JPH117647A - 光ディスク原盤の露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスク原盤に情報ピットを最適の形状で
高精度に形成し、また、信号変調器による変調信号を補
正するための回路を簡易にする。 【解決手段】 信号変調器２１は、光ディスクに書き込
む情報をパルス変調して制御回路２２に出力する。この
デジタル信号は、ＯＲ回路３１、遅延素子Ｄ０により伸
長されて遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、ＤｎとＡＮＤ回路３
２に入力される。マルチプレクサ３３は、遅延素子Ｄ
１、Ｄ２、…、Ｄｎのいずれかひとつの出力信号を選択
する。マルチプレクサ３４は基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ
２、…、Ｖｎからひとつの信号を選択する。スイッチン
グ素子３５は、ＡＮＤ回路３２から出力される論理積信
号でスイッチングされ、マルチプレクサ３４で選択され
たアナログ信号がＯＮ、ＯＦＦされる。パルス幅検出器
３８は信号変調器２１から入力するデジタル信号のパル
ス幅を検出し、この検出信号により、マルチプレクサ３
３による遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｎの出力信号の選
択、マルチプレクサ３４による基準アナログ信号Ｖ１、
Ｖ２、…、Ｖｎの選択を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスクのフ
ォトレジスト原盤を露光する光ディスク原盤の露光装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクの製造工程は、大別すると、
原盤作成工程（マスタリング工程）とディスク化工程
（金型による光ディスクの複製）とに大別され、このう
ち原盤作成工程はマスタリング工程とプレマスタリング
工程とにわけられる。

【０００３】プレマスタリング工程は、記録される情報
（記録データ）を予め作成、編集しておくソフトウエア
の準備工程である。

【０００４】そして、マスタリング工程では、音響光学
効果素子などの光変調器で前記記録データを光変調（デ
ジタル変調）したレーザ光を用い、磨かれたガラス原盤
の上に塗布された感光材料のフォトレジスト膜を露光す
ることで、前記記録データの記録（潜像記録ピットの形
成）を行なう。

【０００５】前記露光後、フォトレジスト膜を現像し、
所定の処理を行なった後、電鋳により金属の表面上に情
報（記録ピット）の転写を行ない、さらに、これを原盤
として光ディスクの複製を行なうための金属スタンパが
形成される。そして、この金属スタンパから光ディスク
の量産を行なうことができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして製作された光ディスクに記録された情報（記
録ピット）を再生すると、記録ピットの長短によって再
生信号に強弱が発生し、ジッタが増大してしまう。例え
ば、追記型光ディスク（ＣＤ−Ｒ）では情報の記録にＥ
ＦＭ変調が使用されるが、この変調信号はパルス幅３Ｔ
〜１１Ｔ（ＴはＣＤ信号の基本クロックであり、２３
１．４ｎｓｅｃ）からなり、また、この変調方式は信号
の長短でジッタが発生しやすいものである。

【０００７】そこで、前記追記型光ディスクにおいて定
められている規格においては、ＥＦＭ再生信号の波形補
償のため、書き込み信号を生成するにあたって、（ｎ−
１）Ｔストラテジーを提案している。これは、パルス幅
がｎＴ（３Ｔ、４Ｔ、……、１１Ｔ）のＥＦＭ信号に対
し、パルス幅を１Ｔ減じて（ｎ−１）Ｔとし、パルス幅
が２ＴのＥＦＭ信号についてはパルス幅を５０ｎｓｅｃ
伸長する補正を行なうものである。

【０００８】また、特開平５−１２２０２７号公報に
は、パルス幅の異なるＥＦＭ信号のパルス幅に応じた補
正を簡単な回路で実現せんとした技術も開示されてい
る。

【０００９】この技術は、パルス幅が変化する入力デジ
タル信号の各パルス幅にそれぞれ対応したアナログ遅延
量を有する複数の遅延ラインと、前記各遅延ラインの出
力の終端部付近で各々ゲート信号を出力する複数のタイ
ミング回路とから構成されていて、前記各遅延ラインの
出力をゲートして出力させ、パルス幅の異なるデジタル
信号を個別に補正するものである。

【００１０】しかし、前記の追記型光ディスクの規格に
おいて提案されている技術は、２Ｔパルス以外のｎＴパ
ルスを一律に（ｎ−１）Ｔとするものであり、２Ｔパル
ス以外は再生信号で必ずしも最適値にはなっていないと
いう課題がある。

【００１１】一方、前記特開平５−１２２０２７号公報
に開示の技術は、２Ｔパルス以外のｎＴパルスを一律に
（ｎ−１）Ｔとするものではないのであるが、２Ｔパル
スを一定時間（ｎｓｅｃ）伸長させるような補正を行な
った場合、それ以外のパルス幅のパルスの補正は前記ｎ
ｓｅｃ以下の伸長に制限されてしまうため、パルス幅の
補正に柔軟性がないという課題がある。

【００１２】さらに、この従来技術は、パルス幅ｎＴが
大きくなると回路構成が複雑になるという課題もある。

【００１３】そのうえ、この従来技術は、パルス幅が何
Ｔであるのか検出する機能がないため、パルス幅の大き
さに応じて露光するレーザ光の光量の補正を行ない、情
報ピットを高精度に形成することができないという課題
もある。

【００１４】そこで、この発明の第１の目的は、前記の
課題を解決し、信号変調器による変調信号のパルス幅
を、このパルス幅の大小に応じて従来より柔軟に補正で
きるようにして、光ディスク原盤に情報ピットを最適の
形状に形成できるようにすることにある。

【００１５】この発明の第２の目的は、信号変調器によ
る変調信号のパルス幅の大きさに応じて露光するレーザ
光の光強度の調節を行ない、情報ピットを高精度に形成
することができるようにすることにある。

【００１６】この発明の第３の目的は、信号変調器によ
る変調信号を補正するための回路を簡易にできるように
することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、光ディスクのフォトレジスト原盤を露光するレーザ
光を出射する光源と、前記フォトレジスト原盤に記録す
る所望の情報の信号をパルス幅変調してデジタル信号に
変換する信号変調器と、このパルス幅変調後のデジタル
信号をそのパルス幅の大小に応じて異なる所望のパルス
幅に補正するパルス幅補正回路と、この補正後のデジタ
ル信号のパルス幅に基づき前記フォトレジスト原盤に対
する前記レーザ光の照射をＯＮ、ＯＦＦすることで、前
記レーザ光をパルス幅が調節された光信号とする光変調
器と、前記フォトレジスト原盤に対する前記レーザ光の
照射位置を移動する位置移動装置とを備えていることを
特徴とするものである。

