JPH1183694A - 微粒子収集装置 - Google Patents
微粒子収集装置Info
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- JPH1183694A JPH1183694A JP24094397A JP24094397A JPH1183694A JP H1183694 A JPH1183694 A JP H1183694A JP 24094397 A JP24094397 A JP 24094397A JP 24094397 A JP24094397 A JP 24094397A JP H1183694 A JPH1183694 A JP H1183694A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 捕集力の向上を図った微粒子収集装置を提供
する。 【解決手段】 平板上に付着した微粒子を気体によって
浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから
吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引
ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィ
ルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集
装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイ
クロンを配設した。
する。 【解決手段】 平板上に付着した微粒子を気体によって
浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから
吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引
ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィ
ルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集
装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイ
クロンを配設した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハや液晶
のガラス基板上に付着した微粒子をフィルタに捕集する
ための微粒子収集装置に関し、更に詳しくは、ウエハや
ガラス基板上等に付着した微粒子を効率よくフィルタに
捕集し、捕集した微粒子サンプルを例えばマイクロ波誘
導プラズマを利用した元素分析計等に供給する微粒子収
集装置の改良に関する。
のガラス基板上に付着した微粒子をフィルタに捕集する
ための微粒子収集装置に関し、更に詳しくは、ウエハや
ガラス基板上等に付着した微粒子を効率よくフィルタに
捕集し、捕集した微粒子サンプルを例えばマイクロ波誘
導プラズマを利用した元素分析計等に供給する微粒子収
集装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体回路が形成されるウエハ上のゴミ
は、配線回路の断線を生じ、液晶パネルを構成するガラ
ス基板上のゴミは、画素の欠落を生じる。このため、製
造工程におけるゴミ対策は歩留り等において重要な課題
になっている。
は、配線回路の断線を生じ、液晶パネルを構成するガラ
ス基板上のゴミは、画素の欠落を生じる。このため、製
造工程におけるゴミ対策は歩留り等において重要な課題
になっている。
【０００３】この解決のため、ウエハ上やガラス基板上
のゴミ（以下、微粒子という）をフィルタ上に収集して
その成分や量を測定し、微粒子発生の原因を本質的に解
析する試みがなされている。図２，図３は分析に先立っ
てウエハ上やガラス基板上の微粒子をフィルタ上に捕集
する微粒子収集装置であり、特開平８−１０１０９６号
公報に示されている。
のゴミ（以下、微粒子という）をフィルタ上に収集して
その成分や量を測定し、微粒子発生の原因を本質的に解
析する試みがなされている。図２，図３は分析に先立っ
てウエハ上やガラス基板上の微粒子をフィルタ上に捕集
する微粒子収集装置であり、特開平８−１０１０９６号
公報に示されている。
【０００４】この公報に記載された内容について簡単に
説明する。図２は、微粒子サンプラの正面図、図３は平
面図である。これらの図中、１は被測定体であるウエ
ハ、２はウエハ１を搭載する第１のステージで、搭載し
たウエハを回転軸Ｏ1を中心に回転する。３は第１のス
テージ２の回転軸Ｏ1を変位する第２のステージで、第
１のステージ２を搭載し、回転軸Ｏ2を中心に回転角θ
で第１のステージ２を回転する。
説明する。図２は、微粒子サンプラの正面図、図３は平
面図である。これらの図中、１は被測定体であるウエ
ハ、２はウエハ１を搭載する第１のステージで、搭載し
たウエハを回転軸Ｏ1を中心に回転する。３は第１のス
テージ２の回転軸Ｏ1を変位する第２のステージで、第
１のステージ２を搭載し、回転軸Ｏ2を中心に回転角θ
で第１のステージ２を回転する。
【０００５】４はウエハ１上に付着した微粒子を吸引す
る吸引ノズル、５は吸引機、６はカウンタ、７は吸引ノ
ズル４で吸引した微粒子を捕集するフィルタである。吸
引ノズル４は、ウエハ１との間隔（ギャップ）が任意に
調整できるようになっていて、ウエハ１上に付着した微
