JPH1195196A - 液晶パネル表示装置 - Google Patents
液晶パネル表示装置Info
- Publication number
- JPH1195196A JPH1195196A JP9252435A JP25243597A JPH1195196A JP H1195196 A JPH1195196 A JP H1195196A JP 9252435 A JP9252435 A JP 9252435A JP 25243597 A JP25243597 A JP 25243597A JP H1195196 A JPH1195196 A JP H1195196A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal panel
- optical element
- hologram
- hologram optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶パネル表示装置に関し、位置決めを容易に
して製造効率を向上させることを目的とする。 【解決手段】液晶パネル１上にホログラム光学素子２を
位置合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であっ
て、前記ホログラム光学素子２上の透明な領域中にホロ
グラムで形成されたアライメントマーク３が形成される
とともに、液晶パネル１のガラス基板１０上には金属薄
膜により対向アライメントマーク４が形成され、かつ、
ホログラム光学素子２のアライメントマーク３形成領域
の表面には減反射コーティング５が施される。
して製造効率を向上させることを目的とする。 【解決手段】液晶パネル１上にホログラム光学素子２を
位置合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であっ
て、前記ホログラム光学素子２上の透明な領域中にホロ
グラムで形成されたアライメントマーク３が形成される
とともに、液晶パネル１のガラス基板１０上には金属薄
膜により対向アライメントマーク４が形成され、かつ、
ホログラム光学素子２のアライメントマーク３形成領域
の表面には減反射コーティング５が施される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶パネル表示装置において、液
晶パネル上にカラーフィルタとなるホログラム光学素子
を貼り着ける場合にはホログラムをコントラスト像とし
て位置を観察するのが困難なために特別な工夫が必要で
あり、そのためのアライメント方法として特開平９−６
８７０５号公報記載の発明が提案されている。
晶パネル上にカラーフィルタとなるホログラム光学素子
を貼り着ける場合にはホログラムをコントラスト像とし
て位置を観察するのが困難なために特別な工夫が必要で
あり、そのためのアライメント方法として特開平９−６
８７０５号公報記載の発明が提案されている。
【０００３】この従来例において、ホログラム光学素子
には回折格子からなるアライメントマークが形成されて
おり、まず、アライメントマークを照明光で照射して空
中に回折光を収束させ、当該収束光をカメラで撮像す
る。一方、液晶パネル側の対向アライメントマーク位置
は適宜手段にてモニタ画面上に輝点として表示されてお
り、当該モニタ画面上に上記収束光の画像を同時に表示
することにより、相対位置が識別され、このモニタ画面
を観察しながら相対位置を変更し、相互の位置合わせを
行う。
には回折格子からなるアライメントマークが形成されて
おり、まず、アライメントマークを照明光で照射して空
中に回折光を収束させ、当該収束光をカメラで撮像す
る。一方、液晶パネル側の対向アライメントマーク位置
は適宜手段にてモニタ画面上に輝点として表示されてお
り、当該モニタ画面上に上記収束光の画像を同時に表示
することにより、相対位置が識別され、このモニタ画面
を観察しながら相対位置を変更し、相互の位置合わせを
行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
例において、位置合わせには複雑な撮像装置を要すると
いう欠点を有する。また、ホログラム光学素子と液晶パ
ネルとは相互に無関係な参照光にて位置が決定され、モ
ニタ画面上で重ね合わされるものであるから、誤差が生
じやすく、さらに、液晶パネルとホログラム光学素子と
の間には照射光の照射スペースを要し、位置合わせ後、
貼り合わせ位置まで両者を接近させる必要があるために
高精度のステージが必要となるという欠点を有する。
例において、位置合わせには複雑な撮像装置を要すると
いう欠点を有する。また、ホログラム光学素子と液晶パ
ネルとは相互に無関係な参照光にて位置が決定され、モ
ニタ画面上で重ね合わされるものであるから、誤差が生
じやすく、さらに、液晶パネルとホログラム光学素子と
の間には照射光の照射スペースを要し、位置合わせ後、
貼り合わせ位置まで両者を接近させる必要があるために
高精度のステージが必要となるという欠点を有する。
【０００５】本発明は、以上の欠点を解消すべくなされ
たもので、位置決めを容易にして製造を簡単にした液晶
パネル表示装置の提供を目的とする。
たもので、位置決めを容易にして製造を簡単にした液晶
パネル表示装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明において上記目的
は、液晶パネル１上にホログラム光学素子２を位置合わ
せして張り合せた液晶パネル表示装置であって、前記ホ
ログラム光学素子２上の透明な領域中にホログラムで形
成されたアライメントマーク３が形成されるとともに、
液晶パネル１のガラス基板１０上には金属薄膜により対
向アライメントマーク４が形成され、かつ、ホログラム
光学素子２のアライメントマーク３形成領域の表面には
減反射コーティング５が施される液晶パネル表示装置を
提供することにより達成される。
は、液晶パネル１上にホログラム光学素子２を位置合わ
せして張り合せた液晶パネル表示装置であって、前記ホ
ログラム光学素子２上の透明な領域中にホログラムで形
