JPH1179841A - 炭化ケイ素焼結体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度であって、且つ、導電性を有し、高熱
伝導率を兼ね備えた高品位の、半導体工業、電子情報機
器産業などの多くの分野において有用な炭化ケイ素焼結
体を提供する。 【解決手段】 炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤との
混合物を焼結して得られ、且つ、窒素を導入してなる焼
結体であって、密度が２．９ｇ／ｃｍ³ 以上であり、且
つ、窒素を１５０ｐｐｍ以上含有することを特徴とす
る。この炭化ケイ素焼結体の体積抵抗率は１Ω・ｃｍ以
下であり、炭化ケイ素成分中のβ型炭化ケイ素が７０％
以上であることが好ましい。焼結体に窒素を導入する方
法としては、原料炭化ケイ素粉末の製造時にヘキサメチ
レンテトラミン、アンモニア、トリエチルアミン等の各
種アミン類に代表される窒素源を添加する方法と、焼結
体を製造する際に、非金属系焼結助剤とともに窒素源を
添加する方法が挙げられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、炭化ケイ素焼結体
に関し、詳しくは、半導体製造装置用部品、電子情報機
器用部品、真空装置等の構造用部品として有用な高密度
で、且つ、導電性を有する炭化ケイ素焼結体に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】炭化ケイ素は、共有結合性の強い物質で
あり、従来より高温強度性、耐熱性、耐摩耗性、耐薬品
性等の優れた特性を生かして多くの用途で用いられてき
た。最近では、電子情報機器材料、半導体製造用材料の
分野において、ウェハの処理温度の上昇、ウェハ径の増
大、処理単位の増大によって、従来の石英部品における
如き熱変形やフッ酸などの薬液洗浄による変質のない、
さらに耐熱性の良好で、且つ、密度と純度の高い炭化ケ
イ素焼結体が要望されている。

【０００３】上述のとおり、炭化ケイ素は、強い共有結
合性のために、難焼結性である。緻密質炭化ケイ素焼結
体を製造する方法としては、ホットプレス法、反応焼結
法、常圧焼結法が知られている。

【０００４】ホットプレス法は、炭化ケイ素を高圧下で
焼結する方法であり、金属系焼結助剤として、アルミニ
ウムを添加したものが初期（Ｊ．Ａｍ．Ｃｅｒａｍ．Ｓ
ｏｃ．第３９巻、１１号３８６−３８９頁、１９５６
年）に報告されて以来、様々な金属系助剤を用いて研究
がなされており、中でもＢｅＯを添加したホットプレス
焼結による高熱伝導性且つ電気絶縁性の焼結体が１９８
０年に開発されている（「炭化ケイ素セラミックス」第
３２７−３４３頁、内田老鶴圃、１９８８年）。

【０００５】反応焼結法は、（１）原料混合工程（炭化
ケイ素粉末と炭素粉末とを混合する工程）、（２）成形
加工工程、（３）反応焼結工程、さらに、所望によって
（４）後加工工程、という各工程からなる。この方法
は、（３）反応焼結工程において、既に成形された炭素
粒子をケイ化するものであり、成形体の寸法変化が少な
く、焼結助剤を必要としない利点があり、高純度の焼結
体が得やすいため、半導体用部品の製造などに利用され
ている。しかしながら、この方法で得られた焼結体は未
反応金属ケイ素を含有するため、耐熱性、耐薬品性や高
強度を要求される分野で使用される部品、治具に用いる
には制限があった。

【０００６】常圧焼結法は、炭化ケイ素を焼結するにあ
たり、金属系焼結助剤を使用することを特徴とする方法
あり、１９７４年にＳ／Ｐｒｏｃｈａｚｋａの”Ｃｅｒ
ａｍｉｃｓ ｆｏｒ Ｈｉｇｈ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃ
ｅ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｎｓ”第２３９頁により提案さ
れた。この方法によって高温強度を有する高密度構造部
材が得られるようになり、炭化ケイ素の研究開発が進展
した。ここで焼結助剤として、ホウ素、アルミニウム、
ベリリウム等の金属やその化合物である金属系焼結助剤
と、カーボンブラック、グラファイト等の炭素系焼結助
剤との二種類が組み合わせて用いられている。ここで重
要な金属系焼結助剤の作用としては、最適な焼結助剤と
して用いられるホウ素について述べれば、粒界への偏析
による粒界エネルギーの減少、炭素−ホウ素系物質の粒
界拡散の促進、表面拡散抑制等が挙げられ、炭素系焼結
助剤の作用については、炭化ケイ素粒子の表面酸化層の
除去効果が推定されるが、いずれも詳細は未だ明らかで
はない。

【０００７】いずれにせよ、ここで用いられる金属系焼
結助剤は、高温での使用時や薬液洗浄処理中に金属不純
物が溶出するため、得られた焼結体は半導体製造装置等
の分野への応用には適さなかった。

【０００８】これらの課題を解決する手段として、特開
昭６０−１０８３７０号において、シラン化合物を熱分
解して得られた特殊な超微粉炭化ケイ素を用いて、助剤
を添加することなく、ホットプレス法により緻密焼結体
を得る方法が提案された。しかしながら、得られる焼結
体の各種特性は明確にされていない。さらに、これに関
連して、「炭化ケイ素セラミックス」（内田老鶴圃、１
９８８年刊行）第８９頁には、この製法で製造された粉
体を用いてもホウ素（焼結助剤として）の添加が不可欠
である旨の記載がある。

【０００９】このホットプレス法の改良として、特開平
２−１９９０６４号には、ＣＶＤプラズマ法により合成
した超微粉炭化ケイ素粉末を用いて、助剤を全く用いず
にホットプレス法により緻密焼結体を得る方法が提案さ
れている。しかしながら、この文献に記載される方法に
おいても、鉄等の不純物が数ｐｐｍ以上含まれており、
満足できるレベルとは言い難いこと、この系で焼結助剤
としての機能を果たしていると考えられる平均粒径３０
ｎｍの超微粉炭化ケイ素微粉末が高コストであること、
このような超微粉は表面酸化に対して取扱上の多大な注
意を必要とすること、などを考慮すれば、いまだ上記課
題が解決しているとはいい難い。

【００１０】従って、公知の製造方法によっては、半導
体製造装置用部品、電子情報機器用部品等への使用に適
する高密度で不純物含有量の少ない炭化ケイ素焼結体を
得ることは困難であり、そのような焼結体も市販されて
いなかった。

