JPH1177521A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH1177521A JPH1177521A JP25614297A JP25614297A JPH1177521A JP H1177521 A JPH1177521 A JP H1177521A JP 25614297 A JP25614297 A JP 25614297A JP 25614297 A JP25614297 A JP 25614297A JP H1177521 A JPH1177521 A JP H1177521A
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- polishing
- polishing plate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 上側研磨板と下側研磨板の間の距離を正確に
検出することが可能で、所定の定寸研磨を確実に行うこ
とが可能な研磨装置を提供する。 【解決手段】 接触式距離測定手段４を、そのプローブ
４ａが上側研磨板２の貫通穴３を上面側から下面側に貫
通するような態様で、かつ、固定支持部材１３に固定し
て配設するとともに、上端面が基準テーブル５となるロ
ッド１２をドライブシャフト６に形成された貫通穴１１
を貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材１４に固
定して配設する。
検出することが可能で、所定の定寸研磨を確実に行うこ
とが可能な研磨装置を提供する。 【解決手段】 接触式距離測定手段４を、そのプローブ
４ａが上側研磨板２の貫通穴３を上面側から下面側に貫
通するような態様で、かつ、固定支持部材１３に固定し
て配設するとともに、上端面が基準テーブル５となるロ
ッド１２をドライブシャフト６に形成された貫通穴１１
を貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材１４に固
定して配設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、研磨装置に関
し、詳しくは、金属、セラミック、半導体材料などの被
研磨材の上下両面を同時に研磨することが可能な研磨装
置に関する。
し、詳しくは、金属、セラミック、半導体材料などの被
研磨材の上下両面を同時に研磨することが可能な研磨装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】金属、
セラミック、半導体材料などの被研磨材の上下両面を同
時に研磨することができるようにした研磨装置として
は、例えば、図５に示すような研磨装置が知られてい
る。
セラミック、半導体材料などの被研磨材の上下両面を同
時に研磨することができるようにした研磨装置として
は、例えば、図５に示すような研磨装置が知られてい
る。
【０００３】この研磨装置は、特に図示しない駆動手段
により回転駆動されるとともに、エアシリンダ５１によ
り上昇または下降させることができるように構成された
上側研磨板５２と、上側研磨板５２の貫通穴５３に挿通
されたプローブ５４ａ（このプローブ５４ａは接触式距
離測定手段（電気マイクロメータ）５４の一部を構成し
ている）と、特に図示しない駆動手段により回転駆動さ
れる下側研磨板５７と、被研磨材を保持して上側研磨板
５２と下側研磨板５７の間に研磨可能に保持する被研磨
材保持治具５９と、下側研磨板５７の貫通穴６０に挿入
配設され、被研磨材保持治具５９を回転させるドライブ
シャフト５６を備えており、ドライブシャフト５６の上
端面はプローブ５４ａが当接する基準テーブル５５とな
っている。また、ドライブシャフト５６はベアリング５
６ａにより、下側研磨板５７はベアリング５７ａによ
り、それぞれ回転可能に保持されている。なお、被研磨
材保持治具５９は、外周部に形成されたギア状の凹凸部
（図示せず）に、回転するドライブシャフト５６のピン
５６ｂが係合することにより回転駆動されるように構成
されている。この研磨装置においては、上側研磨板５２
と下側研磨板５７の間に被研磨材５８を保持する被研磨
材保持治具５９を挟んで、上側研磨板５２と下側研磨板
５７を回転させるとともに、ドライブシャフト５６によ
り被研磨材保持治具５９を回転させることにより、被研
磨材５８の上下両面が同時に研磨される。そして、ドラ
イブシャフト５６の上面の基準テーブル５５に当接する
プローブ５４ａの伸縮量から、上側研磨板５２と下側研
磨板５７の間の距離（すなわち、被研磨材５８の厚み）
を検出し、設定値との比較を行い、所定の研磨量となっ
た時点で研磨（加工）を停止することにより、被研磨材
が所定の寸法になるまで研磨される。
により回転駆動されるとともに、エアシリンダ５１によ
り上昇または下降させることができるように構成された
上側研磨板５２と、上側研磨板５２の貫通穴５３に挿通
されたプローブ５４ａ（このプローブ５４ａは接触式距
離測定手段（電気マイクロメータ）５４の一部を構成し
ている）と、特に図示しない駆動手段により回転駆動さ
れる下側研磨板５７と、被研磨材を保持して上側研磨板
５２と下側研磨板５７の間に研磨可能に保持する被研磨
材保持治具５９と、下側研磨板５７の貫通穴６０に挿入
配設され、被研磨材保持治具５９を回転させるドライブ
シャフト５６を備えており、ドライブシャフト５６の上
端面はプローブ５４ａが当接する基準テーブル５５とな
っている。また、ドライブシャフト５６はベアリング５
６ａにより、下側研磨板５７はベアリング５７ａによ
り、それぞれ回転可能に保持されている。なお、被研磨
材保持治具５９は、外周部に形成されたギア状の凹凸部
（図示せず）に、回転するドライブシャフト５６のピン
５６ｂが係合することにより回転駆動されるように構成
されている。この研磨装置においては、上側研磨板５２
と下側研磨板５７の間に被研磨材５８を保持する被研磨
材保持治具５９を挟んで、上側研磨板５２と下側研磨板
５７を回転させるとともに、ドライブシャフト５６によ
り被研磨材保持治具５９を回転させることにより、被研
磨材５８の上下両面が同時に研磨される。そして、ドラ
イブシャフト５６の上面の基準テーブル５５に当接する
プローブ５４ａの伸縮量から、上側研磨板５２と下側研
磨板５７の間の距離（すなわち、被研磨材５８の厚み）
を検出し、設定値との比較を行い、所定の研磨量となっ
た時点で研磨（加工）を停止することにより、被研磨材
が所定の寸法になるまで研磨される。
【０００４】しかし、上記従来の研磨装置においては、
基準テーブル５５がドライブシャフト５６と一体に形成
されているため、 基準テーブル５５の傾き、 ドライブシャフト５６の回転軸のずれによる、プロー
ブ５４ａの先端部と基準テーブル５５との接触位置のず
れ、 ドライブシャフト５６を保持するベアリング５６ａの
振れなどに起因して、上側研磨板５２と下側研磨板５７
の間の距離を正確に検出できなくなる場合があり、研磨
量の測定誤差を招くという問題点がある。
基準テーブル５５がドライブシャフト５６と一体に形成
されているため、 基準テーブル５５の傾き、 ドライブシャフト５６の回転軸のずれによる、プロー
ブ５４ａの先端部と基準テーブル５５との接触位置のず
れ、 ドライブシャフト５６を保持するベアリング５６ａの
振れなどに起因して、上側研磨板５２と下側研磨板５７
の間の距離を正確に検出できなくなる場合があり、研磨
量の測定誤差を招くという問題点がある。
【０００５】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、上側研磨板と下側研磨板の間の距離を正確に検出
することが可能で、被研磨材を確実に所定の寸法になる
まで研磨することが可能な研磨装置を提供することを目
的とする。
あり、上側研磨板と下側研磨板の間の距離を正確に検出
することが可能で、被研磨材を確実に所定の寸法になる
まで研磨することが可能な研磨装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の研磨装置は、上側研磨板及
び下側研磨板の一対の研磨板の間に被研磨材を位置さ
せ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被研磨材の上下両
面に接触させた状態で回転させることにより、被研磨材
の上下両面を同時に研磨する研磨装置において、回転軸
心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下側研磨
板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記
被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可
能に保持する被研磨材保持治具と、前記下側研磨板の貫
通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に沿って貫通穴が
形成され、前記被研磨材を保持する被研磨材保持治具を
回転させるドライブシャフトと、前記ドライブシャフト
の貫通穴を貫通するように配設され、上端面が基準テー
ブルとなり、下端側が固定支持部材に固定されたロッド
と、プローブの伸縮量により測定対象距離の検出を行う
ように構成されており、固定支持部材に固定され、か
