JPH1191108A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 容易に液体の供給路を形成でき、効率よく製
造でき、多種の液体の使用にも対応可能なインクジェッ
ト記録ヘッドおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】 基板１上には複数の発熱体からなる発熱
体列２が形成されている。また、発熱体列２と並行に共
通液室となる第１の溝３を形成する。そして基板１の裏
面に、第１の溝３と略直交する第２の溝７を形成する。
このとき、第１の溝３と第２の溝７が交差する部分で連
通させる。例えば第２の溝７は基板切断工程において同
時に切削加工で形成することができ、容易に加工を行な
うことができる。また第１の溝３と第２の溝７が交差す
る部分にのみ貫通する構造であるため、強度的にも問題
はなく、歩留まりを向上させることができる。一方、ノ
ズル板４には発熱体に対応した液体吐出口５および対応
する個別の流路が形成され、基板１と接合されてインク
ジェット記録ヘッドが構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発熱体の発熱によ
って液体を加熱し、液体中に発生する気泡の成長時の圧
力によって液体を噴射して記録を行なうインクジェット
記録ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般にインクジェット記録ヘッドでは、
液体を加熱するための発熱体を基板上に形成し、また、
発熱体に対応して液体を噴射するための液体吐出口を形
成したノズル板とを接合して構成されている。このよう
なインクジェット記録ヘッドにおいて、外部から液体の
供給を受けて各発熱体上を液体で満たす必要がある。特
に発熱体の直上に液体吐出口を配置した、いわゆるルー
フシュータ型のインクジェット記録ヘッドでは、発熱体
と被記録媒体との距離を短くする必要があるため、基板
の発熱体上の構造が制約され、液体の供給が困難であ
る。

【０００３】例えば特開平６−２３８９０４号公報に示
されているように、基板にエッチング法により穴を開
け、この穴を介してインクを供給する構造のものが提案
されている。この文献に記載されている方法では、基板
に穴を開ける際に非常に時間を要するエッチングを用い
ており、さらに表側と裏側から２度のエッチング工程が
行なわれており、工程が複雑で工数もかかる。また、穴
を形成するための溝が掘られた状態で基板を取り扱うた
め、基板を破損しやすいという欠点がある。

【０００４】また、別のインクジェット記録ヘッドとし
て例えば特開平６−８４３４号公報に記載されているよ
うに、基板の端面からインクを供給する構造のものが提
案され、性能及び生産性という面で改良が加えられた。
しかしこの構造では、インクの供給は基板の対向する両
端面からしか行なうことができない。そのため、フルカ
ラーを実現する場合など、多数のインクを取り扱う場合
には１つの基板での実現は困難であり、複数の基板を並
べる必要があった。このように複数の基板を並べる場
合、位置ズレなどが問題となっていた。

【０００５】さらに、例えば実公平３−１００４６号公
報には、基板に形成した溝からインクを供給することが
示されており、加工時の基板の破損等の防止に役立って
いる。この場合、溝の端部からインクを供給するが、特
に溝が長くなるとインクの供給不足を生じるという問題
があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、容易に液体の供給路を形成
でき、効率よく製造できるとともに、多種の液体の使用
にも対応可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製
造方法を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、基板に形成された発熱体の列と並行に第
１の溝を形成するとともに、発熱体が形成された面とは
反対の面に第１の溝と略直交する第２の溝を形成する。
このとき、第１の溝と第２の溝が交差する部分で連通さ
せる。インクジェット記録ヘッドに供給された液体は、
この連通部分から第１の溝に侵入し、この第１の溝から
各個別の液体流路を介して発熱体上へと供給される。こ
の構成では、従来のような大きな貫通孔は形成されず、
第１の溝と第２の溝が交差する部分にのみ貫通する構造
であるため、強度的にも問題はなく、また、例えば第２
の溝は基板切断時の切削加工工程において同時に形成す
ることができ、容易に加工を行なうことができる。

