JPH1188109A - 表面弾性波フイルタ - Google Patents
表面弾性波フイルタInfo
- Publication number
- JPH1188109A JPH1188109A JP26817497A JP26817497A JPH1188109A JP H1188109 A JPH1188109 A JP H1188109A JP 26817497 A JP26817497 A JP 26817497A JP 26817497 A JP26817497 A JP 26817497A JP H1188109 A JPH1188109 A JP H1188109A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- piezoelectric substrate
- thin film
- wave filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 abstract 2
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 abstract 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】入力インターデジタル電極２付近で発生したバ
ルク波が基板内部を通り、表面と裏面で反射を繰り返し
出力インターデジタル電極３に到達して帯域内外に悪影
響を及ぼすことを防止する。 【解決手段】表面弾性波を伝播する圧電基板１の表面に
１対の入力インターデジタル電極２と１対の出力インタ
ーデジタル電極３を対向して設け、それらの電極間にア
ース電極４を配置した表面弾性波フイルタにおいて、圧
電基板１裏面全体に金属薄膜６をコートした。
ルク波が基板内部を通り、表面と裏面で反射を繰り返し
出力インターデジタル電極３に到達して帯域内外に悪影
響を及ぼすことを防止する。 【解決手段】表面弾性波を伝播する圧電基板１の表面に
１対の入力インターデジタル電極２と１対の出力インタ
ーデジタル電極３を対向して設け、それらの電極間にア
ース電極４を配置した表面弾性波フイルタにおいて、圧
電基板１裏面全体に金属薄膜６をコートした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は表面弾性波を利用
した表面弾性波フイルタに係わり、特に、素子裏面の接
地として素子裏面全体および側面に金属薄膜をコートす
ることにより不要波の反射を防止して通過帯域外の特性
を向上させた表面弾性波フイルタに関する。
した表面弾性波フイルタに係わり、特に、素子裏面の接
地として素子裏面全体および側面に金属薄膜をコートす
ることにより不要波の反射を防止して通過帯域外の特性
を向上させた表面弾性波フイルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電素子の表面弾性波を利用して所定の
周波数特性を得る表面弾性波フイルタが知られている。
このような従来の表面弾性波フイルタの例を図２に示
す。図に示す圧電基板１は圧電効果を有するいわゆる圧
電素子で作られた基板であり、入力インターデジタル
（対向櫛歯形状）電極２および出力インターデジタル電
極３が積層されている。
周波数特性を得る表面弾性波フイルタが知られている。
このような従来の表面弾性波フイルタの例を図２に示
す。図に示す圧電基板１は圧電効果を有するいわゆる圧
電素子で作られた基板であり、入力インターデジタル
（対向櫛歯形状）電極２および出力インターデジタル電
極３が積層されている。
【０００３】入力インターデジタル電極２は一対の櫛歯
形状部が対向したものであり、櫛歯形状部の交差幅は適
当に重み付けが施されいわゆるアポダイズ型インターデ
ジタル電極となっている。入力インターデジタル電極２
と表面弾性波通過帯域を介して配置された出力インター
デジタル電極３は一対の櫛歯形状部が対向したものであ
り、櫛歯形状部の交差幅は一定であり正規型インターデ
ジタル電極となっている。
形状部が対向したものであり、櫛歯形状部の交差幅は適
当に重み付けが施されいわゆるアポダイズ型インターデ
ジタル電極となっている。入力インターデジタル電極２
と表面弾性波通過帯域を介して配置された出力インター
デジタル電極３は一対の櫛歯形状部が対向したものであ
り、櫛歯形状部の交差幅は一定であり正規型インターデ
ジタル電極となっている。
【０００４】入力インターデジタル電極２と出力インタ
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。これらの各電極はアルミニ
ューム薄膜で形成されている。入力インターデジタル電
極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾性波の
反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布されてい
る。圧電基板１の裏面にはすりガラス状に表面あらし７
を施し、その裏面が導電性接着剤９によりバッケージ８
に貼り付けられている。
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。これらの各電極はアルミニ
ューム薄膜で形成されている。入力インターデジタル電
極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾性波の
反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布されてい
る。圧電基板１の裏面にはすりガラス状に表面あらし７
