JPH1184451A

JPH1184451A - 駆動装置

Info

Publication number: JPH1184451A
Application number: JP9241239A
Authority: JP
Inventors: Akira Kosaka; 明小坂; Ken Nagasaka; 憲長阪
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 1997-09-05
Filing date: 1997-09-05
Publication date: 1999-03-26

Abstract

(57)【要約】【課題】部品の追加なく、接着部まわりの剛性を向上
し、また、電気機械変換素子の放熱、防振を図れるよう
にすることを目的とする。【解決手段】基体３、４上の支持部材１５、３５の電
気機械変換素子２２、４２と対向する部分から、電気機
械変換素子２２、４２の基体３、４への固定部２１、４
１まで延びて、電気機械変換素子２２、４２を覆う覆い
壁６１、６２を形成してそれらを保護することにより、
上記の目的を達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気機械変換素子
の機械的な動きを利用して駆動する駆動装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】この種の駆動装置は、例えば、インパク
トアクチュエータとして知られているピエゾ素子を用
い、このピエゾ素子の一端に接着された駆動部材を振動
させることで駆動力を得ている。図３に撮影や投影を行
うレンズ系の手振れを自動補正する機構に、そのような
駆動装置を適用した場合の従来例を示している。レンズ
群ｌを保持した玉枠ａはこれと同心的な移動枠ｂに対
し、それらのＸ方向の直径線上両側での嵌め合い部ｃお
よびｄによって前記Ｘ方向と直角な向きのＹ方向に移動
できるように保持され、移動枠ｂはこれと同心的な固定
枠ｅに対し、それらのＹ方向の直径線上の両側での嵌め
合い部ｆ、ｇによってＸ方向に移動できるように保持さ
れている。

【０００３】以上の結果、玉枠ａは固定枠ｅに対し、移
動枠ｂを介して互いに直交するＸＹ２方向に移動でき、
この２方向の移動を制御してレンズｌ系の手振れを補正
する。このＹ方向の補正のための駆動機構は、玉枠ａと
移動枠ｂの一方の嵌め合い部ｃを、移動枠ｂ側のピエゾ
素子ｈとこれに接着固定した駆動部材ｉと、玉枠ａの側
の、前記駆動部材ｉに摩擦従動するように嵌め合わせた
移動子ｊとで構成し、ピエゾ素子ｈを駆動したときの駆
動部材ｉの振動を移動子ｊに伝達して、玉枠ａを介しレ
ンズｌ系をＹ方向に位置補正する。またＸ方向の補正の
ための駆動機構は、移動枠ｂと固定枠ｅの一方の嵌め合
い部ｆを、固定枠ｅ側のピエゾ素子ｋとこれに接着結合
した駆動部材ｍと、移動枠ｂの側の、前記駆動部材ｍに
摩擦従動するように嵌め合わせた移動子ｎとで構成し、
ピエゾ素子ｋを駆動したときの駆動部材ｍの振動を移動
子ｎに伝達して、移動枠ｂを介しレンズｌ系をＸ方向に
位置補正する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ピエゾ素子
ｈ、ｋは高周波で振動させていて、これによって発生す
る熱およびその振動自体が、上記従来構成の駆動装置で
はその性能に悪影響を及ぼすことがある。また、駆動部
材ｉ、ｍとピエゾ素子ｈ、ｋとは、レンズｌ系の小さな
スペース内に配置される小さな部材であって、互いの接
着部は大きな接着面積を取れないので外力に弱く、外力
や振動の影響で早期に破損することがときとしてある。
また、ピエゾ素子ｈ、ｋの過度な振動はレンズｌ系の光
学的ぶれの原因になることもある。ピエゾ素子ｈ、ｋの
発熱はそれら自体の運動に影響を与え、所望の特性が得
られないなどの原因になる。

