JPH1191102A - 固体アクチュエータおよびインクジェットヘッド - Google Patents
固体アクチュエータおよびインクジェットヘッドInfo
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- JPH1191102A JPH1191102A JP9259954A JP25995497A JPH1191102A JP H1191102 A JPH1191102 A JP H1191102A JP 9259954 A JP9259954 A JP 9259954A JP 25995497 A JP25995497 A JP 25995497A JP H1191102 A JPH1191102 A JP H1191102A
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- 239000007787 solid Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 abstract 1
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013535 sea water Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクの吐出ができなくなることを防止して
品質の向上を図る。 【解決手段】 固体アクチュエータによって形成された
基板２に、溝状のチャネル６１〜６５が形成されてい
る。これらチャネル６１〜６５の壁面には導電材によっ
て駆動回路に接続された電極６１１〜６５１が形成され
ている。チャネル６２，６４はインク室であって、ノズ
ル孔６２２，６４２が穿設され、共通のインクだめに接
続されている。そして、電極６１１〜６５１の表面に
は、空気中に放置することによって自然酸化膜７１〜７
５が形成されている。
品質の向上を図る。 【解決手段】 固体アクチュエータによって形成された
基板２に、溝状のチャネル６１〜６５が形成されてい
る。これらチャネル６１〜６５の壁面には導電材によっ
て駆動回路に接続された電極６１１〜６５１が形成され
ている。チャネル６２，６４はインク室であって、ノズ
ル孔６２２，６４２が穿設され、共通のインクだめに接
続されている。そして、電極６１１〜６５１の表面に
は、空気中に放置することによって自然酸化膜７１〜７
５が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電圧を印加するこ
とによって変形する固体アクチュエータに関し、特に、
固体アクチュエータの変形を利用してインクを噴射する
インクジェットヘッドに関する。
とによって変形する固体アクチュエータに関し、特に、
固体アクチュエータの変形を利用してインクを噴射する
インクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のインクジェットヘッド
は、電圧を印加することによって変形する固体アクチュ
エータによって基板を形成し、この基板にノズル孔が設
けられた複数のインク室を形成し、電圧を印加すること
によって基板が変形し、インク室が伸縮することによっ
て、ノズル孔からインクが噴射されるように構成されて
いる。図４は特開平４−３４３５９４号公報に開示され
たインクジェットヘッドの断面図である。これを同図に
基づいて説明すると、符号２で示すものは、圧電材によ
って形成された基板であって、上端から溝加工を施し開
口を有する溝状のチャネル６１〜６５を形成することに
よって、隔壁３１〜３６が形成されている。チャネル６
１〜６５のそれぞれの壁面には、導電材によって電極６
１１〜６５１が形成され、チャネル６２，６４の壁面に
はノズル孔６２２，６４２が形成され、これらチャネル
６２，６４はインクチャネルを形成し、チャネル６１，
６３，６５はダミーチャネルを形成している。
は、電圧を印加することによって変形する固体アクチュ
エータによって基板を形成し、この基板にノズル孔が設
けられた複数のインク室を形成し、電圧を印加すること
によって基板が変形し、インク室が伸縮することによっ
て、ノズル孔からインクが噴射されるように構成されて
いる。図４は特開平４−３４３５９４号公報に開示され
たインクジェットヘッドの断面図である。これを同図に
基づいて説明すると、符号２で示すものは、圧電材によ
って形成された基板であって、上端から溝加工を施し開
口を有する溝状のチャネル６１〜６５を形成することに
よって、隔壁３１〜３６が形成されている。チャネル６
１〜６５のそれぞれの壁面には、導電材によって電極６
１１〜６５１が形成され、チャネル６２，６４の壁面に
はノズル孔６２２，６４２が形成され、これらチャネル
６２，６４はインクチャネルを形成し、チャネル６１，
６３，６５はダミーチャネルを形成している。
【０００３】これらチャネル６１〜６５の開口は、基板
２の上面に接着材５によって固定されたカバー４によっ
て覆われ、前記インクチャネル６２，６４はインク室を
形成しており、これらインク室６２，６４は、図示を省
略した共通のインクだめに接続され、インクが充填され
ている。このような構成において、図示を省略した駆動