【０００８】このような第１の溝および第２の溝は基板
に複数形成することができるので、複数種類の液体を使
用可能なインクジェット記録ヘッドを１つの基板で構成
することができる。そのため、各種類の液体のドット間
での位置ズレを最小限にとどめることができ、高画質の
画像を得ることができる。対応する第１の溝と第２の溝
とを連通させ、他の溝と連通しないようにするために
は、例えばそれぞれの第１の溝に深さの異なる部分を異
なる位置に形成しておき、その深い部分において第２の
溝と連通するように構成することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明のインクジェット
記録ヘッドの第１の実施の形態を示す斜視断面図、図２
は、同じく基板の一例の斜視図、図３は、同じく基板の
一例の平面図である。図中、１は基板、２は発熱体列、
３は第１の溝、４はノズル板、５は液体吐出口、６は液
滴、７は第２の溝、８はエッジ部である。

【００１０】基板１には複数の発熱体が形成されてい
る。発熱体は、直線状に配列されることもあるし、また
千鳥状に配列されるなど、種々の形態で略列状に配列さ
れて発熱体列２が形成されている。図１ないし図３で
は、発熱体列２は２列配置されている。なお図２、図３
では、図示の都合上、個々の発熱体を図示せずに発熱体
列２を棒線で示している。２列の発熱体列２の間には、
第１の溝３が形成されている。この第１の溝３は、２列
の発熱体列２に共用される共通液室として機能する。ま
た、基板１の発熱体列２が形成された面とは反対の面
（以下裏面と呼ぶ）に第２の溝７が形成されている。こ
の第２の溝７は、第１の溝３と交差する部分で連通し、
基板１を貫通する貫通孔を形成している。

【００１１】一方、ノズル板４には基板１に形成された
個々の発熱体に対応して液体吐出口５が形成されるとと
もに、各液体吐出口５と共通液室である第１の溝３とを
連通する個別の流路となる溝が形成されている。そして
上述の基板１とノズル板４とが接合され、図１に示すよ
うなインクジェット記録ヘッドが形成される。

【００１２】図示しないタンクなどから供給される液体
は基板１の裏面からインクジェット記録ヘッドに導入さ
れる。液体は、第２の溝７と第１の溝３の交差する部分
に形成された貫通孔を介して第１の溝３内へ流れ込み、
ノズル板４に形成された個別流路を介して発熱体列２の
各発熱体上へと供給される。

【００１３】個々の発熱体には図示しない通電電極が接
続されており、画像信号に応じて外部から駆動パルスが
印加され、発熱体が発熱する。発熱体の発熱によって、
発熱体上に供給されている液体が加熱され、液体中に気
泡が発生して成長する。気泡が成長する際の圧力によっ
て、発熱体上の液体は液体吐出口５から押し出され、液
滴６となって吐出され、記録に供される。

【００１４】図４は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第１の実施の形態の製造方法の一例を示す工程図で
ある。図中、１１はシリコンウェハ、１２は切断位置、
１３は第２の溝形成位置、１４は洗浄液である。また図
中の右側には各基板１の状態を示している。なお、図
２、図３と同様に、発熱体列２は棒線によって示してい
る。ここでは、基板１としてシリコン基板を用い、多数
の基板１をウェハ上に形成してから切り出す場合の工程
を示している。

【００１５】図４（Ａ）において、シリコンウェハ１１
上に発熱体列２を形成するとともに、図示しない発熱体
への通電電極や駆動回路などを、例えばＬＳＩ作製プロ
セス等によって形成する。さらに発熱体列２上に保護層
を形成したり、樹脂層を形成する場合もある。

【００１６】次に図４（Ｂ）において、発熱体列２に並
行に共通液室となる第１の溝３を形成する。ここで、液
体の吐出性能を安定化するためには、図１に示す第１の
溝３のエッジ部８から発熱体列２までの距離を精度よく
作製する必要がある。この例では基板１にシリコン基板
を用いているので、第１の溝３の作製方法としてエッチ
ング方法を用いることができる。特にドライエッチング
プロセスを用いると垂直方向にパターンに忠実で精度よ
く第１の溝３を形成できる。また、ウエットエッチング
を用いる場合でもＫＯＨ水溶液を用いた異方性エッチン
グを適用することでパターン精度のよい第１の溝３を形
成することができる。いずれの方法もシリコンウェハの
状態で加工できるため、一度に多数の基板１について精
度よく第１の溝３を形成できる。また、エッチングで基
板１を貫通させると時間がかかり、かつ精度も悪くな
る。本発明では第１の溝３を形成する際には基板１の深
さ方向に貫通しない状態でエッチングを停止する。この
とき、第１の溝３を基板１の厚さの半分以上の深さにす
ると、以下の工程での基板１の破損が多くなるため、第
１の溝３の深さは基板１の厚さの半分以下としている。
具体的には、６２５μｍ厚のシリコンウェハを用い、第
１の溝３として２００μｍの深さの溝を作製した。