【０００５】本発明の目的は、部品の増加なく、電気機
械変換素子と駆動部材との結合部まわりの剛性を向上
し、また、電気機械変換素子の放熱や振動の抑制が図れ
る駆動装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、電気機械変換
素子と、この電気機械変換素子の一端をこの一端に結合
した固定部を利用するなどして固定した基体と、電気機
械変換素子の他端に結合され、電気機械変換素子と共に
変位する駆動部材と、前記基体に固定され、前記駆動部
材を前記変位方向に案内するように支持する支持部材
と、前記駆動部材に従動する移動部材と、を備えた駆動
装置を基本構成としていて、電気機械変換素子が駆動さ
れると基体へ固定された部分を起点として他端部側が、
この他端部に固定された駆動部材とと共に前記固定部を
起点にして変位し、駆動部材に従動する移動部材を前記
変位分だけ移動させるように駆動する。

【０００７】特に本発明は、上記のような目的達成のた
めに、前記基体上の支持部材の電気機械変換素子と対向
する部分から、電気機械変換素子の基体への固定部まで
延びて、電気機械変換素子を覆う覆い壁を形成したこと
を１つの特徴としている。

【０００８】このように電気機械変換素子が、基体の支
持部材から電気機械変換素子の基体への固定部まで延び
た覆い壁によって覆われていることで、電気機械変換素
子は駆動部材との結合部まわりを含む全長範囲が覆い壁
によって覆われて保護されるので、電気機械変換素子お
よびその駆動部材との結合部の剛性が向上し、外力や振
動の影響で早期に破損するようなことが解消される。さ
らに、覆い壁は支持部材に一体のもので部品点数が増加
しないのでコスト上昇の原因にはならない。

【０００９】本発明はまた、電気機械変換素子の一端に
固定された固定部が基体に固定されていて、前記基体上
の支持部材の電気機械変換素子と対向する部分から、前
記固定部まで延びて、電気機械変換素子を基体との間で
覆うトンネル状の覆い壁を形成したことも特徴としてい
る。

【００１０】このように、電気機械変換素子を覆う覆い
壁が、基体の支持部材から電気機械変換素子の基体への
固定部まで延びたトンネル状の覆い壁であることによっ
て、電気機械変換素子と駆動部材との結合部を含む電気
機械変換素子の全長部分のまわり全域を覆うので、覆い
壁による前記保護、放熱性、および振動抑制の働きがさ
らに増大し、その分耐久性がさらに向上する。

【００１１】本発明はまた、電気機械変換素子の一端に
固定された固定部が基体に固定されていて、前記基体上
の支持部材の電気機械変換素子と対向する部分から、前
記固定部まで延びて、電気機械変換素子を基体上で両側
から覆う凹溝状の覆い壁を形成したことも特徴としてい
る。

【００１２】このように、電気機械変換素子を覆う覆い
壁が、基体の支持部材から電気機械変換素子の基体上の
固定部まで延びた凹溝状の覆い壁であることによって、
電気機械変換素子と駆動部材との結合部を含む電気機械
変換素子の全長部分を両側から覆って、覆い壁による前
記保護の働きを確保しながら、覆い壁が凹溝状の開放し
た簡単な形態をなしているので、製作が容易でその分低
コスト化が図れるし、電気機械変換素子および駆動部材
の双方を露出させることで、点検や保守に便利である。

【００１３】本発明はまた、前記基体と覆い壁とによっ
て形成される電気機械変換素子まわりの空間に熱伝導性
の高い弾性材料を充填したことも特徴としている。

【００１４】このように、基体と覆い壁との間の電気機
械変換素子まわりの空間に弾性材料が充填されているこ
とにより、電気機械変換素子の振動を吸収して減衰させ
られるので、電気機械変換素子の振動の影響を低減し、
耐久性および駆動精度を向上することができる。しか
も、弾性部材は熱伝導性のよい材料よりなるので、電気
機械変換素子から覆い壁への熱伝導を促進し、放熱特性
を向上する。また、この場合は覆い壁が支持部材と一体
の金属部材であることが望ましい。