【００１８】従って、フォトレジスト原盤に記録する所
望の情報の信号をパルス幅変調してデジタル信号に変換
した後、このパルス幅変調後のデジタル信号をそのパル
ス幅に応じて異なる所望のパルス幅に補正することがで
きる。

【００１９】請求項２に記載の発明は、信号変調器が出
力するパルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に
応じて異なるパルス振幅に補正する光量補正回路を備
え、光変調器により、この補正後のデジタル信号のパル
ス振幅に基づきフォトレジスト原盤に対するレーザ光の
照射をＯＮ、ＯＦＦすることで、前記レーザ光を光強度
が調節された光信号にするものであることを特徴とする
ものである。

【００２０】従って、パルス幅変調後のデジタル信号を
そのパルス幅に応じて異なるパルス振幅に補正すること
で、フォトレジスト原盤を露光するレーザ光の光強度を
調節することができる。

【００２１】請求項３に記載の発明は、パルス幅補正回
路により、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジ
タル信号のパルス幅が相対的に小さいときはデジタル信
号のパルス幅を相対的に拡大し、相対的に大きいときは
デジタル信号のパルス幅を相対的に縮小するように、パ
ルス幅の補正を行なうものであることを特徴とするもの
である。

【００２２】従って、パルス幅変調後のデジタル信号の
パルス幅が相対的に小さいときはデジタル信号のパルス
幅を相対的に拡大し、相対的に大きいときはデジタル信
号のパルス幅を相対的に縮小するように、パルス幅の補
正を行なうことができる。

【００２３】請求項４に記載の発明は、光量補正回路に
より、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル
信号のパルス幅が、相対的に小さいときはパルス振幅を
相対的に拡大させ、相対的に大きいときはパルス振幅を
相対的に縮小するように、パルス振幅の補正を行なうも
のであることを特徴とするものである。

【００２４】従って、パルス幅変調後のデジタル信号の
パルス振幅が、相対的に小さいときはパルス振幅を相対
的に拡大させ、相対的に大きいときはパルス振幅を相対
的に縮小するように、パルス振幅の補正を行なうことが
できる。

【００２５】請求項５に記載の発明は、パルス幅補正回
路は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル
信号を一定量遅延する第１の遅延回路と、前記パルス幅
変調後のデジタル信号とこのデジタル信号を前記第１の
遅延回路により遅延させたデジタル信号との論理和信号
を出力する第１のＯＲ回路と、前記パルス幅変調後のデ
ジタル信号の異なるパルス幅ごとに複数設けられ、前記
論理和信号を前記パルス幅の大きさに応じて遅延する第
２の遅延回路と、前記論理和信号とこの論理和信号を前
記第２の遅延回路により遅延させたデジタル信号との論
理積信号を出力する第１のＡＮＤ回路とを備えているこ
とを特徴とするものである。

【００２６】従って、各第２の遅延回路による遅延量を
所望に調節することにより、パルス幅変調後のデジタル
信号をそのパルス幅の大小に応じて異なる所望のパルス
幅に補正することができる。

【００２７】また、特開平５−１２２０２７号公報に開
示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライン、タイミン
グ回路（シフトレジスタなど）およびＡＮＤ回路を各々
一つずつ増やさなければならないが、この発明では、第
２の遅延回路をひとつづつ増やしていくだけで対応でき
る。

【００２８】請求項６に記載の発明は、光量補正回路
は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅に応じて複数種類のアナログ信号から一つ
を選択する第１の信号選択回路と、この選択したアナロ
グ信号を第１のＡＮＤ回路からの論理積信号でスイッチ
ングする第１のスイッチと、この第１のスイッチの出力
信号を増幅する増幅器とを備えていることを特徴とする
ものである。

【００２９】従って、上記第１の信号選択回路と、第１
のスイッチとにより、パルス幅変調後のデジタル信号を
そのパルス幅に応じて異なるパルス振幅に補正すること
で、フォトレジスト原盤を露光するレーザ光の光強度を
調節することができる。

【００３０】請求項７に記載の発明は、スイッチの出力
信号を微分波形にして増幅器に出力する微分回路を備え
ていることを特徴とするものである。

【００３１】従って、スイッチの出力信号を微分波形に
して増幅器に出力することにより、光信号の強度を先端
を強く、後端を弱くすることができる。

【００３２】請求項８に記載の発明は、パルス幅補正回
路は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル
信号を周波数変調して、前記パルス幅変調後のデジタル
信号のパルス幅に応じて異なる所望のパルス幅に補正す
る周波数変調回路を備えていることを特徴とするもので
ある。

【００３３】従って、パルス幅変調後のデジタル信号を
周波数変調して、このデジタル信号のパルス幅に応じて
異なる所望のパルス幅に補正することができる。

【００３４】請求項９に記載の発明は、周波数変調回路
は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅が相対的に大きいときは相対的に高周波に
なるように周波数変調を行ない、相対的に小さいときは
周波数変調を停止するものであることを特徴とするもの
である。

【００３５】従って、信号変調器が出力するパルス幅変
調後のデジタル信号のパルス幅が相対的に大きいときは
相対的に高周波になるように周波数変調を行ない、相対
的に小さいときは周波数変調を停止することで、パルス
幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相対的に小さいと
きはデジタル信号のパルス幅を相対的に拡大し、相対的
に大きいときはデジタル信号のパルス幅を相対的に縮小
するように、パルス幅の補正を行なうことができる。

【００３６】請求項１０に記載の発明は、光量補正回路
により、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタ
ル信号のパルス振幅が相対的に小さいときはパルス振幅
を相対的に拡大し、相対的に大きいときはパルス振幅を
相対的に縮小するように、パルス振幅の補正を行なうも
のであることを特徴とするものである。

【００３７】従って、パルス幅変調後のデジタル信号の
パルス幅が相対的に小さいときはパルス振幅を相対的に
拡大し、相対的に大きいときはパルス振幅を相対的に縮
小するように、パルス振幅の補正を行なうことができ
る。