つ、前記プローブが前記上側研磨板の貫通穴を上面側か
ら下面側に貫通して前記基準テーブルに当接するように
配設された接触式距離測定手段とを具備し、前記プロー
ブの伸縮量から前記上側研磨板と前記下側研磨板の間の
距離を検出することにより被研磨材の寸法を求め、被研
磨材を所定量だけ研磨できるようにしたことを特徴とし
ている。
に、本願発明（請求項１）の研磨装置は、上側研磨板及
び下側研磨板の一対の研磨板の間に被研磨材を位置さ
せ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被研磨材の上下両
面に接触させた状態で回転させることにより、被研磨材
の上下両面を同時に研磨する研磨装置において、回転軸
心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下側研磨
板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記
被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可
能に保持する被研磨材保持治具と、前記下側研磨板の貫
通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に沿って貫通穴が
形成され、前記被研磨材を保持する被研磨材保持治具を
回転させるドライブシャフトと、前記ドライブシャフト
の貫通穴を貫通するように配設され、上端面が基準テー
ブルとなり、下端側が固定支持部材に固定されたロッド
と、プローブの伸縮量により測定対象距離の検出を行う
ように構成されており、固定支持部材に固定され、か
つ、前記プローブが前記上側研磨板の貫通穴を上面側か
ら下面側に貫通して前記基準テーブルに当接するように
配設された接触式距離測定手段とを具備し、前記プロー
ブの伸縮量から前記上側研磨板と前記下側研磨板の間の
距離を検出することにより被研磨材の寸法を求め、被研
磨材を所定量だけ研磨できるようにしたことを特徴とし
ている。
【０００７】本願発明（請求項１）の研磨装置は、上述
のように、接触式距離測定手段を、そのプローブが上側
研磨板の貫通穴を上面側から下面側に貫通するような態
様で、かつ、固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が基準テーブルとなっているロッドをドライ
ブシャフトに形成された貫通穴を貫通させ、かつ、その
下端側を固定支持部材に固定して配設するようにしてい
るので、回転するドライブシャフトの一部を基準テーブ
ルとする前述の従来の研磨装置のように、基準テーブル
が傾斜したり、プローブと基準テーブルとの接触位置が
ずれたり、あるいは、ドライブシャフトを保持するベア
リングが振れたりして、上側研磨板と下側研磨板の間の
距離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度
よく定寸研磨することができるようになる。なお、本願
発明の研磨装置は、種々の研磨装置に広く適用すること
が可能である。なお、本願発明において、研磨装置と
は、いわゆるラップ装置やポリッシュ装置などの種々の
装置を含む広い概念である。
のように、接触式距離測定手段を、そのプローブが上側
研磨板の貫通穴を上面側から下面側に貫通するような態
様で、かつ、固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が基準テーブルとなっているロッドをドライ
ブシャフトに形成された貫通穴を貫通させ、かつ、その
下端側を固定支持部材に固定して配設するようにしてい
るので、回転するドライブシャフトの一部を基準テーブ
ルとする前述の従来の研磨装置のように、基準テーブル
が傾斜したり、プローブと基準テーブルとの接触位置が
ずれたり、あるいは、ドライブシャフトを保持するベア
リングが振れたりして、上側研磨板と下側研磨板の間の
距離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度
よく定寸研磨することができるようになる。なお、本願
発明の研磨装置は、種々の研磨装置に広く適用すること
が可能である。なお、本願発明において、研磨装置と
は、いわゆるラップ装置やポリッシュ装置などの種々の
装置を含む広い概念である。
【０００８】また、本願発明（請求項２）の研磨装置
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記上
側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下端面が
基準テーブルとなり、上端側が固定支持部材に固定され
たロッドと、プローブの伸縮量により測定対象距離の検
出を行うように構成されており、固定支持部材に固定さ
れ、かつ、前記プローブが前記ドライブシャフトの貫通
穴を貫通し、その上端面側に露出して前記基準テーブル
に当接するように配設された接触式距離測定手段とを具
備し、前記プローブの伸縮量から前記上側研磨板と前記
下側研磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の
寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにし
たことを特徴としている。
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記上
側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下端面が
基準テーブルとなり、上端側が固定支持部材に固定され
たロッドと、プローブの伸縮量により測定対象距離の検
出を行うように構成されており、固定支持部材に固定さ
れ、かつ、前記プローブが前記ドライブシャフトの貫通
穴を貫通し、その上端面側に露出して前記基準テーブル
に当接するように配設された接触式距離測定手段とを具
備し、前記プローブの伸縮量から前記上側研磨板と前記
下側研磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の
寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにし
たことを特徴としている。
【０００９】本願発明（請求項２）の研磨装置は、上述
のように、接触式距離測定手段を、そのプローブが、ド
ライブシャフトの貫通穴を貫通してその上端面側に露出
するような態様で、その一部を固定支持部材に固定して
配設するとともに、下端面が基準テーブルとなっている
ロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設して
いるので、上記請求項１記載の研磨装置の場合と同様
に、基準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルとの
接触位置のずれ、ドライブシャフトを保持するベアリン
グの振れなどに起因する上側研磨板と下側研磨板間の距
離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく定
寸研磨することができるようになる。
のように、接触式距離測定手段を、そのプローブが、ド
ライブシャフトの貫通穴を貫通してその上端面側に露出
するような態様で、その一部を固定支持部材に固定して
配設するとともに、下端面が基準テーブルとなっている
ロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設して
いるので、上記請求項１記載の研磨装置の場合と同様
に、基準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルとの
接触位置のずれ、ドライブシャフトを保持するベアリン
グの振れなどに起因する上側研磨板と下側研磨板間の距
離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく定
寸研磨することができるようになる。
【００１０】また、本願発明（請求項３）の研磨装置
は、前記接触式距離測定手段が電気マイクロメータであ
ることを特徴としている。接触式距離測定手段として、
電気マイクロメータを用いることにより、容易かつ確実
に上側研磨板と下側研磨板の間の距離を検出することが
可能になり、被研磨材の研磨量を正確に測定して、精度
よく定寸研磨を行うことができるようになる。
は、前記接触式距離測定手段が電気マイクロメータであ
ることを特徴としている。接触式距離測定手段として、
電気マイクロメータを用いることにより、容易かつ確実
に上側研磨板と下側研磨板の間の距離を検出することが
可能になり、被研磨材の研磨量を正確に測定して、精度
よく定寸研磨を行うことができるようになる。
【００１１】また、本願発明（請求項４）の研磨装置
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記ド
ライブシャフトの貫通穴を貫通するように配設され、上
端面が光線を反射する反射面となり、下端側が固定支持
部材に固定されたロッドと、光線を発生する投光部と反
射した光線を受光する受光部とを備えており、固定支持
部材に固定され、かつ、前記投光部から投光された光線
が前記上側研磨板に遮られることなく前記反射面に達す
るとともに、前記反射面で反射した光線が前記上側研磨