【００１５】本発明はまた、前記支持部材は駆動部材の
変位方向の複数か所に設けられ、その電気機械変換素子
と対向する側のものに、前記覆い壁が形成されているこ
とも特徴としている。

【００１６】このように、支持部材が駆動部材の変位方
向の複数か所に設けられていると、駆動部材をこれに従
動する移動部材との位置関係を配慮した最適な位置で支
持しながら、それら支持部材の電気機械変換素子と対向
する側のものに前記覆い壁を設けることによって、支持
部材が複数あることに関係なく上記のような構成および
作用効果を満足することができる。

【００１７】なお、本発明は以下の詳細な説明に述べ、
かつ図面に示す他の特徴をも有し、上記の各特徴を含
め、それらの各特徴を必要に応じて単独に採用し、ま
た、複合して採用することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下本発明の駆動装置の幾つかの
実施の形態について図１、図２を参照しながら詳細に説
明する。

【００１９】（実施の形態１）本実施の形態１は前記従
来例のように、撮影や投影を行うレンズ系の手振れを自
動補正する機構に用いた場合の駆動装置の一例である。
手振れの補正はレンズ群１を保持したで環状の玉枠２を
光軸Ｌまわりの互いに直交する例えばＸＹ２方向に移動
させることにより行う。このために、玉枠２はこれと同
心的な金属製で環状の移動枠３に対して、前記２方向の
うち例えばＹ方向に移動できるように支持し、移動枠３
はこれと同心的な環状の固定枠４に対して残るＸ方向に
移動できるように支持する。これにより玉枠２は、移動
枠３と固定枠４との間に挟まれたサンドイッチ状態で
の、移動枠３に対するＹ方向の移動によって、光軸Ｌに
対してＹ方向に単独で位置調整され、移動枠３の固定枠
４に対するＸ方向の移動に同伴することによって、光軸
Ｌに対して移動枠３と共にＸ方向に位置調整される。

【００２０】これらのための玉枠２の移動枠３に対する
支持構造、および移動枠３の固定枠４に対する支持構造
はどのような具体的構成とされてもよい。

【００２１】本実施の形態の場合、玉枠２の移動枠３に
対する支持機構は、玉枠２および移動枠３のＸ方向の直
径線上両側に設けられた嵌め合い部６、７を利用してい
る。

【００２２】嵌め合い部７は玉枠２の側部に玉枠２の平
面と平行でＹ方向に並ぶように一体に配設された一対の
二股状の軸受片１１、１１に、移動枠３の側部に固定し
て設けられた移動枠３の平面と平行でＹ方向に向いたガ
イド軸１２がＹ方向に摺動できるように嵌め合わせてあ
る。嵌め合い部６は玉枠２の側部に一体に設けられた玉
枠２の平面に平行でＹ方向に向く軸受孔１３ａを持った
軸受部１３と、移動枠３の側部に移動枠３の平面と平行
でＹ方向に向く駆動軸１４とをＹ方向に摺動できるよう
に嵌め合わせてある。これらＸ方向の直径線上両側にあ
る各嵌め合い部６、７の案内によって、玉枠２と移動枠
３とが互いに平行に対面し合うと共に、このような対面
状態を保って玉枠２が移動枠３に対しＹ方向に移動でき
る。