【００３８】請求項１１に記載の発明は、周波数変調回
路は、ＯＮ、ＯＦＦすることにより、信号変調器を制御
するクロック信号を選択、非選択する複数の第２のスイ
ッチと、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタ
ル信号のパルス幅に応じて、前記複数の第２のスイッチ
が出力する前記クロック信号のうちひとつを選択する第
２の信号選択回路と、この選択したクロック信号とパル
ス幅変調回路が出力するデジタル信号との論理積信号を
出力する第２のＡＮＤ回路とを備えていることを特徴と
するものである。

【００３９】従って、各第２のスイッチをＯＮ、ＯＦＦ
して、信号変調器を制御するクロック信号を選択、非選
択し、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル
信号のパルス幅に応じて、複数の第２のスイッチが出力
するクロック信号のうちひとつを選択して、この選択し
たクロック信号とパルス幅変調回路が出力するデジタル
信号との論理積信号を出力することで、パルス幅変調後
のデジタル信号をそのパルス幅の大小に応じて異なる所
望のパルス幅に補正することができる。

【００４０】また、特開平５−１２２０２７号公報に開
示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライン、タイミン
グ回路（シフトレジスタなど）およびアンド回路を各々
一つずつ増やさなければならないが、この発明では、第
２のスイッチをひとつづつ増やしていくだけで対応でき
る。

【００４１】請求項１２に記載の発明は、光量補正回路
は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅に応じて複数種類のアナログ信号から一つ
を選択するものである第３の信号選択回路と、この選択
したアナログ信号を第２のＡＮＤ回路が出力する論理積
信号でスイッチングする第３のスイッチと、この第３の
スイッチの出力信号を増幅する増幅器とを備えているこ
とを特徴とするものである。

【００４２】従って、第３の信号選択回路と、第３のス
イッチとにより、パルス幅変調後のデジタル信号をその
パルス幅に応じて異なるパルス振幅に補正することで、
フォトレジスト原盤を露光するレーザ光の光強度を調節
することができる。

【００４３】請求項１３に記載の発明は、信号変調器が
出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅に応
じて、信号選択回路で選択されたクロック信号のパルス
幅を所望に補正するパルス幅制御回路を備えていること
を特徴とするものである。

【００４４】従って、信号選択回路で選択されたクロッ
ク信号のパルス幅を、信号変調器が出力するパルス幅変
調後のデジタル信号のパルス幅に応じて、さらに補正す
ることができる。

【００４５】請求項１４に記載の発明は、パルス幅制御
回路は、信号選択回路で選択されたクロック信号を一定
量遅延する第３の遅延回路と、前記クロック信号とこの
クロック信号を前記第３の遅延回路により遅延させたデ
ジタル信号との論理和信号を出力する第２のＯＲ回路
と、前記クロック信号の種類ごとに複数設けられ、前記
論理和信号を信号変調器が出力するパルス幅変調後のデ
ジタル信号のパルス幅に応じて遅延する第４の遅延回路
と、前記論理和信号とこの論理和信号を前記第４の遅延
回路により遅延させたデジタル信号との論理積信号を出
力する第３のＡＮＤ回路とを備えていることを特徴とす
るものである。

【００４６】従って、各第４の遅延回路による遅延量を
所望に調節することにより、信号変調器が出力するパル
ス幅変調後のデジタル信号のパルス幅に応じて、周波数
変調後のデジタル信号を、さらに補正することができ
る。

【００４７】

【発明の実施の形態】

〔発明の第１の実施の形態〕以下の各実施の形態では、
追記型光ディスクのうち、ハイブリット型ＣＤ−Ｒ（複
製される光ディスクの最内周部にすでに情報が書き込ま
れたＲＯＭが存在するディスク）のフォトレジスト原盤
を露光する場合を例にして説明する。

【００４８】図１はマスタリング工程でガラス原盤に潜
像情報ピットを形成する原盤露光装置１の概略構成を説
明するブロック図である。

【００４９】同図に示すように、ターンテーブル２上に
は露光を行なうフォトレジスト原盤３が載置される。こ
のフォトレジスト原盤３はガラス原盤上にフォトレジス
ト膜を塗布したものである。前記ターンテーブル２（位
置移動装置）はスピンドルモータコントローラ７により
駆動されるスピンドルモータ４（位置移動装置）により
回転する。また、前記ターンテーブル２（位置移動装
置）は横送りステージ５（位置移動装置）上に配置され
ていて、横送りモータコントローラ８で駆動される横送
りモータ６（位置移動装置）により前記横送りステージ
５上で水平方向（図１中に矢示したとおり）に移動す
る。このターンテーブル２の回転と水平方向の移動とに
より、フォトレジスト原盤３上の露光位置がスパイラル
状に移動する。

【００５０】Ａｒレーザ１１は露光光源であり、このＡ
ｒレーザ１１から出射したレーザ光１２をミラー１３が
反射し、光変調器１４（音響光学効果素子等の光変調
器）がハイブリッド型ＣＤ−Ｒに書き込む情報を光信号
に変換し、対物レンズ１５がフォトレジスト原盤３上で
極微小光スポットに集光する。

【００５１】信号変調器２１は、ハイブリッド型ＣＤ−
Ｒに書き込む情報をＥＦＭ信号にパルス幅変調し、制御
回路２２（パルス幅補正回路、光量補正回路）は、この
ＥＦＭ信号に対し後述するようにパルス幅補正とパルス
振幅補正を施す。光変調器ドライバ２３は、これらの補
正がなされたデジタル信号によりレーザ光１２をＯＮ、
ＯＦＦしてフォトレジスト原盤３に情報ピットを形成す
る光信号のパルス幅と強度を制御する。

【００５２】パルスジェネレータ２４は、前記信号変調
器２１などを制御する基準クロック（ＦＰＧ）を信号変
調器２１に出力し、また、スピンドルモータコントロー
ラ７を制御するクロック信号（ＴＰＧ）、横送りモータ
コントローラ８を制御するクロック信号（ＳＰＧ）を出
力する。

【００５３】図２は、前記制御回路２２の回路構成を示
すブロック図である。

【００５４】同図に示すように、制御回路２２内には遅
延素子Ｄ０（第１の遅延回路）が設けられ、信号変調器
２１から制御回路２２に入力するデジタル信号は、この
遅延素子Ｄ０に入力される。そして、ＯＲ回路３１（第
１のＯＲ回路）には、この遅延素子Ｄ０の出力と、この
遅延素子Ｄ０を介さない前記デジタル信号とが入力さ
れ、この両信号の論理和信号を出力する。