板に遮られることなく前記受光部に達するように、少な
くとも一部が前記上側研磨板の貫通穴内に位置するよう
な態様で配設された非接触式（光学式）距離測定手段と
を具備し、前記非接触式距離測定手段により前記上側研
磨板と前記下側研磨板の間の距離を検出することにより
被研磨材の寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨でき
るようにしたことを特徴としている。
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記ド
ライブシャフトの貫通穴を貫通するように配設され、上
端面が光線を反射する反射面となり、下端側が固定支持
部材に固定されたロッドと、光線を発生する投光部と反
射した光線を受光する受光部とを備えており、固定支持
部材に固定され、かつ、前記投光部から投光された光線
が前記上側研磨板に遮られることなく前記反射面に達す
るとともに、前記反射面で反射した光線が前記上側研磨
板に遮られることなく前記受光部に達するように、少な
くとも一部が前記上側研磨板の貫通穴内に位置するよう
な態様で配設された非接触式（光学式）距離測定手段と
を具備し、前記非接触式距離測定手段により前記上側研
磨板と前記下側研磨板の間の距離を検出することにより
被研磨材の寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨でき
るようにしたことを特徴としている。
【００１２】本願発明（請求項４）の研磨装置は、上述
のように、非接触式（光学式）距離測定手段を、投光部
から投光された光線が上側研磨板に遮られることなく反
射面に達するとともに、反射面で反射した光線が上側研
磨板に遮られることなく受光部に達するように、少なく
とも一部が上側研磨板の貫通穴に位置するような態様
で、その一部を固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が投光部からの光線を反射する反射面となっ
ているロッドをドライブシャフトに形成された貫通穴を
貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材に固定して
配設するようにしているので、反射面の傾き、投光部及
び受光部の位置と基準テーブルの位置ずれ、ドライブシ
ャフトを保持するベアリングの振れなどに起因する上側
研磨板と下側研磨板間の距離の測定誤差の発生を防止し
て、被研磨材を精度よく定寸研磨することができるよう
になる。
のように、非接触式（光学式）距離測定手段を、投光部
から投光された光線が上側研磨板に遮られることなく反
射面に達するとともに、反射面で反射した光線が上側研
磨板に遮られることなく受光部に達するように、少なく
とも一部が上側研磨板の貫通穴に位置するような態様
で、その一部を固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が投光部からの光線を反射する反射面となっ
ているロッドをドライブシャフトに形成された貫通穴を
貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材に固定して
配設するようにしているので、反射面の傾き、投光部及
び受光部の位置と基準テーブルの位置ずれ、ドライブシ
ャフトを保持するベアリングの振れなどに起因する上側
研磨板と下側研磨板間の距離の測定誤差の発生を防止し
て、被研磨材を精度よく定寸研磨することができるよう
になる。
【００１３】また、本願発明（請求項５）の研磨装置
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記上
側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下端面が
光線を反射する反射面となり、上端側が固定支持部材に
固定されたロッドと、光線を発生する投光部と前記反射
面で反射した光線を受光する受光部とを備えており、固
定支持部材に固定され、かつ、前記投光部から投光され
た光線が前記反射面に達するとともに、前記反射面で反
射した光線が前記受光部に達するように、少なくとも投
光部及び受光部が前記ドライブシャフトの貫通穴の上側
開口から露出するような態様で配設された非接触式（光
学式）距離測定手段とを具備し、前記非接触式距離測定
手段により前記上側研磨板と前記下側研磨板の間の距離
を検出することにより被研磨材の寸法を求め、被研磨材
を所定量だけ研磨できるようにしたことを特徴としてい
る。
は、上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板の間に被
研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板を、前記被
研磨材の上下両面に接触させた状態で回転させることに
より、被研磨材の上下両面を同時に研磨する研磨装置に
おいて、回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨
板及び下側研磨板と、前記上側研磨板と下側研磨板の間
に位置し、前記被研磨材を前記上側研磨板及び下側研磨
板により研磨可能に保持する被研磨材保持治具と、前記
下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸心に
沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する被研
磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、前記上
側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下端面が
光線を反射する反射面となり、上端側が固定支持部材に
固定されたロッドと、光線を発生する投光部と前記反射
面で反射した光線を受光する受光部とを備えており、固
定支持部材に固定され、かつ、前記投光部から投光され
た光線が前記反射面に達するとともに、前記反射面で反
射した光線が前記受光部に達するように、少なくとも投
光部及び受光部が前記ドライブシャフトの貫通穴の上側
開口から露出するような態様で配設された非接触式（光
学式）距離測定手段とを具備し、前記非接触式距離測定
手段により前記上側研磨板と前記下側研磨板の間の距離
を検出することにより被研磨材の寸法を求め、被研磨材
を所定量だけ研磨できるようにしたことを特徴としてい
る。
【００１４】本願発明（請求項５）の研磨装置は、上述
のように、非接触式（光学式）距離測定手段を、投光部
から投光された光線が反射面に達するとともに、反射面
で反射した光線が受光部に達するように、少なくとも投
光部及び受光部がドライブシャフトの貫通穴の上側開口
から露出するような態様で、その一部を固定支持部材に
固定して配設するとともに、下端面が非接触式距離測定
手段の投光部からの光線を反射する反射面となっている
ロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通させ、かつ、その上
端側を固定支持部材に固定して配設するようにしている
ので、反射面の傾き、投光部及び受光部の位置と基準テ
ーブルの位置ずれ、ドライブシャフトを保持するベアリ
ングの振れなどに起因する上側研磨板と下側研磨板間の
距離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく
定寸研磨することができるようになる。
のように、非接触式（光学式）距離測定手段を、投光部
から投光された光線が反射面に達するとともに、反射面
で反射した光線が受光部に達するように、少なくとも投
光部及び受光部がドライブシャフトの貫通穴の上側開口
から露出するような態様で、その一部を固定支持部材に
固定して配設するとともに、下端面が非接触式距離測定
手段の投光部からの光線を反射する反射面となっている
ロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通させ、かつ、その上
端側を固定支持部材に固定して配設するようにしている
ので、反射面の傾き、投光部及び受光部の位置と基準テ
ーブルの位置ずれ、ドライブシャフトを保持するベアリ
ングの振れなどに起因する上側研磨板と下側研磨板間の
距離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく
定寸研磨することができるようになる。
【００１５】なお、請求項４及び請求項５の研磨装置に
おいては、非接触式（光学式）距離測定手段を用いてい
るため、接触式の距離測定装置を用いた場合にはプロー
ブをアクセスさせることが困難であるような場合にも、
上側研磨板と下側研磨板の間の距離を精度よく測定する
ことが可能になり、装置構成の自由度を向上させること
が可能になる。
おいては、非接触式（光学式）距離測定手段を用いてい
るため、接触式の距離測定装置を用いた場合にはプロー
ブをアクセスさせることが困難であるような場合にも、
上側研磨板と下側研磨板の間の距離を精度よく測定する
ことが可能になり、装置構成の自由度を向上させること
が可能になる。
【００１６】また、本願発明（請求項６）の研磨装置
は、前記非接触式距離測定手段がレーザ光線を用いた光
学式距離測定手段であることを特徴としている。レーザ
光線を用いた光学式距離測定手段は、種々のタイプのも