成されたアライメントマーク３が形成されるとともに、
液晶パネル１のガラス基板１０上には金属薄膜により対
向アライメントマーク４が形成され、かつ、ホログラム
光学素子２のアライメントマーク３形成領域の表面には
減反射コーティング５が施される液晶パネル表示装置を
提供することにより達成される。
【０００７】ホログラム光学素子２は液晶パネル１上に
重ねられて張り合わせられ、両者の位置合わせはそれぞ
れに形成されたアライメントマーク３、４をホログラム
光学素子２側から反射型の顕微鏡で観察して行われる。
重ねられて張り合わせられ、両者の位置合わせはそれぞ
れに形成されたアライメントマーク３、４をホログラム
光学素子２側から反射型の顕微鏡で観察して行われる。
【０００８】ホログラム側から照明を照射してその反射
像を観察する場合の反射光の強度を求めるために、ま
ず、ガラス−空気−ガラスを積層した光学モデルを考え
る（図２（ａ）参照）。図中Ｉ0は入射光の強度を示
し、Ｉ1〜Ｉ3は各界面を通過する透過光の強度を示す。
各界面での反射率をＲ1〜Ｒ4とすると、Ｉ1〜Ｉ3は以下
により求められる。
像を観察する場合の反射光の強度を求めるために、ま
ず、ガラス−空気−ガラスを積層した光学モデルを考え
る（図２（ａ）参照）。図中Ｉ0は入射光の強度を示
し、Ｉ1〜Ｉ3は各界面を通過する透過光の強度を示す。
各界面での反射率をＲ1〜Ｒ4とすると、Ｉ1〜Ｉ3は以下
により求められる。
【０００９】Ｉ1＝Ｉ0（１−Ｒ1） Ｉ2＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）（１−Ｒ2） Ｉ3＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）（１−Ｒ2）（１−Ｒ3） したがって、各界面で反射して出射側に戻る光の強度
は、 Ｉ0r＝Ｉ0Ｒ1 Ｉ1r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2Ｒ2 Ｉ2r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−Ｒ2）2Ｒ3 Ｉ3r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−Ｒ2）2（１−Ｒ3）2Ｒ4 となり、全反射光ＩRは、 Ｉr＝Ｉ0r＋Ｉ1r＋Ｉ2r＋Ｉ3r で表される。
は、 Ｉ0r＝Ｉ0Ｒ1 Ｉ1r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2Ｒ2 Ｉ2r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−Ｒ2）2Ｒ3 Ｉ3r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−Ｒ2）2（１−Ｒ3）2Ｒ4 となり、全反射光ＩRは、 Ｉr＝Ｉ0r＋Ｉ1r＋Ｉ2r＋Ｉ3r で表される。
【００１０】図２（ｂ）は液晶パネル１上にホログラム
光学素子２を積層させた状態の光学モデルを示し、上層
からガラス−空気−ガラスの順に積層した状態を示す。
ホログラム光学素子２側のアライメントマーク３は液晶
パネル１の背面にホログラムで形成されており（ホログ
ラムマーク）、液晶パネル１側の対向アライメントマー
ク４はガラス基板１０の背面にクロム等の金属薄膜によ
り形成される。ホログラム光学素子２側から照射される
観察光の光路の組み合わせは、ガラス−ホログラム−空
気−ガラス−金属（組み合わせＡ）、ガラス−空気−ガ
ラス−金属（組み合わせＢ）、ガラス−空気−ガラス
（組み合わせＣ）、ガラス−ホログラム−空気−ガラス
（組み合わせＤ）の４種類が存在する。
光学素子２を積層させた状態の光学モデルを示し、上層
からガラス−空気−ガラスの順に積層した状態を示す。
ホログラム光学素子２側のアライメントマーク３は液晶
パネル１の背面にホログラムで形成されており（ホログ
ラムマーク）、液晶パネル１側の対向アライメントマー
ク４はガラス基板１０の背面にクロム等の金属薄膜によ
り形成される。ホログラム光学素子２側から照射される
観察光の光路の組み合わせは、ガラス−ホログラム−空
気−ガラス−金属（組み合わせＡ）、ガラス−空気−ガ
ラス−金属（組み合わせＢ）、ガラス−空気−ガラス
（組み合わせＣ）、ガラス−ホログラム−空気−ガラス
（組み合わせＤ）の４種類が存在する。
【００１１】ここで、各界面における反射率をＲ1 〜Ｒ
4とすると、組み合わせＢ、Ｃにおける反射光の強度は
上述した計算式をそのまま使用することにより求めら
れ、これら計算式は、組み合わせＡ、Ｄ、すなわち第２
層がホログラムである場合にも、ホログラムの回折効率
をｈとして Ｉ2＝Ｉ1 （１−ｈ）＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）（１−ｈ） と修正することにより適用できる。なお、ホログラム表
面の反射は無視することとする。
4とすると、組み合わせＢ、Ｃにおける反射光の強度は
上述した計算式をそのまま使用することにより求めら
れ、これら計算式は、組み合わせＡ、Ｄ、すなわち第２
層がホログラムである場合にも、ホログラムの回折効率
をｈとして Ｉ2＝Ｉ1 （１−ｈ）＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）（１−ｈ） と修正することにより適用できる。なお、ホログラム表
面の反射は無視することとする。
【００１２】したがって、界面２がホログラムの場合
（組み合わせＢ、Ｃ）、出射側に戻る光の強度は、 Ｉ0r＝Ｉ0Ｒ1 Ｉ1r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2Ｒ2 Ｉ2r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−ｈ）2Ｒ3 Ｉ3r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−ｈ）2（１−Ｒ3）2Ｒ4 で求められる。
