができると共に、清浄室内の作業
員等の人命保護、及び清浄室内に配設された装置等の汚
染防止を図ることができる。
ルームにおける消火方法及びその装置によれば、速やか
に火災を消火することができると共に、清浄室内の作業
員等の人命保護、及び清浄室内に配設された装置等の汚
染防止を図ることができる。
【図１】図１は、本発明のクリーンルームにおける消火
方法及びその装置の第１の実施の形態を説明する構成図
である。
方法及びその装置の第１の実施の形態を説明する構成図
である。
【図２】図２は、本発明のクリーンルームにおける消火
方法及びその装置の第２の実施の形態を説明する構成図
である。
方法及びその装置の第２の実施の形態を説明する構成図
である。
【図３】図３は、本発明のクリーンルームにおける消火
方法及びその装置の第３の実施の形態を説明する構成図
である。
方法及びその装置の第３の実施の形態を説明する構成図
である。
【図４】図４は、第３の実施の形態においてＦＦＵを作
動した場合と作動しない場合における消火ガス吹出時間
と清浄室内の酸素濃度との関係を示した説明図である。
動した場合と作動しない場合における消火ガス吹出時間
と清浄室内の酸素濃度との関係を示した説明図である。
１４…外部空調機 １６…給気ダクト １８…天井チャンバ ２０…給気バルブ ２４…コントローラ ２６…天井面 ２８…ＨＥＰＡフィルタ ３０…清浄室 ３４…循環ダクト ３６…循環ファン ４０…排気バルブ ４６…放出配管 ４８…消火ガス供給装置 ５２…温度検知器 ５４…煙検知器 ６０…圧力検知器 ６４…圧力調整ダンパ ７０…グレーチング床 ７２…床下チャンバ ７４…垂れ壁 ７６…高清浄度エリア ７８…低清浄度エリア ８０…ＦＦＵ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ケ袋２丁目１番17─ 301 (72)発明者 白井 泰雪 宮城県仙台市太白区八木山本町２丁目２番 11号 (72)発明者 今井 捷二 東京都中央区日本橋浜町２丁目57番７号 新晃テクノス株式会社内 (72)発明者 福田 宗治 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 西村 容太郎 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 河西 正隆 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】空調空気を天井チャンバ内に給気して天井
面に配設されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと
共に、吹き出された空調空気を前記天井チャンバとの間
で循環使用するクリーンルームにおける消火方法に於い
て、 前記クリーンルームに発生した火災を検出し、前記天井
チャンバへの外部からの空調空気の給気を停止し、 前記清浄室内と天井室内の間の空気循環を継続させたま
まで、前記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとか
ら成る消火ガスを放出し、 放出した消火ガスを前記空気循環により前記清浄室と天
井チャンバとの間で前記フィルタを介して循環する一
方、前記清浄室内の空気排出により前記清浄室の圧力調
整を行いながら前記清浄室の空気を前記消火ガスで希釈
することを特徴とするクリーンルームにおける消火方
法。 - 【請求項２】前記消火ガスは窒素ガスと炭酸ガスの組成
から成り、炭酸ガスの濃度が８±２％であることを特徴
とする請求項１のクリーンルームにおける消火方法。 - 【請求項３】前記希釈により清浄室の空気の約半分を前
記消火ガスで置換することを特徴とする請求項１のクリ
ーンルームにおける消火方法。 - 【請求項４】前記消火ガスの前記天井チャンバ内への放
出時間は５分以内が適当であり、好ましくは２〜３分の
範囲にすると共に、前記放出時間内に前記空気循環が少
なくとも２回以上行われるように循環量を調整すること
を特徴とする請求項１のクリーンルームにおける消火方
法。 - 【請求項５】前記消火ガスの放出による前記清浄室の圧
力上昇が５０ｍｍＡｑ以下になるように、前記清浄室か
らの空気の排気量を調整することを特徴とする請求項１
のクリーンルームにおける消火方法。 - 【請求項６】空調空気を天井チャンバ内に給気して天井
面に配設されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと
共に、吹き出された空調空気は前記天井チャンバとの間
で循環使用されるクリーンルームにおける消火装置に於
いて、 火災を検出する火災検出器と、 前記清浄室内の圧力上昇を検出する圧力検知器と、 前記空調空気の前記天井チャンバ内への外部からの給気
を停止する給気停止手段と、 前記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとから成る
消火ガスの放出口が設けられた消火ガス放出手段と、 前記清浄室内の空気を排気して前記清浄室内の圧力を調
整する圧力調整手段と、 前記火災検知器と前記圧力検知器の検出結果に基づい
て、前記給気停止手段と、前記消火ガス放出手段と、前
記圧力調整手段を制御する制御手段と、 から成ることを特徴とするクリーンルームおける消火装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14117598A JP3832612B2 (ja) | 1997-07-16 | 1998-05-22 | クリーンルームにおける消火方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-191608 | 1997-07-16 | ||
| JP19160897 | 1997-07-16 | ||
| JP14117598A JP3832612B2 (ja) | 1997-07-16 | 1998-05-22 | クリーンルームにおける消火方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1176445A true JPH1176445A (ja) | 1999-03-23 |