【００１１】また、炭化ケイ素は周知のとおり化合物半
導体であるが、そのバンドギャップが非常に大きいため
に絶縁性を示す。このため、炭化ケイ素に安定した導電
特性を付与しようとする場合には、伝導電子を炭化ケイ
素焼結体に注入する必要があり、一般的には、Ｂ、Ａ
ｌ、Ｇａ等のIII 族元素（ｐドーパント）及びＮ、Ｐ、
Ａｓ等のIV族元素（ｎドーパント）等の不純物をドープ
させて導電性を付与することが考えられる。しかし、金
属元素は半導体プロセスに悪影響を与えることが知られ
ており、上述の元素の中で非金属であるのは窒素のみで
あるが、従来の炭化ケイ素焼結体では、前述の如くその
製造にホウ素等の金属系焼結助剤が不可欠であったた
め、半導体製造装置用部品、電子情報機器用部品等に使
用すると金属による汚染が発生するなどの問題を有して
いた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特殊
な原料を必要とすることなく、高密度であって、且つ、
導電性を有し、高熱伝導率を兼ね備えた高品位の、半導
体工業、電子情報機器産業などの多くの分野において有
用な炭化ケイ素焼結体を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、特定の窒素含有量と密度を有する炭化ケイ素
焼結体が、この目的にかなうことを見いだし、本発明を
完成した。即ち、本発明の炭化ケイ素焼結体は、炭化ケ
イ素粉末と非金属系焼結助剤との混合物を焼結して得ら
れ、且つ、窒素を導入してなる焼結体であって、密度が
２．９ｇ／ｃｍ ³ 以上であり、且つ、窒素を１５０ｐｐ
ｍ以上含有することを特徴とする。

【００１４】この炭化ケイ素焼結体の体積抵抗率は１Ω
・ｍ以下であり、また、炭化ケイ素焼結体中の炭化ケイ
素成分において、β型炭化ケイ素が７０％以上を占める
ことが好ましい。

【００１５】また、前記炭化ケイ素焼結体に含まれる不
純物元素の含有量は１０ｐｐｍ以下であることが好まし
い。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明をさらに詳細に説
明する。

【００１７】本発明の炭化ケイ素焼結体に原料として用
いられる炭化ケイ素粉末は、α型、β型、非晶質或いは
これらの混合物等が挙げられるが、特に、β型炭化ケイ
素粉末が好適に使用される。本発明の炭化ケイ素焼結体
においては、炭化ケイ素成分全体のうち、β型炭化ケイ
素の占める割合が７０％以上であることが好ましく、さ
らに好ましくは８０％以上であり、１００％β型炭化ケ
イ素であってもよい。従って、原料となる炭化ケイ素粉
末のうち、β型炭化ケイ素粉末の配合量は６０％以上、
さらには、６５％以上であることが好ましい。但し、焼
結条件によっては、炭化ケイ素の構造が安定化の方向、
即ちα型へシフトするため、必ずしも原料粉体中のβ型
炭化ケイ素の比率が上記好ましい範囲であることを要し
ない。

【００１８】このβ型炭化ケイ素粉末のグレードには特
に制限はなく、例えば、一般に市販されているβ型炭化
ケイ素粉末を用いることができる。この炭化ケイ素粉末
の粒径は、高密度化の観点からは小さいことが好まし
く、０．０１〜１０μｍ程度、さらには、０．０５〜１
μｍ程度であることが好ましい。粒径が０．０１μｍ未
満であると、計量、混合などの処理工程における取扱が
困難となり、１０μｍを超えると比表面積が小さく、即
ち、隣接する粉体との接触面積が小さくなり、高密度化
が困難となるため、好ましくない。

【００１９】好適な炭化ケイ素粉体の態様としては、粒
径が０．０５〜１μｍ、比表面積が５ｍ² ／ｇ以上、遊
離炭素１％以下、酸素含有量１％以下のものが好適に用
いられる。また、用いられる炭化ケイ素粉末の粒度分布
は特に制限されず、炭化ケイ素焼結体の製造時におい
て、粉体の充填密度を向上させること及び炭化ケイ素の
反応性の観点から、２つ以上の極大値を有するものも使
用しうる。

【００２０】なお、高純度の炭化ケイ素焼結体を得るた
めには、原料の炭化ケイ素粉末として、高純度の炭化ケ
イ素粉体を用いればよい。

【００２１】高純度の炭化ケイ素粉末は、例えば、少な
くとも１種以上の液状のケイ素化合物を含むケイ素源
と、加熱により炭素を生成する少なくとも１種以上の液
状の有機化合物を含む炭素源と、重合又は架橋触媒と、
を均質に混合して得られた固形物を非酸化性雰囲気下で
焼成する焼成工程とを含む製造方法により得ることがで
きる。

【００２２】高純度の炭化ケイ素粉末の製造に用いられ
るケイ素化合物（以下、適宜、ケイ素源と称する）とし
ては、液状のものと固体のものとを併用することができ
るが、少なくとも一種は液状のものから選ばれなくては
ならない。液状のものとしては、アルコキシシラン（モ
ノ−、ジ−、トリ−、テトラ−）及びテトラアルコキシ
シランの重合体が用いられる。アルコキシシランの中で
はテトラアルコキシシランが好適に用いられ、具体的に
は、メトキシシラン、エトキシシラン、プロポキシシラ
ン、ブトキシシラン等が挙げられるが、ハンドリングの
点からはエトキシシランが好ましい。また、テトラアル
コキシシランの重合体としては、重合度が２〜１５程度
の低分子量重合体（オリゴマー）及びさらに重合度が高
いケイ酸ポリマーで液状のものが挙げられる。これらと
併用可能な固体状のものとしては、酸化ケイ素が挙げら
れる。本発明において酸化ケイ素とは、ＳｉＯの他、シ
リカゾル（コロイド状超微細シリカ含有液、内部にＯＨ
基やアルコキシル基を含む）、二酸化ケイ素（シリカゲ
ル、微細シリカ、石英粉体）等を含む。

【００２３】これらケイ素源のなかでも、均質性やハン
ドリング性が良好な観点から、テトラエトキシシランの
オリゴマー及びテトラエトキシシランのオリゴマーと微
粉体シリカとの混合物等が好適である。また、これらの
ケイ素源は高純度の物質が用いられ、初期の不純物含有
量が２０ｐｐｍ以下であることが好ましく、５ｐｐｍ以
下であることがさらに好ましい。

【００２４】また、高純度炭化ケイ素粉末の製造に使用
される加熱により炭素を生成する有機化合物としては、
液状のものの他、液状のものと固体のものとを併用する
ことができ、残炭率が高く、且つ触媒若しくは加熱によ
り重合又は架橋する有機化合物、具体的には例えば、フ
ェノール樹脂、フラン樹脂、ポリイミド、ポリウレタ
ン、ポリビニルアルコール等の樹脂のモノマーやプレポ
リマーが好ましく、その他、セルロース、蔗糖、ピッ
チ、タール等の液状物も用いられ、特にレゾール型フェ
ノール樹脂が好ましい。また、その純度は目的により適
宜制御選択が可能であるが、特に高純度の炭化ケイ素粉
末が必要な場合には、各金属を５ｐｐｍ以上含有してい
ない有機化合物を用いることが望ましい。