（組み合わせＢ、Ｃ）、出射側に戻る光の強度は、 Ｉ0r＝Ｉ0Ｒ1 Ｉ1r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2Ｒ2 Ｉ2r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−ｈ）2Ｒ3 Ｉ3r＝Ｉ0（１−Ｒ1 ）2（１−ｈ）2（１−Ｒ3）2Ｒ4 で求められる。
【００１３】図３に、これらの計算式を使用して求めた
ホログラムマーク３側から金属マーク４を観察する場合
の反射光強度の分布を示す。ガラスの反射率Ｒn＝０．
５、ホログラムの回折効率ｈ＝０．５とする。また、図
中に示す小数点表示の数字は反射強度が最も弱い部分を
１．０とした場合の比率を示す。
ホログラムマーク３側から金属マーク４を観察する場合
の反射光強度の分布を示す。ガラスの反射率Ｒn＝０．
５、ホログラムの回折効率ｈ＝０．５とする。また、図
中に示す小数点表示の数字は反射強度が最も弱い部分を
１．０とした場合の比率を示す。
【００１４】図３（ａ）はホログラム光学素子２に減反
射コーティング５を施さない状態での強度分布、（ｂ）
は減反射コーティング５を施した強度分布を示し、左側
に金属マーク４とホログラムマーク３が合致していない
場合、右側に合致した場合の反射光強度の分布を示す。
射コーティング５を施さない状態での強度分布、（ｂ）
は減反射コーティング５を施した強度分布を示し、左側
に金属マーク４とホログラムマーク３が合致していない
場合、右側に合致した場合の反射光強度の分布を示す。
【００１５】図３（ａ）より明らかなように、金属マー
ク４とホログラムマーク３が合致していない場合、顕微
鏡の視野下では、ホログラムマーク３が最も暗く観察さ
れ、次いで、ホログラムマーク３と金属マーク４との重
合部位、背景、金属マーク４の順に明るくなり、各々ア
ライメントマーク３、４の相互の識別は可能であるが、
ホログラムマーク３と金属マーク４が合致した状態にお
いては背景とマーク合致部位との間には光強度の差がほ
とんどなく識別ができない状態となっている。これが反
射型顕微鏡を使用した従来のアライメント方法における
問題である。
ク４とホログラムマーク３が合致していない場合、顕微
鏡の視野下では、ホログラムマーク３が最も暗く観察さ
れ、次いで、ホログラムマーク３と金属マーク４との重
合部位、背景、金属マーク４の順に明るくなり、各々ア
ライメントマーク３、４の相互の識別は可能であるが、
ホログラムマーク３と金属マーク４が合致した状態にお
いては背景とマーク合致部位との間には光強度の差がほ
とんどなく識別ができない状態となっている。これが反
射型顕微鏡を使用した従来のアライメント方法における
問題である。
【００１６】一方、ホログラム光学素子２のホログラム
マーク３形成領域の表面に反射率を１／１０程度に減少
させる減反射コーティング５を施すと、透過光の強度が
高くなるために、図３（ｂ）に示すように、ホログラム
マーク３、金属マーク４、およびこれらの重合位置のコ
ントラストは図３（ａ）に示す場合に比して大きくな
り、さらに、アライメント状態においても背景との間の
コントラストが大きくなる。
マーク３形成領域の表面に反射率を１／１０程度に減少
させる減反射コーティング５を施すと、透過光の強度が
高くなるために、図３（ｂ）に示すように、ホログラム
マーク３、金属マーク４、およびこれらの重合位置のコ
ントラストは図３（ａ）に示す場合に比して大きくな
り、さらに、アライメント状態においても背景との間の
コントラストが大きくなる。
【００１７】なお、以上においては、ホログラムマーク
３はホログラム光学素子２上の透明領域にグレーティン
グによりホログラムを形成することにより、金属マーク
４は液晶パネル１の透明領域にクロム等の金属膜を形成
して各々形成された場合を示しているが、ホログラム光
学素子２側のアライメントマーク３を、ホログラム光学
素子２の回折格子の領域中を透明に打抜いて形成したり
（請求項２）、液晶パネル１側の対向アライメントマー
ク４を金属薄膜中を透明に打抜いて形成したり（請求項
３）、両者を透明領域として形成したり（請求項４）す
ることが可能であり、これらにあっても、アライメント
マーク間のコントラストを高くすることができる。
３はホログラム光学素子２上の透明領域にグレーティン
グによりホログラムを形成することにより、金属マーク
４は液晶パネル１の透明領域にクロム等の金属膜を形成
して各々形成された場合を示しているが、ホログラム光
学素子２側のアライメントマーク３を、ホログラム光学
素子２の回折格子の領域中を透明に打抜いて形成したり
（請求項２）、液晶パネル１側の対向アライメントマー
ク４を金属薄膜中を透明に打抜いて形成したり（請求項
３）、両者を透明領域として形成したり（請求項４）す
ることが可能であり、これらにあっても、アライメント
マーク間のコントラストを高くすることができる。
【００１８】請求項５に係る発明では、アライメントマ
ーク３、４のコントラストを高めるために、反射層６が
使用される。反射層６は液晶パネル１の背面に配置され
る。反射層６により反射光が増加するために、アライメ
ントマーク３、４間のコントラストが増加する。なお、
この反射層６を上述した減反射コーティング５と同時に
使用することも可能であり、この場合、ホログラム光学
素子２側に減反射コーティング５を施し、液晶パネル１
の背面に反射層６を配置する。
ーク３、４のコントラストを高めるために、反射層６が
使用される。反射層６は液晶パネル１の背面に配置され
る。反射層６により反射光が増加するために、アライメ
ントマーク３、４間のコントラストが増加する。なお、
この反射層６を上述した減反射コーティング５と同時に
使用することも可能であり、この場合、ホログラム光学
素子２側に減反射コーティング５を施し、液晶パネル１
の背面に反射層６を配置する。
【００１９】さらに、アライメントマーク３、４の形成
方法も上述したと同様に、アライメントマーク３をホロ
グラム光学素子２の回折格子の領域中を透明に打抜いて
形成したり、液晶パネル１側の対向アライメントマーク
４を金属薄膜中を透明に打抜いて形成したり、両者を透