粒子が吸引しやすい間隔にギャップ制御機構８で設定さ
れる。９はサンプリング中にウエハ１が汚染されないよ
うに設けられたチャンバで、内部はクリンエアー等で置
換される。
る吸引ノズル、５は吸引機、６はカウンタ、７は吸引ノ
ズル４で吸引した微粒子を捕集するフィルタである。吸
引ノズル４は、ウエハ１との間隔（ギャップ）が任意に
調整できるようになっていて、ウエハ１上に付着した微
粒子が吸引しやすい間隔にギャップ制御機構８で設定さ
れる。９はサンプリング中にウエハ１が汚染されないよ
うに設けられたチャンバで、内部はクリンエアー等で置
換される。
【０００６】次に、このように構成された微粒子収集装
置の動作について説明する。先ず、ウエハ１が第１のス
テージ２に搭載され、吸引ノズル４によって微粒子の吸
引が開始される。この状態で、ウエハ１は、回転軸Ｏ1
を中心に回転されると共に、第２のステージ３によって
Ｘ−Ｘ’方向に回転される。
置の動作について説明する。先ず、ウエハ１が第１のス
テージ２に搭載され、吸引ノズル４によって微粒子の吸
引が開始される。この状態で、ウエハ１は、回転軸Ｏ1
を中心に回転されると共に、第２のステージ３によって
Ｘ−Ｘ’方向に回転される。
【０００７】このような動作によって、吸引ノズル４が
ウエハ１上に描く軌跡は、渦巻き状になる。この時、第
２のステージ３の移動速度に対して、第１のステージ２
の回転速度を十分に速くすれば、渦巻きの目を細かくす
ることができ、ウエハ１全面をくまなくスキャンでき
る。
ウエハ１上に描く軌跡は、渦巻き状になる。この時、第
２のステージ３の移動速度に対して、第１のステージ２
の回転速度を十分に速くすれば、渦巻きの目を細かくす
ることができ、ウエハ１全面をくまなくスキャンでき
る。
【０００８】吸引ノズル４は、これらの移動に追従し
て、ウエハ１とのギャップが制御されていて、吸引ノズ
ル４の吸引流は、ウエハ１の表面に沿って流れる。この
ため、ウエハ１上の微粒子は、効率よく吸引ノズル４に
よって吸引される。ところで、上記微粒子サンプラ用の
吸引ノズルとしては図４に示すようなものが用いられて
いる。
て、ウエハ１とのギャップが制御されていて、吸引ノズ
ル４の吸引流は、ウエハ１の表面に沿って流れる。この
ため、ウエハ１上の微粒子は、効率よく吸引ノズル４に
よって吸引される。ところで、上記微粒子サンプラ用の
吸引ノズルとしては図４に示すようなものが用いられて
いる。
【０００９】図４において、４は吸引ノズルで、中心部
には内径０．３ｍｍ程度で２〜３ｌ／ｍｉｎ程度の流体
を吹き出す吹き出しノズル４ａが形成されている（この
吹き出しノズルはウエハの３０μｍ程度上方に配置され
る）。そして、この吹き出しノズル４ａから流体（例え
ばエアー）が吹付けられるとウエハ１に付着した微粒子
はウエハ１上から剥離し、吹き上げられる。
には内径０．３ｍｍ程度で２〜３ｌ／ｍｉｎ程度の流体
を吹き出す吹き出しノズル４ａが形成されている（この
吹き出しノズルはウエハの３０μｍ程度上方に配置され
る）。そして、この吹き出しノズル４ａから流体（例え
ばエアー）が吹付けられるとウエハ１に付着した微粒子
はウエハ１上から剥離し、吹き上げられる。
【００１０】吹き上げられた微粒子は、内径５ｍｍ、３
〜４ｌ／ｍｉｎ程度の吸引力を有する吸引ノズル４ｂで
吸い上げられ（この吸引ノズル４ｂはウエハの１００μ
ｍ程度上方に配置される）、カウンタ６によりカウント
されフィルタ７に捕集される。なお、図では省略するが
吹き出しノズル４ａから吹き出す流体の流量を制御する
流量制御手段や、吸引ノズル４ｂと吹き出しノズル４ａ
とを制御してウエハ１との相対位置（ＸＹおよびＺ方
向）を制御する駆動装置が配置されている。
〜４ｌ／ｍｉｎ程度の吸引力を有する吸引ノズル４ｂで
吸い上げられ（この吸引ノズル４ｂはウエハの１００μ
ｍ程度上方に配置される）、カウンタ６によりカウント
されフィルタ７に捕集される。なお、図では省略するが
吹き出しノズル４ａから吹き出す流体の流量を制御する
流量制御手段や、吸引ノズル４ｂと吹き出しノズル４ａ
とを制御してウエハ１との相対位置（ＸＹおよびＺ方
向）を制御する駆動装置が配置されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の収集装置では吸引機５がフィルタ７を介して吸引し
ているため、吸引量はを多くすることができず、微粒子
が比較的に大きな（例えば５μｍ以上）もので、その微
粒子がより細かな微粒子の集合体として存在する場合、
流体を吹付けることにより凝集が解けて細かな微粒子
（例えば１μｍ以下）となる場合がある。そして、その
細かな微粒子がウエハに付着すると付着力が増大して捕
集率が悪くなる。そのため、全ての微粒子を吸引するの
は難しいという問題があった。
成の収集装置では吸引機５がフィルタ７を介して吸引し
ているため、吸引量はを多くすることができず、微粒子
が比較的に大きな（例えば５μｍ以上）もので、その微
粒子がより細かな微粒子の集合体として存在する場合、
流体を吹付けることにより凝集が解けて細かな微粒子
（例えば１μｍ以下）となる場合がある。そして、その
細かな微粒子がウエハに付着すると付着力が増大して捕
集率が悪くなる。そのため、全ての微粒子を吸引するの
は難しいという問題があった。
【００１２】吸引力を増大させるために吸引機５として
パワーの強いものを用いることが考えられるが、吸引は
カウンタ６およびフィルタ７を介して行われる為、吸引
力としては３〜４ｌ／ｍｉｎ程度に限られたものとな
る。また、吸引力を強くするためにウエハ１とノズル４