【００２３】玉枠２の移動枠３に対する駆動機構Ａは、
電気機械変換素子の一例としてのピエゾ素子２２を駆動
源としている。しかし、電気機械変換機能のある素子で
あればどのような素子でも利用できる。ピエゾ素子２２
の一端２２ａに固定した固定部２１を設け、この固定部
２１を移動枠３の上に一体成形ないしは後付けにて固定
するなどして、ピエゾ素子２２をその一端２２ａ側で移
動枠３の上に固定し、前記固定部２１を起点にＹ方向に
変位できるようにしている。しかし、この固定方法は種
々な方法で行えばよく、例えば、移動枠３の面自体に形
成した段差面に対して固定するなどすることもできる。
ピエゾ素子２２の他端２２ｂには前記Ｙ方向に向く駆動
軸１４を接着などして結合してあり、ピエゾ素子２２と
共に前記固定部２１を起点としてＹ方向に変位される。
駆動軸１４は移動枠３上に一体に設けられあるいは固定
されたＹ方向に並ぶ一対の支持部材１５により前記変位
方向に案内されるように支持されて、各支持部材１５の
間の部分が玉枠２の軸受部１３の軸受孔１３ａに摩擦嵌
合させることにより軸受部１３と摩擦結合され、駆動軸
１４がピエゾ素子２２によって駆動されるときのＹ方向
の変位を軸受部１３を介して玉枠２に伝達し、玉枠２を
Ｙ方向に駆動して、Ｙ方向の手振れの補正を行う。

【００２４】移動枠３の固定枠４に対する支持機構は、
移動枠３および固定枠４のＹ方向の直径線上両側に設け
られた嵌め合い部２６、２７を利用している。嵌め合い
部２７は移動枠３の側部に移動枠３の平面と平行でＸ方
向に並ぶように一体に配設された一対の二股状の軸受片
３１、３１に、固定枠４の側部に固定して設けられた固
定枠４の平面に平行でＸ方向に向くガイド軸３２がＸ方
向に摺動できるように嵌め合わせてある。嵌め合い部２
６は移動枠３の側部に一体に設けられて移動枠３の平面
に平行でＸ方向に向く軸受孔３３ａを持った軸受部３３
と、固定枠４の側部に光軸Ｌに直交する方向に設けられ
た駆動軸３４とをＸ方向に摺動できるように嵌め合わせ
てある。これらＸ方向の直径線上両側にある各嵌め合い
部２６、２７の案内によって、移動枠３と固定枠４とが
互いに平行に対面し合うと共に、このような対面状態を
保って移動枠３が固定枠４に対しＸ方向に移動できる。

【００２５】移動枠３の固定枠４に対する駆動機構Ｂ
は、電気機械変換素子の一例としてのピエゾ素子４２を
駆動源としている。しかし、電気機械変換機能のある素
子であればどのような素子でも利用できる。ピエゾ素子
４２の一端４２ａに固定した固定部４１を設け、この固
定部４１を固定枠４の上に一体成形ないしは後付けして
固定するなどして、ピエゾ素子４２をその一端４２ａ側
で固定枠４の上に固定し、前記固定部４１を起点にＸ方
向に変位できるようにしている。しかし、この固定方法
は種々な方法で行えばよく、例えば、固定枠４の面自体
に形成した段差面に対して固定するなどすることもでき
る。ピエゾ素子４２の他端４２ｂには前記Ｘ方向に向く
駆動軸３４を接着などして結合してあり、ピエゾ素子４
２と共に前記固定部４１を起点としてＸ方向に変位され
る。駆動軸３４は固定枠４上に一体に設けられあるいは
固定されたＸ方向に並ぶ一対の支持部材３５により前記
変位方向に案内されるように支持されて、各支持部材３
５の間の部分が移動枠３の軸受部３３の軸受孔３３ａに
摩擦嵌合させることにより軸受部３３と摩擦結合され、
駆動軸３４がピエゾ素子４２によって駆動されるときの
Ｘ方向の変位を軸受部３３を介して移動枠３に伝達し、
移動枠３を玉枠２を伴いＸ方向に駆動して、Ｘ方向の手
振れの補正を行う。