明領域として形成したりすることが可能であり、これら
にあっても、マーク間のコントラストを高くすることが
できる。
方法も上述したと同様に、アライメントマーク３をホロ
グラム光学素子２の回折格子の領域中を透明に打抜いて
形成したり、液晶パネル１側の対向アライメントマーク
４を金属薄膜中を透明に打抜いて形成したり、両者を透
明領域として形成したりすることが可能であり、これら
にあっても、マーク間のコントラストを高くすることが
できる。
【００２０】また、アライメントマーク３、４の大きさ
は一致している必要はなく、何れか一方を他方よりも大
きくすることが可能であり、この場合にも、明瞭なコン
トラストが得られる。
は一致している必要はなく、何れか一方を他方よりも大
きくすることが可能であり、この場合にも、明瞭なコン
トラストが得られる。
【００２１】
【発明の実施の形態】液晶パネル１装置は、図１に示す
ように、液晶パネル１の表面にカラーフィルタを接合し
て形成される。液晶パネル１の透明ガラス基板１０上に
は、図１（ｃ）に示すように、Ｃｒ、Ｔｉ等のスパッタ
膜７を透明に打ち抜いた多数の開口８、８・・からなる
表示領域が形成され、その外周部の透明領域に十字形状
の対向アライメントマーク４が形成される。対向アライ
メントマーク４はＣｒ、あるいはＴｉ等をスパッタリン
グして形成され、例えば、上記開口８形成工程において
形成される。また、ガラス基板１０の背面には反射層６
が配置される。
ように、液晶パネル１の表面にカラーフィルタを接合し
て形成される。液晶パネル１の透明ガラス基板１０上に
は、図１（ｃ）に示すように、Ｃｒ、Ｔｉ等のスパッタ
膜７を透明に打ち抜いた多数の開口８、８・・からなる
表示領域が形成され、その外周部の透明領域に十字形状
の対向アライメントマーク４が形成される。対向アライ
メントマーク４はＣｒ、あるいはＴｉ等をスパッタリン
グして形成され、例えば、上記開口８形成工程において
形成される。また、ガラス基板１０の背面には反射層６
が配置される。
【００２２】一方、カラーフィルタはホログラム光学素
子２により形成され、液晶パネル１の表示領域に対応す
る領域に回折格子を有し、さらに、透明領域にホログラ
ムによりアライメントマーク３が形成される。このアラ
イメントマーク３は液晶パネル１側の対向アライメント
マーク４と同一位置で、かつ、同一形状に形成され、表
示領域の回折格子形成時に同時形成される。また、ホロ
グラム光学素子２の表面には透明領域での反射率を１／
１０程度に抑える減反射コーティング５が施される。な
お、この減反射コーティング５はホログラム光学素子２
の全表面に形成しても、あるいはアライメントマーク３
形成領域のみに形成してもよい。
子２により形成され、液晶パネル１の表示領域に対応す
る領域に回折格子を有し、さらに、透明領域にホログラ
ムによりアライメントマーク３が形成される。このアラ
イメントマーク３は液晶パネル１側の対向アライメント
マーク４と同一位置で、かつ、同一形状に形成され、表
示領域の回折格子形成時に同時形成される。また、ホロ
グラム光学素子２の表面には透明領域での反射率を１／
１０程度に抑える減反射コーティング５が施される。な
お、この減反射コーティング５はホログラム光学素子２
の全表面に形成しても、あるいはアライメントマーク３
形成領域のみに形成してもよい。
【００２３】液晶パネル１とホログラム光学素子２との
位置合わせは、反射型顕微鏡を使用してホログラム光学
素子２側から双方のアライメントマーク３、４を観察し
ながら行われる。図４（ｂ）に上述した計算式を使用し
て求めた顕微鏡視野下での反射光強度の分布を示す。図
中左側がホログラムマーク３と金属マーク４との非重合
状態、右側が重合状態を示す。図４（ｂ）に示すよう
に、アライメント作業中（非重合状態）でも、あるいは
アライメント完了後（重合状態）でも各々のアライメン
トマーク３、４と背景、あるいは隣接マークとの反射光
強度の差が大きいためにコントラストがはっきりし、作
業効率が向上する。
位置合わせは、反射型顕微鏡を使用してホログラム光学
素子２側から双方のアライメントマーク３、４を観察し
ながら行われる。図４（ｂ）に上述した計算式を使用し
て求めた顕微鏡視野下での反射光強度の分布を示す。図
中左側がホログラムマーク３と金属マーク４との非重合
状態、右側が重合状態を示す。図４（ｂ）に示すよう
に、アライメント作業中（非重合状態）でも、あるいは
アライメント完了後（重合状態）でも各々のアライメン
トマーク３、４と背景、あるいは隣接マークとの反射光
強度の差が大きいためにコントラストがはっきりし、作
業効率が向上する。
【００２４】なお、上述した実施の形態においては、ホ
ログラム光学素子２側に減反射コーティング５を、液晶
パネル１側に反射層６を配置する場合を説明したが、何
れか一方のみを使用することも可能であり、減反射コー
ティング５のみを施した場合（図３（ｂ）参照）、ある
いは反射層６のみを形成した場合（図４（ａ）参照）で
あってもコントラストを高めることができる。なお、比
較のために、減反射コーティング５、および反射層６の
双方を設けない場合の反射光強度の分布を図４（ｃ）に
再掲する。
ログラム光学素子２側に減反射コーティング５を、液晶
パネル１側に反射層６を配置する場合を説明したが、何
れか一方のみを使用することも可能であり、減反射コー
ティング５のみを施した場合（図３（ｂ）参照）、ある
いは反射層６のみを形成した場合（図４（ａ）参照）で
あってもコントラストを高めることができる。なお、比
較のために、減反射コーティング５、および反射層６の
双方を設けない場合の反射光強度の分布を図４（ｃ）に
再掲する。
【００２５】また、アライメントマーク３、４は必ずし
も同一の大きさである必要はなく、何れか一方を他方に
比して大きくしても図５に示すように、コントラストの
高いマーク像を観察することができる。なお、図５にお
いて（ａ）は減反射コーティング５のみを施した場合、
（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）は双方を設
けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合を示し、各
々左側にホログラムマーク３の方が大きな場合、右側に
金属マーク４が大きな場合を示す。
も同一の大きさである必要はなく、何れか一方を他方に
比して大きくしても図５に示すように、コントラストの
高いマーク像を観察することができる。なお、図５にお
いて（ａ）は減反射コーティング５のみを施した場合、
（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）は双方を設
けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合を示し、各
々左側にホログラムマーク３の方が大きな場合、右側に
金属マーク４が大きな場合を示す。
【００２６】アライメントマーク３、４は十字型以外
に、丸型、矩形、鉤型等適宜形状とすることができ、さ
らに、双方のアライメントマーク３、４を例えば一方を
鉤型に、他方を十字形状とするように、異なった形状に
してもよい。
に、丸型、矩形、鉤型等適宜形状とすることができ、さ
らに、双方のアライメントマーク３、４を例えば一方を
鉤型に、他方を十字形状とするように、異なった形状に
してもよい。
【００２７】アライメントマーク３、４は、透明のガラ
ス基板１０上にホログラム、あるいは金属薄膜を形成す
る以外に、回折格子、あるいは金属薄膜を透明に抜いて
形成することもでき、このようにしても以下に示すよう
に、鮮明なコントラスト像を得ることができる。図６は
ホログラム光学素子２と液晶パネル１にそれぞれ形成さ
れるアライメントマーク３、４の組み合わせを示すもの
で、（ａ）は上述した実施の形態において使用された組
み合わせで、ホログラム光学素子２側には透明部分にホ
ログラムでアライメントマーク３を形成し、液晶パネル
１側にはガラス基板１０上に金属薄膜で対向アライメン
トマーク４を形成した場合を示す。
ス基板１０上にホログラム、あるいは金属薄膜を形成す
る以外に、回折格子、あるいは金属薄膜を透明に抜いて
形成することもでき、このようにしても以下に示すよう
に、鮮明なコントラスト像を得ることができる。図６は
ホログラム光学素子２と液晶パネル１にそれぞれ形成さ
れるアライメントマーク３、４の組み合わせを示すもの
で、（ａ）は上述した実施の形態において使用された組
み合わせで、ホログラム光学素子２側には透明部分にホ
ログラムでアライメントマーク３を形成し、液晶パネル
１側にはガラス基板１０上に金属薄膜で対向アライメン
トマーク４を形成した場合を示す。
【００２８】図６（ｂ）はホログラム光学素子２側のア
ライメントマーク３を透明にしたもので、ホログラム光
学素子２上の回折格子を十字形状に抜いてガラス基板１
０を露出させることにより容易に形成できる。図７、８
はこのような組み合わせを使用した場合の顕微鏡視野下
でのアライメントマーク３、４、および背景からの反射
光強度の分布を示し、図７は双方のアライメントマーク
３、４が同じ大きさの場合、図８は大きさの異なる場合
を示し、各々（ａ）は減反射コーティング５のみを施し
た場合、（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）は
双方を設けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合を
示す。また、図７において左側はマーク非重合状態、右
側はマーク重合状態を示し、図８において左側は金属マ
ーク４が小さな場合、右側は金属マーク４が大きな場合
をそれぞれ示す。
ライメントマーク３を透明にしたもので、ホログラム光
学素子２上の回折格子を十字形状に抜いてガラス基板１
０を露出させることにより容易に形成できる。図７、８
はこのような組み合わせを使用した場合の顕微鏡視野下
でのアライメントマーク３、４、および背景からの反射
光強度の分布を示し、図７は双方のアライメントマーク
３、４が同じ大きさの場合、図８は大きさの異なる場合
を示し、各々（ａ）は減反射コーティング５のみを施し
た場合、（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）は
双方を設けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合を
示す。また、図７において左側はマーク非重合状態、右
側はマーク重合状態を示し、図８において左側は金属マ
ーク４が小さな場合、右側は金属マーク４が大きな場合
をそれぞれ示す。
【００２９】図６（ｃ）は液晶パネル１側の対向アライ
メントマーク４を透明にしたもので、例えば、ガラス基
板１０上へのＣｒあるいはＴｉ薄膜のスパッタリング工
程において、対向アライメントマーク４形成箇所にマス
クをかけることにより容易に形成できる。図９、１０は
このような組み合わせを使用した場合の顕微鏡視野下で
のアライメントマーク３、４、および背景からの反射光
強度の分布を示し、図９は双方のアライメントマーク
３、４が同じ大きさの場合、図１０は大きさの異なる場
合を示し、各々（ａ）は減反射コーティング５のみを施
した場合、（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）
は双方を設けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合
を示す。また、図９において左側はマーク非重合状態、
右側はマーク重合状態を示し、図１０において左側は金
属マーク４が小さな場合、右側は金属マーク４が大きな
場合をそれぞれ示す。
メントマーク４を透明にしたもので、例えば、ガラス基
板１０上へのＣｒあるいはＴｉ薄膜のスパッタリング工
程において、対向アライメントマーク４形成箇所にマス
クをかけることにより容易に形成できる。図９、１０は
このような組み合わせを使用した場合の顕微鏡視野下で
のアライメントマーク３、４、および背景からの反射光
強度の分布を示し、図９は双方のアライメントマーク
３、４が同じ大きさの場合、図１０は大きさの異なる場
合を示し、各々（ａ）は減反射コーティング５のみを施