【００５５】この論理和信号は遅延素子Ｄ１、Ｄ２、
…、Ｄｎ（第２の遅延回路）とＡＮＤ回路３２（第１の
ＡＮＤ回路）に入力される。遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、
Ｄｎの各出力側はいずれもマルチプレクサ３３に接続さ
れている。このマルチプレクサ３３には、遅延素子Ｄ
１、Ｄ２、…、Ｄｎのいずれかひとつの出力信号を選択
し、選択された信号をＡＮＤ回路３２に入力する。

【００５６】マルチプレクサ３４（第１の信号選択回
路）は基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ２、…、Ｖｎからひと
つの信号を選択する。スイッチング素子３５（第１のス
イッチ）は、前記ＡＮＤ回路３２から出力される論理積
信号をゲート信号としてスイッチングされ、これによ
り、前記マルチプレクサ３４で選択されたアナログ信号
がＯＮ、ＯＦＦされる。微分回路３６はスイッチング素
子３５の出力信号を微分波形にし、演算増幅器３７は微
分回路３６の出力信号を増幅して前記光変調器ドライバ
２３に出力する。

【００５７】前記信号変調器２１から前記制御回路２２
に入力されるデジタル信号は、この制御回路２２内に設
けられたパルス幅検出器３８にも入力される。このパル
ス幅検出器３８は前記信号変調器２１から入力するデジ
タル信号のパルス幅を検出し、その検出信号を前記マル
チプレクサ３３、３４に出力する。この検出信号によ
り、前記マルチプレクサ３３による前記遅延素子Ｄ１、
Ｄ２、…、Ｄｎの出力信号の選択、および、前記マルチ
プレクサ３４による前記基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ２、
…、Ｖｎの選択が行なわれる。

【００５８】次に、制御回路２２の動作を中心に上記構
成の原盤露光装置１の動作を説明する。

【００５９】遅延素子Ｄ０とＯＲ回路３１とにより、信
号変調器２１から出力されるパルス幅変調後のデジタル
信号は、パルス幅が所望量伸長された論理和信号として
出力される。そして、この論理和信号は、各遅延素子Ｄ
１、Ｄ２、…、Ｄｎにより、各々所望量遅延され、この
遅延されたいずれかの信号をパルス幅検出器３８の検出
信号によりマルチプレクサ３３で選択する。そして、こ
の選択した信号と、ＯＲ回路３１が出力する論理和信号
であって遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｎを介さない信号
との論理積信号をＡＮＤ回路３２から出力する。これに
より、この論理積信号は、信号変調器２１から出力され
るパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅を、このパ
ルス幅の大小に応じて補正した信号として出力される。
このパルス幅の補正は、信号変調器２１から出力される
パルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相対的に大
きいときは拡大し、相対的に小さいときは縮小するよう
に行なう。

【００６０】また、基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ２、…、
Ｖｎの各々を所望の電圧値に設定し、このうちのひとつ
をパルス幅検出器３８の検出信号によりマルチプレクサ
３４で選択して、スイッチング素子３５に出力する。ス
イッチング素子３５はＡＮＤ回路３２が出力する論理積
信号をベース電圧として基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ２、
…、Ｖｎのいずれかをスイッチングすることにより、上
記のようにパルス幅が補正されたデジタル信号のパルス
振幅（電圧値の大小）を補正する。このパルス振幅の補
正は、信号変調器２１から出力されるデジタル信号のパ
ルス幅が相対的に大きいときは拡大し、相対的に小さい
ときは縮小するように行なう。

【００６１】このようにして、信号変調器２１から出力
されるデジタル信号は、パルス幅およびパルス振幅が補
正された後、微分回路３６により微分波形に変換され、
演算増幅器３７で増幅されて、光変調器ドライバ２３に
入力される。光変調器ドライバ２３は、この入力信号に
より光変調器１４を駆動してレーザ光１２をＯＮ、ＯＦ
Ｆする。フォトレジスト原盤３を露光するレーザ光１２
による光信号は、そのパルス幅が光変調器ドライバ２３
への入力信号のパルス幅により、光強度が光変調器ドラ
イバ２３への入力信号のパルス振幅により制御される。

【００６２】そして、各遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｎ
による信号の遅延量を所望に設定することにより、フォ
トレジスト原盤３を露光する光信号のパルス幅を所望に
補正することができるので、信号変調器２１から出力さ
れたパルス幅変調後のデジタル信号を従来より柔軟に補
正して、フォトレジスト原盤３に最適の形状の情報ピッ
トを形成することができる。

【００６３】しかも、前記した特開平５−１２２０２７
号公報に開示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライ
ン、タイミング回路（シフトレジスタなど）およびアン
ド回路を各々一つずつ増やさなければならないが、この
実施の形態では、遅延素子Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｎをひと
つづつ増やしていくだけで対応できるため、回路構成を
簡易にできる。

【００６４】また、パルス幅検出器３８により信号変調
器２１からの出力信号のパルス幅を検出し、このパルス
幅に応じて、基準アナログ信号Ｖ１、Ｖ２、…、Ｖｎか
ら、いずれかの電圧値を選択することにより、フォトレ
ジスト原盤３を露光する光信号の光強度を調節できるの
で、情報ピットを高精度に形成することができる。

【００６５】さらに、微分回路３６を設けたことによ
り、光変調器ドライバ２３への入力信号を微分波形にし
て、フォトレジスト原盤３を露光する光信号の強度を先
端は強く、後端を弱くすることができるので、情報ピッ
トを高精度に形成することができる。

【００６６】〔発明の第２の実施の形態〕この発明の実
施の形態の構成や動作における前記発明の第１の実施の
形態との違いは制御回路２２にあるので、以下では、こ
の実施の形態における制御回路２２の構成や動作を中心
に説明する。

【００６７】図３は、この実施の形態を示す制御回路２
２の回路構成のブロック図である。

【００６８】同図において、図２と同一符号の回路要素
等は、前記発明の第１の実施の形態と同一のものである
ため詳細な説明は省略する。

【００６９】この実施の形態では、遅延素子Ｄ０、Ｄ
１、Ｄ２、…、Ｄｎ、および、ＯＲ回路３１に代えて、
制御回路２２内にスイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎ
（周波数変調回路、第２のスイッチ）を設けている。こ
の各スイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎのＯＮ、ＯＦ
Ｆの状態により、前記基準クロック（ＦＰＧ）がさまざ
まに選択、非選択される。そして、マルチプレクサ３３
（周波数変調回路、第２の信号選択回路）は各スイッチ
ＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎのＯＮ、ＯＦＦによって生
成されたデジタル信号のうちのひとつを選択する。