【００２５】本発明に使用される原料粉体である高純度
炭化ケイ素粉体を製造するにあたっての、炭素とケイ素
の比（以下、Ｃ／Ｓｉ比と略記）は、混合物を１０００
℃にて炭化して得られる炭化物中間体を、元素分析する
ことにより定義される。化学量論的には、Ｃ／Ｓｉ比が
３．０の時に生成炭化ケイ素中の遊離炭素が０％となる
はずであるが、実際には同時に生成するＳｉＯガスの揮
散により低Ｃ／Ｓｉ比において遊離炭素が発生する。こ
の生成炭化ケイ素粉体中の遊離炭素量が焼結体等の製造
用途に適当でない量にならないように予め配合を決定す
ることが重要である。通常、１気圧近傍で１６００℃以
上での焼成では、Ｃ／Ｓｉ比を２．０〜２．５にすると
遊離炭素を抑制することができ、この範囲を好適に用い
ることができる。Ｃ／Ｓｉ比を２．５以上にすると遊離
炭素が顕著に増加するが、この遊離炭素は粒成長を抑制
する効果を持つため、粒子形成の目的に応じて適宜選択
しても良い。但し、雰囲気の圧力を低圧又は高圧で焼成
する場合は、純粋な炭化ケイ素を得るためのＣ／Ｓｉ比
は変動するので、この場合は必ずしも前記Ｃ／Ｓｉ比の
範囲に限定するものではない。

【００２６】なお、遊離炭素の焼結の際の作用は、本発
明で用いられる炭化ケイ素粉体の表面に被覆された非金
属系焼結助剤に由来する炭素によるものに比較して非常
に弱いため、基本的には無視することができる。

【００２７】また、本発明においてケイ素源と加熱によ
り炭素を生成する有機化合物とを均質に混合した固形物
を得るために、ケイ素源と該有機化合物の混合物を硬化
させて固形物とすることも必要に応じて行われる。硬化
の方法としては、加熱により架橋する方法、硬化触媒に
より硬化する方法、電子線や放射線による方法が挙げら
れる。硬化触媒としては、炭素源に応じて適宜選択でき
るが、フェノール樹脂やフラン樹脂の場合には、トルエ
ンスルホン酸、トルエンカルボン酸、酢酸、しゅう酸、
塩酸、硫酸、マレイン酸等の酸類、ヘキサミン等のアミ
ン類等を用いる。

【００２８】この原料混合固形物は必要に応じ加熱炭化
される。これは窒素又はアルゴン等の非酸化性雰囲気中
８００℃〜１０００℃にて３０分〜１２０分間該固形物
を加熱することにより行われる。

【００２９】さらに、この炭化物をアルゴン等の非酸化
性雰囲気中１３５０℃以上２０００℃以下で加熱するこ
とにより炭化ケイ素が生成する。焼成温度と時間は希望
する粒径等の特性に応じて適宜選択できるが、より効率
的な生成のためには１６００℃〜１９００℃での焼成が
望ましい。

【００３０】また、より高純度の粉体を必要とする時に
は、前述の焼成時に２０００〜２１００℃にて５〜２０
分間加熱処理を施すことにより不純物をさらに除去でき
る。

【００３１】以上より、特に高純度の炭化ケイ素粉末を
得る方法としては、本願出願人が先に特願平７−２４１
８５６号として出願した単結晶の製造方法に記載された
原料粉体の製造方法、即ち、高純度のテトラアルコキシ
シラン、テトラアルコキシシラン重合体から選択される
１種以上をケイ素源とし、加熱により炭素を生成する高
純度有機化合物を炭素源とし、これらを均質に混合して
得られた混合物を非酸化性雰囲気下において加熱焼成し
て炭化ケイ素粉体を得る炭化ケイ素生成工程と、得られ
た炭化ケイ素粉体を、１７００℃以上２０００℃未満の
温度に保持し、該温度の保持中に、２０００℃〜２１０
０℃の温度において５〜２０分間にわたり加熱する処理
を少なくとも１回行う後処理工程とを含み、前記２工程
を行うことにより、各不純物元素の含有量が０．５ｐｐ
ｍ以下である炭化ケイ素粉体を得ること、を特徴とする
高純度炭化ケイ素粉末の製造方法等を利用することがで
きる。

【００３２】本発明の炭化ケイ素焼結体に窒素を導入す
る方法としては、前記の原料炭化ケイ素粉末の製造時に
おいて、ケイ素源を添加する際に同時に窒素源を添加す
る方法、又は、これらの原料炭化ケイ素粉末から炭化ケ
イ素焼結体を製造する際に非金属系焼結助剤とともに窒
素源を添加する方法が挙げられる。

【００３３】ここで窒素源として用いられる物質として
は、加熱により窒素を発生する物質が好ましく、例え
ば、ポリイミド樹脂及びその前駆体、ヘキサメチレンテ
トラミン、アンモニア、トリエチルアミン等の各種アミ
ン類が挙げられる。

【００３４】この窒素源の添加量としては、炭化ケイ素
粉末の製造時に、ケイ素源と同時に添加する場合には、
ケイ素源１ｇに対して８０μｇ〜１０００μｇである。
また、非金属系焼結助剤と同時に添加する場合には、非
金属系焼結助剤１ｇに対して２００μｇ〜２０００μ
ｇ、好ましくは１５００μｇ〜２０００μｇである。

【００３５】また、本発明の炭化ケイ素焼結体を製造す
るにあたって、前記炭化ケイ素粉末と混合されて用いら
れる非金属系焼結助剤としては、加熱により炭素を生成
する、所謂炭素源と称される物質が用いられ、加熱によ
り炭素を生成する有機化合物又はこれらで表面を被覆さ
れた炭化ケイ素粉末（粒径：０．０１〜１μｍ程度）が
挙げられ、効果の観点からは前者が好ましい。

【００３６】加熱により炭素を生成する有機化合物とし
ては、具体的には、残炭率の高いコールタールピッチ、
ピッチタール、フェノール樹脂、フラン樹脂、エポキシ
樹脂、フェノキシ樹脂やグルコース等の単糖類、蔗糖等
の少糖類、セルロース、デンプン等の多糖類などの等の
各種糖類が挙げられる。これらは炭化ケイ素粉末と均質
に混合するという目的から、常温で液状のもの、溶媒に
溶解するもの、熱可塑性或いは熱融解性のように加熱す
ることにより軟化するもの或いは液状となるものが好適
に用いられるが、なかでも、得られる成形体の強度が高
いフェノール樹脂、特に、レゾール型フェノール樹脂が
好適である。