【００１７】ここでは第１の溝３を形成する方法として
エッチングを用いたが、そのほか、例えばダイシングソ
ーを使うこともできる。この場合、基板１の端から端ま
で溝が形成されるため、インクジェット記録ヘッドとし
て形成する際に、両端を封止する工程が必要となる。

【００１８】次に図４（Ｃ）において、基板１の裏面に
第１の溝３と略直交する方向に第２の溝７を形成し、第
１の溝３と交差する位置において第１の溝３と第２の溝
７を連通させる。すなわち、第１の溝３の深さと第２の
溝７の深さの和が基板１の厚さ以上となるような深さで
第２の溝７を形成すればよい。これによって、第１の溝
３と第２の溝７の交差する位置で貫通する。第２の溝７
を形成する方法としては、第１の溝３と比べて精度が要
求されないため、ウェハの状態で裏面からダイシングソ
ーで切削加工することができる。最終的にはダイシング
ソーを用いてシリコンウェハ１１をチップ状に切断する
が、この切断工程と同時に第２の溝７を形成する。すな
わち図４（Ｃ）において、ダイシングソーによる切削加
工によって第２の溝形成位置１３で切削を行なって第２
の溝７を形成した後に、切断位置１２において切断を行
ない、各基板１を得る。切断された基板１は、ダイシン
グ時のダイシング粉などを除去するため、図４（Ｄ）に
おいて例えば洗浄液１４などによって洗浄される。

【００１９】このように従来から行なわれている切断工
程において第２の溝７を形成し、これによって液体を供
給するための貫通孔を形成できるので、製造工程を簡略
化することができる。また、ダイシングによる切削は高
速にしかも容易に加工を行なうことができるので、生産
性を向上させ、製造コストを低減することができる。

【００２０】一方、ノズル板４は、各発熱体に対応した
個別流路をプラスチックの精密成形で作製する。また、
液体吐出口５は成形時に同時に形成してもよいし、別に
レーザー加工で追加工してもよい。そして、基板１と位
置合わせして接合し、インクジェット記録ヘッドが得ら
れる。その後、基板１で発生する熱を逃がすためのヒー
トシンクや発熱体に駆動信号や電力を供給するための配
線基板、液体タンクから液体を供給するためのマニホー
ルドなどの部材が組み付けられ、記録ユニットが作製さ
れる。

【００２１】図５は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第１の実施の形態における発熱体列中の各発熱体の
配列パターンの一例を示す模式図である。図中、２１，
２２は発熱体である。上述のようにして製造されたイン
クジェット記録ヘッドは、その発熱体の配列パターンに
よって種々の利用方法がある。例えば図５（Ａ）に示す
例では、第１の溝３を挟んで形成されている２列の発熱
体列２中の発熱体２１と発熱体２２が相対する位置に並
んでいる。この場合、インクジェット記録ヘッドを発熱
体列２と略直交する方向に１度スキャンする間に、被記
録媒体上の同じ位置に重ね打ちを行なうことができる。
この重ね打ちによって階調表現が可能となり、多階調の
画像を形成することができる。

【００２２】また、図５（Ｂ）に示す例では、第１の溝
３を挟んで形成されている２列の発熱体２中の発熱体２
１と２２が相対する位置にないようにずらして配置した
例を示している。この場合、インクジェット記録ヘッド
の１回のスキャンによって、一方の発熱体列２の発熱体
によって形成されたドットの間に、他の発熱体列２の発
熱体によるドットを記録することができるので、高密度
の記録が可能となる。具体的には発熱体列２の発熱体の
間隔が６３．５μｍ（４００ｄｐｉ）の場合は、２列の
発熱体列２によって８００ｄｐｉの記録が可能となる。