のが市販されており、高精度のものを容易に入手するこ
とが可能である。したがって、非接触式距離測定手段と
して、レーザ光線を用いた光学式距離測定手段を用いる
ことにより、効率よく高精度の研磨装置を得ることが可
能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能
になる。
は、前記非接触式距離測定手段がレーザ光線を用いた光
学式距離測定手段であることを特徴としている。レーザ
光線を用いた光学式距離測定手段は、種々のタイプのも
のが市販されており、高精度のものを容易に入手するこ
とが可能である。したがって、非接触式距離測定手段と
して、レーザ光線を用いた光学式距離測定手段を用いる
ことにより、効率よく高精度の研磨装置を得ることが可
能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能
になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００１８】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面図であ
る。この研磨装置は、特に図示しない駆動手段により回
転駆動されるとともに、エアシリンダ１により上昇また
は下降させることができるように構成された上側研磨板
２と、上側研磨板２の貫通穴３に挿通されたプローブ４
ａ（接触式距離測定手段である電気マイクロメータ４の
一部を構成している）と、特に図示しない駆動手段によ
り回転駆動される下側研磨板７と、例えばセラミックワ
ークなどの被研磨材を上側研磨板２と下側研磨板７の間
に保持する被研磨材保持治具９と、下側研磨板７の貫通
穴１０に挿入配設され、被研磨材保持治具９を回転させ
るドライブシャフト６と、ドライブシャフト６に形成さ
れた貫通穴１１を貫通するように配設され、上端面がプ
ローブ４ａの先端部が当接する基準テーブル５となって
いるロッド１２と、ドライブシャフト６を回転可能に保
持するベアリング６ａと、下側研磨板７を回転可能に保
持するベアリング７ａとを備えており、上側研磨板２と
下側研磨板７の間に被研磨材８を保持する被研磨材保持
治具９を位置させて、上側研磨板２と下側研磨板７を回
転させるとともに、ドライブシャフト６により被研磨材
保持治具９を回転させることにより、被研磨材８の上下
両面を同時に研磨することができるように構成されてい
る。なお、被研磨材保持治具９は、外周部に形成された
ギア状の凹凸部（図示せず）に、回転するドライブシャ
フト６のピン６ｂが係合することにより回転駆動される
ように構成されている。また、被研磨材８は、一つの被
研磨材保持治具９により複数個まとめて上側研磨板２及
び下側研磨板７の間に保持させることも可能であり、ま
た、一つの被研磨材保持治具９に一つずつ保持させるこ
とも可能である。
態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面図であ
る。この研磨装置は、特に図示しない駆動手段により回
転駆動されるとともに、エアシリンダ１により上昇また
は下降させることができるように構成された上側研磨板
２と、上側研磨板２の貫通穴３に挿通されたプローブ４
ａ（接触式距離測定手段である電気マイクロメータ４の
一部を構成している）と、特に図示しない駆動手段によ
り回転駆動される下側研磨板７と、例えばセラミックワ
ークなどの被研磨材を上側研磨板２と下側研磨板７の間
に保持する被研磨材保持治具９と、下側研磨板７の貫通
穴１０に挿入配設され、被研磨材保持治具９を回転させ
るドライブシャフト６と、ドライブシャフト６に形成さ
れた貫通穴１１を貫通するように配設され、上端面がプ
ローブ４ａの先端部が当接する基準テーブル５となって
いるロッド１２と、ドライブシャフト６を回転可能に保
持するベアリング６ａと、下側研磨板７を回転可能に保
持するベアリング７ａとを備えており、上側研磨板２と
下側研磨板７の間に被研磨材８を保持する被研磨材保持
治具９を位置させて、上側研磨板２と下側研磨板７を回
転させるとともに、ドライブシャフト６により被研磨材
保持治具９を回転させることにより、被研磨材８の上下
両面を同時に研磨することができるように構成されてい
る。なお、被研磨材保持治具９は、外周部に形成された
ギア状の凹凸部（図示せず）に、回転するドライブシャ
フト６のピン６ｂが係合することにより回転駆動される
ように構成されている。また、被研磨材８は、一つの被
研磨材保持治具９により複数個まとめて上側研磨板２及
び下側研磨板７の間に保持させることも可能であり、ま
た、一つの被研磨材保持治具９に一つずつ保持させるこ
とも可能である。
【００１９】また、この実施形態の研磨装置において、
接触式距離測定手段である電気マイクロメータ４の上部
は回転しない固定支持部材１３に固定され、また、ロッ
ド１２の下端側は回転しない固定支持部材１４に固定さ
れている。
接触式距離測定手段である電気マイクロメータ４の上部
は回転しない固定支持部材１３に固定され、また、ロッ
ド１２の下端側は回転しない固定支持部材１４に固定さ
れている。
【００２０】次に、この研磨装置を用いて被研磨材８を
研磨する場合の動作について説明する。まず、被研磨材
８を下側研磨板７上に載置し、上側研磨板２を下降させ
て被研磨材８の上面に当接させる。このとき、プローブ
４ａの先端部がロッド１２の上端面の基準テーブル５に
当接する。それから、上側研磨板２と下側研磨板７を所
定の速度で逆方向に回転させるとともに、被研磨材保持
治具９を回転させることにより、被研磨材８の上下両面
を研磨する。なお、上側研磨板２、下側研磨板７、及び
被研磨材保持治具９の回転速度及び回転方向には特別の
制約はなく、被研磨材８を研磨することが可能である限
りにおいて、その条件を任意に設定することが可能であ
る。
研磨する場合の動作について説明する。まず、被研磨材
８を下側研磨板７上に載置し、上側研磨板２を下降させ
て被研磨材８の上面に当接させる。このとき、プローブ
４ａの先端部がロッド１２の上端面の基準テーブル５に
当接する。それから、上側研磨板２と下側研磨板７を所
定の速度で逆方向に回転させるとともに、被研磨材保持
治具９を回転させることにより、被研磨材８の上下両面
を研磨する。なお、上側研磨板２、下側研磨板７、及び
被研磨材保持治具９の回転速度及び回転方向には特別の
制約はなく、被研磨材８を研磨することが可能である限
りにおいて、その条件を任意に設定することが可能であ
る。
【００２１】この研磨工程において、上側研磨板２の下
降した距離だけ、基準テーブル５に当接しているプロー
ブ４ａが縮むことになり、このプローブ４ａの縮み量か
ら、上側研磨板２と下側研磨板７の間の距離（すなわ
ち、被研磨材８の厚み）が検出される。そして、この検
出結果が設定値と比較され、所定の研磨量となった時点
で上側研磨板２と下側研磨板７の回転が停止され、研磨
工程が終了する。これにより、被研磨材８が確実に所定
の寸法になるまで研磨される。
降した距離だけ、基準テーブル５に当接しているプロー
ブ４ａが縮むことになり、このプローブ４ａの縮み量か
ら、上側研磨板２と下側研磨板７の間の距離（すなわ
ち、被研磨材８の厚み）が検出される。そして、この検
出結果が設定値と比較され、所定の研磨量となった時点
で上側研磨板２と下側研磨板７の回転が停止され、研磨
工程が終了する。これにより、被研磨材８が確実に所定
の寸法になるまで研磨される。
【００２２】この実施形態の研磨装置は、上述のよう
に、接触式距離測定手段４を、そのプローブ４ａが上側
研磨板２の貫通穴３を上面側から下面側に貫通するよう
な態様で、かつ、上部を回転しない固定支持部材１３に
固定して配設するとともに、上端面が基準テーブル５と
なっているロッド１２をドライブシャフト６に形成され
た貫通穴１１を貫通させ、かつ、その下端側を回転しな
い固定支持部材１４に固定して配設するようにしている
ので、基準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルの
接触位置のずれ、あるいは、ドライブシャフトを保持す
るベアリングの振れなどに起因して上側研磨板と下側研
磨板の間の距離測定に誤差が生じることを防止し、被研
磨材を精度よく定寸研磨することができる。
に、接触式距離測定手段４を、そのプローブ４ａが上側
研磨板２の貫通穴３を上面側から下面側に貫通するよう
な態様で、かつ、上部を回転しない固定支持部材１３に
固定して配設するとともに、上端面が基準テーブル５と
なっているロッド１２をドライブシャフト６に形成され
た貫通穴１１を貫通させ、かつ、その下端側を回転しな
い固定支持部材１４に固定して配設するようにしている
ので、基準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルの
接触位置のずれ、あるいは、ドライブシャフトを保持す
るベアリングの振れなどに起因して上側研磨板と下側研
磨板の間の距離測定に誤差が生じることを防止し、被研
磨材を精度よく定寸研磨することができる。
【００２３】［実施形態２］図２は本願発明の他の実施
形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面図であ
る。この研磨装置は、特に図示しない駆動手段により回
転駆動されるとともに、エアシリンダ１により上昇また