【００３７】この有機化合物は加熱されると粒子表面
（近傍）においてカーボンブラックやグラファイトの如
き無機炭素系化合物を生成し、焼結中に炭化ケイ素の表
面酸化膜を効率的に除去する焼結助剤として有効に作用
すると考えられる。なお、カーボンブラックやグラファ
イト粉末を焼結助剤として添加しても本発明の効果を得
ることはできない。

【００３８】本発明において、炭化ケイ素粉末と非金属
系焼結助剤との混合物を得る際に、非金属系焼結助剤を
溶媒に溶解又は分散させて混合することが好ましい。溶
媒は、非金属系焼結助剤として使用する化合物に対して
好適なもの、具体的には、好適な加熱により炭素を生成
する有機化合物であるフェノール樹脂に対しては、エチ
ルアルコール等の低級アルコール類やエチルエーテル、
アセトン等を選択することができる。また、この非金属
系焼結助剤及び溶媒についても不純物の含有量が低いも
のを使用することが好ましい。

【００３９】炭化ケイ素粉末と混合される非金属系焼結
助剤の添加量は少なすぎると焼結体の密度が上がらず、
多過ぎると焼結体に含まれる遊離炭素が増加するため高
密度化を阻害する虞があるため、使用する非金属系焼結
助剤の種類にもよるが、一般的には、１０重量％以下、
好ましくは２〜５重量％となるように添加量を調整する
ことが好ましい。この量は、予め炭化ケイ素粉末の表面
のシリカ（酸化ケイ素）量をフッ酸を用いて定量し、化
学量論的にその還元に充分な量を計算することにより決
定することができる。

【００４０】なお、ここでいう炭素としての添加量と
は、上記の方法により定量されたシリカが非金属系焼結
助剤に由来する炭素で、下記の化学反応式により還元さ
れるものとし、非金属系焼結助剤の熱分解後の残炭率
（非金属系焼結助剤中で炭素を生成する割合）などを考
慮して得られる値である。

【００４１】 ＳｉＯ₂ ＋ ３Ｃ → ＳｉＣ ＋ ２ＣＯ また、本発明の炭化ケイ素焼結体においては、炭化ケイ
素焼結体中に含まれる炭化ケイ素に由来する炭素原子及
び非金属系焼結助剤に由来する炭素原子の合計が３０重
量％を超え、４０重量％以下であることが好ましい。含
有量が３０重量％以下であると、焼結体中に含まれる不
純物の割合が多くなり、４０重量％を超えると炭素含有
量が多くなり得られる焼結体の密度が低下し、焼結体の
強度、耐酸化性等の諸特性が悪化するため好ましくな
い。

【００４２】本発明の炭化ケイ素焼結体を製造するにあ
たって、まず、炭化ケイ素粉末と、非金属系焼結助剤と
を均質に混合するが、前述の如く、非金属系焼結助剤で
あるフェノール樹脂をエチルアルコールなどの溶媒に溶
解し、炭化ケイ素粉末と十分に混合する。混合は公知の
混合手段、例えば、ミキサー、遊星ボールミルなどによ
って行うことができる。混合は、１０〜３０時間、特
に、１６〜２４時間にわたって行うことが好ましい。十
分に混合した後は、溶媒の物性に適合する温度、例え
ば、先に挙げたエチルアルコールの場合には５０〜６０
℃の温度で溶媒を除去し、混合物を蒸発乾固させたの
ち、篩にかけて混合物の原料粉体を得る。なお、高純度
化の観点からは、ボールミル容器及びボールの材質を金
属をなるべく含まない合成樹脂にする必要がある。ま
た、乾燥にあたっては、スプレードライヤーなどの造粒
装置を用いてもよい。

【００４３】本発明の焼結体を製造する製造方法におい
て必須の工程である焼結工程は、粉体の混合物又は後記
の成形工程により得られた粉体の混合物の成形体を、温
度２０００〜２４００℃、圧力３００〜７００ｋｇｆ／
ｃｍ² 、非酸化性雰囲気下で成形金型中に配置し、ホッ
トプレスする工程である。

【００４４】ここで使用する成形金型は、得られる焼結
体の純度の観点から、成形体と金型の金属部とが直接接
触しないように、型の一部又は全部に黒鉛製等の材料を
使用するか、金型内にテフロンシート等を介在させるこ
とが好ましい。

【００４５】本発明においてホットプレスの圧力は３０
０〜７００ｋｇｆ／ｃｍ² の条件で加圧ことができる
が、特に、４００ｋｇｆ／ｃｍ² 以上の加圧した場合に
は、ここで使用するホットプレス部品、例えば、ダイ
ス、パンチ等は耐圧性の良好なものを選択する必要があ
る。

【００４６】ここで、焼結工程を詳細に説明するが、焼
結体を製造するためのホットプレス工程の前に以下の条
件で加熱、昇温を行って不純物を十分に除去し、非金属
系焼結助剤の炭化を完全に行わせしめた後、前記条件の
ホットプレス加工を行うことが好ましい。

【００４７】即ち、以下の２段階の昇温工程を行うこと
が好ましい。まず、炉内を真空下、室温から７００℃に
至るまで、緩やかに加熱する。ここで、高温炉の温度制
御が困難な場合には、７００℃まで昇温を連続的に行っ
てもよいが、好ましくは、炉内を１０^-4ｔｏｒｒにし
て、室温から２００℃まで緩やかに昇温し、該温度にお
いて一定時間保持する。その後、さらに緩やかに昇温を
続け、７００℃まで加熱する。さらに７００℃前後の温
度にて一定時間保持する。この第１の昇温工程におい
て、吸着水分や有機溶媒の脱離が行われ、さらに、非金
属系焼結助剤の熱分解による炭化が行われる。２００℃
前後或いは７００℃前後の温度に保持する時間は焼結体
のサイズによって好適な範囲が選択される。保持時間が
十分であるか否かは真空度の低下がある程度少なくなる
時点をめやすにすることができる。この段階で急激な加
熱を行うと、不純物の除去や非金属系焼結助剤の炭化が
十分に行われず、成形体に亀裂や空孔を生じさせる虞が
あるため好ましくない。

【００４８】一例を挙げれば、５〜１０ｇ程度の試料に
関しては、１０^-4ｔｏｒｒにして、室温から２００℃ま
で緩やかに昇温し、該温度において約３０分間保持し、
その後、さらに緩やかに昇温を続け、７００℃まで加熱
するが、室温から７００℃に至るまでの時間は６〜１０
時間程度、好ましくは８時間前後である。さらに７００
℃前後の温度にて２〜５時間程度保持することが好まし
い。