した場合、（ｂ）は反射層６のみを設けた場合、（ｃ）
は双方を設けた場合、（ｄ）は双方を設けなかった場合
を示す。また、図９において左側はマーク非重合状態、
右側はマーク重合状態を示し、図１０において左側は金
属マーク４が小さな場合、右側は金属マーク４が大きな
場合をそれぞれ示す。
【００３０】図６（ｄ）は液晶パネル１側とホログラム
光学素子２側のアライメントマーク３、４の双方を透明
にしたもので、その反射光強度の分布を図１１、１２に
示し、図１１は図９に、図１２は図１０に対応する。
光学素子２側のアライメントマーク３、４の双方を透明
にしたもので、その反射光強度の分布を図１１、１２に
示し、図１１は図９に、図１２は図１０に対応する。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、液晶パネル上にカラーフィルタを位置合わせ
して重ねる場合、反射型顕微鏡を使用しても明瞭なマー
ク間のコントラストを得ることができるために、製造効
率が向上する。
によれば、液晶パネル上にカラーフィルタを位置合わせ
して重ねる場合、反射型顕微鏡を使用しても明瞭なマー
ク間のコントラストを得ることができるために、製造効
率が向上する。
【図１】本発明を示す図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は
ホログラム光学素子の裏面図、（ｃ）は液晶パネルの平
面図である。
ホログラム光学素子の裏面図、（ｃ）は液晶パネルの平
面図である。
【図２】反射光の反射強度の関係を示す説明図である。
【図３】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図４】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図５】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図６】アライメントマークの組み合わせを示す説明図
である。
である。
【図７】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図８】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図９】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図１０】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図１１】マークの反射光強度分布を示す図である。
【図１２】マークの反射光強度分布を示す図である。
１ 液晶パネル １０ ガラス基板 ２ ホログラム光学素子 ３ アライメントマーク ４ 対向アライメントマーク ５ 減反射コーティング ６ 反射層
Claims (5)
- 【請求項１】液晶パネル上にホログラム光学素子を位置
合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であって、 前記ホログラム光学素子上の透明な領域中にホログラム
で形成されたアライメントマークが形成されるととも
に、 液晶パネルのガラス基板上には金属薄膜により対向アラ
イメントマークが形成され、 かつ、ホログラム光学素子のアライメントマーク形成領
域の表面には減反射コーティングが施される液晶パネル
表示装置。 - 【請求項２】液晶パネル上にホログラム光学素子を位置
合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であって、 前記ホログラム光学素子には回折格子の領域中を透明に
打抜いてアライメントマークが形成されるとともに、 液晶パネルのガラス基板上には金属薄膜により対向アラ
イメントマークが形成され、 かつ、ホログラム光学素子のアライメントマーク形成領
域の表面には減反射コーティングが施される液晶パネル
表示装置。 - 【請求項３】液晶パネル上にホログラム光学素子を位置
合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であって、 前記ホログラム光学素子上の透明な領域中にホログラム
で形成されたアライメントマークが形成されるととも
に、 液晶パネルのガラス基板上には金属薄膜中を透明に打抜
いて対向アライメントマークが形成され、 かつ、ホログラム光学素子のアライメントマーク形成領
域の表面には減反射コーティングが施される液晶パネル
表示装置。 - 【請求項４】液晶パネル上にホログラム光学素子を位置
合わせして張り合せた液晶パネル表示装置であって、 前記ホログラム光学素子には回折格子の領域中を透明に
打抜いてアライメントマークが形成されるとともに、 液晶パネルのガラス基板上には金属薄膜中を透明に打抜
いて対向アライメントマークが形成され、 かつ、ホログラム光学素子のアライメントマーク形成領
域の表面には減反射コーティングが施される液晶パネル
表示装置。 - 【請求項５】前記液晶パネルのガラス基板の背面には反
射層が配置される請求項１ないし４のいずれかに記載の
液晶パネル表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252435A JPH1195196A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 液晶パネル表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252435A JPH1195196A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 液晶パネル表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1195196A true JPH1195196A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17237340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9252435A Pending JPH1195196A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 液晶パネル表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1195196A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7492080B2 (en) | 2005-01-20 | 2009-02-17 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Plasma display apparatus and method of manufacturing same |