【００７０】また、この実施の形態では、微分回路３６
が設けられておらず、スイッチング素子３５からの出力
信号は、直接、演算増幅器３７に入力する。

【００７１】次に、制御回路２２の動作を中心に上記構
成の原盤露光装置１の動作を説明する。

【００７２】信号変調器２１を制御する基準クロック
（ＦＰＧ）は、各スイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎ
のＯＮ、ＯＦＦの状態により、さまざまに選択、非選択
される。そして、スイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎ
からの各信号のうちから、パルス幅検出器３８によるパ
ルス幅の検出に応じて、マルチプレクサ３３で一つの信
号が選択される。この選択された信号と、信号変調器２
１が出力するデジタル信号との論理積信号がＡＮＤ回路
３２（第２のＡＮＤ回路）から出力される。この出力信
号は、パルス幅検出器３８によるパルス幅の検出に応じ
て、信号変調器２１が出力するパルス幅変調後のデジタ
ル信号を周波数変調したものとなり、このデジタル信号
のパルス幅の補正がなされる。すなわち、この周波数変
調によるパルス幅の補正は、信号変調器２１が出力する
パルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相対的に大
きいときは周波数変調を行なってパルス幅を減少させる
ように、相対的に小さいときは周波数変調を行なわない
ようにする。

【００７３】そして、各スイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、
ＳＷｎのＯＮ、ＯＦＦの状態を所望に設定することによ
り、フォトレジスト原盤３を露光する光信号のパルス幅
を所望に補正することができるので、信号変調器２１か
ら出力されたパルス幅変調後のデジタル信号を従来より
柔軟に補正して、フォトレジスト原盤３に最適の形状の
情報ピットを形成することができる。

【００７４】しかも、前記した特開平５−１２２０２７
号公報に開示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライ
ン、タイミング回路（シフトレジスタなど）およびアン
ド回路を各々一つずつ増やさなければならないが、この
実施の形態では、スイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎ
をひとつづつ増やしていくだけで対応できるため、回路
構成を簡易にすることができる。

【００７５】また、前記第１の実施の形態と同様、マル
チプレクサ３４（第３の信号選択回路）、スイッチング
素子３５（第３のスイッチ）などにより、フォトレジス
ト原盤３を露光する光信号の光強度を調節できるので、
情報ピットを高精度に形成することができる。

【００７６】〔発明の第３の実施の形態〕この発明の実
施の形態の構成や動作における前記発明の第２の実施の
形態との違いも制御回路２２にあるので、以下では、こ
の実施の形態における制御回路２２の構成や動作を中心
に説明する。

【００７７】図４は、この実施の形態を示す制御回路２
２の回路構成のブロック図である。

【００７８】同図において、図３と同一符号の回路要素
等は、前記発明の第２の実施の形態と同一のものである
ため詳細な説明は省略する。この実施の形態は、前記第
２の実施の形態の制御回路２２に、パルス幅制御回路４
１を追加した回路構成である。

【００７９】図５は、このパルス幅制御回路４１の回路
構成を示すブロック図である。

【００８０】同図に示すように、パルス幅制御回路４１
は遅延素子Ｄ００、Ｄ１０、Ｄ２０、…、Ｄｎ０、ＯＲ
回路４２、マルチプレクサ４３、ＡＮＤ回路４４を備え
ている。

【００８１】遅延素子Ｄ００（第３の遅延回路）には、
マルチプレクサ３３で選択された信号が入力される。そ
して、ＯＲ回路４２（第２のＯＲ回路）には、この遅延
素子Ｄ００の出力信号と、マルチプレクサ３３で選択さ
れて遅延素子Ｄ００に入力されないままの信号とが入力
されて、この両信号の論理和信号が出力される。遅延素
子Ｄ１０、Ｄ２０、…、Ｄｎ０（第４の遅延回路）と、
ＡＮＤ回路４４（第３のＡＮＤ回路）とには、この論理
和信号が各々入力され、マルチプレクサ４３は、前記パ
ルス幅検出器３８の検出信号により、遅延素子Ｄ１０、
Ｄ２０、…、Ｄｎ０のいずれかの出力信号を選択し、こ
の選択された信号はＡＮＤ回路４４に入力する。ＡＮＤ
回路４４は、ＯＲ回路４２が出力する論理和信号と、マ
ルチプレクサ４３で選択された信号との論理積信号を前
記ＡＮＤ回路３２に出力する。

【００８２】次に、制御回路２２の動作を中心に上記構
成の原盤露光装置１の動作を説明する。

【００８３】この実施の形態では、前記第２の実施の形
態でスイッチＳＷ１、ＳＷ２、…、ＳＷｎとマルチプレ
クサ３３とにより周波数変調した信号に、さらにパルス
幅補正をほどこすものである。

【００８４】すなわち、マルチプレクサ３３から出力さ
れる周波数変調後のデジタル信号は、遅延素子Ｄ００、
ＯＲ回路４２により、パルス幅が所望量伸長された論理
和信号として出力される。そして、この論理和信号は、
各遅延素子Ｄ１０、Ｄ２０、…、Ｄｎ０により、各々所
望量遅延され、この遅延されたいずれかの信号をパルス
幅検出器３８の検出信号によりマルチプレクサ３３で選
択する。そして、この選択した信号と、ＯＲ回路４２が
出力する論理和信号であって遅延素子Ｄ１０、Ｄ２０、
…、Ｄｎ０を介さない信号との論理積信号をＡＮＤ回路
４４から出力する。これにより、この論理積信号は、マ
ルチプレクサ３３から出力される周波数変調後のデジタ
ル信号のパルス幅を、パルス幅検出器３８によるパルス
幅検出の結果に応じてさらに補正した信号として出力さ
れる。このパルス幅の補正は、マルチプレクサ３３から
出力される周波数変調後のデジタル信号のパルス幅が相
対的に大きいときは拡大し、相対的に小さいときは縮小
するように行なう。

【００８５】そして、各遅延素子Ｄ１０、Ｄ２０、…、
Ｄｎ０による信号の遅延量を所望に設定することによ
り、フォトレジスト原盤３を露光する光信号のパルス幅
を所望に補正することができるので、周波数変調後のデ
ジタル信号のさらなる補正を行なうことができる。そし
て、この補正は従来より柔軟に行なえるので、フォトレ
ジスト原盤３に最適の形状の情報ピットを形成すること
ができる。

