JPH1193877A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH1193877A JPH1193877A JP9260118A JP26011897A JPH1193877A JP H1193877 A JPH1193877 A JP H1193877A JP 9260118 A JP9260118 A JP 9260118A JP 26011897 A JP26011897 A JP 26011897A JP H1193877 A JPH1193877 A JP H1193877A
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- oil
- oil chamber
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Links
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 24
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】オイル室側の油が軸シールを通り中間室へ流れ
込んだり、オイル室や軸シール部が内部ガスの生成物に
より汚れる。 【解決手段】中間室３内の回転軸６に固定される筒状の
シール部５の表面に中間室に導入された不活性ガスをオ
イル室に流す方向に螺旋溝を設けると共に、オイル室の
上部に排気口１１を設ける。
込んだり、オイル室や軸シール部が内部ガスの生成物に
より汚れる。 【解決手段】中間室３内の回転軸６に固定される筒状の
シール部５の表面に中間室に導入された不活性ガスをオ
イル室に流す方向に螺旋溝を設けると共に、オイル室の
上部に排気口１１を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプに関し、
特に歯車機構部を有する真空ポンプにおいて、オイル室
と他の室との間における歯車の潤滑油や気体等をシール
するための軸シール構造に関する。
特に歯車機構部を有する真空ポンプにおいて、オイル室
と他の室との間における歯車の潤滑油や気体等をシール
するための軸シール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ポンプは図４に示すように、
回転軸６に固定された歯車８とはねかけ板９が収納され
るオイル室２と、ガス導入口１０Ａを有する中間室３
と、回転軸６に固定されたローター１３を収納し真空ベ
ルジャー等に接続する給気口と排気口を有する真空室４
と、これらの室を貫通し、軸受１２に支持される回転軸
６と、この回転軸に接続するモータ（図示せず）等から
なる一対の部材等から構成されており、回転軸６が回転
され、歯車８を介して対向するもう一方の図示しない回
転軸を回転させることで、ローター１３を互いに同期回
転して気体を吸入，排気する構造となっている。はねか
け板９は歯車８に油７を与えて潤滑にする働きをする。
回転軸６に固定された歯車８とはねかけ板９が収納され
るオイル室２と、ガス導入口１０Ａを有する中間室３
と、回転軸６に固定されたローター１３を収納し真空ベ
ルジャー等に接続する給気口と排気口を有する真空室４
と、これらの室を貫通し、軸受１２に支持される回転軸
６と、この回転軸に接続するモータ（図示せず）等から
なる一対の部材等から構成されており、回転軸６が回転
され、歯車８を介して対向するもう一方の図示しない回
転軸を回転させることで、ローター１３を互いに同期回
転して気体を吸入，排気する構造となっている。はねか
け板９は歯車８に油７を与えて潤滑にする働きをする。
【０００３】中間室３における回転軸６のシール部５Ａ
と軸受１２を支持しオイル室２と中間室３を隔てるハウ
ジング１４Ａの間に、図５に示すように、ラビリンス部
２１を設け、かつ中間室３のガス導入口１０Ａから不活
性ガスを導入する。これによって中間室３をオイル室２
より陽圧に保ち、更に回転軸６の回転によって得られる
遠心力により、オイル室２から中間室３へ回り込む油を
シールするようにしていた。
と軸受１２を支持しオイル室２と中間室３を隔てるハウ
ジング１４Ａの間に、図５に示すように、ラビリンス部
２１を設け、かつ中間室３のガス導入口１０Ａから不活
性ガスを導入する。これによって中間室３をオイル室２
より陽圧に保ち、更に回転軸６の回転によって得られる
遠心力により、オイル室２から中間室３へ回り込む油を
シールするようにしていた。
【０００４】しかし、ラビリンス部の構造上シール部５
Ａとハウジング１４Ａ間に微少のすき間がある為、中間
室３とオイル室２との差圧がなくなり、徐々にオイル室
２の油７が、ラビリンスシール部を通り中間室３へ回り
込む欠点があった。又、パージされる不活性ガスに流れ
が無い為、長期間の使用ではオイル室やラビリンスシー
ル部に除去を目的とする真空ベルジャー内等の排気ガス
の反応生成物が付着することや、潤滑油が減少すること
で真空ポンプ故障の原因となっていた。
Ａとハウジング１４Ａ間に微少のすき間がある為、中間
室３とオイル室２との差圧がなくなり、徐々にオイル室
２の油７が、ラビリンスシール部を通り中間室３へ回り
込む欠点があった。又、パージされる不活性ガスに流れ
が無い為、長期間の使用ではオイル室やラビリンスシー
ル部に除去を目的とする真空ベルジャー内等の排気ガス
の反応生成物が付着することや、潤滑油が減少すること
で真空ポンプ故障の原因となっていた。
【０００５】ねじによりシール部を構成する装置として
は、図６に示すねじ溝型回転軸シール装置が特開平４−
３４６６４１号公報に記載されている。このシール装置
では、回転軸３７に設けられたねじ３４は回転軸３７の
回転によりねじ溝内の溶融金属３２を矢印３８で示すよ
うに、ポット壁３１の内部に押し戻す方向にねじ切りさ
れており、これにより溶融金属３２はねじにより押し戻
され、開口３１ａと回転軸３７との隙間からもれ出るこ
とが防止されるというものである。尚図６において３３
は回転軸，３５はカラー，３６はナットである。
は、図６に示すねじ溝型回転軸シール装置が特開平４−
３４６６４１号公報に記載されている。このシール装置
では、回転軸３７に設けられたねじ３４は回転軸３７の
回転によりねじ溝内の溶融金属３２を矢印３８で示すよ
うに、ポット壁３１の内部に押し戻す方向にねじ切りさ
れており、これにより溶融金属３２はねじにより押し戻
され、開口３１ａと回転軸３７との隙間からもれ出るこ
とが防止されるというものである。尚図６において３３
は回転軸，３５はカラー，３６はナットである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】第１の問題点は、オイ
ル室側の油が軸シールを通り中間室側に回り込むという
ことである。
ル室側の油が軸シールを通り中間室側に回り込むという
ことである。
【０００７】その理由は、図４に示したラビリンスシー
ル方式や図６に示したネジ溝シール方式では、構造上シ
ール部とハウジング間、又はねじ３４とポット壁３１間
に微少の隙間がある為、これらの方式を用いた真空ポン
プでは油の回り込みが発生するからである。
ル方式や図６に示したネジ溝シール方式では、構造上シ
ール部とハウジング間、又はねじ３４とポット壁３１間
に微少の隙間がある為、これらの方式を用いた真空ポン
プでは油の回り込みが発生するからである。
【０００８】第２の問題点は、オイル室や軸シール内部
が、内部ガスの成生物によって汚れるということであ
る。
が、内部ガスの成生物によって汚れるということであ
る。
【０００９】その理由は、中間室から不活性ガスを導入
しても、オイル室側からケーシング外への排気口が無
く、ポンプ内部のガス成分の希釈が不十分となって汚れ
が付着するからである。
しても、オイル室側からケーシング外への排気口が無
く、ポンプ内部のガス成分の希釈が不十分となって汚れ
が付着するからである。
【００１０】本発明の第１の目的は、オイル室側の油が
軸シールを通り中間室にもれない真空ポンプを提供する
ことにある。これによって定期的なオイル室への油補充
と、中間室側へ回り込んだ油の抜き取り作業が不要とな
る。
軸シールを通り中間室にもれない真空ポンプを提供する
ことにある。これによって定期的なオイル室への油補充
と、中間室側へ回り込んだ油の抜き取り作業が不要とな
る。
【００１１】本発明の第２の目的は、オイル室や軸シー
ル部の、ガス成生物による汚れを防止できる真空ポンプ
を提供することにある。これによって真空ポンプの寿命
が延長され信頼性が向上する。
ル部の、ガス成生物による汚れを防止できる真空ポンプ
を提供することにある。これによって真空ポンプの寿命
が延長され信頼性が向上する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の真空ポンプは、
油を入れるオイル室と、このオイル室に隣接しケーシン
グの壁とハウジングと軸受けとにより分離されガス導入
口を有する中間室と、この中間室に隣接しケーシングの
壁により分離された真空室とを有し、前記軸受けに支持
され前記オイル室と中間室と真空室とを貫通する回転軸
を有する真空ポンプにおいて、前記中間室内の前記回転
軸に固定される筒状のシール部の表面には、前記中間室
に導入されたガスを前記オイル室に流す方向に螺旋溝が
設けられていることを特徴とするものであり、更にオイ
ル室に排気口を設けたものである。
油を入れるオイル室と、このオイル室に隣接しケーシン
グの壁とハウジングと軸受けとにより分離されガス導入
口を有する中間室と、この中間室に隣接しケーシングの
壁により分離された真空室とを有し、前記軸受けに支持
され前記オイル室と中間室と真空室とを貫通する回転軸
を有する真空ポンプにおいて、前記中間室内の前記回転
軸に固定される筒状のシール部の表面には、前記中間室
に導入されたガスを前記オイル室に流す方向に螺旋溝が
設けられていることを特徴とするものであり、更にオイ
ル室に排気口を設けたものである。
【００１３】本発明では、図１〜図３に示すように、回
転軸６のシール部に溝切りされた螺旋溝１８を設けてい
る為、中間室３に導入される不活性ガスを回転軸６が矢
印の回転方向１５に高速で回転することで、オイル室側
へ圧縮送気され、軸シールに回り込む油７をオイル室２
側へ押し戻す。
転軸６のシール部に溝切りされた螺旋溝１８を設けてい
る為、中間室３に導入される不活性ガスを回転軸６が矢
印の回転方向１５に高速で回転することで、オイル室側
へ圧縮送気され、軸シールに回り込む油７をオイル室２
側へ押し戻す。
【００１４】更にオイル室２に排気口１１を設けている
為、中間室３に導入された不活性ガス等は軸シール部を
経てオイル室２に至ることで、ケーシング１内の排気ガ
スを希釈し排気できる為、ガス生成物の発生を低減させ
る作用を有する。
為、中間室３に導入された不活性ガス等は軸シール部を
経てオイル室２に至ることで、ケーシング１内の排気ガ
スを希釈し排気できる為、ガス生成物の発生を低減させ
る作用を有する。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。図１〜図３は本発明の第１の実施の形態を
説明する為の真空ポンプと中間室内の断面図及びシール
部の斜視図である。
て説明する。図１〜図３は本発明の第１の実施の形態を
説明する為の真空ポンプと中間室内の断面図及びシール
部の斜視図である。
【００１６】図１〜図３を参照すると真空ポンプは、油
７を入れるオイル室２と、このオイル室２に隣接しケー
シング１の壁とハウジング１４と軸受１２により分離さ
れガス導入口１０を有する中間室３と、この中間室３に
隣接しケーシング１の壁により分離され給気口と排気口
を有する真空室４と、軸受１２に支持されオイル室２と
中間室３と真空室４とを貫通し、モータ（図示せず）等
の駆動部に接続された回転軸６と、中間室３内において
回転軸６に密着固定され、表面に中間室に導入されたガ
スをオイル室２に流す方向に螺旋溝１８が設けられた筒
状のシール部５とからなる一対の部材から主に構成され
ている。
７を入れるオイル室２と、このオイル室２に隣接しケー
シング１の壁とハウジング１４と軸受１２により分離さ
れガス導入口１０を有する中間室３と、この中間室３に
隣接しケーシング１の壁により分離され給気口と排気口
を有する真空室４と、軸受１２に支持されオイル室２と
中間室３と真空室４とを貫通し、モータ（図示せず）等
の駆動部に接続された回転軸６と、中間室３内において
回転軸６に密着固定され、表面に中間室に導入されたガ
スをオイル室２に流す方向に螺旋溝１８が設けられた筒
状のシール部５とからなる一対の部材から主に構成され
ている。
【００１７】尚、図１，図２において８は歯車、９は歯
車に油を供給するはねかけ板、１３はローター、１９は
圧力調整弁である。
車に油を供給するはねかけ板、１３はローター、１９は
圧力調整弁である。
【００１８】次に、この真空ポンプの動作について説明
する。
する。
【００１９】中間室３に導入された窒素等の不活性ガス
は、回転軸６が矢印１５方向に回転することにより、油
と不活性ガス等がオイル室２に流れる方向に溝切りされ
た螺旋溝１８によって、不活性ガス吸入方向１６へ吸入
され不活性ガス移動方向１７へ圧縮送気されることで、
オイル室２側へ油を押し戻す。これにより油が回転軸シ
ール部５とハウジング４の隙間を通って中間室３へ回り
込むことが防止される。
は、回転軸６が矢印１５方向に回転することにより、油
と不活性ガス等がオイル室２に流れる方向に溝切りされ
た螺旋溝１８によって、不活性ガス吸入方向１６へ吸入
され不活性ガス移動方向１７へ圧縮送気されることで、
オイル室２側へ油を押し戻す。これにより油が回転軸シ
ール部５とハウジング４の隙間を通って中間室３へ回り
込むことが防止される。
【００２０】次に第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態は、図１に示した第１の実施の形態に
おけるオイル室２の上部に、破線で示したように、逆止
弁２０を有する排気口１１を設けたのもである。以下動
作について説明する。
第２の実施の形態は、図１に示した第１の実施の形態に
おけるオイル室２の上部に、破線で示したように、逆止
弁２０を有する排気口１１を設けたのもである。以下動
作について説明する。
【００２１】中間室３に不活性ガス導入口１０より不活
性ガス等を導入し、回転軸シール部５の螺旋溝１８によ
って不活性ガス等がオイル室２側へ圧縮送気される作用
を利用して、油７が回転軸のシール部５を通って中間室
３へ回り込むことを防止する。不活性ガス等の圧縮送気
作用の効果が十分得られる様に、中間室３の不活性ガス
導入口１０から不活性ガス等を０．２ｋｇｆ／ｃｍ2〜
１．０ｋｇｆ／ｃｍ2に圧力調整弁１９にて設定し常時
供給する。
性ガス等を導入し、回転軸シール部５の螺旋溝１８によ
って不活性ガス等がオイル室２側へ圧縮送気される作用
を利用して、油７が回転軸のシール部５を通って中間室
３へ回り込むことを防止する。不活性ガス等の圧縮送気
作用の効果が十分得られる様に、中間室３の不活性ガス
導入口１０から不活性ガス等を０．２ｋｇｆ／ｃｍ2〜
１．０ｋｇｆ／ｃｍ2に圧力調整弁１９にて設定し常時
供給する。
【００２２】矢印１６，１７で示すように、オイル室２
に圧縮送気された不活性ガス等は排気口１１から逆止弁
２０を経てケーシング１外へ排気される。この不活性ガ
ス等の流れによってケーシング１内の、除去を目的とし
た排気ガスが希釈され、ガスの反応生成物による汚れが
低減される為、第１の実施の形態に比べケーシング１内
部の高いクリーニング効果が得られる。
に圧縮送気された不活性ガス等は排気口１１から逆止弁
２０を経てケーシング１外へ排気される。この不活性ガ
ス等の流れによってケーシング１内の、除去を目的とし
た排気ガスが希釈され、ガスの反応生成物による汚れが
低減される為、第１の実施の形態に比べケーシング１内
部の高いクリーニング効果が得られる。
【００２３】
【発明の効果】第１の効果は、オイル室側の油が軸シー
ルを通り中間室側へ回り込むことがなくなるということ
である。これによりオイル室への油の補充と中間室へも
れた油の抜き取り作業が不要となる。
ルを通り中間室側へ回り込むことがなくなるということ
である。これによりオイル室への油の補充と中間室へも
れた油の抜き取り作業が不要となる。
【００２４】その理由は、回転軸シール部に切られた螺
旋溝によって、回り込む油を押し戻し、更にオイル室へ
不活性ガス等が、螺旋溝の回転によって圧縮送気される
ことで油を押し戻す効果が拡大するからである。
旋溝によって、回り込む油を押し戻し、更にオイル室へ
不活性ガス等が、螺旋溝の回転によって圧縮送気される
ことで油を押し戻す効果が拡大するからである。
【００２５】第２の効果は、オイル室や軸シール内部
の、ガスの生成物による汚れを従来の２０％以下に低減
できるようになることである。
の、ガスの生成物による汚れを従来の２０％以下に低減
できるようになることである。
【００２６】その理由は、導入された不活性ガス等は、
螺旋溝によってオイル室へ圧縮送気され、ケーシング内
の排気ガスを希釈させ生成物による汚れを防止し、排気
口から排気されるからである。
螺旋溝によってオイル室へ圧縮送気され、ケーシング内
の排気ガスを希釈させ生成物による汚れを防止し、排気
口から排気されるからである。
【図１】本発明の実施の形態を説明する為の真空ポンプ
の断面図。
の断面図。
【図２】本発明の実施の形態を説明する為の中間室内の
断面図。
断面図。
【図３】本発明の実施の形態を説明する為のシール部の
斜視図。
斜視図。
【図４】従来の真空ポンプの断面図。
【図５】従来の真空ポンプのシール部の斜視図。
【図６】ネジ溝型回転軸シール密封装置のシール部の断
面図。
面図。
１ ケーシング ２ オイル室 ３ 中間室 ４ 真空室 ５，５Ａ シール部 ６ 回転軸 ７ 油 ８ 歯車 ９ はねかけ板 １０，１０Ａ ガス導入口 １１ 排気口 １２ 軸受 １３ ローター １４，１４Ａ ハウジング １５ 回転方向 １６ 不活性ガス吸入方向 １７ 不活性ガス移動方向 １８ 螺旋溝 １９ 圧力調整弁 ２０ 逆止弁 ２１ ラビリンス部
Claims (3)
- 【請求項１】 オイル室とガス導入口を有する中間室と