は下降させることができるように構成された上側研磨板
２と、上側研磨板２に形成された貫通穴３を貫通するよ
うに配設され、下端面が基準テーブル５となり、上端側
が回転しない固定支持部材１３に固定されたロッド１２
と、特に図示しない駆動手段により回転駆動される下側
研磨板７と、例えばセラミックワークなどの被研磨材を
上側研磨板２と下側研磨板７の間に保持する被研磨材保
持治具９と、下側研磨板７の貫通穴１０に挿入配設さ
れ、被研磨材保持治具９を回転させるドライブシャフト
６と、ドライブシャフト６の貫通穴１１に挿入されたロ
ッド４ｂの上部に取り付けられたプローブ４ａ（接触式
距離測定手段（電気マイクロメータ）４の一部を構成し
ている）と、ドライブシャフト６を回転可能に保持する
ベアリング６ａと、下側研磨板７を回転可能に保持する
ベアリング７ａとを備えており、上側研磨板２と下側研
磨板７の間に被研磨材（例えばセラミックワーク）８を
保持する被研磨材保持治具９を位置させて、上側研磨板
２と下側研磨板７を回転させるとともに被研磨材保持治
具９を回転させることにより、被研磨材８の上下両面を
同時に研磨することができるように構成されている。
形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面図であ
る。この研磨装置は、特に図示しない駆動手段により回
転駆動されるとともに、エアシリンダ１により上昇また
は下降させることができるように構成された上側研磨板
２と、上側研磨板２に形成された貫通穴３を貫通するよ
うに配設され、下端面が基準テーブル５となり、上端側
が回転しない固定支持部材１３に固定されたロッド１２
と、特に図示しない駆動手段により回転駆動される下側
研磨板７と、例えばセラミックワークなどの被研磨材を
上側研磨板２と下側研磨板７の間に保持する被研磨材保
持治具９と、下側研磨板７の貫通穴１０に挿入配設さ
れ、被研磨材保持治具９を回転させるドライブシャフト
６と、ドライブシャフト６の貫通穴１１に挿入されたロ
ッド４ｂの上部に取り付けられたプローブ４ａ（接触式
距離測定手段（電気マイクロメータ）４の一部を構成し
ている）と、ドライブシャフト６を回転可能に保持する
ベアリング６ａと、下側研磨板７を回転可能に保持する
ベアリング７ａとを備えており、上側研磨板２と下側研
磨板７の間に被研磨材（例えばセラミックワーク）８を
保持する被研磨材保持治具９を位置させて、上側研磨板
２と下側研磨板７を回転させるとともに被研磨材保持治
具９を回転させることにより、被研磨材８の上下両面を
同時に研磨することができるように構成されている。
【００２４】すなわち、この実施形態２の研磨装置と上
記実施形態１の研磨装置とは、プローブ４ａと基準テー
ブル５の配設位置を逆にした関係にあり、その他の部分
の構成には本質的な差異はない。また、この実施形態の
研磨装置も、プローブ４ａと基準テーブル５の位置関係
が逆であることを除いて、上記実施形態１と同様に動作
する。この研磨装置を用いて被研磨材を研磨するにあた
っては、まず、被研磨材８を下側研磨板７上に載置し、
上側研磨板２を下降させて被研磨材８の上面に当接させ
る。このとき、ドライブシャフト６の貫通穴１１に挿通
された接触式距離測定手段（電気マイクロメータ）４の
一部であるプローブ４ａの先端部が上側研磨板２の貫通
穴３に挿通されたロッド１２の下端面の基準テーブル５
に当接する。
記実施形態１の研磨装置とは、プローブ４ａと基準テー
ブル５の配設位置を逆にした関係にあり、その他の部分
の構成には本質的な差異はない。また、この実施形態の
研磨装置も、プローブ４ａと基準テーブル５の位置関係
が逆であることを除いて、上記実施形態１と同様に動作
する。この研磨装置を用いて被研磨材を研磨するにあた
っては、まず、被研磨材８を下側研磨板７上に載置し、
上側研磨板２を下降させて被研磨材８の上面に当接させ
る。このとき、ドライブシャフト６の貫通穴１１に挿通
された接触式距離測定手段（電気マイクロメータ）４の
一部であるプローブ４ａの先端部が上側研磨板２の貫通
穴３に挿通されたロッド１２の下端面の基準テーブル５
に当接する。
【００２５】それから、上記実施形態１の場合と同様に
して、上側研磨板２と下側研磨板７を、所定の速度で逆
方向に回転させ、被研磨材８の上下両面を研磨し、プロ
ーブ４ａの縮み量から、上側研磨板２と下側研磨板７の
間の距離を検出する。そして、この検出結果を設定値と
比較し、所定の研磨量となった時点で研磨（加工）を停
止することにより被研磨材８を所定の寸法になるまで研
磨する。
して、上側研磨板２と下側研磨板７を、所定の速度で逆
方向に回転させ、被研磨材８の上下両面を研磨し、プロ
ーブ４ａの縮み量から、上側研磨板２と下側研磨板７の
間の距離を検出する。そして、この検出結果を設定値と
比較し、所定の研磨量となった時点で研磨（加工）を停
止することにより被研磨材８を所定の寸法になるまで研
磨する。
【００２６】この実施形態２の研磨装置においても、基
準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルの接触位置
のずれ、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリ
ングの振れなどに起因して上側研磨板と下側研磨板の間
の距離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精
度よく定寸研磨することができる。
準テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルの接触位置
のずれ、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリ
ングの振れなどに起因して上側研磨板と下側研磨板の間
の距離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精
度よく定寸研磨することができる。
【００２７】［実施形態３］図３は本願発明のさらに他
の実施形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面
図である。この研磨装置においては、図３に示すよう
に、上側研磨板２の貫通穴３に、光学式距離測定手段
（レーザ光線を用いた非接触式距離測定手段）２４の投
光部２４ａと、受光部２４ｂが配設されているととも
に、ドライブシャフト６に形成された貫通穴１１を貫通
するように、上端面が上記投光部２４ａからのレーザ光
線を反射して、受光部２４ｂに受光させる反射面２５と
して機能するロッド１２が配設されており、その他の部
分については、実施形態１の研磨装置と同様の構成を有
している。なお、説明が重複することを避けるため、他
の部分の構成については実施形態１の相当部分の説明を
援用し、ここではその説明を省略する。また、図３にお
いて、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当
部分を示している。
の実施形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面
図である。この研磨装置においては、図３に示すよう
に、上側研磨板２の貫通穴３に、光学式距離測定手段
（レーザ光線を用いた非接触式距離測定手段）２４の投
光部２４ａと、受光部２４ｂが配設されているととも
に、ドライブシャフト６に形成された貫通穴１１を貫通
するように、上端面が上記投光部２４ａからのレーザ光
線を反射して、受光部２４ｂに受光させる反射面２５と
して機能するロッド１２が配設されており、その他の部
分については、実施形態１の研磨装置と同様の構成を有
している。なお、説明が重複することを避けるため、他
の部分の構成については実施形態１の相当部分の説明を
援用し、ここではその説明を省略する。また、図３にお
いて、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当
部分を示している。
【００２８】この実施形態３の研磨装置においては、上
側研磨板２と下側研磨板７の距離がレーザ光線を用いた
非接触式距離測定手段２４により測定されることを除い
て、その動作も上記実施形態１の研磨装置の場合と同様
である。また、実施形態３の研磨装置においても、反射
面の傾斜、反射面のレーザ光線があたる位置のずれ、あ
るいは、ドライブシャフトを保持するベアリングの振れ
などに起因して上側研磨板と下側研磨板の間の距離測定
に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よく定寸
研磨することができるという、上記実施形態１及び２の
場合と同様の効果が得られる。
側研磨板２と下側研磨板７の距離がレーザ光線を用いた
非接触式距離測定手段２４により測定されることを除い
て、その動作も上記実施形態１の研磨装置の場合と同様
である。また、実施形態３の研磨装置においても、反射
面の傾斜、反射面のレーザ光線があたる位置のずれ、あ
るいは、ドライブシャフトを保持するベアリングの振れ
などに起因して上側研磨板と下側研磨板の間の距離測定
に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よく定寸
研磨することができるという、上記実施形態１及び２の
場合と同様の効果が得られる。
【００２９】［実施形態４］図４は本願発明のさらに他