【００８６】また、前記第１、第２の実施の形態と同
様、フォトレジスト原盤３を露光する光信号の光強度を
調節できるので、情報ピットを高精度に形成することが
できる。

【００８７】

【発明の効果】請求項１に記載の発明は、光ディスクの
フォトレジスト原盤を露光するレーザ光を出射する光源
と、前記フォトレジスト原盤に記録する所望の情報の信
号をパルス幅変調してデジタル信号に変換する信号変調
器と、このパルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス
幅の大小に応じて異なる所望のパルス幅に補正するパル
ス幅補正回路と、この補正後のデジタル信号のパルス幅
に基づき前記フォトレジスト原盤に対する前記レーザ光
の照射をＯＮ、ＯＦＦすることで、前記レーザ光をパル
ス幅が調節された光信号とする光変調器と、前記フォト
レジスト原盤に対する前記レーザ光の照射位置を移動す
る位置移動装置とを備えていることを特徴とするもので
あるので、フォトレジスト原盤に記録する所望の情報の
信号をパルス幅変調してデジタル信号に変換した後、こ
のパルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に応じ
て異なる所望のパルス幅に補正することができるので、
パルス幅変調後のデジタル信号を従来より柔軟に補正で
きるようにして、光ディスク原盤に最適の形状の情報ピ
ットを形成することができる。

【００８８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、信号変調器が出力するパルス幅変調後
のデジタル信号をそのパルス幅に応じて異なるパルス振
幅に補正する光量補正回路を備え、光変調器により、こ
の補正後のデジタル信号のパルス振幅に基づき前記フォ
トレジスト原盤に対する前記レーザ光の照射をＯＮ、Ｏ
ＦＦすることで、前記レーザ光を光強度が調節された光
信号にするものであることを特徴とするものであるた
め、パルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に応
じて異なるパルス振幅に補正することで、フォトレジス
ト原盤を露光するレーザ光の光強度を調節することがで
きるので、情報ピットを高精度に形成することができ
る。

【００８９】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の発明において、パルス幅補正回路により、信
号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパ
ルス幅が相対的に小さいときはデジタル信号のパルス幅
を相対的に拡大し、相対的に大きいときはデジタル信号
のパルス幅を相対的に縮小するように、パルス幅の補正
を行なうものであることを特徴とするものであるため、
パルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相対的に小
さいときはデジタル信号のパルス幅を相対的に拡大し、
相対的に大きいときはデジタル信号のパルス幅を相対的
に縮小するように、パルス幅の補正を行なうことができ
るので、光ディスク原盤に最適の形状の情報ピットを形
成することができる。

【００９０】請求項４に記載の発明は、請求項２または
３に記載の発明において、光量補正回路により、信号変
調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅が、相対的に小さいときはパルス振幅を相対的に拡大
させ、相対的に大きいときはパルス振幅を相対的に縮小
するように、パルス振幅の補正を行なうものであること
を特徴とするものであるため、パルス幅変調後のデジタ
ル信号のパルス幅が、相対的に小さいときはパルス振幅
を相対的に拡大させ、相対的に大きいときはパルス振幅
を相対的に縮小するような、パルス振幅の補正を行なっ
て、情報ピットを高精度に形成することができる。

【００９１】請求項５に記載の発明は、請求項１、２、
３、４のいずれかに記載の発明において、光量補正回路
は、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅に応じて複数種類のアナログ信号から一つ
を選択する信号選択回路と、この選択したアナログ信号
を第１のＡＮＤ回路からの論理積信号でスイッチングす
る第１のスイッチと、この第１のスイッチの出力信号を
増幅する増幅器とを備えていることを特徴とするもので
あるため、上記信号選択回路と、第１のスイッチとによ
り、パルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に応
じて異なるパルス振幅に補正することで、フォトレジス
ト原盤を露光するレーザ光の光強度を調節することがで
きるので、光ディスク原盤に最適の形状の情報ピットを
形成することができる。

【００９２】また、特開平５−１２２０２７号公報に開
示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライン、タイミン
グ回路（シフトレジスタなど）およびＡＮＤ回路を各々
一つずつ増やさなければならないが、この発明では、第
２の遅延回路をひとつづつ増やしていくだけで対応でき
るので、信号変調器による変調信号を補正するための回
路を簡易にすることができる。

【００９３】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の発明において、光量補正回路は、信号変調器が出力す
るパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅に応じて複
数種類のアナログ信号から一つを選択する第１の信号選
択回路と、この選択したアナログ信号を第１のＡＮＤ回
路からの論理積信号でスイッチングする第１のスイッチ
と、この第１のスイッチの出力信号を増幅する増幅器と
を備えていることを特徴とするものであるので、上記第
１の信号選択回路と、第１のスイッチとにより、パルス
幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に応じて異なる
パルス振幅に補正することで、フォトレジスト原盤を露
光するレーザ光の光強度を調節することができるため、
情報ピットを高精度に形成することができる。

【００９４】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の発明において、スイッチの出力信号を微分波形にして
増幅器に出力する微分回路を備えていることを特徴とす
るものであるので、スイッチの出力信号を微分波形にし
て増幅器に出力することにより、光信号の強度を先端を
強く、後端を弱くすることができるため、光ディスク原
盤に最適の形状の情報ピットを形成することができる。

【００９５】請求項８に記載の発明は、請求項１または
２に記載の発明において、パルス幅補正回路は、信号変
調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号を周波数
変調して、前記パルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅に応じて異なる所望のパルス幅に補正する周波数変調
回路を備えていることを特徴とするものであるので、パ
ルス幅変調後のデジタル信号を周波数変調して、このデ
ジタル信号のパルス幅に応じて異なる所望のパルス幅に
補正することができるため、光ディスク原盤に最適の形
状の情報ピットを形成することができる。

【００９６】請求項９に記載の発明は、請求項８に記載
の発明において、周波数変調回路は、信号変調器が出力
するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相対的
に大きいときは相対的に高周波になるように周波数変調
を行ない、相対的に小さいときは周波数変調を停止する
ものであることを特徴とするものであるので、信号変調
器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅
が相対的に大きいときは相対的に高周波になるように周
波数変調を行ない、相対的に小さいときは周波数変調を
停止することで、パルス幅変調後のデジタル信号のパル
ス幅が相対的に小さいときはデジタル信号のパルス幅を
相対的に拡大し、相対的に大きいときはデジタル信号の
パルス幅を相対的に縮小するように、パルス幅の補正を
行なうことができるため、光ディスク原盤に最適の形状
の情報ピットを形成することができる。

