JPH1189257A

JPH1189257A - 振動型アクチュエータ

Info

Publication number: JPH1189257A
Application number: JP9242552A
Authority: JP
Inventors: Kazumasa Onishi; 一正大西; Yoshiro Tomikawa; 義朗富川
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1997-09-08
Filing date: 1997-09-08
Publication date: 1999-03-30

Abstract

(57)【要約】【課題】振動型のアクチュエータとして圧電モータが
あるが、動力伝達部に摩擦構造が必要であり、摩耗や発
熱の問題がある。【解決手段】ｙ方向へ移動可能なように車輪を有する
支持体１に振動子３が支持されている。振動子３には圧
電素子４により捻り振動の角速度＋Ωと−Ωが交互に与
えられ、これに同期して圧電素子５により曲げ振動の速
度＋Ｖと−Ｖが交互に与えられる。その結果、振動子に
コリオリ力Ｆｃが発生し、支持体１が等加速度にて移動
する。移動力の発揮に摩擦力が作用しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自らが所定方向へ
移動する振動型アクチュエータ、または被制御物に対し
て所定方向の力を与え続ける振動型アクチュエータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば圧電素子を用いたアクチュエータ
として、圧電モータがある。これは、圧電素子により振
動体を直線的に往復するように振動させ、または振動体
に軸回りの歪みが与えられる。そして、前記振動体が接
する可動体が、前記振動体との摩擦により直線的に連続
送りされ、または前記摩擦により可動体が軸回りに回転
させられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記圧電モータは、低
速度回転で高トルクを実現でき、また低騒音である点で
優れている。しかし、振動体と可動体との摩擦力で、前
記可動体を動作させる構造であるため、摩擦によるエネ
ルギー損失が発生し、エネルギーの伝達効率が必ずしも
良いとはいえない。また摩擦力により振動体と可動体と
の接触部に磨耗が生じ、また発熱する問題点がある。ま
た、従来の圧電モータでは、可動体に等速度運動を与え
ることは可能であるが、等加速度運動を与えることはで
きない。

【０００４】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、摩擦力が発生する伝達手段を介在させることな
く、支持体を所定の方向へ移動させることができ、また
等加速度運動を生じさせることが可能な振動型アクチュ
エータを提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の振動型アクチュ
エータは、支持体に、所定の質量と、この質量に対し所
定の軸回りに逆向きの角速度を交互に且つ周期的に与え
る角速度付与手段と、前記質量に対し、前記軸と交叉す
る方向への振動を、前記逆向きの角速度が与えられる周
期と同じ周期で与える振動付与手段とが設けられ、前記
質量に対し、前記角速度と前記振動の速度に基づくコリ
オリ力が、前記軸および前記振動方向の双方と交叉する
同じ方向へ与えられ、前記支持体は、このコリオリ力が
作用する方向へ移動可能とされていることを特徴とする
ものである。

【０００６】また、支持体と、この支持体が移動する固
定部との間に、クラッチ機構を有するローラやレールま
たは摩擦機構を介在させ、支持体が前記コリオリ力が作
用する方向にのみ移動し、これと逆方向へ移動しないよ
うに構成することが好ましい。

【０００７】例えば、前記質量を有する振動子が設けら
れ、前記角速度付与手段と前記振動付与手段とで、前記
振動子に軸回りの捻り振動と、前記軸と交叉する方向へ
の曲げ振動の、複合振動が与えられるものとなる。

【０００８】上記振動子の構成としては、以下のものが
例示される。軸体が設けられ、この軸体は中心部を節と
してその両側にそれぞれ振動子が形成され、前記角速度
付与手段により前記両振動子に互いに逆回りの捻り振動
が与えられ、且つ前記振動付与手段により、両振動子に
前記軸と交叉する方向の互いに逆位相の曲げ振動が与え
られる。

【０００９】または、基端部が互いに連結されて平行に
延びる複数の振動子を有する音叉型の振動体が設けら
れ、前記角速度付与手段により、各振動子に互いに逆回
りの捻り振動が与えられ、且つ前記振動付与手段によ
り、各振動子に対し振動子の自由端が開閉する振動が与
えられる。