【００４９】真空中で、さらに７００℃から１５００℃
に至るまで、前記の条件であれば６〜９時間ほどかけて
昇温し、１５００℃の温度で１〜５時間ほど保持する。
この工程では二酸化ケイ素、酸化ケイ素の還元反応が行
われると考えられる。ケイ素と結合した酸素を除去する
ため、この還元反応を十分に完結させることが重要であ
り、１５００℃の温度における保持時間は、この還元反
応による副生物である一酸化炭素の発生が完了するま
で、即ち、真空度の低下が少なくなり、還元反応開始前
の温度である１３００℃付近における真空度に回復する
まで、行うことが必要である。この第２の昇温工程にお
ける還元反応により、炭化ケイ素粉体表面に付着して緻
密化を阻害し、大粒成長の原因となる二酸化ケイ素が除
去される。この還元反応中に発生するＳｉＯ、ＣＯを含
む気体は不純物元素を伴っているが、真空ポンプにより
これらの発生気体が反応炉へ絶えず排出され、除去され
るため、高純度化の観点からもこの温度保持を十分に行
うことが好ましい。

【００５０】これらの昇温工程が終了した後に、高圧ホ
ットプレスを行うことが好ましい。温度が１５００℃よ
り高温に上昇すると焼結が開始するが、その際、異常粒
成長を押さえるために３００〜７００ｋｇｆ／ｃｍ² 程
度までをめやすとして加圧を開始する。その後、炉内を
非酸化性雰囲気とするために不活性ガスを導入する。こ
の不活性ガスとしては、窒素あるいは、アルゴンなどを
用いるが、高温においても非反応性であることから、ア
ルゴンガスを用いることが望ましい。

【００５１】炉内を非酸化性雰囲気とした後、温度を２
０００〜２４００℃、圧力３００〜７００ｋｇｆ／ｃｍ
² となるように加熱、加圧をおこなう。プレス時の圧力
は原料粉体の粒径によって選択することができ、原料粉
体の粒径が小さいものは加圧時の圧力が比較的小さくて
も好適な焼結体が得られる。また、ここで１５００℃か
ら最高温度である２０００〜２４００℃までへの昇温は
２〜４時間かけて行うが、焼結は１８５０〜１９００℃
で急速に進行する。さらに、この最高温度で１〜３時間
保持し、焼結を完了する。なお、焼結時の圧力は必ずし
も常時かける必要はなく、特に焼結反応（試料の収縮）
が開始される温度以上の領域で加えられていればよい。

【００５２】ここで最高温度が２０００℃未満であると
高密度化が不十分となり、２４００℃を超えると粉体若
しくは成形体原料が昇華（分解）する虞があるため好ま
しくない。また、加圧条件が５００ｋｇｆ／ｃｍ² 未満
であると高密度化が不十分となり、７００ｋｇｆ／ｃｍ
² を超えると黒鉛型などの成形型の破損の原因となり、
製造の効率から好ましくない。

【００５３】この焼結工程においても、得られる焼結体
の純度保持の観点から、ここで用いられる黒鉛型や加熱
炉の断熱材等は、高純度の黒鉛原料を用いることが好ま
しく、黒鉛原料は高純度処理されたものが用いられる
が、具体的には、２５００℃以上の温度で予め十分ベー
キングされ、焼結温度で不純物の発生がないものが望ま
しい。さらに、使用する不活性ガスについても、不純物
が少ない高純度品を使用することが好ましい。

【００５４】本発明では、前記焼結工程を行うことによ
り優れた特性を有する炭化ケイ素焼結体が得られるが、
最終的に得られる焼結体の高密度化の観点から、この焼
結工程に先立って以下に述べる成形工程を実施してもよ
い。以下にこの焼結工程に先立って行うことができる成
形工程について説明する。ここで、成形工程とは、炭化
ケイ素粉末と、非金属系焼結助剤とを均質に混合して得
られた原料粉体を成形金型内に配置し、８０〜３００℃
の温度範囲で、５〜６０分間にわたり加熱、加圧して予
め成形体を調整する工程である。ここで、原料粉体の金
型への充填は極力密に行うことが、最終的な焼結体の高
密度化の観点から好ましい。この成形工程を行うと、ホ
ットプレスのために試料を充填する際に嵩のある粉体を
予めコンパクトになしうるので、この成形工程を繰り返
すことにより厚みの大きい成形体を製造し易くなる。

【００５５】加熱温度は、非金属系焼結助剤の特性に応
じて、８０〜３００℃、好ましくは１２０〜１４０℃の
範囲、圧力６０〜１００ｋｇｆ／ｃｍ² の範囲で、充填
された原料粉体の密度を１．５ｇ／ｃｍ³ 以上、好まし
くは、１．９ｇ／ｃｍ³ 以上とするようにプレスして、
加圧状態で５〜６０分間、好ましくは２０〜４０分間保
持して原料粉体からなる成形体を得る。ここで成形体の
密度は、粉体の平均粒径が小さくなる程高密度にしにく
くなり、高密度化するためには成形金型内に配置する際
に振動充填等の方法をとることが好ましい。具体的に
は、平均粒径が１μｍ程度の粉体では密度が１．８ｇ／
ｃｍ³ 以上、平均粒径が０．５μｍ程度の粉体では密度
が１．５ｇ／ｃｍ³ 以上であることがより好ましい。そ
れぞれの粒径において密度が１．５ｇ／ｃｍ³ 又は１．
８ｇ／ｃｍ³ 未満であると、最終的に得られる焼結体の
高密度化が困難となる。

【００５６】この成形体は、次の焼結工程に付す前に、
予め用いるホットプレス型に適合するように切削加工を
行うことができる。この成形体を前記の温度２０００〜
２４００℃、圧力３００〜７００ｋｇｆ／ｃｍ² 、非酸
化性雰囲気下で成形金型中に配置し、ホットプレスする
工程即ち焼成工程に付して、高密度、高純度の炭化ケイ
素焼結体を得るものである。

【００５７】以上により生成した炭化ケイ素焼結体は、
十分に高密度化されており、密度は２．９ｇ／ｃｍ³ 以
上である。得られた焼結体の密度が２．９ｇ／ｃｍ³ 未
満であると、曲げ強度、破壊強度などの力学的特性や電
気的な物性が低下し、さらに、パーティクルが増大し、
汚染性が悪化するため好ましくない。炭化ケイ素焼結体
の密度は、３．０ｇ／ｃｍ³ 以上であることがより好ま
しい。