| JP3832612B2 JP3832612B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=26473463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14117598A Expired - Fee Related JP3832612B2 (ja) | 1997-07-16 | 1998-05-22 | クリーンルームにおける消火方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3832612B2 (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1172127A3 (de) * | 2000-07-11 | 2002-06-12 | Messer Griesheim Gmbh | Anlage und Verfahren zum Lagern und/oder Verarbeiten von Gegenständen unter inerten Bedingungen |
| JP2002191714A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-07-10 | Eads Airbus Gmbh | 閉鎖空間内で突発した火災を消火する方法および装置 |
| WO2004080540A1 (de) * | 2003-03-11 | 2004-09-23 | Basf Coatings Ag | Verfahren zum brand- und explosionsschutz in einem hochregallager für chemische gefahrstoffe und brand- und explosionsgeschütztes hochregallager |
| JP2006512181A (ja) * | 2002-09-28 | 2006-04-13 | エヌ２ タワーズ インク | 火災抑制のためのシステム及び方法 |
| JP2006212205A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Hochiki Corp | ガス機器及びその消火システム |
| JP2006236086A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Takenaka Komuten Co Ltd | 酸素濃度可変空間における火災検出システム |
| JP2007185518A (ja) * | 2002-08-09 | 2007-07-26 | Daido:Kk | 消火ガス供給システム |
| CN102270371A (zh) * | 2010-06-03 | 2011-12-07 | 基德科技公司 | 烟雾侦测系统 |
| US8517116B2 (en) | 2005-01-21 | 2013-08-27 | Amrona Ag | Inertization method for preventing fires |
| JP2018057576A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 日本ドライケミカル株式会社 | 空気調整装置 |
| KR20210021880A (ko) * | 2019-08-19 | 2021-03-02 | 주식회사 경동나비엔 | 주방용 후드와 환기장치 및 그 제어방법 |
| JP2021090586A (ja) * | 2019-12-10 | 2021-06-17 | ホーチキ株式会社 | 制御盤消火システム |
| CN114341559A (zh) * | 2019-12-04 | 2022-04-12 | 日立环球生活方案株式会社 | 空气调节系统 |
| JP2024007662A (ja) * | 2022-07-06 | 2024-01-19 | エア・ウォーター防災株式会社 | 酸素低減システム |
| KR102670116B1 (ko) * | 2023-05-17 | 2024-05-29 | 주식회사 서광이에프 | 화재 대피 유도용 소방용 표시기구 |
| KR102736570B1 (ko) * | 2024-08-30 | 2024-12-03 | 립스 주식회사 | 주차장 화재 관리 시스템 |
-
1998
- 1998-05-22 JP JP14117598A patent/JP3832612B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1172127A3 (de) * | 2000-07-11 | 2002-06-12 | Messer Griesheim Gmbh | Anlage und Verfahren zum Lagern und/oder Verarbeiten von Gegenständen unter inerten Bedingungen |
| JP2002191714A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-07-10 | Eads Airbus Gmbh | 閉鎖空間内で突発した火災を消火する方法および装置 |
| JP2007185518A (ja) * | 2002-08-09 | 2007-07-26 | Daido:Kk | 消火ガス供給システム |
| JP2006512181A (ja) * | 2002-09-28 | 2006-04-13 | エヌ２ タワーズ インク | 火災抑制のためのシステム及び方法 |
| WO2004080540A1 (de) * | 2003-03-11 | 2004-09-23 | Basf Coatings Ag | Verfahren zum brand- und explosionsschutz in einem hochregallager für chemische gefahrstoffe und brand- und explosionsgeschütztes hochregallager |