【００２６】これら駆動機構Ａ、Ｂによって手振れ補正
する基準となる玉枠２のＸＹ２方向の現在位置は、玉枠
２のＸ方向直径線上一か所と、Ｙ方向直径線上一か所と
に設けられたＬＥＤ５１、５２が設けられ、例えばＬＥ
Ｄ５１のＸ方向位置をこれに対応する固定枠４上のＰＳ
Ｄ５３（半導体位置検出器）によって検出した位置情報
と、ＬＥＤ５４のＹ方向位置をこれに対応する固定枠４
上のＰＳＤ５４によって検出した位置情報とから判定さ
れ、検出される現在位置の情報をフィードバックしなが
ら手振れ補正が行われる。光軸Ｌから各駆動機構Ａ、Ｂ
までの距離はほぼ等しくしてある。

【００２７】本実施の形態１では特に、駆動機構Ａで
は、移動枠３上の支持部材１５のピエゾ素子２２側のも
のの、ピエゾ素子２２と対向する部分から、ピエゾ素子
２２の移動枠３への固定部２１まで延びて、ピエゾ素子
２２を覆う覆い壁６１を形成してある。駆動機構Ｂで
も、固定枠４上の支持部材３５のピエゾ素子４２側のも
のの、ピエゾ素子４２と対向する部分から、ピエゾ素子
４２の固定枠４への固定部４１まで延びて、ピエゾ素子
４２を覆う覆い壁６２を形成してある。これら覆い壁６
１、６２はピエゾ素子２２、４２の露出する部分のどこ
をどのように覆うかの具体的な条件は必要に応じて設定
すればよい。

【００２８】このように、ピエゾ素子２２、４２が、支
持基体である移動枠３や固定枠４上の支持部材１５、３
５から固定部２１、４１まで延びた覆い壁６１、６２に
よって覆われていることで、ピエゾ素子２２、４２は駆
動部材としての駆動軸１４、３４との結合部まわりを含
む全長範囲が覆い壁６１、６２によって覆われて保護さ
れるので、ピエゾ素子２２、４２およびそれらの駆動軸
１４、３４との結合部の剛性が向上し、外力や振動の影
響で早期に破損するようなことが解消される。

【００２９】さらに、覆い壁６１、６２は支持部材１
５、３５に一体のもので部品点数が増加しないのでコス
ト上昇の原因にはならない。

【００３０】本実施の形態１の囲い壁６１、６２は、図
１に示すように、支持部材１５、３５のピエゾ素子２
２、４２を玉枠２、移動枠３との間で覆うトンネル状に
形成してることによって、ピエゾ素子２２、４２と駆動
軸１４、３４との結合部を含むピエゾ素子２２、４２全
長部分のまわり全域を覆うので、覆い壁６１、６２によ
る前記保護の働きがさらに増大し、その分耐久性がさら
に向上する。

【００３１】なお、覆い壁６１、６２は固定部２１、４
１に一体成形されたものでもよいし、基体上に一端を固
定された電気機械変換素子の他端部に駆動部材を結合
し、この駆動部材に従動する移動部材を電気機械変換素
子の変位によって駆動するどのような駆動装置にも本発
明は適用できる。

【００３２】本実施の形態では、基体となっている移動
枠３や固定枠４と覆い壁６１、６２とによって形成され
るピエゾ素子２２、４２まわりの空間に熱伝導性の高い
弾性部材６３を充填してある。このような弾性部材６３
としては熱拡散用シリコンゴムなどがある。このよう
に、移動枠３や固定枠４と覆い壁６１、６２との間のピ
エゾ素子２２、４２まわりの空間に弾性部材６３が充填
されていることにより、ピエゾ素子２２、４２の振動を
吸収して減衰させられるので、ピエゾ素子２２、４２の
振動の影響を低減し、耐久性および駆動精度をさらに向
上することができる。しかも、弾性部材６３は熱伝導性
のよい材料よりなるので、ピエゾ素子２２、４２から覆
い壁６１、６２への熱伝導を促進し、放熱性を向上す
る。また、この場合覆い壁６１、６２が支持部材１５、
３５と一体の金属性部材であることが望まし。