【００５８】また、得られた焼結体が多孔質体である
と、耐熱性、耐酸化性、耐薬品性や機械強度に劣る、洗
浄が困難である、微小割れが生じて微小片が汚染物質と
なる、ガス透過性を有する等の物性的に劣る点を有する
ことになり、用途が限定されるなどの問題点も生じてく
る。

【００５９】本発明で得られる炭化ケイ素焼結体の不純
物元素の総含有量は、１０ｐｐｍ以下、好ましくは５ｐ
ｐｍ以下であるが、半導体工業分野への適用の観点から
は、これらの化学的な分析による不純物含有量は参考値
としての意味を有するに過ぎない。実用的には、不純物
が均一に分布しているか、局所的に偏在しているかによ
っても、評価が異なってくる。従って、当業者は一般的
に実用装置を用いて所定の加熱条件のもとで不純物がど
の程度半導体プロセスを汚染するかを種々の手段により
評価している。なお、液状のケイ素化合物と、非金属系
焼結助剤と、重合又は架橋触媒と、を均質に混合して得
られた固形物を非酸化性雰囲気下で加熱炭化した後、さ
らに、非酸化性雰囲気下で焼成する焼成工程とを含む製
造方法によれば、炭化ケイ素焼結体に含まれる不純物元
素の総含有量を１０ｐｐｍ以下にすることができる。な
お、ここで不純物元素とは、１９８９年ＩＵＰＡＣ無機
化学命名法改訂版の周期律表における１族から１６族元
素に属し、且つ、原子番号３以上であり、原子番号６〜
８及び同１４の元素を除く元素をいう。

【００６０】その他、本発明で得られる炭化ケイ素焼結
体の好ましい物性について検討するに、例えば、室温に
おける曲げ強度は５０．０〜６５．０ｋｇｆ／ｍｍ² 、
１５００℃における曲げ強度は５５．０〜８０．０ｋｇ
ｆ／ｍｍ² 、ヤング率は３．５×１０⁴ 〜４．５×１０
⁴ 、ビッカース硬度は２０００ｋｇｆ／ｍｍ² 以上、ポ
アソン比は０．１４〜０．２１、熱膨張係数は３．８×
１０^-6〜４．２×１０ ^-6（℃^-1）、熱伝導率は１５０Ｗ
／ｍ・ｋ以上、比熱は０．１５〜０．１８ｃａｌ／ｇ・
℃、耐熱衝撃性は５００〜７００ΔＴ℃であることが好
ましい。

【００６１】本発明の如く非金属系焼結助剤を用いて得
られた焼結体は、密度２．９ｇ／ｃｍ³ 以上の高密度品
であり、良好な焼結をもって得られるため、導電性を発
現する多結晶半導体となる傾向にある。即ち、電気伝導
に寄与する伝導電子は、粒界を挟んで炭化ケイ素結晶間
を流れるため、粒界相と炭化ケイ素の接合部も導電性の
発現に重要である。伝導電子の移動特性は、トンネル伝
導と熱励起伝導とに大別される。

【００６２】また、炭化ケイ素焼結体は窒素を１５０ｐ
ｐｍ以上固溶状態で含有することにより粒界に生じる空
間電荷層のバリアが約０．１５ｅＶ以下となるため、良
導電性が達成される。このときの炭化ケイ素焼結体の体
積抵抗率は１Ω・ｃｍを示す。窒素の含有量を２００ｐ
ｐｍ以上にすると、粒界の空間電荷層のバリアが０．０
２６ｅＶ以下となり、常温（３００Ｋ）でもこのバリア
を熱励起で飛び越えることができ熱励起伝導を発現する
のみならず、トンネル伝導も起こる。

【００６３】一般に半導体の体積抵抗の温度依存性は、
温度上昇に伴って減少した後（ＮＴＣ領域）、上昇に転
ずる（ＰＴＣ領域）ことが知られている。このとき、体
積抵抗率の温度変化が小さい程、通電発熱体として使用
した場合の温度制御は容易になる。ここで炭化ケイ素焼
結体に含まれる窒素固溶量が多い程、ＮＴＣ領域とＰＴ
Ｃ領域の変局温度は低温側へとシフトする。即ち、本発
明の炭化ケイ素焼結体の如く、窒素の含有量を１５０ｐ
ｐｍ以上、好ましくは２００ｐｐｍ以上とすることによ
り、体積抵抗率の変化が最も大きい低温部におけるＮＴ
Ｃ領域を小さくすることができ、これにより、常温から
高温までの温度変化による体積抵抗率変化量を低減でき
る。

【００６４】この作用機構を模式図を用いて説明する。
図１は、炭化ケイ素焼結体の粒界近傍を流れる電流の模
式図で、Ｅｖ−Ｅｃは炭化ケイ素のバンドギャップ、Ｅ
ｄ−Ｅｃはドナーレベル、そして山型になっている部分
が粒界バリアである。炭化ケイ素焼結体（多結晶系）の
導電機構は、室温付近では導電キャリアである電子に粒
界バリアを乗り越えるだけの熱エネルギーが不足してい
るため、電子がトンネル効果により粒界バリアを突き抜
ける伝導が支配的であり、高温域では熱励起により粒界
バリアを乗り越える伝導が支配的である。この時、粒界
バリアを越えるに必要な温度は窒素固溶量に依存する。
高温での抵抗温度特性を正特性にするためには、固溶し
た窒素が放出する電子が全て粒界バリアを乗り越えるだ
けの熱エネルギーを得た状態（半導体理論でいうドナー
枯渇と同じ状態）で且つ、格子振動によるフォノン散乱
によって移動度が低下して、抵抗が増加する状態になる
必要がある。したがって、炭化ケイ素焼結体は、室温付
近では単結晶にほぼ等しい導電性を示す。すなわち、炭
化ケイ素焼結体の室温抵抗Ｒは、次式で表される。

【００６５】Ｒ＝１／（ｅ・ｎ・μ） （ｅ：電子の電荷量、ｎ：窒素の固溶量、μ：電子の移
動度） 前記式中、ｅは物理定数であるから一定である。μは温
度によって変化するが室温では一定である。したがっ
て、室温付近での炭化ケイ素焼結体の室温抵抗Ｒが窒素
の含有量に支配されることになる。すなわち、窒素をよ
り多く固溶すれば炭化ケイ素焼結体の室温抵抗Ｒは低く
なり、好ましい導電性を達成するためには、焼結体中の
窒素の含有量は１５０ｐｐｍ、好ましくは２００ｐｐｍ
であり、安定性の観点から、窒素は固溶状態で含まれる
ことが好ましい。

【００６６】上記の如き本発明の炭化ケイ素焼結体は、
使用目的に応じて、加工、研磨、洗浄等の処理が行なわ
れる。本発明の焼結体は、ホットプレス等により円柱状
試料（焼結体）を形成させ、これを径方向にスライス加
工することによって製造することができ、その加工方法
として、放電加工が好適に用いられる。そして、半導体
製造部品、電子情報機器用部品等の使用に供される。