【００１０】あるいは、円板状の振動子が設けられ、前
記角速度付与手段により、前記円板に対しその軸回りの
角速度が与えられ、且つ前記振動付与手段により、前記
円板に、前記軸に交叉する方向への膨張と収縮とを交互
に繰り返す振動が与えられる。

【００１１】本発明では、空間内または液体内で移動可
能な支持体が設けられ、この支持体上に設けられた所定
の質量に、互いに逆方向の角速度が与えられ、且つこの
角速度が変化する周期に同期させて、前記質量に、角速
度の中心となる軸と交叉する方向、好ましくは直交する
方向へ振動が与えられる。この振動による質量の速度と
前記角速度とで、コリオリ力が発生する。前記の角速度
の周期と振動の周期が同期しているため、前記コリオリ
力は常に同じ方向へ高い周波数の増減力として作用す
る。よって支持体は空間内または液体内で移動する。特
に、支持体をコリオリ力が作用する方向へのみ移動でき
るようにしその逆方向へ移動できない構造としておくこ
とにより、支持体はコリオリ力が作用する方向へスムー
スに移動できるようになる。

【００１２】この振動型アクチュエータは、振動力が支
持体の駆動力に変換される過程で、従来の圧電モータの
ような摩擦力に頼る部分が存在しないため、移動抵抗
は、支持体が移動する際の摩擦抵抗、空気抵抗、流体抵
抗などのみとなり、エネルギーの利用効率がよくなる。
また従来の圧電モータのように、摩擦による磨耗しやす
い部分や、発熱する部分がなくなる。よって長寿命を実
現でき、また使用している環境に大きな熱を与えること
がなく、恒温環境化での使用に適する。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の振動型アクチュエ
ータの第１の実施の形態を示す斜視図、図２（Ａ）
（Ｂ）はその動作モードの説明図である。支持体１は、
空間内や液体内で移動可能なものであり、例えば車輪２
を有し、またはレールなどを有してｙ方向へ移動可能と
されている。特に支持体が＋ｙ方向にのみ移動でき、そ
の逆方向へ移動できないように、一方向クラッチローラ
などを設けることが好ましい。

【００１４】支持体１の上には、この支持体１の移動方
向となるｙ方向と直交する方向に軸Ｏを有する振動子３
が設けられている。この振動子３は、円柱状の腕部３ａ
とこの腕部３ａの自由端に固定された錘３ｂとを有して
おり、腕部３ａの基端部は、支持体１の上面に固定され
ている。前記振動子３の腕部３ａは恒弾性材料により形
成されている。振動子３の腕部３ａのうちの振動部分の
質量をｍ１、錘３ｂの質量をｍ２とすると、この振動子
３の振動部分の質量は、ほぼＭ＝ｍ１＋ｍ２である。

【００１５】腕部３ａの基端には、角速度付与手段とし
て、捻り振動を発生する圧電素子４が設けられている。
この圧電素子４により、前記腕部３ａおよび錘３ｂに対
して軸Ｏに対して時計回りの角速度＋Ωと、これと逆向
きの反時計回りの角速度−Ωとが、交互に一定の周期で
与えられる。また腕部３ａのｘ方向の両側面または片側
面に、振動付与手段として、圧電素子５が貼着されてい
る。この圧電素子５により、腕部３ａおよび錘３ｂに、
ｘ方向への曲げ振動が与えられ、腕部３ａおよび錘３ｂ
に、前記軸Ｏと直交する＋ｘ方向への速度＋Ｖと、−ｘ
方向への速度−Ｖとが、交互に与えられる。

【００１６】圧電素子４に与えられる駆動電力と、圧電
素子５に与えられる駆動電力は、その周期が一致してい
る。その結果、振動子３は、捻り振動と曲げ振動との複
合振動を発生する。また、図２（Ａ）に示すように、振
動子３に対し角速度−Ωが与えられているときに、曲げ
振動による速度−Ｖが与えられ、図２（Ｂ）に示すよう
に、角速度＋Ωが与えられるとき、曲げ振動による速度
＋Ｖが与えられる。その結果、支持体１に搭載されてい
る運動系により、前記角速度Ωの中心となる軸Ｏ方向
（ｚ方向）、および速度Ｖが与えられる振動方向（ｘ方
向）の双方に直交する方向（ｙ方向）に、コリオリ力Ｆ
ｃが作用し、支持体１は＋ｙ方向への力を受けて移動す
る。このコリオリ力は、前記捻り振動および曲げ振動の
周期と同じ周期で増減するものであるが、この増減する
コリオリ力の平均値が、支持体１に対する移動力として
常に作用し、その結果、支持体１は等加速度運動を生じ
る。