の先端のギャップＤ1を狭くするとギャップの制御が難
しいという問題があった。
パワーの強いものを用いることが考えられるが、吸引は
カウンタ６およびフィルタ７を介して行われる為、吸引
力としては３〜４ｌ／ｍｉｎ程度に限られたものとな
る。また、吸引力を強くするためにウエハ１とノズル４
の先端のギャップＤ1を狭くするとギャップの制御が難
しいという問題があった。
【００１３】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、吹き出しノズルと、吸引ノズルを備えたノ
ズルを用い、吸引力を増大させることにより１ミクロン
以下の微粒子でも捕集が可能な微粒子収集装置を提供す
ることを目的としてい。
れたもので、吹き出しノズルと、吸引ノズルを備えたノ
ズルを用い、吸引力を増大させることにより１ミクロン
以下の微粒子でも捕集が可能な微粒子収集装置を提供す
ることを目的としてい。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明は、平板上に付着した微粒子を気体によ
って浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズル
から吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する
吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及び
フィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子
収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間に
サイクロンを配設したことを特徴とするものである。
るために本発明は、平板上に付着した微粒子を気体によ
って浮上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズル
から吹き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する
吸引ノズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及び
フィルタを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子
収集装置において、前記吸引ノズルとカウンターの間に
サイクロンを配設したことを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態を示す
要部構成図である。図中、図２，図３と同一部品には同
一符号を付して重複する説明は省略する。本発明では内
径０．１〜０．５ｍｍ程度の吹き出しノズル４ａをウエ
ハ１の上方０．５〜５ｍｍ程度に配置し、流体（例えば
エアー）を２〜３ｌ／ｍｉｎ程度の流量で吹きつける。
また、吸引ノズル４ｂは内径５０〜１００ｍｍとし、ウ
エハの上方５０ｍｍ程度に配置して例えば１〜１．２ｍ
3／ｍｉｎ程度の流量で吸引する。その結果、ウエハ１
上に付着した微粒子は、ウエハ１上から剥離し、吹き上
げられた微粒子の殆どが吸引ノズル４ｂに吸引される。
要部構成図である。図中、図２，図３と同一部品には同
一符号を付して重複する説明は省略する。本発明では内
径０．１〜０．５ｍｍ程度の吹き出しノズル４ａをウエ
ハ１の上方０．５〜５ｍｍ程度に配置し、流体（例えば
エアー）を２〜３ｌ／ｍｉｎ程度の流量で吹きつける。
また、吸引ノズル４ｂは内径５０〜１００ｍｍとし、ウ
エハの上方５０ｍｍ程度に配置して例えば１〜１．２ｍ
3／ｍｉｎ程度の流量で吸引する。その結果、ウエハ１
上に付着した微粒子は、ウエハ１上から剥離し、吹き上
げられた微粒子の殆どが吸引ノズル４ｂに吸引される。
【００１６】１０はサイクロンであり，その内壁は鏡面
に仕上げられている。１１はサイクロンの下部１０ａと
カウンタ６を結ぶチューブ，１２はカウンタ６とフィル
タ７を結ぶチューブ、５は例えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小
流量の流体を吸引して吐出する吸引機、１４は例えば１
〜１．２ｍ3／ｍｉｎ程度の大流量の流体を吸引して吐
出するブロア、１５はサイクロンの上部１０ｂとブロア
１４を結ぶチューブ、１７は吸引ノズル４とサイクロン
１０を接続する接続ホースである。
に仕上げられている。１１はサイクロンの下部１０ａと
カウンタ６を結ぶチューブ，１２はカウンタ６とフィル
タ７を結ぶチューブ、５は例えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小
流量の流体を吸引して吐出する吸引機、１４は例えば１
〜１．２ｍ3／ｍｉｎ程度の大流量の流体を吸引して吐
出するブロア、１５はサイクロンの上部１０ｂとブロア
１４を結ぶチューブ、１７は吸引ノズル４とサイクロン
１０を接続する接続ホースである。
【００１７】１８はサイクロンの外壁に設けた例えばソ
レノイドからなる加振器である。この加振器１８は微粒
子の収集中若しくは除去中にサイクロンの外周に所定の
周期（例えば１０回／１秒）で振動を加え微粒子がサイ
クロンの内壁に付着するのを防止する。このことによ
り、より効果的な微粒子の収集を図ることができる。
レノイドからなる加振器である。この加振器１８は微粒
子の収集中若しくは除去中にサイクロンの外周に所定の