【００６７】ここで、本発明による焼結体製部品が使用
される主な半導体製造装置としては、露光装置、レジス
ト処理装置、ドライエッチング装置、洗浄装置、熱処理
装置、イオン注入装置、ＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置、ダイ
シング装置等を挙げることができ、部品の一例として
は、ドライエッチング装置用のプラズマ電極、防護リン
グ（フォーカスリング）、イオン注入装置用のスリット
部品（アパーチャー）、イオン発生部や質量分析部用の
防護板、熱処理装置やＣＶＤ装置におけるウェハ処理時
に用いられるダミーウェハ、また、熱処理装置やＣＶＤ
装置における発熱ヒーター、特にウェハをその下部にお
いて直接加熱するヒーター等が挙げられる。

【００６８】電子情報機器用部品としては、ハードディ
スク装置用のディスク基盤や薄膜磁気ヘッド基盤等が挙
げられ、また、光磁気ディスク表面や各種摺動面に対す
る薄膜形成のためのスパッタリングターゲットもこの部
品に包含される。

【００６９】光学用部品としては、シンクロトロン放射
光（ＳＲ）、レーザー光等の反射鏡等にも使用できる。

【００７０】本発明においては、本発明の前記加熱条件
を満たしうるものであれば、特に製造装置等に制限はな
く、焼結用の型の耐圧性を考慮すれば、公知の加熱炉内
や反応装置を使用することができる。

【００７１】本発明の原料粉体である炭化ケイ素粉体及
び原料粉体を製造するためのケイ素源と非金属系焼結助
剤、さらに、非酸化性雰囲気とするために用いられる不
活性ガス、それぞれの純度は、各不純物元素含有量１０
ｐｐｍ以下、さらに５ｐｐｍ以下であることが好ましい
が、加熱、焼結工程における純化の許容範囲内であれば
必ずしもこれに限定するものではない。また、ここで不
純物元素とは、１９８９年ＩＵＰＡＣ無機化学命名法改
訂版の周期律表における１族から１６族元素に属し、且
つ、原子番号３以上であり、原子番号６〜８及び同１４
の元素を除く元素をいう。

【００７２】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明
するが、本発明の主旨を超えない限り本実施例に限定さ
れるものではない。 （実施例１）アミンを含むレゾール型フェノール樹脂
（熱分解後の残炭率５０％）６ｇと平均粒子径０．５μ
ｍで１つの粒度分布極大値を有する高純度ｎ型β−炭化
ケイ素（以下、適宜、ＳｉＣと称する）粉体９４ｇをエ
タノールあるいはアセトン溶媒５０ｇ中で湿式ボールミ
ル混合した後、乾燥し、直径２０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの
円柱状に成形した。この成形体に含まれるフェノール樹
脂量及びアミン量はそれぞれ６ｗｔ％及び０．１ｗｔ％
であった。

【００７３】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて２
３００℃の温度で３時間焼結して炭化ケイ素焼結体を得
た。この炭化ケイ素焼結体の物性を下記の方法で測定し
た。 （体積抵抗率）抵抗率計（ロレスターＡＰ、三菱化学社
製）及び半導体用途四深針（電極間隔１ｍｍ）を用い
て、両端の電極間に１ｍＡ通電した時に電位差を内側の
電極で読み取る四深針法で測定した。 （β型比率）試料をメノウ乳鉢解砕した後、Ｘ線回折装
置を用いてＸ線回折を行い、得られたスペクトルをＲｕ
ｓｋａ法（Journal of MaterialsSience 14 (1979) 201
3 -2017）にて解析して結晶形比率を算出した。 （粒界バリア）電気伝導度σは以下の式で表される。

【００７４】 σ＝Ｎ・ｅｘｐ（−Ｅｄ／ｋＴ）・ｅ・ａＴ^-3/2 ここで、Ｎは不純物固溶濃度、Ｅｄは熱励起に要する活
性化エネルギー、ｋはボルツマン定数、Ｔはケルビン温
度を表す。

【００７５】前記式の両辺をＴ^-3/2で割り、対数を取る
と、以下のようになる。 ｌｎ（σ・Ｔ^-3/2）＝（−Ｅｄ／ｋＴ）＋ｌｎ（Ｎ・ｅ
・ａ） これにより、１／Ｔに対して、ｌｎ（σ・Ｔ^-3/2）をプ
ロット（アーレニウスプロット）し、任意の２本の直線
を近似することにより、その傾きから伝導電子生成の活
性化エネルギー（Ｅｄ）が算出でき、その差を粒界バリ
ヤとした。 （窒素分析）窒素分析はメノウ乳鉢解砕した焼結体１０
ｍｇを日本アナリスト社製ニッケルカプセルにいれ、Ｌ
ＥＣＯ社ＴＣ−４３６型酸素窒素同時分析装置で分析し
た。試料はＬＥＣＯ社グラファイト製るつぼ中で３０秒
間脱水処理を施した後、２０００℃で加熱燃焼させた。
この時発生するガスを一旦ダストトラップで浄化した
後、熱伝導度検出器を用いて分析した。

【００７６】測定の結果、得られた炭化ケイ素質焼結体
の密度は３．１３ｇ／ｃｍ³ であり、２００ｐｐｍの窒
素を含有しており、その体積抵抗率は１０^-1Ω・ｃｍで
あった。本焼結体におけるβ−ＳｉＣ結晶粒の含有量を
粉末Ｘ線回折法（Ｒｕｓｋａ法）に従って解析したとこ
ろ、９０％β型ＳｉＣであった。残る１０％はα型であ
り、この比率は焼結時に高温安定型に相転移した結果で
あると考えられる。このようにして作成した炭化ケイ素
焼結体の粒界バリアは０．１ｅＶであった。これらの結
果を下記表１に示す。

【００７７】（実施例２）実施例１と同様にして、フェ
ノール樹脂量６ｗｔ％、アミン量０．１ｗｔ％の成形体
を得た。

【００７８】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて２
３５０℃の温度で３時間焼結して炭化ケイ素質焼結体を
得た。

【００７９】得られた炭化ケイ素焼結体を、実施例１と
同様に評価したところ、密度が３．１４ｇ／ｃｍ³ であ
った。全炭化ケイ素質に占めるβ型ＳｉＣの割合は７０
％であり、残る３０％はα型であった。窒素固溶量は１
５０ｐｐｍであり、体積抵抗率は１０⁰ Ω・ｃｍであっ
た。微構造には粒成長が見られた。