【００１７】また、車輪２を一方向クラッチローラとし
ておき、支持体１が＋ｙ方向へのみ移動できる構造にし
ておくと、振動子３に対して周期的に作用するコリオリ
力Ｆｃにより、支持体１が＋Ｙ方向へスムースに移動で
きるようになる。ここで前記コリオリ力Ｆｃ（絶対値）
は、以下の数１で表される

【００１８】

【数１】Ｆｃ＝２・Ｍ・Ｖ・Ω

【００１９】（ただし、Ｆｃ，Ｖ，Ω，はそれぞれ絶対
値）次に、前記ΩおよびＶを求める。振動子３の捻り振動の
最大振幅をＡθ（ｒａｄ；ラジアン）、振動子３のｘ方
向への曲げ振動の最大振幅をＡｕとすると、捻り振動に
よる振動子３の変位量θおよび曲げ振動の変位量ｕは、
以下の式で近似できる。

【００２０】

【数２】θ＝Ａθ・ｃｏｓ（ω・ｔ）ｕ＝Ａｕ・ｃｏｓ（ω・ｔ）

【００２１】（ただし、ω＝２・π・ｆである。ｆは振
動周波数であるが、捻り振動と曲げ振動が同期している
ため、捻り振動と曲げ振動においてωは同一である。ｔ
は時間である。）よって、経時的に変化する捻り振動に
より振動子３に生じる角速度Ωと、曲げ振動により振動
子３に生じる速度Ｖは以下の通りである。

【００２２】

【数３】 Ω＝（ｄθ／ｄｔ）＝Ａθ・ω・ｓｉｎ（ω・ｔ）Ｖ＝（ｄｕ／ｄｔ）＝Ａｕ・ω・ｓｉｎ（ω・ｔ）

【００２３】例えば、前記質量Ｍ＝１０（ｇ）、振動周
波数ｆ＝２０（ｋＨｚ）、捻りによる最大振幅Ａθ＝π
／１８０（ｒａｄ）、曲げ振動による最大振幅Ａｕ＝
１．０（μｍ）、とすると、前記コリオリ力Ｆｃは、約
５５１．２×１０³（ｄｙｎｅ）であり、これはほぼ５
６０（ｇ重）である。この条件のとき、支持体１は常に
前記コリオリ力Ｆｃを受けながら、等加速度運動を生じ
る。また、このアクチュエータにより、常に他の被制御
物に押圧力を与え続けることも可能である。

【００２４】図３は本発明の振動型アクチュエータの第
２の実施の形態を示す斜視図、図４（Ａ）（Ｂ）はその
動作モードの説明図である。図３に示す振動型アクチュ
エータでは、支持体１の上に所定の質量の軸体１３が、
その軸中心Ｏをｘ方向に向けて設置されている。この軸
体１３は恒弾性材料で形成されており、その軸方向の中
心が、振動の節となるように、ブラケット１１で、支持
体１上に剛性支持されている。そしてこのブラケット１
１での支持部の両側の部分が振動子１３ａと振動子１３
ｂになっている。

【００２５】振動子１３ａと１３ｂの基端部とブラケッ
ト１１との間には、角速度付与手段として捻り振動型の
圧電素子１４，１４が介装されている。また各振動子１
３ａと１３ｂのｚ方向の両側面または一方の側面に、振
動付与手段として曲げ振動を生じさせる圧電素子１５，
１５が貼着されている。この実施の形態では、圧電素子
１４と１４とで、振動子１３ａと１３ｂに対し、軸中心
Ｏ回りの互いに逆向きの捻り振動が与えられる。例えば
振動子１３ａが角速度−Ωを生じる捻り振動の位相のと
き、振動子１３ｂは角速度＋Ωを生じる捻り振動の位相
となる。また、振動子１３ａが＋Ωの角速度を持つと
き、振動子１３ｂは−Ωの角速度を持つ。