回路によって電極６２１に電極６１１および電極６３１
に対し負の電位を付与し、基板１の隔壁３２〜３６等に
分極９１〜９７を付与し、基板１にあらかじめ部分的な
分極を付与すると、隔壁３２，３３は電気力線８１，８
２と分極９１，９２との相互作用により伸縮モードの変
形を起こす。したがって、インク室６２は、幅および高
さがともに縮小するので、断面積も縮小し、インク滴が
ノズル孔６２２から吐出する。
２の上面に接着材５によって固定されたカバー４によっ
て覆われ、前記インクチャネル６２，６４はインク室を
形成しており、これらインク室６２，６４は、図示を省
略した共通のインクだめに接続され、インクが充填され
ている。このような構成において、図示を省略した駆動
回路によって電極６２１に電極６１１および電極６３１
に対し負の電位を付与し、基板１の隔壁３２〜３６等に
分極９１〜９７を付与し、基板１にあらかじめ部分的な
分極を付与すると、隔壁３２，３３は電気力線８１，８
２と分極９１，９２との相互作用により伸縮モードの変
形を起こす。したがって、インク室６２は、幅および高
さがともに縮小するので、断面積も縮小し、インク滴が
ノズル孔６２２から吐出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したインクジェッ
トヘッドにおいては、選択的にノズル孔６２２からイン
クを吐出させ、ノズル孔６４２からはインクの吐出を規
制するために、電極６２１に電極６１１および電極６３
１に対し負の電位を付与し、電極６３１，６４１，６５
１の電位差が無いように電位を付与すると、電極６２１
は電極６４１に対し負の電位をもつこととなる。インク
室６２とインク室６４とは図示しない共通のインクだめ
を介して接続されている。このため、インク室６４→イ
ンクだめ→インク室６２に電界が発生し、電流のリーク
が発生する。したがって、継続してこの状態の電位を付
与し続けると、電極６２１および電極６４１においてイ
ンクの電気分解が起こり、気泡が発生しインク室６２，
６４内に充満し、このため、ノズル孔６２２，６４２か
らのインクの吐出ができなくなるといった問題があっ
た。
トヘッドにおいては、選択的にノズル孔６２２からイン
クを吐出させ、ノズル孔６４２からはインクの吐出を規
制するために、電極６２１に電極６１１および電極６３
１に対し負の電位を付与し、電極６３１，６４１，６５
１の電位差が無いように電位を付与すると、電極６２１
は電極６４１に対し負の電位をもつこととなる。インク
室６２とインク室６４とは図示しない共通のインクだめ
を介して接続されている。このため、インク室６４→イ
ンクだめ→インク室６２に電界が発生し、電流のリーク
が発生する。したがって、継続してこの状態の電位を付
与し続けると、電極６２１および電極６４１においてイ
ンクの電気分解が起こり、気泡が発生しインク室６２，
６４内に充満し、このため、ノズル孔６２２，６４２か
らのインクの吐出ができなくなるといった問題があっ
た。
【０００５】本発明は上記した従来の問題に鑑みなされ
たものであり、その目的とするところは、インクの吐出
ができなくなることを防止して品質の向上を図ったイン
クジェットヘッドを提供することにある。
たものであり、その目的とするところは、インクの吐出
ができなくなることを防止して品質の向上を図ったイン
クジェットヘッドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動回路か
ら電圧を印加することによって変形する固体アクチュエ
ータによって形成した基板と、この基板に並べられて形
成した溝状で開口を有する複数のインクチャネルと、こ
のインクチャネルの壁面に導電材によって形成され前記
駆動回路に接続される電極と、前記インクチャネルの開
口をカバー部材で覆うことによって形成されインクが充
填されるインク圧力室と、このインク圧力室の壁面に穿
孔されインクを噴射するノズル孔とを備え、前記電極の
表面に自然酸化膜を形成したものである。したがって、
電極の表面に自然酸化膜による絶縁層が形成されること
により、インクの電気分解が阻止される。
に、本発明に係るインクジェットヘッドは、駆動回路か
ら電圧を印加することによって変形する固体アクチュエ
ータによって形成した基板と、この基板に並べられて形
成した溝状で開口を有する複数のインクチャネルと、こ
のインクチャネルの壁面に導電材によって形成され前記
駆動回路に接続される電極と、前記インクチャネルの開
口をカバー部材で覆うことによって形成されインクが充
填されるインク圧力室と、このインク圧力室の壁面に穿
孔されインクを噴射するノズル孔とを備え、前記電極の
表面に自然酸化膜を形成したものである。したがって、
電極の表面に自然酸化膜による絶縁層が形成されること
により、インクの電気分解が阻止される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図１は本発明に係るインクジェット
ヘッドの断面図で、便宜上断面を表示するハッチングは
省略している。同図において、上述した図２に示す従来
技術において説明した同一または同等の部材については
同一の符号を付し詳細な説明は適宜省略する。本発明の
特徴とするところは、インクチャネル６１〜６５の内壁