| JP2013231741A (ja) * | 2007-02-26 | 2013-11-14 | Corning Inc | 歪測定結像システム |
| US8674258B2 (en) * | 2005-05-13 | 2014-03-18 | Renishaw Plc | Method and apparatus for scale manufacture without substantial removal of material |
| WO2021072930A1 (zh) * | 2019-10-14 | 2021-04-22 | Tcl华星光电技术有限公司 | 阵列基板及其制造方法与对准精度检测方法，及液晶显示面板 |
| CN118011583A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-05-10 | 珠海臻像光电科技有限公司 | 对位贴合装置及对位贴合方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06110047A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 位置合わせパターン |
| JPH06160792A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Sharp Corp | 画像処理によるアライメント方法 |
| JPH0829769A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-02-02 | Dainippon Printing Co Ltd | ホログラムを用いた液晶表示装置とその製造方法 |
| JPH0895014A (ja) * | 1994-09-21 | 1996-04-12 | Sony Corp | 液晶表示パネル |
| JPH08146371A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Sony Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
| JPH08238956A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Nippondenso Co Ltd | ヘッドアップディスプレイ装置 |
| JPH08304816A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-22 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型液晶表示装置用反射板 |
| JPH0968705A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメントマークとアライメント方法 |
-
1997
- 1997-09-17 JP JP9252435A patent/JPH1195196A/ja active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06110047A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 位置合わせパターン |
| JPH06160792A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Sharp Corp | 画像処理によるアライメント方法 |
| JPH0829769A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-02-02 | Dainippon Printing Co Ltd | ホログラムを用いた液晶表示装置とその製造方法 |
| JPH0895014A (ja) * | 1994-09-21 | 1996-04-12 | Sony Corp | 液晶表示パネル |
| JPH08146371A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Sony Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
| JPH08238956A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-17 | Nippondenso Co Ltd | ヘッドアップディスプレイ装置 |
| JPH08304816A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-22 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型液晶表示装置用反射板 |
| JPH0968705A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメントマークとアライメント方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7492080B2 (en) | 2005-01-20 | 2009-02-17 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Plasma display apparatus and method of manufacturing same |