【００２６】また圧電素子１５，１５により、振動子１
３ａと振動子１３ｂに対しｚ方向への互いに逆向きの
（逆位相となる）曲げ振動が与えられる。例えば、振動
子１３ａに速度−Ｖを有する曲げ振動が与えられると
き、振動子１３ｂにはその逆向きの速度＋Ｖを有する曲
げ振動が与えられる。しかも、捻り振動の周波数と、曲
げ振動の周波数は一致しており、捻り振動と曲げ振動は
同期している。

【００２７】図４（Ａ）に示すように、振動子１３ａに
角速度−Ωが与えられているとき、振動子１３ａにはｚ
方向の速度−Ｖが与えられ、このとき振動子１３ｂに角
速度＋Ωが与えられ、且つ振動子１３ｂにはｚ方向の速
度＋Ｖが与えられる。よって、支持体１には、捻り振動
の軸（ｘ方向）と、曲げ振動の方向（ｚ方向）の双方に
対して直交する＋ｙ方向へ常にコリオリ力Ｆｃが作用す
る。図４（Ｂ）は、捻り振動および曲げ振動の位相が図
４（Ｂ）と逆となった瞬間を示している。このときに、
振動子１３ａと１３ｂに与えられる捻り振動の角速度Ω
の方向および曲げ振動による速度Ｖの方向が、図４
（Ａ）と逆向きとなるが、このときも、＋ｙ方向へコリ
オリ力が発生し、支持体１は＋ｙ方向へ等加速度にて移
動する。

【００２８】図５は本発明の振動型アクチュエータの第
３の実施の形態を示す斜視図、図６（Ａ）（Ｂ）はその
動作モードの説明図である。この振動型アクチュエータ
では、図１および図３に示すように＋ｙ方向へ移動可能
な支持体の上に音叉型の振動体２０が搭載されている。
ただし、図５では支持体１および車輪２の図示を省略し
ている。図５に示す振動体２０は圧電材料で形成されて
おり、一対の振動子２１ａと２１ｂがｚ方向に平行に延
び、且つ各振動２１ａと２１ｂの基端部は連結部２２に
より一体に連結されている。

【００２９】各振動子２１ａと２１ｂは厚さ方向（ｘ方
向）へ誘電分極されている。振動子２１ｂの外面には、
角速度付与手段として、捻り振動を生じさせるための電
極２３と２４が、ｙ方向の両縁部で且つｚ方向に距離を
開けて形成されており、ｙ方向の中央部には、振動付与
手段として曲げ振動を生じさせる電極２５が設けられて
いる。また、振動子２１ｂの内面にはアース電極２６が
形成されている。他方の振動子２１ａにも振動子２１ｂ
と対称に電極が形成されている。ただし、一方の振動子
のみに電極が形成されていてもよい。

【００３０】この振動体２０では、角速度付与手段とな
る電極２３と２４とに位相が１８０度相違する逆位相の
駆動電圧が与えられる。よって、電極２３が形成されて
いる部分で振動子２１ｂの圧電材料が膨張するときに、
電極２４が形成されている部分で振動子２１ｂの圧電材
料が収縮し、次に電極２３が形成されている部分で圧電
材料が収縮すると、電極２４が形成されている部分で圧
電材料が膨張する。よって、振動子２１ｂにはｚ方向に
延びる軸を中心として捻り振動を生じる。さらに、中央
に設けられた電極２５に、前記電極２３，２４に与えら
れる駆動電圧と同じ周波数の駆動電圧が与えられるが、
この電極２５は振動子２１ｂの中央に形成されているた
め、この電極２５に与えられる駆動電圧により、振動子
２１ｂはｘ方向へ振動する。