| US8517116B2 (en) | 2005-01-21 | 2013-08-27 | Amrona Ag | Inertization method for preventing fires |
| JP2006212205A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Hochiki Corp | ガス機器及びその消火システム |
| JP2006236086A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Takenaka Komuten Co Ltd | 酸素濃度可変空間における火災検出システム |
| JP2011253537A (ja) * | 2010-06-03 | 2011-12-15 | Kidde Technologies Inc | 煙検出器システム |
| CN102270371A (zh) * | 2010-06-03 | 2011-12-07 | 基德科技公司 | 烟雾侦测系统 |
| JP2018057576A (ja) * | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 日本ドライケミカル株式会社 | 空気調整装置 |
| KR20210021880A (ko) * | 2019-08-19 | 2021-03-02 | 주식회사 경동나비엔 | 주방용 후드와 환기장치 및 그 제어방법 |
| CN114341559A (zh) * | 2019-12-04 | 2022-04-12 | 日立环球生活方案株式会社 | 空气调节系统 |
| JP2021090586A (ja) * | 2019-12-10 | 2021-06-17 | ホーチキ株式会社 | 制御盤消火システム |
| JP2024007662A (ja) * | 2022-07-06 | 2024-01-19 | エア・ウォーター防災株式会社 | 酸素低減システム |
| KR102670116B1 (ko) * | 2023-05-17 | 2024-05-29 | 주식회사 서광이에프 | 화재 대피 유도용 소방용 표시기구 |
| KR102736570B1 (ko) * | 2024-08-30 | 2024-12-03 | 립스 주식회사 | 주차장 화재 관리 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3832612B2 (ja) | 2006-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6978809B2 (ja) | 火災避難室 | |
| JPH1176445A (ja) | クリーンルームにおける消火方法及びその装置 | |
| KR101747360B1 (ko) | 공동주택의 제연기를 구비한 소방방재장치 | |
| KR102113241B1 (ko) | 제연설비 및 그 제연설비의 제어방법 | |
| KR101610281B1 (ko) | 연기제어를 위한 이중모드 급기댐퍼 및 제어방법 | |
| KR101638152B1 (ko) | 스마트 화재예방 및 대응 시스템 | |
| KR20070001065U (ko) | 에어커튼기기를 이용한 제연방법 및 그 장치 | |
| KR20120109873A (ko) | 옥내의 환기시스템 및 그 제연 방법 | |
| JP2018057576A (ja) | 空気調整装置 | |
| KR101929696B1 (ko) | 통합형 환기 시스템을 포함하는 이온 주입기 | |
| JP2008517193A (ja) | ガスの制御換気のためのトンネル用トンネルカバー | |
| JP3224733B2 (ja) | 横長筒状空間の火災時換気システム | |
| KR102073356B1 (ko) | 화재시 급기와 배기 조절 기능을 구비한 비상 대피 안전 시스템 | |
| JP2003260148A (ja) | 消火設備 | |
| JPH0736667Y2 (ja) | 建物の防排煙装置 | |
| CN110087742A (zh) | 用于封闭体的防火系统以及用于封闭体的防火方法 | |
| KR20160057799A (ko) | 이너젠 또는 이산화탄소 소화시스템 및 그를 이용한 화재 진압방법 | |
| JPH06269511A (ja) | フリーアクセスフロア用の消火設備と消火方法 | |
| KR101912050B1 (ko) | 공동주택의 엘리베이터룸을 이용한 소형 배풍시스템 | |
| KR20230124488A (ko) | 제연 시스템 | |
| JP2000145176A (ja) | 集合住宅建物 | |
| JP4025933B2 (ja) | 多層階建物の空調・排煙方法およびその装置 | |
| KR102146228B1 (ko) | 출입문에 설치되는 화재 대피 쿨러 | |
| JP2017217192A (ja) | 建物の火災時煙制御システム | |
| JP2010088567A (ja) | 床吹き出し空調兼用排煙システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20040402 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060309 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060413 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060605 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20060629 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060712 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |