JPH1192549A - 液状エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
液状エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPH1192549A JPH1192549A JP25384897A JP25384897A JPH1192549A JP H1192549 A JPH1192549 A JP H1192549A JP 25384897 A JP25384897 A JP 25384897A JP 25384897 A JP25384897 A JP 25384897A JP H1192549 A JPH1192549 A JP H1192549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- metal chelate
- resin composition
- chelate catalyst
- filler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 40
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 25
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000013522 chelant Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims abstract description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 125000005595 acetylacetonate group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 4
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 abstract description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 6
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 2-(butoxymethyl)oxirane Chemical group CCCCOCC1CO1 YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N Phenyl glycidyl ether Chemical compound C1OC1COC1=CC=CC=C1 FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N Styrene oxide Chemical compound C1OC1C1=CC=CC=C1 AWMVMTVKBNGEAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940093858 ethyl acetoacetate Drugs 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- ZQWPRMPSCMSAJU-UHFFFAOYSA-N methyl cyclohexanecarboxylate Chemical compound COC(=O)C1CCCCC1 ZQWPRMPSCMSAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- -1 red phosphorus Chemical compound 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000013008 thixotropic agent Substances 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 4-vinylcyclohexene dioxide Chemical compound C1OC1C1CC2OC2CC1 OECTYKWYRCHAKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-ylmethyl 7-oxabicyclo[4.1.0]heptane-4-carboxylate Chemical compound C1CC2OC2CC1C(=O)OCC1CC2OC2CC1 YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N Ipazine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(Cl)=NC(NC(C)C)=N1 OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006735 epoxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィラーを高充填しても低粘度化でき、保存
性が良く、また、速硬化性であり、硬化物のガラス転移
点が高く、基板に対する密着性にも優れている。液状エ
ポキシ樹脂組成物を提供する。 【構成】 エポキシ樹脂と硬化剤と充填材を含有する液
状のエポキシ樹脂組成物において、必須成分としてエポ
キシ樹脂が脂環式エポキシ樹脂、硬化剤が金属キレート
触媒とアセチルアセトンを含んでなる触媒系よりなるこ
とを特徴とする,エポキシ樹脂組成物。
性が良く、また、速硬化性であり、硬化物のガラス転移
点が高く、基板に対する密着性にも優れている。液状エ
ポキシ樹脂組成物を提供する。 【構成】 エポキシ樹脂と硬化剤と充填材を含有する液
状のエポキシ樹脂組成物において、必須成分としてエポ
キシ樹脂が脂環式エポキシ樹脂、硬化剤が金属キレート
触媒とアセチルアセトンを含んでなる触媒系よりなるこ
とを特徴とする,エポキシ樹脂組成物。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気部品、電子部
品、半導体デバイス等を封止する無溶剤ないしハイソリ
ッドの液状エポキシ樹脂組成物に関するものである。
品、半導体デバイス等を封止する無溶剤ないしハイソリ
ッドの液状エポキシ樹脂組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスの封止は金型を用いる粉
末のトランスファーモールドエポキシ封止材と液状のエ
ポキシ封止材とに大別され、現在、その封止の主力はト
ランスファーモールド封止材である。一方、金型を使用
しない液状エポキシ封止材は特定分野に限られ使用され
ていたが、プラスチックピングリッドアレイ(P−PG
A)、プラスチックボールグリッドアレイ(P−BG
A)やハイブリッドIC、マルチチップモジュール(M
CM)などの半導体デバイスによる高機能化、軽量化、
大面積封止、低価格デバイス等のパッケージ動向の移行
に伴って、液状封止材の存在が見直され、21世紀には
液状封止材の大きな伸長が予想されている。
末のトランスファーモールドエポキシ封止材と液状のエ
ポキシ封止材とに大別され、現在、その封止の主力はト
ランスファーモールド封止材である。一方、金型を使用
しない液状エポキシ封止材は特定分野に限られ使用され
ていたが、プラスチックピングリッドアレイ(P−PG
A)、プラスチックボールグリッドアレイ(P−BG
A)やハイブリッドIC、マルチチップモジュール(M
CM)などの半導体デバイスによる高機能化、軽量化、
大面積封止、低価格デバイス等のパッケージ動向の移行
に伴って、液状封止材の存在が見直され、21世紀には
液状封止材の大きな伸長が予想されている。
【0003】液状エポキシ封止材には大きく分けて溶剤
型と無溶剤型に分けられる。溶剤型は樹脂としてフェノ
ール樹脂を使用し、充填材の充填率を高めて熱膨張率を
下げることが可能であり、熱衝撃性と作業性に優れた材
料である。塗膜がポーラスであること、溶剤使用による
引火性、硬化プロセスが長くなる等の問題はあるが、熱
衝撃性が良いので特定分野に使用されている。無溶剤型
はエポキシ樹脂としてビスフェノールA型、ビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂を用い、硬化剤としては酸無水
物、アミン類、イミダゾール類、フェノール系などの硬
化剤および硬化促進剤が用いられる。
型と無溶剤型に分けられる。溶剤型は樹脂としてフェノ
ール樹脂を使用し、充填材の充填率を高めて熱膨張率を
下げることが可能であり、熱衝撃性と作業性に優れた材
料である。塗膜がポーラスであること、溶剤使用による
引火性、硬化プロセスが長くなる等の問題はあるが、熱
衝撃性が良いので特定分野に使用されている。無溶剤型
はエポキシ樹脂としてビスフェノールA型、ビスフェノ
ールF型エポキシ樹脂を用い、硬化剤としては酸無水
物、アミン類、イミダゾール類、フェノール系などの硬
化剤および硬化促進剤が用いられる。
【0004】半導体用液状封止材は塗布作業性の面から
低粘度であること、基板と熱膨張率を合わせて熱ストレ
スが加えられた際の界面剥離発生を防ぐため低熱膨張で
ありソリが少ないこと。ICチップの腐食性面からイオ
ン性不純物が少ないこと、保存性が良いこと、などの性
能が要求されている。上記低粘度化、硬化物の低熱膨張
化の制約より現在酸無水物硬化剤の使用がその主流を占
めている。酸無水物硬化剤は硬化により生成するエステ
ル基が加水分解を受けやすく、高温高湿下での吸湿率が
高い。また保存安定性が悪く冷凍保管が必要である。そ
して使用時空気中の湿気の影響を受けて遊離酸が発生
し、たとえばスクリーン印刷用に使用する場合は湿度管
理を充分にして使用するなどの問題がある。
低粘度であること、基板と熱膨張率を合わせて熱ストレ
スが加えられた際の界面剥離発生を防ぐため低熱膨張で
ありソリが少ないこと。ICチップの腐食性面からイオ
ン性不純物が少ないこと、保存性が良いこと、などの性