【００３１】よって、振動子２１ｂは、ｚ軸回りに角速
度＋Ωと−Ωが交互に変化する捻り振動と、ｘ方向への
曲げ振動との複合振動を生じる。振動子２１ａにも同様
に電極が設けられて駆動電圧が与えられ、あるいは振動
子２１ｂにのみ電極が設けられるが、いずれにせよ振動
体２０全体で所定の固有振動数で振動が発生する。すな
わち、振動子２１ａと振動子２１ｂの捻り振動の方向は
図６（Ａ）（Ｂ）に示すように常に互いに逆であり、一
方の振動子に角速度＋Ωが発生しているとき、他方の振
動子に角速度−Ωが発生する。また、振動子２１ａと２
１ｂのｘ方向の曲げ振動は、振動子２１ａと振動子２１
ｂの自由端が共に閉じる方向への曲げと開く方向への曲
げとが交互に繰返される。そして、前記の捻り振動と曲
げ振動の周波数と同じに設定されている。

【００３２】図６（Ａ）に示すように、振動子２１ａが
捻り振動による−Ωの角速度を持つとき、振動子２１ｂ
は＋Ωの角速度を持ち、同時に振動子２１ａは曲げ振動
による−Ｖの速度を持ち、振動子２１ｂは速度＋Ｖを持
つ。このとき両振動子２１ａと２１ｂに＋ｙ方向へのコ
リオリ力が発生する。その直後に、図６（Ｂ）に示すよ
うに、振動子２１ａに角速度＋Ωが、振動子２１ｂに角
速度−Ωが発生し、同時に振動子２１ａに速度＋Ｖが、
振動子２１ｂに速度−Ｖが発生する。このとき各振動子
２１ａと２１ｂに作用するコリオリ力Ｆｃが作用する方
向も＋ｙ方向である。

【００３３】図５に示す音叉型の振動体２０の各振動子
２１ａと２１ｂの断面形状では、コリオリ力Ｆｃが作用
する方向の幅寸法が大きく＋ｙ方向への剛性が高くなっ
ている。よって、前記コリオリ力Ｆｃが作用したとき
に、振動子２１ａと２１ｂは＋ｙ方向へ変形しにくく、
前記コリオリ力Ｆｃは、主に支持体１に対する移動力と
して作用しやすくなっている。

【００３４】図７（Ａ）（Ｂ）は、図５に示す振動体の
変形例であり、圧電材料などで形成されているが、この
振動体では、基端が固定された３本の平行な振動子２１
ｃ，２１ｄ，２１ｅが一体に形成されている。各振動子
２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，あるいは例えば中央の振動子
２１ｄに、図５に示す振動子２１ｂと同じ電極が設けら
れ、３個の振動子２１ｃ，２１ｄ，２１ｅが共に固有振
動数で振動する。

【００３５】図７（Ａ）に示すように、ある時点で、振
動子２１ｃと振動子２１ｅに、捻り振動による角速度−
Ωが生じるとき、中央の振動子２１ｄには前記と逆の角
速度＋Ωが生じる。同時に振動子２１ｃと２１ｅには、
曲げ振動により、ｘ方向へ速度−Ｖが、振動子２１ｄに
は速度＋Ｖが生じる。次の位相では、図７（Ｂ）に示す
ように、振動子２１ｃと振動子２１ｅに角速度＋Ωが、
振動子２１ｄに角速度−Ωが作用し、振動子２１ｃと２
１ｅに速度＋Ｖが、振動子２１ｄに速度−Ｖが作用す
る。よって図７（Ａ）の位相と図７（Ｂ）の位相とで、
コリオリ力Ｆｃが作用し、この振動体が搭載された支持
体にコリオリ力Ｆｃによる駆動力が与えられる。

【００３６】図８（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の振動
型アクチュエータの第４の実施の形態を示すものであ
り、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図
である。車輪２を有する支持体１の上に、駆動軸３１が
設けられ、この駆動軸３１の上端に、所定質量の円板状
の振動子３２が固定されている。図８（Ｂ）に示すよう
に、前記駆動軸３１には、角速度付与手段として捻り振
動型の圧電素子３３が設けられ、この圧電素子３３によ
り、振動子３２に対して軸Ｏ回りの互いに逆向きの角速
度＋Ωと−Ωが交互に与えられる。

【００３７】前記振動子３２は圧電材料で形成されてお
り、厚み方向に分極されている。振動子３２の表面に
は、振動付与手段として、ｘ方向に２分割された駆動電
極３５ａと３５ｂが形成され、裏面には前面にアース電
極が形成されている。駆動電極３５ａと３５ｂには位相
が互いに１８０度相違する駆動電圧が与えられる。また
この駆動電圧の周波数は、捻り振動を発生する圧電素子
３３に与えられる駆動電圧の周波数と同じであり且つ同
期している。