面に、スパッタあるいは蒸着によってチタン、クロムの
膜を形成することによって電極６１１〜６５１を形成し
た後、基板２を空気中に放置することによって、電極６
１１〜６５１上に酸化によって絶縁性の自然酸化膜７１
〜７５を形成した点にある。
基づいて説明する。図１は本発明に係るインクジェット
ヘッドの断面図で、便宜上断面を表示するハッチングは
省略している。同図において、上述した図２に示す従来
技術において説明した同一または同等の部材については
同一の符号を付し詳細な説明は適宜省略する。本発明の
特徴とするところは、インクチャネル６１〜６５の内壁
面に、スパッタあるいは蒸着によってチタン、クロムの
膜を形成することによって電極６１１〜６５１を形成し
た後、基板２を空気中に放置することによって、電極６
１１〜６５１上に酸化によって絶縁性の自然酸化膜７１
〜７５を形成した点にある。
【０００８】このような構成とすることによって、選択
的にノズル孔６２２からインクを吐出させ、ノズル孔６
４２からはインクの吐出を規制するために、上述した従
来技術と同様に電極６２１に電極６１１および電極６３
１に対し負の電位を付与し、電極６３１，６４１，６５
１の電位差が無いように電位を付与する。
的にノズル孔６２２からインクを吐出させ、ノズル孔６
４２からはインクの吐出を規制するために、上述した従
来技術と同様に電極６２１に電極６１１および電極６３
１に対し負の電位を付与し、電極６３１，６４１，６５
１の電位差が無いように電位を付与する。
【０００９】ここで、電極６２１は電極６４１に対し負
の電位をもつこととなり、インク室６２はインク室６４
と図示を省略したインクだめを介して接続されている。
インク室６２の電極６２１は、自然酸化膜７２によって
インクと絶縁され、インク室６４の電極６４１も、自然
酸化膜７４によってインクと絶縁されている。したがっ
て、インク室６４→インクだめ→インク室６２に電界が
発生しても、電流のリークの発生が抑制される。したが
って、電極６２１および電極６４１においてインクの電
気分解が起こり、気泡が発生しインク室６２，６４内に
充満するようなことがない。このため、ノズル孔６２
２，６４２からのインクの吐出ができなくなるといった
従来の問題も発生しない。
の電位をもつこととなり、インク室６２はインク室６４
と図示を省略したインクだめを介して接続されている。
インク室６２の電極６２１は、自然酸化膜７２によって
インクと絶縁され、インク室６４の電極６４１も、自然
酸化膜７４によってインクと絶縁されている。したがっ
て、インク室６４→インクだめ→インク室６２に電界が
発生しても、電流のリークの発生が抑制される。したが
って、電極６２１および電極６４１においてインクの電
気分解が起こり、気泡が発生しインク室６２，６４内に
充満するようなことがない。このため、ノズル孔６２
２，６４２からのインクの吐出ができなくなるといった
従来の問題も発生しない。
【００１０】次に、電極６１１〜６５１と図示を省略し
た駆動回路との接続を説明する。電極６１１〜６５１と
図示を省略した駆動回路との間の接続は、ワイヤボンデ
ィングで行われる。すなわち、金ワイヤあるいはアルミ
ワイヤ等を、キャピラリまたはウェッジと呼ばれる工具
によって、超音波振動を与えながら電極６１１〜６５１
に押し付けることにより、表面の絶縁性の自然酸化膜７
１〜７５を破壊しながら新生面を作成し、合金を形成す
ることにより電気的な接続がなされる。
た駆動回路との接続を説明する。電極６１１〜６５１と
図示を省略した駆動回路との間の接続は、ワイヤボンデ
ィングで行われる。すなわち、金ワイヤあるいはアルミ
ワイヤ等を、キャピラリまたはウェッジと呼ばれる工具
によって、超音波振動を与えながら電極６１１〜６５１
に押し付けることにより、表面の絶縁性の自然酸化膜７
１〜７５を破壊しながら新生面を作成し、合金を形成す
ることにより電気的な接続がなされる。
【００１１】ここで、電極６１１〜６５１のワイヤの接
続部位に、金あるいは、銅、ニッケル、はんだ等の導電
材をめっきあるいは蒸着またはスパッタによって形成
し、ワイヤの接続をはんだバンプあるいは導電性接着材
等によって容易に行うことができる。
続部位に、金あるいは、銅、ニッケル、はんだ等の導電
材をめっきあるいは蒸着またはスパッタによって形成
し、ワイヤの接続をはんだバンプあるいは導電性接着材
等によって容易に行うことができる。
【００１２】図２は本発明に係る固体アクチェータをイ
ンチワーム式の微動装置に適用したモデル図である。同
図において、１０１は、回転子で図中時計、反時計方向
に回動自在に支持されている。１１１，１１２は駆動子
で、回転子１０１の外周に近接して対向配置され、回転
子１０１の外周に接離自在に支持され、対接することに
より摩擦力によって回転子１０１をクランプするように
構成されている。１２１，１２２は、固体アクチュエー
タ（圧電材）によって形成された支持子で、伸長するこ
とにより駆動子１１１，１１２が回転子１０１をクラン
プするように構成されている。１３１ないし１３４は、
固体アクチュエータ（圧電材）によって形成された移動
子で、伸長することにより、駆動子１１１，１１２を介
して回転子１０１に接線方向の外力を加えるように構成
されている。