能が要求されている。上記低粘度化、硬化物の低熱膨張
化の制約より現在酸無水物硬化剤の使用がその主流を占
めている。酸無水物硬化剤は硬化により生成するエステ
ル基が加水分解を受けやすく、高温高湿下での吸湿率が
高い。また保存安定性が悪く冷凍保管が必要である。そ
して使用時空気中の湿気の影響を受けて遊離酸が発生
し、たとえばスクリーン印刷用に使用する場合は湿度管
理を充分にして使用するなどの問題がある。
【0005】フェノール系硬化剤はこの改良を図るため
の1つの方法であるが高粘度となる欠点を有している。
この欠点を補うために酸無水物とフェノール系との併用
などが行われているが、液状封止材として満足できるま
でには至っていない。前記した様に材料の低粘度化と作
業性向上のための保存安定性の良い材料の開発が強く望
まれており、液状封止材の大きな課題であると言える。
の1つの方法であるが高粘度となる欠点を有している。
この欠点を補うために酸無水物とフェノール系との併用
などが行われているが、液状封止材として満足できるま
でには至っていない。前記した様に材料の低粘度化と作
業性向上のための保存安定性の良い材料の開発が強く望
まれており、液状封止材の大きな課題であると言える。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術に
おける上記の問題点に鑑みなされたものである。その目
的とするところは、低粘度で、優れた保存安定性および
良好な硬化性を有する触媒系よりなる封止用エポキシ樹
脂組成物を提供することにある。
おける上記の問題点に鑑みなされたものである。その目
的とするところは、低粘度で、優れた保存安定性および
良好な硬化性を有する触媒系よりなる封止用エポキシ樹
脂組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記の目的を
達成するために研究を重ねた結果、上記課題を解決する
に至り、本発明を完成した。すなわち、本発明はエポキ
シ樹脂と硬化剤と充填材を含有する液状のエポキシ樹脂
組成物において、必須成分としてエポキシ樹脂が脂環式
エポキシ樹脂、硬化剤が金属キレート触媒とアセチルア
セトンを含んでなる触媒系よりなるエポキシ樹脂組成物
である。
達成するために研究を重ねた結果、上記課題を解決する
に至り、本発明を完成した。すなわち、本発明はエポキ
シ樹脂と硬化剤と充填材を含有する液状のエポキシ樹脂
組成物において、必須成分としてエポキシ樹脂が脂環式
エポキシ樹脂、硬化剤が金属キレート触媒とアセチルア
セトンを含んでなる触媒系よりなるエポキシ樹脂組成物
である。
【0008】本発明においての低粘度化の課題に対して
は脂環式エポキシ樹脂の使用し、更に、好ましくは球状
の充填材による最密充填を行うことで解決を図った。脂
環式エポキシ樹脂は、一般的には過酢酸によるエポキシ
化反応によって製造されるもので、(3',4'−エポキ
シシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘ
キサンカルボキシレート、(3',4'−エポキシ−6'−
メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6
−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビニルシク
ロヘキセンジオキサイド、ジシクロペンタジェンジオキ
サイド等の脂環式エポキシ樹脂が知られている。ダイセ
ル化学工業社製のセロキサイド2021、セロキサイド
2083、セロキサイド3000、ユニオンカーバイド
社製のERL−4221、ERL−4289、ERL−
4206およびチバガイギー社製のCY−179,CY
−178の商標名で市販されている。
は脂環式エポキシ樹脂の使用し、更に、好ましくは球状
の充填材による最密充填を行うことで解決を図った。脂
環式エポキシ樹脂は、一般的には過酢酸によるエポキシ
化反応によって製造されるもので、(3',4'−エポキ
シシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシシクロヘ
キサンカルボキシレート、(3',4'−エポキシ−6'−
メチルシクロヘキシルメチル)−3,4−エポキシ−6
−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビニルシク
ロヘキセンジオキサイド、ジシクロペンタジェンジオキ
サイド等の脂環式エポキシ樹脂が知られている。ダイセ
ル化学工業社製のセロキサイド2021、セロキサイド
2083、セロキサイド3000、ユニオンカーバイド
社製のERL−4221、ERL−4289、ERL−
4206およびチバガイギー社製のCY−179,CY
−178の商標名で市販されている。
【0009】脂環式エポキシ樹脂は常温で粘度がきわめ
て低く、硬化物は耐熱性にすぐれており、かつベンゼン
核を含まないので耐候性、耐トラッキング性が良い。ま
た、加水分解性塩素やイオン性不純物が少ない等の特徴
がある。反面、硬化物がもろく、低分子量から一度に架
橋して高分子となるため硬化収縮が比較的大きい欠点が
あり、現在電子部品用には使いこなされていない。粘度
については液状ビスフェノール型エポキシ樹脂に比べ1
/10〜1/50と低く、封止材の低粘度化と充填材の
高充填化を図ることができる。上記脂環式エポキシ樹脂
は単独または2種以上使用する。
て低く、硬化物は耐熱性にすぐれており、かつベンゼン
核を含まないので耐候性、耐トラッキング性が良い。ま
た、加水分解性塩素やイオン性不純物が少ない等の特徴
がある。反面、硬化物がもろく、低分子量から一度に架
橋して高分子となるため硬化収縮が比較的大きい欠点が
あり、現在電子部品用には使いこなされていない。粘度
については液状ビスフェノール型エポキシ樹脂に比べ1
/10〜1/50と低く、封止材の低粘度化と充填材の
高充填化を図ることができる。上記脂環式エポキシ樹脂
は単独または2種以上使用する。
【0010】充填材としては溶融シリカ、結晶シリカ、
アルミナなどが使用する。好ましくは球状の充填材であ
り、球状溶融シリカまたは球状アルミナで、好ましくは
平均粒径3〜25μmの充填材を使用する。また、破砕
シリカを少量併用使用して熱時保形性を付与することが
できる。充填材は全エポキシ樹脂100重量部に対し4
0〜600重量部使用し、好ましくは充填材の最密充填
をするために各種粒度の充填材を組み合わせて使用す
る。また封止材の封止形態や用途により充填材を選択使
用する。たとえばギャップを充填封止するアンダーフィ
ル材目的の場合は平均粒径1〜6μmの球状溶融シリカ
を使用するのが好ましい。
アルミナなどが使用する。好ましくは球状の充填材であ
り、球状溶融シリカまたは球状アルミナで、好ましくは
平均粒径3〜25μmの充填材を使用する。また、破砕
シリカを少量併用使用して熱時保形性を付与することが
できる。充填材は全エポキシ樹脂100重量部に対し4
0〜600重量部使用し、好ましくは充填材の最密充填
をするために各種粒度の充填材を組み合わせて使用す
る。また封止材の封止形態や用途により充填材を選択使
用する。たとえばギャップを充填封止するアンダーフィ
ル材目的の場合は平均粒径1〜6μmの球状溶融シリカ
を使用するのが好ましい。
【0011】本発明において、保存安定性の向上の課題
に対しては金属キレート触媒とアセチルアセトンとを含
んでなる触媒系の使用により優れた安定性と良好な硬化
性を発現するものである。このシステムはアセチルアセ
トンにより金属キレート触媒の低温での活性を抑制し、
硬化時の温度上昇に伴いアセチルアセトンが蒸発飛散し
て金属キレート触媒の本来の硬化性を発揮する。
に対しては金属キレート触媒とアセチルアセトンとを含
んでなる触媒系の使用により優れた安定性と良好な硬化
性を発現するものである。このシステムはアセチルアセ
トンにより金属キレート触媒の低温での活性を抑制し、
硬化時の温度上昇に伴いアセチルアセトンが蒸発飛散し
て金属キレート触媒の本来の硬化性を発揮する。
【0012】本発明において使用する金属キレート触媒
とは、例えば、下記式(1)で示される金属キレート触
媒である。
とは、例えば、下記式(1)で示される金属キレート触
媒である。
【化1】 [式中、Mは金属イオン、R1,R2はH,CH3,C2H
5,C3H7,−OCH3,−OC2H5,−OC3H7の中の
いずれかであり、同じであつても異なつていても良い。
nは1〜4の整数である。]
5,C3H7,−OCH3,−OC2H5,−OC3H7の中の
いずれかであり、同じであつても異なつていても良い。
nは1〜4の整数である。]
【0013】金属がアルミニウムの場合アルミニウムト
リス(アセチルアセトネート)、アルミニウムトリス
(エチルアセトアセテート)、アルミニウムモノアセチ
ルアセトネートビス(エチルアセトアセテート)などが
例示される。金属としてはアルミニウムの他にチタン、
亜鉛、ジルコニウム、ニツケル、および銅などである。
金属キレート触媒はエポキシ樹脂の重量を基準にして
0.01〜5.0%の触媒量が用いられる。好ましくは
0.1〜3.0%である。また金属キレート触媒に少量
のイミダゾール、トリフェニルフォスフィン(TPP)
などの硬化促進剤やマイクロカプセル化した硬化促進剤
を配合することもできる。
リス(アセチルアセトネート)、アルミニウムトリス
(エチルアセトアセテート)、アルミニウムモノアセチ
ルアセトネートビス(エチルアセトアセテート)などが
例示される。金属としてはアルミニウムの他にチタン、
亜鉛、ジルコニウム、ニツケル、および銅などである。
金属キレート触媒はエポキシ樹脂の重量を基準にして
0.01〜5.0%の触媒量が用いられる。好ましくは
0.1〜3.0%である。また金属キレート触媒に少量
のイミダゾール、トリフェニルフォスフィン(TPP)
などの硬化促進剤やマイクロカプセル化した硬化促進剤
を配合することもできる。
【0014】本発明で使用するアセチルアセトン(2,
4−ペンタンジオン)は低温での金属キレート触媒の活
性を抑制させてエポキシ樹脂組成物の保存安定性を付与
する。アセチルアセトンの沸点は140℃であり、硬化
時の温度上昇とともに飛散駆逐し、金属キレート触媒の
本来の硬化性を発現することができる。上述した金属キ
レート触媒にアセチルアセトンを含んだ触媒システムに
より優れた保存安定性と良好な硬化性を発現させること
ができる。アセチルアセトンは金属キレート触媒1重量
部に対し0.2〜3重量部使用するのが適当である。
4−ペンタンジオン)は低温での金属キレート触媒の活
性を抑制させてエポキシ樹脂組成物の保存安定性を付与
する。アセチルアセトンの沸点は140℃であり、硬化
時の温度上昇とともに飛散駆逐し、金属キレート触媒の
本来の硬化性を発現することができる。上述した金属キ
レート触媒にアセチルアセトンを含んだ触媒システムに
より優れた保存安定性と良好な硬化性を発現させること
ができる。アセチルアセトンは金属キレート触媒1重量
部に対し0.2〜3重量部使用するのが適当である。
【0015】本発明の液状エポキシ樹脂組成物はビスフ
ェノールA型、ビスフェノールF型などの液状エポキシ
樹脂を少量併用することもできる。また、必要に応じて
少量の溶剤、反応性希釈剤、消泡剤、カーボンブラック
等の着色剤、三酸化アンチモンやブロム化エポキシ樹
脂、赤リン等の難燃剤、エポキシシラン等のシランカッ
プリング剤、シリコンオイル、エポキシ化ポリブタジエ
ン、カルボン酸末端アクリルニトリルブタジェンゴム等
の可とう剤、微粉シリカ等の揺変剤などの添加剤を適宜
添加配合することができる。
ェノールA型、ビスフェノールF型などの液状エポキシ
樹脂を少量併用することもできる。また、必要に応じて
少量の溶剤、反応性希釈剤、消泡剤、カーボンブラック
等の着色剤、三酸化アンチモンやブロム化エポキシ樹
脂、赤リン等の難燃剤、エポキシシラン等のシランカッ
プリング剤、シリコンオイル、エポキシ化ポリブタジエ
ン、カルボン酸末端アクリルニトリルブタジェンゴム等
の可とう剤、微粉シリカ等の揺変剤などの添加剤を適宜
添加配合することができる。
【0016】本発明の液状エポキシ樹脂組成物は通常は
無溶剤で使用されるが、より高充填化して熱膨張率を下
げるため溶剤を少量配合してハイソリッド型の組成物と
しても良い。ハイソリッド型に使用する溶剤としてはト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジアセトン
アルコール等のケトン類、プロピレングリコールメチル
エーテル等のエーテル類、酢酸ブチル等のエステル類、
ブタノール等のアルコール類などを単独または2種以上
使用する。
無溶剤で使用されるが、より高充填化して熱膨張率を下
げるため溶剤を少量配合してハイソリッド型の組成物と
しても良い。ハイソリッド型に使用する溶剤としてはト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジアセトン
アルコール等のケトン類、プロピレングリコールメチル
エーテル等のエーテル類、酢酸ブチル等のエステル類、
ブタノール等のアルコール類などを単独または2種以上
使用する。
【0017】無溶剤型に使用する反応性希釈剤はブチル
グリシジルエーテル(BGE)、フェニルグリシジルエ
ーテル(PGE)、クレゾールグリシジルエーテル(C
GE)、スチレンオキサイド(SO)等のモノエポキシ
化合物、ジグリシジルエーテル(DGE)等のポリエポ
キシ化合物、ジアリルフタレート、グリシジルメタアク
リレート、ラクトンなど使用する。
グリシジルエーテル(BGE)、フェニルグリシジルエ
ーテル(PGE)、クレゾールグリシジルエーテル(C
GE)、スチレンオキサイド(SO)等のモノエポキシ
化合物、ジグリシジルエーテル(DGE)等のポリエポ
キシ化合物、ジアリルフタレート、グリシジルメタアク
リレート、ラクトンなど使用する。
【0018】本発明のエポキシ樹脂組成物は脂環式エポ
キシ樹脂、球状の充填材、金属キレート触媒、アセチル
アセトンおよび必要により溶剤、反応性希釈剤、揺変剤
などの添加剤を三本ロール、デイスパー、ミキサーを用
いて混合し、その後必要により減圧脱泡することによっ
て製造する。こうして得た組成物は脂環式エポキシ樹脂
の使用により遊離ナトリウムイオン、遊離塩素イオンで
代表されるイオン性不純物は3ppm以下で、かつ、5
℃で保管で1ケ月以上粘度は安定している。また150
〜160℃2時間で硬化することができる。
キシ樹脂、球状の充填材、金属キレート触媒、アセチル
アセトンおよび必要により溶剤、反応性希釈剤、揺変剤
などの添加剤を三本ロール、デイスパー、ミキサーを用
いて混合し、その後必要により減圧脱泡することによっ
て製造する。こうして得た組成物は脂環式エポキシ樹脂
の使用により遊離ナトリウムイオン、遊離塩素イオンで
代表されるイオン性不純物は3ppm以下で、かつ、5
℃で保管で1ケ月以上粘度は安定している。また150
〜160℃2時間で硬化することができる。
【0019】このようにして得られたエポキシ樹脂組成
物を用いてデイスペンサー塗布、スクリーン印刷により
半導体デバイス等を封止する。硬化した組成物は優れた
耐湿性を示すと共に、ガラス転移温度180℃〜250
℃で熱膨張率(1〜5)×10-5の性能を有している。
物を用いてデイスペンサー塗布、スクリーン印刷により
半導体デバイス等を封止する。硬化した組成物は優れた
耐湿性を示すと共に、ガラス転移温度180℃〜250
℃で熱膨張率(1〜5)×10-5の性能を有している。
【0020】
【実施例】以下、本発明を実施例によって詳細に説明す
る。なお、この実施例および比較例に記載している
「部」および「%」はすべて「重量部」および「重量
%」を示す。
る。なお、この実施例および比較例に記載している
「部」および「%」はすべて「重量部」および「重量
%」を示す。
【0021】実施例1〜4、比較例1〜2 表1に示す様な配合割合でプラネタリーミキサーで2時
間混合し、液状エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエ
ポキシ樹脂組成物について下記の方法により粘度、保存
性、ガラス転移温度、密着性、耐溶剤性を評価した。特
性評価結果を表2に示す。
間混合し、液状エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエ
ポキシ樹脂組成物について下記の方法により粘度、保存
性、ガラス転移温度、密着性、耐溶剤性を評価した。特
性評価結果を表2に示す。
【0022】評価方法は次の通り行った。 1.粘度 ビスコテスター粘度計を用いて25℃の粘度を測定し
た。 2.保存性 エポキシ樹脂組成物を温度25℃に保管して粘度が2倍
になる日数を求めた。 3.ガラス転移点 エポキシ樹脂組成物を型に流した後、温度70℃30
分、100℃30分、150℃2時間硬化し、硬化物を
5×5×10mmの大きさに切断して試験片を作成し、
TMAにより毎分5℃の昇温速度で測定した。 4.密着性 アルミナ基板上にエポキシ樹脂組成物を直径5mm(約
0.1ml)に滴下した後、温度70℃30分、100
℃30分、150℃2時間硬化し、評価用試験片を作成
した。この試験片をプッシュプルゲージで剥離するまで
の荷重を測定し、密着強度としてkg/5mmφで表示
した。 5.耐溶剤性 50×50mmの型にエポキシ樹脂組成物を流し込んだ
後、温度70℃30分、100℃30分、150℃2時
間硬化し、評価用試験片を作成した。この試験片につい
て、アセトン未浸漬とアセトンに1時間浸漬後の硬度を
バーコル硬度計により測定して、硬度の変化度により耐
溶剤性を評価した。
た。 2.保存性 エポキシ樹脂組成物を温度25℃に保管して粘度が2倍
になる日数を求めた。 3.ガラス転移点 エポキシ樹脂組成物を型に流した後、温度70℃30
分、100℃30分、150℃2時間硬化し、硬化物を
5×5×10mmの大きさに切断して試験片を作成し、
TMAにより毎分5℃の昇温速度で測定した。 4.密着性 アルミナ基板上にエポキシ樹脂組成物を直径5mm(約
0.1ml)に滴下した後、温度70℃30分、100
℃30分、150℃2時間硬化し、評価用試験片を作成
した。この試験片をプッシュプルゲージで剥離するまで
の荷重を測定し、密着強度としてkg/5mmφで表示
した。 5.耐溶剤性 50×50mmの型にエポキシ樹脂組成物を流し込んだ
後、温度70℃30分、100℃30分、150℃2時
間硬化し、評価用試験片を作成した。この試験片につい
て、アセトン未浸漬とアセトンに1時間浸漬後の硬度を
バーコル硬度計により測定して、硬度の変化度により耐
溶剤性を評価した。
【0023】
【表1】
【0024】 脂環式エポキシ樹脂(A):BRL−4221(ユニオンカーバイト(社)) 脂環式エポキシ樹脂(B):セロキサイド3000(ダイセル化学工業(株)) ビスF型エポキシ樹脂 :エピコート807(油化シェルエポキシ(製)) 球状熔融シリカ :FB−35(電気化学(株)) 球状アルミナ :AS−30(昭和電工(株))
【0025】
【表2】
【0026】
【発明の効果】本発明の液状エポキシ樹脂組成物は、フ
ィラーを高充填しても低粘度化でき、かつ、保存性が良
いので取り扱いがよく、作業性に優れている。更には、
この組成物は速硬化性であり、硬化物のガラス転移点が
高く、基板に対する密着性にも優れている。従って、本
発明の液状エポキシ樹脂組成物は半導体デバイスの封止
用途に有効に利用することができる。
ィラーを高充填しても低粘度化でき、かつ、保存性が良
いので取り扱いがよく、作業性に優れている。更には、
この組成物は速硬化性であり、硬化物のガラス転移点が
高く、基板に対する密着性にも優れている。従って、本
発明の液状エポキシ樹脂組成物は半導体デバイスの封止
用途に有効に利用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31
Claims (3)
- 【請求項1】 エポキシ樹脂と硬化剤と充填材を含有す
る液状のエポキシ樹脂組成物において、必須成分として
エポキシ樹脂が脂環式エポキシ樹脂、硬化剤が金属キレ
ート触媒とアセチルアセトンを含んでなる触媒系よりな
ることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項2】 金属キレート触媒がアルミニウム、チタ
ン、亜鉛、ジルコニウム、銅のアセチルアセトナートで
ある請求項1記載のエポキシ樹脂組成物。 - 【請求項3】 充填剤が球状溶融シリカおよび球状アル
ミナである請求項1又は2記載のエポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25384897A JPH1192549A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 液状エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25384897A JPH1192549A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 液状エポキシ樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1192549A true JPH1192549A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17256981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25384897A Pending JPH1192549A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 液状エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1192549A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005033173A1 (ja) * | 2003-09-08 | 2005-04-14 | Sony Chemicals Corporation | 潜在性硬化剤 |
| JP2007530757A (ja) * | 2004-04-02 | 2007-11-01 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 分離産物を含まない、低焼付温度を有するポリウレタン粉末被覆剤 |
| WO2012073666A1 (ja) | 2010-11-30 | 2012-06-07 | 株式会社ダイセル | 硬化性エポキシ樹脂組成物 |
| JP2013002623A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | 電磁連結装置 |
| US8871347B2 (en) | 2007-08-28 | 2014-10-28 | Dexerials Corporation | Microcapsule-type latent curing agent |
| WO2014199843A1 (ja) * | 2013-06-13 | 2014-12-18 | 東レ株式会社 | 樹脂組成物、樹脂シートおよび半導体装置の製造方法 |
| CN116789913A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-09-22 | 江苏三木化工股份有限公司 | 一种环氧改性水性丙烯酸树脂及其制备方法 |
-
1997
- 1997-09-18 JP JP25384897A patent/JPH1192549A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8927626B2 (en) | 2003-09-08 | 2015-01-06 | Dexerials Corporation | Latent curing agent |
| WO2005033173A1 (ja) * | 2003-09-08 | 2005-04-14 | Sony Chemicals Corporation | 潜在性硬化剤 |
| JP2007530757A (ja) * | 2004-04-02 | 2007-11-01 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 分離産物を含まない、低焼付温度を有するポリウレタン粉末被覆剤 |
| US8871347B2 (en) | 2007-08-28 | 2014-10-28 | Dexerials Corporation | Microcapsule-type latent curing agent |
| WO2012073666A1 (ja) | 2010-11-30 | 2012-06-07 | 株式会社ダイセル | 硬化性エポキシ樹脂組成物 |
| US9200133B2 (en) | 2010-11-30 | 2015-12-01 | Daicel Corporation | Curable epoxy resin composition |