を施し、その裏面が導電性接着剤９によりバッケージ８
に貼り付けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の表面弾
性波フイルタでは、導電性接着剤９の貼り付けにむらが
発生しやすい。特に圧電基板１のチップが大きいほどそ
の傾向が増大する。貼り付けにむらがあると、圧電基板
１の内部から伝播したバルク波（縦波と横波）が完全に
アースに落とし込めず、結果的に帯域外の特性が劣化す
る。例えば、帯域外で抑圧したい箇所が４０ｄＢである
所が３５ｄＢとなる。このような現象があると、量産時
のチップ間バラツキが生じ、歩留まりを悪化させるとい
う問題が生じる。
性波フイルタでは、導電性接着剤９の貼り付けにむらが
発生しやすい。特に圧電基板１のチップが大きいほどそ
の傾向が増大する。貼り付けにむらがあると、圧電基板
１の内部から伝播したバルク波（縦波と横波）が完全に
アースに落とし込めず、結果的に帯域外の特性が劣化す
る。例えば、帯域外で抑圧したい箇所が４０ｄＢである
所が３５ｄＢとなる。このような現象があると、量産時
のチップ間バラツキが生じ、歩留まりを悪化させるとい
う問題が生じる。
【０００６】この発明は上記した点に鑑みてなされたも
のであって、その目的とするところは、チップ底面や端
面でバルク波を完全にアースに落とし込むことにより、
特性の劣化することのない表面弾性波フイルタを提供す
ることにある。
のであって、その目的とするところは、チップ底面や端
面でバルク波を完全にアースに落とし込むことにより、
特性の劣化することのない表面弾性波フイルタを提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の表面弾性波フ
イルタは、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対
の入力インターデジタル電極と１対の出力インターデジ
タル電極を対向して設け、それらの電極間にアース電極
を配置した表面弾性波フイルタにおいて、前記圧電基板
裏面全体および側面に金属薄膜をコートしたものであ
る。
イルタは、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対
の入力インターデジタル電極と１対の出力インターデジ
タル電極を対向して設け、それらの電極間にアース電極
を配置した表面弾性波フイルタにおいて、前記圧電基板
裏面全体および側面に金属薄膜をコートしたものであ
る。
【０００８】また、この発明の表面弾性波フイルタは、
表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対の入力イン
ターデジタル電極と１対の出力インターデジタル電極を
対向して設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記圧電
基板裏面全体に金属薄膜をコートし、圧電基板を前記金
属薄膜を介して導電性接着剤を用いてパッケージベース
に接合したものである。
表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対の入力イン
ターデジタル電極と１対の出力インターデジタル電極を
対向して設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記圧電
基板裏面全体に金属薄膜をコートし、圧電基板を前記金
属薄膜を介して導電性接着剤を用いてパッケージベース
に接合したものである。
【０００９】さらに、この発明の表面弾性波フイルタ
は、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対の入力
インターデジタル電極と１対の出力インターデジタル電
極を対向して設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記
圧電基板裏面全体および側面に金属薄膜をコートし、圧
電基板を前記金属薄膜を介して導電性接着剤を用いて非
磁性のパッケージベースに接合したものである。
は、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対の入力
インターデジタル電極と１対の出力インターデジタル電
極を対向して設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記
圧電基板裏面全体および側面に金属薄膜をコートし、圧
電基板を前記金属薄膜を介して導電性接着剤を用いて非
磁性のパッケージベースに接合したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の実施例である表面弾性
波フイルタを図１に基づいて説明する。図に示す圧電基
板１は圧電効果を有するいわゆる圧電素子で作られた基
板であり、入力インターデジタル（対向櫛歯形状）電極
２および出力インターデジタル電極３が積層されてい
る。
波フイルタを図１に基づいて説明する。図に示す圧電基
板１は圧電効果を有するいわゆる圧電素子で作られた基
板であり、入力インターデジタル（対向櫛歯形状）電極
２および出力インターデジタル電極３が積層されてい
る。
【００１１】入力インターデジタル電極２は一対の櫛歯
形状部が対向したものであり、櫛歯形状部の交差幅は適
当に重み付けが施されいわゆるアポダイズ型インターデ
ジタル電極となっている。入力インターデジタル電極２
と表面弾性波通過帯域を介して配置された出力インター
デジタル電極３は一対の櫛歯形状部が対向したものであ
り、櫛歯形状部の交差幅は一定であり正規型インターデ
ジタル電極となっている。
形状部が対向したものであり、櫛歯形状部の交差幅は適