真空室とを有する真空ポンプにおいて、前記オイル室に
ガスの排気口を設けたことを特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 油を入れるオイル室と、このオイル室に
隣接しケーシングの壁とハウジングと軸受けとにより分
離されガス導入口を有する中間室と、この中間室に隣接
しケーシングの壁により分離された真空室とを有し、前
記軸受けに支持され前記オイル室と中間室と真空室とを
貫通する回転軸を有する真空ポンプにおいて、前記中間
室内の前記回転軸に固定される筒状のシール部の表面に
は、前記中間室に導入されたガスを前記オイル室に流す
方向に螺旋溝が設けられていることを特徴とする真空ポ
ンプ。 - 【請求項３】 オイル室の上部にはガスの排気口が設け
られている請求項２記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9260118A JPH1193877A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9260118A JPH1193877A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1193877A true JPH1193877A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17343545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9260118A Pending JPH1193877A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1193877A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| EP1267105A1 (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-18 | Rossi Motoriduttori S.p.A. | Dynamic sealing device |
| JP5280545B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2013-09-04 | 株式会社アルバック | 真空ドライポンプ |
| WO2014125855A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | オリエンタルモーター株式会社 | 歯車減速機のグリース漏れ防止構造 |
| EP3664259A1 (en) * | 2018-12-05 | 2020-06-10 | Fukuta Electric & Machinery Co., Ltd. | Integrated power module of electric scooter |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP9260118A patent/JPH1193877A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
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| WO2014125855A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-21 | オリエンタルモーター株式会社 | 歯車減速機のグリース漏れ防止構造 |
| US9391482B2 (en) | 2013-02-13 | 2016-07-12 | Oriental Motor Co., Ltd. | Grease leakage preventing structure for gear reducer |
| JPWO2014125855A1 (ja) * | 2013-02-13 | 2017-02-02 | オリエンタルモーター株式会社 | 歯車減速機のグリース漏れ防止構造 |
| EP3664259A1 (en) * | 2018-12-05 | 2020-06-10 | Fukuta Electric & Machinery Co., Ltd. | Integrated power module of electric scooter |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990629 |