【００３８】図８（Ｃ）に示すように、駆動電極３５ａ
と３５ｂに位相が１８０度相違する駆動電圧が与えられ
ると、ある時点では、振動子３２のｘ方向に分割された
半分が延び、他方の半分が縮む。次の時点で、膨張と収
縮が前記と逆になる。これは（１，１）モードと称さ
れ、ｘ方向へ交番的に速度＋Ｖと−Ｖを発生する。この
ｘ方向の速度と、捻り振動による角速度−Ω，＋Ωとが
同期しているため、支持体１にｙ方向のコリオリ力Ｆｃ
が作用し、支持体１が等加速度で移動する。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明では、コリオリ力を
利用することにより、駆動力発生部に摩擦力を生じない
駆動力を発揮できる。また発熱も摩耗も生じにくく、長
寿命で、且つ恒温環境下で使用しやすいものとなる。さ
らに等加速度運動も実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動型アクチュエータの第１の実施の
形態を示す斜視図、

【図２】（Ａ）（Ｂ）は図１のアクチュエータの動作モ
ードの説明図、

【図３】本発明の振動型アクチュエータの第２の実施の
形態を示す斜視図、

【図４】（Ａ）（Ｂ）は図３のアクチュエータの動作モ
ードの説明図、

【図５】本発明の振動型アクチュエータの第３の実施の
形態を示す斜視図、

【図６】（Ａ）（Ｂ）は図５のアクチュエータの動作モ
ードの説明図、

【図７】（Ａ）（Ｂ）は図５のアクチュエータの変形例
における動作モードの説明図、

【図８】本発明の振動型アクチュエータの第４の実施の
形態を示すものであり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は側面
図、（Ｃ）は平面図、

【符号の説明】

１支持体２車輪３振動子４角速度付与手段となる圧電素子５振動付与手段となる圧電素子１３軸体１３ａ，１３ｂ振動子１４角速度付与手段となる圧電素子１５振動付与手段となる圧電素子２０音叉型の振動体２１ａ，２１ｂ振動子２３，２４，２５電極３１駆動軸３２円板状の振動子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体に、所定の質量と、この質量に対
し所定の軸回りに逆向きの角速度を交互に且つ周期的に
与える角速度付与手段と、前記質量に対し、前記軸と交
叉する方向への振動を、前記逆向きの角速度が与えられ
る周期と同じ周期で与える振動付与手段とが設けられ、
前記質量に対し、前記角速度と前記振動の速度に基づく
コリオリ力が、前記軸および前記振動方向の双方と交叉
する同じ方向へ与えられ、前記支持体は、このコリオリ
力が作用する方向へ移動可能とされていることを特徴と
する振動型アクチュエータ。
【請求項２】前記質量を有する振動子が設けられ、前
記角速度付与手段と前記振動付与手段とで、前記振動子
に軸回りの捻り振動と、前記軸と交叉する方向への曲げ
振動の、複合振動が与えられる請求項１記載の振動型ア
クチュエータ。
【請求項３】軸体が設けられ、この軸体は中心部を節
としてその両側にそれぞれ振動子が形成され、前記角速
度付与手段により前記両振動子に互いに逆回りの捻り振
動が与えられ、且つ前記振動付与手段により、両振動子
に前記軸と交叉する方向の互いに逆位相の曲げ振動が与
えられる請求項２記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】基端部が互いに連結されて平行に延びる
複数の振動子を有する音叉型の振動体が設けられ、前記
角速度付与手段により、各振動子に互いに逆回りの捻り
振動が与えられ、且つ前記振動付与手段により、各振動
子に対し振動子の自由端が開閉する振動が与えられる請
求項２記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】円板状の振動子が設けられ、前記角速度
付与手段により、前記円板に対しその軸回りの角速度が
与えられ、且つ前記振動付与手段により、前記円板に、
前記軸に交叉する方向への膨張と収縮とを交互に繰り返
す振動が与えられる請求項２記載の振動型アクチュエー
タ。