| US8674258B2 (en) * | 2005-05-13 | 2014-03-18 | Renishaw Plc | Method and apparatus for scale manufacture without substantial removal of material |
| JP2013231741A (ja) * | 2007-02-26 | 2013-11-14 | Corning Inc | 歪測定結像システム |
| WO2021072930A1 (zh) * | 2019-10-14 | 2021-04-22 | Tcl华星光电技术有限公司 | 阵列基板及其制造方法与对准精度检测方法，及液晶显示面板 |
| CN118011583A (zh) * | 2024-04-09 | 2024-05-10 | 珠海臻像光电科技有限公司 | 对位贴合装置及对位贴合方法 |
| CN118011583B (zh) * | 2024-04-09 | 2024-06-07 | 珠海臻像光电科技有限公司 | 对位贴合装置及对位贴合方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103185981B (zh) | 彩色滤光阵列基板及其制备方法和显示装置 | |
| US6323920B1 (en) | Methods of making LCD devices having color filter | |
| JP3985228B2 (ja) | カラーホイール、その製造方法、およびそれを備えた分光装置並びに画像表示装置 | |
| JP2001524694A (ja) | フレネル型マイクロ反射器を用いた反射型ディスプレイ | |
| JPH08146371A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| TWI298408B (en) | Transflective liquid crystal display device and method for manufacturing the same | |
| JP3748760B2 (ja) | 反射型ｌｃｄおよびその製造方法 | |
| US7158198B2 (en) | Transflective color liquid crystal display including color filters on transparent resists and method of fabricating a substrate therefor | |
| JP4608882B2 (ja) | 露光用マスク及びその製造方法、並びに液晶装置の製造方法 | |
| KR100924209B1 (ko) | 반투과성 액정 디스플레이 장치와 그 제조 방법 | |
| TWI281577B (en) | Manufacturing method of substrate for optoelectronic device, manufacturing method for optoelectronic device, substrate for optoelectronic device, optoelectronic device, and electronic machine | |
| JP4232950B2 (ja) | 半透過型カラー液晶表示素子の基板製造方法 | |
| JP2005208128A (ja) | 露光用マスク及びその製造方法、並びに液晶装置の製造方法 | |
| JP2001166673A (ja) | ホログラム原版及びその作製方法 | |
| CN101726995A (zh) | 彩色滤光基板及其制造方法 | |
| JPH0762748B2 (ja) | 投写型液晶デイスプレイ | |
| JP4013889B2 (ja) | 電気光学装置用基板の製造方法、および、電気光学装置の製造方法 | |
| JP4560931B2 (ja) | ホログラム反射板およびこの反射板を用いた液晶表示装置 | |
| JP2002303872A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JPH0862415A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JP4946715B2 (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法および半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールド | |
| JP2002267572A (ja) | 遮光マスク及びカラーフィルター検査方法 | |
| JP2003043438A (ja) | 反射型ホログラムのアライメントマークを備えた基板、そのアライメント装置及び反射型液晶表示装置 | |
| JPH02109015A (ja) | 表示装置 | |
| JP2002014332A (ja) | ホログラムカラーフィルターを備えた液晶表示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050526 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050607 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050808 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060214 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060725 |