【００３３】また、前記支持部材１５、３５は駆動軸１
４、３４の変位方向の２か所に設けられ、その電気機械
変換素子と対向する側のものに、前記覆い壁が形成され
ていることも特徴としている。

【００３４】このように、支持部材が駆動部材の変位方
向の複数か所に設けられているが、それらのピエゾ素子
２２、４２と対向する側のものに前記覆い壁６１、６２
を一体形成してあり、支持部材１５、３５が駆動軸１
４、３４の変位に従動する移動部材である軸受部１３、
３３およびこれらと一体の玉枠２、移動枠３との位置関
係を配慮した最適な位置で駆動軸１４、３４を支持しな
がら、それら支持部材１５、３５のピエゾ素子２２、４
２と対向する側のものに前記覆い壁６１、６２を設ける
ことによって、支持部材１５、３５が複数あることに関
係なく上記のような構成および作用効果を満足すること
ができる。

【００３５】（実施の形態２）本実施の形態２は図２に
示すように、駆動源であるピエゾ素子２２、４２の一端
に固定された固定部２１、４１が、実施の形態１の場合
のように移動枠３および固定枠４に固定されていて、移
動枠３および固定枠４上の支持部材１５、３５のピエゾ
素子２２、４２と対向する部分から、前記固定部２１、
４１まで延びて、ピエゾ素子２２、４２を移動枠３およ
び固定枠４上で両側から覆う凹溝状に形成した点が実施
の形態１の場合と異なっている。他の構成は実施の形態
１の場合と変わらないので、同じ部材には同じ符号を付
して重複する説明は省略する。

【００３６】このように、ピエゾ素子２２、４２を覆う
覆い壁６１、６２が、移動枠３および固定枠４の支持部
材１５、３５からピエゾ素子２２、４２の移動枠３およ
び固定枠４上の固定部２１、４１まで延びた凹溝状の覆
い壁６１、６２であることによって、ピエゾ素子２２、
４２と駆動軸１４、３４との結合部を含むピエゾ素子２
２、４２の全長部分を両側から覆って、覆い壁６１、６
２による前記保護、放熱性、および振動抑制の働きを確
保しながら、覆い壁６１、６２が凹溝状の開放した簡単
な形態をなしているので、製作が容易でその分低コスト
化が図れるし、ピエゾ素子２２、４２および駆動軸１
４、３４の双方を露出させることで、点検や保守に便利
である。

【００３７】

【発明の効果】本発明の１つの特徴によれば、電気機械
変換素子は駆動部材との結合部まわりを含む全長範囲が
覆い壁によって覆われて保護されるので、電気機械変換
素子およびその駆動部材との結合部の剛性が向上し、外
力や振動の影響で早期に破損するようなことが解消され
る。また、覆い壁により電気機械変換素子が駆動される
ときに発生する熱を放熱させやすく、電気機械変換素子
およびまわりへの熱影響を抑制することができ、駆動ず
れが生じるようなことを防止でき、かつ、電気機械変換
素子が駆動されるときの振動も抑制することができるの
で、耐久性および駆動精度ともに向上する。さらに、覆
い壁は支持部材に一体のもので部品点数が増加しないの
でコスト上昇の原因にはならない。

【００３８】本発明の別の特徴によれば、覆い壁がトン
ネル状で、電気機械変換素子と駆動部材との結合部を含
む電気機械変換素子の全長部分のまわり全域を覆うの
で、覆い壁による前記保護の働きがさらに増大し、その
分耐久性が向上する。

【００３９】本発明のまた別の特徴によれば、覆い壁が
凹溝状であることによって、電気機械変換素子と駆動部
材との結合部を含む電気機械変換素子の全長部分を両側
から覆って、覆い壁による前記保護の働きを確保しなが
ら、覆い壁が凹溝状の開放した簡単な形態をなしている
ので、製作が容易でその分低コスト化が図れるし、電気
機械変換素子および駆動部材の双方を露出させること
で、点検や保守に便利である。