【００２３】発熱体の配列パターンが図５に示したいず
れの場合であっても、精度よく形成した第１の溝３を共
通液室として、ここから液体を供給して画像を記録する
ので、安定した画質を得ることができる。

【００２４】図６は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第１の実施の形態における変形例を示す斜視断面図
である。図中、９は共通液室溝である。この例では、基
板１は図１ないし図３に示したものと同じであるが、ノ
ズル板４に共通液室溝９を設けたものである。共通液室
溝９は、基板１に設けられた第１の溝３と対向する位置
に設けている。

【００２５】高速印字を実現する場合、液体の流路の抵
抗を極力下げる必要があり、その手段として共通液室の
断面積を大きくすることが好ましい。ただし、上述のよ
うに基板１側の第１の溝３を深くすると精度が悪くなっ
たり、また、強度も落ちるため破損しやすく、歩留まり
の低下につながる。そこで、この例ではノズル板４に共
通液室溝９を形成して第１の溝３とともに共通液室を構
成し、共通液室の断面積を大きくしている。これによっ
て共通液室の流路抵抗を下げることができ、発熱体上へ
の液体の供給を高速に行なって、高速印字を実現するこ
とができる。

【００２６】図７は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの第１の実施の形態における別の変形例を示す基板の
一例の斜視図である。この例では、第２の溝７を複数本
設け、それぞれの第２の溝７と第１の溝３との交差する
部分で連通するように構成している。インクジェット記
録ヘッドの長尺化とともに端部に近い発熱体に対応する
個別流路では、液体の供給性能が低下することが懸念さ
れる。この例では、第２の溝７を複数設けることによっ
て、第１の溝３で構成する共通液室の複数箇所から液体
を供給する。これによって、各個別流路での液体の供給
条件をなるべく揃えることができ、端部付近での液体の
供給性能の低下を解消することができる。

【００２７】なお、上述の各例においては、発熱体列２
を２列配置した例を示しているが、これに限らず、例え
ば１列のみであってもよい。また、発熱体列２を３列以
上配置することもでき、その場合には第１の溝３を複数
設ければよい。それらの発熱体列２に同じ液体を供給す
る場合には、例えば上述のようにダイシングなどによっ
て第２の溝７を形成するだけで、複数の第１の溝３と交
差する位置にそれぞれ貫通孔を形成することができる。
もちろん、第２の溝７を複数設けてもよい。

【００２８】図８、図９は、本発明のインクジェット記
録ヘッドの第２の実施の形態を示す基板の平面図および
断面図である。図８は第２の溝７を形成する前の基板１
を示し、図９は第２の溝７を形成した後の基板１を示し
ている。図８（Ａ）、図９（Ａ）は平面図であり、図８
（Ｂ）、図９（Ｂ）はａ−ａ’断面図、図８（Ｃ）、図
９（Ｃ）はｂ−ｂ’断面図である。図中、３１は深溝部
である。この第２の実施の形態では、複数の異なる液体
を使用するインクジェット記録ヘッドを示している。

【００２９】図８、図９に示した例では、２列の発熱体
列２に対して、それぞれ、第１の溝３を形成している。
この第１の溝３にそれぞれ異なる液体を供給し、各発熱
体列２によって異なる液体を用いた記録を行なう。その
ための構成として、第１の溝３を形成する際に、その一
部に他の部分よりも深い深溝部３１を設けている。この
深溝部３１は、図８に示すように各第１の溝３ごとに異
なる位置に設けている。第１の溝３に深溝部３１を形成
する方法としては、例えば２回のエッチング工程で形成
する方法がある。あるいは、あらかじめ深溝部３１につ
いてのみエッチング工程によって形成し、その他の部分
については例えば切削加工によって形成しても同様の形
状が得られる。この例の場合にも、第１の溝３を形成し
た時点では、基板１を貫通しない。