ンチワーム式の微動装置に適用したモデル図である。同
図において、１０１は、回転子で図中時計、反時計方向
に回動自在に支持されている。１１１，１１２は駆動子
で、回転子１０１の外周に近接して対向配置され、回転
子１０１の外周に接離自在に支持され、対接することに
より摩擦力によって回転子１０１をクランプするように
構成されている。１２１，１２２は、固体アクチュエー
タ（圧電材）によって形成された支持子で、伸長するこ
とにより駆動子１１１，１１２が回転子１０１をクラン
プするように構成されている。１３１ないし１３４は、
固体アクチュエータ（圧電材）によって形成された移動
子で、伸長することにより、駆動子１１１，１１２を介
して回転子１０１に接線方向の外力を加えるように構成
されている。
【００１３】これら支持子１２１，１２２および移動子
１３１ないし１３４の図示を省略した電極の表面には、
上述した第１の実施例と同様に自然酸化膜が形成されて
いる。１４０はヒンジで、支持子１２１，１２２および
移動子１３１ないし１３４が伸長した際に、直交してい
る他の支持子または移動子にせん断力が作用して破壊す
るのを防止するものである。
１３１ないし１３４の図示を省略した電極の表面には、
上述した第１の実施例と同様に自然酸化膜が形成されて
いる。１４０はヒンジで、支持子１２１，１２２および
移動子１３１ないし１３４が伸長した際に、直交してい
る他の支持子または移動子にせん断力が作用して破壊す
るのを防止するものである。
【００１４】次に、このような構成の微動装置の動作を
図３に基づいて説明する。なお、同図において、伸長さ
せた支持子１２１，１２２および移動子１３１ないし１
３４については、便宜上、黒塗りで表示している。同図
（ａ）において、移動子１３１，１３４を伸長させ、駆
動子１１１を右方に、駆動子１１２を左方にそれぞれ移
動させる。その状態で、同図（ｂ）に示すように、支持
子１２１，１２２を伸長させると、駆動子１１１，１１
２が回転子１０１の外周に対接し、回転子１０１がクラ
ンプされる。
図３に基づいて説明する。なお、同図において、伸長さ
せた支持子１２１，１２２および移動子１３１ないし１
３４については、便宜上、黒塗りで表示している。同図
（ａ）において、移動子１３１，１３４を伸長させ、駆
動子１１１を右方に、駆動子１１２を左方にそれぞれ移
動させる。その状態で、同図（ｂ）に示すように、支持
子１２１，１２２を伸長させると、駆動子１１１，１１
２が回転子１０１の外周に対接し、回転子１０１がクラ
ンプされる。
【００１５】次に、同図（ｃ）に示すように、移動子１
３２，１３３を伸長させ、同時に移動子１３１，１３４
を収縮させると、駆動子１１１が右方に、駆動子１１２
が左方に移動するので、回転子１０１は図中反時計方向
に微量だけ回動する。同図（ｄ）において、支持子１２
１，１２２を収縮させることにより、駆動子１１１，１
１２が回転子１０１の外周から離間する。再び、移動子
１３１，１３４を伸長させ、駆動子１１１を右方に、駆
動子１１２を左方にそれぞれ移動させることにより、同
図（ａ）の状態に戻り、以下同じ動作を繰り返すことに
より、回転子１０１が反時計方向に回転する。
３２，１３３を伸長させ、同時に移動子１３１，１３４
を収縮させると、駆動子１１１が右方に、駆動子１１２
が左方に移動するので、回転子１０１は図中反時計方向
に微量だけ回動する。同図（ｄ）において、支持子１２
１，１２２を収縮させることにより、駆動子１１１，１
１２が回転子１０１の外周から離間する。再び、移動子
１３１，１３４を伸長させ、駆動子１１１を右方に、駆
動子１１２を左方にそれぞれ移動させることにより、同
図（ａ）の状態に戻り、以下同じ動作を繰り返すことに
より、回転子１０１が反時計方向に回転する。
【００１６】このように構成された微動装置を、宇宙空
間や低大気圧下あるいは深海で使用するときに、支持子
１２１，１２２および移動子１３１ないし１３４の電極
の表面に、自然酸化膜が形成され、絶縁性が確保されて
いることにより、宇宙空間や低大気圧下での空中放電が
防止され、深海においては海水を通じての電流のリーク
が防止される。
間や低大気圧下あるいは深海で使用するときに、支持子
１２１，１２２および移動子１３１ないし１３４の電極
の表面に、自然酸化膜が形成され、絶縁性が確保されて
いることにより、宇宙空間や低大気圧下での空中放電が
防止され、深海においては海水を通じての電流のリーク
が防止される。
【００１７】なお、本実施の形態では、圧電材によって
形成した固体アクチュエータをインクジェットヘッドの
基板やインチワーム式の微動装置に使用する例を挙げた
が、これに限定されず超音波モータ等に使用してもよ
く、固体アクチュエータ単体として使用しても同じよう
な作用効果が得られる。また、固体アクチュエータとし
て、圧電材を使用した例を挙げたが、これに限定され
ず、電歪材を使用してもよく、要は電圧を印加すること
よって変形する材料であればよい。
形成した固体アクチュエータをインクジェットヘッドの
基板やインチワーム式の微動装置に使用する例を挙げた
が、これに限定されず超音波モータ等に使用してもよ
く、固体アクチュエータ単体として使用しても同じよう
な作用効果が得られる。また、固体アクチュエータとし