周期（例えば１０回／１秒）で振動を加え微粒子がサイ
クロンの内壁に付着するのを防止する。このことによ
り、より効果的な微粒子の収集を図ることができる。
【００１８】上記の構成においてブロア１４が駆動され
るとサイクロン１０は，例えば１〜１．２ｍ3／ｍｉｎ
程度の大容量の空気と共に吹き上げられた微粒子を吸入
する。このようにして吸引された空気は図の破線で示す
ように，サイクロン１０内で円運動をしながらサイクロ
ン１０内で下方に移動し，その後一気にサイクロンの上
部１０ｂに吸上げられる。
るとサイクロン１０は，例えば１〜１．２ｍ3／ｍｉｎ
程度の大容量の空気と共に吹き上げられた微粒子を吸入
する。このようにして吸引された空気は図の破線で示す
ように，サイクロン１０内で円運動をしながらサイクロ
ン１０内で下方に移動し，その後一気にサイクロンの上
部１０ｂに吸上げられる。
【００１９】また，サイクロン１０内に吸引された空気
に含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１０
の内壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロ
ン１０の下部へ落下する。このようにして落下した微粒
子は吸引機５により吸引され、チューブ１１を通ってカ
ウンタ６でカウントされる。カウントされた微粒子はチ
ューブ１２を経由してフィルタ７上の例えば５〜１０ｍ
ｍ程度の極く小さな面積上に補集される。
に含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１０
の内壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロ
ン１０の下部へ落下する。このようにして落下した微粒
子は吸引機５により吸引され、チューブ１１を通ってカ
ウンタ６でカウントされる。カウントされた微粒子はチ
ューブ１２を経由してフィルタ７上の例えば５〜１０ｍ
ｍ程度の極く小さな面積上に補集される。
【００２０】上記の構成によれば、カウンタ６やフィル
タ７によらず吸引力を強めることができるので、例えば
１ミクロン以下の微粒子であっても容易に収集すること
ができる。また、吸引ノズル４の先端とウエハ１の距離
Ｄ1の微妙な調整が不要な微粒子収集装置を得ることが
できる。
タ７によらず吸引力を強めることができるので、例えば
１ミクロン以下の微粒子であっても容易に収集すること
ができる。また、吸引ノズル４の先端とウエハ１の距離
Ｄ1の微妙な調整が不要な微粒子収集装置を得ることが
できる。
【００２１】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、吹き出しノズルと、浮上した微粒子を吸引する
吸引ノズルと、前記吸引ノズルに接続された吸引ポンプ
と、前記吸引ポンプの前段に配置されたフィルター及び
微粒子カウンタを有する微粒子収集装置において、前記
吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設したの
で、捕集力の向上を図った微粒子収集装置を実現するこ
とができる。
よれば、吹き出しノズルと、浮上した微粒子を吸引する
吸引ノズルと、前記吸引ノズルに接続された吸引ポンプ
と、前記吸引ポンプの前段に配置されたフィルター及び
微粒子カウンタを有する微粒子収集装置において、前記
吸引ノズルとカウンターの間にサイクロンを配設したの
で、捕集力の向上を図った微粒子収集装置を実現するこ
とができる。
【図１】本発明の微粒子収集装置の実施の態様の一例を
示した構成図である。
示した構成図である。
【図２】微粒子サンプラの一例を示す正面図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】ノズルの一例を示す断面図である。
１ ウエハ ４ ノズル ４ａ 吹き出しノズル ４ｂ 吸引ノズル ５ 吸引機 ６ カウンタ ７ フィルタ ８ ギャップ制御機構 １０ サイクロン １１，１２，１５ チューブ １４ ブロア １６ 接続ホース １８ 加振器
Claims (2)
- 【請求項１】平板上に付着した微粒子を気体によって浮
上させる吹き出しノズルと、この吹き出しノズルから吹
き出した気体によって浮上した微粒子を吸引する吸引ノ
ズルと、前記吸引ノズルの後段にカウンター及びフィル
タを介して接続された吸引ポンプからなる微粒子収集装
置において、前記吸引ノズルとカウンターの間にサイク
ロンを配設したことを特徴とする微粒子収集装置。 - 【請求項２】サイクロンの外壁にサイクロンを振動させ
る加振手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の微