【００３０】そして第２の溝７を使用する液体ごとに１
ないし複数本ずつ設ける。この例では２つの第１の溝３
に対応して２本の第２の溝７を形成している。このと
き、第２の溝７は、第１の溝３の深溝部３１では貫通す
るが、他の部分では第１の溝３と交差する部分でも貫通
しない深さで形成する。すると、図９に示すように、第
１の溝３の深溝部３１で第２の溝７が交差する場合にの
み、第１の溝３と第２の溝７とが連通し、第１の溝３の
深溝部３１以外の部分で第２の溝７と交差しても連通し
ない。このように第１の溝３に形成する深溝部３１の位
置を変えることによって、それぞれ連通する第２の溝７
を選択することができる。そして、それぞれの第１の溝
３が対応する異なる第２の溝７と連通するように、それ
ぞれの深溝部３１を形成しておけば、複数の異なる液体
をそれぞれ対応する第１の溝３に供給することができ
る。この例では、図９（Ａ）において上側の第１の溝３
と左側の第２の溝７が連通し、下側の第１の溝３と右側
の第２の溝７が連通している。

【００３１】各第１の溝３に供給する異なる液体として
は、例えば異なる色のインクを供給することができる。
この場合、２色刷りの画像を得ることができる。あるい
は、異なる濃度のインクを供給し、多階調の画像を形成
することもできる。

【００３２】図１０は、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの第２の実施の形態の応用例を示す基板の平面図お
よび断面図、図１１は、同じく断面斜視図である。この
例では上述の第２の実施の形態をさらに進めて、４つの
液体を使用するインクジェット記録ヘッドを示してい
る。使用する４つの液体として、例えばＹ（イエロ
ー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）
の各色のインクを用い、それぞれの第１の溝３に供給
し、フルカラーの記録を実現することができる。

【００３３】この例では、図８、図９に示した構成を２
組用い、同じ基板１上に形成している。そして、各第１
の溝３には全て異なる位置に深溝部３１を形成し、それ
ぞれ異なる第２の溝７と連通するように構成している。
このような構成では、１つの基板１によって４色のイン
クを取り扱うことができるため、各インクごとに個別の
基板を用いて並べる場合に比べ、各色間でドットの位置
ズレが非常に少なく、高画質の記録画像を形成すること
が可能となる。

【００３４】この例では４つの異なる色のインクを用い
る例を示したが、もちろん３色であってもよいし、各色
について濃色インクと淡色インクを用いた６ないし８個
のインクを用いる構成や、インクの他に処理液を用いる
構成など、液体の種類に応じた構成が可能である。使用
する異なる液体の数に応じて、発熱体列２、および、第
１の溝３と第２の溝７を形成すればよい。

【００３５】このように多数種類の液体を用いる場合で
も、インクジェット記録ヘッドとしては発熱体列２に略
直交する方向にスキャンさせる関係上、この方向の基板
１の幅はなるべく小さくしたい。例えば図１１において
は図中の左右方向の長さはなるべく小さくしたい。その
ため、第１の溝３の幅などを極端に大きく取ることはで
きず、従来のように第１の溝３の端から液体を供給した
り、切削などによって発熱体列２と並行な方向の溝加工
は困難となる。一方、近年のインクジェット記録ヘッド
の長尺化の流れから、例えば図１１においては図中の奥
行き方向に基板１の長さが長くなる傾向にある。そのた
め、この例のように第２の溝７を複数本設ける場合で
も、比較的容易に配置することができる。このように、
使用する液体の種類が多くなった場合でも、十分対応す
ることができる。逆に、このような構成とすることによ
り、複数種類の液体を用いた場合でも基板１を小型化す
ることができる。

【００３６】図１２は、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドの第２の実施の形態における変形例を示す基板の一
例の平面図である。図８、図９に示した例では２列の発
熱体列２の間に、それぞれに対応する２つの第１の溝３
を形成した。しかしこれに限らず、例えば図１２（Ａ）
に示すように、発熱体列２と第１の溝３とを交互に配置
した構成であってももちろんよい。