て、圧電材を使用した例を挙げたが、これに限定され
ず、電歪材を使用してもよく、要は電圧を印加すること
よって変形する材料であればよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、信
頼性の高い絶縁膜を形成できるとともに、絶縁性材料の
コーティングのための工数の削減が図られる。
頼性の高い絶縁膜を形成できるとともに、絶縁性材料の
コーティングのための工数の削減が図られる。
【００１９】また、第２の発明によれば、電極と駆動回
路との接続が容易になる。
路との接続が容易になる。
【００２０】また、第７の発明によれば、気泡充満によ
るインクの吐出不能を防止でき、品質の向上が図られ
る。
るインクの吐出不能を防止でき、品質の向上が図られ
る。
【図１】 本発明に係るインクジェットヘッドの断面図
である。
である。
【図２】 本発明に係る固体アクチュエータをインチワ
ーム式の微動装置に適用したモデル図である。
ーム式の微動装置に適用したモデル図である。
【図３】 本発明に係るインチワーム式の微動装置の動
作を説明するモデル図である。
作を説明するモデル図である。
【図４】 従来のインクジェットヘッドの断面図であ
る。
る。
２…基板、３１〜３６…隔壁、４…カバー、６２，６４
…インク室、６１１〜６５１…電極、６２２，６４２…
ノズル孔、７１〜７５…自然酸化膜、８１，８２…電気
力線、９１，９２…分極、１０１…回転子、１１１，１
１２…駆動子、１２１，１２２…支持子、１３１〜１３
４…移動子。
…インク室、６１１〜６５１…電極、６２２，６４２…
ノズル孔、７１〜７５…自然酸化膜、８１，８２…電気
力線、９１，９２…分極、１０１…回転子、１１１，１
１２…駆動子、１２１，１２２…支持子、１３１〜１３
４…移動子。
Claims (12)
- 【請求項１】 駆動回路から電極に電圧を印加すること
によって変形する固体アクチュエータであって、前記電
極を導電材で形成するとともに、表面に自然酸化膜を形
成したことを特徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の固体アクチュエータにお
いて、電極の駆動回路と接続する部位に導電材をめっき
または蒸着あるいはスパッタによって形成したことを特
徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項３】 請求項１記載の固体アクチュエータにお
いて、固体アクチュエータを圧電材によって形成したこ
とを特徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項４】 請求項２記載の固体アクチュエータにお
いて、固体アクチュエータを圧電材によって形成したこ
とを特徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項５】 請求項１記載の固体アクチュエータにお
いて、固体アクチュエータを電歪材によって形成したこ
とを特徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項６】 請求項２記載の固体アクチュエータにお
いて、固体アクチュエータを電歪材によって形成したこ
とを特徴とする固体アクチュエータ。 - 【請求項７】 駆動回路から電圧を印加することによっ
て変形する固体アクチュエータによって形成した基板
に、一端が開口した溝状の複数のインクチャネルを並べ
て形成し、このインクチャネルの壁面に導電材によって
形成され前記駆動回路に接続される電極と、前記インク
チャネルの開口をカバー部材で覆うことによって形成さ
れインクが充填されるインク圧力室と、このインク圧力
室の壁面に穿孔されインクを噴射するノズル孔とを設
け、前記電極の表面に自然酸化膜を形成したことを特徴
とするインクジェットヘッド。 - 【請求項８】 請求項７記載のインクジェットヘッドに
おいて、電極の駆動回路と接続する部位に導電材をめっ
きまたは蒸着あるいはスパッタによって形成したことを
特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項９】 請求項７記載のインクジェットヘッドに
おいて、基板を圧電材によって形成したことを特徴とす
るインクジェットヘッド。 - 【請求項１０】 請求項８記載のインクジェットヘッド
において、基板を圧電材によって形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項１１】 請求項７記載のインクジェットヘッド
において、基板を電歪材によって形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項１２】 請求項８記載のインクジェットヘッド
において、基板を電歪材によって形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9259954A JPH1191102A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 固体アクチュエータおよびインクジェットヘッド |