の実施形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面
図である。この研磨装置は、図４に示すように、下側研
磨板７の貫通穴１１に、光学式距離測定手段（レーザ光
線を用いた非接触式距離測定手段）２４の投光部２４ａ
と受光部２４ｂを保持するロッド４ｂが貫通するように
配設されており、投光部２４ａ及び受光部２４ｂが貫通
穴１１の上部開口よりも上側に露出しているとともに、
上側研磨板２の貫通穴３を貫通するように下端面が上記
投光部２４ａからのレーザ光線を反射して、受光部２４
ｂに受光させる反射面２５として機能するロッド１２が
配設されており、その他の部分については、実施形態１
の研磨装置と同様の構成を有している。なお、説明が重
複することを避けるため、他の部分の構成については実
施形態１の相当部分の説明を援用し、ここではその説明
を省略する。また、図４において、図１と同一符号を付
した部分は、同一または相当部分を示している。
の実施形態にかかる研磨装置の主要部の構成を示す断面
図である。この研磨装置は、図４に示すように、下側研
磨板７の貫通穴１１に、光学式距離測定手段（レーザ光
線を用いた非接触式距離測定手段）２４の投光部２４ａ
と受光部２４ｂを保持するロッド４ｂが貫通するように
配設されており、投光部２４ａ及び受光部２４ｂが貫通
穴１１の上部開口よりも上側に露出しているとともに、
上側研磨板２の貫通穴３を貫通するように下端面が上記
投光部２４ａからのレーザ光線を反射して、受光部２４
ｂに受光させる反射面２５として機能するロッド１２が
配設されており、その他の部分については、実施形態１
の研磨装置と同様の構成を有している。なお、説明が重
複することを避けるため、他の部分の構成については実
施形態１の相当部分の説明を援用し、ここではその説明
を省略する。また、図４において、図１と同一符号を付
した部分は、同一または相当部分を示している。
【００３０】この実施形態４の研磨装置においては、上
側研磨板２と下側研磨板７の距離がレーザ光線を用いた
非接触式距離測定手段２４により測定されることを除い
て、その動作も上記実施形態１の研磨装置の場合と同様
である。
側研磨板２と下側研磨板７の距離がレーザ光線を用いた
非接触式距離測定手段２４により測定されることを除い
て、その動作も上記実施形態１の研磨装置の場合と同様
である。
【００３１】また、実施形態４の研磨装置においても、
反射面の傾斜、反射面のレーザ光線があたる位置のず
れ、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリング
の振れなどに起因して上側研磨板と下側研磨板の間の距
離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よ
く定寸研磨することができるという、上記実施形態１，
２及び３の場合と同様の効果が得られる。
反射面の傾斜、反射面のレーザ光線があたる位置のず
れ、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリング
の振れなどに起因して上側研磨板と下側研磨板の間の距
離測定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よ
く定寸研磨することができるという、上記実施形態１，
２及び３の場合と同様の効果が得られる。
【００３２】なお、上記実施形態１及び２では、接触式
距離測定手段として電気マイクロメータを用い、実施形
態３及び４では、非接触式距離測定手段（光学式距離測
定手段）としてレーザ光線を用いた光学式距離測定手段
を用いた場合について説明したが、接触式距離測定手段
及び非接触式距離測定手段としては、さらに他の種類の
測定手段を用いることも可能である。
距離測定手段として電気マイクロメータを用い、実施形
態３及び４では、非接触式距離測定手段（光学式距離測
定手段）としてレーザ光線を用いた光学式距離測定手段
を用いた場合について説明したが、接触式距離測定手段
及び非接触式距離測定手段としては、さらに他の種類の
測定手段を用いることも可能である。
【００３３】また、上記実施形態ではセラミックワーク
を研磨する場合を例にとって説明したが、本願発明の研
磨装置は、金属や半導体材料などのセラミック以外の被
研磨材を研磨する場合にも適用することが可能である。
また、本願発明の研磨装置は、さらにその他の点におい
ても上記実施形態に限定されるものではなく、上側研磨
板及び下側研磨板の具体的な形状、被研磨材を上側研磨
板と下側研磨板の間に保持するための被研磨材保持治具
の具体的な構造などに関し、発明の要旨の範囲内におい
て種々の応用、変形を加えることが可能である。
を研磨する場合を例にとって説明したが、本願発明の研
磨装置は、金属や半導体材料などのセラミック以外の被
研磨材を研磨する場合にも適用することが可能である。
また、本願発明の研磨装置は、さらにその他の点におい
ても上記実施形態に限定されるものではなく、上側研磨
板及び下側研磨板の具体的な形状、被研磨材を上側研磨
板と下側研磨板の間に保持するための被研磨材保持治具
の具体的な構造などに関し、発明の要旨の範囲内におい
て種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００３４】
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
研磨装置は、接触式距離測定手段を、そのプローブが上
側研磨板の貫通穴を上面側から下面側に貫通するような
態様で、かつ、固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が基準テーブルとなっているロッドをドライ
ブシャフトに形成された貫通穴を貫通させ、かつ、その
下端側を固定支持部材に固定して配設するようにしてい
るので、回転するドライブシャフトの一部を基準テーブ
ルとする従来の研磨装置のように、基準テーブルが傾斜
したり、プローブと基準テーブルとの接触位置がずれた
り、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリング
が振れたりして、上側研磨板と下側研磨板の間の距離測
定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よく定
寸研磨することができる。
研磨装置は、接触式距離測定手段を、そのプローブが上
側研磨板の貫通穴を上面側から下面側に貫通するような
態様で、かつ、固定支持部材に固定して配設するととも
に、上端面が基準テーブルとなっているロッドをドライ
ブシャフトに形成された貫通穴を貫通させ、かつ、その
下端側を固定支持部材に固定して配設するようにしてい
るので、回転するドライブシャフトの一部を基準テーブ
ルとする従来の研磨装置のように、基準テーブルが傾斜
したり、プローブと基準テーブルとの接触位置がずれた
り、あるいは、ドライブシャフトを保持するベアリング
が振れたりして、上側研磨板と下側研磨板の間の距離測
定に誤差が生じることを防止し、被研磨材を精度よく定
寸研磨することができる。
【００３５】また、本願発明（請求項２）の研磨装置
は、接触式距離測定手段を、そのプローブが、ドライブ
シャフトの貫通穴を貫通してその上端面側に露出するよ
うな態様で、その一部を固定支持部材に固定して配設す
るとともに、下端面が基準テーブルとなっているロッド
を上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設しているの
で、上記請求項１記載の研磨装置の場合と同様に、基準
テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルとの接触位置
のずれ、ドライブシャフトを保持するベアリングの振れ
などに起因する上側研磨板と下側研磨板間の距離の測定
誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく定寸研磨す
ることができる。
は、接触式距離測定手段を、そのプローブが、ドライブ
シャフトの貫通穴を貫通してその上端面側に露出するよ
うな態様で、その一部を固定支持部材に固定して配設す
るとともに、下端面が基準テーブルとなっているロッド
を上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設しているの
で、上記請求項１記載の研磨装置の場合と同様に、基準
テーブルの傾斜、プローブと基準テーブルとの接触位置
のずれ、ドライブシャフトを保持するベアリングの振れ
などに起因する上側研磨板と下側研磨板間の距離の測定
誤差の発生を防止して、被研磨材を精度よく定寸研磨す
ることができる。
【００３６】また、本願発明（請求項３）の研磨装置の
ように、接触式距離測定手段として、電気マイクロメー
タを用いた場合、容易かつ確実に上側研磨板と下側研磨
板の間の距離を検出することが可能になり、被研磨材の
研磨量を正確に測定して、精度よく定寸研磨を行うこと
ができる。
ように、接触式距離測定手段として、電気マイクロメー
タを用いた場合、容易かつ確実に上側研磨板と下側研磨
板の間の距離を検出することが可能になり、被研磨材の
研磨量を正確に測定して、精度よく定寸研磨を行うこと
ができる。
【００３７】また、本願発明（請求項４）の研磨装置
は、上述のように、非接触式（光学式）距離測定手段