【００９７】請求項１０に記載の発明は、請求項８また
は９に記載の発明において、光量補正回路により、信号
変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパル
ス振幅が相対的に小さいときはパルス振幅を相対的に拡
大し、相対的に大きいときはパルス振幅を相対的に縮小
するように、パルス振幅の補正を行なうものであること
を特徴とするものであるので、パルス幅変調後のデジタ
ル信号のパルス幅が、相対的に小さいときはパルス振幅
を相対的に拡大し、相対的に大きいときはパルス振幅を
相対的に縮小するように、パルス振幅の補正を行なうこ
とができるため、情報ピットを高精度に形成することが
できる。

【００９８】請求項１１に記載の発明は、請求項８、
９、１０のいずれかに記載の発明において、周波数変調
回路は、ＯＮ、ＯＦＦすることにより、信号変調器を制
御するクロック信号を選択、非選択する複数の第２のス
イッチと、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジ
タル信号のパルス幅に応じて、前記複数の第２のスイッ
チが出力する前記クロック信号のうちひとつを選択する
第２の信号選択回路と、この選択したクロック信号とパ
ルス幅変調回路が出力するデジタル信号との論理積信号
を出力する第２のＡＮＤ回路とを備えていることを特徴
とするものであるので、各第２のスイッチをＯＮ、ＯＦ
Ｆして、信号変調器を制御するクロック信号を選択、非
選択し、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタ
ル信号のパルス幅に応じて、複数の第２のスイッチが出
力するクロック信号のうちひとつを選択して、この選択
したクロック信号とパルス幅変調回路が出力するデジタ
ル信号との論理積信号を出力することで、パルス幅変調
後のデジタル信号をそのパルス幅の大小に応じて異なる
所望のパルス幅に補正することができるため、パルス幅
変調後のデジタル信号を従来より柔軟に補正できるよう
にして、光ディスク原盤に最適の形状の情報ピットを形
成することができる。

【００９９】また、特開平５−１２２０２７号公報に開
示の技術では、パルス幅変調後のデジタル信号のパルス
幅ｎＴが１Ｔ大きくなるごとに、遅延ライン、タイミン
グ回路（シフトレジスタなど）およびアンド回路を各々
一つずつ増やさなければならないが、この発明では、第
２のスイッチをひとつづつ増やしていくだけで対応でき
るので、回路構成を簡易とすることができる。

【０１００】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の発明において、光量補正回路は、信号変調器が出
力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅に応じ
て複数種類のアナログ信号から一つを選択するものであ
る信号選択回路と、この選択したアナログ信号を第２の
ＡＮＤ回路が出力する論理積信号でスイッチングする第
３のスイッチと、この第３のスイッチの出力信号を増幅
する増幅器とを備えていることを特徴とするものである
ので、信号選択回路と、第３のスイッチとにより、パル
ス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅に応じて異な
るパルス振幅に補正することで、フォトレジスト原盤を
露光するレーザ光の光強度を調節することができるた
め、情報ピットを高精度に形成することができる。

【０１０１】請求項１３に記載の発明は、請求項１２に
記載の発明において、信号変調器が出力するパルス幅変
調後のデジタル信号のパルス幅に応じて、信号選択回路
で選択されたクロック信号のパルス幅を所望に補正する
パルス幅制御回路を備えていることを特徴とするもので
あるので、信号選択回路で選択されたクロック信号のパ
ルス幅を、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジ
タル信号のパルス幅に応じて、さらに補正することがで
きるため、パルス幅変調後のデジタル信号を従来より柔
軟に補正できるようにして、光ディスク原盤に最適の形
状の情報ピットを形成することができる。

【０１０２】請求項１４に記載の発明は、請求項１３に
記載の発明において、パルス幅制御回路は、信号選択回
路で選択されたクロック信号を一定量遅延する第３の遅
延回路と、前記クロック信号とこのクロック信号を前記
第３の遅延回路により遅延させたデジタル信号との論理
和信号を出力する第２のＯＲ回路と、前記クロック信号
の種類ごとに複数設けられ、前記論理和信号を信号変調
器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅
に応じて遅延する第４の遅延回路と、前記論理和信号と
この論理和信号を前記第４の遅延回路により遅延させた
デジタル信号との論理積信号を出力する第３のＡＮＤ回
路とを備えていることを特徴とするものであるので、各
第４の遅延回路による遅延量を所望に調節することによ
り、信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信
号のパルス幅に応じて、周波数変調後のデジタル信号
を、さらに補正することができ、パルス幅変調後のデジ
タル信号を従来より柔軟に補正できるようにして、光デ
ィスク原盤に最適の形状の情報ピットを形成することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態を示す原盤露光装
置の全体構成を示すブロック図である。

【図２】前記原盤露光装置の制御回路のブロック図であ
る。

【図３】この発明の第２の実施の形態を示す制御回路の
ブロック図である。

【図４】この発明の第３の実施の形態を示す制御回路の
ブロック図である。

【図５】前記制御回路のパルス幅制御回路のブロック図
である。

【符号の説明】

１ 光ディスク原盤の露光装置 ２ 位置移動装置 ４ 位置移動装置 ５ 位置移動装置 ６ 位置移動装置 １１ 光源 １２ レーザ光 １４ 光変調器 ２１ 信号変調器 ３１ 第１のＯＲ回路 ３２ 第１、第２のＡＮＤ回路 ３３ 周波数変調回路、第２の信号選択回路 ３４ 第１、第３の信号選択回路 ３５ 第１、第２、第３のスイッチ ４２ 第２のＯＲ回路 ４４ 第３のＡＮＤ回路 Ｄ０ 第１の遅延回路 Ｄ１、Ｄ２、…、Ｄｎ 第２の遅延回路 Ｄ００ 第３の遅延回路 Ｄ１０、Ｄ２０、…、Ｄｎ０ 第４の遅延回路