【００３７】また、上述の第１の実施の形態と第２の実
施の形態を組み合わせることも可能である。例えば図１
２（Ｂ）に示すように、上述の第１の実施の形態で示し
た構成と同様に２列の発熱体列２で１つの第１の溝３を
共有する構成を１組とし、その構成を複数組形成しても
よい。この場合、例えば同じ液体を用いる２列の発熱体
列２の各発熱体を図５（Ｂ）に示すように千鳥状に配列
し、これによって記録密度を向上させ、さらに異なる液
体を用いて階調記録を行なうなどの利用形態が考えられ
る。

【００３８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、発熱体列と並行に設けられた第１の溝と略直
交する第２の溝を基板の裏面に形成するという簡単な方
法によって、第１の溝と第２の溝の交差する部分で連通
させ、液体の供給路を形成するので、効率よくしかも確
実に製造できる。また、複数種類の液体を使用するイン
クジェット記録ヘッドであっても容易に１チップで構成
でき、位置ズレが少なく、高画質の画像を形成すること
ができる。使用する液体として例えば複数色の液体を用
いることによって１チップの多色ヘッドが構成でき、ま
た単色であっても階調表現や高密度の記録が可能なヘッ
ドを１チップで構成できる。このような複数種類の液体
を用いた場合でも、コンパクトなインクジェット記録ヘ
ッドを得ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態を示す斜視断面図である。

【図２】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態における基板の一例の斜視図である。

【図３】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態における基板の一例の平面図である。

【図４】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態の製造方法の一例を示す工程図である。

【図５】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態における発熱体列中の各発熱体の配列パター
ンの一例を示す模式図である。

【図６】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態における変形例を示す斜視断面図である。

【図７】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第１の
実施の形態における別の変形例を示す基板の一例の斜視
図である。

【図８】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の
実施の形態を示す基板の第２の溝の形成前の平面図およ
び断面図である。

【図９】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２の
実施の形態を示す基板の第２の溝を形成した後の平面図
および断面図である。

【図１０】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２
の実施の形態の応用例を示す基板の平面図および断面図
である。

【図１１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２
の実施の形態の応用例を示す断面斜視図である。

【図１２】 本発明のインクジェット記録ヘッドの第２
の実施の形態における変形例を示す基板の一例の平面図
である。

【符号の説明】

１…基板、２…発熱体列、３…第１の溝、４…ノズル
板、５…液体吐出口、６…液滴、７…第２の溝、８…エ
ッジ部、９…共通液室溝、１１…シリコンウェハ、１２
…切断位置、１３…第２の溝形成位置、１４…洗浄液、
２１，２２…発熱体、３１…深溝部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 克秀 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内 (72)発明者 釼持 伸夫 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を加熱するための発熱体が形成され
   た基板と、前記発熱体に対応して液体流路および液体吐
   出口が形成されたノズル板を接合してなるインクジェッ
   ト記録ヘッドにおいて、前記基板には複数の前記発熱体
   が略列状に１ないし複数列形成されており、さらに、前
   記発熱体の列と並行に形成された第１の溝と、前記発熱
   体が形成された面とは反対の面に前記第１の溝と略直交
   する第２の溝が形成されており、前記第１の溝と前記第
   ２の溝が交差する部分で連通していることを特徴とする
   インクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 前記第１の溝および前記第２の溝はそれ
   ぞれ複数形成されており、対応する前記第１の溝と前記
   第２の溝の交点でのみ連通していることを特徴とする請
   求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 複数の前記第１の溝は２段階以上の深さ
   から構成されており、深い部分において対応する前記第
   ２の溝と連通していることを特徴とする請求項２に記載
   のインクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 基板上に複数の発熱体を略列状に１ない
   し複数列形成し、前記発熱体の列と並行に第１の溝を形
   成し、前記発熱体が形成された面とは反対の面に前記第
   １の溝と略直交する第２の溝を形成し、該第２の溝を形
   成する際に前記第１の溝と交差する部分で前記第１の溝
   と前記第２の溝を連通させ、該基板と前記発熱体に対応
   して液体流路および液体吐出口が形成されたノズル板を
   接合することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
   製造方法。
5. 【請求項５】 前記第１の溝は、エッチングまたは切削
   加工あるいはそれらの組み合わせにより形成することを
   特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド
   の製造方法。
6. 【請求項６】 前記第２の溝は、切削加工により形成す
   ることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記
   録ヘッドの製造方法。