【００８０】実施例２で得られた焼結体を実施例１と比
較すると、ホットプレス法における加熱温度を５０℃上
げたことにより、α型ＳｉＣ結晶が多くなり、窒素固溶
量が減少したことが特徴であり、窒素固溶量の減少に伴
い体積抵抗率も１桁大きくなった。このときの粒界バリ
アは０．１４８ｅＶであり、実施例１に比較すると温度
変化における体積抵抗率変化も若干大きくなった。評価
結果を下記表１に示す。 （実施例３）実施例１と同様にして、フェノール樹脂量
６ｗｔ％、アミン量０．１ｗｔ％の成形体を得た。

【００８１】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて２
２００℃で３時間焼結して炭化ケイ素質焼結体を得た。

【００８２】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が３．１０ｇ／ｃｍ³ であっ
た。全炭化ケイ素質に占めるβ型ＳｉＣの割合は９０％
以上であり、焼結体中の含有窒素量は３７０ｐｐｍであ
った。その体積抵抗率は１０ ^-2Ω・ｃｍを示した。この
とき粒界バリアは０．０２６ｅＶとなり、この値は常温
３００Ｋの持つ熱エネルギーと同等となった。評価結果
を下記表１に示す。 （実施例４）出発原料の炭化ケイ素粉末として含有窒素
量が２５００ｐｐｍであるものを用いた他は、実施例１
と同様の方法で炭化ケイ素焼結体を得た。

【００８３】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が３．１４ｇ／ｃｍ³ であ
り、その焼結体中の含有窒素量は６００ｐｐｍであっ
た。このとき、体積抵抗率は１０^-3Ω・ｃｍを示した。
粒界バリアは０．０１２ｅＶを示し、常温でも熱励起電
子伝導及びトンネルあるいはバルク電子伝導が容易に起
こることが確認できた。評価結果を下記表１に示す。 （比較例１）実施例１と同様にして、フェノール樹脂量
６ｗｔ％、アミン量０．１ｗｔ％の成形体を得た。

【００８４】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて１
９００℃で３時間焼結して炭化ケイ素質焼結体を得た。

【００８５】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が２．８５ｇ／ｃｍ³ であ
り、その焼結体中の含有窒素量は２３０ｐｐｍであっ
た。このとき、体積抵抗率は１０^-1Ω・ｃｍを示し、粒
界バリアは０．０６ｅＶであった。評価結果を下記表１
に示す。 （比較例２）出発原料の炭化ケイ素粉末として含有窒素
量が１５００ｐｐｍであるものを用いて、実施例１と同
様の方法で成形体を得た。

【００８６】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて２
３８０℃で３時間焼結して炭化ケイ素質焼結体を得た。

【００８７】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が２．９１ｇ／ｃｍ³ であ
り、その焼結体中の含有窒素量は１２０ｐｐｍであっ
た。また、全炭化ケイ素に占めるβ型炭化ケイ素の割合
が６６％であり、残る３４％はα型であった。体積抵抗
率は１Ω・ｃｍであった。評価結果を下記表１に示す。

【００８８】このように高温度条件で焼結を行うと、β
型からα型への相転移が顕著になり、同時に含有窒素の
揮散によって窒素固溶量が減少する。このような焼結体
は通電発熱特性が低下し、高精度な温度−抵抗制御が困
難になることがわかった。 （比較例３）比較例１と同様にして、成形体を得て、こ
の成形体をホットプレス法により７００ｋｇｆ／ｃｍ²
の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて２４００℃で３時
間焼結して炭化ケイ素質焼結体を得た。

【００８９】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が２．６４ｇ／ｃｍ³ であ
り、その焼結体中の含有窒素量は１００ｐｐｍであっ
た。また、全炭化ケイ素に占めるβ型炭化ケイ素の割合
が５０％以下であった。体積抵抗率は１０¹ Ω・ｃｍで
あった。微構造には粒成長が顕著に見られた。このよう
な焼結体は粒界バリアが大きく、また密度が低下してし
まうため、半導体用途への応用は困難である。評価結果
を下記表１に示す。 （比較例４）実施例１と同様にして、フェノール樹脂量
６ｗｔ％、アミン量０．１ｗｔ％の成形体を得た。

【００９０】この成形体をホットプレス法により７００
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧力下、アルゴンガス雰囲気下にて１
８００℃で３時間焼結して炭化ケイ素質焼結体を得た。

【００９１】得られた炭化ケイ素焼結体を実施例１と同
様に評価したところ、密度が２．６２ｇ／ｃｍ³ と小さ
かった。このとき、微細構造を確認したところ、ほとん
ど焼結工程が進行しておらず、伝導電子は炭化ケイ素の
グレイン間を移動できず、グレイン外周部のカーボン相
を主に移動すると推定された。したがって粒界バリアは
測定できなかった。評価結果を下記表１に示す。

【００９２】

【表１】

【００９３】前記表１の各実施例並びに比較例に明らか
なように、本発明の炭化ケイ素焼結体は、十分な密度を
有する高密度焼結体であり、窒素含有量も充分であり、
実用上好適な導電性を示し、各種の用途に好適に用いう
ることが分かった。

【００９４】一方、窒素含有量の低い比較例１及び２は
β型炭化ケイ素の含有量が低く、粒界バリヤが大きく、
好ましい導電性を有していなかった。また、密度の低い
焼結体である比較例３は、空孔が多数観察され、窒素含
有量は充分なものの、粒界バリヤを測定することができ
なかった。

【００９５】

【発明の効果】本発明の炭化ケイ素焼結体は、高密度で
あって、且つ、導電性を有し、高熱伝導率を兼ね備えた
高品位の特性を有し、半導体工業、電子情報機器産業な
どの多くの分野において有用であるという効果を奏す
る。

【手続補正書】

【提出日】平成９年１２月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】追加

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】炭化ケイ素焼結体の粒界近傍を流れる電流の状
態を示す模式図である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤との
   混合物を焼結して得られ、且つ、窒素を導入してなる焼
   結体であって、密度が２．９ｇ／ｃｍ³ 以上であり、且
   つ、窒素を１５０ｐｐｍ以上含有することを特徴とする
   炭化ケイ素焼結体。
2. 【請求項２】 前記炭化ケイ素焼結体の体積抵抗率が１
   Ω・ｃｍ以下であること、を特徴とする請求項１に記載
   の炭化ケイ素焼結体。
3. 【請求項３】 前記炭化ケイ素焼結体中の炭化ケイ素成
   分において、β型炭化ケイ素が７０％以上であることを
   特徴とする請求項１又は２に記載の炭化ケイ素焼結体。
4. 【請求項４】 前記炭化ケイ素焼結体に含まれる不純物
   元素の含有量が１０ｐｐｍ以下であること、を特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載の炭化ケイ素焼結
   体。