【００４０】本発明の今１つの特徴によれば、基体と覆
い壁との間の電気機械変換素子まわりの空間に充填した
弾性材料が、電気機械変換素子の振動を吸収して減衰さ
せて、電気機械変換素子の振動の影響を低減し、耐久性
および駆動精度を向上することができる。しかも、弾性
部材は熱伝導性がよいので、電気機械変換素子から覆い
壁への熱伝導を促進し、放熱特性を向上する。

【００４１】本発明のさらに別の特徴によれば、複数の
支持部材により、駆動部材をこれに従動する移動部材と
の位置関係を配慮した最適な位置で支持しながら、複数
の支持部材の電気機械変換素子と対向する側のものに前
記覆い壁を設けることによって、支持部材が複数あるこ
とに関係なく上記のような構成および作用効果を満足す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１としての駆動装置を採用
したレンズ系の手振れ補正装置を分解して示す斜視図で
ある。

【図２】本発明の実施の形態２としての駆動装置を採用
したレンズ系の手振れ補正装置を分解して示す斜視図で
ある。

【図３】従来の駆動装置を採用したレンズ系の手振れ補
正装置を分解して示す斜視図である。

【符号の説明】

２玉枠３移動枠４固定枠６、７、２６、２７嵌め合い部１４、３４駆動軸１５、３５支持部材２１、４１固定部２２、４２ピエゾ素子２２ａ、４２ａ一端２２ｂ、４２ｂ他端６１、６２覆い壁６３弾性部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の一端を固定した基体と電気機械
変換素子の他端に結合され、電気機械変換素子と共に前
記固定部を起点に変位する駆動部材と、前記基体に固定され、前記駆動部材を前記変位方向に案
内するように支持する支持部材と、前記駆動部材に従動する移動部材と、を備えた駆動装置
において、前記支持部材の電気機械変換素子と対向する部分から、
電気機械変換素子の基体への固定部まで延びて、電気機
械変換素子を覆う覆い壁を形成したことを特徴とする駆
動装置。
【請求項２】電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の一端に結合された固定部と、電気機械変換素子の他端に結合され、電気機械変換素子
と共に前記固定部を起点に変位する駆動部材と、前記固定部を固定して電気機械変換素子および駆動部材
を保持した基体と、この基体に固定され、前記駆動部材を前記変位方向に案
内するように支持する支持部材と、前記駆動部材に従動する移動部材と、を備えた駆動装置
において、前記支持部材の電気機械変換素子と対向する部分から、
前記固定部まで延びて、電気機械変換素子を前記基体と
の間で覆うトンネル状の覆い壁を形成したことを特徴と
する駆動装置。
【請求項３】電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の一端に結合された固定部と、電気機械変換素子の他端に結合され、電気機械変換素子
と共に前記固定部を起点に変位する駆動部材と、前記固定部を固定して電気機械変換素子および駆動部材
を保持した基体と、前記基体に固定され、前記駆動部材を前記変位方向に案
内するように支持する支持部材と、前記駆動部材に従動する移動部材と、を備えた駆動装置
において、前記支持部材の電気機械変換素子と対向する部分から、
前記固定部まで延びて、電気機械変換素子を前記基体上
で両側から覆う凹溝状の覆い壁を形成したことを特徴と
する駆動装置。
【請求項４】前記基体と覆い壁とによって形成される
電気機械変換素子まわりの空間に熱伝導性の高い弾性材
料を充填した請求項１〜３のいずれか一項に記載の駆動
装置。
【請求項５】前記支持部材は駆動部材の変位方向の複
数か所に設けられ、その電気機械変換素子と対向する側
のものに、前記覆い壁が形成されている請求項１〜４の
いずれか一項に記載の駆動装置。