| JP2013002623A (ja) * | 2011-06-22 | 2013-01-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | 電磁連結装置 |
| WO2014199843A1 (ja) * | 2013-06-13 | 2014-12-18 | 東レ株式会社 | 樹脂組成物、樹脂シートおよび半導体装置の製造方法 |
| CN105308120A (zh) * | 2013-06-13 | 2016-02-03 | 东丽株式会社 | 树脂组合物、树脂片以及半导体装置的制造方法 |
| KR20160019474A (ko) | 2013-06-13 | 2016-02-19 | 도레이 카부시키가이샤 | 수지 조성물, 수지 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| JPWO2014199843A1 (ja) * | 2013-06-13 | 2017-02-23 | 東レ株式会社 | 樹脂組成物、樹脂シートおよび半導体装置の製造方法 |
| US9738763B2 (en) | 2013-06-13 | 2017-08-22 | Toray Industries, Inc. | Resin composition, resin sheet, and production method for semiconductor device |
| TWI608066B (zh) * | 2013-06-13 | 2017-12-11 | 東麗股份有限公司 | 樹脂組成物、樹脂片及其製造方法、以及半導體裝置的製造方法 |
| CN116789913A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-09-22 | 江苏三木化工股份有限公司 | 一种环氧改性水性丙烯酸树脂及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101379107B (zh) | 用于半导体密封的树脂组合物和半导体器件 | |
| CN102782000B (zh) | 光半导体密封用树脂组合物及使用该组合物的光半导体装置 | |
| TW202026357A (zh) | 密封用液狀環氧樹脂組成物及電子零件裝置 | |
| JPH1192550A (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
| JP2005105243A (ja) | フリップチップ実装用サイドフィル材及び半導体装置 | |
| JPH11124487A (ja) | シアン酸エステル−マレイミド液状樹脂組成物及び半導体封止装置 | |
| JPS6189247A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JPH01299862A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 | |
| JPH09302201A (ja) | 気密封止用エポキシ樹脂系組成物 | |
| JPH0977958A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
| JP3649540B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物 | |
| JP2933243B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
| JP2705493B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
| JP2646391B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物 | |
| JP2643714B2 (ja) | 液状エポキシ樹脂組成物及び硬化物 | |
| JP2001098049A (ja) | 半導体封止用液状エポキシ樹脂組成物 | |
| JPS60199020A (ja) | 半導体封止材料 | |
| JP4341247B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
| JPH05217702A (ja) | 電子部品封止用エポキシ樹脂成形材料 | |
| JPH05259315A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPH0521651A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料 | |
| JPS6070781A (ja) | 樹脂封止型発光装置 | |
| JP2002145985A (ja) | 液状封止用樹脂組成物 | |
| JP3049898B2 (ja) | 電子部品封止用エポキシ樹脂成形材料及びこれを用いたicパッケ−ジ | |
| JP3102026B2 (ja) | 電子部品封止用エポキシ樹脂成形材料 |