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスクのフォトレジスト原盤を露光
   するレーザ光を出射する光源と、 前記フォトレジスト原盤に記録する所望の情報の信号を
   パルス幅変調してデジタル信号に変換する信号変調器
   と、 このパルス幅変調後のデジタル信号をそのパルス幅の大
   小に応じて異なる所望のパルス幅に補正するパルス幅補
   正回路と、 この補正後のデジタル信号のパルス幅に基づき前記フォ
   トレジスト原盤に対する前記レーザ光の照射をＯＮ、Ｏ
   ＦＦすることで、前記レーザ光をパルス幅が調節された
   光信号とする光変調器と、 前記フォトレジスト原盤に対する前記レーザ光の照射位
   置を移動する位置移動装置とを備えていることを特徴と
   する光ディスク原盤の露光装置。
2. 【請求項２】 信号変調器が出力するパルス幅変調後の
   デジタル信号をそのパルス幅に応じて異なるパルス振幅
   に補正する光量補正回路を備え、 光変調器により、この補正後のデジタル信号のパルス振
   幅に基づきフォトレジスト原盤に対するレーザ光の照射
   をＯＮ、ＯＦＦすることで、前記レーザ光を光強度が調
   節された光信号にするものであることを特徴とする請求
   項１に記載の光ディスク原盤の露光装置。
3. 【請求項３】 パルス幅補正回路により、信号変調器が
   出力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が相
   対的に小さいときはデジタル信号のパルス幅を相対的に
   拡大し、相対的に大きいときはデジタル信号のパルス幅
   を相対的に縮小するように、パルス幅の補正を行なうも
   のであることを特徴とする請求項１または２に記載の光
   ディスク原盤の露光装置。
4. 【請求項４】 光量補正回路により、信号変調器が出力
   するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅が、相対
   的に小さいときはパルス振幅を相対的に拡大させ、相対
   的に大きいときはパルス振幅を相対的に縮小するよう
   に、パルス振幅の補正を行なうものであることを特徴と
   する請求項２または３に記載の光ディスク原盤の露光装
   置。
5. 【請求項５】 パルス幅補正回路は、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号を
   一定量遅延する第１の遅延回路と、 前記パルス幅変調後のデジタル信号とこのデジタル信号
   を前記第１の遅延回路により遅延させたデジタル信号と
   の論理和信号を出力する第１のＯＲ回路と、 前記パルス幅変調後のデジタル信号の異なるパルス幅ご
   とに複数設けられ、前記論理和信号を前記パルス幅の大
   きさに応じて遅延する第２の遅延回路と、 前記論理和信号とこの論理和信号を前記第２の遅延回路
   により遅延させたデジタル信号との論理積信号を出力す
   る第１のＡＮＤ回路とを備えていることを特徴とする請
   求項１、２、３、４のいずれかに記載の光ディスク原盤
   の露光装置。
6. 【請求項６】 光量補正回路は、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号の
   パルス幅に応じて複数種類のアナログ信号から一つを選
   択する第１の信号選択回路と、 この選択したアナログ信号を第１のＡＮＤ回路からの論
   理積信号でスイッチングする第１のスイッチと、 この第１のスイッチの出力信号を増幅する増幅器とを備
   えていることを特徴とする請求項５に記載の光ディスク
   原盤の露光装置。
7. 【請求項７】 第１のスイッチの出力信号を微分波形に
   して増幅器に出力する微分回路を備えていることを特徴
   とする請求項６に記載の光ディスク原盤の露光装置。
8. 【請求項８】 パルス幅補正回路は、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号を
   周波数変調して、前記パルス幅変調後のデジタル信号の
   パルス幅に応じて異なる所望のパルス幅に補正する周波
   数変調回路を備えていることを特徴とする請求項１また
   は２に記載の光ディスク原盤の露光装置。
9. 【請求項９】 周波数変調回路は、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号の
   パルス幅が相対的に大きいときは相対的に高周波になる
   ように周波数変調を行ない、相対的に小さいときは周波
   数変調を停止するものであることを特徴とする請求項８
   に記載の光ディスク原盤の露光装置。
10. 【請求項１０】 光量補正回路により、信号変調器が出
    力するパルス幅変調後のデジタル信号のパルス振幅が相
    対的に小さいときはパルス振幅を相対的に拡大し、相対
    的に大きいときはパルス振幅を相対的に縮小するよう
    に、パルス振幅の補正を行なうものであることを特徴と
    する請求項８または９に記載の光ディスク原盤の露光装
    置。
11. 【請求項１１】 周波数変調回路は、 ＯＮ、ＯＦＦすることにより、信号変調器を制御するク
    ロック信号を選択、非選択する複数の第２のスイッチ
    と、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号の
    パルス幅に応じて、前記複数の第２のスイッチが出力す
    る前記クロック信号のうちひとつを選択する第２の信号
    選択回路と、 この選択したクロック信号とパルス幅変調回路が出力す
    るデジタル信号との論理積信号を出力する第２のＡＮＤ
    回路とを備えていることを特徴とする請求項８、９、１
    ０のいずれかに記載の光ディスク原盤の露光装置。
12. 【請求項１２】 光量補正回路は、 信号変調器が出力するパルス幅変調後のデジタル信号の
    パルス幅に応じて複数種類のアナログ信号から一つを選
    択するものである第３の信号選択回路と、 この選択したアナログ信号を第２のＡＮＤ回路が出力す
    る論理積信号でスイッチングする第３のスイッチと、 この第３のスイッチの出力信号を増幅する増幅器とを備
    えていることを特徴とする請求項１１に記載の光ディス
    ク原盤の露光装置。
13. 【請求項１３】 信号変調器が出力するパルス幅変調後
    のデジタル信号のパルス幅に応じて、信号選択回路で選
    択されたクロック信号のパルス幅を所望に補正するパル
    ス幅制御回路を備えていることを特徴とする請求項１２
    に記載の光ディスク原盤の露光装置。
14. 【請求項１４】 パルス幅制御回路は、 信号選択回路で選択されたクロック信号を一定量遅延す
    る第３の遅延回路と、 前記クロック信号とこのクロック信号を前記第３の遅延
    回路により遅延させたデジタル信号との論理和信号を出
    力する第２のＯＲ回路と、 前記クロック信号の種類ごとに複数設けられ、前記論理
    和信号をパルス幅変調後のデジタル信号のパルス幅に応
    じて遅延する第４の遅延回路と、 前記論理和信号とこの論理和信号を前記第４の遅延回路
    により遅延させたデジタル信号との論理積信号を出力す
    る第３のＡＮＤ回路とを備えていることを特徴とする請
    求項１３に記載の光ディスク原盤の露光装置。