粒子収集装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24094397A JPH1183694A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 微粒子収集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24094397A JPH1183694A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 微粒子収集装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1183694A true JPH1183694A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17066965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24094397A Pending JPH1183694A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 微粒子収集装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1183694A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004144664A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Horiba Ltd | 浮遊粒子状物質濃度測定装置 |
| US7526948B2 (en) * | 2005-08-05 | 2009-05-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Device and method for detecting foreign material on the surface of plasma processing apparatus |
| CN102890013A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-23 | 中国神华能源股份有限公司 | 飞灰取样器及火电厂的除灰系统 |
| CN110671713A (zh) * | 2019-09-09 | 2020-01-10 | 武汉市绿色环保能源有限公司 | 垃圾焚烧锅炉旋风分离器防堵吹灰装置 |
| JP2020506406A (ja) * | 2017-02-03 | 2020-02-27 | ペンタゴン テクノロジーズ グループ インコーポレイテッド | 変調空気表面粒子検出器 |
| CN112297626A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置以及液体喷射装置的控制方法 |
| CN112676262A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-04-20 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种元件清洁装置及方法 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP24094397A patent/JPH1183694A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004144664A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Horiba Ltd | 浮遊粒子状物質濃度測定装置 |
| US7526948B2 (en) * | 2005-08-05 | 2009-05-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Device and method for detecting foreign material on the surface of plasma processing apparatus |
| CN102890013A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-23 | 中国神华能源股份有限公司 | 飞灰取样器及火电厂的除灰系统 |
| JP2020506406A (ja) * | 2017-02-03 | 2020-02-27 | ペンタゴン テクノロジーズ グループ インコーポレイテッド | 変調空気表面粒子検出器 |
| US10725061B2 (en) | 2017-02-03 | 2020-07-28 | Pentagon Technologies Group, Inc. | Modulated air surface particle detector |
| CN112297626A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置以及液体喷射装置的控制方法 |
| CN112297626B (zh) * | 2019-07-31 | 2022-08-30 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置以及液体喷射装置的控制方法 |
| CN110671713A (zh) * | 2019-09-09 | 2020-01-10 | 武汉市绿色环保能源有限公司 | 垃圾焚烧锅炉旋风分离器防堵吹灰装置 |
| CN110671713B (zh) * | 2019-09-09 | 2020-11-03 | 武汉市绿色环保能源有限公司 | 垃圾焚烧锅炉旋风分离器防堵吹灰装置 |
| CN112676262A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-04-20 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种元件清洁装置及方法 |
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