を、投光部から投光された光線が上側研磨板に遮られる
ことなく反射面に達するとともに、反射面で反射した光
線が上側研磨板に遮られることなく受光部に達するよう
に、少なくとも一部が上側研磨板の貫通穴に位置するよ
うな態様で、その一部を固定支持部材に固定して配設す
るとともに、上端面が投光部からの光線を反射する反射
面となっているロッドをドライブシャフトに形成された
貫通穴を貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材に
固定して配設するようにしているので、反射面の傾き、
投光部及び受光部の位置と基準テーブルの位置ずれ、ド
ライブシャフトを保持するベアリングの振れなどに起因
する上側研磨板と下側研磨板間の距離の測定誤差の発生
を防止して、被研磨材を精度よく定寸研磨することがで
きる。
は、上述のように、非接触式（光学式）距離測定手段
を、投光部から投光された光線が上側研磨板に遮られる
ことなく反射面に達するとともに、反射面で反射した光
線が上側研磨板に遮られることなく受光部に達するよう
に、少なくとも一部が上側研磨板の貫通穴に位置するよ
うな態様で、その一部を固定支持部材に固定して配設す
るとともに、上端面が投光部からの光線を反射する反射
面となっているロッドをドライブシャフトに形成された
貫通穴を貫通させ、かつ、その下端側を固定支持部材に
固定して配設するようにしているので、反射面の傾き、
投光部及び受光部の位置と基準テーブルの位置ずれ、ド
ライブシャフトを保持するベアリングの振れなどに起因
する上側研磨板と下側研磨板間の距離の測定誤差の発生
を防止して、被研磨材を精度よく定寸研磨することがで
きる。
【００３８】特に、本願発明（請求項４）の研磨装置
は、非接触式（光学式）距離測定手段を用いているの
で、接触式の距離測定装置を用いる場合にはアクセスが
困難であるような場合にも、上側研磨板と下側研磨板の
間の距離を効率よく測定することが可能になり、装置構
成の自由度を向上させることができる。
は、非接触式（光学式）距離測定手段を用いているの
で、接触式の距離測定装置を用いる場合にはアクセスが
困難であるような場合にも、上側研磨板と下側研磨板の
間の距離を効率よく測定することが可能になり、装置構
成の自由度を向上させることができる。
【００３９】また、本願発明（請求項５）の研磨装置
は、上述のように、非接触式（光学式）距離測定手段
を、投光部から投光された光線が反射面に達するととも
に、反射面で反射した光線が受光部に達するように、少
なくとも投光部及び受光部がドライブシャフトの貫通穴
の上側開口から露出するような態様で、その一部を固定
支持部材に固定して配設するとともに、下端面が非接触
式距離測定手段の投光部からの光線を反射する反射面と
なっているロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通させ、か
つ、その上端側を固定支持部材に固定して配設するよう
にしているので、反射面の傾き、投光部及び受光部の位
置と基準テーブルの位置ずれ、ドライブシャフトを保持
するベアリングの振れなどに起因する上側研磨板と下側
研磨板間の距離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材
を精度よく定寸研磨することができる。
は、上述のように、非接触式（光学式）距離測定手段
を、投光部から投光された光線が反射面に達するととも
に、反射面で反射した光線が受光部に達するように、少
なくとも投光部及び受光部がドライブシャフトの貫通穴
の上側開口から露出するような態様で、その一部を固定
支持部材に固定して配設するとともに、下端面が非接触
式距離測定手段の投光部からの光線を反射する反射面と
なっているロッドを上側研磨板の貫通穴を貫通させ、か
つ、その上端側を固定支持部材に固定して配設するよう
にしているので、反射面の傾き、投光部及び受光部の位
置と基準テーブルの位置ずれ、ドライブシャフトを保持
するベアリングの振れなどに起因する上側研磨板と下側
研磨板間の距離の測定誤差の発生を防止して、被研磨材
を精度よく定寸研磨することができる。
【００４０】なお、本願の請求項４及び請求項５の研磨
装置においては、非接触式（光学式）距離測定手段を用
いているため、接触式の距離測定装置を用いた場合には
プローブをアクセスさせることが困難であるような場合
にも、上側研磨板と下側研磨板の間の距離を精度よく測
定することが可能になり、装置構成の自由度を向上させ
ることができる。
装置においては、非接触式（光学式）距離測定手段を用
いているため、接触式の距離測定装置を用いた場合には
プローブをアクセスさせることが困難であるような場合
にも、上側研磨板と下側研磨板の間の距離を精度よく測
定することが可能になり、装置構成の自由度を向上させ
ることができる。
【００４１】また、本願発明（請求項６）の研磨装置の
ように、非接触式距離測定手段として、レーザ光線を用
いた光学式距離測定手段を用いることにより、効率よく
高精度の研磨装置を得ることが可能になり、本願発明を
さらに実効あらしめることが可能になる。
ように、非接触式距離測定手段として、レーザ光線を用
いた光学式距離測定手段を用いることにより、効率よく
高精度の研磨装置を得ることが可能になり、本願発明を
さらに実効あらしめることが可能になる。
【図１】本願発明の一実施形態にかかる研磨装置の要部
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】本願発明の他の実施形態にかかる研磨装置の要
部を示す断面図である。
部を示す断面図である。
【図３】本願発明のさらに他の実施形態にかかる研磨装
置の要部を示す断面図である。
置の要部を示す断面図である。
【図４】本願発明のさらに他の実施形態にかかる研磨装
置の要部を示す断面図である。
置の要部を示す断面図である。
【図５】従来の研磨装置の要部を示す断面図である。
１ エアシリンダ ２ 上側研磨板 ３ 上側研磨板の貫通穴 ４ 接触式距離測定手段（電気マイクロメー
タ） ４ａ プローブ ４ｂ ロッド ５ 基準テーブル ６ ドライブシャフト ７ 下側研磨板 ６ａ，７ａ ベアリング ６ｂ ピン ８ 被研磨材 ９ 被研磨材保持治具 １０ 下側研磨板の貫通穴 １１ ドライブシャフトの貫通穴 １２ ロッド １３ 固定支持部材 １４ 固定支持部材 ２４ 非接触式距離測定手段（光学式距離測定
手段） ２４ａ 投光部 ２４ｂ 受光部 ２５ 反射面
タ） ４ａ プローブ ４ｂ ロッド ５ 基準テーブル ６ ドライブシャフト ７ 下側研磨板 ６ａ，７ａ ベアリング ６ｂ ピン ８ 被研磨材 ９ 被研磨材保持治具 １０ 下側研磨板の貫通穴 １１ ドライブシャフトの貫通穴 １２ ロッド １３ 固定支持部材 １４ 固定支持部材 ２４ 非接触式距離測定手段（光学式距離測定
手段） ２４ａ 投光部 ２４ｂ 受光部 ２５ 反射面
Claims (6)
- 【請求項１】上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板
の間に被研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板
を、前記被研磨材の上下両面に接触させた状態で回転さ
せることにより、被研磨材の上下両面を同時に研磨する
研磨装置において、 回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下
側研磨板と、 前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記被研磨
材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可能に保
持する被研磨材保持治具と、 前記下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸
心に沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する
被研磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトの貫通穴を貫通するように配設さ
れ、上端面が基準テーブルとなり、下端側が固定支持部
材に固定されたロッドと、 プローブの伸縮量により測定対象距離の検出を行うよう
に構成されており、固定支持部材に固定され、かつ、前
記プローブが前記上側研磨板の貫通穴を上面側から下面
側に貫通して前記基準テーブルに当接するように配設さ
れた接触式距離測定手段とを具備し、 前記プローブの伸縮量から前記上側研磨板と前記下側研
磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の寸法を
求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにしたこと
を特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板
の間に被研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板
を、前記被研磨材の上下両面に接触させた状態で回転さ
せることにより、被研磨材の上下両面を同時に研磨する
研磨装置において、 回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下