当に重み付けが施されいわゆるアポダイズ型インターデ
ジタル電極となっている。入力インターデジタル電極２
と表面弾性波通過帯域を介して配置された出力インター
デジタル電極３は一対の櫛歯形状部が対向したものであ
り、櫛歯形状部の交差幅は一定であり正規型インターデ
ジタル電極となっている。
【００１２】入力インターデジタル電極２と出力インタ
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。これらの各電極はアルミニ
ューム薄膜で形成されている。入力インターデジタル電
極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾性波の
反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布されてい
る。圧電基板１の裏面にはすりガラス状に表面あらし７
が施され、導電性接着剤９により金属薄膜６が貼り付け
られてコートされる。金属薄膜６は導電性接着剤９によ
りバッケージ８に貼り付けられている。
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。これらの各電極はアルミニ
ューム薄膜で形成されている。入力インターデジタル電
極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾性波の
反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布されてい
る。圧電基板１の裏面にはすりガラス状に表面あらし７
が施され、導電性接着剤９により金属薄膜６が貼り付け
られてコートされる。金属薄膜６は導電性接着剤９によ
りバッケージ８に貼り付けられている。
【００１３】圧電基板１の表面の入力インターデジタル
電極２付近で発生したバルク波が基板内部を通り、表面
と裏面で反射を繰り返し出力インターデジタル電極３に
到達して帯域内外に悪影響を及ぼすことが、圧電基板１
の裏面の表面あらし７、金属薄膜６および導電性接着剤
９により防止することができる。特に、帯域外特性で現
れる抑圧度の悪影響に効果的である。また、外部影響に
よる特性劣化は金属薄膜６により改善される。すなわち
接地効果が良くなる。このように外部からの影響を受け
ないのでバッケージ８として非磁性材料を用いることが
できる。
電極２付近で発生したバルク波が基板内部を通り、表面
と裏面で反射を繰り返し出力インターデジタル電極３に
到達して帯域内外に悪影響を及ぼすことが、圧電基板１
の裏面の表面あらし７、金属薄膜６および導電性接着剤
９により防止することができる。特に、帯域外特性で現
れる抑圧度の悪影響に効果的である。また、外部影響に
よる特性劣化は金属薄膜６により改善される。すなわち
接地効果が良くなる。このように外部からの影響を受け
ないのでバッケージ８として非磁性材料を用いることが
できる。
【００１４】圧電基板１の端面の表面弾性波の反射は従
来と同様にシリコンゴム系のダンパー剤５、５により防
止される。
来と同様にシリコンゴム系のダンパー剤５、５により防
止される。
【００１５】実施例は以上のように構成されているが発
明はこれに限られず、例えば、圧電基板の側面にも金属
薄膜をコートすることにより側面でのバルク波の反射を
防止して特性をより改善することができる。
明はこれに限られず、例えば、圧電基板の側面にも金属
薄膜をコートすることにより側面でのバルク波の反射を
防止して特性をより改善することができる。
【００１６】
【発明の効果】この発明の表面弾性波フイルタによれ
ば、表面弾性波以外の不要波（特にバルク波）の除去に
効果的であり、製造上のチップ間のバラツキをなくし、
信頼性の向上および歩留まりの向上を図ることができ
る。
ば、表面弾性波以外の不要波（特にバルク波）の除去に
効果的であり、製造上のチップ間のバラツキをなくし、
信頼性の向上および歩留まりの向上を図ることができ
る。
【図１】この発明の実施例である表面弾性波フイルタの
概略構成を示す側面図である。
概略構成を示す側面図である。
【図２】従来の表面弾性波フイルタの例を示す側面図で
ある。
ある。
１ 圧電基板 ２ 入力インターデジタル電極 ３ 出力インターデジタル電極 ４ アース電極 ５ ダンパー剤 ６ 金属薄膜 ７ 表面あらし ８ パッケージ ９ 導電性接着剤
Claims (3)
- 【請求項１】 表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に
１対の入力インターデジタル電極と１対の出力インター
デジタル電極を対向して設け、それらの電極間にアース
電極を配置した表面弾性波フイルタにおいて、前記圧電
基板裏面全体および側面に金属薄膜をコートしたことを
ことを特徴とする表面弾性波フイルタ。 - 【請求項２】 表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に
１対の入力インターデジタル電極と１対の出力インター
デジタル電極を対向して設けた表面弾性波フイルタにお
いて、前記圧電基板裏面全体に金属薄膜をコートし、圧
電基板を前記金属薄膜を介して導電性接着剤を用いてパ
ッケージベースに接合したことをことを特徴とする表面
弾性波フイルタ。 - 【請求項３】 表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に
１対の入力インターデジタル電極と１対の出力インター
デジタル電極を対向して設けた表面弾性波フイルタにお
いて、前記圧電基板裏面全体および側面に金属薄膜をコ
ートし、圧電基板を前記金属薄膜を介して導電性接着剤