| US09/161,412 US6164764A (en) | 1997-09-25 | 1998-09-24 | Solid-state actuator and ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9259954A JPH1191102A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 固体アクチュエータおよびインクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1191102A true JPH1191102A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17341235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9259954A Pending JPH1191102A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 固体アクチュエータおよびインクジェットヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6164764A (ja) |
| JP (1) | JPH1191102A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6573825B2 (ja) * | 2015-11-27 | 2019-09-11 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP6598696B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2019-10-30 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ |
| JP7146521B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-10-04 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5305507A (en) * | 1990-10-29 | 1994-04-26 | Trw Inc. | Method for encapsulating a ceramic device for embedding in composite structures |
| US5894651A (en) * | 1990-10-29 | 1999-04-20 | Trw Inc. | Method for encapsulating a ceramic device for embedding in composite structures |
| JP2908885B2 (ja) * | 1991-02-07 | 1999-06-21 | シャープ株式会社 | インクジェット式記録ヘッド装置 |
| JPH04343594A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | Sony Corp | 再生装置 |
| JPH05243102A (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アルミ電解コンデンサ用ケース及びその製造方法 |
| EP0595654A3 (en) * | 1992-10-30 | 1997-07-23 | Citizen Watch Co Ltd | Ink jet head |
| JPH06249706A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Fujikura Ltd | 圧電型振動センサ |
| JP3116650B2 (ja) * | 1993-04-19 | 2000-12-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| JPH07276624A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | Tec Corp | インクジェットプリンタヘッド |
| EP0738599B1 (en) * | 1995-04-19 | 2002-10-16 | Seiko Epson Corporation | Ink Jet recording head and method of producing same |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP9259954A patent/JPH1191102A/ja active Pending
-
1998
- 1998-09-24 US US09/161,412 patent/US6164764A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6164764A (en) | 2000-12-26 |
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