側研磨板と、 前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記被研磨
材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可能に保
持する被研磨材保持治具と、 前記下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸
心に沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する
被研磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、 前記上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下
端面が基準テーブルとなり、上端側が固定支持部材に固
定されたロッドと、 プローブの伸縮量により測定対象距離の検出を行うよう
に構成されており、固定支持部材に固定され、かつ、前
記プローブが前記ドライブシャフトの貫通穴を貫通し、
その上端面側に露出して前記基準テーブルに当接するよ
うに配設された接触式距離測定手段とを具備し、 前記プローブの伸縮量から前記上側研磨板と前記下側研
磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の寸法を
求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにしたこと
を特徴とする研磨装置。 - 【請求項３】前記接触式距離測定手段が電気マイクロメ
ータであることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨
装置。 - 【請求項４】上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板
の間に被研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板
を、前記被研磨材の上下両面に接触させた状態で回転さ
せることにより、被研磨材の上下両面を同時に研磨する
研磨装置において、 回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下
側研磨板と、 前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記被研磨
材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可能に保
持する被研磨材保持治具と、 前記下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸
心に沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する
被研磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、 前記ドライブシャフトの貫通穴を貫通するように配設さ
れ、上端面が光線を反射する反射面となり、下端側が固
定支持部材に固定されたロッドと、 光線を発生する投光部と反射した光線を受光する受光部
とを備えており、固定支持部材に固定され、かつ、前記
投光部から投光された光線が前記上側研磨板に遮られる
ことなく前記反射面に達するとともに、前記反射面で反
射した光線が前記上側研磨板に遮られることなく前記受
光部に達するように、少なくとも一部が前記上側研磨板
の貫通穴内に位置するような態様で配設された非接触式
（光学式）距離測定手段とを具備し、 前記非接触式距離測定手段により前記上側研磨板と前記
下側研磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の
寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにし
たことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項５】上側研磨板及び下側研磨板の一対の研磨板
の間に被研磨材を位置させ、上側研磨板と下側研磨板
を、前記被研磨材の上下両面に接触させた状態で回転さ
せることにより、被研磨材の上下両面を同時に研磨する
研磨装置において、 回転軸心に沿って貫通穴が形成された上側研磨板及び下
側研磨板と、 前記上側研磨板と下側研磨板の間に位置し、前記被研磨
材を前記上側研磨板及び下側研磨板により研磨可能に保
持する被研磨材保持治具と、 前記下側研磨板の貫通穴に挿入配設され、かつ、回転軸
心に沿って貫通穴が形成され、前記被研磨材を保持する
被研磨材保持治具を回転させるドライブシャフトと、 前記上側研磨板の貫通穴を貫通するように配設され、下
端面が光線を反射する反射面となり、上端側が固定支持
部材に固定されたロッドと、 光線を発生する投光部と前記反射面で反射した光線を受
光する受光部とを備えており、固定支持部材に固定さ
れ、かつ、前記投光部から投光された光線が前記反射面
に達するとともに、前記反射面で反射した光線が前記受
光部に達するように、少なくとも投光部及び受光部が前
記ドライブシャフトの貫通穴の上側開口から露出するよ
うな態様で配設された非接触式（光学式）距離測定手段
とを具備し、 前記非接触式距離測定手段により前記上側研磨板と前記
下側研磨板の間の距離を検出することにより被研磨材の
寸法を求め、被研磨材を所定量だけ研磨できるようにし
たことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項６】前記非接触式距離測定手段がレーザ光線を
用いた光学式距離測定手段であることを特徴とする請求
項４又は５記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25614297A JPH1177521A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25614297A JPH1177521A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177521A true JPH1177521A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17288494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25614297A Pending JPH1177521A (ja) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177521A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6887127B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-05-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Polishing apparatus |
| CN114619352A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-14 | 安徽孺子牛轴承有限公司 | 一种内孔抛光加工设备及其生产工艺 |
| KR102901508B1 (ko) * | 2025-01-14 | 2025-12-17 | 주식회사 윈텍오토메이션 | 연삭체의 정밀 연삭 가공을 위한 측정 제어장치 및 그 제어방법 |
-
1997
- 1997-09-03 JP JP25614297A patent/JPH1177521A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6887127B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-05-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Polishing apparatus |
| US7001244B2 (en) | 2001-04-02 | 2006-02-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Polishing apparatus |
| CN114619352A (zh) * | 2022-03-28 | 2022-06-14 | 安徽孺子牛轴承有限公司 | 一种内孔抛光加工设备及其生产工艺 |
| CN114619352B (zh) * | 2022-03-28 | 2023-02-14 | 安徽孺子牛轴承有限公司 | 一种内孔抛光加工设备及其生产工艺 |
| KR102901508B1 (ko) * | 2025-01-14 | 2025-12-17 | 주식회사 윈텍오토메이션 | 연삭체의 정밀 연삭 가공을 위한 측정 제어장치 및 그 제어방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051220 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060509 |