を用いて非磁性のパッケージベースに接合したことをこ
とを特徴とする表面弾性波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26817497A JPH1188109A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 表面弾性波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26817497A JPH1188109A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 表面弾性波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1188109A true JPH1188109A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=17454950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26817497A Pending JPH1188109A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 表面弾性波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1188109A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6329887B1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-12-11 | Lg Electronics Inc. | Surface acoustic wave filter package |
| US8564173B2 (en) | 2010-05-26 | 2013-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
-
1997
- 1997-09-12 JP JP26817497A patent/JPH1188109A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6329887B1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-12-11 | Lg Electronics Inc. | Surface acoustic wave filter package |
| US8564173B2 (en) | 2010-05-26 | 2013-10-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08125485A (ja) | ラブ波デバイス | |
| US4096455A (en) | Surface wave termination for saw device | |
| KR20010101541A (ko) | 탄성파 장치 | |
| US4322651A (en) | Acoustic surface wave device | |
| CA1176720A (en) | Acoustic wave devices | |
| US5714830A (en) | Free edge reflective-type surface acoustic wave device | |
| JPH1188109A (ja) | 表面弾性波フイルタ | |
| JPH05283971A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH09266431A (ja) | 体積超音波トランスジューサ及び弾性表面波装置 | |
| JPH05251980A (ja) | 弾性表面波デバイスおよびその実装構造 | |
| JPH042498Y2 (ja) | ||
| JPH04281611A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2000341083A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JPH02198211A (ja) | 表面弾性波共振子 | |
| JPS60256214A (ja) | 弾性波装置 | |
| JPH09261000A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JP3189467B2 (ja) | エラスティックコンボルバ | |
| JPH0697757A (ja) | 表面実装用弾性表面波フィルタ | |
| JP2000315934A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH09153767A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH0548380A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH06132778A (ja) | 厚み滑り振動モードを利用したセラミックフィルタ | |
| JPS587704Y2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2001251157A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0998055A (ja) | 弾性表面波装置 |